JP6605510B2 - イオン移動度分光計用シャッタ - Google Patents
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Description
第1の平面内に互いに離間して配置された複数の第1の電極要素を有する第1の電極表面と、
前記第1の電極表面に平行に且つ前記第1の電極表面から離間して配置される第2の電極表面であって、第2の平面内に互いに離間して配置された複数の第2の電極要素を有する第2の電極表面と、
前記第1の電極要素と前記第2の電極要素との間に電位差を印加する手段と
を備えるイオン移動度分光計用シャッタに関する。
多数の開口部を備える第1の板状キャリアと、
前記板状キャリアの第1の側に配置され、前記第1の電極要素を形成する導電層と、
前記第1の側とは反対の第2の側に配置され、前記第2の電極要素を形成する導電層と、
多数の開口部を備え、前記第3の電極要素を形成する導電層が両面に設けられた第2の板状キャリアと、
前記第1の板状キャリアと前記第2の板状キャリアとの間に配置されるスペーサと
をさらに備える。
本発明によるシャッタと、
前記第2の電極表面に平行に且つ前記第2の電極表面から離間して配置され、イオンスウォームの到達を検出するコレクタプレートと
を備える。
Claims (9)
- 第1の平面内に互いに離間して配置された複数の第1の電極要素を有する第1の電極表面と、
前記第1の電極表面に平行に且つ前記第1の電極表面から離間して配置される第2の電極表面であって、第2の平面内に互いに離間して配置された複数の第2の電極要素を有する第2の電極表面と、
第3の平面内に互いに離間して配置された複数の第3の電極要素を有する第3の電極表面であって、前記第1の電極表面と平行に且つ前記第1の電極表面から離間して配置され、かつ、前記第1の電極表面の、前記第2の電極表面とは反対側に配置された第3の電極表面と、
シャッタを開閉するために、3つの前記電極表面の間の電位差を設定するように構成された回路と、
を備えるイオン移動度分光計用シャッタであり、
前記回路は、前記第1の電極表面の電位を、前記第2の電極表面及び前記第3の電極表面の電位よりも低く設定して、前記シャッタを閉じるように構成され、前記第1の電極表面の前記電位を、前記第2の電極表面及び前記第3の電極表面の前記電位よりも高く設定して、イオンが一時的に前記シャッタを通過できるように構成されることを特徴とするシャッタ。 - 前記回路は、前記シャッタが開いている場合及び前記シャッタが閉じている場合に、前記第2の電極表面及び前記第3の電極表面の前記電位を互いに等しく保つように動作する請求項1に記載のシャッタ。
- 前記第1の電極要素、第2の電極要素、及び/又は第3の電極要素が細長いことを特徴とする請求項1又は2に記載のシャッタ。
- 前記第1の電極要素、第2の電極要素、及び/又は第3の電極要素は、それぞれが配置された前記平面内で相互接続され、格子状電極を形成することを特徴とする請求項3に記載のシャッタ。
- 前記第1の電極要素間のピッチ間隔は、前記第2の電極要素間のピッチ間隔と等しいことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のシャッタ。
- 前記第3の電極要素間のピッチ間隔は、前記第1の電極要素間のピッチ間隔の1/3〜1/10であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のシャッタ。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載のシャッタであり、
多数の開口部を備えた第1の板状キャリアと、
前記第1の板状キャリアの第1の側に配置され、前記第1の電極要素を形成する導電層と、
前記第1の板状キャリアの前記第1の側とは反対の第2の側に配置され、前記第2の電極要素を形成する導電層と、
多数の開口部を備え、前記第3の電極要素を形成する導電層が両面に設けられた第2の板状キャリアと、
前記第1の板状キャリアと前記第2の板状キャリアとの間に配置されるスペーサと
をさらに備えることを特徴とするシャッタ。 - イオン移動度分光計であり、
請求項1〜7のいずれか一項に記載のシャッタと、
前記第2の電極表面に平行に且つ前記第2の電極表面から離間して配置され、前記イオンの到達を検出するコレクタプレートと
を備えることを特徴とするイオン移動度分光計。 - 前記シャッタと前記コレクタプレートとの間に配置される第2のスペーサを備えることを特徴とする、請求項7に記載のシャッタを有する請求項8に記載のイオン移動度分光計。
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