JP6595281B2 - テンプレート用のプラズマ処理装置、およびテンプレートのプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
インプリント法では、レジストなどの被転写物の表面に、パターンが形成された型を押し付け、パターンが形成されている部分とは反対側の面から紫外線などの光を照射して、レジストなどの被転写物を硬化させる。そして被転写物から型を離型することで、パターンを被転写物に転写する。
このようなインプリント法においては、レジストなどの被転写物の表面にパターンを転写するためにテンプレート(モールド、インプリント型、スタンパなどとも称される)が用いられている。
テンプレートは、板状を呈し、石英などから形成されている。
テンプレートの一方の面には、転写に用いられるパターンが設けられている。テンプレートの他方の面には、転写に用いられるパターンと対峙させて凹部(コアアウトなどとも称される)が設けられている。そのため、テンプレートは、転写に用いられるパターンが設けられている部分の厚みが薄くなっている。
この様に、テンプレートは、熱伝導率の低い材料から形成され、また、転写に用いられるパターンが設けられている部分の厚みが薄くなっている。
厚みが薄くなっている部分を有することにより、インプリント工程時に、薄くなっている部分の表面を変形させやすくすることができる。例えば、パターンが形成されている薄い部分を、パターンが広がる方向に変形させ、パターンを被転写物から剥離し易くすることができる。
この側壁角度を決める要素の一つとして、エッチング時の基板温度がある。プラズマを使用するドライエッチングは、炭素原子とフッ素原子を含むガスから生成されるフロロカーボン系の物質である側壁保護膜をパターンの側壁に付着させながら、イオンエネルギーをテンプレートの母材(石英基板)に衝突させることで行われる。側壁保護膜の厚さが厚い部分ほどエッチングされやすくなり、側壁保護膜の厚さが薄いほどエッチングされにくくなる。一方で、基板温度が低いほど側壁保護膜は生成されやすくなり、基板温度が高いほど側壁保護膜は生成されにくくなる。このように、基板温度によって側壁保護膜の厚さが変化し、側壁保護膜の厚さによってパターンの側壁のエッチングレートが変化するため、側壁角度を制御するためには、基板の温度制御が大きな要因になる。
ここで、テンプレートをプラズマ処理すると、プラズマからの輻射熱によりテンプレートが加熱される。
プラズマからの輻射熱によりテンプレートが加熱されると、厚みの薄い部分の温度が厚みの厚い部分の温度よりも高くなる。この場合、テンプレートは、熱伝導率の低い材料から形成されているので、テンプレート面内で熱が伝導しにくく、厚みの薄い部分の温度と、厚みの厚い部分の温度の差が大きくなる。
従来、プラズマを使用するドライエッチングにおいての温度制御として、例えば、半導体ウェーハのドライエッチングにおいての温度制御では、静電チャックと伝熱ガスが併用される。これは、冷媒循環により冷却した電極に、半導体ウェーハを静電チャックで吸着しながら、かつ半導体ウェーハの裏面から伝熱ガスで圧力を高めることで熱伝導率を高めて冷却などの温度制御を行うものである。
しかしながら、冷却した電極に載置してテンプレートの裏面から冷却を行う場合、プラズマからの輻射熱により加熱されるテンプレートの厚い部分と薄い部分の温度の変化率が異なるため、効率よく薄い部分の冷却を行うことができない。
また、石英基板(テンプレート)のドライエッチングにおける温度制御は、例えば間欠エッチングを用いるものがある。間欠エッチングは、プラズマの輻射熱によって基板温度が上がったらプラズマを停止させて、基板温度が下がったらプラズマを再着火させ、処理を再開させることを繰り返す技術である(例えば、特許文献1を参照)。また、予め基板をマイナス数十℃まで事前冷却してからプラズマを着火し、ドライエッチングを行うものがある。
しかしながら、間欠エッチングや事前冷却を行う場合、処理中の石英基板の温度は制御しないため、処理中の石英基板の温度変化を制御することはできない。
このように、事前冷却や間欠エッチングなど、プラズマを着火していない時に冷却を行った場合、プラズマを着火している処理中の石英基板の温度変化には対応できない。また、プラズマを着火しているプラズマ処理中に、冷却した電極に載置して石英基板を冷却した場合でも、石英基板の厚みの厚い部分と厚みの薄い部分を一様に冷却するため、プラズマ処理中の厚みの薄い部分の温度変化に対応することができない。このため、処理中の温度の変化により、側壁保護膜の付着量が変化し、側壁の角度が精度よく制御できなくなる。
このように、プラズマ処理中におけるテンプレートの厚みの薄い部分の温度制御における課題は従来の冷却技術では解決できないものであった。
そこで、プラズマ処理中に、テンプレートの厚みの薄い部分を効率的に冷却することができる技術の開発が望まれていた。
このテンプレート用のプラズマ処理装置は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、前記処理容器の内部を所定の圧力まで減圧する減圧部と、前記処理容器の内部のプラズマを発生させる領域に電磁エネルギーを供給するプラズマ発生部と、前記プラズマを発生させる領域にプロセスガスを供給するガス供給部と、前記処理容器の内部において、前記テンプレートを載置する載置部と、を備えている。
前記載置部は、内部にペルチェ素子が設けられ、前記テンプレートの前記凹部の内部に隙間を介して入り込む第1の冷却部と、
前記ペルチェ素子を冷却する第2の冷却部と、
を有し、
前記ペルチェ素子は、前記第1の冷却部において、前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙する面の近傍に前記ペルチェ素子の吸熱側が前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙するように配置され、前記第2の冷却部は、前記ペルチェ素子の放熱側と対峙するように設けられる。
まず、インプリント法に用いられるテンプレート100について説明する。
図1は、テンプレート100を例示するための模式断面図である。
図1に示すように、テンプレート100は、基体101とパターン部102を有する。 基体101は、板状を呈している。
パターン部102は、基体101の一方の面に設けられている。パターン部102は、基体101の一方の面から突出している。パターン部102の基体101側とは反対側の面には、転写に用いられるパターン102aが設けられている。
なお、基体101の一方の面から突出するパターン部102を例示したが、パターン部102は、基体101の一方の面から突出していなくてもよい。例えば、パターン部102は、基体101の一方の面に設けられた領域であってもよい。この場合には、パターン102aは、基体101の一方の面の所定の領域に設けられる。
すなわち、テンプレート100は、基体101と、基体101の一方の面に設けられたパターン102aと、基体101のパターン102aが設けられた側とは反対側の面に開口し、パターン102aと対峙する凹部101aを有していればよい。
凹部101aは例えば、平面視したときに正方形、長方形などの多角形形状や、円形、楕円などの円形状を有することができる。
凹部101aが設けられているので、パターン102aが設けられている領域における基体101の厚みは薄くなっている。
厚みが厚い部分の厚さは、6mm程度、厚みが薄くなっている部分の厚さは、厚みが厚い部分の厚さの半分以下とすることができる。
基体101とパターン部102は、一体に形成されている。
基体101とパターン部102は、例えば、石英などから形成することができる。
図2は、本実施の形態に係るテンプレート用のプラズマ処理装置1を例示するための模式断面図である。
図3は、載置部2を例示するための模式断面図である。
図2に示すように、プラズマ処理装置1には、載置部2、処理容器3、アンテナ4、電源部5、電源部6、ガス供給部7、減圧部8、温度測定部9および制御部10などが設けられている。
台座21は、処理容器3の内部に設けられている。
台座21は、基台21aと絶縁部21bを有する。
基台21aは、導電性を有し、熱伝導率の高い材料から形成されている。基台21aは、金属などから形成することができる。
基台21aの内部には、冷媒が流通する流路21a1が設けられている。冷媒は、例えば、フッ素系熱媒体などとすることができる。
絶縁部21bは、絶縁性を有し、基台21aの周縁部分を覆うように設けられている。
冷却部22は、配管を介して基台21aの内部に設けられた流路21a1と接続されている。
冷却部22は、所定の温度の冷媒を流路21a1の内部に供給し、流路21a1の内部を流通した冷媒を回収し、回収した冷媒を冷却して冷媒の温度が所定の範囲内となるようにする。
冷却部22は、基台21aおよび基部23aを介して、テンプレート100の厚みの厚い部分を冷却する。またさらに、冷却部22は、テンプレート100の厚みの厚い部分を介して、テンプレート100の厚みの薄い部分を間接的に冷却する。
すなわち、冷却部22は、主に、テンプレート100の厚みの厚い部分を冷却する。
また、冷却部22は、後述するペルチェ素子(Peltier device)23cから放出された熱を除去する。すなわち、冷却部22は、ペルチェ素子23cを冷却する。
冷却部22は、例えば、冷媒を収納するタンク、冷媒を流路21a1に供給するポンプ、タンクに収納された冷媒を所定の温度まで冷却する冷却装置などを有するものとすることができる。
支持部23は、基台21aに対して着脱可能となっている。支持部23は、基台21aのプラズマPに面する側に載置されている。この場合、図示しない保持装置により支持部23が基台21aの上に保持されるようにすることもできる。
支持部23は、基部23a、冷却部23b、ペルチェ素子23c、端子23d、および絶縁部23eを有する。
基部23aは、板状を呈し、熱伝導率の高い材料から形成されている。基部23aは、例えば、金属などから形成することができる。
基部23aの一方の面は、基台21aと接触している。基部23aの他方の面には、冷却部23bが設けられている。
すなわち、平面視における支持部23の外形寸法は、テンプレート100の外形寸法よりも短くすることができる。
この様にすれば、プラズマ生成物により、支持部23の周縁がエッチングされるのを抑制することができる。
そのため、支持部23の寿命を延ばすことができる。
基部23aと冷却部23bは、一体に形成することもできるし、別々に形成した後に接合することもできる。
テンプレート100の厚みの厚い部分は、基部23aと接触している。テンプレート100の厚みの薄い部分は、冷却部23bと対峙している。
ペルチェ素子23cは、主に、テンプレート100の厚みの薄い部分を冷却する。
端子23dは、導電性材料から形成され、2つ設けられている。
端子23dは、ペルチェ素子23cと、基部23aの冷却部23b側とは反対側の面との間に設けられている。
端子23dの一方の端部は、ペルチェ素子23cの電極に電気的に接続されている。
端子23dの他方の端部は、基部23aから露出している。そのため、外部から端子23dを介してペルチェ素子23cに電力を印加することができる。
絶縁部23eは、絶縁性材料から形成され、端子23dと基部23aの間、および端子23dと冷却部23bの間を絶縁している。
ただし、支持部23が基台21aに対して着脱可能となっていれば、種々のテンプレート100に対する対応が容易となる。
冷却部23bは、テンプレート100の凹部101aよりも僅かに小さいものとすることが好ましい。この場合、支持部23と基台21aが一体となっていれば、設けられている冷却部23bが凹部101aに適さない場合も生じ得る。
これに対して、支持部23が基台21aに対して着脱可能となっていれば、適切な大きさの冷却部23bを有する支持部23に取り替えることで、種々のテンプレート100に対応することができる。
また、テンプレート100を支持部23に支持させた状態で搬送することができるので、テンプレート100の取り扱いが容易となり、また、テンプレート100の破損も抑制することができる。
接続部24aは、導電性を有し、2つ設けられている。
接続部24aは、基台21aの内部に設けられている。
接続部24aの一方の端部は、基台21aの支持部23が載置される側の面に露出している。接続部24aの一方の端部は、端子23dと接触するようになっている。
この場合、接続部24aの一方の端部は、弾性力により端子23dに押し付けられるようにすることが好ましい。接続部24aは、例えば、コンタクトプローブなどとすることができる。
接続部24aの他方の端部は、フィルタ24c(フィルタ24d)を介して直流電源24eと電気的に接続されている。
絶縁部24bは、絶縁性材料から形成され、接続部24aと基台21aの間を絶縁している。
フィルタ24dは、直流電源24eの負極と接続部24aの間に設けられている。
フィルタ24cおよびフィルタ24dは、電源部6により基台21aに印加された高周波電力が直流電源24eに伝わるのを防止する。
直流電源24eは、フィルタ24c、フィルタ24d、接続部24a、および端子23dを介して、ペルチェ素子23cに直流電力を印加する。
側壁と底面は、例えば、アルミニウム合金などから形成することができる。
透過窓3aは、平板状を呈し、高周波エネルギーに対する透過率が高く、プラズマ処理時にエッチングされにくい材料から形成されている。透過窓3aは、例えば、石英などから形成することができる。
処理容器3は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能となっている。
電源部5は、アンテナ4と電気的に接続されている。電源部5は、100KHz〜100MHz程度の高周波電力をアンテナ4に印加する。
本実施の形態においては、アンテナ4、および電源部5がプラズマPを発生させる領域に電磁エネルギーを供給するプラズマ発生部となる。
電源部6は、高周波電源6aと整合器6bを有する。
高周波電源6aは、整合器6bを介して基台21aと電気的に接続されている。
高周波電源6aは、イオンを引き込むのに適した比較的低い周波数(例えば、13.56MHz以下の周波数)を有する高周波電力を基台21aに印加する。
整合器6bは、高周波電源6a側のインピーダンスと、プラズマP側のインピーダンスとの間で整合をとるための整合回路を有する。
ガス供給部7は、例えば、高圧のプロセスガスGが収納された収納部7aと、プロセスガスGの流量を制御する流量制御部7bを有する。
収納部7aは、流量制御部7bを介して処理容器3の側壁上部に接続されている。
プラズマ処理を行う際には、収納部7aから流量制御部7bを介して処理容器3内のプラズマPを発生させる領域に、所定の流量のプロセスガスGが供給される。
石英から形成されたテンプレート100をエッチングする場合には、プロセスガスGは、例えば、フッ素元素を含むガスとすることができる。プロセスガスGは、例えば、CHF3などとすることができる。
流量制御部7bは、例えば、マスフローコントローラ(Mass Flow Controller)などとすることができる。
ポンプ8aは、圧力制御部8bを介して、処理容器3の底面に接続されている。
プラズマ処理を行う際には、減圧部8は、処理容器3の内部を所定の圧力にまで減圧する。この場合、ポンプ8aは、処理容器3の内部のガスを排気する。後述する制御部10は、処理容器3の内圧を検出する図示しない圧力計の出力に基づいて、圧力制御部8bを制御して、処理容器3の内圧が所定の圧力となるようにする。
ポンプ8aは、例えば、ターボ分子ポンプ(TMP)などとすることができる。
圧力制御部8bは、例えば、APC(Auto Pressure Controller)などとすることができる。
この場合、温度測定部9は、テンプレート100の厚みの厚い部分の温度と、テンプレート100の厚みの薄い部分の温度を測定するものとすることができる。
例えば、温度測定部9は、処理容器3の側壁に設けられた検出窓3bを介して、テンプレート100の厚みの厚い部分の温度と、テンプレート100の厚みの薄い部分の温度を測定するものとすることができる。この場合、温度測定部9は、赤外線放射温度計などとすることができる。
なお、温度測定部9の配置や測定方式は例示をしたものに限定されるわけではなく、適宜変更することができる。例えば、温度測定部9は、基台21a、基部23a、冷却部23bなどに設けられた熱電対などであってもよい。
制御部10は、例えば、冷却部22を制御して、所定の温度の冷媒を流路21a1の内部に供給し、流路21a1の内部を流通した冷媒を回収し、回収した冷媒を冷却して冷媒の温度が所定の範囲内となるようにする。すなわち、制御部10は、冷却部22を制御して、主に、テンプレート100の厚みの厚い部分を冷却する。
なお、制御部10は、テンプレート100の厚みの厚い部分の温度を測定する温度測定部9からの出力に基づいて、冷却部22の制御を行うようにすることができる。
また、予めテンプレート100の厚みの厚い部分の温度上昇レートを測定し、この情報を用いて冷却部22の制御を行うようにすることもできる。この場合、上述した温度測定部9は省略することができる。
なお、制御部10は、テンプレート100の厚みの薄い部分の温度を測定する温度測定部9からの出力に基づいて、直流電源24eの制御を行うようにすることができる。
なお、予めテンプレート100の厚みの薄い部分の温度上昇レートを測定し、この情報を用いて直流電源24eの制御を行うようにすることもできる。この場合、上述した温度測定部9は省略することができる。
また、後述するように、制御部10は、プラズマの着火を条件として、冷却部23bの温度を低下させるように制御する。
制御部10は、例えば、高周波電源6aを制御して、所定の周波数を有する高周波電力を基台21aに印加する。
制御部10は、例えば、整合器6bを制御して、高周波電源6a側のインピーダンスと、プラズマP側のインピーダンスとの間の整合をとる。
制御部10は、例えば、流量制御部7bを制御して、処理容器3内のプラズマPを発生させる領域に、所定の流量のプロセスガスGを供給する。
制御部10は、例えば、ポンプ8aと圧力制御部8bを制御して、処理容器3の内圧が所定の圧力となるようにする。
プラズマ処理を行う際には、まず、図示しない搬送装置により、テンプレート100が支持部23に支持された状態で、処理容器3の内部に搬入される。
なお、支持部23と基台21aが一体となっている場合には、図示しない搬送装置により、テンプレート100が、処理容器3の内部に搬入される。
処理容器3内に放射された電磁エネルギーによりプラズマPが発生し、発生したプラズマP中において、プロセスガスGが励起、活性化されて中性活性種、イオンなどのプラズマ生成物が生成される。そして、この生成されたプラズマ生成物によりテンプレート100のパターン部102がエッチングされ、転写に用いられるパターン102aが形成される。
パターン102aが形成されたテンプレート100は、図示しない搬送装置により、支持部23に支持された状態で処理容器3の外部に搬出される。
なお、支持部23と基台21aが一体となっている場合には、図示しない搬送装置により、テンプレート100が、処理容器3の外部に搬出される。
そのため、異方性を有するエッチングを行うことができる。例えば、幅寸法が短く、深さ寸法が長い溝などを形成することができる。
ところが、プラズマ生成物には、等方性を有するエッチングが行われる中性活性種が含まれている。また、パターン部102の表面に入射するイオンには、垂直な方向に対して傾いた方向から入射するイオンもある。
そのため、近年の微細化されたパターン102aを形成するためには、異方性をさらに向上させる必要がある。
図4は、保護膜201を例示するための模式断面図である。
なお、図4中の200は、パターン102aを形成する際に用いるレジストパターンである。
プロセスガスGを励起、活性化させてプラズマ生成物を生成した際に、プロセスガスGに含まれる元素からなる副生成物が生成される。例えば、プロセスガスGがCHF3などの場合には、副生成物として、炭素とフッ素を含むフロロカーボン系の物質が生成される。
図4に示すように、副生成物からなる保護膜201をパターン102aの側壁に形成しつつエッチングを行えば、異方性をさらに向上させることができる。
プラズマPからの輻射熱によりテンプレート100が加熱されると、厚みの薄いパターン部102の温度が高くなる。
本発明者の得た知見によれば、エッチングが行われるパターン部102の温度が高くなりすぎると、保護膜201の形成が阻害されることが判明した。
なお、この比較例は、凹部101aの内部に入り込むホルダを設けることで、凹部101aの内部空間を埋め、冷却部22を有する基台21aからの伝熱到達速度を同じにした例である。
また、図5は、冷却部22のみによりテンプレート100を冷却する場合である。
図5中の120は、パターン部102の温度変化である。121は、テンプレート100の厚みの厚い部分の温度変化である。122は、冷却部22により冷却された基台21aの温度である。
図5から分かるように、冷却部22による冷却だけでは、パターン部102の温度上昇を抑制することができない。
すなわち、プラズマ処理が始まってからの厚みの厚い部分と薄い部分の温度の変化率は異なるものであるため、両者に同じ温度制御を行っている場合、プラズマ処理中に、パターン領域に対応する厚みの薄い部分の基板の表面温度の変化を制御することができない。
さらに、上述したように、インプリント用のテンプレートは、インプリント工程時に、テンプレートの裏面から、パターン領域に対応する部分に光を照射するため、パターン領域に対応する凹部に傷を与えることを防止したり、パーティクルの付着を抑止する必要がある。そのため、比較例のように、凹部101aの内部に入り込むホルダを設けた場合でも、テンプレート100の凹部101aに入り込んだホルダの凸部の表面は、テンプレート100の凹部101aの載置側の表面に触れないように、両者の間に隙間が形成されている。つまり、パターン部102は、厚みの厚い部分からの伝熱やホルダからの熱輻射によってしか冷却されない。しかしながら、テンプレート100は、熱伝導性が低い材料から形成されているので、冷却部22の冷却によって厚みの厚い部分から厚みの薄い部分を伝熱によって効果的に冷却するのは困難である。そのため、冷却部22による冷却だけでは、異方性の向上が図れず加工精度が悪くなるおそれがある。
以上のように、比較例の冷却技術では、熱伝導性が低い材料を含み、厚みが厚い部分を有する基板のエッチングにおいて、プラズマ処理が始まってから基板温度の変化を制御することができないため、保護膜201が一定に形成されず、パターンの側壁角度の制御性が悪化する恐れがある。
図6中の120aは、パターン部102の温度変化である。123は冷却部23bの温度変化である。
図6から分かるように、冷却部23bを設けるようにすれば、パターン部102の温度上昇を効果的に抑制することができる。例えば、プラズマ処理中に、パターン部102の温度がほとんど変化しないようにすることも可能となる。
また、本実施の形態に係る冷却部23bは、プラズマの着火を条件として、温度を低下させる。その結果、プラズマが着火した後もプラズマの輻射熱によるパターン部102の温度上昇を抑制することができる。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置1には、内部にペルチェ素子23cが設けられ、凹部101aの内部に入り込む冷却部23bが設けられているので、パターン部102を効果的に冷却することができる。
なお、「プラズマの着火を条件とする」とは、電源部5から所定のパワーの高周波電力がアンテナ4に印加された動作と同時点としてもよいし、高周波電力がアンテナ4に印加されてからプラズマが着火するまでの所定の時間が経過した時点とすることができる。この場合、プラズマが着火するまでの所定の時間は予め実験によって得られたデータによって得ることができる。また、プラズマが着火したことを、光センサなどの検出部により検知した時点と同時点とすることもできる。
また、冷却部23bは、プラズマが着火した後に温度を変化させればよく、プラズマが着火するまでは、一律に温度制御を行っていてもよいし、温度制御を行っていなくてもよい。
本実施の形態によれば、テンプレート100の厚みの薄い部分を効率的に冷却することができる。そのため、異方性の向上を図ることができるので、高い加工精度を得ることができる。
この場合、大気圧よりも減圧した雰囲気においてプラズマPを発生させ、プラズマPに向けて供給したプロセスガスGを励起させてプラズマ生成物を生成し、プラズマ生成物を用いてテンプレート100をプラズマ処理する。
この際、内部にペルチェ素子23cが設けられ、テンプレート100の凹部101aの内部に入り込む冷却部23bを用いて、基体101の凹部101aに対峙する部分を冷却する。
また、冷却部23bを有し、テンプレート100を支持する支持部23を用いる。そして、支持部23に支持されたテンプレート100をプラズマ処理する環境に搬入または搬出する。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、プラズマ処理装置1に設けられた各要素の形状、寸法、材質、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
また、高周波エネルギーを用いたプラズマ処理装置1を例示したが、プラズマの発生方式はこれに限定されるわけではない。
例えば、マイクロ波励起型のプラズマ処理装置などであってもよい。
また、例えば、テンプレート100は、基体101とパターン部102は、一体に形成されている例を示したが、別体に形成し、お互いに接着されてもよい。
また、例えば、テンプレート100は支持部23に支持される例を例示したが、基台21aに支持されるようにしてもよい。この場合、支持部23を省略し、テンプレート100が基台21aに支持されたときに、冷却部23bがテンプレート100の凹部101aに入り込むように、冷却部23bを基台21aに載置または固定してもよい。
例えば、処理容器3の外部に設けられたロードロック室の内部に、台座21と電源部24などを備えた装置を設けることができる。
この様にすれば、プラズマ処理済みのテンプレート100を処理容器3の外部で結露なく冷却することができる。そのため、生産性の向上を図ることができる。
Claims (7)
- 基体と、前記基体の一方の面に設けられたパターンと、前記基体の前記パターンが設けられた側とは反対側の面に開口し、前記パターンと対峙する凹部を有するテンプレートをプラズマ処理するテンプレート用のプラズマ処理装置であって、
大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、
前記処理容器の内部を所定の圧力まで減圧する減圧部と、
前記処理容器の内部のプラズマを発生させる領域に電磁エネルギーを供給するプラズマ発生部と、
前記プラズマを発生させる領域にプロセスガスを供給するガス供給部と、
前記処理容器の内部において、前記テンプレートを載置する載置部と、
を備え、
前記載置部は、内部にペルチェ素子が設けられ、前記テンプレートの前記凹部の内部に隙間を介して入り込む第1の冷却部と、
前記ペルチェ素子を冷却する第2の冷却部と、
を有し、
前記ペルチェ素子は、前記第1の冷却部において、前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙する面の近傍に前記ペルチェ素子の吸熱側が前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙するように配置され、
前記第2の冷却部は、前記ペルチェ素子の放熱側と対峙するように設けられたテンプレート用のプラズマ処理装置。 - 前記載置部は、前記テンプレートを支持する支持部と、前記支持部が載置される基台と、前記基台の内部に設けられ、一方の端部が前記基台の前記支持部が載置される側の面に露出し、他方の端部が直流電源と電気的に接続された接続部と、
をさらに備え、
前記支持部は、前記第1の冷却部と、前記第1の冷却部に設けられた前記ペルチェ素子と前記接続部とを電気的に接続する端子と、
を有し、
前記支持部は、前記基台に対して着脱可能となっている請求項1記載のテンプレート用のプラズマ処理装置。 - 前記第1の冷却部は、前記プラズマの着火を条件として温度を低下させる請求項1または2に記載のテンプレート用のプラズマ処理装置。
- 前記基台は、前記第2の冷却部を有し、
前記第2の冷却部は、冷媒が流通する流路を有する請求項2に記載のテンプレート用のプラズマ処理装置。 - 前記支持部の外形寸法は、前記テンプレートの外形寸法よりも短い請求項2または4に記載のテンプレート用のプラズマ処理装置。
- 基体と、前記基体の一方の面に設けられたパターンと、前記基体の前記パターンが設けられた側とは反対側の面に開口し、前記パターンと対峙する凹部を有するテンプレートをプラズマ処理するテンプレートのプラズマ処理方法であって、
大気圧よりも減圧した雰囲気においてプラズマを発生させ、前記プラズマに向けて供給したプロセスガスを励起させてプラズマ生成物を生成し、前記プラズマ生成物を用いて前記テンプレートをプラズマ処理する際に、
内部にペルチェ素子が設けられ、前記テンプレートの前記凹部の内部に隙間を介して入り込む第1の冷却部と、
前記ペルチェ素子を冷却する第2の冷却部と、
を有し、
前記ペルチェ素子は、前記第1の冷却部において、前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙する面の近傍に前記ペルチェ素子の吸熱側が前記テンプレートの厚みの薄い部分と対峙するように配置され、
前記第2の冷却部は、前記ペルチェ素子の放熱側と対峙するように設けられた載置部を用いて、前記テンプレートを冷却するテンプレートのプラズマ処理方法。 - 前記第1の冷却部を有し、前記テンプレートを支持する支持部を用いて、前記支持部に支持された前記テンプレートを前記プラズマ処理する環境に搬入または搬出する請求項6記載のテンプレートのプラズマ処理方法。
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