JP6594268B2 - モーション制御システム - Google Patents

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本発明は、ネットワークで接続された複数の制御装置を用いて協調動作を行うモーション制御システムに関する。
従来、制御装置であるロボットコントローラの一つをマスタとし、マスタ以外のロボットコントローラをスレーブとし、これら複数のロボットコントローラをネットワークで接続して同期制御を行う際に、複数のロボットを協調動作させることで、対象物の搬送作業を行うモーション制御システムが知られている。また、複数のロボット同士ではなく、汎用サーボで駆動するターンテーブルに代表されるロボット以外の機械系とロボットとを協調動作させるモーション制御システムも存在する。
このような複数の機械系を協調動作させるモーション制御システムを実現するために、複数の制御装置間の同期制御を実現する技術の開発が進められている。一例として、スレーブユニットのタイミング信号をマスタユニットのタイミング信号に合わせるための補正を行うことによって、マスタスレーブ間の同期制御を実現する技術がある。しかしながら、ロボットのような複数の可動軸から構成される機械系では、各可動軸のサーボ制御系の応答遅れに起因する誤差によって、機械系の実際の応答の軌跡が指令された軌跡からずれてしまう。指令の軌跡と機械系の実際の応答の軌跡との誤差である軌跡誤差は、一般に、機械系の機構の違い、位置及び姿勢によって発生の仕方が異なる。そのため、複数の機械系を高精度に協調動作させるためには、制御装置の動作タイミングを一致させるだけではなく、サーボ制御系の応答遅れを考慮して軌跡誤差を抑制する必要がある。
そこで、サーボ制御系の応答遅れを考慮して指令を補正することにより軌跡誤差を低減すべく、特許文献1には、ロボットの手先位置の制御において、サンプリング時刻先のロボットの手先位置を推定し、推定した手先位置から目標軌道上に下ろした垂線ベクトルの分だけ指令位置を補正する技術が開示されている。
特開2006−15431号公報
しかしながら、上記の従来技術によれば、ロボットの手先が指令軌跡上を進む速度が元の指令の速度から変化する。そのため、複数の制御装置を含むモーション制御システムの協調動作に適用した場合には、制御装置間の動作タイミングを一致させるのが困難である、という問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ネットワークで接続された複数の制御装置を用いて高精度な協調動作を実現するモーション制御システムを得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、マスタとなる第1の制御装置と、スレーブとなる1つ又は複数の第2の制御装置とがネットワークで接続され、前記第1及び第2の制御装置の各々が位置指令に基づいて、1つ又は複数のアクチュエータと該アクチュエータに連結された機械系とを含む制御対象を駆動するモーション制御システムにおいて、前記第1の制御装置は、前記位置指令に基づき基準指令を生成する基準指令生成部と、前記基準指令にローパス特性を持つ第1のフィルタ演算を行うことで基準応答を生成する基準応答生成部と、前記位置指令と前記基準指令と前記基準応答とに対して、前記第2の制御装置との通信の遅延を補償することで遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令と遅延補償後基準応答とを出力する通信遅延補償部と、前記遅延補償後位置指令と前記遅延補償後基準指令と前記遅延補償後基準応答とを入力とし、同一時刻の前記遅延補償後位置指令と前記遅延補償後基準指令との対応関係を第1の関数とし、前記第1の関数の前記遅延補償後基準応答に対応する点を第1の補間処理によって演算することで第1の補間処理後位置指令を出力する第1の補間処理部と、前記第1の補間処理後位置指令に対して前記アクチュエータの各々の追従遅れを補償するための第2のフィルタ演算を適用することで第1の補正後位置指令を演算する第1の応答補償部と、前記第1の制御装置に接続された前記アクチュエータの位置が前記第1の補正後位置指令に追従するように前記アクチュエータの制御を行う第1のサーボ制御部と、前記基準指令と前記基準応答を前記第2の制御装置に送信する基準信号送信部とを備え、前記第2の制御装置は、前記第1の制御装置の前記基準信号送信部が送信した前記基準指令及び前記基準応答を受信して出力する基準信号受信部と、前記位置指令と、前記基準信号受信部が出力した前記基準指令及び前記基準応答とを入力とし、同一時刻の前記位置指令と前記基準指令との対応関係を第2の関数とし、前記第2の関数の前記基準応答に対応する点を第2の補間処理によって演算することで第2の補間処理後位置指令を出力する第2の補間処理部と、前記第2の補間処理後位置指令に対して前記アクチュエータの各々の追従遅れを補償するための第3のフィルタ演算を適用することで第2の補正後位置指令を演算する第2の応答補償部と、前記第2の制御装置に接続された前記アクチュエータの位置が前記第2の補正後位置指令に追従するように前記アクチュエータの制御を行う第2のサーボ制御部とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、ネットワークで接続された複数の制御装置を用いて高精度な協調動作を実現するモーション制御システムを得ることができるという効果を奏する。
実施の形態1に係るモーション制御システムの全体の一構成例を示すブロック図 実施の形態1において図1に示す基準指令生成部の一構成例を示すブロック図 実施の形態1において基準指令及び基準応答の時系列波形の一例を示す図 実施の形態1において図1に示す第1の補間処理部の一構成例を示す図 実施の形態1において遅延補償後位置指令から第1の補間処理後位置指令への変換の例を示す図 実施の形態2に係るモーション制御システムの全体の一構成例を示すブロック図
以下に、本発明の実施の形態に係るモーション制御システムを図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係るモーション制御システムの全体の一構成例を示すブロック図である。図1に示すモーション制御システム1は、第1のロボットコントローラ10と、第2のロボットコントローラ20と、第1のロボット30と、第2のロボット40とを備える。第1のロボットコントローラ10はマスタとなる第1の制御装置であり、第2のロボットコントローラ20はスレーブとなる1つ又は複数の第2の制御装置である。第1のロボットコントローラ10と第2のロボットコントローラ20とはネットワークで接続され、第1のロボットコントローラ10及び第2のロボットコントローラ20は、位置指令に基づいて、制御対象である第1のロボット30及び第2のロボット40を駆動する。
第1のロボット30は、第1のアクチュエータ31と、第1のロボットアーム32とを含み、第1のロボットアーム32の各可動軸には第1のアクチュエータ31が備えられ、第1のアクチュエータ31は後述する第1のロボットコントローラ10の第1のサーボ制御部17によって駆動される。
第2のロボット40は、第2のアクチュエータ41と、第2のロボットアーム42とを含み、第2のロボットアーム42の各可動軸には第2のアクチュエータ41が備えられ、第2のアクチュエータ41は後述する第2のロボットコントローラ20の第2のサーボ制御部24によって駆動される。
第1のロボットコントローラ10は、基準指令生成部11と、基準応答生成部12と、通信遅延補償部13と、基準信号送信部14と、第1の補間処理部15と、第1の応答補償部16と、第1のサーボ制御部17とを備える。
図2は、図1に示す基準指令生成部11の一構成例を示すブロック図である。図2に示す基準指令生成部11は、前回指令記憶部111と、減算器112と、距離演算部113と、積分器114とを備え、第1のロボットコントローラ10内の図示しない指令生成部によって生成された位置指令に基づき基準指令を生成する。
前回指令記憶部111は、一サンプリング時刻前の位置指令を記憶する。減算器112は、現在時刻の位置指令と前回指令記憶部111に記憶された一サンプリング時刻前の位置指令との差分を演算する。距離演算部113は、減算器112で演算した位置指令の差分のユークリッド距離を演算することで、現在時刻の位置指令と一サンプリング時刻前の位置指令との距離を演算する。積分器114は、距離演算部113が演算した位置指令の距離を積算することで指令軌跡の始点からの長さを演算して基準指令とし、この基準指令を出力する。なお、指令軌跡の距離の演算は、関節座標系で演算した距離を演算してもよいし、直交座標系で演算した距離を演算してもよい。
図1に示す基準応答生成部12は、基準指令生成部11が出力した基準指令に対して予め設定されたローパスフィルタによるフィルタ演算を行うことで基準応答を生成する。このフィルタ演算を第1のフィルタ演算と記載する。図3は、基準指令及び基準応答の時系列波形の一例を示す図である。図3に示すように、基準指令に対してローパスフィルタを適用すると、基準応答は基準指令に対して遅れて追従する信号となる。また、高次のローパスフィルタを適用すると、変化率が小さくなるような基準応答の波形が生成される。
図1に示す通信遅延補償部13は、後述する基準信号送信部14によって基準指令と基準応答とを第2の制御装置である第2のロボットコントローラ20に送信する際の通信遅延を補償するために、位置指令と基準指令と基準応答とを通信遅延分だけ遅らせて通信の遅延を補償した信号である、遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令と遅延補償後基準応答とを出力する。通信遅延補償部13の構成方法の一例には、遅延時間に相当するサンプル点数分だけデータを逐次記憶しておき、遅延させたい時間分だけ前のデータを出力する方法がある。
図1に示す基準信号送信部14は、第2の制御装置であり後述する第2のロボットコントローラ20に対して、基準指令生成部11が出力した基準指令と基準応答生成部12が出力した基準応答をネットワークを介して送信する。
図4は、図1に示す第1の補間処理部15の一構成例を示す図である。図4に示す第1の補間処理部15は、位置指令リングバッファ151と、基準指令リングバッファ152と、探索部153と、補間演算部154とを備え、通信遅延補償部13が出力した遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令と遅延補償後基準応答とを入力とし、同一時刻の遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令との対応関係を第1の関数とし、第1の関数の遅延補償後基準応答に対応する点を第1の補間処理によって演算することで第1の補間処理後位置指令を出力する。
図1に示す第1の補間処理部15に入力された遅延補償後位置指令及び遅延補償後基準指令は、位置指令リングバッファ151と基準指令リングバッファ152に各々入力される。次に、探索部153は、遅延補償後基準応答を入力とし、基準指令リングバッファ152中の下記の式(1)を満たすインデックスiを探索して出力する。
基準指令リングバッファ[i]≦基準応答<基準指令リングバッファ[i+1]…(1)
補間演算部154では、探索部153が出力したインデックスiに基づき、下記の式(2)及び式(3)を用いて補間演算を行うことで第1の補間処理後位置指令を演算する。
第1の補間処理後位置指令=(1−α)×位置指令リングバッファ[i]+α×位置指令リングバッファ[i+1] …(2)
α=(基準応答−基準指令リングバッファ[i])/(基準指令リングバッファ[i+1]−基準指令リングバッファ[i]) …(3)
上記の式(1)では遅延補償後基準応答の現在値と過去の遅延補償後基準指令の値との比較を行い、遅延補償後基準応答の現在値に対応する遅延補償後基準指令の時刻を探索している。また、上記の式(2)では、上記の式(1)で探索した遅延補償後基準指令に対応する時刻の遅延補償後位置指令に対して上記の式(3)で演算した比率αで線形補間を行うことで第1の補間処理後位置指令を演算している。このような方法で第1の補間処理後位置指令を演算することにより、同一時刻の遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令との対応関係を関数とした場合の、その関数の遅延補償後基準応答に対応する点を演算することができる。
図5は、遅延補償後位置指令から第1の補間処理後位置指令への変換の例を示す図である。第1の補間処理後位置指令は、元の遅延補償後位置指令が補間処理されることによって生成されているので、第1の補間処理後位置指令の軌跡は、元の遅延補償後位置指令と一致する。また、基準応答生成部12のローパスフィルタによって変化率を小さくした基準応答に基づいて補間処理が行われるため、指令の変化率を小さくした滑らかな指令を生成することができる。
図1に示す第1の応答補償部16は、第1の補間処理部15が出力した第1の補間処理後位置指令を入力とし、第1の補間処理後位置指令に対してアクチュエータの追従遅れを補償するために後述する第1のサーボ制御部17の伝達関数の逆伝達関数のフィルタを適用してフィルタ演算を行うことで第1の補正後位置指令を演算する。このフィルタ演算を第2のフィルタ演算と記載する。なお、この逆伝達関数は、逆システムの伝達関数であり、第1のサーボ制御部17の出力から入力に至る系を想定した場合の伝達関数である。第1のサーボ制御部17の逆システムの伝達関数に基づくフィルタ演算で指令の補正を行うことによって、第1のサーボ制御部17の応答遅れを効果的に補償することができる。
図1に示す第1のサーボ制御部17は、第1の応答補償部16が出力した第1の補正後位置指令を入力とし、第1の制御装置である第1のロボットコントローラ10に接続された第1のアクチュエータ31の位置が第1の応答補償部16が出力した第1の補正後位置指令に追従するようにサーボ制御を行い、第1のアクチュエータ31の駆動及び制御を行う。
図1に示す第2のロボットコントローラ20は、基準信号受信部21と、第2の補間処理部22と、第2の応答補償部23と、第2のサーボ制御部24とを備える。
図1に示す基準信号受信部21は、第1の制御装置である第1のロボットコントローラ10の基準信号送信部14が送信した基準指令及び基準応答を受信し、第2の補間処理部22に出力する。
図1に示す第2の補間処理部22は、基準信号受信部21が出力した基準指令及び基準応答と、図示しない指令生成部が出力した位置指令とを入力とし、同一時刻の位置指令と基準指令との対応関係を第2の関数とし、第2の関数の基準応答に対応する点を第2の補間処理によって演算することで第2の補間処理後位置指令を出力する。第2の補間処理部22は、図4に示す第1の補間処理部15の構成と同様であり、第1の補間処理部15と同様に、同一時刻の位置指令と基準指令との対応関係を関数とした場合の、その関数の基準応答に対応する点を演算することができる。
第2の補間処理後位置指令は、元の位置指令を補間処理することによって生成されているので、第2の補間処理後位置指令の軌跡は、元の位置指令と一致する。また、第1のロボットコントローラ10が生成した基準指令及び基準応答に基づいて補間処理を行うことにより、第1のロボットコントローラ10と同様に、指令の変化率を小さくした滑らかな指令を生成することができる。
図1に示す第2の応答補償部23は、第2の補間処理部22が出力した第2の補間処理後位置指令を入力とし、第2の補間処理後位置指令に対してアクチュエータの追従遅れを補償するために後述する第2のサーボ制御部24の応答特性の伝達関数の逆伝達関数のフィルタを適用してフィルタ演算を行うことで第2の補正後位置指令を演算する。このフィルタ演算を第3のフィルタ演算と記載する。
図1に示す第2のサーボ制御部24は、第2の応答補償部23が出力した第2の補正後位置指令を入力とし、第2の制御装置である第2のロボットコントローラ20に接続された第2のアクチュエータ41の位置が第2の応答補償部23が出力した第2の補正後位置指令に追従するようにサーボ制御を行い、第2のアクチュエータ41の駆動及び制御を行う。
次に、実施の形態1のモーション制御システム1の動作について説明する。第1のロボットコントローラ10は、基準指令生成部11と基準応答生成部12と第1の補間処理部15とを組み合わせることにより、前述の通り、元の位置指令に対して指令の軌跡を変化させることなく指令の変化率を小さくした第1の補間処理後位置指令を生成することができる。また、第1の応答補償部16によって第1のサーボ制御部17の応答遅れを補償することにより、第1のアクチュエータ31の応答を第1の応答補償部16に入力される第1の補間処理後位置指令に一致させることができる。前述の通り、第1の補間処理後位置指令の軌跡は元の位置指令と一致しているため、第1のアクチュエータ31の応答の軌跡を元の位置指令の軌跡と一致させることができる。このとき、第1の補間処理部15によって指令の変化率を減少させることにより、第1のアクチュエータ31に過大なトルクを発生させることなく制御を行うことができる。
また、第2のロボットコントローラ20も同様に、第2の補間処理部22によって元の位置指令の軌跡を変化させずに指令の変化率を小さくした第2の補間処理後位置指令を生成することができ、また、第2の応答補償部23によって第2のサーボ制御部24の応答遅れを補償することができるので、第2のアクチュエータ41の応答の軌跡を元の位置指令の軌跡と一致させることができる。また、第2の補間処理部22によって指令の変化率を減少させることにより、第2のアクチュエータ41に過大なトルクを発生させることなく制御を行うことができる。
第1のロボットコントローラ10及び第2のロボットコントローラ20は、基準信号送信部14と基準信号受信部21とによって基準指令と基準応答とを共有しており、これらの同一の信号を使って指令の補間処理を行っているため、元の位置指令に対する補間処理後位置指令の遅延量を第1のロボットコントローラ10と第2のロボットコントローラ20とで一致させることができる。更には、第1の応答補償部16と第2の応答補償部23とによって第1のサーボ制御部17及び第2のサーボ制御部24の各々の応答遅れを補償しているため、元の位置指令に対するロボットの応答の遅延量を第1のロボット30と第2のロボット40とで一致させることができる。
以上説明したように、各ロボットコントローラが制御する各ロボットの応答の軌跡を元の位置指令の軌跡と一致させることができ、且つ元の位置指令に対する応答の遅延量を制御装置であるロボットコントローラ間で一致させることができる。そのため、ネットワークで接続された2台のロボットコントローラとロボットを用いて高精度な協調動作を実現することができる。すなわち、実施の形態1のモーション制御システムによれば、複数の制御装置を用いて機械同士の協調作業を行う場合において、サーボ制御の応答遅れを補償することで指令の軌跡と実際の応答の軌跡とを一致させることができ、更には、複数の制御装置間の指令に対する応答の遅延量を一致させることができるため、複数の制御装置間の協調作業を高精度に行うことができる。
なお、実施の形態1では、2台のロボットと2台のロボットコントローラとを協調動作させる場合について説明したが、第2のロボットコントローラ及び第2のロボットを2台以上とすることも可能であり、すなわち、実施の形態1は、3台以上のロボットを協調動作させるモーション制御システムにも適用可能であり、3台以上のロボットを協調動作させるモーション制御システムであっても異なるロボットコントローラで制御するロボットの動作軌跡と動作タイミングとを完全に一致させることができるため、複数のロボット同士の協調作業を高精度に行うことができる。
実施の形態2.
図6は、本発明の実施の形態2に係るモーション制御システムの全体の一構成例を示すブロック図である。図6に示すモーション制御システム1bは、モーションコントローラ10bと、ロボットコントローラ20bと、第2のロボット40と、機械系50とを備える。すなわち、図6に示すモーション制御システム1bは、図1に示すモーション制御システム1における第1のロボットコントローラ10に代えてモーションコントローラ10bを備え、第2のロボットコントローラ20に代えてロボットコントローラ20bを備え、第1のロボット30に代えて機械系50を備える。図6においては、実施の形態1と同等の機能を有する構成要素は、実施の形態1と同一の符号を付して重複する説明を省略する。
機械系50は、可動部52と、可動部52の可動軸に連結された第3のアクチュエータ51とを含み、第3のアクチュエータ51は後述するモーションコントローラ10bの第1のサーボ制御部17によって駆動される。また、第2のロボット40の第2のロボットアーム42の各可動軸には第2のアクチュエータ41が備えられ、第2のアクチュエータ41は後述するロボットコントローラ20bの第2のサーボ制御部24によって駆動される。
モーションコントローラ10bは、基準指令生成部11と、基準応答生成部12と、通信遅延補償部13と、基準信号送信部14と、第1の補間処理部15と、第1の応答補償部16と、第1のサーボ制御部17と、指令生成部18と、ロボット指令演算部19Aと、ロボット指令送信部19Bとを備える。
指令生成部18は、予め設定された指令のプロファイル情報に基づき、機械系位置指令を演算する。
ロボット指令演算部19Aは、予め設定された機械系50と第2のロボット40との位置関係と指令生成部18が出力した機械系位置指令とに基づく座標演算により、第2のロボット40が機械系50と協調動作を行うための直交座標系のロボットの位置指令であるロボット指令を演算する。
ロボット指令送信部19Bは、ロボット指令演算部19Aが出力したロボットの位置指令であるロボット指令をロボットコントローラ20bに送信する。
基準指令生成部11、基準応答生成部12、通信遅延補償部13、基準信号送信部14、第1の補間処理部15、第1の応答補償部16及び第1のサーボ制御部17は実施の形態1と同様である。
ロボットコントローラ20bは、ロボット指令受信部25と、座標変換部26と、基準信号受信部21と、第2の補間処理部22と、第2の応答補償部23と、第2のサーボ制御部24とを備える。
ロボット指令受信部25は、モーションコントローラ10bのロボット指令送信部19Bが送信したロボット指令を受信し、受け取ったロボット指令を出力する。座標変換部26は、ロボット指令受信部25が出力したロボット指令を入力とし、直交座標系で表わされたロボット指令を関節座標系で表わされたロボット指令に変換し出力する。
基準信号受信部21、第2の補間処理部22、第2の応答補償部23及び第2のサーボ制御部24は、実施の形態1と同様である。
次に、実施の形態2のモーション制御システムの動作について説明する。実施の形態2のモーションコントローラ10bは、実施の形態1の第1のロボットコントローラ10と同様に、基準指令生成部11と、基準応答生成部12と、通信遅延補償部13と、基準信号送信部14と、第1の補間処理部15と、第1の応答補償部16と、第1のサーボ制御部17と、を備える。また、実施の形態2のロボットコントローラ20bは、実施の形態1の第2のロボットコントローラ20と同様に、基準信号受信部21と、第2の補間処理部22と、第2の応答補償部23と、第2のサーボ制御部24とを備える。従って、機械系50の応答の軌跡及び第2のロボット40の応答の軌跡を、指令生成部18及びロボット指令演算部19Aで生成した指令の軌跡と一致させることができ、且つ元の指令に対する応答の遅延量を機械系50と第2のロボット40との間で一致させることができるため、機械系50と第2のロボット40との高精度な協調動作を行うことができる。
なお、実施の形態2では、モーションコントローラ10bをマスタとし、ロボットコントローラ20bをスレーブとしたが、ロボットコントローラ20bをマスタとし、モーションコントローラ10bをスレーブとしてもよい。
また、実施の形態2のモーション制御システムは、複数のモーションコントローラの協調動作にも適用することが可能である。また、スレーブとなる制御装置を2台以上とすると、3台以上の制御装置による協調動作も行うことができ、異なる制御装置で制御するロボット及び外部装置の動作軌跡と動作タイミングとを完全に一致させることができるため、複数の機械の協調作業を高精度に行うことができる。
以上説明したように、制御装置の種類及び機械系の種類の違いに依らずに、機械系同士の高精度な協調動作を実現することができる。また、以上説明したモーション制御システムは、ネットワークで接続された複数の制御装置を用いて高精度な協調動作を実現することができる。
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
10 第1のロボットコントローラ、10b モーションコントローラ、11 基準指令生成部、12 基準応答生成部、13 通信遅延補償部、14 基準信号送信部、15 第1の補間処理部、16 第1の応答補償部、17 第1のサーボ制御部、18 指令生成部、19A ロボット指令演算部、19B ロボット指令送信部、20 第2のロボットコントローラ、20b ロボットコントローラ、21 基準信号受信部、22 第2の補間処理部、23 第2の応答補償部、24 第2のサーボ制御部、25 ロボット指令受信部、26 座標変換部、30 第1のロボット、31 第1のアクチュエータ、32 第1のロボットアーム、40 第2のロボット、41 第2のアクチュエータ、42 第2のロボットアーム、50 機械系、51 第3のアクチュエータ、52 可動部、111 前回指令記憶部、112 減算器、113 距離演算部、114 積分器、151 位置指令リングバッファ、152 基準指令リングバッファ、153 探索部、154 補間演算部。

Claims (4)

  1. マスタとなる第1の制御装置と、スレーブとなる1つ又は複数の第2の制御装置とがネットワークで接続され、前記第1及び第2の制御装置の各々が位置指令に基づいて、1つ又は複数のアクチュエータと該アクチュエータに連結された機械系とを含む制御対象を駆動するモーション制御システムにおいて、
    前記第1の制御装置は、
    前記位置指令に基づき基準指令を生成する基準指令生成部と、
    前記基準指令にローパス特性を持つ第1のフィルタ演算を行うことで基準応答を生成する基準応答生成部と、
    前記位置指令と前記基準指令と前記基準応答とに対して、前記第2の制御装置との通信の遅延を補償することで遅延補償後位置指令と遅延補償後基準指令と遅延補償後基準応答とを出力する通信遅延補償部と、
    前記遅延補償後位置指令と前記遅延補償後基準指令と前記遅延補償後基準応答とを入力とし、同一時刻の前記遅延補償後位置指令と前記遅延補償後基準指令との対応関係を第1の関数とし、前記第1の関数の前記遅延補償後基準応答に対応する点を第1の補間処理によって演算することで第1の補間処理後位置指令を出力する第1の補間処理部と、
    前記第1の補間処理後位置指令に対して前記アクチュエータの各々の追従遅れを補償するための第2のフィルタ演算を適用することで第1の補正後位置指令を演算する第1の応答補償部と、
    前記第1の制御装置に接続された前記アクチュエータの位置が前記第1の補正後位置指令に追従するように前記アクチュエータの制御を行う第1のサーボ制御部と、
    前記基準指令と前記基準応答を前記第2の制御装置に送信する基準信号送信部とを備え、
    前記第2の制御装置は、
    前記第1の制御装置の前記基準信号送信部が送信した前記基準指令及び前記基準応答を受信して出力する基準信号受信部と、
    前記位置指令と、前記基準信号受信部が出力した前記基準指令及び前記基準応答とを入力とし、同一時刻の前記位置指令と前記基準指令との対応関係を第2の関数とし、前記第2の関数の前記基準応答に対応する点を第2の補間処理によって演算することで第2の補間処理後位置指令を出力する第2の補間処理部と、
    前記第2の補間処理後位置指令に対して前記アクチュエータの各々の追従遅れを補償するための第3のフィルタ演算を適用することで第2の補正後位置指令を演算する第2の応答補償部と、
    前記第2の制御装置に接続された前記アクチュエータの位置が前記第2の補正後位置指令に追従するように前記アクチュエータの制御を行う第2のサーボ制御部とを備えることを特徴とするモーション制御システム。
  2. 前記第2のフィルタ演算は前記第1のサーボ制御部の伝達関数の逆システムの伝達関数に基づくフィルタ演算であり、
    前記第3のフィルタ演算は前記第2のサーボ制御部の伝達関数の逆システムの伝達関数に基づくフィルタ演算であることを特徴とする請求項1に記載のモーション制御システム。
  3. 前記第1の制御装置及び前記第2の制御装置がロボットコントローラであり、
    前記制御対象がロボットであることを特徴とする請求項2に記載のモーション制御システム。
  4. 前記第1の制御装置がモーションコントローラであり、前記第2の制御装置がロボットコントローラであり、
    前記制御対象がロボット及び外部装置を含む機械系であることを特徴とする請求項2に記載のモーション制御システム。
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