JP6583063B2 - Actuator device - Google Patents

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Description

本発明は、ポリマー繊維アクチュエータを用いたアクチュエータ装置に関する。   The present invention relates to an actuator device using a polymer fiber actuator.

従来、特許文献1に記載のポリマー繊維アクチュエータが知られている。このポリマー繊維アクチュエータは、例えば1軸方向に線状に延びた形状を有している。このポリマー繊維アクチュエータは、温度変化を与えることにより、1軸方向に伸縮するように変位することや、1軸方向を中心に回転するように変位することができる。   Conventionally, a polymer fiber actuator described in Patent Document 1 is known. This polymer fiber actuator has, for example, a shape extending linearly in one axial direction. This polymer fiber actuator can be displaced so as to expand and contract in a uniaxial direction by applying a temperature change, and can be displaced so as to rotate around a uniaxial direction.

米国特許出願公開第2015/0152852号明細書US Patent Application Publication No. 2015/0152852

ところで、特許文献1に記載のポリマー繊維アクチュエータをアクチュエータ装置の駆動部として用いた場合、変位対象を1軸方向に沿った方向、又は1軸方向を中心に回転する方向にだけしか変位させることができない。そのため、アクチュエータ装置の変位の自由度の面で課題を残すものとなっている。   By the way, when the polymer fiber actuator described in Patent Document 1 is used as the drive unit of the actuator device, the object to be displaced can be displaced only in the direction along the one-axis direction or the direction rotating around the one-axis direction. Can not. Therefore, a problem remains in terms of the degree of freedom of displacement of the actuator device.

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、変位対象の変位の自由度を向上させることのできるアクチュエータ装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an actuator device that can improve the degree of freedom of displacement of a displacement target.

上記課題を解決するために、アクチュエータ装置(10)は、複数のポリマー繊維アクチュエータ(30,40,101,102,103,104)と、温度調整部(80)とを備える。ポリマー繊維アクチュエータは、変位対象(20)に対して互いに交差する複数の軸方向から連結されている。温度調整部は、複数のポリマー繊維アクチュエータの温度を個別に調整する。アクチュエータ装置は、複数のポリマー繊維アクチュエータとして、変位対象から第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(30)と、変位対象から第1軸方向と交差する第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(40)と、を有する。変位対象から第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、変位対象から第1軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第1アクチュエータ部材(31)及び第2アクチュエータ部材(32)からなる。変位対象から第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、変位対象から第2軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第3アクチュエータ部材(41)及び第4アクチュエータ部材(42)からなる。アクチュエータ装置は、第1アクチュエータ部材と第2アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第1連結部材(50)と、第3アクチュエータ部材と第4アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第2連結部材(60)と、第1連結部材及び第2連結部材を支持する支持部材(70)と、を更に備える。支持部材は、第1連結部材及び第2連結部材のそれぞれの中心を通る円弧曲線状の軸の方向である軸方向の変位を許容しつつ、軸方向を中心とする回転変位を規制する。 In order to solve the above problem, the actuator device (10) includes a plurality of polymer fiber actuators (30, 40, 101, 102, 103, 104) and a temperature adjusting unit (80). The polymer fiber actuator is connected to the object to be displaced (20) from a plurality of axial directions intersecting each other. The temperature adjusting unit individually adjusts the temperatures of the plurality of polymer fiber actuators. The actuator device includes, as a plurality of polymer fiber actuators, a polymer fiber actuator (30) extending in the first axis direction from the object to be displaced, and a polymer fiber actuator (40) extending in the second axis direction intersecting the first axis direction from the object to be displaced. And having. The polymer fiber actuator extending from the displacement target in the first axial direction includes a first actuator member (31) and a second actuator member (32) extending from the displacement target in directions opposite to each other in a direction parallel to the first axial direction. The polymer fiber actuator extending from the displacement target in the second axial direction includes a third actuator member (41) and a fourth actuator member (42) extending from the displacement target in directions opposite to each other in a direction parallel to the second axial direction. The actuator device includes an arc-shaped first coupling member (50) coupled to the first actuator member and the second actuator member, and an arc-shaped second coupling coupled to the third actuator member and the fourth actuator member. A member (60) and a support member (70) for supporting the first connecting member and the second connecting member are further provided. The support member regulates rotational displacement about the axial direction while allowing displacement in the axial direction, which is the direction of the circular arc-shaped axis passing through the center of each of the first connecting member and the second connecting member.

この構成によれば、温度調整部により各ポリマー繊維アクチュエータの温度が調整されることで、各ポリマー繊維アクチュエータの変位に応じた力が変位対象に対して複数の方向から作用する。それぞれの方向に応じた力が変位対象に作用することにより、変位対象を任意の方向に変位させることが可能となるため、変位対象の変位の自由度を向上させることができる。   According to this structure, the temperature according to the displacement of each polymer fiber actuator acts on the object to be displaced from a plurality of directions by adjusting the temperature of each polymer fiber actuator by the temperature adjusting unit. Since the force according to each direction acts on the displacement object, the displacement object can be displaced in an arbitrary direction, so that the degree of freedom of displacement of the displacement object can be improved.

なお、上記手段、及び特許請求の範囲に記載の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis as described in the said means and a claim is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明によれば、変位対象の変位の自由度を向上させることができる。   According to the present invention, the degree of freedom of displacement of a displacement object can be improved.

第1実施形態のアクチュエータ装置の斜視構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the perspective structure of the actuator apparatus of 1st Embodiment. 第1実施形態のアクチュエータ装置の支持部材の斜視構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the perspective structure of the support member of the actuator apparatus of 1st Embodiment. 図4のIII−III線に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the III-III line | wire of FIG. 図3のIV−IV線に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure taken along line IV-IV in FIG. 3. 第1実施形態のアクチュエータ装置の変形例の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the modification of the actuator apparatus of 1st Embodiment. 第2実施形態のアクチュエータ装置の平面構造を示す平面図である。It is a top view which shows the planar structure of the actuator apparatus of 2nd Embodiment. 第2実施形態のアクチュエータ装置の側面構造を示す側面図である。It is a side view which shows the side structure of the actuator apparatus of 2nd Embodiment.

<第1実施形態>
以下、アクチュエータ装置の第1実施形態について説明する。
図1に示されるように、本実施形態のアクチュエータ装置10は、変位対象としてのセンサ基板20を変位させる装置である。センサ基板20は、例えば矩形の薄板状の基板上にセンサ素子が実装された構造を有している。以下では、センサ基板20の長手方向をx軸方向と称し、センサ基板20の短手方向をy軸方向と称し、センサ基板20の厚さ方向をz軸方向と称する。本実施形態では、x軸方向が第1軸方向に相当し、y軸方向が第2軸方向に相当する。
<First Embodiment>
Hereinafter, a first embodiment of the actuator device will be described.
As shown in FIG. 1, the actuator device 10 of the present embodiment is a device that displaces a sensor substrate 20 as a displacement target. The sensor substrate 20 has a structure in which a sensor element is mounted on, for example, a rectangular thin plate-like substrate. Hereinafter, the longitudinal direction of the sensor substrate 20 is referred to as an x-axis direction, the short direction of the sensor substrate 20 is referred to as a y-axis direction, and the thickness direction of the sensor substrate 20 is referred to as a z-axis direction. In the present embodiment, the x-axis direction corresponds to the first axis direction, and the y-axis direction corresponds to the second axis direction.

アクチュエータ装置10は、ポリマー繊維アクチュエータ30,40と、連結部材50,60と、支持部材70と、温度調整部80とを備えている。   The actuator device 10 includes polymer fiber actuators 30 and 40, connecting members 50 and 60, a support member 70, and a temperature adjustment unit 80.

ポリマー繊維アクチュエータ30は、センサ基板20からx軸方向に延びるように配置された棒状の部材からなる。詳しくは、ポリマー繊維アクチュエータ30は、アクチュエータ部材31と、アクチュエータ部材32とからなる。アクチュエータ部材31は、センサ基板20のx軸方向の一側面21からx軸方向に平行にセンサ基板20から延びている。アクチュエータ部材32は、センサ基板20のx軸方向の他側面22からx軸方向に平行な方向であって、且つアクチュエータ部材31とは逆の方向にセンサ基板20から延びている。すなわち、アクチュエータ部材31,32は、センサ基板20からx軸方向に平行な方向において互いに逆方向に延びている。アクチュエータ部材31,32は、接着等によりセンサ基板20の側面21,22にそれぞれ固定されている。本実施形態では、アクチュエータ部材31が第1アクチュエータ部材に相当し、アクチュエータ部材32が第2アクチュエータ部材に相当する。   The polymer fiber actuator 30 is composed of a rod-shaped member arranged so as to extend from the sensor substrate 20 in the x-axis direction. Specifically, the polymer fiber actuator 30 includes an actuator member 31 and an actuator member 32. The actuator member 31 extends from the sensor substrate 20 in parallel with the x-axis direction from one side surface 21 of the sensor substrate 20 in the x-axis direction. The actuator member 32 extends from the sensor substrate 20 in a direction parallel to the x-axis direction from the other side surface 22 of the sensor substrate 20 in the x-axis direction and in a direction opposite to the actuator member 31. That is, the actuator members 31 and 32 extend in opposite directions from the sensor substrate 20 in a direction parallel to the x-axis direction. The actuator members 31 and 32 are fixed to the side surfaces 21 and 22 of the sensor substrate 20 by adhesion or the like, respectively. In the present embodiment, the actuator member 31 corresponds to a first actuator member, and the actuator member 32 corresponds to a second actuator member.

アクチュエータ部材31,32は、例えば6,6−ナイロンからなる。アクチュエータ部材31,32は、加熱により温度が上昇した際に、主として図中に矢印r1で示される方向に変位、すなわちx軸方向を中心とする回転方向に変位する特性を有するように構成されている。この変位を実現するための方法としては、例えばアクチュエータ部材31,32の結晶構造を軸方向と傾斜するように配向させる方法がある。   The actuator members 31 and 32 are made of, for example, 6,6-nylon. The actuator members 31 and 32 are configured to have a characteristic that when the temperature rises due to heating, the actuator members 31 and 32 are mainly displaced in a direction indicated by an arrow r1 in the drawing, that is, displaced in a rotational direction centering on the x-axis direction. Yes. As a method for realizing this displacement, for example, there is a method of orienting the crystal structures of the actuator members 31 and 32 so as to be inclined with respect to the axial direction.

ポリマー繊維アクチュエータ40は、センサ基板20からy軸方向に延びるように配置された棒状の部材からなる。詳しくは、ポリマー繊維アクチュエータ40は、アクチュエータ部材41と、アクチュエータ部材42とからなる。アクチュエータ部材41は、センサ基板20のy軸方向の一側面23からy軸方向に平行にセンサ基板20から延びている。アクチュエータ部材42は、センサ基板20のy軸方向の他側面24からy軸方向に平行な方向であって、且つアクチュエータ部材41とは逆の方向にセンサ基板20から延びている。すなわち、アクチュエータ部材41,42は、センサ基板20からx軸方向に平行な方向において互いに逆方向に延びている。アクチュエータ部材41,42は、接着等によりセンサ基板20の側面23,24にそれぞれ固定されている。本実施形態では、アクチュエータ部材41が第3アクチュエータ部材に相当し、アクチュエータ部材42が第4アクチュエータ部材に相当する。   The polymer fiber actuator 40 is composed of a rod-shaped member arranged so as to extend from the sensor substrate 20 in the y-axis direction. Specifically, the polymer fiber actuator 40 includes an actuator member 41 and an actuator member 42. The actuator member 41 extends from the sensor substrate 20 in parallel to the y-axis direction from one side surface 23 of the sensor substrate 20 in the y-axis direction. The actuator member 42 extends from the sensor substrate 20 in a direction parallel to the y-axis direction from the other side surface 24 of the sensor substrate 20 in the y-axis direction and in a direction opposite to the actuator member 41. That is, the actuator members 41 and 42 extend in opposite directions from the sensor substrate 20 in a direction parallel to the x-axis direction. The actuator members 41 and 42 are respectively fixed to the side surfaces 23 and 24 of the sensor substrate 20 by adhesion or the like. In the present embodiment, the actuator member 41 corresponds to a third actuator member, and the actuator member 42 corresponds to a fourth actuator member.

アクチュエータ部材41,42は、例えば6,6−ナイロンからなる。アクチュエータ部材41,42は、加熱により温度が上昇した際に、主として図中に矢印r2で示される方向に変位、すなわちy軸方向を中心とする回転方向に変位する特性を有するように構成されている。この特性を実現するための方法としては、例えばアクチュエータ部材41,42の結晶構造を軸方向と傾斜するように配向させる方法がある。   The actuator members 41 and 42 are made of, for example, 6,6-nylon. The actuator members 41 and 42 are configured to have a characteristic of being displaced mainly in the direction indicated by an arrow r2 in the drawing, that is, in a rotational direction centering on the y-axis direction when the temperature rises due to heating. Yes. As a method for realizing this characteristic, for example, there is a method of orienting the crystal structures of the actuator members 41 and 42 so as to be inclined with respect to the axial direction.

連結部材50は、アクチュエータ部材31の先端部と、アクチュエータ部材32の先端部とに連結された円弧状の棒状部材である。連結部材50は、接着やかしめ等により、アクチュエータ部材31,32に固定されている。連結部材60は、アクチュエータ部材41の先端部と、アクチュエータ部材42の先端部とに連結された円弧状の棒状部材である。連結部材60は、接着やかしめ等により、アクチュエータ部材41,42に固定されている。連結部材50,60は、例えば金属により形成されている。本実施形態では、連結部材50が第1連結部材に相当する。また、連結部材60が第2連結部材に相当する。   The connecting member 50 is an arc-shaped bar-like member connected to the distal end portion of the actuator member 31 and the distal end portion of the actuator member 32. The connecting member 50 is fixed to the actuator members 31 and 32 by adhesion or caulking. The connecting member 60 is an arc-shaped rod-like member connected to the tip end portion of the actuator member 41 and the tip end portion of the actuator member 42. The connecting member 60 is fixed to the actuator members 41 and 42 by adhesion or caulking. The connecting members 50 and 60 are made of metal, for example. In the present embodiment, the connecting member 50 corresponds to the first connecting member. Further, the connecting member 60 corresponds to a second connecting member.

支持部材70は、センサ基板20に対してz軸方向の下方に配置されており、連結部材50,60を支持する。支持部材70は、金属や樹脂等により形成されている。支持部材70は、支持片71と、支持片72とを有している。   The support member 70 is disposed below the sensor substrate 20 in the z-axis direction and supports the connecting members 50 and 60. The support member 70 is made of metal, resin, or the like. The support member 70 includes a support piece 71 and a support piece 72.

図2に示されるように、支持片71は、x軸方向に長手方向を有する矩形状の部材からなる。支持片71は、連結部材50の曲率と同一の曲率で湾曲するように形成されている。支持片71には、x軸方向の一側面710から他側面711に貫通する貫通孔712が形成されている。貫通孔712の内壁には、その全長にわたって溝部713が形成されている。図3及び図4に示されるように、連結部材50には、この溝部713に嵌合する凸部51が形成されている。貫通孔712の溝部713と連結部材50の凸部51との嵌合構造により、図4に示される連結部材50の軸方向m1の変位が許容される一方、図3に示される軸方向を中心とする回転方向n1の変位が規制されている。なお、貫通孔712の内面には、連結部材50が支持片71に対して軸方向m1に摺動できるように、テフロンコーティング等の摩擦係数を低減するための加工が施されている。   As shown in FIG. 2, the support piece 71 is made of a rectangular member having a longitudinal direction in the x-axis direction. The support piece 71 is formed to be bent with the same curvature as that of the connecting member 50. The support piece 71 is formed with a through hole 712 penetrating from one side 710 in the x-axis direction to the other side 711. A groove portion 713 is formed on the inner wall of the through hole 712 over the entire length thereof. As shown in FIGS. 3 and 4, the connecting member 50 is formed with a convex portion 51 that fits into the groove portion 713. The fitting structure of the groove portion 713 of the through hole 712 and the convex portion 51 of the connecting member 50 allows the displacement in the axial direction m1 of the connecting member 50 shown in FIG. 4 while allowing the axial direction shown in FIG. The displacement in the rotation direction n1 is regulated. In addition, the inner surface of the through hole 712 is processed to reduce a friction coefficient such as Teflon coating so that the connecting member 50 can slide in the axial direction m1 with respect to the support piece 71.

図2に示されるように、支持片72は、支持片71の上面714に接着等により固定されている。支持片72は、y軸方向に長手方向を有する矩形状の部材からなる。支持片72は、連結部材60の曲率と同一の曲率で湾曲するように形成されている。支持片72には、y軸方向の一側面720から他側面721に貫通する貫通孔722が形成されている。貫通孔722の内壁には、その全長にわたって溝部723が形成されている。図3及び図4に示されるように、連結部材60には、この溝部に嵌合する凸部61が形成されている。貫通孔722の溝部723と連結部材60の凸部61との嵌合構造により、図3に示される連結部材60の軸方向m2の変位が許容される一方、図4に示される軸方向を中心とする回転方向n2の変位が規制されている。なお、貫通孔722の内面には、連結部材60が支持片72に対して軸方向m2に摺動できるように、テフロンコーティング等の摩擦係数を低減するための加工が施されている。   As shown in FIG. 2, the support piece 72 is fixed to the upper surface 714 of the support piece 71 by adhesion or the like. The support piece 72 is made of a rectangular member having a longitudinal direction in the y-axis direction. The support piece 72 is formed to be bent with the same curvature as that of the connecting member 60. The support piece 72 is formed with a through hole 722 that penetrates from one side surface 720 to the other side surface 721 in the y-axis direction. A groove portion 723 is formed on the inner wall of the through hole 722 over the entire length thereof. As shown in FIGS. 3 and 4, the connecting member 60 is formed with a convex portion 61 that fits into the groove portion. The fitting structure of the groove portion 723 of the through hole 722 and the convex portion 61 of the connecting member 60 allows displacement in the axial direction m2 of the connecting member 60 shown in FIG. 3, while centering on the axial direction shown in FIG. The displacement in the rotation direction n2 is regulated. In addition, the inner surface of the through hole 722 is subjected to processing for reducing a friction coefficient such as Teflon coating so that the connecting member 60 can slide in the axial direction m2 with respect to the support piece 72.

図1に示されるように、温度調整部80は、加熱部81と、制御部82とを備えている。加熱部81は、アクチュエータ部材31,32,41,42を個別に加熱することにより、それらの温度を上昇させる。制御部82は、加熱部81によりアクチュエータ部材31,32,41,42の温度を変化させることにより、センサ基板20を回転方向r1,r2に変位させる。   As shown in FIG. 1, the temperature adjustment unit 80 includes a heating unit 81 and a control unit 82. The heating part 81 raises those temperatures by heating the actuator members 31, 32, 41, and 42 individually. The control unit 82 changes the temperature of the actuator members 31, 32, 41, 42 by the heating unit 81, thereby displacing the sensor substrate 20 in the rotation directions r 1, r 2.

次に、本実施形態のアクチュエータ装置10の動作例について説明する。
制御部82は、加熱部81により例えばアクチュエータ部材31,32を加熱する。これにより、アクチュエータ部材31,32が回転方向r1に変位するため、センサ基板20に回転方向r1の力が作用する。また、センサ基板20に連結されたアクチュエータ部材41,42及び連結部材60にも回転方向r1の力が作用する。この際、連結部材60が支持片72に対して摺動することにより、アクチュエータ部材41,42及び連結部材60が回転方向r1に変位する。結果的に、センサ基板20の姿勢が、図1に示される基準姿勢から、回転方向r1に回転した傾斜姿勢へと変化する。
Next, an operation example of the actuator device 10 of the present embodiment will be described.
The control unit 82 heats, for example, the actuator members 31 and 32 by the heating unit 81. As a result, the actuator members 31 and 32 are displaced in the rotation direction r1, so that a force in the rotation direction r1 acts on the sensor substrate 20. The force in the rotational direction r1 also acts on the actuator members 41 and 42 and the connecting member 60 connected to the sensor substrate 20. At this time, when the connecting member 60 slides with respect to the support piece 72, the actuator members 41 and 42 and the connecting member 60 are displaced in the rotation direction r1. As a result, the posture of the sensor substrate 20 changes from the reference posture shown in FIG. 1 to an inclined posture rotated in the rotation direction r1.

また、制御部82が、加熱部81によるアクチュエータ部材31,32の加熱を停止すると、自然冷却によりアクチュエータ部材31,32の温度が低下する。これにより、アクチュエータ部材31,32が回転方向r1と逆方向に変位するため、センサ基板20の姿勢が、図1に示される基準姿勢へと戻る。   Moreover, when the control part 82 stops the heating of the actuator members 31 and 32 by the heating part 81, the temperature of the actuator members 31 and 32 will fall by natural cooling. As a result, the actuator members 31 and 32 are displaced in the direction opposite to the rotation direction r1, so that the posture of the sensor substrate 20 returns to the reference posture shown in FIG.

同様に、制御部82が、加熱部81によりアクチュエータ部材41,42を加熱すると、センサ基板20を回転方向r2に傾斜させることができる。また、制御部82が、加熱部81によるアクチュエータ部材41,42の加熱を停止すると、センサ基板20の姿勢が図1に示される基準姿勢へと戻る。   Similarly, when the control unit 82 heats the actuator members 41 and 42 by the heating unit 81, the sensor substrate 20 can be inclined in the rotation direction r2. When the control unit 82 stops heating the actuator members 41 and 42 by the heating unit 81, the posture of the sensor substrate 20 returns to the reference posture shown in FIG.

以上説明した本実施形態のアクチュエータ装置10によれば、以下の(1)〜(6)に示される作用及び効果を得ることができる。   According to the actuator device 10 of the present embodiment described above, the operations and effects shown in the following (1) to (6) can be obtained.

(1)温度調整部80によりポリマー繊維アクチュエータ30,40の温度が調整されることにより、各ポリマー繊維アクチュエータ30,40の変位に応じた力がセンサ基板20に対して回転方向r1,r2に作用する。回転方向r1,r2に応じた力がセンサ基板20に作用することにより、センサ基板20を回転方向r1,r2に変位させるだけでなく、回転方向r1,r2を合成した方向にも変位させることができる。したがって、センサ基板20を任意の方向に変位させることができるため、センサ基板20の変位の自由度を向上させることができる。   (1) When the temperature of the polymer fiber actuators 30 and 40 is adjusted by the temperature adjustment unit 80, a force corresponding to the displacement of each polymer fiber actuator 30 and 40 acts on the sensor substrate 20 in the rotation directions r1 and r2. To do. When a force corresponding to the rotation directions r1 and r2 acts on the sensor substrate 20, the sensor substrate 20 can be displaced not only in the rotation directions r1 and r2, but also in a direction in which the rotation directions r1 and r2 are combined. it can. Therefore, since the sensor substrate 20 can be displaced in an arbitrary direction, the degree of freedom of displacement of the sensor substrate 20 can be improved.

(2)ポリマー繊維アクチュエータ30,40は、温度変化に対して、主としてx軸方向及びy軸方向を中心に回転変位する特性を有する。これにより、センサ基板20を回転変位させることができるため、センサ基板20の姿勢を変化させることができる。   (2) The polymer fiber actuators 30 and 40 have a characteristic of being rotationally displaced mainly around the x-axis direction and the y-axis direction with respect to temperature changes. Thereby, since the sensor board | substrate 20 can be rotationally displaced, the attitude | position of the sensor board | substrate 20 can be changed.

(3)ポリマー繊維アクチュエータ30は、センサ基板20からx軸方向に延びるように配置されている。ポリマー繊維アクチュエータ40は、センサ基板20からy軸方向に延びるように配置されている。これにより、センサ基板20を、x軸方向を中心とする回転方向r1、及びy軸方向を中心とする回転方向r2に変位させる構成を容易に実現することができる。   (3) The polymer fiber actuator 30 is arranged so as to extend from the sensor substrate 20 in the x-axis direction. The polymer fiber actuator 40 is disposed so as to extend from the sensor substrate 20 in the y-axis direction. Thereby, the structure which displaces the sensor board | substrate 20 to the rotation direction r1 centering on an x-axis direction and the rotation direction r2 centering on a y-axis direction is easily realizable.

(4)ポリマー繊維アクチュエータ30の軸方向であるx軸方向と、ポリマー繊維アクチュエータ40の軸方向であるy軸方向とが、互いに直交する方向に設定されている。これにより、センサ基板20の回転変位の自由度をより高めることができる。   (4) The x-axis direction that is the axial direction of the polymer fiber actuator 30 and the y-axis direction that is the axial direction of the polymer fiber actuator 40 are set in directions orthogonal to each other. Thereby, the freedom degree of the rotational displacement of the sensor board | substrate 20 can be raised more.

(5)ポリマー繊維アクチュエータ30は、センサ基板20からx軸方向において互いに逆方向に延びるアクチュエータ部材31,32からなる。ポリマー繊維アクチュエータ40は、センサ基板20からy軸方向において互いに逆方向に延びるアクチュエータ部材41,42からなる。アクチュエータ装置10は、アクチュエータ部材31,32を連結する連結部材50と、アクチュエータ部材41,42を連結する連結部材60と、連結部材50,60を支持する支持部材70とを備える。これにより、センサ基板20及びポリマー繊維アクチュエータ30,40を支持しつつ、センサ基板20を変位させる構成を実現することができる。   (5) The polymer fiber actuator 30 includes actuator members 31 and 32 extending from the sensor substrate 20 in opposite directions in the x-axis direction. The polymer fiber actuator 40 includes actuator members 41 and 42 extending from the sensor substrate 20 in directions opposite to each other in the y-axis direction. The actuator device 10 includes a connecting member 50 that connects the actuator members 31 and 32, a connecting member 60 that connects the actuator members 41 and 42, and a support member 70 that supports the connecting members 50 and 60. Thereby, the structure which displaces the sensor board | substrate 20 is realizable, supporting the sensor board | substrate 20 and the polymer fiber actuators 30 and 40. FIG.

(6)支持部材70は、連結部材50,60の軸方向m1,m2の変位を許容しつつ、軸方向m1,m2を中心とする回転方向n1,n2の回転変位を規制する。これにより、ポリマー繊維アクチュエータ30,40の一方の回転変位が他方の回転変位を阻害することを回避できるため、センサ基板20の変位の自由度をより的確に確保することができる。   (6) The support member 70 restricts the rotational displacement in the rotational directions n1 and n2 around the axial directions m1 and m2 while allowing the displacement of the connecting members 50 and 60 in the axial directions m1 and m2. Thereby, since it can avoid that one rotational displacement of the polymer fiber actuators 30 and 40 obstructs the other rotational displacement, the freedom degree of displacement of the sensor board | substrate 20 can be ensured more correctly.

(変形例)
次に、第1実施形態のアクチュエータ装置10の変形例について説明する。
図5に示されるように、この変形例のアクチュエータ部材32は、加熱により温度上昇した際に、アクチュエータ部材31の回転方向r1とは逆の回転方向r3に変位するように構成されている。また、アクチュエータ部材42は、加熱により温度上昇した際に、アクチュエータ部材41の回転方向r2とは逆の回転方向r4に変位するように構成されている。このような構成によれば、加熱部81によりアクチュエータ部材32を加熱した際に、センサ基板20に対して回転方向r1とは逆の回転方向r3の力を作用させることができる。また、加熱部81によりアクチュエータ部材42を加熱した際に、センサ基板20に対して回転方向r2とは逆の回転方向r4の力を作用させることができる。よって、センサ基板20に対して付与される力の方向を増やすことができるため、センサ基板20の変位の自由度を更に向上させることができる。
(Modification)
Next, a modified example of the actuator device 10 of the first embodiment will be described.
As shown in FIG. 5, the actuator member 32 of this modification is configured to be displaced in a rotation direction r3 opposite to the rotation direction r1 of the actuator member 31 when the temperature rises due to heating. The actuator member 42 is configured to be displaced in a rotation direction r4 opposite to the rotation direction r2 of the actuator member 41 when the temperature rises due to heating. According to such a configuration, when the actuator member 32 is heated by the heating unit 81, a force in the rotation direction r3 opposite to the rotation direction r1 can be applied to the sensor substrate 20. In addition, when the actuator member 42 is heated by the heating unit 81, a force in the rotation direction r4 opposite to the rotation direction r2 can be applied to the sensor substrate 20. Therefore, since the direction of the force applied to the sensor substrate 20 can be increased, the degree of freedom of displacement of the sensor substrate 20 can be further improved.

<第2実施形態>
次に、アクチュエータ装置の第2実施形態について説明する。以下、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the actuator device will be described. Hereinafter, the difference from the first embodiment will be mainly described.

図6に示されるように、本実施形態のアクチュエータ装置10は、支持面170に対してz軸方向の上方に配置されたセンサ基板20を変位させる装置である。センサ基板20は、ピボット軸受150により支持面170に対して揺動可能に支持されている。本実施形態では、ピボット軸受150が支持部材に相当する。   As shown in FIG. 6, the actuator device 10 of the present embodiment is a device that displaces the sensor substrate 20 disposed above the support surface 170 in the z-axis direction. The sensor substrate 20 is supported by a pivot bearing 150 so as to be swingable with respect to the support surface 170. In the present embodiment, the pivot bearing 150 corresponds to a support member.

ピボット軸受150は、軸部151と、支持部152とを有している。軸部151は、センサ基板20の底面25の中央部からz軸方向の下方に支持面170に向かって延びる棒状の部材からなる。軸部151における支持面170側の端部には、半球面状の凹部151aが形成されている。支持部152は、支持面170に固定されている。支持部152には、軸部151の凹部151aが摺動可能に接触する半球面状の凸部152aが形成されている。軸部151の凹部151aが支持部152の凸部152aに対して摺動することにより、センサ基板20が支持面170に対して揺動可能となっている。   The pivot bearing 150 has a shaft portion 151 and a support portion 152. The shaft portion 151 is made of a rod-shaped member that extends from the center portion of the bottom surface 25 of the sensor substrate 20 toward the support surface 170 downward in the z-axis direction. A hemispherical concave portion 151a is formed at the end of the shaft portion 151 on the support surface 170 side. The support part 152 is fixed to the support surface 170. The support portion 152 is formed with a hemispherical convex portion 152a with which the concave portion 151a of the shaft portion 151 is slidably contacted. The sensor substrate 20 can swing with respect to the support surface 170 by sliding the concave portion 151 a of the shaft portion 151 with respect to the convex portion 152 a of the support portion 152.

図6及び図7に示されるように、アクチュエータ装置10は、センサ基板20の4つの角部のそれぞれから支持面170に向かって軸方向d1〜d4に延びるポリマー繊維アクチュエータ101〜104を備えている。軸方向d1〜d4は、互いに交差する方向となっている。ポリマー繊維アクチュエータ101〜104のそれぞれの一端部はセンサ基板20に対して接着等により固定されている。ポリマー繊維アクチュエータ101〜104のそれぞれの他端部は支持面170に対して接着等により固定されている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the actuator device 10 includes polymer fiber actuators 101 to 104 that extend in the axial directions d1 to d4 from the four corners of the sensor substrate 20 toward the support surface 170. . The axial directions d1 to d4 are directions that intersect each other. One end of each of the polymer fiber actuators 101 to 104 is fixed to the sensor substrate 20 by adhesion or the like. The other end portions of the polymer fiber actuators 101 to 104 are fixed to the support surface 170 by adhesion or the like.

ポリマー繊維アクチュエータ101〜104は、例えば6,6−ナイロンからなる。ポリマー繊維アクチュエータ101〜104は、加熱により温度が上昇した際に、主として図6及び図7に矢印d1〜d4で示される方向に延びるように変位、すなわち軸方向に延びるように変位する特性を有するように構成されている。この特性を実現するための方法としては、例えばポリマー繊維アクチュエータ101〜104の結晶構造を軸方向と傾斜するように配向させ、且つ螺旋状の捩り変形を与えるといった方法がある。   The polymer fiber actuators 101 to 104 are made of, for example, 6,6-nylon. The polymer fiber actuators 101 to 104 have a characteristic of being displaced so as to extend mainly in the directions indicated by arrows d1 to d4 in FIGS. 6 and 7 when the temperature is increased by heating, that is, to be extended so as to extend in the axial direction. It is configured as follows. As a method for realizing this characteristic, for example, there is a method in which the crystal structure of the polymer fiber actuators 101 to 104 is oriented so as to be inclined with respect to the axial direction and a helical torsional deformation is given.

図7に示されるように、加熱部81は、ポリマー繊維アクチュエータ101〜104を個別に加熱することにより、それらの温度を上昇させる。制御部82は、加熱部81によりポリマー繊維アクチュエータ101〜104の温度を変化させることにより、センサ基板20のそれぞれの角部を軸方向d1〜d4に変位させる。   As FIG. 7 shows, the heating part 81 raises those temperature by heating the polymer fiber actuators 101-104 separately. The controller 82 causes the corners of the sensor substrate 20 to be displaced in the axial directions d1 to d4 by changing the temperature of the polymer fiber actuators 101 to 104 by the heating unit 81.

次に、本実施形態のアクチュエータ装置10の動作例について説明する。
制御部82は、加熱部81により例えばポリマー繊維アクチュエータ101を加熱する。これにより、ポリマー繊維アクチュエータ101が軸方向d1に延びるように変位するため、センサ基板20の一角部に軸方向d1の力が作用する。これにより、センサ基板20がピボット軸受150の支持部152を中心に揺動する。結果的に、センサ基板20の姿勢が、図6に示される基準姿勢から、一角部が軸方向d1に持ち上げられた傾斜姿勢へと変化する。
Next, an operation example of the actuator device 10 of the present embodiment will be described.
The control unit 82 heats, for example, the polymer fiber actuator 101 by the heating unit 81. Thereby, since the polymer fiber actuator 101 is displaced so as to extend in the axial direction d1, a force in the axial direction d1 acts on one corner of the sensor substrate 20. As a result, the sensor substrate 20 swings around the support portion 152 of the pivot bearing 150. As a result, the posture of the sensor substrate 20 changes from the reference posture shown in FIG. 6 to an inclined posture in which one corner is lifted in the axial direction d1.

また、制御部82が、加熱部81によるポリマー繊維アクチュエータ101の加熱を停止すると、自然冷却によりポリマー繊維アクチュエータ101の温度が低下する。これにより、ポリマー繊維アクチュエータ101が軸方向d1と逆方向に伸縮するように変位するため、センサ基板20の姿勢が、図6に示される基準姿勢へと戻る。   Moreover, when the control part 82 stops the heating of the polymer fiber actuator 101 by the heating part 81, the temperature of the polymer fiber actuator 101 will fall by natural cooling. As a result, the polymer fiber actuator 101 is displaced so as to expand and contract in the direction opposite to the axial direction d1, so that the posture of the sensor substrate 20 returns to the reference posture shown in FIG.

同様に、制御部82が、加熱部81によりポリマー繊維アクチュエータ102〜104を加熱すると、センサ基板20の各角部が軸方向d2〜d4に変位するため、センサ基板20を傾斜させることができる。また、制御部82が、加熱部81によるポリマー繊維アクチュエータ102〜104の加熱を停止すると、センサ基板20の姿勢が図6に示される基準姿勢へと戻る。   Similarly, when the control unit 82 heats the polymer fiber actuators 102 to 104 by the heating unit 81, each corner of the sensor substrate 20 is displaced in the axial directions d2 to d4, so that the sensor substrate 20 can be tilted. Further, when the control unit 82 stops heating the polymer fiber actuators 102 to 104 by the heating unit 81, the posture of the sensor substrate 20 returns to the reference posture shown in FIG.

以上説明した本実施形態のアクチュエータ装置10によれば、以下の(7)〜(10)に示される作用及び効果を得ることができる。   According to actuator device 10 of this embodiment explained above, the operation and effect shown by the following (7)-(10) can be acquired.

(7)温度調整部80によりポリマー繊維アクチュエータ101〜104の温度が調整されることにより、各ポリマー繊維アクチュエータ101〜104の変位に応じた力がセンサ基板20に対して軸方向d1〜d4に作用する。軸方向d1〜d4に応じた力がセンサ基板20に作用することにより、センサ基板20の姿勢を4軸方向に変化させるだけでなく、4軸方向を合成した方向にも変化させることができる。したがって、センサ基板20を任意の方向に変位させることができるため、センサ基板20の変位の自由度を向上させることができる。   (7) When the temperature of the polymer fiber actuators 101 to 104 is adjusted by the temperature adjusting unit 80, the force corresponding to the displacement of each polymer fiber actuator 101 to 104 acts on the sensor substrate 20 in the axial directions d1 to d4. To do. When forces according to the axial directions d1 to d4 act on the sensor substrate 20, the posture of the sensor substrate 20 can be changed not only in the four-axis direction but also in a direction in which the four-axis directions are combined. Therefore, since the sensor substrate 20 can be displaced in an arbitrary direction, the degree of freedom of displacement of the sensor substrate 20 can be improved.

(8)ポリマー繊維アクチュエータ101〜104は、温度変化に対して、主として軸方向d1〜d4に直線状に変位する特性を有する。これにより、センサ基板20の姿勢を変化させることができる。   (8) The polymer fiber actuators 101 to 104 have a characteristic of being displaced linearly mainly in the axial directions d1 to d4 with respect to temperature changes. Thereby, the attitude | position of the sensor board | substrate 20 can be changed.

(9)アクチュエータ装置10は、支持面170に対してセンサ基板20を支持するピボット軸受150を備える。また、アクチュエータ装置10は、センサ基板20と支持面170とを連結する4つのポリマー繊維アクチュエータ101〜104を備える。これにより、センサ基板20を支持しつつ、ポリマー繊維アクチュエータ101〜104の変位によりセンサ基板20の姿勢を変化させることができる。   (9) The actuator device 10 includes a pivot bearing 150 that supports the sensor substrate 20 with respect to the support surface 170. The actuator device 10 includes four polymer fiber actuators 101 to 104 that connect the sensor substrate 20 and the support surface 170. Thereby, the posture of the sensor substrate 20 can be changed by the displacement of the polymer fiber actuators 101 to 104 while supporting the sensor substrate 20.

(10)ピボット軸受150は、支持面170に対してセンサ基板20を揺動可能に支持する。これにより、支持部材として機能するピボット軸受150がセンサ基板20の揺動を阻害することがないため、より的確にセンサ基板20の変位の自由度を確保することができる。   (10) The pivot bearing 150 supports the sensor substrate 20 to be swingable with respect to the support surface 170. Thereby, since the pivot bearing 150 functioning as a support member does not hinder the swinging of the sensor substrate 20, the degree of freedom of displacement of the sensor substrate 20 can be ensured more accurately.

<他の実施形態>
なお、各実施形態は、以下の形態にて実施することもできる。
・第1実施形態のポリマー繊維アクチュエータ30の軸方向であるx軸方向と、ポリマー繊維アクチュエータ40の軸方向であるy軸方向とは、互いに直交する方向に限らず、互いに交差する方向であればよい。
<Other embodiments>
In addition, each embodiment can also be implemented with the following forms.
The x-axis direction, which is the axial direction of the polymer fiber actuator 30 of the first embodiment, and the y-axis direction, which is the axial direction of the polymer fiber actuator 40, are not limited to directions orthogonal to each other as long as they intersect each other Good.

・第1実施形態のアクチュエータ装置10は、センサ基板20に対して3つ以上の複数の軸方向からポリマー繊維アクチュエータが接続される構造であってもよい。   The actuator device 10 according to the first embodiment may have a structure in which polymer fiber actuators are connected to the sensor substrate 20 from three or more axial directions.

・第2実施形態のアクチュエータ装置10では、支持面170に対してセンサ基板20を支持する支持部材として、ピボット軸受150以外の任意の支持部材を用いてもよい。   In the actuator device 10 of the second embodiment, any support member other than the pivot bearing 150 may be used as a support member that supports the sensor substrate 20 with respect to the support surface 170.

・第2実施形態のアクチュエータ装置10は、4つのポリマー繊維アクチュエータ101〜104を有するものに限らず、3つ以上の複数のポリマー繊維アクチュエータを備えるものであればよい。   -Actuator device 10 of a 2nd embodiment is not restricted to what has four polymer fiber actuators 101-104, and should just be provided with three or more polymer fiber actuators.

・アクチュエータ装置10の変位対象は、センサ基板20に限らず、任意に変更可能である。   The displacement target of the actuator device 10 is not limited to the sensor substrate 20 and can be arbitrarily changed.

・制御部82が提供する手段及び/又は機能は、実体的な記憶装置に記憶されたソフトウェア及びそれを実行するコンピュータ、ソフトウェアのみ、ハードウェアのみ、あるいはそれらの組み合わせにより提供することができる。例えば制御部82がハードウェアである電子回路により提供される場合、それは多数の論理回路を含むデジタル回路、またはアナログ回路により提供することができる。   The means and / or function provided by the control unit 82 can be provided by software stored in a substantial storage device and a computer that executes the software, only software, only hardware, or a combination thereof. For example, when the control unit 82 is provided by an electronic circuit which is hardware, it can be provided by a digital circuit including a large number of logic circuits or an analog circuit.

・本発明は上記の具体例に限定されるものではない。すなわち、上記の具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、前述した各具体例が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前述した実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。   -This invention is not limited to said specific example. That is, the above-described specific examples that are appropriately modified by those skilled in the art are also included in the scope of the present invention as long as they have the characteristics of the present invention. For example, the elements included in each of the specific examples described above and their arrangement, materials, conditions, shapes, sizes, and the like are not limited to those illustrated, and can be changed as appropriate. Moreover, each element with which embodiment mentioned above is provided can be combined as long as it is technically possible, and the combination of these is also included in the scope of the present invention as long as it includes the features of the present invention.

10:アクチュエータ装置
20:センサ基板(変位対象)
30,40,101,102,103,104:ポリマー繊維アクチュエータ
31,32,41,42:アクチュエータ部材
50,60:連結部材
70:支持部材
80:温度調整部
150:ピボット軸受(支持部材)
170:支持面
10: Actuator device 20: Sensor substrate (displacement target)
30, 40, 101, 102, 103, 104: polymer fiber actuator 31, 32, 41, 42: actuator member 50, 60: connecting member 70: support member 80: temperature adjusting unit 150: pivot bearing (support member)
170: Support surface

Claims (3)

変位対象(20)に対して互いに交差する複数の軸方向から連結される複数のポリマー繊維アクチュエータ(30,40,101,102,103,104)と、
複数の前記ポリマー繊維アクチュエータの温度を個別に調整する温度調整部(80)と、を備え、
複数の前記ポリマー繊維アクチュエータとして、前記変位対象から第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(30)と、前記変位対象から前記第1軸方向と交差する第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(40)と、を有し、
前記変位対象から前記第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、前記変位対象から前記第1軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第1アクチュエータ部材(31)及び第2アクチュエータ部材(32)からなり、
前記変位対象から前記第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、前記変位対象から前記第2軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第3アクチュエータ部材(41)及び第4アクチュエータ部材(42)からなり、
前記第1アクチュエータ部材と前記第2アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第1連結部材(50)と、
前記第3アクチュエータ部材と前記第4アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第2連結部材(60)と、
前記第1連結部材及び前記第2連結部材を支持する支持部材(70)と、を更に備え、
前記支持部材は、前記第1連結部材及び前記第2連結部材のそれぞれの中心を通る円弧曲線状の軸の方向である軸方向の変位を許容しつつ、前記軸方向を中心とする回転変位を規制する
アクチュエータ装置。
A plurality of polymer fiber actuators (30, 40, 101, 102, 103, 104) coupled from a plurality of axial directions intersecting each other with respect to the displacement object (20);
A temperature adjustment unit (80) for individually adjusting the temperature of the plurality of polymer fiber actuators ,
As the plurality of polymer fiber actuators, a polymer fiber actuator (30) extending from the displacement target in the first axial direction, and a polymer fiber actuator (40) extending from the displacement target in the second axial direction intersecting the first axial direction. And having
The polymer fiber actuator extending from the displacement target in the first axial direction includes a first actuator member (31) and a second actuator member (32) extending from the displacement target in directions opposite to each other in a direction parallel to the first axial direction. Consists of
The polymer fiber actuator extending in the second axis direction from the displacement target includes a third actuator member (41) and a fourth actuator member (42) extending from the displacement target in directions opposite to each other in a direction parallel to the second axis direction. Consists of
An arc-shaped first coupling member (50) coupled to the first actuator member and the second actuator member;
An arcuate second coupling member (60) coupled to the third actuator member and the fourth actuator member;
A support member (70) for supporting the first connection member and the second connection member;
The supporting member allows rotational displacement about the axial direction while allowing axial displacement, which is the direction of an arc-curved axis passing through the center of each of the first connecting member and the second connecting member. Actuating actuator device.
複数の前記ポリマー繊維アクチュエータ(30,40)は、温度変化に対して、主として軸方向を中心に回転変位する特性を有する
請求項1に記載のアクチュエータ装置。
2. The actuator device according to claim 1, wherein the plurality of polymer fiber actuators (30, 40) have a characteristic of being rotationally displaced mainly around an axial direction with respect to temperature change.
前記第1軸方向及び前記第2軸方向は、互いに直交する方向である
請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
It said first axial and said second axial direction, the actuator device according to claim 1 or 2 which is a direction orthogonal to each other.
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