JP6574955B2 - 弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ - Google Patents
弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ Download PDFInfo
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Description
〔2〕 前記隆起構造が金(Au)、銅(Cu)またはアルミニウム(Al)のいずれかであることを特徴とする、〔1〕に記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
〔4〕 前記隆起構造として少なくとも単体のバンプが含まれていることを特徴とする、〔3〕に記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
〔5〕 〔1〕、〔2〕、〔3〕、〔4〕のいずれかに記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造を用いた、加速度センサ。
図1は、本発明の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造の一実施例を示す斜視図である。また、図2は図1の要部側断面図である。これらに示すように本弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造(以下、単に「相互干渉抑制構造」ともいう。)10は、弾性表面波SAWを発生させるための圧電基板9上に複数の弾性表面波共振器2、3等を備えて構成されている、加速度センサのセンサ素子1上における構造であって、二の弾性表面波共振器3、4間等に設けられた一または複数の隆起構造であることを、主たる構成とする。
2、4、42、44、52、54…弾性表面波共振器
3、43、53…基準弾性表面波共振器
9、39、49、59…圧電基板
9a…錘部、 9b…梁部、 9c…支持部
10、310、410、510、610、710…弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造
46、56…ワイヤ結線
47、57…ワイヤ部
81…センサ素子
82、84…弾性表面波共振器
83…基準弾性表面波共振器
89…圧電基板
89a…錘部、 89b…梁部、 89c…支持部
SAW…弾性表面波
Claims (5)
- 複数の弾性表面波共振器を備えた加速度センサにおける共振器間の相互干渉を抑制するための構造であって、二の弾性表面波共振器間に設けられた一または複数の隆起構造であって、該隆起構造として少なくともワイヤ結線のバンプが含まれていることを特徴とする、弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
- 前記隆起構造が金(Au)、銅(Cu)またはアルミニウム(Al)のいずれかであることを特徴とする、請求項1に記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
- 複数の弾性表面波共振器を備えた加速度センサにおける共振器間の相互干渉を抑制するための構造であって、二の弾性表面波共振器間に設けられた一または複数の隆起構造であって、該隆起構造として少なくとも単体のバンプが含まれていることを特徴とする、弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
- 前記隆起構造が金(Au)、銅(Cu)またはアルミニウム(Al)のいずれかであることを特徴とする、請求項3に記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造。
- 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造を用いた、加速度センサ。
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