JP6566602B2 - ガス検知器 - Google Patents
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Description
本発明は、外部環境の変化を検知するセンサを有するセンサユニットを複数備えたガス検知器である。図1〜5に示したように、本実施形態におけるガス検知器Xは、5つのセンサユニット10〜50を備えた場合について説明する。
尚、配管60は、Oリング16によって係止穴部に係止される。
一方、センサユニット毎に吸気口を形成した場合は、異なった場所の雰囲気ガスをサンプリングできる多点検知を行うことができる。検知態様については、特定の場所の検知を行うか、多点検知を行うかを切り替え可能となるように構成してもよい。この場合、雰囲気ガスを吸気する吸気口を1つにするか、複数にするか、を切り替え可能となるように構成すればよい。
上述したように、各センサブロック11〜51はセンサ12〜52を支持しており、さらにセンサブロック11〜51は配管60を介して隣接するセンサユニットを接続している。本構成により、センサブロック11〜51を中心として各センサユニット10〜50を構築し、かつセンサブロック11〜51を基点として各センサ12〜52を並列で接続することができる。よって、例えば所望のセンサユニットのみを稼働させたくない場合には、該当するセンサユニットのセンサブロックにおいて、当該センサブロックが支持するセンサに対して雰囲気ガスを流通させないようにすれば、それぞれのセンサブロック11〜51は配管60によって接続してあるため、該当するセンサユニット以外のセンサユニットを稼働させることができる。
尚、フローセンサ13〜53から外部に流量などの情報を含んだ信号を出力することが可能であり、このとき当該信号を受信して流量などの情報を表示できる外部機器と接続してモニタリングすることで、汚れ等による配管の詰まりやポンプユニットの故障などを早期に検知することができる。
尚、本発明のガス検知器Xには、演算手段の結果を表示する表示部(図外)を筐体に設け、被検知ガス濃度などを表示できるように構成してもよい。
上述したガス検知器Xの実施形態において、熱分解炉を備えた構成としてもよい(図外)。例えば検知対象外の不飽和フルオロカーボンは、熱分解によってフッ化水素が発生してセンサ12〜52によって検知されてしまう虞がある。本構成のように熱分解炉を備えて、熱分解炉で分解されて発生したガスをセンサ12〜52で検知できるように構成すれば、検知対象外のガス成分を含むか否かを判定することができる。
上述した実施形態では、センサ12〜52の下流に雰囲気ガスを吸引するポンプ15〜55を備えている構成となっているが、それに限らずセンサ12〜52の上流にポンプ15〜55を備え、雰囲気ガスを吸引し、供給する構成としてもよい。
1 吸気口
10〜50 センサユニット
11〜51 センサブロック
12〜52 センサ
15〜55 ポンプ
70 ガス流通路
Claims (4)
- 外部環境の変化を検知するセンサを有するセンサユニットを複数備えたガス検知器であって、
複数のセンサユニットは、それぞれ異なる種類の被検知ガスを検知するように構成してあり、
それぞれのセンサユニットにおいて、雰囲気ガスを吸引するポンプを備え、
雰囲気ガスを流下させるガス流通路を備え、前記ガス流通路における最上流側のセンサユニットのセンサから順に下流側のセンサユニットのセンサへ雰囲気ガスを流下させるガス検知器。 - それぞれのセンサユニットにおいて、雰囲気ガスの吸引量を調整できる流量調整機構を備えてある請求項1に記載のガス検知器。
- 雰囲気ガスを外部から吸引する吸気口を1つ備え、当該吸気口は、最上流側のセンサユニットの上流に備えた請求項1または2に記載のガス検知器。
- それぞれのセンサユニットは、前記センサを支持するセンサブロックを備え、
隣接するセンサユニットは、それぞれのセンサブロックを接続する前記ガス流通路によって接続してある請求項1〜3の何れか一項に記載のガス検知器。
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