JP6569065B2 - 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 - Google Patents
歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6569065B2 JP6569065B2 JP2016056866A JP2016056866A JP6569065B2 JP 6569065 B2 JP6569065 B2 JP 6569065B2 JP 2016056866 A JP2016056866 A JP 2016056866A JP 2016056866 A JP2016056866 A JP 2016056866A JP 6569065 B2 JP6569065 B2 JP 6569065B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern portion
- adjustment pattern
- strain
- strain gauge
- trimming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 88
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備えて起歪体に配置される歪みゲージであって、
抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
を有し、
連続調整パターン部及び短絡調整パターン部のトリミングを連続的若しくは間欠的な一本の直線にて行えるように、連続調整パターン部及び短絡調整パターン部が配置されて構成されている。
起歪体は円柱形状であって、
起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、歪みゲージの一本の直線を円柱面に投影した線に一致するように歪みゲージは起歪体に配置されて構成されている。
抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備えて起歪体に配置される歪みゲージであって、
抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
を有し、
連続調整パターン部及び短絡調整パターン部のトリミング予定線が一本の直線となるように、連続調整パターン部及び短絡調整パターン部が配置されて構成されている。
起歪体は円柱形状であって、
起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、歪みゲージのトリミング予定線を円柱面に投影した線に一致するように歪みゲージは起歪体に配置されて構成されている。
短絡調整パターン部が、折り返しパターン部と電気的並列にて接続されて選択的に切断される抵抗配線からなる第1の短絡部、及び互いに並列に配置されて選択的に切断される抵抗配線からなる第2の短絡部、の少なくとも1つを有して構成されている。
力を印加することで変形する起歪体と、起歪体に添着されて起歪体に生じる歪みを電気信号に変換する歪みゲージを有する力変換器であって、
歪みゲージは、
歪みゲージと抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備え、
抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
で構成され、
連続調整パターン部及び短絡調整パターン部のトリミングを連続的若しくは間欠的な一本の直線にて行えるように、連続調整パターン部及び短絡調整パターン部が配置され、
起歪体は円柱形状であって、
起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、歪みゲージの一本の直線を円柱面に投影した線に一致するように歪みゲージが起歪体に配置されて構成されている。
力を印加することで変形する起歪体と、起歪体に添着されて起歪体に生じる歪みを電気信号に変換する歪みゲージを有する力変換器であって、
歪みゲージは、
歪みゲージと抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備え、
抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
で構成され、
連続調整パターン部及び短絡調整パターン部のトリミング予定線が一本の直線となるように、連続調整パターン部及び短絡調整パターン部が配置され、
起歪体は円柱形状であって、
起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、歪みゲージのトリミング予定線を円柱面に投影した線に一致するように歪みゲージが起歪体に配置されて構成されている。
歪みゲージの短絡調整パターン部が、折り返しパターン部と電気的並列にて接続されて選択的に切断される抵抗配線からなる第1の短絡部、及び互いに並列に配置されて選択的に切断される抵抗配線からなる第2の短絡部、の少なくとも1つを有して構成されている。
1a 回転軸起歪部
1b 回転軸鍔部
2 歪みゲージ
3 調整基板
4 回転側回路基板
5 リード線
10 1次側コア
11 1次側コイル
12 2次側コア
13 2次側コイル
14 支柱
15 ベアリング
16 固定側回路基板
17 1次側コアホルダ
20 力変換器
100 レーザ
101 ビームエキスパンダ
102 ガルバノスキャナ
103 fθレンズ
104 架台
201a、201b 折り返しパターン部
202a、202b、202c 端子部
203a、203b 短絡調整パターン部
204a、204b、205a、205b 位置出しマーク
208a、208b 第1の短絡部
209a、209b 第2の短絡部
210a、210b 連続調整パターン部
FP フォーカス面
TL レーザトリミング予定線
Claims (8)
- 抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備えて起歪体に配置される歪みゲージであって、
前記抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
を有し、
前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部のトリミングを連続的若しくは間欠的な一本の直線にて行えるように、前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部が配置されることを特徴とする歪みゲージ。 - 前記起歪体は円柱形状であって、
前記起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、前記歪みゲージの前記一本の直線を前記円柱面に投影した線に一致するように前記歪みゲージは前記起歪体に配置されることを特徴とする請求項1に記載の歪みゲージ。 - 抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備えて起歪体に配置される歪みゲージであって、
前記抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
を有し、
前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部のトリミング予定線が一本の直線となるように、前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部が配置されることを特徴とする歪みゲージ。 - 前記起歪体は円柱形状であって、
前記起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、前記歪みゲージの前記トリミング予定線を前記円柱面に投影した線に一致するように前記歪みゲージは前記起歪体に配置されることを特徴とする請求項3に記載の歪みゲージ。 - 前記短絡調整パターン部が、前記折り返しパターン部と電気的並列にて接続されて選択的に切断される抵抗配線からなる第1の短絡部、及び互いに並列に配置されて選択的に切断される抵抗配線からなる第2の短絡部、の少なくとも1つを有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の歪みゲージ。
- 力を印加することで変形する起歪体と、前記起歪体に添着されて前記起歪体に生じる歪みを電気信号に変換する歪みゲージを有する力変換器であって、
前記歪みゲージは、
歪みゲージと抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備え、
前記抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
で構成され、
前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部のトリミングを連続的若しくは間欠的な一本の直線にて行えるように、前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部が配置され、
前記起歪体は円柱形状であって、
前記起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、前記歪みゲージの前記一本の直線を前記円柱面に投影した線に一致するように前記歪みゲージが前記起歪体に配置されることを特徴とする力変換器。 - 力を印加することで変形する起歪体と、前記起歪体に添着されて前記起歪体に生じる歪みを電気信号に変換する歪みゲージを有する力変換器であって、
前記歪みゲージは、
歪みゲージと抵抗体によって形成された歪み検出用の折り返しパターン部と、
レーザトリミングによる抵抗調整用の抵抗調整パターン部と、を備え、
前記抵抗調整パターン部は、
トリミング長さにより抵抗値を調整する連続調整パターン部と、
選択的にトリミング切断することで抵抗値を変化させる抵抗配線からなる短絡調整パターン部と、
で構成され、
前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部のトリミング予定線が一本の直線となるように、前記連続調整パターン部及び前記短絡調整パターン部が配置され、
前記起歪体は円柱形状であって、
前記起歪体の軸線を円柱面に投影した線が、前記歪みゲージの前記トリミング予定線を前記円柱面に投影した線に一致するように前記歪みゲージが前記起歪体に配置されることを特徴とする力変換器。 - 前記歪みゲージの前記短絡調整パターン部が、前記折り返しパターン部と電気的並列にて接続されて選択的に切断される抵抗配線からなる第1の短絡部、及び互いに並列に配置されて選択的に切断される抵抗配線からなる第2の短絡部、の少なくとも1つを有することを特徴とする請求項6又は7に記載の力変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016056866A JP6569065B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016056866A JP6569065B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017173029A JP2017173029A (ja) | 2017-09-28 |
JP6569065B2 true JP6569065B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=59972922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016056866A Active JP6569065B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6569065B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020071189A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | ユニパルス株式会社 | 力検出器、力検出器を備えたアームロボット及び力検出器の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5517306U (ja) * | 1978-07-19 | 1980-02-04 | ||
DE2916427C2 (de) * | 1979-04-23 | 1987-02-12 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh, 6100 Darmstadt | Meßumformer mit einer Feder und einer darauf applizierten Dehnungsmeßstreifenanordnung |
JPS5694062U (ja) * | 1979-12-19 | 1981-07-25 | ||
JPS6122304U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-08 | 日本電気株式会社 | トリミング用膜抵抗 |
JPH0749762Y2 (ja) * | 1989-10-20 | 1995-11-13 | トヨタ自動車株式会社 | 抵抗体 |
US5119538A (en) * | 1990-08-10 | 1992-06-09 | Ranco Incorporated Of Delaware | Method of making a temperature sensor |
JP3436793B2 (ja) * | 1994-03-31 | 2003-08-18 | 株式会社共和電業 | ひずみゲージ |
JP3525673B2 (ja) * | 1996-03-11 | 2004-05-10 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗器およびその製造方法 |
JP3913526B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-05-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 変位センサとその製造方法および位置決めステージ |
-
2016
- 2016-03-22 JP JP2016056866A patent/JP6569065B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017173029A (ja) | 2017-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5608530A (en) | Inspection device for measuring a geometric dimension of a part | |
JP4447631B2 (ja) | 位置検出用治具 | |
JP6569065B2 (ja) | 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 | |
JP5379491B2 (ja) | 場発生器の位置最適化のための方法および装置 | |
JP6320885B2 (ja) | 捩りモーメント検出素子の製造方法 | |
EP0092752B1 (en) | Method for seam tracking in a moving arc torch welding operation | |
US4088408A (en) | Device for measuring the contour of a surface | |
US20230133662A1 (en) | Method for calibrating one or more optical sensors of a laser machining head, laser machining head, and laser machining system | |
JP2019152654A (ja) | マルチターンエンコーダ | |
CN212470240U (zh) | 一种光束指向稳定性监测与反馈装置 | |
US6683684B1 (en) | Device for measuring relative position error | |
JP6569947B2 (ja) | 歪みゲージ及びこれを用いた力変換器 | |
JP2010125510A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP7322179B2 (ja) | トルクセンサ | |
US20040226979A1 (en) | Optical processing apparatus | |
JPH07254543A (ja) | 縮小投影露光装置と光軸ずれ補正方法 | |
JP5066401B2 (ja) | 定点検出装置及び変位測定装置 | |
JP2021001757A (ja) | 荷重変換器 | |
JP7550668B2 (ja) | 走査ユニットおよびこれを搭載したロータリエンコーダ | |
JP2004177502A (ja) | レーザ走査装置 | |
JP2015130733A (ja) | 駆動装置および物品処理装置 | |
JP6492257B2 (ja) | 力変換器及びこれに使用される歪みゲージ | |
JP2017090264A (ja) | トルク検出器 | |
JPS6316892A (ja) | レ−ザ加工装置用測距装置 | |
JP2021021586A (ja) | トルク変換器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6569065 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |