JP6611647B2 - 基板生産管理装置、基板生産装置、および基板生産ライン - Google Patents

Description

本発明は、基板生産ラインを構成する基板生産管理装置および基板生産装置に関し、さらには、基板生産ラインの全体に関する。

多数の部品が実装された基板を生産する装置として、はんだ印刷装置、電子部品装着装置、リフロー装置、基板検査装置などがある。これらの基板生産装置を連結して基板生産ラインを構成することが一般的になっている。基板生産ラインでは、種々の要因によって上流側装置から下流側装置への基板の搬送が中断され、少なくとも一部の基板生産装置が休止することがある。

例えば、電子部品装着装置に搭載された部品供給部で部品切れが発生すると部品装着の工程作業が中断されるため、下流側装置に基板を搬出できなくなる。加えて、上流側装置から電子部品装着装置に基板を搬入できなくなり、結果として基板生産ラインの稼動が一時的に休止する。この一時的な休止は、オペレータが部品補給作業を行うことで解消される。また、基板生産装置の相互間で生産時間（工程作業の所要時間）に開きがあると、基板搬送に渋滞が発生したり、基板搬送がまばらになったりし得る。この場合にも、基板生産装置は小休止する。

近年、基板生産ラインの省エネ化は大きな課題となっており、例示した一時的な休止や小休止であっても、可能な範囲で電気負荷への給電を止めて省エネモードに移行することが望まれる。一方で、基板生産ラインの稼働率向上、および基板の品質向上に対する要求も高まっており、省エネモードから通常の稼動モードに戻る際に配慮が必要となる。基板生産ラインの稼動中における省エネモードへの移行、および関連事項に関する技術例が特許文献１〜５に開示されている。

特許文献１の電子部品装着装置は、供給装置動力用電源装置および供給装置制御用電源装置を有する部品供給装置と、部品移載装置と、制御装置とを備える。そして、制御装置は、電子部品の部品切れによる部品供給装置の動作停止を検出すると、供給装置動力用電源装置に対して電力供給を遮断し、供給装置制御用電源装置に対して電力供給を維持する。これによれば、停止中の部品供給装置への動力用電源を遮断でき、無駄な電力消費がなくなる、とされている。

また、特許文献２の監視方法は、複数の生産設備より構成される基板生産ラインの監視方法を開示している。この監視方法は、少なくとも１つの生産設備の稼動状況を監視する監視ステップと、監視ステップの監視結果に基づいて別の生産設備を稼動状態または非稼動状態に制御する稼動制御ステップとを含む。さらに、監視ステップでは、上流側の生産設備に基板が搬入されたか否かを検知し、稼動制御ステップでは、基板到着時に稼動状態となっているように下流側の生産設備の起動タイミングを決定する。これによれば、基板の生産効率および品質を低下させることなく省エネルギ化を図ることができる、とされている。なお、特許文献３にも、類似の技術が開示されている。

特許文献４の電子部品装着装置は、基板保持移動装置、部品供給装置、および部品移載装置を有する必須構成部分と、必須構成部分を制御する制御装置とを備える。そして、通常状態中の動作待ち状態、非通常状態、および通常状態中の部品供給休止状態の３状態の各レベルに応じ、必須構成部部分内の装置を選択して電力供給を遮断する。換言すると、３状態に応じて、省エネモードに複数レベルを設定する。これによれば、消費電力量を従来に比べて削減できる、とされている。

特許文献５の電子部品装着装置は、電子部品を回路基板に装着する手段と、回路基板に実際に装着された電子部品の位置ずれ量を測定する手段と、位置ずれ量の測定結果に基づいて装着位置情報に対する装着位置補正量を算出する手段とを有する。この電子部品装着装置の駆動では、抜き取り測定した所定枚数の回路基板における位置ずれ量に基づいて、装着位置情報を更新する。換言すると、定期的に装着位置情報の校正処理を実施する。これによれば、電子部品に位置ずれが生じてもタイミングよく自動的に補正でき、また、抜き取り測定であるから高い稼動率で運転できる、とされている。

特許第３８４１５８５号公報 特開２００６−３１０７５０号公報 特開２００１−３２０１９９号公報 特開２００３−２６４３９９号公報 特開平７−３２６８９５号公報

ところで、特許文献１の技術例は、電子部品装着装置の内部で停止要因が発生したとき省エネモードに移行するものである。したがって、上流側装置のいずれかに停止要因が発生して基板が搬入されなくなった場合や、下流側装置のいずれかに停止要因が発生して基板を搬出できなくなった場合には、省エネモードに移行できない。つまり、基板生産ラインを構成する複数の基板生産装置の相互作用が考慮されていない。

これに対して、特許文献２は、監視を行うホスト側の基板生産管理装置で制御を行う技術である、基板生産管理装置は、上流側装置に基板が搬入されたタイミングに基づいて工程作業実施後の搬出タイミングを推定し、これにあわせて下流側装置の起動タイミングを決定し、指令する。したがって、特許文献２の技術例では、上流側装置から下流側装置への相互作用が考慮されており、逆方向の相互作用が考慮されていない。つまり、基板生産装置は、下流側の停止要因で工程作業を施した基板を搬出できなくなっていても、次の基板の搬入が可能な状況下で起動指令を受け取るため、省エネモードに移行できない。

また、特許文献２において、下流側装置の起動タイミングを適切に決定することが実際には難しい。さらに、特許文献４において、複数レベルの省エネモードから復帰するタイミングが難しく、特許文献５において、校正処理の実施時期と省エネモードとの兼ね合いが難しい。詳述すると、停止状態や省エネモードから通常の稼動モードに復帰するためには、復帰時間が必要になる。例えば、ディスプレイ装置の表示復帰は瞬時に行えるが、一般的に、動力電源や温度調節管理などの省エネ効果量が大きな電気負荷ほど、復帰時間は長くなる。加えて、基板生産装置には様々な種類や特性の違いがあり、稼動状況も時々で変化する。したがって、必要な復帰時間は、省エネモード時に停止される電気負荷に応じて変化し、さらには基板生産装置の種類や特性にも依存する。

このため、基板生産管理装置で中央集権的に個々の基板生産装置の起動タイミングを決定すると弊害が生じる。例えば、基板生産装置で省エネモードから稼動モードへの移行が遅くなりすぎて復帰時間が確保されず、工程作業の品質が低下する。また逆に、省エネモードから稼動モードへの移行が早くなりすぎて、十分な省エネ効果を得る機会を逸失する。したがって、基板生産管理装置から基板の搬入および搬出のタイミングを通知し、基板生産装置の側で個々の特性や稼動状況などを考慮して、自律分散的に省エネモードへの移行および復帰や、複数レベルの省エネモードの切り替えなどを行うことが好ましい。

本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、基板生産装置において基板が搬入可能および搬出可能になると予定される搬入予定時刻および搬出予定時刻のうち少なくとも一方を予測することにより、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方に寄与できる基板生産管理装置、基板生産装置、および基板生産ラインを提供することを解決すべき課題とする。

上記課題を解決する本発明の請求項１の基板生産管理装置は、相互に並んで配置され、かつそれぞれが基板を搬入し所定の工程作業を施して搬出する複数の基板生産装置とともに基板生産ラインを構成し、さらに前記複数の基板生産装置を管理する基板生産管理装置であって、前記複数の基板生産装置の各々が１枚の前記基板に前記工程作業を施すときに要する生産時間を取得する生産時間取得部と、前記複数の基板生産装置の各々の装置内に前記基板が有るか否かを確認する基板有無確認部と、前記複数の基板生産装置の各々の前記生産時間および前記基板の有無に基づいて、前記複数の基板生産装置の各々に前記基板が搬入可能になると予定される搬入予定時刻に関する情報、および、前記複数の基板生産装置の各々から前記基板が搬出可能になると予定される搬出予定時刻に関する情報のうち少なくとも一方の情報を予測する予定時刻予測部と、前記複数の基板生産装置の各々の前記少なくとも一方の情報を、それぞれの基板生産装置に通知する予定時刻通知部と、を備えた。

また、本発明の請求項２の基板生産装置は、請求項１に記載された基板生産管理装置とともに前記基板生産ラインを構成し、さらに前記基板を搬入し前記工程作業を施して搬出する基板生産装置であって、前記基板生産管理装置の前記予定時刻通知部から前記少なくとも一方の情報を取得する予定時刻取得部と、前記少なくとも一方の情報、および自装置内に前記基板が有るか否かを確認した基板有無情報に基づいて稼動状況を変更する稼動状況変更部と、を備えた。

さらに、本発明の請求項８の基板生産ラインは、請求項１に記載された基板生産管理装置と、請求項２に記載された基板生産装置の複数とを含んで構成された。

本発明の請求項１の基板生産管理装置は、複数の基板生産装置の生産時間および装置内の基板の有無に基づいて、基板の搬入予定時刻および搬出予定時刻の少なくとも一方に関する情報を予測し、それぞれの基板生産装置に通知する。これにより、基板生産装置の稼動状況の変更時期が示唆される。具体的には、基板生産装置の稼動モードと省エネモードとの切り替え時期、および、工程作業に先立つ準備作業の開始時期の少なくとも一方が示唆される。したがって、基板生産管理装置は、基板生産装置における適正な省エネモードの選択およびタイムリーな準備作業の実施の少なくとも一方に寄与できる。換言すると、基板生産管理装置は、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方に寄与できる。

また、本発明の請求項２の基板生産装置は、取得した搬入予定時刻および搬出予定時刻の少なくとも一方に関する情報に基づいて、稼動状況を変更することができる。具体的に、基板生産装置は、個々の特性や稼動状況などを考慮して自律分散的に、稼動モードと省エネモードとの切り替え時期、および、工程作業に先立つ準備作業の開始時期の少なくとも一方を決定する。これによれば、基板生産装置は、省エネモードを適正に選択でき、あるいは、タイムリーに準備作業を実施してスムーズに工程作業に進むことができる。したがって、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方が実現される。

さらに、本発明の請求項８の基板生産ラインによれば、ラインを構成する複数の基板生産装置のそれぞれで、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方が実現される。

第１実施形態の基板生産ラインの構成を模式的に示す構成図であり、第１事例で、基板生産ラインの第１基板生産装置に最初の基板が搬入されたときの状況を示す図を兼ねている。 第１実施形態の基板生産ラインの機能構成を示した機能ブロック図である。 実施形態の基板生産管理装置の処理フローを示した図である。 実施形態の基板生産装置の処理フローを示した図である。 第１事例で、第１基板生産装置の工程作業が遅延しながらも終了し、第１基板生産装置から第２基板生産装置に向かって基板が搬送された直後の状況を示す図である。 第２事例で、基板生産ラインの第１基板生産装置に最初の基板が搬入された直後の状況を示した図である。 第２事例で、基板生産ラインの第３基板生産装置に最後の基板が搬入された直後の状況を示した図である。 第２事例で、基板生産ラインの第７基板生産装置に中止まりの基板が搬入され、同時に第２および第１基板生産装置に基板が搬入された直後の状況を示した図である。 第２事例で、基板生産ラインの第４基板生産装置（電子部品装着装置）に部品切れが発生して基板に装着工程作業を施せず、搬送渋滞が発生した状況を示した図である。 第２実施形態の基板生産ラインの機能構成を示した機能ブロック図である。 第２実施形態における基板生産管理装置の処理フローを示した図である。 第２実施形態における基板生産装置の処理フローを示した図である。 基板堰き止め機能の開始時の状況を例示した図である。 基板堰き止め機能が作用している状況を例示した図である。 基板堰き止め機能の終了時の状況を例示した図である。

（１．第１実施形態の基板生産ライン１の構成および機能）
本発明の第１実施形態の基板生産ライン１について、図１〜図９を参考にして説明する。図１は、第１実施形態の基板生産ライン１の構成を模式的に示す構成図である。基板生産ライン１は、１台の基板生産管理装置２、および８台の第１〜第８基板生産装置４１〜４８で構成されている。基板生産管理装置２は、本発明の基板生産管理装置の一実施形態でもある。また、第１〜第８基板生産装置４１〜４８のそれぞれは、本発明の基板生産装置の一実施形態でもある。第７および第８基板生産装置４７、４８は、図１には省略されている。

基板生産管理装置２は、例えば、ＣＰＵを有してソフトウェアで動作するコンピュータ装置を用いて構成できる。基板生産管理装置２は、オペレータと情報交換を行うインターフェイスツールとして、図略の表示装置および入力装置を備える。第１〜第８基板生産装置４１〜４８は、相互に並んで配置され、かつそれぞれが上流側から基板を搬入し、所定の工程作業を施して、下流側に搬出する。

第１基板生産装置４１としてはんだ印刷装置を例示でき、第２基板生産装置４２としてはんだ検査装置を例示できる。第３〜第６基板生産装置４３〜４６として、それぞれ電子部品装着装置を例示できる。第７基板生産装置４７として基板外観検査装置を例示でき、第８基板生産装置４８としてリフロー装置を例示できる。例示した基板生産装置の工程作業の内容は公知であり、説明は省略する。第１〜第８基板生産装置４１〜４８は、例示した以外の基板生産装置であってもよい。また、基板生産ライン１を構成する基板生産装置の台数は、８台に限定されない。

基板生産管理装置２と第１〜第８基板生産装置４１〜４８との間は、図略の通信手段、例えば構内ＬＡＮなどにより通信接続されている。基板生産管理装置２は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８に向けて、基板の生産に関する各種の情報や指令を通知する（図１の破線の矢印）。逆に、第１〜第８基板生産装置４１〜４８は、基板生産管理装置２に向けて、稼動状況を報告する各種の情報や応答を通知する（図１の実線の矢印）。

図２は、第１実施形態の基板生産ライン１の機能構成を示した機能ブロック図である。基板生産管理装置２は、生産時間取得部２１、基板有無確認部２２、予定時刻予測部２３、予定時刻通知部２４、および生産終了通知部２５の機能を有する。一方、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々は、予定時刻取得部６１、待ち時間予測部６２、および稼動状況変更部６３の機能を有する。稼動状況変更部６３は、省エネモード切り替え部６４および準備作業開始部６５を含む。

（２．実施形態の基板生産管理装置２の動作）
次に、実施形態の基板生産管理装置２の動作について説明する。図３は、実施形態の基板生産管理装置２の処理フローを示した図である。図３において、「各装置」は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８を表している。基板生産ライン１で生産する基板の種類を変更するために、段取り替え作業が行われる。段取り替え作業と併せて、基板生産管理装置２は、図２のステップＳ１およびステップＳ２の処理を行う。

すなわち、ステップＳ１の初期設定で、基板生産管理装置２の生産終了通知部２５は、これから生産する基板の種類および生産予定数Ｎｔを設定する。基板の種類および生産予定数Ｎｔは、例えば、オペレータが入力装置を操作することによって入力される。さらに、生産終了通知部２５は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８のそれぞれの生産実績数Ｎｎ（ｉ）をゼロに設定し、それぞれの終了フラグＦ（ｉ）をクリアする。生産実績数Ｎｎ（ｉ）および終了フラグＦ（ｉ）のかっこ内の添字ｉは、第１〜第８の別を示す。生産の途中段階で、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産実績数Ｎｎ（１）〜Ｎｎ（８）は、相互に異なる。終了フラグＦ（ｉ）は、基板の生産実績数Ｎｎ（ｉ）が生産予定数Ｎｔに達したことを表すフラグである。

次のステップＳ２で、生産時間取得部２１は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産時間Ｔｐ（ｉ）を取得する。生産時間Ｔｐ（ｉ）は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々が１枚の基板に工程作業を施すために要する時間である。生産時間Ｔｐ（ｉ）は、基板の搬入、位置決め、位置解除、および搬出に要する時間を含んでいる。生産時間Ｔｐ（ｉ）は、例えば、生産の最適化のシミュレーションによって推定され、図略のデータベースに記憶され、生産時間取得部２１に転送される。なお、基板の生産が進んで実際の生産時間が判明した時点で、生産時間Ｔｐ（ｉ）を実際の生産時間に置き換えてもよい。

ステップＳ２の処理が終了し、かつ段取り替え作業が終了すると、基板生産管理装置２は、処理フローの実行をステップＳ３に進める。この後、基板生産管理装置２は、ステップＳ３以降の処理サイクルを所定のサイクル時間間隔で繰り返す。ステップＳ３で、基板有無確認部２２は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の装置内に基板が有るか否かを確認する。

次のステップＳ４で、生産終了通知部２５は、基板を搬出した基板生産装置に関して、生産実績数Ｎｎ（ｉ）を１だけ増加させる管理を行う。基板を搬出した基板生産装置は、前回の処理サイクルで装置内に基板が有り、工程作業が正常に終了して今回の処理サイクルで基板が無いことから判別できる。

次のステップＳ５で、予定時刻予測部２３は、前回の処理サイクルで装置内に基板が無く今回の処理サイクルで基板が有る基板生産装置から、実際に基板が搬入された搬入時刻ｔ１（ｉ）を取得する。また、予定時刻予測部２３は、前回の処理サイクルで装置内に基板が有り今回の処理サイクルで基板が無い基板生産装置から、実際に基板が搬出された搬出時刻ｔ２（ｉ）を取得する。

次のステップＳ６で、予定時刻予測部２３は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々に基板が搬入可能になると予定される搬入予定時刻ｔ３（ｉ）を予測する。この予測は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の生産時間Ｔｐ（ｉ）および基板の有無に基づいて行われ、搬入時刻ｔ１（ｉ）も参照される。例えば、最上流の第１基板生産装置４１において、上流側装置が存在しないので、基板が準備されていれば直ちに搬入が可能である。したがって、搬入予定時刻ｔ３（１）は、現在時刻ｔｎｏｗと予測される。

また例えば、第２基板生産装置４２において、搬入予定時刻ｔ３（２）は、上流側の第１基板生産装置４１の工程作業の進捗状況に依存する。第１基板生産装置４１の装置内に基板が有って工程作業が終了している場合、直ちに第２基板生産装置４２に向けての搬出が可能である、したがって、第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、現在時刻ｔｎｏｗと予測される。

また、第１基板生産装置４１の装置内に基板が有っても工程作業が開始された直後である場合、工程作業が終了してから、基板が第３基板生産装置４３に向けて搬出される。したがって、第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、第１基板生産装置４１の生産時間Ｔｐ（１）の分だけ現在時刻ｔｎｏｗから遅れる。さらに、第１基板生産装置４１の装置内に基板が有って工程作業が途中である場合、第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、第１基板生産装置４１の搬入時刻ｔ１（１）から生産時間Ｔｐ（１）だけ遅れた時刻となる。

さらに例えば、第３基板生産装置４３において、搬入予定時刻ｔ３（３）は、上流側の第１および第２基板生産装置４１、４２の工程作業の進捗状況に依存する。すなわち、第２基板生産装置４２の装置内に基板が有って工程作業が終了している場合、直ちに第３基板生産装置４３に向けての搬出が可能である。したがって、第３基板生産装置４３の搬入予定時刻ｔ３（３）は、現在時刻ｔｎｏｗと予測される。

また、第２基板生産装置４１の装置内に基板が無く、第１基板生産装置４１の装置内に基板が有って工程作業が開始された直後という場合を想定できる。この場合、第１基板生産装置４１の工程作業および第２基板生産装置４２の工程作業が終了してから、基板が第３基板生産装置４３に向けて搬出される。したがって、第３基板生産装置４３の搬入予定時刻ｔ３（３）は、第１基板生産装置４１の生産時間Ｔｐ（１）および第２基板生産装置４２の生産時間Ｔｐ（２）を加算した分だけ現在時刻ｔｎｏｗから遅れる。

上記の説明で分かるように、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の搬入予定時刻ｔ３（ｉ）は、上流側の基板生産装置の工程作業の進捗状況に依存する。このため、予定時刻予測部２３は、上流側の第１基板生産装置４１から下流側の第８基板生産装置４８へと順番に、搬入予定時刻ｔ３（１）、ｔ３（２）、……、ｔ３（８）を予測していく。

次のステップＳ７で、予定時刻予測部２３は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々から基板が搬出可能になると予定される搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を予測する。この予測は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の生産時間Ｔｐ（ｉ）および基板の有無に基づいて行われる。ここで、第１〜第８基板生産装置４１〜４８が工程作業の終了していない基板を搬出できないのは自明である。上記した搬出予定時刻ｔ４（ｉ）は、下流側装置の搬送渋滞などに起因して基板を搬出できない場合に、搬出が可能となる予定時刻を意味する。つまり、搬出予定時刻ｔ４（ｉ）は、自装置内の基板の有無および工程作業の進捗状況に関係なく予測される。例えば、最下流の第８基板生産装置４８では、下流側装置が存在しないので直ちに搬出が可能であり、搬出予定時刻ｔ４（８）は現在時刻ｔｎｏｗとなる。

また例えば、第７基板生産装置４７において、搬出予定時刻ｔ４（７）は、下流側の第８基板生産装置４８の工程作業の進捗状況に依存する。すなわち、第８基板生産装置４８の装置内に基板が有って工程作業が終了している場合、次の基板の受け入れ態勢は整っている。したがって、直ちに第８基板生産装置４８への基板の搬入が可能であり、第７基板生産装置４７の搬出予定時刻ｔ４（７）は、現在時刻ｔｎｏｗと予測される。また、第８基板生産装置４８の装置内に基板が有っても工程作業が開始された直後である場合、工程作業が終了してから次の基板の受け入れ態勢が整う。したがって、第７基板生産装置４７の搬出予定時刻ｔ４（７）は、第８基板生産装置４８の生産時間Ｔｐ（８）の分だけ現在時刻ｔｎｏｗから遅れる。

上記の説明で分かるように、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の搬出予定時刻ｔ４（ｉ）は、下流側装置の工程作業の進捗状況に依存する。このため、予定時刻予測部２３は、下流側の第８基板生産装置４８から上流側の第１基板生産装置４１へと順番に、搬出予定時刻ｔ４（８）、ｔ４（７）、……、ｔ４（１）を予測してゆく。第１〜第８基板生産装置４１〜４８のいずれかの装置内に基板が無くても、順番に搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を予測することで、第１〜第８基板生産装置４１〜４８のそれぞれの搬出予定時刻ｔ４（ｉ）が得られる。

なお、ステップＳ６で、予定時刻予測部２３は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）に代えて、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々に基板が搬入可能になると予定されるまでの搬入待ち時間を予測してもよい。同様に、ステップＳ７で、予定時刻予測部２３は、搬出予定時刻ｔ４（ｉ）に代えて、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々から基板が搬出可能になると予定されるまでの搬出待ち時間を予測してもよい。

次のステップＳ８で、生産終了通知部２５は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産実績数Ｎｎ（ｉ）が生産予定数Ｎｔに達しているか否かに応じて、処理フローの分岐先を決定する。第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産実績数Ｎｎ（１）〜Ｎｎ（８）の一部または全部が生産予定数Ｎｔに達している場合、ステップＳ９で、当該の基板生産装置の終了フラグＦ（ｉ）をセットする。セットされた終了フラグＦ（ｉ）は、生産終了指令に相当する。

第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産実績数Ｎｎ（ｉ）のいずれも生産予定数Ｎｔに達していない場合、およびステップＳ９の実施後、生産終了通知部２５は、処理フローの実行をステップＳ１０に進める。ステップＳ１０で、予定時刻通知部２４は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を当該の第１〜第８基板生産装置４１〜４８にそれぞれ通知する。つまり、予定時刻通知部２４は、搬入予定時刻ｔ３（１）および搬出予定時刻ｔ４（１）を第１基板生産装置４１に通知し、搬入予定時刻ｔ３（２）および搬出予定時刻ｔ４（２）を第２基板生産装置４２に通知し、………、搬入予定時刻ｔ３（８）および搬出予定時刻ｔ４（８）を第８基板生産装置４８に通知する。

また、生産終了通知部２５は、終了フラグＦ（１）を第１基板生産装置４１に通知し、終了フラグＦ（２）を第２基板生産装置４２に通知し、………、終了フラグＦ（８）を第８基板生産装置４８に通知する。これで、一連の処理サイクルが終了し、処理フローの実行がステップＳ３に戻される。

（３．実施形態の基板生産装置の動作）
次に、実施形態の基板生産装置の動作について説明する。第１〜第８基板生産装置４１〜４８の動作は同じであるので、「第１〜第８」の冠詞およびかっこ付きの添字ｉを省略して説明する。図４は、実施形態の基板生産装置の処理フローを示した図である。

図４のステップＳ３１の初期設定で、基板生産装置２の省エネモード切り替え部６４は、第１省エネ移行時間Ｔｓ１および第２省エネ移行時間Ｔｓ２を設定する。この設定は、例えば、オペレータの入力操作によって行われる。第２省エネ移行時間Ｔｓ２は、後述するように稼動モードと第２省エネモードとを分ける閾時間である。第１省エネ移行時間Ｔｓ１は、第２省エネ移行時間Ｔｓ２よりも長く、後述するように第２省エネモードと第１省エネモードとを分ける閾時間である。

第１省エネモードおよび第２省エネモードにおいて、基板生産装置は、自装置内の一部の電気負荷を停止する。第１省エネモードは、第２省エネモードと比較して停止する電気負荷の範囲が拡がっている。したがって、第１省エネモードは、第２省エネモードと比較して省エネ効果量が相対的に大きい。

例えば、電子部品装着装置は、第２省エネモードにおいて、基板搬送部の駆動モータやフィーダ式部品供給部のテープ繰り出しモータ、装着ヘッドに採取された電子部品を撮像する部品カメラなどを停止する。さらに、電子部品装着装置は、第１省エネモードにおいて、上記した駆動モータ、テープ繰り出しモータ、および部品カメラに加え、装着ヘッドを駆動するＸ−Ｙ駆動機構を停止する。また例えば、はんだ印刷装置は、第２省エネモードにおいて、基板搬送部の駆動モータなどを停止する。さらに、はんだ印刷装置は、第１省エネモードにおいて、上記した駆動モータに加え、はんだの温度調節管理部、および印刷用スキージを往復駆動する駆動モータを停止する。

上記の例から分かるように、第１省エネモードおよび第２省エネモードで停止する電気負荷は、基板生産装置の種類に応じて変化する。また、停止状態から復帰する電気負荷の特性も様々である。したがって、第１省エネ移行時間Ｔｓ１および第２省エネ移行時間Ｔｓ２は、全部の基板生産装置で一致させる必要はなく、基板生産装置ごとに異なっていてもよい。例えば、第１省エネ移行時間Ｔｓ１は６０秒に設定され、第２省エネ移行時間Ｔｓ２は３０秒に設定される。なお、第１省エネ移行時間Ｔｓ１および第２省エネ移行時間Ｔｓ２を設定しない基板生産装置、換言すると省エネ効果を期待しない基板生産装置が有ってもよい。

処理フローに戻り、ステップＳ３１の初期設定で、準備作業開始部６５は、準備時間Ｔｓ３を設定する。この設定は、例えば、オペレータの入力操作によって行われる。準備時間Ｔｓ３は、工程作業に先立つ準備作業の時間を確保するために設定される。準備時間Ｔｓ３は、第２省エネ移行時間Ｔｓ２以下に定められる。実際には、先に準備時間Ｔｓ３が定められ、次に、準備時間Ｔｓ３以上となる第２省エネ移行時間Ｔｓ２が定められる。

例えば、電子部品装着装置における準備作業として、Ｘ−Ｙ駆動機構のキャリブレーション作業を例示できる。詳述すると、Ｘ−Ｙ駆動機構の構成部材が温度に依存して伸縮すると、装着ヘッドの位置に制御誤差が発生する。したがって、キャリブレーション作業を行うことで制御誤差の影響を低減でき、部品装着工程の作業品質を高められる。キャリブレーション作業は、一定時間間隔（例えば３０分間隔）で行うことが好ましいが、これに限定されない。

また例えば、はんだ印刷装置における準備作業として、印刷パターンが形成されたマスクのクリーニング作業を例示できる。詳述すると、はんだ印刷を続けていると、はんだがマスクに固着して印刷ムラなどの原因となり得る。このため、自動クリー二ング機能を用いてマスクをクリーニングすることで、はんだ印刷工程の作業品質を高められる。クリーニング作業は、所定枚数の基板に印刷工程作業を施した都度行うことが好ましいが、これに限定されない。また、温度調節管理部が停止状態から復帰して、はんだの温度を適正化する温度管理作業も準備作業の例である。

上記した電子部品装着装置のキャリブレーション作業や、はんだ印刷装置のクリーニング作業および温度管理作業を行う所要時間よりも長めに、準備時間Ｔｓ３が設定される。したがって、準備時間Ｔｓ３は、基板生産装置の種類や特性に応じて個別に設定されることが好ましい。なお、準備時間Ｔｓ３の不要な基板生産装置が有ってもよい。

ステップＳ３１の処理が終了すると、基板生産装置は、処理フローの実行をステップＳ３２に進める。この後、基板生産装置は、ステップＳ３２以降の処理サイクルを所定のサイクル時間間隔で繰り返す。ステップＳ３２で、予定時刻取得部６１は、基板生産管理装置２の予定時刻通知部２４から、搬入予定時刻ｔ３および搬出予定時刻ｔ４を取得する。また、省エネモード切り替え部６４は、基板生産管理装置２の生産終了通知部２５から、終了フラグＦを取得する。

次のステップＳ３３で、省エネモード切り替え部６４は、終了フラグＦがセットされているか否か判定する。終了フラグＦがセットされている場合、省エネモード切り替え部６４は、処理フローの実行をステップＳ３９に進める。終了フラグＦがクリアされている場合、省エネモード切り替え部６４は、処理フローの実行をステップＳ３４に進める。

ステップＳ３４で、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が有るか否かを判定し、さらに、基板が有る場合には工程作業の進捗状況を判定する。待ち時間予測部６２は、基板が無い場合に処理フローの実行をステップＳ３５に進め、工程作業の終了した基板が有る場合に処理フローの実行をステップＳ３７に進め、工程作業の終了していない基板が有る場合に処理フローの実行をステップＳ４１に進める。

ステップＳ３５で、待ち時間予測部６２は、搬入予定時刻ｔ３から現在時刻ｔｎｏｗを減算して搬入待ち時間Ｔ５を求める。さらに、省エネモード切り替え部６４は、搬入待ち時間Ｔ５が第１省エネ移行時間Ｔｓ１を超えているか否か判定し、超えている場合に処理フローの実行をステップＳ３９に進め、超えていない場合に処理フローの実行をステップＳ３６に進める。ステップＳ３６で、省エネモード切り替え部６４は、搬入待ち時間Ｔ５が第２省エネ移行時間Ｔｓ２を超えているか否か判定し、超えている場合に処理フローの実行をステップＳ４０に進め、超えていない場合に処理フローの実行をステップＳ４１に進める。

また、ステップＳ３７で、待ち時間予測部６２は、搬出予定時刻ｔ４から現在時刻ｔｎｏｗを減算して搬出待ち時間Ｔ６を求める。さらに、省エネモード切り替え部６４は、搬出待ち時間Ｔ６が第１省エネ移行時間Ｔｓ１を超えているか否か判定し、超えている場合に処理フローの実行をステップＳ３９に進め、超えていない場合に処理フローの実行をステップＳ３８に進める。ステップＳ３８で、省エネモード切り替え部６４は、搬出待ち時間Ｔ６が第２省エネ移行時間Ｔｓ２を超えているか否か判定し、超えている場合に処理フローの実行をステップＳ４０に進め、超えていない場合に処理フローの実行をステップＳ４１に進める。

ステップＳ３９において、省エネモード切り替え部６４は、稼動状況の変更として、次の第１〜第３ケースで第１省エネモードを選択する。第１ケースは、終了フラグＦがセットされたケースである。第１ケースでは、或る種類の基板の生産が終了し、次に生産する基板の種類に対応して段取り替え作業が終わるまでの長い間、稼動する可能性は生じない。第２ケースは、自装置内に基板が無くかつ搬入待ち時間Ｔ５が第１省エネ移行時間Ｔｓ１を超えているケースである。第２ケースでは、比較的長い時間に渡って基板を搬入できないので、その間稼動する可能性は生じない。第３ケースは、自装置内に工程作業の終了した基板が有りかつ搬出待ち時間Ｔ６が第１省エネ移行時間Ｔｓ１を超えているケースである。第３ケースでは、比較的長い時間に渡って基板を搬出できないので、その間稼動する可能性は生じない。したがって、第１〜第３ケースで、省エネ効果量が相対的に大きな第１省エネモードを選択しても、稼動に支障は生じない。ステップＳ３９の実施後、処理フローの実行は、ステップＳ３２に戻される。

ステップＳ４０で、省エネモード切り替え部６４は、稼動状況の変更として、次の第４および第５ケースで第２省エネモードを選択する。第４ケースは、自装置内に基板が無くかつ搬入待ち時間Ｔ５が第１省エネ移行時間Ｔｓ１以下であって第２省エネ移行時間Ｔｓ２を超えている４ケースである。第４ケースでは、比較的短い時間に渡って基板を搬入できないので、その間稼動する可能性は生じない。第５ケースは、自装置内に工程作業の終了した基板が有りかつ搬出待ち時間Ｔ６が第１省エネ移行時間Ｔｓ１以下であって第２省エネ移行時間Ｔｓ２を超えているケースである。第５ケースでは、比較的短い時間に渡って基板を搬出できないので、その間稼動する可能性は生じない。したがって、第４および第５ケースで、省エネ効果量が相対的に小さい第２省エネモードを選択しても、稼動に支障は生じない。ステップＳ４０の実施後、処理フローの実行は、ステップＳ３２に戻される。

ステップＳ４１で、省エネモード切り替え部６４は、稼動状況の変更として、次の第６〜第８ケースで通常の稼動モードを選択する。第６ケースは、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るケースである。第６ケースでは、工程作業を施す必要があるので、当然ながら一部の電気負荷を停止することはできない。第７ケースは、搬入待ち時間Ｔ５が第２省エネ移行時間Ｔｓ２以下となるケースである。第８ケースは、搬出待ち時間Ｔ６が第２省エネ移行時間Ｔｓ２以下となるケースである。第７および第８ケースでは、基板の搬入および搬出の少なくとも一方が差し迫っているので、一部の電気負荷を停止することはできない。

ステップＳ４１に続くステップＳ４２で、準備作業開始部６５は、準備作業が必要である第１条件、および搬入待ち時間Ｔ５が準備時間Ｔｓ３以下まで減少している第２条件の両方が成立しているか否かを判定する。第１条件は、例えば、前述したキャリブレーション作業において一定時間間隔を経過しているか否か、あるいは前述したクリーニング作業において所定枚数の基板に達しているか否か、などにより判定できる。

第１条件および第２条件が成立している場合のステップＳ４３で、準備作業開始部６５は、準備作業を開始する。ステップＳ４２で第１条件および第２条件の少なくとも一方が成立していない場合、ならびにステップＳ４３の処理を実施した後、処理フローの実行は、ステップＳ４４に進められる。ステップＳ４４で、基板生産装置は通常の稼動状態となる。すなわち、基板生産装置は、基板の搬入、工程作業、および基板の搬出のいずれかを行える。これで、一連の処理サイクルが終了し、処理フローの実行がステップＳ３２に戻される。

なお、準備時間Ｔｓ３と第２省エネ移行時間Ｔｓ２とが等しく設定されている場合、第２条件は既にステップＳ３６で成立していることが明らかである。この場合、第２省エネモードから稼動モードへの切り替えと、準備作業の開始とが同時になる。

（４．第１実施形態の基板生産ライン１の全体動作の第１事例）
次に、第１実施形態の基板生産ライン１の全体動作について、第１事例により説明する。以降の説明を簡明化するために、次のような第１事例を考える。第７、第８基板生産装置４７、４８は省略し、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の生産時間Ｔｐ（ｉ）は全て50秒、第１省エネ移行時間Ｔｓ１は全て60秒、第２省エネ移行時間Ｔｓ２は全て30秒とする。現在時刻ｔｎｏｗは、９時00分00秒とする。基板生産管理装置２および第１〜第６基板生産装置４１〜４６は、８時59分50秒に１回目の処理サイクルを実行し、以降10秒のサイクル時間間隔（実際には10秒よりも短い）で処理サイクルを繰り返す。基板生産管理装置２および第１〜第６基板生産装置４１〜４６の処理時間および通信時間は、極めて短く無視できる。

図１は、第１事例で、基板生産ライン１の第１基板生産装置４１に最初の基板Ｋが搬入されたときの状況を示す図を兼ねている。この事例で、基板生産管理装置２は、現在時刻ｔｎｏｗの９時00分00秒に２回目の処理サイクルを実行する。これにより、基板有無確認部２２は、第１基板生産装置４１から「基板有り」の情報Ｅｘを取得し、第２〜第６基板生産装置４２〜４６から「基板無し」の情報Ｎｅを取得する。また、予定時刻予測部２３は、「基板無し」から「基板有り」に状態変化した第１基板生産装置４１から、搬入時刻ｔ１（１）の９時00分00秒を取得する。

次に、予定時刻予測部２３は、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の各搬入予定時刻ｔ３（ｉ）を予測する。第１基板生産装置４１の搬入予定時刻ｔ３（１）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時00分00秒と予測される。第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、第１基板生産装置４１で生産工程を施す分だけ遅れる。このため、第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、現在時刻ｔｎｏｗに第１基板生産装置４１の生産時間Ｔｐ（１）＝50秒を加算して、９時00分50秒と予測される。

第３基板生産装置４３の搬入予定時刻ｔ３（３）は、第１および第２基板生産装置４１４２で生産工程を施す分だけ遅れるので、９時01分40秒と予測される。以下、第４基板生産装置４４の搬入予定時刻ｔ３（４）は９時02分30秒、第５基板生産装置４５の搬入予定時刻ｔ３（５）は９時03分20秒、第６基板生産装置４６の搬入予定時刻ｔ３（６）は９時04分10秒とそれぞれ予測される。

また、予定時刻予測部２３は、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の搬出予定時刻ｔ４（１）〜ｔ４（６）を予測する。現在時刻ｔｎｏｗにおいて、下流側装置である第２〜第７基板生産装置４２〜４７に基板が無い。このため、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の搬出予定時刻ｔ４（１）〜ｔ４（６）は、全て現在時刻ｔｎｏｗの９時00分00秒と予測される。

次に、基板生産管理装置２の予定時刻通知部２４は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を当該の第１〜第６基板生産装置４１〜４６にそれぞれ通知する。図１の第１〜第６基板生産装置４１〜４６の下側に、それぞれ通知された搬入予定時刻ｔ３（１）〜ｔ３（６）が示されている。

一方、第１基板生産装置４１において、待ち時間予測部６２は、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、搬入待ち時間Ｔ５（１）や搬出待ち時間Ｔ６（１）を求める必要はない。そして、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。第２基板生産装置４２において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（２）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（２）は搬入予定時刻ｔ３（２）の９時00分50秒から現在時刻ｔｎｏｗの９時00分00秒を減算して求められ、50秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを選択する。

また、第３基板生産装置４３において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（３）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（３）は、１分40秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。さらに、第４〜第６基板生産装置４４〜４６において、搬入待ち時間Ｔ５（４）〜Ｔ５（６）は、１分40秒よりも大きくなる。したがって、それぞれの省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。

時間が経過して、現在時刻ｔｎｏｗが９時00分10秒になると、基板生産管理装置２および第１〜第６基板生産装置４１〜４６は、３回目の処理サイクルを実行する。このとき、予定時刻予測部２３によって予測される各搬入予定時刻ｔ３（ｉ）は変化しない。また、予測される搬出予定時刻ｔ４（ｉ）は、全て９時00分10秒となる。第１〜第６基板生産装置４１〜４６の稼動状況は、変化しない。

さらに時間が経過して、現在時刻ｔｎｏｗが９時00分20秒になると、基板生産管理装置２および第１〜第６基板生産装置４１〜４６は、４回目の処理サイクルを実行する。このとき、予定時刻予測部２３によって予測される各搬入予定時刻ｔ３（ｉ）は変化しない。また、予測される各搬出予定時刻ｔ４（ｉ）は、全て９時00分20秒となる。

ここで、第２基板生産装置４２において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（２）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（２）は搬入予定時刻ｔ３（２）の９時00分50秒から現在時刻ｔｎｏｗの９時00分20秒を減算して求められ、30秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを終了して、稼動モードを選択する。これにより、第２基板生産装置４２は、準備作業および通常の稼動が可能な状況となる。一方、第１、第３〜第６基板生産装置４１、４３〜４６の稼動状況は変化しない。さらに時間が経過して、第２基板生産装置４２で搬入待ち時間Ｔ５（２）が準備時間Ｔｓ３まで減少すると、必要な準備作業が開始される。

次に、第１基板生産装置４１の工程作業が何らかの原因で遅延して、基板Ｋの搬出が９時10分00秒になった場合を想定する。図５は、第１事例で、第１基板生産装置４１の工程作業が遅延しながらも終了し、第１基板生産装置４１から第２基板生産装置４２に向かって基板Ｋが搬送された直後の状況を示す図である。このとき、第１基板生産装置４１は、基板Ｋの搬出のみを行い、搬入は行っていない。

上記の事例では、基板生産管理装置２および第１〜第６基板生産装置４１〜４６は、９時10分00秒に処理サイクルを実行する。これにより、基板有無確認部２２は、第２基板生産装置４２から「基板有り」の情報Ｅｘを取得し、第１および第３〜第６基板生産装置４１、４３〜４６から「基板無し」の情報Ｎｅを取得する。また、予定時刻予測部２３は、「基板有り」から「基板無し」に状態変化した第１基板生産装置４１から、搬出時刻ｔ２（１）の９時10分00秒を取得する。さらに、予定時刻予測部２３は、「基板無し」から「基板有り」に状態変化した第２基板生産装置４２から、搬入時刻ｔ１（２）の９時10分00秒を取得する。

次に、予定時刻予測部２３は、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の各搬入予定時刻ｔ３（ｉ）を予測する。第１および第２基板生産装置４１、４２の搬入予定時刻ｔ３（１）、ｔ３（２）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時10分00秒と予測される。第３基板生産装置４３の搬入予定時刻ｔ３（３）は、第２基板生産装置４２で生産工程を施す分だけ遅れる。このため、搬入予定時刻ｔ３（３）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時10分00秒に第２基板生産装置４２の生産時間Ｔｐ（２）の50秒を加算して、９時10分50秒と予測される。以下、第４基板生産装置４４の搬入予定時刻ｔ３（４）は９時11分40秒、第５基板生産装置４５の搬入予定時刻ｔ３（５）は９時12分30秒、第６基板生産装置４６の搬入予定時刻ｔ３（６）は９時13分20秒とそれぞれ予測される。

また、予定時刻予測部２３は、第１〜第６基板生産装置４１〜４６の各搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を予測する。現在時刻ｔｎｏｗにおいて、下流側装置である第３〜第７基板生産装置４３〜４７に基板が無い。したがって、第２〜第６基板生産装置４２〜４６の搬出予定時刻ｔ４（２）〜ｔ４（６）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時10分00秒と予測される。第１基板生産装置４１の搬出予定時刻ｔ４（１）は、第２基板生産装置４２の生産時間Ｔｐ（２）の分だけ現在時刻ｔｎｏｗから遅れるので、９時10分50秒と予測される。

次に、基板生産管理装置２の予定時刻通知部２４は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を当該の第１〜第６基板生産装置４１〜４６にそれぞれ通知する。図５の第１〜第６基板生産装置４１〜４６の下側に、それぞれ通知された搬入予定時刻ｔ３（１）〜ｔ３（６）、および搬出予定時刻ｔ４（１）〜ｔ４（６）が示されている。

一方、第１基板生産装置４１において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（１）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（１）は搬入予定時刻ｔ３（１）から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められ、０秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。第２基板生産装置４２において、待ち時間予測部６２は、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、搬入待ち時間Ｔ５（２）や搬出待ち時間Ｔ６（２）を求める必要はない。そして、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

第３基板生産装置４３において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（３）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（３）は搬入予定時刻ｔ３（３）から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められ、50秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを選択する。第４基板生産装置４４において、待ち時間予測部６２は、自装置内に基板が無いので、搬入待ち時間Ｔ５（４）を求める。搬入待ち時間Ｔ５（４）は搬入予定時刻ｔ４（３）から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められ、１分40秒となる。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。さらに、第５および第６基板生産装置４５、４６において、搬入待ち時間Ｔ５（５）、Ｔ５（６）は１分40秒よりも大きくなる。したがって、それぞれの省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。

上記したように、基板の搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）の長短に応じて、第１〜第６基板生産装置４１〜４６は、適正に稼動モード、第２省エネモード、および第１省エネモードを選択できる。したがって、総合的に大きな省エネ効果が得られる。また、搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）が準備時間Ｔｓ３まで減少する以前に、または減少するのと同時に、第２省エネモードから稼動モードに移行される。したがって、実際に基板が搬入されるまでにタイムリーに準備作業が終了してスムーズに工程作業に進むことができ、良好な工程作業品質が得られる。

（５．第１実施形態の基板生産ライン１の全体動作の第２事例）
次に、第１実施形態の基板生産ライン１の全体動作について、第２事例により説明する。以降の説明を簡明化するために、次のような第２事例を考える。第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産時間Ｔｐ（ｉ）は全て25秒、第１省エネ移行時間Ｔｓ１は全て60秒、第２省エネ移行時間Ｔｓ２は全て30秒とする。

図６は、第２事例で、基板生産ライン１の第１基板生産装置４１に最初の基板Ｋ１が搬入された直後の状況を示した図である。この事例では、第１基板生産装置４１において、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。また、第２基板生産装置４２において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（２）＝25秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

さらに、第３基板生産装置４３において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（３）＝50秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを選択する。第４基板生産装置４４において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（４）＝１分15秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。第５〜第８基板生産装置４５〜４８において、搬入待ち時間Ｔ５（５）〜Ｔ５（８）は１分15秒より大きくなるので、それぞれの省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。

図７は、第２事例で、基板生産ライン１の第３基板生産装置４３に最後の基板Ｋ２が搬入された直後の状況を示した図である。このとき、第４〜第８基板生産装置４４〜４８にも、同時に順送りに基板が搬入されている。この事例において、第１および第２基板生産装置４１、４２は、生産実績数が生産予定数に達する最後の基板Ｋを搬出し終えている。このため、基板生産管理装置２の生産終了通知部２５は、セットされた終了フラグＦ（１）、Ｆ（２）を第１および第２基板生産装置４１、４２に通知する。また、生産終了通知部２５は、クリアされた終了フラグＦ（３）〜Ｆ（８）を第３〜第８基板生産装置４３〜４８に通知する。

第１および第２基板生産装置４１、４２において、省エネモード切り替え部６４は、セットされた終了フラグＦ（１）、Ｆ（２）に基づいて、第１省エネモードを選択する。第３〜第８基板生産装置４３〜４８において、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

図８は、第２事例で、基板生産ライン１の第７基板生産装置４７に中止まりの基板Ｋ３が搬入され、同時に第２および第１基板生産装置４２、４１に基板Ｋ４、Ｋ５が搬入された直後の状況を示した図である。このとき、第３〜第６、および第８基板生産装置４３〜４６、４８の装置内に、基板は無い。中止まりの基板Ｋ３とは、前後の第６および第８基板生産装置４６、４８の装置内に基板が無い状況を意味する。

この事例では、第１および第２基板生産装置４１、４２において、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。第３基板生産装置４３において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（３）＝25秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。さらに、第４基板生産装置４４において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（４）＝50秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを選択する。

第５基板生産装置４５において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（５）＝１分15秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。第６基板生産装置４６において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（６）＝１分40秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択する。第７基板生産装置４７において、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。第８基板生産装置４８において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（８）＝25秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

図９は、第２事例で、基板生産ライン１の第４基板生産装置４４（電子部品装着装置）に部品切れが発生して基板Ｋ７に装着工程作業を施せず、搬送渋滞が発生した状況を示した図である。この状況下で、第５〜第７基板生産装置４５〜４７は、工程作業を終了した基板Ｋ６を既に第８基板生産装置４８まで搬出している。この事例では、第１〜第３基板生産装置４１〜４３において、自装置内の基板の工程作業が終了している。

基板生産管理装置２の予定時刻予測部２３は、第１〜第５基板生産装置４１〜４５の搬入予定時刻ｔ３（１）〜ｔ３（５）を現在時刻ｔｎｏｗと予測する。その理由は、直ちに第４基板生産装置４４に部品補給が行われて短時間で工程作業が終了して、基板が搬送される可能性があるからである。このため、第１〜第５基板生産装置４１〜４５において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（５）＝０秒と予測する。したがって、それぞれの省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

また、第６基板生産装置４６において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（６）＝25秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。第７基板生産装置４７において、待ち時間予測部６２は、搬入待ち時間Ｔ５（７）＝50秒と予測する。したがって、省エネモード切り替え部６４は、第２省エネモードを選択する。第８基板生産装置４８において、自装置内に工程作業の終了していない基板が有るので、省エネモード切り替え部６４は、稼動モードを選択する。

次に、図９の状況で、第４基板生産装置４４の部品補給に要する部品補給時間が、例えば３分と設定されている場合を想定する。部品補給時間は、所定値として予め設定しておくことが可能であり、あるいは、部品切れが発生した都度オペレータが個別に設定することもできる。この場合、基板生産管理装置２の予定時刻予測部２３は、第４基板生産装置４４の搬入予定時刻ｔ３（４）および搬出予定時刻ｔ４（４）を、部品補給時間が経過した３分後と予測できる。さらに、予定時刻予測部２３は、第１〜第３基板生産装置４１〜４３の搬出予定時刻ｔ４（１）〜ｔ４（３）を３分後と予測でき、第５〜第８基板生産装置４５〜４８の搬入定時刻ｔ３（５）〜ｔ３（８）を３分後以降と予測できる。

これにより、第１〜第４基板生産装置４１〜４４における搬出待ち時間Ｔ６（１）〜Ｔ６（４）および第４〜第８基板生産装置４４〜４８における搬入待ち時間Ｔ５（４）〜Ｔ５（８）は、３分以上となる。したがって、各々の省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードを選択できる。そして、時間の経過とともに、搬出待ち時間Ｔ６（１）〜Ｔ６（４）および搬入待ち時間Ｔ５（４）〜Ｔ５（８）が減少する。したがって、各々の省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードから第２省エネモードへの移行、および第２省エネモードから稼動モードへの移行を適宜行える。

ここで、第４基板生産装置４４における部品補給は、設定された部品補給時間内にちょうど完了するとは限らない。部品補給時間が経過するよりも早く部品補給が完了した場合に、直後の処理サイクルで、予定時刻予測部２３は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を早めるように修正する。また、部品補給時間が経過しても部品補給が完了しない場合に、以降の処理サイクルで、予定時刻予測部２３は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）をサイクル時間間隔ずつ遅延させるように修正する。これらの修正に伴い、予定時刻通知部２４は、修正された搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を第１〜第８基板生産装置４１〜４８にそれぞれ通知する。

これにより、通知を受けた第１〜第８基板生産装置４１〜４８の省エネモード切り替え部６４は、第１省エネモードから第２省エネモードへの移行のタイミング、および第２省エネモードから稼動モードへの移行のタイミングを適宜修正できる。

第２事例で説明したように、基板の搬送状況に関する搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）および搬出待ち時間Ｔ６（ｉ）を把握することにより、第１〜第８基板生産装置４１〜４８において、効果的に第１省エネモードおよび第２省エネモードを選択できる。

（６．第１実施形態の基板生産ライン１の態様および効果）
実施形態の基板生産管理装置２は、相互に並んで配置され、かつそれぞれが基板を搬入し所定の工程作業を施して搬出する複数の第１〜第８基板生産装置４１〜４８とともに基板生産ライン１を構成し、さらに第１〜第８基板生産装置４１〜４８を管理する基板生産管理装置２であって、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々が１枚の基板に工程作業を施すときに要する生産時間Ｔｐ（ｉ）を取得する生産時間取得部２１と、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の装置内に基板が有るか否かを確認する基板有無確認部２２と、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の生産時間生産時間Ｔｐ（ｉ）および基板の有無に基づいて、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々に基板が搬入可能になると予定される搬入予定時刻ｔ３（ｉ）に関する情報、および、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々から基板が搬出可能になると予定される搬出予定時刻ｔ４（ｉ）に関する情報のうち少なくとも一方の情報を予測する予定時刻予測部２３と、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各々の少なくとも一方の情報を、それぞれの第１〜第８基板生産装置４１〜４８に通知する予定時刻通知部２４と、を備えた。

これによれば、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産時間Ｔｐ（ｉ）および装置内の基板の有無に基づいて、基板の搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時ｔ４（ｉ）の少なくとも一方に関する情報を予測し、それぞれの第１〜第８基板生産装置４１〜４８に通知する。これにより、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の稼動状況の変更時期が示唆される。具体的には、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の稼動モードと省エネモードとの切り替え時期、および、工程作業に先立つ準備作業の開始時期の少なくとも一方が示唆される。したがって、基板生産管理装置２は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８における適正な省エネモードの選択およびタイムリーな準備作業の実施の少なくとも一方に寄与できる。換言すると、基板生産管理装置２は、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方に寄与できる。

また、実施形態の基板生産装置４１〜４８は、実施形態の基板生産管理装置２とともに基板生産ライン１を構成し、さらに基板を搬入し工程作業を施して搬出する基板生産装置であって、基板生産管理装置２の予定時刻通知部２４から搬入予定時刻ｔ３および搬出予定時刻ｔ４の少なくとも一方に関する情報を取得する予定時刻取得部６１と、少なくとも一方の情報、および自装置内に基板が有るか否かを確認した基板有無情報に基づいて稼動状況を変更する稼動状況変更部６３と、を備えた。

これによれば、取得した搬入予定時刻ｔ３および搬出予定時刻ｔ４の少なくとも一方に関する情報に基づいて、稼動状況を変更することができる。具体的に、基板生産装置４１〜４８は、個々の特性や稼動状況などを考慮して自律分散的に、稼動モードと省エネモードとの切り替え時期、および、工程作業に先立つ準備作業の開始時期の少なくとも一方を決定する。これによれば、基板生産装置４１〜４８は、省エネモードを適正に選択でき、あるいは、タイムリーに準備作業を実施してスムーズに工程作業に進むことができる。したがって、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方が実現される。

さらに、稼動状況変更部６３は、稼動状況の変更として、通常の稼動モードと、自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモードとを切り替える。これによれば、大きな省エネ効果が実現される。

さらに、稼動状況変更部６３は、稼動状況の変更として、省エネ効果量の異なる複数種類の省エネモードを切り替える。これによれば、複数種類の省エネモードを併用することによって、より一層大きな省エネ効果が実現される。

さらに、複数種類の省エネモードは、省エネ効果量が相対的に大きな第１省エネモードと、省エネ効果量が相対的に小さな第２省エネモードとを含み、自装置内に工程作業の終了した基板が有る場合に、搬出予定時刻ｔ４に関する情報に基づいて基板の搬出を待つ搬出待ち時間Ｔ６を予測し、自装置内に基板が無い場合に、搬入予定時刻ｔ３に関する情報に基づいて基板の搬入を待つ搬入待ち時間Ｔ５を予測する待ち時間予測部６２をさらに備え、稼動状況変更部６３（省エネモード切り替え部６４）は、自装置内に前記工程作業の終了していない基板が有る場合に前記稼動モードを選択し、搬入待ち時間Ｔ５または搬出待ち時間Ｔ６が相対的に長い第１省エネ移行時間Ｔｓ１を超えているときに第１省エネモードを選択し、搬入待ち時間Ｔ５または搬出待ち時間Ｔ６が第１省エネ移行時間Ｔｓ１以下であって相対的に短い第２省エネ移行時間Ｔｓ２を超えているときに第２省エネモードを選択し、搬入待ち時間Ｔ５または搬出待ち時間Ｔ６が第２省エネ移行時間Ｔｓ２以下のときに稼動モードを選択する。

これによれば、基板の搬送状況に関する搬入待ち時間Ｔ５または搬出待ち時間Ｔ６を把握しつつ複数種類の省エネモードを併用することによって、より一層大きな省エネ効果が実現される。

また、自装置内に前記基板が無い場合に、搬入予定時刻ｔ３に関する情報に基づいて基板の搬入を待つ搬入待ち時間Ｔ５を予測する待ち時間予測部６２をさらに備え、稼動状況変更部６３（準備作業開始部６５）は、搬入待ち時間Ｔ５が所定の準備時間Ｔｓ３まで減少すると、稼動状況の変更として、工程作業に先立つ準備作業を開始する。これによれば、実際に基板が搬入されるまでにタイムリーに準備作業が終了するので、良好な工程作業品質が確保される。

さらに、稼動状況変更部６３（省エネモード切り替え部６４）は、稼動状況の変更として、通常の稼動モードと、準備作業を行う電気負荷を含む自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモードとを切り替え、かつ、省エネモード中に搬入待ち時間が準備時間まで減少すると、稼動モードに移行する。つまり、準備時間Ｔｓ３と第２省エネ移行時間Ｔｓ２とを等しく設定することで、第２省エネモードから稼動モードへの切り替えと、準備作業の開始とを同時にできる。

これによれば、実際に基板が搬入されるまでにタイムリーに準備作業が終了するので良好な工程作業品質が確保されるとともに、省エネモードの時間帯が長く確保されて大きな省エネ効果が実現される。

さらに、第１実施形態の基板生産ライン１は、基板生産管理装置２と、基板生産装置４１〜４８の複数とを含んで構成された。これによれば、ラインを構成する複数の基板生産装置４１〜４８のそれぞれで、大きな省エネ効果および良好な工程作業品質の少なくとも一方が実現される。

さらに、第１実施形態の基板生産ライン１において、基板生産管理装置２は、基板の種類ごとの生産予定数Ｎｔを把握して基板の生産実績数Ｎｐ（ｉ）を管理するとともに、生産実績数Ｎｐ（ｉ）が生産予定数Ｎｔに達する最後の基板を搬出した基板生産装置に生産終了指令（セットされた終了フラグ（ｉ））を通知する生産終了通知部２５をさらに備え、基板生産装置４１〜４８の稼動状況変更部６３は、生産終了指令を取得したときに、稼動状況の変更として、通常の稼動モードから自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモード（第１省エネモード）に移行する。

これによれば、或る種類の基板の生産を終了してから次に生産する基板の種類に対応して段取り替え作業が終了するまでの長い間、基板生産装置４１〜４８が省エネモードに維持されて、大きな省エネ効果が実現される。

（７．第２実施形態の基板生産ライン１Ａ）
次に、第２実施形態の基板生産ライン１Ａについて、第１実施形態と異なる点を主に説明する。第２実施形態においても、基板生産ライン１Ａは、１台の基板生産管理装置２Ａ、および８台の第１〜第８基板生産装置４１〜４８で構成されている。図１０は、第２実施形態の基板生産ライン１Ａの機能構成を示した機能ブロック図である。第２実施形態において、基板生産管理装置２Ａは、堰き止め通知部２６をさらに備える。一方、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の稼動状況変更部６３Ａは、堰き止め実行部６６をさらに含む。第２実施形態では、第１実施形態に基板堰き止め機能が追加されている。基板堰き止め機能は、基板搬送の流れがまばらになったときに、搬送する基板を堰き止めて、省エネモードへの移行を推進する機能である。

図１１は、第２実施形態における基板生産管理装置２Ａの処理フローを示した図である。第２実施形態では、図３に示される第１実施形態の処理フローのステップＳ１０の前に、ステップＳ２１〜ステップＳ２４が追加される。ステップＳ２１で、基板生産管理装置２Ａの堰き止め通知部２６は、装置内に基板が有る基板生産装置を対象とし、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）から現在時刻ｔｎｏｗを減算して、搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）をそれぞれ求める。さらに、堰き止め通知部２６は、装置内に基板が有り、かつ搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）が所定の堰き止め化時間Ｔｓ４を超えている基板生産装置の有無を判定する。堰き止め化時間Ｔｓ４は、例えば、第１省エネ移行時間Ｔｓ１に等しく設定され、これに限定されない。該当する基板生産装置が無い場合、堰き止め通知部２６は、基板堰き止め機能を用いず、処理フローの実行をステップＳ１０に進める。

該当する基板生産装置が有る場合のステップＳ２２〜ステップＳ２４で、堰き止め通知部２６は、基板堰き止め機能を用いる。具体的に、ステップＳ２２で、堰き止め通知部２６は、当該の基板生産装置の搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）まで遅らせる修正予測を実行する。これは、当該の基板生産装置で工程作業が終了しても基板の搬出を規制して、工程作業が終了した基板の搬出と、次の基板の搬入とを同時に行わせることを意味する。

次のステップＳ２３で、堰き止め通知部２６は、当該の基板生産装置よりも下流側の基板生産装置について、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）を修正予測する。例えば、当該の基板生産装置の下流側の直近の基板生産装置の搬入予定時刻ｔ３（ｉ）は、当該の基板生産装置の搬出予定時刻ｔ４（ｉ）に等しいと修正予測される。この予測に基づいて、下流側の２番目以降の基板生産装置の搬入予定時刻ｔ３（ｉ）も、順番に修正予測される。次のステップＳ２４で、堰き止め通知部２６は、当該の基板生産装置に堰き止め指令を通知し、その後、処理フローの実行をステップＳ１０に進める。

一方、図１２は、第２実施形態における基板生産装置の処理フローを示した図である。第２実施形態では、図４に示される第１実施形態の処理フローのステップＳ３３の前に、ステップＳ５１およびステップＳ５２が追加される。ステップＳ５１で、基板生産装置の堰き止め実行部６６は、堰き止め指令を取得したか否か判定する。取得していない場合、堰き止め実行部６６は、基板堰き止め機能を用いず、処理フローの実行をステップＳ３３に進める。取得している場合のステップＳ５２で、堰き止め実行部６６は、工程作業が終了した基板の搬出を搬入予定時刻ｔ３（ｉ）まで規制する基板堰き止め機能を用い、その後、処理フローの実行をステップＳ３３に進める。

次に、第２実施形態の基板生産ライン１Ａの基板堰き止め機能による動作について、事例により説明する。以降の説明を簡明化するために、次のような事例を考える。第１〜第８基板生産装置４１〜４８の生産時間Ｔｐ（ｉ）は全て25秒、第１省エネ移行時間Ｔｓ１は全て60秒、第２省エネ移行時間Ｔｓ２は全て30秒とする。堰き止め化時間Ｔｓ４は、60秒に設定されている。現在時刻ｔｎｏｗは、９時20分00秒とする。

図１３は、基板堰き止め機能の開始時の状況を例示した図である。図１４は、基板堰き止め機能が作用している状況を例示した図である。図１５は、基板堰き止め機能の終了時の状況を例示した図である。図１３に示されるように、この事例で、現在時刻ｔｎｏｗの９時20分00秒に、基板生産ライン１Ａの第６基板生産装置４６に中止まりの基板Ｋ１１が搬入され、同時に第２および第１基板生産装置４２、４１に基板Ｋ１２、Ｋ１３が搬入されている。このとき、第３〜第５、第７、および第８基板生産装置４３〜４５、４７、４８の装置内に、基板は無い。

基板生産管理装置２Ａの予定時刻予測部２３は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各搬入予定時刻ｔ３（ｉ）を予測する。第１基板生産装置４１の搬入予定時刻ｔ３（１）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時20分00秒と予測される。第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、第１基板生産装置４１で生産工程を施す分だけ遅れる。このため、第２基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（２）は、現在時刻ｔｎｏｗに第１基板生産装置４１の生産時間Ｔｐ（１）＝25秒を加算して、９時20分25秒と予測される。同様に、第３基板生産装置４２の搬入予定時刻ｔ３（３）も、９時20分25秒と予測される。

第４基板生産装置４４の搬入予定時刻ｔ３（４）は、第２および第３基板生産装置４１４２で生産工程を施す分だけ遅れるので、９時20分50秒と予測される。以下、第５基板生産装置４５の搬入予定時刻ｔ３（５）は９時21分15秒、第６基板生産装置４６の搬入予定時刻ｔ３（６）は９時21分40秒とそれぞれ予測される。また、第７基板生産装置４７の搬入予定時刻ｔ３（７）は、第６基板生産装置４１で生産工程を施す分だけ遅れる。このため、第７基板生産装置４７の搬入予定時刻ｔ３（７）は、一旦９時20分25秒と予測される。さらに、第８基板生産装置４８の搬入予定時刻ｔ３（８）は、一旦９時20分50秒と予測される。

また、予定時刻予測部２３は、第１〜第８基板生産装置４１〜４８の各搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を予測する。例えば、現在時刻ｔｎｏｗにおいて、下流側装置である第７基板生産装置４７に基板が無いので、第６基板生産装置４６の搬出予定時刻ｔ４（６）は、現在時刻ｔｎｏｗの９時20分00秒と予測される。

次に、堰き止め通知部２６は、装置内に基板が有る第１、第２、および第６基板生産装置４１、４２、４６を対象として、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）から現在時刻ｔｎｏｗを減算して、搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）をそれぞれ求める。第１基板生産装置４１の搬入待ち時間Ｔ５（１）は０秒、第２基板生産装置４２の搬入待ち時間Ｔ５（２）は25秒、第６基板生産装置４６の搬入待ち時間Ｔ５（６）は１分40秒となる。したがって、堰き止め通知部２６は、装置内に基板が有り、かつ搬入待ち時間Ｔ５（６）が堰き止め化時間Ｔｓ４（＝60秒）を超えているという条件に該当する第６基板生産装置４６を、基板堰き止め機能の対象とする。

次に、堰き止め通知部２６は、第６基板生産装置４６の搬出予定時刻ｔ４（６）を、搬入予定時刻ｔ３（６）まで遅らせる修正予測を実行する。これにより、搬出予定時刻ｔ４（６）は、９時20分00秒から９時21分40秒に修正される。次に、堰き止め通知部２６は、第７および第８基板生産装置４７、４８について、搬入予定時刻ｔ３（７）、ｔ３（８）を修正予測する。第７基板生産装置４７の搬入予定時刻ｔ３（７）は、第６基板生産装置４６の搬出予定時刻ｔ４（６）に一致した９時21分40秒に修正される。第８基板生産装置４８の搬入予定時刻ｔ３（８）は、９時22分05秒に修正される。

次に、堰き止め通知部２６は、第６基板生産装置４６に堰き止め指令を通知する。次に、予定時刻通知部２４は、搬入予定時刻ｔ３（ｉ）および搬出予定時刻ｔ４（ｉ）を当該の第１〜第８基板生産装置４１〜４８にそれぞれ通知する。図１３の第１〜第８基板生産装置４１〜４８の上側に、それぞれ通知された搬入予定時刻ｔ３（１）〜ｔ３（８）が示されている。

ここで、第１〜第５基板生産装置４１〜４５は、基板堰き止め機能の影響を受けない。このため、第１〜第５基板生産装置４１〜４５は、第１実施形態の場合と同じタイミングで基板に工程作業を施して搬送し、同じタイミングで省エネモードを選択する。一方、第６〜第８基板生産装置４６〜４８は、基板堰き止め機能の影響を受ける。このため、第６〜第８基板生産装置４６〜４８では、第１実施形態と比較して基板の搬送タイミングが遅れるともに、省エネモードの選択が変化する。

具体的に、第６基板生産装置４６において、基板Ｋ１１に施す工程作業が９時20分25秒に終了する。現在時刻ｔｎｏｗが９時20分25秒になったとき、第１実施形態では、搬出待ち時間Ｔ６（６）が０秒、すなわち基板の搬出が可能となっており、稼動モードが選択される。一方、第２実施形態では、搬出待ち時間Ｔ６（６）は、修正された搬出予定時刻ｔ４（６）の９時21分40秒から現在時刻ｔｎｏｗの９時20分25秒を減算して求められ、１分15秒となる。このため、第１省エネモードが選択される。

また、第７基板生産装置４７において、第１実施形態では、搬入待ち時間ｔ５（７）は、搬入予定時刻ｔ３（７）の９時20分25秒から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められる。したがって、稼動モードが選択される。一方、第２実施形態では、搬入待ち時間ｔ５（７）は、修正された搬入予定時刻ｔ３（７）の９時21分40秒から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められる。したがって、９時20分40秒まで第１省エネモードが選択され、９時21分10秒まで第２省エネモードが選択され、以降稼動モードが選択される。

また、第８基板生産装置４８において、第１実施形態では、搬入待ち時間ｔ５（８）は、搬入予定時刻ｔ３（８）の９時20分50秒から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められる。したがって、９時20分20秒まで第２省エネモードが選択され、以降稼動モードが選択される。一方、第２実施形態では、搬入待ち時間ｔ５（８）は、修正された搬入予定時刻ｔ３（８）の９時22分05秒から現在時刻ｔｎｏｗを減算して求められる。したがって、９時21分05秒まで第１省エネモードが選択され、９時21分35秒まで第２省エネモードが選択され、以降稼動モードが選択される。

上記したように、第２実施形態では、基板堰き止め機能の対象となった第６基板生産装置４６、ならびに、これよりも下流側の第７および第８基板生産装置４７、４８で、第１実施形態よりも省エネモードが推進される。

一方、第２および第１基板生産装置４２、４１でも、基板Ｋ１２、Ｋ１３に施す工程作業が９時20分25秒に終了する。その後、基板Ｋ１２、Ｋ１３、Ｋ１４は、順送りに第３〜第１基板生産装置４３〜４１に搬送される。これにより、図１４に例示された現在時刻ｔｎｏｗが９時20分40秒の状況となる。基板堰き止め機能が作用している間、第６基板生産装置４６では、工程作業の終了した基板Ｋ１１を搬出せずに堰き止める。一方、上流側の第５〜第１基板生産装置４５〜４１では、順次工程作業を実施して、基板を搬送する。図１４の第１〜第８基板生産装置４１〜４８の上側に、９時20分40秒の時点で通知された搬入予定時刻ｔ３（１）〜ｔ３（８）が示されている。

基板堰き止め機能を開始してから１分40秒が経過し、現在時刻が９時21分40秒になると、図１５に示された状況となる。経過した１分40秒の間に、工程作業の４サイクルが実施される。これにより、第５〜第１基板生産装置４５〜４１の各々の装置内に、工程作業の終了した基板Ｋ１２〜Ｋ１６が有る状態となる。つまり、第６基板生産装置４６を含めて、６枚の基板Ｋ１１〜Ｋ１６が纏められた状態となる。このため、６台の第６〜第１基板生産装置４６〜４１で、次の瞬間に一斉に基板Ｋ１１〜Ｋ１６を搬出および搬入できるようになる。

なお、纏められたうちの最後の基板Ｋ１６、およびその後に生産される基板の生産終了時期は、基板堰き止め機能を用いない場合と変わらない。つまり、基板堰き止め機能を用いても、量産する基板の生産終了時期は遅れず、生産ロスにならない。

第２実施形態の基板生産ライン１Ａにおいて、基板生産管理装置２Ａは、基板生産装置の各々の搬入予定時刻に関する情報に基づいて、基板の搬入を待つ搬入待ち時間Ｔ５（ｉ）をそれぞれ求め、装置内に基板が有る一の基板生産装置（第６基板生産装置４６）で搬入待ち時間Ｔ５（６）が所定の堰き止め化時間Ｔｓ４を超えているときに、一の基板生産装置に堰き止め指令を通知する堰き止め通知部２６をさらに備え、一の基板生産装置の稼動状況変更部（堰き止め実行部６６）は、堰き止め指令を取得したときに、稼動状況の変更として、基板Ｋ１１の搬出を規制する。

これにより、基板搬送の流れがまばらになったときに、一の基板生産装置で基板を堰き止め、上流側の基板の間隔を詰めて纏めることができる。したがって、基板が纏められる間、一の基板生産装置よりも下流側の基板生産装置は、基板が搬入されず、省エネモードへの移行が推進される。

さらに、一の基板生産装置（第６基板生産装置４６）の稼動状況変更部（堰き止め実行部６６）は、基板Ｋ１１の搬出を搬入予定時刻ｔ３（６）まで規制する。これによれば、一の基板生産装置よりも上流側の全部の基板生産装置の装置内に基板が有る状態まで、長時間にわたっての堰き止めが可能になる。したがって、一の基板生産装置よりも下流側の基板生産装置は、省エネモードへの移行が最大限に推進される。加えて、複数の基板生産装置で基板の搬出および搬入を同時に行うオーバーラップ搬送が可能になり、搬送効率が向上する。

（８．実施形態の応用および変形）
なお、第１実施形態の基板生産ライン１で説明した省エネモードや準備作業に関する各種設定は、適宜変形できる。また、第２実施形態の基板生産ライン１Ａで説明した基板堰き止め機能は、同時に複数の基板生産装置を対象とすることもできる。本発明は、他にも様々な応用や変形が可能である。

１、１Ａ：基板生産ライン
２、２Ａ：基板生産管理装置
２１：生産時間取得部 ２２：基板有無確認部 ２３：予定時刻予測部
２４：予定時刻通知部 ２５：生産終了通知部 ２６：堰き止め通知部
４１〜４８：第１〜第８基板生産装置
６１：予定時刻取得部 ６２：待ち時間予測部 ６３、６３Ａ：稼動状況変更部
６４：省エネモード切り替え部 ６５：準備作業開始部 ６６：堰き止め実行部
Ｋ、Ｋ１〜Ｋ７、Ｋ１１〜Ｋ１６：基板

Claims (11)

1. 相互に並んで配置され、かつそれぞれが基板を搬入し所定の工程作業を施して搬出する複数の基板生産装置とともに基板生産ラインを構成し、さらに前記複数の基板生産装置を管理する基板生産管理装置であって、
   前記複数の基板生産装置の各々が１枚の前記基板に前記工程作業を施すときに要する生産時間を取得する生産時間取得部と、
   前記複数の基板生産装置の各々の装置内に前記基板が有るか否かを確認する基板有無確認部と、
   前記複数の基板生産装置の各々の前記生産時間および前記基板の有無に基づいて、前記複数の基板生産装置の各々に前記基板が搬入可能になると予定される搬入予定時刻に関する情報、および、前記複数の基板生産装置の各々から前記基板が搬出可能になると予定される搬出予定時刻に関する情報のうち少なくとも一方の情報を予測する予定時刻予測部と、
   前記複数の基板生産装置の各々の前記少なくとも一方の情報を、それぞれの基板生産装置に通知する予定時刻通知部と、を備えた基板生産管理装置。
2. 請求項１に記載された基板生産管理装置とともに前記基板生産ラインを構成し、さらに前記基板を搬入し前記工程作業を施して搬出する基板生産装置であって、
   前記基板生産管理装置の前記予定時刻通知部から前記少なくとも一方の情報を取得する予定時刻取得部と、
   前記少なくとも一方の情報、および自装置内に前記基板が有るか否かを確認した基板有無情報に基づいて稼動状況を変更する稼動状況変更部と、を備えた基板生産装置。
3. 前記稼動状況変更部は、前記稼動状況の変更として、通常の稼動モードと、自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモードとを切り替える請求項２に記載の基板生産装置。
4. 前記稼動状況変更部は、前記稼動状況の変更として、省エネ効果量の異なる複数種類の省エネモードを切り替える請求項３に記載の基板生産装置。
5. 前記複数種類の省エネモードは、前記省エネ効果量が相対的に大きな第１省エネモードと、前記省エネ効果量が相対的に小さな第２省エネモードとを含み、
   自装置内に前記工程作業の終了した基板が有る場合に、前記搬出予定時刻に関する情報に基づいて前記基板の搬出を待つ搬出待ち時間を予測し、自装置内に前記基板が無い場合に、前記搬入予定時刻に関する情報に基づいて前記基板の搬入を待つ搬入待ち時間を予測する待ち時間予測部をさらに備え、
   前記稼動状況変更部は、
   自装置内に前記工程作業の終了していない基板が有る場合に前記稼動モードを選択し、
   前記搬入待ち時間または前記搬出待ち時間が相対的に長い第１省エネ移行時間を超えているときに前記第１省エネモードを選択し、
   前記搬入待ち時間または前記搬出待ち時間が前記第１省エネ移行時間以下であって相対的に短い第２省エネ移行時間を超えているときに前記第２省エネモードを選択し、
   前記搬入待ち時間または前記搬出待ち時間が前記第２省エネ移行時間以下のときに前記稼動モードを選択する請求項４に記載の基板生産装置。
6. 自装置内に前記基板が無い場合に、前記搬入予定時刻に関する情報に基づいて前記基板の搬入を待つ搬入待ち時間を予測する待ち時間予測部をさらに備え、
   前記稼動状況変更部は、前記搬入待ち時間が所定の準備時間まで減少すると、前記稼動状況の変更として、前記工程作業に先立つ準備作業を開始する請求項２〜５のいずれか一項に記載の基板生産装置。
7. 前記稼動状況変更部は、
   前記稼動状況の変更として、通常の稼動モードと、前記準備作業を行う電気負荷を含む自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモードとを切り替え、かつ、
   前記省エネモード中に前記搬入待ち時間が前記準備時間まで減少すると、前記稼動モードに移行する請求項６に記載の基板生産装置。
8. 請求項１に記載された基板生産管理装置と、請求項２〜７のいずれか一項に記載された基板生産装置の複数とを含んで構成された基板生産ライン。
9. 前記基板生産管理装置は、
   前記基板生産装置の各々の前記搬入予定時刻に関する情報に基づいて、前記基板の搬入を待つ搬入待ち時間をそれぞれ求め、装置内に前記基板が有る一の基板生産装置で前記搬入待ち時間が所定の堰き止め化時間を超えているときに、前記一の基板生産装置に堰き止め指令を通知する堰き止め通知部をさらに備え、
   前記一の基板生産装置の前記稼動状況変更部は、前記堰き止め指令を取得したときに、前記稼動状況の変更として、前記基板の搬出を規制する請求項８に記載の基板生産ライン。
10. 前記一の基板生産装置の前記稼動状況変更部は、前記基板の搬出を前記搬入予定時刻まで規制する請求項９に記載の基板生産ライン。
11. 前記基板生産管理装置は、
    前記基板の種類ごとの生産予定数を把握して前記基板の生産実績数を管理するとともに、前記生産実績数が前記生産予定数に達する最後の基板を搬出した基板生産装置に生産終了指令を通知する生産終了通知部をさらに備え、
    前記基板生産装置の前記稼動状況変更部は、前記生産終了指令を取得したときに、前記稼動状況の変更として、通常の稼動モードから自装置内の一部の電気負荷を停止した省エネモードに移行する請求項８〜１０のいずれか一項に記載の基板生産ライン。

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