JP6564644B2 - 急速排気弁ユニットおよびダイヤフラムポンプ - Google Patents

Description

本発明は、急速排気弁ユニットおよびダイヤフラムポンプに関し、特に、加圧対象物から逆流する空気を急速に排気する急速排気弁ユニット、および、その急速排気弁ユニットを備えたダイヤフラムポンプに関する。

ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムによって形成された複数のポンプ室を拡縮し、加圧した空気を加圧対象物に供給するポンプである。この種のダイヤフラムポンプには、血圧計などの加圧対象物に加圧した空気を供給した後、その加圧対象物の空気を外部へ急速に排気する急速排気弁ユニットが一体に設けられることがある（例えば、特許文献１参照）。

一方、ダイヤフラムポンプは、複数のポンプ室の拡縮により空気を加圧対象物に供給しているため、加圧対象物に供給する空気の流量が脈動する現象（以下、これを「リップル」と呼ぶ。）を生じさせていた。そこで、従来のダイヤフラムポンプにおいては、急速排気弁ユニットと加圧対象物との間にリップルを除去する機構を設けることがあった。

リップルの除去機構を有する従来の急速排気弁ユニットが一体に設けられたダイヤフラムポンプ（以下、これを「リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ」と呼ぶ。）の構成例を図８に示す。

図８に示すように、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１００は、急速排気弁ユニット１２０が一体に設けられたダイヤフラムポンプ１１０と、リップル除去機構１３０とからなる。

ここで、ダイヤフラムポンプ１１０は、弾性変形可能なダイヤフラム部１１３ａを有するダイヤフラム１１３と、モータ１１１の回転をピストン部１１３ａｐの往復運動に変換し、ダイヤフラム部１１３ａを変形させる駆動機構１１２とを有している。

このダイヤフラムポンプ１１０は、ダイヤフラム１１３と隔壁体１２１との間に形成されるポンプ室Ｐを拡縮し、圧縮された空気を隔壁体１２１に形成された貫通孔１２１ａを介して急速排気弁ユニット１２０に出力する。

急速排気弁ユニット１２０は、隔壁体１２１と、弁体１２２と、上側筐体１２３とを備える。弁体１２２は、逆止弁１２２ａと弁本体１２２ｂとを備え、隔壁体１２１と上側筐体１２３とによって形成される空間を、貫通孔１２１ａと接続された入力側空間と、上側筐体１２３に形成された吐出流路１２３ａおよび貫通孔１２３ｂと連通する出力側空間とに仕切っている。

リップル除去機構１３０は、２つの貫通孔１３３ａおよび１３３ｂを有する箱型のリップル除去構造体１３３と、パイプ１３１と接続可能に形成され、パイプ１３１とともにリップル除去構造体１３３の内部空間と急速排気弁ユニット１２０の出力側空間とを連通する円筒部１３２と、貫通孔１３３ｂを介して図示しない加圧対象物に供給される空気の流路を形成する円筒部１３４とを備えている。ここで、貫通孔１３３ｂの内径は、貫通孔１３３ａの内径よりも小さい。

このような構成を有するリップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１００において、ダイヤフラムポンプ１１０から急速排気弁ユニット１２０を介して出力された空気は、パイプ１３１を介してリップル除去構造体１３３の内部空間に供給され、貫通孔１３３ｂを通って加圧対象物に吐出される。

このとき、加圧対象物への吐出流路となる貫通孔１３３ｂの菅路抵抗は、急速排気弁ユニット１２０からの供給流路となる貫通孔１３３ａの菅路抵抗よりも大きく、かつ、リップル除去構造体１３３はダイヤフラムポンプ１１０から供給された空気を一時的に蓄える容量として作用する。

したがって、リップル除去構造体１３３は内部空間から貫通孔１３３ｂを通り加圧対象物に供給する空気の流量を一定とすることにより、リップルを除去することができる。

特開２０１４−２３８０２９号公報

しかしながら、上述したリップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１００においては、吐出流路を形成する貫通孔１３３ｂの菅路抵抗が、リップル除去構造体１３３の内部空間と急速排気弁ユニット１２０の出力側空間との間の連通路の管路抵抗よりも大きい。

このために、加圧対象物からリップル除去構造体１３３の内部空間に向かって逆流した空気が貫通孔１３３ｂを通過する際の通過速度が非常に遅くなり、急速排気弁ユニット１２０の貫通孔１２３ｂから空気を排気する排気速度が遅くなってしまうという問題があった。

本発明は上記した従来の問題に鑑みなされたものであり、その目的は、リップルを除去するとともに、ポンプ動作の停止時に加圧対象物から逆流する空気の排気速度を低下させることのない急速排気弁ユニットおよびダイヤフラムポンプを提供することにある。

この目的を達成するために、本発明は、第１の空間（Ａ１）を形成するとともに、ポンプ（１ａ）から前記第１の空間（Ａ１）に供給された空気が通過する出力流路（７ｅｈ）を有する第１の空間形成部（６、７、９）と、前記出力流路（７ｅｈ）を介して前記第１の空間（Ａ１）と連通する第２の空間（Ａ２）を形成するとともに、前記第２の空間（Ａ２）に供給された空気を吐出する吐出流路（８ａｈ）と、前記吐出流路（８ａｈ）から前記第２の空間（Ａ２）に流入した空気を外部に排気する排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）とを有する第２の空間形成部（７、８）と、前記ポンプ（１ａ）から前記第１の空間（Ａ１）に空気が供給されているときは前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）を閉塞し、前記吐出流路（８ａｈ）から前記第２の空間（Ａ２）に空気が流入しているときは前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）を開放する弁（９ｃ）とを備え、前記第１の空間形成部（６、７、９）は、前記ポンプ（１ａ）から供給される空気が通過する貫通孔（６ｈ）を有する第１の部材（６）と、前記第１の部材（６）の上に配置された、弾性体からなる弾性部材（９）と、前記出力流路（７ｅｈ）を有し、かつ前記弾性部材（９）の上に配置されて、前記第１の部材（６）および前記弾性部材（９）とともに前記第１の空間（Ａ１）を形成する第２の部材（７）とを備え、前記第２の空間形成部（７、８）は、前記第２の部材（７）の上に配置され、前記第２の部材（７）とともに前記第２の空間（Ａ２）を形成し、かつ前記吐出流路（８ａｈ）を有する第３の部材（８）を有し、前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）は、前記弾性部材（９）と前記第２の部材（７）との間に形成された排気側空間（Ｒ２）と、前記第２の部材（７）にそれぞれ設けられ、前記第２の空間（Ａ２）と前記排気側空間（Ｒ２）とを連通する第１の排気孔（７ｇｈ）と、前記排気側空間（Ｒ２）と前記第３の部材（８）に形成された排気路（８ｄｈ）とを連通する第２の排気孔（７ｆｈ）とを含み、前記弁（９ｃ）は、前記弾性部材（９）に設けられ、前記排気側空間（Ｒ２）内において前記第１の排気孔（７ｇｈ）と前記第２の排気孔（７ｆｈ）とのいずれかを閉塞可能な弁体（９ｃａ）を含むようにしてもよい。

本発明において、前記第２の部材（７）は、前記第３の部材（８）側に突出した逆有底筒形状の空気室形成部（７ｅ）を備え、前記弾性部材（９）は、前記空気室形成部（７ｅ）とともに前記空気室形成部（７ｅ）内の空間を前記出力流路（７ｅｈ）と接続された空気室（７ｋ）として規定する弁部（９ｂ）を備えるようにしてもよい。

本発明において、前記出力流路（７ｅｈ）の流路方向に垂直な断面の面積は、前記吐出流路（８ａｈ）の流路方向に垂直な断面の面積よりも小さくしてもよい。

本発明において、前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）の流路方向に垂直な断面の面積は、前記吐出流路（８ａｈ）の流路方向に垂直な断面の面積と同じか、または、それよりも大きくしてもよい。

本発明において、ダイヤフラム部（５ａ）を有するダイヤフラム（５）と、前記ダイヤフラム部（５ａ）とともにポンプ室（７０）を形成する隔壁体（６）と、前記ダイヤフラム部（５ａ）を変形させて前記ポンプ室（７０）を拡縮させる駆動体（１２）とを有するダイヤフラムポンプ本体（１ａ）と、前記ポンプ室（７０）から前記隔壁体（６）の貫通孔（６ｈ）を介して供給される空気を加圧対象物に吐出する一方、前記加圧対象物に残った空気を短時間で排気する急速排気弁ユニット（１ｂ）とを備え、前記急速排気弁ユニット（１ｂ）は、第１の空間（Ａ１）を形成するとともに、前記ポンプ室（７０）から前記第１の空間（Ａ１）に供給された空気が通過する出力流路（７ｅｈ）を有する第１の空間形成部（６、７）と、前記出力流路（７ｅｈ）を介して前記第１の空間（Ａ１）と連通する第２の空間（Ａ２）を形成するとともに、前記第２の空間（Ａ２）に供給された空気を吐出する吐出流路（８ａｈ）と、前記吐出流路（８ａｈ）から前記第２の空間（Ａ２）に流入した空気を外部に排気する排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）とを有する第２の空間形成部（７、８）と、前記ポンプ室（７０）から前記第１の空間（Ａ１）に空気が供給されているときは前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）を閉塞し、前記吐出流路（８ａｈ）から前記第２の空間（Ａ２）に空気が流入しているときは前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）を開放する弁（９ｃ）とを備え、前記第１の空間形成部（６、７、９）は、前記ポンプ室（７０）から供給される空気が通過する貫通孔（６ｈ）を有する第１の部材（６）と、前記第１の部材（６）の上に配置された、弾性体からなる弾性部材（９）と、前記出力流路（７ｅｈ）を有し、かつ前記弾性部材（９）の上に配置されて、前記第１の部材（６）および前記弾性部材（９）とともに前記第１の空間（Ａ１）を形成する第２の部材（７）とを備え、前記第２の空間形成部（７、８）は、前記第２の部材（７）の上に配置され、前記第２の部材（７）とともに前記第２の空間（Ａ２）を形成し、かつ前記吐出流路（８ａｈ）を有する第３の部材（８）を有し、前記排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）は、前記弾性部材（９）と前記第２の部材（７）との間に形成された排気側空間（Ｒ２）と、前記第２の部材（７）にそれぞれ設けられ、前記第２の空間（Ａ２）と前記排気側空間（Ｒ２）とを連通する第１の排気孔（７ｇｈ）と、前記排気側空間（Ｒ２）と前記第３の部材（８）に形成された排気路（８ｄｈ）とを連通する第２の排気孔（７ｆｈ）とを含み、前記弁（９ｃ）は、前記弾性部材（９）に設けられ、前記排気側空間（Ｒ２）内において前記第１の排気孔（７ｇｈ）と前記第２の排気孔（７ｆｈ）とのいずれかを閉塞可能な弁体（９ｃａ）を含むようにしてもよい。

本発明によれば、ポンプ（１ａ）から供給される空気が第１の空間（Ａ１）を介して出力流路（７ｅｈ）を通過する際にリップルが除去され、その後、第２の空間（Ａ２）から吐出流路（８ａｈ）を通過して吐出する際にも残存しているリップルが除去されるので、リップルのない空気を供給することができる。また、吐出流路から第２の空間（Ａ２）に流入した空気が出力流路（７ｅｈ）を通過することなく排気流路（７ｇｈ、７ｆｈ、８ｄｈ）を介して急速に外部に排気される。かくして、リップルを除去するとともに、ポンプ動作停止時の空気の排気速度を低下させることのない急速排気弁ユニット（１ｂ）およびダイヤフラムポンプ（１）を実現することができる。

図１は、本発明の実施の形態に係るリップル除去機構付きダイヤフラムポンプの構成を示す外観図である。 図２は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプの構成および空気の供給を停止したときの動作の説明に供する断面図である。 図３は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプにおいて加圧対象物へ空気の供給を開始したときの動作の説明に供する断面図である。 図４は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプのＣ−Ｃ切断面における平面構成を示す上面図である。 図５は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプのＢ−Ｂ切断面における平面構成を示す上面図である。 図６は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプのＡ−Ａ切断面における断面構成を示す断面図である。 図７は、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプを上方から見たときの平面構成を示す上面図である。 図８は、従来のリップル除去機構付きダイヤフラムポンプの構成を示す断面図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。

＜リップル除去機構付きダイヤフラムポンプの構成＞
図１乃至図３に示すように、本発明の一実施の形態に係るリップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１は、ダイヤフラムポンプ本体１ａおよびリップル除去機構付き急速排気弁ユニット（以下、これを単に「急速排気弁ユニット」と呼ぶ。）１ｂを備えている。

＜ダイヤフラムポンプ本体の構成＞
ダイヤフラムポンプ本体１ａは、モータ２と、このモータ２に接続されたクランク１１および駆動体１２を収容したケース３と、このケース３上に配設されたダイヤフラムホルダ４と、ダイヤフラムホルダ４に保持されたダイヤフラム５と、ダイヤフラム５上に配設された隔壁体６とを備えている。

ケース３は、一端が開口し、他端が閉塞された有底円筒状部材である。このケース３は、例えば樹脂から形成される。モータ２の出力軸２ａは、ケース３の底部に形成された軸孔３ｈを介してケース３内に挿入され、クランク１１と連結されている。

クランク１１は、例えば樹脂等からなる略円柱状部材である。クランク１１の上面には、平面視リング状の係入溝１１ｂが設けられている。クランク１１は、モータ２の出力軸２ａとともに回転する。

駆動体１２は、例えば樹脂等からなる独楽状の部材である。駆動体１２の両端は半球状に形成され、一端部はクランク１１の係入溝１１ｂに挿入され、他端部はモータ２の出力軸２ａと対向するダイヤフラムホルダ４の面の中央部に形成された半球状の凹部４ｅによって回動自在に支持されている。

駆動体１２は、軸線１２ｄと直交する方向に突設された３つの駆動子１２ａを有している。図２および図３においては、１つの駆動子１２ａが描かれているが、これらの３つの駆動子１２ａは、軸線３２ｄの方向からみて互いに１２０度の角度をなして放射状に設けられている。したがって、モータ２とともにクランク１１が回転すると、駆動子１２ａの端部はモータ２の回転軸の方向に沿って往復運動する。

ダイヤフラムホルダ４は、ケース３の開口部側に取り付けられ、後述するダイヤフラム５を保持する保持部材である。このダイヤフラムホルダ４は、例えば樹脂等から形成される。

ダイヤフラムホルダ４は、円筒状に形成された３つの保持筒４ｂが設けられている。図２および図３においては、１つの保持筒４ｂが描かれているが、これらの保持筒４ｂは、平面視で円周方向に互いに１２０度間隔で設けられている。

また、ダイヤフラムホルダ４の保持筒４ｂを除いた領域には、ケース３の方向に向かって突出した有底円筒状の突出部４ｃが設けられている。図２および図３においては、１つの突出部４ｃが描かれているが、本実施の形態においては、３つの突出部４ｃが平面視で円周方向に互いに１２０度間隔で設けられ、保持筒４ｂの間にそれぞれ配置されている。この突出部４ｃは、その内側に凹形状の空間（以下、これを「凹空間」と呼ぶ。）４ｓを有している。

ダイヤフラム５は、ゴム等の弾性を有する材料によって形成された略円板状部材である。このダイヤフラム５には、３つのダイヤフラム部５ａが平面視において円周方向に互いに１２０度間隔で設けられている。

各ダイヤフラム部５ａは、薄肉に形成されて半球形をなし、ダイヤフラムホルダ４の保持筒４ｂに挿入されて保持される。ダイヤフラム部５ａの頂部には、ピストン部５ａｐが一体に設けられている。

ピストン部５ａｐの先端部は、上述した駆動体１２の駆動子１２ａに設けられた取付孔に取り付けられ、これにより、ピストン部５ａｐと駆動子１２ａとが連結される。ダイヤフラム部５ａの開口端部には、その開口端部の一部からダイヤフラム５と一体にダイヤフラム部５ａの開口を一部塞ぐように水平方向に突設された吸入用弁体５ａｓが設けられている。

また、ダイヤフラム５には、これら３つのダイヤフラム部５ａの間に、３つの第１逆止弁体５ｂがケース３に向かって設けられている。図２および図３においては、１つの第１逆止弁体５ｂが描かれているが、これらの３つの第１逆止弁体５ｂは、平面視で円周方向に互いに１２０度間隔で設けられている。この３つの第１逆止弁体５ｂは、平面視において円周方向に互いに１２０度間隔で配置されている。

第１逆止弁体５ｂは、突出部４ｃの凹空間４ｓに突出した円錐台筒状に形成されている。第１逆止弁体５ｂにおける上方の開口基端側の内径は、第１逆止弁座６ｅの外径よりも大きく形成されている。また、第１逆止弁体５ｂにおける下方の開口先端側の内径は、第１逆止弁座６ｅの外径とほぼ同一に形成されている。

さらに、ダイヤフラム５の中央部には、所定径の貫通孔５ｈが設けられており、この貫通孔５ｈとダイヤフラムホルダ４の突出部４ｃの凹空間４ｓとが連通されている。突出部４ｃの凹空間４ｓには、隔壁体６の円柱状でなる第１逆止弁座６ｅが配置される。

隔壁体６は、例えば樹脂等からなる有底円筒状部材である。隔壁体６は、ダイヤフラムホルダ４の上端面に載置されて、ダイヤフラムホルダ４とともにダイヤフラム５を挟持する。このとき、隔壁体６の下面とダイヤフラム５のダイヤフラム部５ａとにより３つのポンプ室７０（残り２つのポンプ室７０は図示せず）が形成される。

隔壁体６の中央部には、貫通孔６ｈが形成されている。貫通孔６ｈは、ダイヤフラム５の貫通孔５ｈと連通している。この貫通孔６ｈの直径は、ダイヤフラム５の貫通孔５ｈの直径とほぼ等しい。この隔壁体６は、ダイヤフラムポンプ本体１ａのポンプ室７０から貫通孔６ｈ経由で空気を通過させた後に、当該空気を急速排気弁ユニット１ｂに供給する。

隔壁体６の下面の外周側端部には、所定の直径からなる３つの円柱状孔からなる凹部６ｓが形成されている。３つの凹部６ｓの内側には、３つの第１逆止弁座６ｅ（残り２つの第１逆止弁座６ｅは図示せず）が設けられている。第１逆止弁座６ｅは、凹部６ｓの直径よりも僅かに小さい直径を有する円柱状部材であり、隔壁体６の下方のケース３へ突出した状態で一体に形成されている。

この第１逆止弁座６ｅの周側面は、ダイヤフラム５の第１逆止弁体５ｂの先端部の内側に当接されており、第１逆止弁体５ｂおよび第１逆止弁座６ｅにより逆止弁を構成している。

また、隔壁体６の下面の外周縁近傍には、各ポンプ室７０と連通する吸入空間６ｄが設けられている。さらに、隔壁体６の下面の外周縁部分には、その一端が隔壁体６の周側面に開口し、かつ他端が吸入空間６ｄと連通した破線で示す吸入流路６ｋ（図３）が設けられている。

この吸入空間６ｄは、ポンプ室７０と連通されている。ただし、吸入空間６ｄとポンプ室７０との間には、ダイヤフラム部５ａの吸入用弁体５ａｓが配置されている。この吸入用弁体５ａｓは、ポンプ室７０から吸入空間６ｄへの空気の逆流を規制する逆止弁として機能する。

隔壁体６の中央部には、各ポンプ室７０と凹部６ｓとを連通した破線で示す供給流路６ｕ（図３）が設けられている。この供給流路６ｕは、各ポンプ室７０から凹部６ｓへ空気を供給するための流路である。

なお、ダイヤフラムポンプ本体１ａは、モータ２、ケース３、クランク１１、駆動体１２、ダイヤフラムホルダ４、ダイヤフラム５、および、隔壁体６が積層されて一体化される。

＜リップル除去機構付き急速排気弁ユニットの構成＞
リップル除去機構付き急速排気弁ユニット１ｂは、隔壁体６、下側筐体７、および、上側筐体８、および、急排弁９を備えている。

隔壁体６における貫通孔６ｈの近傍には、上面から上方に突出した円柱状の第２逆止弁座６ｋが一体に設けられている。

また、隔壁体６の上面の第２逆止弁座６ｋよりも外周側には、上方に突出した円柱状の副排気用凸部６ｆが一体に設けられている。この副排気用凸部６ｆの周面には、当該副排気用凸部６ｆの上端面から供給側空間Ｒ１（後述する）に到達する程度の長さの切欠き部６ｐが形成されている。

さらに、隔壁体６の上面には、当該隔壁体６を間に挟んで第１逆止弁座６ｅとは反対方向に向かって僅かに突出した２つの弁体受け６ｇが一体に設けられている。

下側筐体７は、有底円筒状部材であり、例えば樹脂等からなる。下側筐体７は、急排弁９を間に挟んで隔壁体６の外周縁端部に載置されると、隔壁体６および急排弁９との間に空間（以下、これを「第１の空間」と呼ぶ。）Ａ１を形成する。すなわち、第１の部材としての隔壁体６、第２の部材としての下側筐体７、および、弾性部材としての急排弁９により第１の空間形成部が構成される。なお、下側筐体７の構成については、図４を併用して説明する。

下側筐体７の下面７ａにおいて、隔壁体６の副排気用凸部６ｆと対向する位置には、副排気用凸部６ｆよりも大きな内径の円柱孔の漏らし空間７ｓが下面７ａから上方に向かって凹設されている。ここで、副排気用凸部６ｆの周面には切欠き部６ｐが形成されているので、第１の空間Ａ１と漏らし空間７ｓとは切欠き部６ｐの隙間を介して連通される。

また、下側筐体７の上面７ｂには、上方に突出した副排気用円筒部７ｃが一体に設けられている。この副排気用円筒部７ｃは、所定高さの円筒状に形成され、貫通孔からなる排気路７ｃｈを有している。この排気路７ｃｈは、漏らし空間７ｓと連通されている。

また、下側筐体７の上面７ｂにおいて、隔壁体６の第２逆止弁座６ｋと対向する位置には、空気室形成部７ｅが上方に突出した状態で設けられている。この空気室形成部７ｅは、断面逆有底円筒形状に形成されている。

空気室形成部７ｅは、第２逆止弁座６ｋの外径よりも大きな内径の内側空間を有し、この内側空間が空気室７ｋとなっている。空気室７ｋは、下側筐体７の下面７ａから所定の深さの逆凹状空間であり、空気室形成部７ｅ、第２逆止弁座６ｋ、および、第２逆止弁体９ｂとにより形成されている。

この空気室７ｋは、第１の空間Ａ１の一部である。因みに、隔壁体６の上面と急排弁９との間の空間（以下、これを「供給側空間」と呼ぶ）Ｒ１についても、第１の空間Ａ１の一部である。すなわち、第１の空間Ａ１は、急排弁９の第２逆止弁体９ｂにより、空気室７ｋと供給側空間Ｒ１とに仕切られている。なお、空気室形成部７ｅは、第２逆止弁座６ｋを上方から囲うように配置される。

空気室形成部７ｅの上方中央部には、空気室７ｋに供給された空気を通過させる貫通孔からなる出力流路７ｅｈが形成されている。この出力流路７ｅｈにおける流路方向に垂直な断面の面積は、隔壁体６の貫通孔６ｈおよびダイヤフラム５の貫通孔５ｈよりも小さく形成されている。

下側筐体７の中央部７ｇの近傍には、貫通孔からなる排気孔７ｇｈが形成されている。この排気孔７ｇｈにおける流路方向に垂直な断面の面積は、空気室形成部７ｅにおける出力流路７ｅｈよりも大きい。

さらに、下側筐体７において、隔壁体６の弁体受け６ｇと対向する位置には、僅かに下方に湾曲した状態で突出した排気口弁座７ｆが設けられている。排気口弁座７ｆには、その中央部分に貫通孔からなる排気孔７ｆｈが設けられている。

下側筐体７の上面７ｂにおいて、排気口弁座７ｆの反対側の位置には、主排気用円筒部７ｊが設けられている。主排気用円筒部７ｊには、貫通孔からなる排気路７ｊｈが形成されており、この排気路７ｊｈと排気口弁座７ｆの排気孔７ｆｈとが連通されている。

この場合、主排気用円筒部７ｊの排気路７ｊｈにおける流路方向に垂直な断面の面積は、排気口弁座７ｆの排気孔７ｆｈよりも大きい。ただし、これに限るものではなく、排気路７ｊｈにおける流路方向に垂直な断面の面積が排気孔７ｆｈと同じであってもよい。

急排弁９は、ゴム等の弾性を有する材料によって形成された略円板状部材であり、隔壁体６と下側筐体７との間に周縁部９ｅが挟持される。なお、急排弁９の構成については、図５を併用して以下説明する。

急排弁９は、そのほぼ中央に本体部９ｐを有している。この本体部９ｐは、下側筐体７の中央部７ｇの下面に固定されている。急排弁９において、隔壁体６の第２逆止弁座６ｋと対向する位置には、弁部としての第２逆止弁体９ｂが一体に設けられている。

この第２逆止弁体９ｂは、上方に突出した円錐台筒状に形成されている。ただし、必ずしも第２逆止弁体９ｂである必要はなく、供給側空間Ｒ１と空気室７ｋとの間で圧力差を生み出す圧力損失発生部として機能するのであれば、逆止弁ではない構造の弁部であってもよい。

この急排弁９において、隔壁体６の副排気用凸部６ｆと対向する位置には、その副排気用凸部６ｆの外径とほぼ同じ内径を有する貫通孔９ｈが形成されている。副排気用凸部６ｆは、この貫通孔９ｈに挿通されて漏らし空間７ｓに臨んでいる。ただし、副排気用凸部６ｆには切欠き部６ｐが形成されているため、急排弁９の貫通孔９ｈと副排気用凸部６ｆとの間には切欠き部６ｐに相当する隙間が存在している。

第２逆止弁体９ｂにおける下方の開口基端側の内径は、第２逆止弁座６ｋの外径よりも大きく形成されている。また、第２逆止弁体９ｂにおける上方の開口先端側の内径は、第２逆止弁座６ｋの外径とほぼ同一に形成されている。

ここで、空気室形成部７ｅの内周面と、第２逆止弁体９ｂの先端部の外側との間には一定の隙間が存在している。この隙間は、第２逆止弁体９ｂの先端部が第２逆止弁座６ｋに当接した状態から離間することが可能な大きさである。

ダイヤフラムポンプ本体１ａが駆動していない状態においては、第２逆止弁体９ｂの先端部の内側が第２逆止弁座６ｋの周側面に当接する。この状態では、第２逆止弁体９ｂが第１の空間Ａ１を空気室７ｋと供給側空間Ｒ１とに仕切っている。このとき、第２逆止弁体９ｂにより仕切られた第１の空間Ａ１の一部である空気室７ｋは、空気室形成部７ｅと第２逆止弁体９ｂとの間の閉ざされた空間として規定される。

しかしながら、第２逆止弁体９ｂの先端部の内側が第２逆止弁座６ｋの周側面から離間したときには、第２逆止弁体９ｂにより仕切られていた空気室７ｋは解放された空間となり、隔壁体６の貫通孔６ｈから供給側空間Ｒ１を介して空気室７ｋに空気が流入する。

第２逆止弁体９ｂは、第２逆止弁座６ｋとともに逆止弁を構成し、第１の空間Ａ１における供給側空間Ｒ１から空気室７ｋに供給された空気が供給側空間Ｒ１に逆流することを規制する逆止弁として機能する。

さらに、急排弁９の本体部９ｐにおいて、隔壁体６の弁体受け６ｇと対向する位置には、排気口弁体９ｃが第２逆止弁体９ｂと一体となって本体部９ｐに設けられている。排気口弁体９ｃは、下側筐体７の排気口弁座７ｆと弁体受け６ｇとの間で選択的に圧接される円板状の弁本体９ｃａと、この弁本体９ｃａの周囲に設けられた弁本体支持部９ｃｂとを備えている。

弁本体９ｃａは、排気口弁座７ｆまたは弁体受け６ｇに圧接される際、ひずみが発生しない程度の剛性を有している。一方、弁本体支持部９ｃｂは、撓み易いように断面が湾曲状に形成されている。これらの本体部９ｐ、第２逆止弁体９ｂ、排気口弁体９ｃおよび周縁部９ｅは一体に形成されている。

なお、排気口弁体９ｃは、弁本体９ｃａが排気口弁座７ｆに圧接されるのではなく、排気孔７ｇｈに圧接される構成であってもよい。要は、排気口弁体９ｃは、排気口弁座７ｆまたは排気孔７ｇｈの何れか一方に圧接されて排気流路を遮断できればよい。

排気口弁体９ｃは、当該排気口弁体９ｃと下側筐体７との間に空間（以下、これを「排気側空間」と呼ぶ）Ｒ２を形成する。この排気側空間Ｒ２は、排気孔７ｇｈ、７ｆｈに接続されている。

上側筐体８は、逆有底円筒状部材であり、例えば樹脂等からなる。上側筐体８は、上方隔壁部８ａおよび側方隔壁部８ｂを有し、上方隔壁部８ａおよび測方隔壁部８ｂが一体に形成されている。この上側筐体８の構成については、図６および図７を併用して説明する。

この上側筐体８が下側筐体７の上に載置されると、上方隔壁部８ａおよび測方隔壁部８ｂは下側筐体７の上面７ｂとともに空間（以下、これを「第２の空間」と呼ぶ。）Ａ２を形成する。すなわち、第２の部材としての下側筐体７および第３の部材としての上側筐体８により第２の空間形成部が構成される。なお、この第２の空間Ａ２の容量は、第１空気室７ｋの容量に比べて非常に大きい。

上側筐体８における第２の空間Ａ２は、下側筐体７に設けられた排気孔７ｇｈを介して排気側空間Ｒ２と連通されている。この場合、上側筐体８が下側筐体７の上に載置された状態において、第２の空間Ａ２の中に空気室形成部７ｅが収納される。

上側筐体８において、下側筐体７０の副排気用円筒部７ｃと対向する位置には、上方隔壁部８ａの下面から下側筐体７０に向かって突出した副排気用円筒部８ｃが設けられている。この副排気用円筒部８ｃには、その内部に貫通孔からなる排気路８ｃｈが形成されている。

この上側筐体８の副排気用円筒部８ｃおよび下側筐体７の副排気用円筒部７ｃは、双方共に同じ外径を有し、副排気用円筒部８ｃの排気路８ｃｈおよび副排気用円筒部７ｃの排気路７ｃｈについても双方共に同じ内径を有している。

したがって、上側筐体８が下側筐体７の上に載置されると、副排気用円筒部８ｃと副排気用円筒部７ｃとが当接されて、排気路８ｃｈａと排気路７ｃｈとが連通される。

上側筐体８において、下側筐体７の主排気用円筒部７ｊと対向する位置には、上方隔壁部８ａの下面から下方の下側筐体７０に向かって突出した主排気用円筒部８ｄが設けられている。この主排気用円筒部８ｄは、その内部に貫通孔からなる排気路８ｄｈが形成されている。

この上側筐体８の主排気用円筒部８ｄおよび下側筐体７の主排気用円筒部７ｊは、双方共に同じ外径を有し、主排気用円筒部８ｄの排気路８ｄｈおよび主排気用円筒部７ｊの排気路７ｊｈについても双方共に同じ内径を有している。

したがって、上側筐体８が下側筐体７の上に載置されると、主排気用円筒部８ｄと主排気用円筒部７ｊとが当接されて、排気路８ｄｈと排気路７ｊｈとが連通される。

上側筐体８において、上方隔壁部８ａの下面には第２の空間Ａ２側に突出した円筒部８ｅが一体に設けられている。円筒部８ｅにおいて、下側筐体７の排気孔７ｇｈと対向する位置には、その中心軸に沿って所定径の吐出流路８ｅｈが形成されている。この吐出流路８ｅｈの内径は、下側筐体７の排気孔７ｇｈの内径と同じである。

また、上側筐体８において、上方隔壁部８ａを間に挟んで円筒部８ｅの反対側の上面には、上側筐体８の外側空間に突出した円筒部８ｆが一体に設けられている。円筒部８ｆには、その中心軸に沿って所定径の吐出流路８ｆｈが形成されている。

円筒部８ｅおよび円筒部８ｆは、双方共に同じ外径を有し、円筒部８ｅの吐出流路８ｅｈおよび円筒部８ｆの吐出流路８ｆｈについても双方共に同じ内径を有している。

さらに、上方隔壁部８ａにおいて円筒部８ｅおよび円筒部８ｆが設けられた位置には、貫通孔からなる吐出流路８ａｈが形成されている。ここで、円筒部８ｅおよび円筒部８ｆは、上方隔壁部８ａを間に挟んで互いに反対方向を指向した状態で配置されているので、円筒部８ｅの吐出流路８ｅｈと円筒部８ｆの吐出流路８ｆｈとは、隔壁部８ａの吐出流路８ａｈを介して互いに連通されている。

吐出流路８ａｈの長手方向に垂直な断面の面積は、円筒部８ｅ、８ｆの吐出流路８ｅｈ、８ｆｈよりも小さい。ただし、これに限るものではなく、吐出流路８ｅｈ、８ｆｈの長手方向に垂直な断面の面積は、吐出流路８ａｈと同じであってもよい。

加圧対象物から逆流した空気が吐出流路８ａｈを介して第２の空間Ａ２に流入した場合、排気孔７ｇｈ、排気孔７ｆｈ、排気路７ｊｈおよび排気路８ｄｈを介して外部に排気される。この場合、下側筐体７の排気孔７ｇｈ、排気孔７ｆｈ、および、上側筐体８の排気路８ｄｈにより加圧対象物から逆流した空気を排気する排気流路が構成される。

空気室形成部７ｅの出力流路７ｅｈの長手方向に垂直な断面の面積は、吐出流路８ａｈの長手方向に垂直な断面の面積よりも小さく、かつ、排気口弁座７ｆの排気孔７ｆｈの長手方向に垂直な断面の面積は、吐出流路８ａｈの長手方向に垂直な断面の面積と同じか、それよりも大きい。この関係を表すと、出力流路７ｅｈ＜吐出流路８ａｈ≦排気孔７ｆｈとなる。

ただし、吐出流路８ａｈの長手方向に垂直な断面の面積は、加圧対象物から空気が逆流された場合に、従来のように、その空気が第２の空間Ａ２に流入される際の大きな菅路抵抗とならない程度に設定されている。

上述したダイヤフラム本体１ａの隔壁体６の上に、急排弁９、下側筐体７、および、上側筐体８が順番に積層した状態で一体化される。隣り合う部材同士を互いに固定するには、接着剤等により固定しても良いが、上側筐体８をモータ２に向かって押圧した状態でケース３に固定するバネ等を用いても良い。

＜リップル除去機構付きダイヤフラムポンプの動作＞
このような構成のリップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１において、モータ２を駆動して出力軸２ａを回転させると、クランク１１も出力軸２ａと一体的に回転し、駆動体１２が傾斜した状態のまま出力軸２ａの周囲を回転するため、３つの駆動子１２ａの端部がモータ２の回転軸の方向に沿って往復動する。

従って、駆動子１２ａの上下方向への往復動とともに３つのダイヤフラム部５ａが順次往復動し、その際に当該３つのダイヤフラム部５ａが変形することにより３つのポンプ室７０も交互に拡縮する。

３つのポンプ室７０が順番に拡張するときには、当該３つのポンプ室７０が順次負圧状態となり、隔壁体６の吸入流路６ｋ、吸入空間６ｄ、および、吸入用弁体５ａｓを介してポンプ室７０内に空気が吸入される。

図３に示すように、３つのポンプ室７０が順番に収縮するときには、当該３つのポンプ室７０内の空気の圧力が順次上昇するので、３つのポンプ室７０内の空気は隔壁体６の供給流路６ｕから凹部６ｓを介して第１逆止弁体５ｂの先端部と第１逆止弁座６ｅとの周側面との隙間からダイヤフラムホルダ４の突出部４ｃの凹空間４ｓに供給される。

凹空間４ｓに供給された空気は、ダイヤフラム５の貫通孔５ｈおよび隔壁体６の貫通孔６ｈを介して供給側空間Ｒ１に供給される。供給側空間Ｒ１に空気が供給されると、その空気の一部は、矢印に示すように、急排弁９の貫通孔９ｈと排気用凸部８ｆの切欠き部８ｐとの隙間から漏らし空間７ｓに流れた後、副排気用円筒部７の排気路７ｃｈ、および、副排気用円筒部８ｃの排気路８ｃｈを介して大気解放される。

ところで、モータ２の回転数を上げると、３つのポンプ室７０の拡張および収縮を繰り返す速度が上がるので、供給側空間Ｒ１に供給される空気の流量が増加する。排気用凸部８ｆの切欠き部８ｐによる隙間は非常に微小であるため、その隙間を通過する流量よりもダイヤフラム５の貫通孔５ｈおよび隔壁体６の貫通孔６ｈから供給側空間Ｒ１に供給される空気の流量の方が多くなる。

これにより、供給側空間Ｒ１の圧力が排気側空間Ｒ２よりも高くなるので、排気口弁体９ｃの弁本体９ｃａが上方に移動し、下側筐体７の排気口弁座７ｆに押し付けられる。この結果、下側筐体７における排気口弁座７ｆの排気孔７ｆｈと、上側筐体１１における吐出流路８ａｈとの連通が遮断される。

さらに、モータ２の回転数の上昇に伴い、３つのポンプ室７０から供給側空間Ｒ１に供給される空気の流量が所定の流量を超えると、その空気の圧力が第２逆止弁体９ｂの弾性力を上回り、その第２逆止弁体９ｂの開口先端部が下側ケース１０の第２逆止弁座６ｋの周側面から次第に離間する。

これにより、供給側空間Ｒ１に供給された空気は、第２逆止弁体９ｂと第２逆止弁座６ｋとの間に形成された隙間を介して空気室形成部７ｅの空気室７ｋに流入し、当該空気室７ｋから出力流路７ｅｈを通過して第２の空間Ａ２に供給される。このとき、空気室７ｋに流入した空気が出力流路７ｅｈを通過する際の管路抵抗により、その出力流路７ｅｈを通過する空気のリップルの大部分が除去される。

第２の空間Ａ２に供給された空気は、排気口弁座７ｆの排気孔７ｆｈが排気口弁体９ｃにより閉塞されているため、排気孔７ｆｈから外部に排気されることはなく、その全てが上側筐体８の吐出流路８ａｈを通過して加圧対象物に吐出される。

このとき、第２の空間Ａ２に流入された空気が吐出流路８ａｈを通過する際の管路抵抗により、出力流路７ｅｈを通過した空気に残存しているリップルが除去されて加圧対象物に吐出される。

次に、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１において、モータ２の駆動が停止すると、図２に示すように、モータ２の停止直後については供給側空間Ｒ１内の空気の圧力が高いため、その空気が排気用凸部６ｆの切欠き部６ｐによる隙間、漏らし空間７ｓ、排気路７ｃｈ、８ｃｈを順次介して大気解放される。

このとき、供給側空間Ｒ１の空気は大気解放されているため、排気側空間Ｒ２の圧力の方が供給側空間Ｒ１の圧力よりも大きくなる。これにより、排気口弁体９ｃの弁本体９ｃａａが押し下げられ、弁本体９ｃａが隔壁体６の弁体受け６ｇに圧接された状態に戻り、吐出流路８ａｈと排気孔７ｆｈとが連通される。

また、第２逆止弁体９ｂの先端部が第２逆止弁座６ｋの周面に当接されるので、供給側空間Ｒ１と空気室７ｋとは当該第２逆止弁体９ｂによって隔てられる。

この状態で、加圧対象物に供給された空気が、円筒部８ｆの吐出流路８ｆｈ、上方隔壁部８ａの吐出流路８ａｈ、および、円筒部８ｅの吐出流路８ｅｈを順次介して第２の空間Ａ２に一気に逆流する。加圧対象物から第２の空間Ａ２に逆流した空気は、下側筐体７の排気孔７ｇｈから排気孔７ｆｈ、排気路７ｊｈ、８ｄｈを順次介して排気される。

このとき、第２逆止弁体９ｂの先端部が第２逆止弁座６ｋの周面に当接されているので、空気室７ｋは閉じた空間となっている。したがって、加圧対象物から逆流される空気が出力流路７ｅｈを通過することなく、吐出流路８ａｈ、排気孔７ｇｈ、排気孔７ｆｈ、および、排気路８ｄｈを介して全て大気解放されるので、従来に比較して空気の排気速度が低下することがない。

さらに、吐出流路８ａｈおよび排気孔７ｆｈの流路方向に垂直な断面の面積よりも、主排気用円筒部７ｊ、８ｄの排気路７ｊｈ、８ｄｈの方が大きいので、排気孔７ｆｈを通過した空気の排気速度が低下しない。

このように、吐出流路８ａｈは、加圧対象物に空気を供給する際においては、出力流路７ｅｈを通過するときに除去し切れなかった残存リップルを除去することができる。一方、吐出流路８ａｈは、その流路方向に垂直な断面の面積が出力流路７ｅｈよりも大きいので、従来に比して、加圧対象物から逆流する空気の排気速度が低減することを防止することができる。

＜効果＞
リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１は、空気室形成部７ｅの空気室７ｋに流入された空気が出力流路７ｅｈを通過した後、上側筐体８の第２の空間Ａ２に流入し、第２の空間Ａ２から吐出流路８ａｈを通過することにより、２段階に分けて効率的にリップルを除去することができる。

また、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１は、ポンプ動作の停止時に、加圧対象物から逆流する空気の全てが、従来のリップル除去機構１３０における貫通孔１３３ｂよりも内径の大きい吐出流路８ａｈ、排気孔７ｇｈ、７ｆｈを通過して大気解放されるので、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１００よりも空気の排気速度を上げることができる。

また、リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ１は、上側筐体８における第２の空間Ａ２の中に下側筐体７の空気室形成部７ｅを収納した２段リップル除去構成であるため、従来の１段構成のリップル除去部材２００よりも高いリップル除去性能および急排弁性能を持ち、かつ、全体としても小型化することができる。

＜他の実施の形態＞
なお、上述した実施の形態においては、下側筐体７の空気室形成部７ｅにおける空気室７ｋ、および、上側筐体８における第２の空間Ａ２を用いて、２段階に分けてリップルを除去するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、上側筐体８を更に覆う最上層の筐体（図示せず）における第３の空間を設け、３段階に分けてリップルを除去するようにしても良い。要は、２段または３段に限らず、複数段に分けてリップルを除去するようにしても良い。

また、上述した実施の形態においては、空気室７ｋよりも大容量の第２の空間Ａ２を設け、出力流路７ｅｈよりも流路方向に垂直な断面の面積が大きな吐出流路８ａｈを設けるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、空気室７ｋの容量を第２の空間Ａ２の容量よりも大きくし、出力流路７ｅｈの流路方向に垂直な断面の面積を吐出流路８ａｈより大きくしても良い。この場合でも、２段階に分けてリップルを除去することが可能である。

さらに、上述した実施の形態においては、ポンプ室７０が３つ備えられた３気筒のダイヤフラムポンプ本体１ａに適用するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、１気筒、２気筒、４気筒以上のダイヤフラムポンプ本体に適用するようにしても良い。

１……リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ、１ａ……ダイヤフラムポンプ本体、１ｂ……リップル除去機構付き急速排気弁ユニット、５……ダイヤフラム、５ａ……ダイヤフラム部、５ｂ……第１吐出用弁体、５ｈ……貫通孔、６……隔壁体（第１の部材）、６ｄ……吸入空間、６ｅ……第１逆止弁座、６ｈ……貫通孔（供給流路）、６ｋ……第２逆止弁座、６ｐ……切欠き部、６ｓ……凹部、７……下側筐体（第２の部材）、７ｅ……空気室形成部、７ｅｈ……出力流路、７ｇｈ……排気孔（排気流路）、７ｆｈ……排気孔（排気流路）、７ｋ……空気室、８……上側筐体（第３の部材）、８ａｈ……吐出流路、８ｄｈ……排気路（排気流路）、９……急排弁（弾性体）、９ｂ……第２逆止弁体（弁部）、９ｃ……排気口弁体（弁）、９ｃａ……弁本体（弁体）、１２……駆動体、７０……ポンプ室、１００……リップル除去機構付きダイヤフラムポンプ、Ｒ１……供給側空間、Ｒ２……排気側空間、Ａ１……第１の空間、Ａ２……第２の空間。

Claims (5)

1. 第１の空間を形成するとともに、ポンプから前記第１の空間に供給された空気が通過する出力流路を有する第１の空間形成部と、
   前記出力流路を介して前記第１の空間と連通する第２の空間を形成するとともに、前記第２の空間に供給された空気を吐出する吐出流路と、前記吐出流路から前記第２の空間に流入した空気を外部に排気する排気流路とを有する第２の空間形成部と、
   前記ポンプから前記第１の空間に空気が供給されているときは前記排気流路を閉塞し、前記吐出流路から前記第２の空間に空気が流入しているときは前記排気流路を開放する弁とを備え、
   前記第１の空間形成部は、
   前記ポンプから供給される空気が通過する貫通孔を有する第１の部材と、
   前記第１の部材の上に配置された、弾性体からなる弾性部材と、
   前記出力流路を有し、かつ前記弾性部材の上に配置されて、前記第１の部材および前記弾性部材とともに前記第１の空間を形成する第２の部材と
   を備え、
   前記第２の空間形成部は、
   前記第２の部材の上に配置され、前記第２の部材とともに前記第２の空間を形成し、かつ前記吐出流路を有する第３の部材を有し、
   前記排気流路は、
   前記弾性部材と前記第２の部材との間に形成された排気側空間と、前記第２の部材にそれぞれ設けられ、前記第２の空間と前記排気側空間とを連通する第１の排気孔と、前記排気側空間と前記第３の部材に形成された排気路とを連通する第２の排気孔と
   を含み、
   前記弁は、
   前記弾性部材に設けられ、前記排気側空間内において前記第１の排気孔と前記第２の排気孔とのいずれかを閉塞可能な弁体を含むことを特徴とする急速排気弁ユニット。
2. 前記第２の部材は、前記第３の部材側に突出した逆有底筒形状の空気室形成部を備え、 前記弾性部材は、前記空気室形成部とともに前記空気室形成部内の空間を前記出力流路と接続された空気室として規定する弁部を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の急速排気弁ユニット。
3. 前記出力流路の流路方向に垂直な断面の面積は、前記吐出流路の流路方向に垂直な断面の面積よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１に記載の急速排気弁ユニット。
4. 前記排気流路の流路方向に垂直な断面の面積は、前記吐出流路の流路方向に垂直な断面の面積と同じか、または、それよりも大きい
   ことを特徴とする請求項３に記載の急速排気弁ユニット。
5. ダイヤフラム部を有するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラム部とともにポンプ室を形成する隔壁体と、
   前記ダイヤフラム部を変形させて前記ポンプ室を拡縮させる駆動体とを有するダイヤフラムポンプ本体と、
   前記ポンプ室から前記隔壁体の貫通孔を介して供給される空気を加圧対象物に吐出する一方、前記加圧対象物に残った空気を短時間で排気する急速排気弁ユニットと
   を備え、
   前記急速排気弁ユニットは、
   第１の空間を形成するとともに、前記ポンプ室から前記第１の空間に供給された空気が通過する出力流路を有する第１の空間形成部と、
   前記出力流路を介して前記第１の空間と連通する第２の空間を形成するとともに、前記第２の空間に供給された空気を吐出する吐出流路と、前記吐出流路から前記第２の空間に流入した空気を外部に排気する排気流路とを有する第２の空間形成部と、
   前記ポンプ室から前記第１の空間に空気が供給されているときは前記排気流路を閉塞し、前記吐出流路から前記第２の空間に空気が流入しているときは前記排気流路を開放する弁とを備え、
   前記第１の空間形成部は、
   前記ポンプ室から供給される空気が通過する貫通孔を有する第１の部材と、
   前記第１の部材の上に配置された、弾性体からなる弾性部材と、
   前記出力流路を有し、かつ前記弾性部材の上に配置されて、前記第１の部材および前記弾性部材とともに前記第１の空間を形成する第２の部材と
   を備え、
   前記第２の空間形成部は、
   前記第２の部材の上に配置され、前記第２の部材とともに前記第２の空間を形成し、かつ前記吐出流路を有する第３の部材を有し、
   前記排気流路は、
   前記弾性部材と前記第２の部材との間に形成された排気側空間と、前記第２の部材にそれぞれ設けられ、前記第２の空間と前記排気側空間とを連通する第１の排気孔と、前記排気側空間と前記第３の部材に形成された排気路とを連通する第２の排気孔と
   を含み、
   前記弁は、
   前記弾性部材に設けられ、前記排気側空間内において前記第１の排気孔と前記第２の排気孔とのいずれかを閉塞可能な弁体を含むことを特徴とするダイヤフラムポンプ。

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