JP6573216B2 - 気相成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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原料ガスにより基板にエピタキシャル層を気相成長させる反応炉と、
反応炉内に通じる入口と、入口の上方かつ入口より反応炉側に位置して反応炉内に至る出口と、を有して入口と出口を接続して反応炉内に原料ガスを導入する通路と、
通路内に位置して入口に対向する第1面と第1面の上端から出口に延びる第2面を有する段部と、
入口に対向する第1開口と、第1開口から入口の外側に向けて延びた先に位置する第2開口と、を有して入口に原料ガスを導く管状の流路と、
第2開口に対応した形状、かつ、第2開口に連なって通じる貫通孔を有して原料ガスを貫通孔から流路に導くバッフルと、
を備えることを特徴とする。
原料ガスにより基板にエピタキシャル層を気相成長させる反応炉内に通じる入口と、入口の上方かつ入口より反応炉側に位置して反応炉内に至る出口と、を接続する通路内において入口に対向する第1面と第1面の上端から出口に延びる第2面を有する段部に向けて原料ガスを導入する工程と、
導入する工程により導入した原料ガスによりエピタキシャル層を基板に成長する工程と、
を備え、
導入する工程は、
入口に対向する第1開口と、第1開口から入口の外側に向けて延びた先に位置する第2開口と、を有して入口に原料ガスを導く管状の流路と、
第2開口に対応した形状、かつ、第2開口に連なって通じる貫通孔を有して原料ガスを貫通孔から流路に導くバッフルと、
を使用して段部に原料ガスを導入することを特徴とする。
実施例1では、気相成長装置1を用いて直径200mm、結晶方位(100)のシリコン単結晶基板を載置したサセプタ10を軸線O回りに回転させずに回転を止めた状態でその基板にシリコンエピタキシャル層を成長してシリコンエピタキシャルウェーハを作製し、作製したシリコンエピタキシャルウェーハの膜厚分布を測定した。そして、気相成長装置1の反応炉2からアッパーライナー6及びロワーライナー7を取り外して洗浄した(メンテナンスした)後、再び元の位置に取り付けて先と同様の条件でシリコンエピタキシャルウェーハを作製し、作製したシリコンエピタキシャルウェーハの膜厚分布を測定した。
3 ベースリング 6 アッパーライナー
7 ロワーライナー 8 導入通路(通路)
8a 入口 8b 出口
8c 段部 8c1 第1面
8c2 第2面 10 サセプタ
14 バッフル H 貫通孔
15 インジェクションインサート 16 プレート
16a〜16f 流路 O1 開口(第1開口)
O2 開口(第2開口) 17 湾曲管路
18 端管路 W 基板
Claims (7)
- 原料ガスにより基板にエピタキシャル層を気相成長させる反応炉と、
前記反応炉内に通じる入口と、前記入口の上方かつ前記入口より前記反応炉側に位置して前記反応炉内に至る出口と、を有して前記入口と前記出口を接続して前記反応炉内に前記原料ガスを導入する通路と、
前記通路内に位置して前記入口に対向する第1面と前記第1面の上端から前記出口に延びる第2面を有する段部と、
前記入口に対向する第1開口と、前記第1開口から前記入口の外側に向けて延びた先に位置する第2開口と、を有して前記入口に前記原料ガスを導く管状の流路と、
前記第2開口に対応した形状、かつ、前記第2開口に連なって通じる貫通孔を有して前記原料ガスを前記貫通孔から前記流路に導くバッフルと、
を備え、
前記流路は、前記第1開口と前記第2開口の間に位置する湾曲した湾曲管路と、前記湾曲管路に連なって通じるとともに前記第1開口側の前記流路の端に位置する端管路と、を有することを特徴とする気相成長装置。 - 前記第1面は、前記反応炉側から鉛直方向に延びる軸線を中心とする円弧状の曲面であり、
前記端管路は、前記軸線に対して直交する方向に沿って位置する請求項1に記載の気相成長装置。 - 前記流路により前記原料ガスの少なくとも一部が前記第1面に対して垂直に導かれる請求項1または2に記載の気相成長装置。
- 前記基板は、シリコン単結晶基板であり、
前記エピタキシャル層は、シリコンエピタキシャル層であり、
前記流路は石英製である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の気相成長装置。 - 前記流路は、正方形、長方形、又は、正方形若しくは長方形の角を丸めた形状の横断面を有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の気相成長装置。
- 原料ガスにより基板にエピタキシャル層を気相成長させる反応炉内に通じる入口と、前記入口の上方かつ前記入口より前記反応炉側に位置して前記反応炉内に至る出口と、を接続する通路内において前記入口に対向する第1面と前記第1面の上端から前記出口に延びる第2面を有する段部に向けて前記原料ガスの噴流を抑制して前記原料ガスを導入する工程と、
前記導入する工程により導入した前記原料ガスにより前記エピタキシャル層を前記基板に成長する工程と、
を備え、
前記導入する工程は、
前記入口に対向する第1開口と、前記第1開口から前記入口の外側に向けて延びた先に位置する第2開口と、を有して前記入口に前記原料ガスを導く管状の流路と、
前記第2開口に対応した形状、かつ、前記第2開口に連なって通じる貫通孔を有して前記原料ガスを前記貫通孔から前記流路に導くバッフルと、
を使用して前記段部に前記原料ガスを導入し、
前記流路は、前記第1開口と前記第2開口の間に位置する湾曲した湾曲管路と、前記湾曲管路に連なって通じるとともに前記第1開口側の前記流路の端に位置する端管路と、を有することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記流路は、互いに融合させる融合面を有する第1部材と第2部材の少なくとも一方の前記融合面に溝を形成した後に、前記第1部材と前記第2部材の前記融合面を融合させて前記溝が管状に形成されたものを前記流路として使用する請求項6に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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JP2016167156A JP6573216B2 (ja) | 2016-08-29 | 2016-08-29 | 気相成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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