JP6595433B2 - 波形発生回路 - Google Patents
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Description
上記のような波形発生回路の公知例として、特許文献1が挙げられる。
前記パルス列出力回路は、前記正極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該正極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方と、前記負極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該負極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方とを、前記制御回路から与えられる制御信号に応じて調整可能に構成されており、
前記制御回路は、前記制御信号により、前記パルス列出力回路から出力される前記パルス列の各パルス電圧の前記パルス幅と前記パルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方を制御することにより、前記二次巻き線から出力される前記パルス状の高電圧の波高値を制御する構成の高圧電源」である。
1.第1巻線と第2巻線の2つの巻線をセンタータップ接続した一次巻線と、二次巻線とを有する巻線トランスと、
前記センタータップに接続された電圧源と、
前記第1巻線に第1パルス電流を供給する第1電流供給回路と、
前記第2巻線に第2パルス電流を供給する第2電流供給回路とを備える構成であって、
前記第1巻線には、第1ダイオードと第1開閉器からなる直列回路が並列接続されると共に、前記第2巻線には、第2ダイオードと第2開閉器からなる直列回路が並列接続され、
前記第1ダイオードと第2ダイオードのそれぞれのアノード側が、前記電圧源に接続された構成であることを特徴とする波形発生回路。
前記第1パルス電流が供給されている期間は、第1開閉器が開状態であり、該第1パルス電流は第1巻線に供給される構成であり、
前記第2パルス電流が供給されている期間は、第2開閉器が開状態であり、該第2パルス電流は第2巻線に供給される構成であること
を特徴とする前記1に記載の波形発生回路。
第2パルス電流が供給されていない期間は、第2開閉器が閉状態であり、第2ダイオードが順方向動作する場合にのみ、第2巻線に電圧を発生させない構成であること
を特徴とする前記2に記載の波形発生回路。
前記制御回路によって、第1電流供給回路又は第2電流供給回路から第1パルス電流又は第2パルス電流が供給される時間的タイミングが制御されると共に、
第1開閉器又は第2開閉器の開閉動作が制御される構成であること
を特徴とする前記1〜3のいずれかに記載の波形発生回路。
(1)第1パルス電流の立下りと、第2パルス電流の立上りが連続的であること
(2)第2パルス電流の立下りと、第1パルス電流の立上りが連続的であること
(3)上記(1)と(2)の組み合わせ
同じく、第2開閉器が閉状態の場合には、第2ダイオードが順方向動作するときに、第2巻線に生じようとする電圧を発生させない構成である。即ち、第2パルス電流が供給されていない期間でも、第1パルス電流が供給されている期間であれば、一次巻線における誘導電流の発生により、第2巻線にも電圧が発生し得るが、前記3に示す発明ではこの誘導電流を第2ダイオードで消費することができるので、この第2巻線に発生し得る電圧を発生させない構成である。
電圧源5は、一次巻線2への電流供給源であり、センタータップ4に接続される。
尚、第1電流供給回路6と第2電流供給回路7には、パルス電流の発生を制御、特にパルス電流を発生させる時間的タイミングや、パルス幅、パルス列配置又は電流値を制御するための制御回路8が接続されることが好ましい。
図1の概略回路図に示されるように、ダイオードDには、開閉器Sが直列に接続される。図1の実施例では、第1ダイオードD1には、第1開閉器S1が直列に接続されて直列回路を構成し、第2ダイオードD2には、第2開閉器S2が直列に接続されて直列回路を構成する。
他方、第1開閉器S1が開の場合には、第1巻線L1に電流が供給される。同じく、第2開閉器S2が開の場合には、第2巻線L2に電流が供給される構成である。
本発明は、ダイオードの特性を利用したものである。即ち、順方向に電圧がかかった場合には電流が流れるが、逆方向に電圧がかかった場合には電流が流れないという特性を利用したものである。このダイオードの特性を利用して、ダイオードが順方向に動作する場合にのみ、当該ダイオードと並列に接続された巻線に電圧が発生しないという効果、換言すれば、当該巻線における電圧の発生を防止できるという効果を得ることができる。
第1巻線L1側を例にとって説明すれば、第1電流供給回路6から供給される第1パルス電流のパルスが発生している時間(期間)には、第1開閉器S1は開となり、電流は第1巻線L1に流れる。
上記構成を詳述する。第2パルス電流が第2巻線L2に供給されることにより、同じ一次巻線の一部である第1巻線L1にも誘導電流が流れることになる。この誘導電流により、第1巻線L1に電圧が発生し、意図しないパルス電圧が出力される原因となる。そこで、本発明は、かかる場合に、第1ダイオードD1が順方向動作するときには誘導電流を消費し、第1巻線L1に電圧を発生させない構成とし、その結果、意図しないパルス電圧の発生を防ぐものである。
なお、第1パルスのパルスが発生していない時間(期間)について、第2パルス電流が供給されているか否かにかかわらず、第1開閉器S1を閉とする構成としてもよい。
第1巻線L1の場合と同様だが、上記構成を詳述する。第1パルス電流が第1巻線L1に供給されることにより、同じ一次巻線の一部である第2巻線L2にも誘導電流が流れることになる。この誘導電流により、第2巻線L2に電圧が発生し、意図しないパルス電圧が出力される原因となる。そこで、本発明は、かかる場合に、第2ダイオードD2が順方向動作するときに誘導電流を消費し、第2巻線L2に電圧を発生させない構成とし、その結果、意図しないパルス電圧の発生を防ぐものである。
なお、第2パルスのパルスが発生していない時間(期間)について、第1パルス電流が供給されているか否かにかかわらず、第2開閉器S2を閉とする構成としてもよい。
第1パルス電流と第2パルス電流を供給する時間的タイミングを制御でき、第1開閉器S1と第2開閉器S2の開閉動作を制御できる構成であればよい。
波形発生回路1の動作を説明するため、先ず、図2に示される概略回路図の動作について説明する。図2に示される概略回路図は、本発明の実施例である図1と異なり、一次巻線2の第1巻線L1又は第2巻線L2に、ダイオードDが接続されていない構成であり、従来から知られた構成である。図2の回路構成であっても、巻線トランスの作用により、二次巻線3側から高圧のパルス波形を出力することができる。
2パルス電流I(2)の立下り時に逆極性(負極)へ振れ、同じくリンギング等が現れる。
第2巻線L2における電圧V(L2)は、第2パルス電流I(2)の立上り時に、V(L1)とは逆極性の負極性に振れ、リンギング等が現れた後、第2パルス電流I(2)の立下り時に逆極性(正極)へ振れ、同じくリンギング等が現れる。
た後、第1パルス電流I(1)の立下り時に逆極性(正極)へ振れ、同じくリンギング等が現れる。
第1パルス電流I(1)が供給されると、第1巻線L1に電流が流れ、トランスの鉄心に磁束が生ずる影響により、第2巻線L2にも電流が流れる。よって、第2巻線L2にも電圧が発生する。第2巻線L2における電圧V(L2)は、第1パルス電流I(1)の立上り時に、V(L1)とは逆極性の正極性に振れ、リンギング等が現れた後、第1パルス電流I(1)の立下り時に逆極性(負極)へ振れ、同じくリンギング等が現れる。
上述のとおり、従来の回路構成(図2)では、リンギングや、入力パルスの立下り時に逆極性へのパルス電圧が発生するという問題があることが分かる。
続いて、図4に示される概略回路図の動作について説明する。
図4に示される概略回路図は、図2に示される回路構成に比して、第1巻線L1にのみ第1ダイオードD1が並列接続された構成である。第1ダイオードD1に開閉器Sは接続されておらず、この第1ダイオードD1は常時接続された状態である。
第2電流供給回路7から第2パルス電流I(2)が供給されると、第1巻線L1における電圧V(L1)は、第2パルス電流I(2)の立上り時に正極性に振れる。しかし、図3において現
れたリンギングや逆極性パルスは発生しない。第1巻線L1には、第1ダイオードD1が並列に常時接続されおり、この第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しない。よって、第2パルス電流I(2)の立上り時に現れた正極性へのパルスは、第2巻線L2に流れた電流によって発生したものである。
いて現れたリンギングや逆極性パルスは発生しない。これは、第2巻線L2にはダイオードが接続されていないので電流が流れ、第2パルス電流I(2)の立上り時に、パルス電圧が発生するが、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1側に現れる電圧が発生しない。これにより、図3においては現れたリンギングが、図5では発生しない。第2パルス電流I(2)の立下り時における逆極性パルスは、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、図3において第1巻線L1に発生していた電圧が発生しない。
第1電流供給回路6から第1パルス電流I(1)が供給された場合、第1巻線L1における電圧V(L1)及び第2巻線L2における電圧V(L2)共に、出力が現れない。これは、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1に電圧が発生しないためである。第1巻線L1に電圧が発生しないので、第2巻線L2にも電圧が発生しない。
続いて、図6に示される概略回路図の動作について説明する。
図6に示される概略回路図は、図4に示される回路構成に対して、第1開閉器S1が加えられた構成である。この第1開閉器S1は、第1ダイオードD1に直列接続されている。
、開閉される構成である。詳しくは、第1電流供給回路6から供給される第1パルス電流のパルスが発生している期間は、第1開閉器S1は開状態となり、電流は第1巻線L1に流れる。一方で、第1パルス電流のパルスが発生していない時間には、第1開閉器S1は閉状態となり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合に、第1巻線L1には電圧が発生しない構成である。
、図5の場合と同様に、リンギングや逆極性パルスは発生しない。
ここでは、第1電流供給回路6から第1パルス電流I(1)が発生していないので、第1開閉器S1は閉であり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しない。よって、第2パルス電流I(2)の立上り時に現れた正極性へのパルスは、第2巻線L2に流れた電流によって発生したものである。
いて現れたリンギングや逆極性パルスが発生しない。これは、第2巻線L2にはダイオードが接続されていないので電流が流れ、第2パルス電流I(2)の立上り時に、パルス電圧が発生するが、第1巻線L1側に現れる成分が第1ダイオードD1が順方向動作する場合に電圧が発生しない。これにより、図3においては現れたリンギングが、図7には発生しない。第2パルス電流I(2)の立下り時における逆極性パルスは、図3において第1巻線L1に発生していた電圧が、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には発生しない。
第1電流供給回路6から第1パルス電流I(1)が供給された場合、第1開閉器S1は開状態となり、電流は第1巻線L1に流れ、ここで電圧が発生する。これにより、トランスの鉄心に磁束が生じるので、第2巻線L2にも電圧が発生する。
最後に、本発明の一実施例である回路構成(図1)について説明する。
図1に示される概略回路図は、第1巻線L1には第1ダイオードD1が、第2巻線L2には第2ダイオードD2がそれぞれ並列接続された構成である。また、第1ダイオードD1には第1開閉器S1が、第2ダイオードD2には第2開閉器S2がそれぞれ直列接続された構成である。
ここでは、第1電流供給回路6から第1パルス電流I(1)が発生していないので、第1開閉器S1は閉であり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しない。一方の第2巻線L2は、第2パルス電流の発生により第2開閉器は開となり、電流は第2巻線L2に流れる。
この状態は、図6の回路構成において、第2電流供給回路7から第2パルス電流I(2)が供給された場合と同じであるため、図8の波形は、図7の波形と略同じとなる。
ここでは、第1パルス電流I(1)の発生により、第1開閉器S1が開となり、電流は第1巻線L1に流れる。一方の第2巻線は、第2パルス電流I(2)が発生していないので、第2開閉器S2は閉であり、第2ダイオードD2が順方向動作する場合には、第2巻線L2には電圧が発生しない。
振れる。一方で、リンギング等の意図しない波形は発生しない。これは、第2ダイオードD2が順方向動作する場合には、第2巻線L2において電圧が発生しないためである。
発生しない。これは、入力パルス電流I(1)の立下りにより、第1開閉器S1は閉となり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しないためである。
振れる。これは、第2巻線には第2ダイオードD2により電流が流れず電圧も発生しないが、第1巻線L1に電流が流れたことにより、トランスの鉄心に磁束が生ずる影響により、第2巻線L2にも電流が流れ、これにより、第2巻線L2にも電圧が発生したものである。一方で、リンギング等の意図しない波形は発生しない。これは、第1巻線L1においてもリンギング等の意図しない波形が発生していないためである。
発生しない。これは、第2巻線L2には電流が流れていないことに加え、第1パルス電流I(1)の立下りにより第1開閉器S1も閉となり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しないためである。
L2側の第2ダイオードD2によって消滅し、第2巻線L2の電圧V(L2)における意図し
ない波形は、第1巻線L1側の第1ダイオードD1によって消滅することになる。
かかる作用効果により、波形発生回路1は、一次巻線2における微分波形やリンギングといった過渡現象や、逆極性パルスの発生といった意図しない波形の発生を抑えることができる。そして、一次巻線2側で意図しない波形の発生を抑えることによって、二次巻線3から出力される波形についても、微分波形やリンギングといった過渡現象や、逆極性パルスの発生といった意図しない波形の発生を抑えることができる。
本発明に係る波形発生回路1を用いて、第1パルス電流と第2パルス電流を一次巻線2に供給する時間的なタイミングを調整することで、二次巻線3から出力される出力パルス電圧について、約2倍の波高値を出力することができる。
(1)第1パルス電流の立下りと、第2パルス電流の立上りが連続的であること
(2)第2パルス電流の立下りと、第1パルス電流の立上りが連続的であること
(3)上記(1)と(2)の組み合わせ
上記(1)は、後述する図9(a)において、左側に示される波形であり、上記(2)は、後述する図9(a)において、右側に示される波形であり、上記(3)は、上記(1)と(2)が任意の順で供給されることを示すものである。
ルス電圧の波形と、後のパルス電流の立上りによって生ずる出力パルス電圧の波形との加算によって生ずる出力パルス電圧の波形の波高値が、先のパルス電流の立上り又は後のパルス電流の立下りによって生じた出力パルス電圧の波形の波高値よりも高くなるタイミングであればよい。
(A)第1パルス電流の立下りによって二次巻線から出力されたパルス状の高電圧と、第2パルス電流の立上りによって二次巻線から出力されたパルス状の高電圧とが、時間的に重複して発生すること
(B)第2パルス電流の立下りによって二次巻線から出力されたパルス状の高電圧と、第1パルス電流の立上りによって二次巻線から出力されたパルス状の高電圧とが、時間的に重複して発生すること
(C)上記(A)と(B)の組み合わせ
上記(A)のタイミングでは、負極性に波高値が高いピークが生じ、上記(B)のタイミングでは、正極性に波高値が高いピークが生じる構成であり、上記(C)は、上記(A)と(B)が任意の順で供給されることを示すものである。
上記のタイミングについて換言すれば、先のパルス電流の立下りによって生ずる出力パルス電圧の波形と、後のパルス電流の立上りによって生ずる出力パルス電圧の波形との加算によって生ずる出力パルス電圧の波形の波高値が、先のパルス電流の立上り又は後のパルス電流の立下りによって生じた出力パルス電圧の波形の波高値よりも高くなるタイミングであればよい。
図9(a)には、第1パルス電流又は第2パルス電流の波形が示され、図9(b)には、第1パルス電流によって第1巻線L1に発生したパルス電圧の波形が示され、図9(c)には、第2パルス電流によって第1巻線L1に発生した出力パルス電圧の波形が示され、図9(d)には、上記図9(b)と(c)の電圧が加算された第1巻線L1に発生したパルス電圧の波形が示されている。
図9(b)は、第1パルス電流によって第1巻線L1に発生したパルス電圧の波形を示している。図9(b)に示されるように、第1パルス電流の供給により、第1開閉器S1は開になるので、第1巻線L1に電流が供給され、第1パルス電流の立上り時に、第1巻線L1には負極性のパルスが発生する。図3では、この立上り時のパルスに続いて、リンギング等の意図しない波形が発生しているが、ここでは、上述のとおり、第1パルス電流が発生し、第2パルス電流が発生していない状態であるため、第2開閉器S2は閉であり、第2ダイオードD2が順方向動作する場合には、第2巻線L2には電圧が発生しないので、この意図しない波形は発生しない。
図9(c)は、第2パルス電流によって第1巻線L1に発生したパルス電圧の波形を示している。図9(c)に示されるように、第2パルス電流の供給により、第2開閉器S2は開になるので、第2巻線L2に電流が供給され、第2パルス電流の立上り時に、第1巻線L1には第2巻線L2とは逆極性である正極性のパルスが発生する。図3では、この立上り時のパルスに続いて、リンギング等の意図しない波形が発生しているが、ここでは、上述のとおり、第2パルス電流が発生し、第1パルス電流が発生していない状態であるため、第1開閉器S1は閉であり、第1ダイオードD1が順方向動作する場合には、第1巻線L1には電圧が発生しないので、この意図しない波形は発生しない。
図9(d)は、図9(b)と(c)の電圧が加算された第1巻線L1に発生したパルス電圧の波形を示している。上述のとおり、第1パルス電流の立下りと、第2パルス電流の立上りは連続的であるが、この時の第1巻線L1には、第1パルス電流によって正極性のパルスが生じ(図9(b)参照)、第2パルス電流によっても正極性のパルスが生じている(図9(b)参照)。これらの正極性パルスは加算され、約2倍の波高値を有する正極性のパルス電圧を発生させることができる。
二次巻線3から出力されるパルス電圧は、同じく図3、5、7又は8にも示されるように、第2巻線に発生するパルス電圧の波形と略同じである(波高値は異なる。)。
2 一次巻線
L1 第1巻線
L2 第2巻線
3 二次巻線
4 センタータップ
5 電圧源
6 第1電流供給回路
7 第2電流供給回路
8 制御回路
D ダイオード
D1 第1ダイオード
D2 第2ダイオード
S 開閉器
S1 第1開閉器
S2 第2開閉器
Claims (6)
- 第1巻線と第2巻線の2つの巻線をセンタータップ接続した一次巻線と、二次巻線とを有する巻線トランスと、
前記センタータップに接続された電圧源と、
前記第1巻線に第1パルス電流を供給する第1電流供給回路と、
前記第2巻線に第2パルス電流を供給する第2電流供給回路とを備える構成であって、
前記第1巻線には、第1ダイオードと第1開閉器からなる直列回路が並列接続されると共に、前記第2巻線には、第2ダイオードと第2開閉器からなる直列回路が並列接続され、
前記第1ダイオードと第2ダイオードのそれぞれのアノード側が、前記電圧源に接続された構成であることを特徴とする波形発生回路。 - 第1パルス電流と第2パルス電流は、時間的に重複して供給されることがなく、
前記第1パルス電流が供給されている期間は、第1開閉器が開状態であり、該第1パルス電流は第1巻線に供給される構成であり、
前記第2パルス電流が供給されている期間は、第2開閉器が開状態であり、該第2パルス電流は第2巻線に供給される構成であること
を特徴とする請求項1に記載の波形発生回路。 - 第1パルス電流が供給されていない期間は、第1開閉器が閉状態であり、第1ダイオードが順方向動作する場合にのみ、第1巻線に電圧を発生させない構成であり、
第2パルス電流が供給されていない期間は、第2開閉器が閉状態であり、第2ダイオードが順方向動作する場合にのみ、第2巻線に電圧を発生させない構成であること
を特徴とする請求項2に記載の波形発生回路。 - 第1電流供給回路、第2電流供給回路、第1開閉器及び第2開閉器の動作を制御する制御回路が設けられ、
前記制御回路によって、第1電流供給回路又は第2電流供給回路から第1パルス電流又は第2パルス電流が供給される時間的タイミングが制御されると共に、
第1開閉器又は第2開閉器の開閉動作が制御される構成であること
を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の波形発生回路。 - 第1パルス電流と第2パルス電流が、第1巻線と第2巻線に対して、次に掲げる(1)〜(3)の時系列で供給されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の波形発生回路。
(1)第1パルス電流の立下りと、第2パルス電流の立上りが連続的であること
(2)第2パルス電流の立下りと、第1パルス電流の立上りが連続的であること
(3)上記(1)と(2)の組み合わせ - 請求項1〜5のいずれかに記載の波形発生回路を搭載したことを特徴とするイオン発生装置。
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