JP6611130B2 - Expanded seat - Google Patents
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Description
本発明は、板状の被加工物に貼り付けた状態で拡張されるエキスパンドシートに関する。 The present invention relates to an expanded sheet that is expanded in a state of being attached to a plate-like workpiece.
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割するために、被加工物に吸収され難い波長のレーザービームを照射して分割の起点となる改質層（改質領域）を形成し、その後、分割に必要な力を加える加工方法が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。この加工方法では、例えば、被加工物に貼り付けたエキスパンドシートを拡張することで、改質層が形成された被加工物に力を加えて複数のチップへと分割する。 In order to divide a plate-like workpiece typified by a semiconductor wafer into a plurality of chips, a modified layer (modified region) that is the starting point of the division by irradiating a laser beam with a wavelength that is difficult to be absorbed by the workpiece ), And thereafter, a processing method for applying a force necessary for the division is put into practical use (see, for example, Patent Document 1). In this processing method, for example, the expanded sheet attached to the workpiece is expanded to apply a force to the workpiece on which the modified layer is formed and divide the workpiece into a plurality of chips.
また、被加工物を研削又は研磨する際に加わる力を利用して、改質層が形成された被加工物を複数のチップへと分割する加工方法も知られている（例えば、特許文献２参照）。この加工方法で被加工物を複数のチップへと分割した後には、被加工物に貼り付けたエキスパンドシートを拡張して隣接するチップの間隔を拡げる。これにより、後にチップを取り扱う際のチップ同士の接触等に起因する破損を防止できる。 In addition, there is also known a processing method for dividing a workpiece on which a modified layer is formed into a plurality of chips using a force applied when grinding or polishing the workpiece (for example, Patent Document 2). reference). After the workpiece is divided into a plurality of chips by this processing method, the expanded sheet attached to the workpiece is expanded to increase the interval between adjacent chips. As a result, it is possible to prevent damage due to contact between chips when handling the chips later.
近年では、エキスパンドシートの拡張に適した拡張装置も提案されている（例えば、特許文献３参照）。この拡張装置は、エキスパンドシートに概ね平行な第１方向で被加工物を挟むように配置される第１挟持ユニット（第１挟持手段）及び第２挟持ユニット（第２挟持手段）と、第１方向に垂直な第２方向で被加工物を挟むように配置される第３挟持ユニット（第３挟持手段）及び第４挟持ユニット（第４挟持手段）と、を備えている。 In recent years, an expansion device suitable for expansion of an expand sheet has also been proposed (for example, see Patent Document 3). The expansion device includes a first sandwiching unit (first sandwiching means) and a second sandwiching unit (second sandwiching means) disposed so as to sandwich a workpiece in a first direction substantially parallel to the expanded sheet, A third clamping unit (third clamping means) and a fourth clamping unit (fourth clamping means) arranged so as to sandwich the workpiece in a second direction perpendicular to the direction.
第１挟持ユニットと第２挟持ユニットとは、互いに離れる向きに移動できるように構成され、第３挟持ユニットと第４挟持ユニットとは、互いに離れる向きに移動できるように構成される。各挟持ユニットでエキスパンドテープの４つの領域を上下に挟持した上で、第１挟持ユニットと第２挟持ユニットとを互いに離れる向きに移動させ、第３挟持ユニットと第４挟持ユニットとを互いに離れる向きに移動させれば、エキスパンドシートを拡張できる。 The first sandwiching unit and the second sandwiching unit are configured to be movable away from each other, and the third sandwiching unit and the fourth sandwiching unit are configured to be movable away from each other. After the four areas of the expanded tape are vertically clamped by each clamping unit, the first clamping unit and the second clamping unit are moved away from each other, and the third clamping unit and the fourth clamping unit are separated from each other. If you move to, you can expand the expanded sheet.
しかしながら、上述したエキスパンドシートの上面（又は下面）には、接着力を持つ糊層（接着層）が設けられている。そのため、各挟持ユニットで糊層を含むエキスパンドシートを上下に挟持すると、後に各挟持ユニットからエキスパンドシートを取り外せなくなることがあった。 However, an adhesive layer (adhesive layer) having an adhesive force is provided on the upper surface (or lower surface) of the above-described expanded sheet. For this reason, when an expanding sheet including a glue layer is vertically clamped by each clamping unit, the expanding sheet may not be removed from each clamping unit later.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、拡張装置からの取り外しが容易なエキスパンドシートを提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an expanded sheet that can be easily detached from the expansion device.
本発明の一態様によれば、板状の被加工物が貼着され、第１方向で該被加工物を挟んで対面し且つ互いに離れる向きに移動可能な第１挟持手段及び第２挟持手段と該第１方向に垂直な第２方向で該被加工物を挟んで対面し且つ互いに離れる向きに移動可能な第３挟持手段及び第４挟持手段とで該被加工物の周りの４つの領域が挟持されて拡張されるエキスパンドシートであって、基材と、該基材上に形成された糊層と、を備え、該糊層は、該第１挟持手段、該第２挟持手段、該第３挟持手段、及び該第４挟持手段で挟持される領域を除いた領域に形成されているエキスパンドシートが提供される。 According to one aspect of the present invention, a first clamping means and a second clamping means to which a plate-like workpiece is attached and which face each other with the workpiece sandwiched in the first direction and are movable away from each other. And a third clamping means and a fourth clamping means that face each other with the workpiece sandwiched in a second direction perpendicular to the first direction and are movable away from each other, and have four regions around the workpiece Is an expanded sheet that is sandwiched and expanded, comprising: a base material; and a glue layer formed on the base material, wherein the glue layer includes the first clamping means, the second clamping means, An expanded sheet formed in a region excluding the region sandwiched by the third sandwiching means and the fourth sandwiching means is provided.
また、本発明の一態様によれば、ロール状に巻回されてシートロールを構成するエキスパンドシートであって、該シートロールの巻回される方向を該第１方向、該第１方向に垂直な方向を該第２方向として、該シートロールの該第１方向に所定の間隔で配置され該第２方向の一端から他端に至る複数の第１糊無し領域と、該シートロールの該第２方向の該一端側と該他端側とにおいてそれぞれ該第１方向に伸長する第２糊無し領域と、を有するエキスパンドシートが提供される。 Moreover, according to one aspect of the present invention, the expanded sheet is wound into a roll to form a sheet roll, and the direction in which the sheet roll is wound is perpendicular to the first direction and the first direction. A plurality of first non-glue areas arranged at predetermined intervals in the first direction of the sheet roll from one end to the other end of the sheet roll, and the second direction of the sheet roll. An expanded sheet is provided having a second non-glue region extending in the first direction on the one end side and the other end side in two directions.
本発明の一態様に係るエキスパンドシートでは、第１挟持手段、第２挟持手段、第３挟持手段、及び第４挟持手段で挟持される領域を除いた領域に糊層が形成されているので、このエキスパンドシートを各挟持手段で挟持した後にも、各挟持手段からエキスパンドシートを容易に取り外すことができる。 In the expanded sheet according to one aspect of the present invention, since the adhesive layer is formed in the region excluding the region sandwiched by the first sandwiching unit, the second sandwiching unit, the third sandwiching unit, and the fourth sandwiching unit, Even after the expanded sheet is clamped by the clamping means, the expanded sheet can be easily detached from the clamping means.
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１（Ａ）は、本実施形態に係るエキスパンドシートの構成例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、エキスパンドシートの構成例を模式的に示す断面図である。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、本実施形態のエキスパンドシート１は、シート状の基材３と、基材３の第１面（上面）３ａ側に形成された接着力のある糊層（接着層）５と、を含む。 Embodiments according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a perspective view schematically illustrating a configuration example of the expanded sheet according to the present embodiment, and FIG. 1B is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration example of the expanded sheet. As shown in FIG. 1 (A) and FIG. 1 (B), the expanded sheet 1 of the present embodiment has a sheet-like substrate 3 and an adhesive formed on the first surface (upper surface) 3a side of the substrate 3. A strong adhesive layer (adhesive layer) 5.
基材３は、例えば、ポリオレフィンや塩化ビニル等の樹脂を用いて平面視で矩形状に形成される。ただし、後述する拡張装置を用いて適切に拡張できるのであれば、基材３の形状、材質等に制限はない。一方で、糊層５は、例えば、アクリル、エポキシ等の樹脂を用いて基材３の外周近傍の領域を除いた領域に形成される。 The base material 3 is formed in a rectangular shape in plan view using, for example, a resin such as polyolefin or vinyl chloride. However, the shape, material, etc. of the base material 3 are not limited as long as it can be appropriately expanded using an expansion device described later. On the other hand, the adhesive layer 5 is formed in a region excluding the region in the vicinity of the outer periphery of the base material 3 using, for example, a resin such as acrylic or epoxy.
より具体的には、糊層５は、後述する拡張装置によって挟持される領域を除いた領域に形成される。すなわち、拡張装置によって挟持されるエキスパンドシート１の外周近傍の領域は、糊層５の無い糊無し領域Ａとなる。一方で、糊無し領域Ａに囲まれた中央の領域は、糊層５の有る糊有り領域Ｂとなる。 More specifically, the adhesive layer 5 is formed in an area excluding an area sandwiched by an expansion device described later. That is, the area in the vicinity of the outer periphery of the expanded sheet 1 sandwiched by the expansion device is a non-glue area A without the glue layer 5. On the other hand, the central area surrounded by the non-glue area A is a glued area B having the glue layer 5.
次に、このエキスパンドシート１を使用する板状の被加工物の加工方法について説明する。まず、板状の被加工物に貼り付けたエキスパンドシート１を、拡張装置によって挟持する挟持ステップを実施する。図２は、被加工物に貼り付けたエキスパンドシート１が拡張装置によって挟持される様子を模式的に示す斜視図である。 Next, the processing method of the plate-shaped workpiece which uses this expand sheet 1 is demonstrated. First, a sandwiching step of sandwiching the expanded sheet 1 attached to a plate-shaped workpiece by an expansion device is performed. FIG. 2 is a perspective view schematically showing a state in which the expanded sheet 1 attached to the workpiece is sandwiched by the expansion device.
図２に示すように、被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体でなる円形のウェーハであり、その第１面（表面）１１ａ側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられている。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）で更に複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１３が形成されている。 As shown in FIG. 2, the workpiece 11 is, for example, a circular wafer made of a semiconductor such as silicon, and the first surface (front surface) 11a side is a central device region and a peripheral surplus surrounding the device region. It is divided into areas. The device region is further divided into a plurality of regions by division lines (streets) arranged in a lattice pattern, and devices 13 such as ICs and LSIs are formed in each region.
被加工物１１の内部には、例えば、分割の起点となる改質層（不図示）が形成されている。この改質層は、被加工物１１に吸収され難い波長のレーザービームを、分割予定ラインに沿って集光する方法で形成できる。なお、改質層の代わりに、切削やレーザーアブレーション等の方法で形成される溝等を分割の起点として用いることもできる。 Inside the workpiece 11, for example, a modified layer (not shown) serving as a starting point of division is formed. This modified layer can be formed by a method of condensing a laser beam having a wavelength that is difficult to be absorbed by the workpiece 11 along the planned division line. Instead of the modified layer, a groove formed by a method such as cutting or laser ablation can be used as the starting point of the division.
挟持ステップを実施する前には、この被加工物１１の第２面（裏面）１１ｂ側に、エキスパンドシート１の糊層５（糊有り領域Ｂ）を密着させて、被加工物１１をエキスパンドシート１に貼り付ける。なお、本実施形態では、シリコン等の半導体でなる円形のウェーハを被加工物１１として用いるが、被加工物１１の材質、形状、構造等に制限はない。 Before carrying out the clamping step, the glue layer 5 (glued area B) of the expanded sheet 1 is brought into close contact with the second surface (back surface) 11b side of the workpiece 11 so that the workpiece 11 is expanded. Paste to 1. In this embodiment, a circular wafer made of a semiconductor such as silicon is used as the workpiece 11. However, the material, shape, structure, etc. of the workpiece 11 are not limited.
例えば、セラミック、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。また、複数のチップに分割された後のウェーハや基板等を被加工物１１として用いても良い。この場合には、エキスパンドシート１を拡張することによって、被加工物１１内で隣接するチップ間の間隔を拡げる加工が施されることになる。 For example, a substrate made of a material such as ceramic, resin, or metal can be used as the workpiece 11. A wafer, a substrate, or the like after being divided into a plurality of chips may be used as the workpiece 11. In this case, the expanding sheet 1 is expanded to perform a process for expanding the interval between adjacent chips in the workpiece 11.
図２に示すように、拡張装置２は、エキスパンドシート１に概ね平行な第１方向Ｄ１で被加工物１１を挟むように配置される第１挟持ユニット（第１挟持手段）４と第２挟持ユニット（第２挟持手段）６とを備えている。また、拡張装置２は、エキスパンドシート１に概ね平行且つ第１方向Ｄ１に垂直な第２方向Ｄ２で被加工物１１を挟むように配置される第３挟持ユニット（第３挟持手段）８と第４挟持ユニット（第４挟持手段）１０とを備えている。 As shown in FIG. 2, the expansion device 2 includes a first clamping unit (first clamping means) 4 and a second clamping unit that are arranged so as to sandwich the workpiece 11 in a first direction D <b> 1 that is substantially parallel to the expanded sheet 1. And a unit (second clamping means) 6. The expansion device 2 includes a third clamping unit (third clamping means) 8 and a third clamping unit 8 that are arranged so as to sandwich the workpiece 11 in a second direction D2 that is substantially parallel to the expanded sheet 1 and perpendicular to the first direction D1. 4 clamping unit (4th clamping means) 10 is provided.
第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とは、それぞれ、水平移動機構（不図示）によって支持されており、互いに離れる向きに移動できる。同様に、第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とは、それぞれ、水平移動機構（不図示）によって支持されており、互いに離れる向きに移動できる。 The first clamping unit 4 and the second clamping unit 6 are each supported by a horizontal movement mechanism (not shown), and can move in directions away from each other. Similarly, the third clamping unit 8 and the fourth clamping unit 10 are each supported by a horizontal movement mechanism (not shown) and can move away from each other.
第１挟持ユニット４、第２挟持ユニット６、第３挟持ユニット８、及び第４挟持ユニット１０は、それぞれ、エキスパンドシート１の上方（糊層５側）に配置される上側支持部材１２と、エキスパンドシート１の下方（基材３の第２面（下面）３ｂ側）に配置される下側支持部材１４と、を含む。上側支持部材１２及び下側支持部材１４は、いずれも所定の方向に伸長するロッド状に形成されている。上側支持部材１２及び下側支持部材１４の伸長方向の長さは、いずれも被加工物１１の直径より長くなっている。 The first sandwiching unit 4, the second sandwiching unit 6, the third sandwiching unit 8, and the fourth sandwiching unit 10 are respectively an upper support member 12 disposed above the expand sheet 1 (on the adhesive layer 5 side) and an expand. A lower support member 14 disposed below the sheet 1 (on the second surface (lower surface) 3b side of the substrate 3). Each of the upper support member 12 and the lower support member 14 is formed in a rod shape that extends in a predetermined direction. The lengths of the upper support member 12 and the lower support member 14 in the extending direction are both longer than the diameter of the workpiece 11.
第１挟持ユニット４及び第２挟持ユニット６が備える上側支持部材１２及び下側支持部材１４は、第２方向Ｄ２に伸長している。一方、第３挟持ユニット８及び第４挟持ユニット１０が備える上側支持部材１２及び下側支持部材１４は、第１方向Ｄ１に伸長している。 The upper support member 12 and the lower support member 14 included in the first sandwiching unit 4 and the second sandwiching unit 6 extend in the second direction D2. On the other hand, the upper support member 12 and the lower support member 14 included in the third clamping unit 8 and the fourth clamping unit 10 extend in the first direction D1.
各上側支持部材１２の下方側、及び各下側支持部材１４の上方側には、複数の回転接触部材１６が取り付けられている。複数の回転接触部材１６は、いずれも円柱状に形成されており、エキスパンドシート１に接触した状態で回転できる。第１挟持ユニット４及び第２挟持ユニット６が備える複数の回転接触部材１６の回転軸は、いずれも第１方向Ｄ１に平行であり、第３挟持ユニット８及び第４挟持ユニット１０が備える複数の回転接触部材１６の回転軸は、いずれも第２方向Ｄ２に平行である。 A plurality of rotary contact members 16 are attached to the lower side of each upper support member 12 and the upper side of each lower support member 14. The plurality of rotary contact members 16 are all formed in a columnar shape and can rotate while being in contact with the expanded sheet 1. The rotation axes of the plurality of rotary contact members 16 included in the first clamping unit 4 and the second clamping unit 6 are all parallel to the first direction D1, and the third clamping unit 8 and the fourth clamping unit 10 include a plurality of rotation axes. The rotational axes of the rotary contact member 16 are all parallel to the second direction D2.
エキスパンドシート１を挟持する際には、図２に示すように、第１挟持ユニット４、第２挟持ユニット６、第３挟持ユニット８、及び第４挟持ユニット１０の上側支持部材１２と下側支持部材１４とで、エキスパンドシート１の糊無し領域Ａを上下に挟み込む。すなわち、被加工物１１の周りの４つの領域を、第１挟持ユニット４、第２挟持ユニット６、第３挟持ユニット８、及び第４挟持ユニット１０で挟持して、各領域に複数の回転接触部材１６を接触させる。 When sandwiching the expanded sheet 1, as shown in FIG. 2, the upper support member 12 and the lower support of the first sandwiching unit 4, the second sandwiching unit 6, the third sandwiching unit 8, and the fourth sandwiching unit 10 are supported. With the member 14, the paste-free area A of the expanded sheet 1 is sandwiched up and down. That is, four regions around the workpiece 11 are sandwiched by the first sandwiching unit 4, the second sandwiching unit 6, the third sandwiching unit 8, and the fourth sandwiching unit 10, and a plurality of rotational contacts are made in each region. The member 16 is brought into contact.
挟持ステップの後には、エキスパンドシート１を拡張する拡張ステップを実施する。図３は、エキスパンドシート１が拡張装置２によって拡張される様子を模式的に示す斜視図である。エキスパンドシート１を拡張する際には、第１挟持ユニット４及び第２挟持ユニット６を支持する水平移動機構を作動させて、第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とを互いに離れる向きに移動させる。 After the sandwiching step, an expansion step for expanding the expanded sheet 1 is performed. FIG. 3 is a perspective view schematically showing how the expand sheet 1 is expanded by the expansion device 2. When expanding the expandable sheet 1, a horizontal movement mechanism that supports the first clamping unit 4 and the second clamping unit 6 is operated to move the first clamping unit 4 and the second clamping unit 6 away from each other. Let
また、第３挟持ユニット８及び第４挟持ユニット１０を支持する水平移動機構を作動させて、第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とを互いに離れる向きに移動させる。これにより、図３に示すように、エキスパンドシート１を第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に拡張させて、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿う向きの力を被加工物１１に付与できる。 Moreover, the horizontal moving mechanism which supports the 3rd clamping unit 8 and the 4th clamping unit 10 is operated, and the 3rd clamping unit 8 and the 4th clamping unit 10 are moved to the direction which mutually leaves | separates. Thereby, as shown in FIG. 3, the expand sheet 1 can be expanded in the first direction D1 and the second direction D2, and a force in a direction along the first direction D1 and the second direction D2 can be applied to the workpiece 11. .
上述のように、拡張装置２には、第１方向Ｄ１で互いに離れる向きに移動する第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とに、第１方向Ｄ１に平行な回転軸の周りに回転する複数の回転接触部材１６が設けられている。また、第２方向Ｄ１で互いに離れる向きに移動する第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とに、第２方向Ｄ１に平行な回転軸の周りに回転する複数の回転接触部材１６が設けられている。 As described above, the expansion device 2 rotates around the rotation axis parallel to the first direction D1 by the first clamping unit 4 and the second clamping unit 6 that move away from each other in the first direction D1. A plurality of rotating contact members 16 are provided. Further, the third clamping unit 8 and the fourth clamping unit 10 that move away from each other in the second direction D1 are provided with a plurality of rotary contact members 16 that rotate around a rotation axis parallel to the second direction D1. ing.
よって、エキスパンドシート１は、第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とで第２方向Ｄ２に沿って移動できるように挟持され、第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とで第１方向Ｄ１に沿って移動できるように挟持される。すなわち、第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とで挟持された糊無し領域Ａを第２方向Ｄ２において適切に拡張でき、第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とで挟持された糊無し領域Ａを第１方向Ｄ１において適切に拡張できる。 Therefore, the expand sheet 1 is sandwiched between the first sandwiching unit 4 and the second sandwiching unit 6 so as to be movable along the second direction D2, and the third sandwiching unit 8 and the fourth sandwiching unit 10 are in the first direction. It is clamped so that it can move along D1. That is, the paste-free area A sandwiched between the first sandwiching unit 4 and the second sandwiching unit 6 can be appropriately expanded in the second direction D2, and the glue sandwiched between the third sandwiching unit 8 and the fourth sandwiching unit 10 is used. The no area A can be appropriately expanded in the first direction D1.
エキスパンドシート１の拡張によって、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿う向きの力が被加工物１１に付与される結果、被加工物１１は、改質層が形成された分割予定ラインに沿って複数のチップへと分割され、更に、隣接するチップ同士の間隔も拡げられる。なお、被加工物１１を適切に分割し、チップ同士の間隔を十分に拡げるためには、各分割予定ラインの配列する方向（各分割予定ラインに垂直な方向）を第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に一致させて、拡張により発生する力を効率良く利用することが望ましい。 As a result of the expansion of the expanded sheet 1, a force in a direction along the first direction D <b> 1 and the second direction D <b> 2 is applied to the workpiece 11. In this way, the chip is divided into a plurality of chips, and the interval between adjacent chips is also increased. In addition, in order to divide the workpiece 11 appropriately and sufficiently widen the interval between the chips, the direction in which each division line is arranged (direction perpendicular to each division line) is set to the first direction D1 or the second direction. It is desirable to efficiently use the force generated by the expansion in accordance with the direction D2.
拡張ステップの後には、エキスパンドシート１に環状のフレームを固定するフレーム固定ステップを実施する。図４は、エキスパンドシート１に環状のフレームが貼り付けられる様子を模式的に示す斜視図である。エキスパンドシート１に環状のフレーム２１を貼り付ける際には、図４に示すように、糊層５の被加工物１１を囲む位置に環状のフレーム２１を密着させる。 After the expansion step, a frame fixing step for fixing the annular frame to the expanded seat 1 is performed. FIG. 4 is a perspective view schematically showing a state in which an annular frame is attached to the expanded sheet 1. When the annular frame 21 is attached to the expanded sheet 1, as shown in FIG. 4, the annular frame 21 is brought into close contact with the position surrounding the workpiece 11 of the adhesive layer 5.
これにより、環状のフレーム２１をエキスパンドシート１に貼り付けて固定できる。本実施形態では、エキスパンドシート１を拡張した状態で、被加工物１１を囲むように環状のフレーム２１を固定するので、エキスパンドシート１の拡張を解除した後にも、チップ同士の間隔は拡がった状態に保たれる。 Thereby, the annular frame 21 can be stuck and fixed to the expanded sheet 1. In this embodiment, since the annular frame 21 is fixed so as to surround the workpiece 11 in a state in which the expanded sheet 1 is expanded, the space between the chips is expanded even after the expansion of the expanded sheet 1 is released. To be kept.
フレーム固定ステップの後には、環状のフレーム２１に沿ってエキスパンドシート１を切断する切断ステップを実施する。図５は、環状のフレーム２１に沿ってエキスパンドシート１が切断された状態を模式的に示す斜視図である。エキスパンドシート１は、例えば、基材３の第２面３ｂ側からフレーム２１に沿って切断される。 After the frame fixing step, a cutting step for cutting the expanded sheet 1 along the annular frame 21 is performed. FIG. 5 is a perspective view schematically showing a state where the expanded sheet 1 is cut along the annular frame 21. The expanded sheet 1 is cut along the frame 21 from the second surface 3b side of the base material 3, for example.
これにより、被加工物１１、フレーム２１、及びエキスパンドシート１から切断されたエキスパンドシート２３でなるフレームユニットを形成できる。フレームユニットを形成した後には、図５に示すように、このフレームユニットをエキスパンドシート１から分離する。また、エキスパンドシート１を拡張装置２から取り外す。本実施形態では、糊層５が形成されていない糊無し領域Ａを各挟持ユニットで挟持しているので、エキスパンドシート１を拡張装置２から容易に取り外せる。 Thereby, the frame unit which consists of the workpiece 11, the frame 21, and the expanded sheet 23 cut | disconnected from the expanded sheet 1 can be formed. After the frame unit is formed, the frame unit is separated from the expanded sheet 1 as shown in FIG. Further, the expand sheet 1 is removed from the expansion device 2. In the present embodiment, the non-glue area A where the glue layer 5 is not formed is sandwiched between the sandwiching units, so that the expanded sheet 1 can be easily detached from the expansion device 2.
以上のように、本実施形態に係るエキスパンドシート１では、第１挟持ユニット（第１挟持手段）４、第２挟持ユニット（第２挟持手段）６、第３挟持ユニット（第３挟持手段）８、及び第４挟持ユニット（第４挟持手段）１０で挟持される領域を除いた領域に糊層（接着層）５が形成されているので、このエキスパンドシート１を各挟持ユニットで挟持した後にも、各挟持ユニット（すなわち、拡張装置２）からエキスパンドシートを容易に取り外すことができる。 As described above, in the expanded sheet 1 according to this embodiment, the first clamping unit (first clamping means) 4, the second clamping unit (second clamping means) 6, and the third clamping unit (third clamping means) 8. Since the adhesive layer (adhesive layer) 5 is formed in a region excluding the region sandwiched by the fourth sandwiching unit (fourth sandwiching means) 10, even after the expand sheet 1 is sandwiched between the sandwiching units. The expanding sheet can be easily removed from each clamping unit (that is, the expansion device 2).
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態に係るエキスパンドシート１では、平面視で矩形状に形成された基材３を用いているが、本発明のエキスパンドシートに用いられる基材３の形状に制限はない。図６は、変形例に係るエキスパンドシートの構成例を模式的に示す斜視図である。 In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, A various change can be implemented. For example, in the expand sheet 1 according to the above embodiment, the base material 3 formed in a rectangular shape in plan view is used, but the shape of the base material 3 used in the expand sheet of the present invention is not limited. FIG. 6 is a perspective view schematically illustrating a configuration example of an expanded sheet according to a modification.
図６に示すように、変形例に係るエキスパンドシート３１は、糊層５側に離型紙等でなるセパレータフィルム３３が貼り着けられた状態でロール状に巻回され、シートロール３５を構成する。エキスパンドシート３１の基本的な構成は、上記実施形態に係るエキスパンドシート１と同じであるから、共通の構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。 As shown in FIG. 6, the expanded sheet 31 according to the modification is wound into a roll shape with a separator film 33 made of release paper or the like attached to the adhesive layer 5 side, and forms a sheet roll 35. Since the basic configuration of the expand sheet 31 is the same as that of the expand sheet 1 according to the above-described embodiment, common components are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.
すなわち、エキスパンドシート３１は、シート状の基材３と、基材３の第１面３ａ側に形成された接着力のある糊層５と、を含んでいる。ただし、エキスパンドシート３１を構成する基材３は、シートロール３５の巻回される第１方向Ｄ１において、エキスパンドシート１を構成する基材３よりも長くなっている。一方で、エキスパンドシート３１を構成する基材３の第２方向Ｄ２の長さは、エキスパンドシート１を構成する基材３の第２方向Ｄ２の長さと同じで良い。 That is, the expand sheet 31 includes a sheet-like base material 3 and an adhesive layer 5 having an adhesive force formed on the first surface 3 a side of the base material 3. However, the base material 3 constituting the expanded sheet 31 is longer than the base material 3 constituting the expanded sheet 1 in the first direction D1 in which the sheet roll 35 is wound. On the other hand, the length of the base material 3 constituting the expanded sheet 31 in the second direction D2 may be the same as the length of the base material 3 constituting the expanded sheet 1 in the second direction D2.
糊層５は、上述した拡張装置２によって挟持される領域を除いた領域に形成される。具体的には、第２方向Ｄ２の一端から他端に伸長する糊層５の無い複数の第１糊無し領域Ａ１が、第１方向Ｄ１において所定の間隔で配置されている。また、第１方向Ｄ１に伸長する第２糊無し領域Ａ２が、第２方向Ｄ２の一端側と他端側とに配置されている。なお、エキスパンドシート３１を使用する際には、セパレータフィルム３３が剥離される。 The adhesive layer 5 is formed in a region excluding the region sandwiched by the expansion device 2 described above. Specifically, a plurality of first adhesive-free areas A1 without the adhesive layer 5 extending from one end to the other end in the second direction D2 are arranged at a predetermined interval in the first direction D1. In addition, the second adhesive-free region A2 extending in the first direction D1 is arranged on one end side and the other end side in the second direction D2. In addition, when using the expanded sheet 31, the separator film 33 is peeled.
図７（Ａ）は、変形例に係るエキスパンドシート３１が拡張装置２によって挟持される様子を模式的に示す斜視図であり、図７（Ｂ）は、変形例に係るエキスパンドシート３１が拡張装置２によって拡張される様子を模式的に示す断面図である。図７（Ａ）に示すように、エキスパンドシート３１の第１糊無し領域Ａ１は、第１挟持ユニット４及び第２挟持ユニット６によって挟持される。つまり、第１糊無し領域Ａ１は、第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６との距離に対応する間隔で配置される。 FIG. 7A is a perspective view schematically showing a state in which the expanded sheet 31 according to the modification is sandwiched by the expansion device 2, and FIG. 7B is a diagram in which the expanded sheet 31 according to the modification is expanded. It is sectional drawing which shows a mode that it expands by 2. FIG. As shown in FIG. 7A, the first paste-free region A1 of the expanded sheet 31 is sandwiched between the first sandwiching unit 4 and the second sandwiching unit 6. That is, the first no-glue area A1 is arranged at an interval corresponding to the distance between the first clamping unit 4 and the second clamping unit 6.
一方で、エキスパンドシート３１の第２糊無し領域Ａ２は、第３挟持ユニット８及び第４挟持ユニット１０によって挟持される。図７（Ｂ）に示すように、第１挟持ユニット４と第２挟持ユニット６とを互いに離れる向きに移動させ、第３挟持ユニット８と第４挟持ユニット１０とを互いに離れる向きに移動させることで、このエキスパンドシート３１を拡張できる。 On the other hand, the second adhesive-free region A2 of the expanded sheet 31 is sandwiched by the third sandwiching unit 8 and the fourth sandwiching unit 10. As shown in FIG. 7B, the first holding unit 4 and the second holding unit 6 are moved away from each other, and the third holding unit 8 and the fourth holding unit 10 are moved away from each other. Thus, the expanded sheet 31 can be expanded.
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
１ エキスパンドシート
３ 基材
３ａ 第１面（上面）
３ｂ 第２面（下面）
５ 糊層（接着層）
１１ 被加工物
１１ａ 第１面（表面）
１１ｂ 第２面（裏面）
１３ デバイス
２１ フレーム
２３ エキスパンドシート
３１ エキスパンドシート
３３ セパレータフィルム
３５ シートロール
２ 拡張装置
４ 第１挟持ユニット（第１挟持手段）
６ 第２挟持ユニット（第２挟持手段）
８ 第３挟持ユニット（第３挟持手段）
１０ 第４挟持ユニット（第４挟持手段）
１２ 上側支持部材
１４ 下側支持部材
１６ 回転接触部材
Ａ 糊無し領域
Ａ１ 第１糊無し領域
Ａ２ 第２糊無し領域
Ｂ 糊有り領域
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Expand sheet 3 Base material 3a 1st surface (upper surface)
3b 2nd surface (lower surface)
5 Adhesive layer (adhesive layer)
11 Workpiece 11a First surface (surface)
11b 2nd surface (back surface)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Device 21 Frame 23 Expand sheet 31 Expand sheet 33 Separator film 35 Sheet roll 2 Expansion apparatus 4 1st clamping unit (1st clamping means)
6 Second clamping unit (second clamping means)
8 Third clamping unit (third clamping means)
10 Fourth clamping unit (fourth clamping means)
12 Upper Support Member 14 Lower Support Member 16 Rotating Contact Member A No Glue Area A1 First Glue Free Area A2 Second Glue Free Area B Glue Dried Area D1 First Direction D2 Second Direction
Claims (2)
基材と、該基材上に形成された糊層と、を備え、
該糊層は、該第１挟持手段、該第２挟持手段、該第３挟持手段、及び該第４挟持手段で挟持される領域を除いた領域に形成されていることを特徴とするエキスパンドシート。 A plate-shaped workpiece is attached, and faces the workpiece in the first direction and faces the workpiece and moves away from each other. The first clamping device and the second clamping device are movable perpendicular to the first direction. An expanded sheet in which four regions around the workpiece are sandwiched and expanded by a third clamping device and a fourth clamping device that face each other with the workpiece sandwiched in two directions and can move away from each other. Because
A base material, and a paste layer formed on the base material,
The expandable sheet is characterized in that the adhesive layer is formed in an area excluding an area sandwiched between the first clamping means, the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means. .
該シートロールの巻回される方向を該第１方向、該第１方向に垂直な方向を該第２方向として、該シートロールの該第１方向に所定の間隔で配置され該第２方向の一端から他端に至る複数の第１糊無し領域と、該シートロールの該第２方向の該一端側と該他端側とにおいてそれぞれ該第１方向に伸長する第２糊無し領域と、を有することを特徴とするエキスパンドシート。 The expanded sheet according to claim 1, wherein the expanded sheet is wound into a roll to constitute a sheet roll,
The direction in which the sheet roll is wound is the first direction, the direction perpendicular to the first direction is the second direction, and the sheet roll is disposed at a predetermined interval in the first direction. A plurality of first non-glue areas extending from one end to the other end, and second non-glued areas extending in the first direction on the one end side and the other end side in the second direction of the sheet roll, respectively. An expanded sheet comprising the expanded sheet.
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