JP6579985B2 - イオン注入装置および測定装置 - Google Patents
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Description
図8は、変形例1に係る角度測定装置148の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置148は、複数の電極体164a,164b,164c,164d,164e,164f,164g(総称して電極体164ともいう)を有する。本変形例では、複数の電極体164a〜164gが山形(逆V字状)に配置される点で上述の実施の形態と相違する。本変形例について、上述の角度測定装置48との相違点を中心に説明する。
図9は、変形例2に係る角度測定装置248の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置248は、複数の電極体264a,264b,264c,264d,264e,264f,264g(総称して電極体264ともいう)を有する。本変形例では、複数の電極体264a〜264gがジグザグ状に互い違いに配置される点で上述の実施の形態と相違する。本変形例について、上述の角度測定装置48との相違点を中心に説明する。
図10は、変形例3に係る角度測定装置348の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置348は、複数の電極体364a,364b,364c,364d,364e,364f,364g(総称して電極体364ともいう)を有する。本変形例では、変形例2と同様に複数の電極体364a〜364gがジグザグ状に互い違いに配置される一方で、中央の第1電極体364aが手前側に配置される点で上述の変形例2と相違する。本変形例について、上述の変形例2に係る角度測定装置248との相違点を中心に説明する。
図11は、変形例4に係る角度測定装置448の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置448は、複数の電極体464a,464b,464c,464d,464e,464f,464g(総称して電極体464ともいう)を有する。本変形例では、各電極体464a〜464gのビーム測定面465a,465b,465c,465d,465e,465f,465g(総称してビーム測定面465ともいう)が上述の実施の形態と同様に構成される。その一方で、スリット462を通過したイオンビームに対して露出せず、ビーム測定面465として機能しない第3部分が電極体464の一部に設けられる点で上述の実施の形態と相違する。本変形例について、上述の実施の形態に係る角度測定装置48との相違点を中心に説明する。
図12は、変形例5に係る角度測定装置548の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置548は、複数の電極体564a,564b,564c,564d,564e,564f,564g(総称して電極体564ともいう)を有する。本変形例では、各電極体564a〜564gのビーム測定面565a,565b,565c,565d,565e,565f,565g(総称してビーム測定面565ともいう)が変形例1と同様に構成される一方、スリット562を通過したイオンビームに対して露出しない第3部分が電極体564の一部に設けられる点で変形例1と相違する。本変形例について、上述の変形例1に係る角度測定装置148との相違点を中心に説明する。
図13は、変形例6に係る角度測定装置648の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置648は、複数の電極体664a,664b,664c,664d,664e,664f,664g(総称して電極体664ともいう)を有する。本変形例では、各電極体664a〜664gのビーム測定面665a,665b,665c,665d,665e,665f,665g(総称してビーム測定面665ともいう)が変形例5と同様に構成される一方、一部の電極体664のビーム進行方向の厚さが大きい点で変形例5と相違する。本変形例について、上述の変形例5に係る角度測定装置548との相違点を中心に説明する。
図14は、変形例7に係る角度測定装置748の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置748は、複数の電極体764a,764b,764c,764d,764e,764f,764g(総称して電極体764ともいう)を有する。本変形例は、上述の実施の形態に係る電極体64a〜64gと同様の角度感度係数k(θ)が実現されるように各電極体764を配置しており、実施の形態に係る電極体64a〜64gの位置を破線で示している。本変形例では、各電極体764a〜764gのビーム測定面765a,765b,765c,765d,765e,765f,765g(総称してビーム測定面765ともいう)が電極体764の上面のみならず側面の一部により構成されている点で上述の実施の形態および変形例と相違する。本変形例について、上述の実施の形態に係る角度測定装置48との相違点を中心に説明する。
図15は、変形例8に係る角度測定装置848の構成を模式的に示す断面図である。本変形例では、上述の実施の形態にて示した複数の電極体64a〜64gのそれぞれが複数の微小電極に分割されており、複数個の微小電極(微小電極群)により一つのビーム測定面が構成される。本変形例について、上述の実施の形態との相違点を中心に説明する。
図16は、変形例9に係る角度測定装置948の構成を模式的に示す断面図である。角度測定装置948は、複数の電極体964a,964b,964c,964d,964e,964f,964g(総称して電極体964ともいう)を有する。本変形例では、各電極体964a〜964gのビーム測定面965a,965b,965c,965d,965e,965f,965g(総称してビーム測定面965ともいう)がビーム進行方向の同じ位置(距離L)となるように配置されている点で上述の実施の形態および変形例と相違する。各ビーム測定面965は、スリット幅方向の長さがスリット幅Sと同じであり、隣接する電極体との間に隙間がほとんど生じないように配置される。本変形例においても、各電極体964が上述の実施の形態に係る電極体64と同様の角度感度係数k(θ)を有するように構成されるため、スリット962から入射するイオンビームについて正確な角度重心θGを得ることができる。
Claims (16)
- ウェハに照射されるイオンビームの角度分布を測定するための測定装置を備えるイオン注入装置であって、
前記測定装置は、
前記イオンビームが入射するスリットであって、スリット幅方向が前記ウェハに向かうイオンビームのビーム進行方向と直交する方向であるスリットと、
前記スリットから前記ビーム進行方向に離れた位置に設けられ、それぞれが前記スリットを通過したイオンビームに対して露出する領域であるビーム測定面を有する複数の電極体と、を備え、
前記複数の電極体は、各電極体のビーム測定面が前記スリット幅方向に順に並べられ、前記スリット幅方向に隣接するビーム測定面が前記ビーム進行方向にずれるように配置され、
前記測定装置は、前記複数の電極体のそれぞれに規定される角度中央値と、前記複数の電極体のそれぞれの角度中央値を含む所定の角度範囲に該当するビーム成分の測定結果とを用いて、前記スリットを通過したイオンビームの角度重心を算出することを特徴とするイオン注入装置。 - 前記複数の電極体は、前記ビーム進行方向および前記スリット幅方向により規定される断面視において、各電極体のビーム測定面がV字状または逆V字状に並ぶように配置されることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体は、前記スリット幅方向に前記ビーム測定面が隣接する少なくとも一組の電極体が前記ビーム進行方向に重なるように配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体は、前記ビーム進行方向の上流側に位置するビーム測定面を有する電極体よりも、前記ビーム進行方向の下流側に位置するビーム測定面を有する電極体が前記スリット幅方向に長いことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体の少なくとも一つは、前記ビーム測定面の前記スリット幅方向の長さが前記スリットのスリット幅と同じであることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記ビーム測定面の前記スリット幅方向の長さが前記スリットのスリット幅と同じである少なくとも一つの電極体は、他の少なくとも一つの電極体よりも前記ビーム進行方向の上流側に位置するビーム測定面を有することを特徴とする請求項5に記載のイオン注入装置。
- 前記他の少なくとも一つの電極体は、前記ビーム測定面の前記スリット幅方向の長さが前記スリットのスリット幅よりも長いことを特徴とする請求項6に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体は、前記スリット幅方向に隣接するビーム測定面の前記ビーム進行方向の位置ずれ量が前記スリットのスリット幅よりも小さいことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体は、各電極体のビーム測定面が前記スリットを通過するイオンビームから見て隙間なく前記スリット幅方向に並ぶように配置されることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体の少なくとも一つは、前記スリット幅方向の長さが前記ビーム進行方向に向けて小さくなる形状を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体は、前記スリット幅方向に前記ビーム測定面が隣接する少なくとも一組の電極体が前記ビーム進行方向に重ならないように配置されることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体のそれぞれは、前記スリットを通過したイオンビームについて、電極体ごとに異なる値に規定される角度中央値を含む所定の角度範囲に該当するビーム成分を測定するよう配置され、かつ、前記スリット幅方向に前記ビーム測定面が隣接する別の電極体に規定される角度中央値が前記所定の角度範囲の上限値または下限値となるよう配置されることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数の電極体の少なくとも一つは、複数個の微小電極により前記ビーム測定面が構成され、前記複数個の微小電極は、前記ビーム進行方向にずれるように配置されることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入装置。
- 前記イオン注入装置は、前記ウェハに向かうイオンビームを前記ビーム進行方向と直交する走査方向に往復走査させるビーム走査器をさらに備え、
前記スリットは、前記スリット幅方向が前記走査方向となるように設けられることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記イオン注入装置は、前記ウェハに向かうイオンビームを前記ビーム進行方向と直交する走査方向に往復走査させるビーム走査器をさらに備え、
前記スリットは、前記スリット幅方向が前記ビーム進行方向および前記走査方向の双方に直交する方向となるように設けられることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - イオンビームの角度分布を測定するための測定装置であって、
前記イオンビームが入射するスリットと、
前記スリットからビーム進行方向に離れた位置に設けられ、それぞれが前記スリットを通過したイオンビームに対して露出する領域であるビーム測定面を有する複数の電極体と、を備え、
前記複数の電極体は、各電極体のビーム測定面がスリット幅方向に順に並べられ、前記スリット幅方向に隣接するビーム測定面が前記ビーム進行方向にずれるように配置され、
前記複数の電極体のそれぞれに規定される角度中央値と、前記複数の電極体のそれぞれの角度中央値を含む所定の角度範囲に該当するビーム成分の測定結果とを用いて、前記スリットを通過したイオンビームの角度重心を算出することを特徴とする測定装置。
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