JP6554864B2 - Pellicle adhesive removal apparatus and pellicle adhesive removal method - Google Patents

Pellicle adhesive removal apparatus and pellicle adhesive removal method Download PDF

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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

本発明は、半導体製造用フォトマスク、液晶ディスプレイ製造用フォトマスク等に設けられた防塵用ペリクルを剥離した際に、フォトマスクの主面に残るペリクル接着剤を除去する装置及び方法に関する。   The present invention relates to an apparatus and method for removing a pellicle adhesive remaining on a main surface of a photomask when a dustproof pellicle provided on a photomask for manufacturing a semiconductor, a photomask for manufacturing a liquid crystal display, or the like is peeled off.

フォトマスクは、半導体や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の被転写体に設けられたレジストに、フォトリソグラフィー技術を用いてマスクパターンを転写する際の原版であり、そのマスクパターンは微細化が年々進んでいる。   A photomask is an original plate used to transfer a mask pattern to a resist provided on an object to be transferred such as a semiconductor or a liquid crystal display (LCD) by using a photolithography technique. The mask pattern is increasingly miniaturized year by year. Yes.

ここで、フォトマスクの主面（マスクパターンが形成されている面）の上に異物が付着していると、マスクパターンを転写する際に、この異物の像が被転写体のレジストに結像してしまい、レジストパターンに異常を引き起こす。この異物付着による不具合を防止するために、フォトマスクのマスクパターンを覆うようにペリクルが装着される。
図３は、ペリクル２を装着したフォトマスク１について示す図であり、（ａ）は概略平面図を、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線の概略断面図を示す。 Here, if foreign matter adheres on the main surface of the photomask (the surface on which the mask pattern is formed), the image of the foreign matter is formed on the resist of the transfer object when the mask pattern is transferred. As a result, an abnormality is caused in the resist pattern. In order to prevent this problem due to the adhesion of foreign matter, a pellicle is mounted so as to cover the mask pattern of the photomask.
3A and 3B are diagrams showing the photomask 1 on which the pellicle 2 is mounted. FIG. 3A is a schematic plan view, and FIG. 3B is a schematic cross-sectional view taken along line AA in FIG.

図３に示すように、ペリクル２は、ペリクル膜３、ペリクルフレーム４、ペリクル接着剤５から構成され、ペリクルフレーム４は、平面視略矩形の枠状形態をしており、フォトマスク１の主面上にペリクル接着剤５で貼り付けられて固定されている。ペリクル接着剤５を構成する材料としては、アクリル系、シリコーン系、エポキシ系、スチレン系など多岐にわたる材料が使用されている。   As shown in FIG. 3, the pellicle 2 includes a pellicle film 3, a pellicle frame 4, and a pellicle adhesive 5. The pellicle frame 4 has a substantially rectangular frame shape in plan view. It is fixed on the surface with a pellicle adhesive 5. As the material constituting the pellicle adhesive 5, a wide variety of materials such as acrylic, silicone, epoxy, and styrene are used.

ペリクル膜３は、ペリクルフレーム４によって、フォトマスク１の主面から数ｍｍ離れた位置に張られている。それゆえ、ペリクル膜３の上に異物が付着しても、その高さ方向の位置はフォトマスク１の主面から離れていることから、マスクパターンの転写において焦点が合わず、異物の像が被転写体のレジストに結像することを防止できる。
なお、フォトマスク１は、パターン転写装置（露光装置とも呼ぶ）において、その主面を下側（重力方向）に向けた状態でパターン転写される。 The pellicle film 3 is stretched by a pellicle frame 4 at a position several mm away from the main surface of the photomask 1. Therefore, even if foreign matter adheres to the pellicle film 3, the position in the height direction is away from the main surface of the photomask 1, so that the focus is not achieved in the transfer of the mask pattern, and the foreign matter image is formed. It is possible to prevent image formation on the resist of the transfer target.
The photomask 1 is pattern-transferred in a pattern transfer apparatus (also referred to as an exposure apparatus) with its main surface facing downward (gravity direction).

フォトマスク１は、使用により生成または蓄積される異物などの除去のために、定期的に洗浄される。そこで、ペリクル２をフォトマスク１から剥離することになるが、ペリクルフレーム４をフォトマスク１から剥離する際には、図４、５に示すように、ペリクル接着剤５がフォトマスク１に一部残存してしまう。
ここで、図４は、ペリクル接着剤について示す要部拡大図であり、（ａ）はペリクル剥離前の状態を、（ｂ）はペリクル剥離後の状態を、それぞれ示す。また、図５は、ペリクルを剥がした後のフォトマスク１について示す図であり、（ａ）は概略平面図を、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線の概略断面図を示す。 The photomask 1 is periodically cleaned in order to remove foreign matters generated or accumulated by use. Therefore, the pellicle 2 is peeled off from the photomask 1. When the pellicle frame 4 is peeled off from the photomask 1, the pellicle adhesive 5 is partially applied to the photomask 1 as shown in FIGS. It will remain.
Here, FIG. 4 is an enlarged view of a main part showing the pellicle adhesive, where (a) shows a state before peeling the pellicle and (b) shows a state after peeling the pellicle. FIGS. 5A and 5B are diagrams showing the photomask 1 after the pellicle is peeled off. FIG. 5A is a schematic plan view, and FIG. 5B is a schematic cross-sectional view taken along line BB in FIG.

フォトマスク上に残るペリクル接着剤を除去する方法として、従来においては、硫酸水溶液や、硫酸と過酸化水素水の混合水溶液などによる洗浄で溶解除去していた。
しかしながら、パターン転写に用いる露光波長の短波長化に伴い、洗浄後のフォトマスクに残る微量な硫酸イオンが核となって、フォトマスク使用中に、ヘイズと呼ばれる曇りが生じやすくなるため、硫酸を含む薬液によるフォトマスクの洗浄は避けられる方向にある。
一方、フォトマスク上に残るペリクル接着剤を有機溶剤に浸漬させても、膨潤はするものの完全には溶解せず、浸漬だけでフォトマスク上から完全に除去することは困難であった。 As a method for removing the pellicle adhesive remaining on the photomask, conventionally, the pellicle adhesive is dissolved and removed by washing with a sulfuric acid aqueous solution or a mixed aqueous solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide.
However, with the shortening of the exposure wavelength used for pattern transfer, a small amount of sulfate ions remaining in the photomask after cleaning becomes a nucleus, and fogging called haze is likely to occur during use of the photomask. The cleaning of the photomask with the chemical solution is in a direction that can be avoided.
On the other hand, even if the pellicle adhesive remaining on the photomask is immersed in an organic solvent, it swells but does not completely dissolve, and it is difficult to completely remove it from the photomask only by immersion.

そこで、フォトマスク上に残るペリクル接着剤を除去する方法として、マスクパターンを保護した状態で洗浄液をかけながら、さらにブラシで擦り落とす方法が提案されている。使用したブラシには洗浄液を噴射して清浄度を保つとしている（特許文献１）。   Therefore, as a method of removing the pellicle adhesive remaining on the photomask, a method of rubbing with a brush while applying a cleaning solution while the mask pattern is protected has been proposed. A cleaning liquid is sprayed on the used brush to maintain cleanliness (Patent Document 1).

また、フォトマスクの主面全体を流体で被覆しながら、ペリクル接着剤が残る箇所近辺に、流体の流れを遮る、或いは流れが滞留する隔離領域を設け、この領域内で、ペリクル接着剤を剥離若しくは溶解する薬液を滴下しながら摺動体をペリクル接着剤に押し当て、揺動させて除去する方法が提案されている（特許文献２）。   In addition, an isolated area where the flow of the pellicle adhesive is blocked or where the flow stays is provided in the vicinity of the area where the pellicle adhesive remains, while covering the entire main surface of the photomask, and the pellicle adhesive is peeled off in this area Alternatively, a method has been proposed in which a sliding body is pressed against a pellicle adhesive while dropping a chemical solution to be dissolved, and is swung to remove (Patent Document 2).

特開２０１０−２４３７９６号公報JP 2010-243796 A 特開２０１２−２３７８３８号公報JP 2012-237838 A

しかしながら、上記の特許文献１、２に記載の方法では、大量に発生する廃液処理の問題がある。
また、上記の特許文献１に記載の方法では、洗浄液の噴射だけでペリクル接着剤が付着したブラシの清浄度を保つことは、困難であると推測される。そして、汚れたブラシを使用すれば、フォトマスクを逆に汚してしまうおそれがある。
また、上記の特許文献２に記載の方法では、摺動体を直接フォトマスク上のペリクル接着剤に接触させるため、除去処理に応じて摺動体が汚れてしまう。そして、この汚れた摺動体を用いることで、フォトマスクを逆に汚してしまう欠点がある。 However, the methods described in Patent Documents 1 and 2 have a problem of waste liquid treatment that occurs in large quantities.
Further, in the method described in Patent Document 1, it is estimated that it is difficult to maintain the cleanliness of the brush to which the pellicle adhesive is attached only by spraying the cleaning liquid. If a dirty brush is used, the photomask may be stained in reverse.
Further, in the method described in Patent Document 2, since the sliding body is directly brought into contact with the pellicle adhesive on the photomask, the sliding body becomes dirty according to the removal process. And there is a fault that a photomask is soiled conversely by using this soiled sliding body.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、大量の液体を要せずに、フォトマスクの汚染を防止しつつ、効率的に、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去することが可能な、ペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to efficiently remove the pellicle adhesive remaining on the photomask while preventing contamination of the photomask without requiring a large amount of liquid. Another object of the present invention is to provide a pellicle adhesive removing device and a pellicle adhesive removing method.

すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する装置であって、前記フォトマスクを保持するフォトマスク保持機構と、接着剤除去テープの背面を押圧体によって押圧することにより前記接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、前記接着剤除去テープを供給するテープ供給機構と、前記接着剤除去テープを回収するテープ回収機構と、を備えており、前記ペリクル接着剤を、剥離用薬液を含浸させた前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去装置である。   That is, the invention according to claim 1 of the present invention is an apparatus for removing the pellicle adhesive remaining on the photomask, wherein the photomask holding mechanism for holding the photomask and the back surface of the adhesive removal tape are pressed by a pressing body. A tape pressing mechanism that brings the main surface of the adhesive removal tape into contact with a portion of the photomask where the pellicle adhesive remains, a tape supply mechanism that supplies the adhesive removal tape, and the adhesive removal tape A pellicle adhesive, wherein the pellicle adhesive is removed from the photomask by attaching the pellicle adhesive to the adhesive removing tape impregnated with a chemical for peeling. It is a removal device.

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記フォトマスク保持機構が、前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けて、前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項１に記載のペリクル接着剤除去装置である。   The invention according to claim 2 of the present invention is characterized in that the photomask holding mechanism holds the photomask with the surface of the photomask on which the mask pattern is formed facing in the direction of gravity. Item 2. The pellicle adhesive removing apparatus according to Item 1.

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル接着剤除去装置である。   The invention according to claim 3 of the present invention further includes a chemical solution impregnation mechanism for impregnating the adhesive removal tape with the chemical solution for peeling. The pellicle adhesive removal according to claim 1 or 2, Device.

また、本発明の請求項４に係る発明は、前記薬液含浸機構により、前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項３に記載のペリクル接着剤除去装置である。
The invention according to claim 4 of the present invention is characterized in that, by the chemical solution impregnation mechanism, the peeling chemical solution is leached from the pressing body, and the adhesive removing tape is impregnated with the peeling chemical solution. The pellicle adhesive removing apparatus according to claim 3.

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記押圧体を摺動させる摺動機構を備え、前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。   Further, the invention according to claim 5 of the present invention is provided with a sliding mechanism for sliding the pressing body, and the pressing body is slid on the back surface of the adhesive removing tape. It is a pellicle adhesive removal apparatus of any one of Claim 4.

また、本発明の請求項６に係る発明は、前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させる移動機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。   The invention according to claim 6 of the present invention further includes a moving mechanism for moving the position where the adhesive removing tape contacts the photomask along the portion where the pellicle adhesive remains. The pellicle adhesive removing apparatus according to any one of claims 1 to 5.

また、本発明の請求項７に係る発明は、前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱する加熱機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。   The invention according to claim 7 of the present invention further comprises a heating mechanism that heats the pellicle adhesive remaining on the photomask. This is an adhesive removing device.

また、本発明の請求項８に係る発明は、前記テープ押圧機構、前記テープ供給機構、及び、前記テープ回収機構を含む一組のテープ駆動機構を２組以上備え、前記２組以上の各テープ駆動機構によって駆動される各接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。   The invention according to claim 8 of the present invention includes two or more sets of tape drive mechanisms including the tape pressing mechanism, the tape supply mechanism, and the tape recovery mechanism, and each of the two or more sets of tapes. The main surface of each adhesive removal tape driven by the drive mechanism is brought into contact with a portion where the pellicle adhesive remains on the photomask. A pellicle adhesive removing device.

また、本発明の請求項９に係る発明は、前記２組以上のテープ駆動機構のうち、少なくとも一組のテープ駆動機構によって駆動される接着剤除去テープが、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態のものであり、他の一組のテープ駆動機構によって駆動される、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項８に記載のペリクル接着剤除去装置である。   In the invention according to claim 9 of the present invention, an adhesive removing tape driven by at least one set of tape drive mechanisms among the two or more sets of tape drive mechanisms is not impregnated with the peeling chemical. The adhesive removal tape impregnated with the peeling chemical solution, which is in a dry state and is driven by another set of tape driving mechanisms, is brought into contact with the portion where the pellicle adhesive remains on the photomask. The main surface of the adhesive removal tape in a dry state that is not impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact with the portion where the adhesive removal tape impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact. Item 9. The pellicle adhesive removing apparatus according to Item 8.

また、本発明の請求項１０に係る発明は、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する方法であって、剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの背面を、押圧体によって押圧することにより、前記接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させ、前記ペリクル接着剤を前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去方法である。   The invention according to claim 10 of the present invention is a method for removing the pellicle adhesive remaining on the photomask, wherein the back surface of the adhesive removing tape impregnated with the peeling chemical is pressed by a pressing body. The main surface of the adhesive removal tape is brought into contact with a portion of the photomask where the pellicle adhesive remains, and the pellicle adhesive is attached to the adhesive removal tape to be removed from the photomask. The pellicle adhesive removing method.

また、本発明の請求項１１に係る発明は、前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けた状態で、前記ペリクル接着剤を前記フォトマスクから除去することを特徴とする請求項１０に記載のペリクル接着剤除去方法である。   According to an eleventh aspect of the present invention, the pellicle adhesive is removed from the photomask in a state where the surface of the photomask on which the mask pattern is formed is directed in the direction of gravity. Item 11. The method for removing a pellicle adhesive according to Item 10.

また、本発明の請求項１２に係る発明は、前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載のペリクル接着剤除去方法である。   The invention according to claim 12 of the present invention is characterized in that the peeling chemical liquid is leached from the pressing body and the adhesive removing tape is impregnated with the peeling chemical liquid. The pellicle adhesive removing method according to claim 11.

また、本発明の請求項１３に係る発明は、前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。   The invention according to claim 13 of the present invention is characterized in that the pressing body is slid on the back surface of the adhesive removing tape, and the pellicle bonding according to any one of claims 10 to 12 is performed. It is an agent removal method.

また、本発明の請求項１４に係る発明は、前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１３のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。   In the invention according to claim 14 of the present invention, the position where the adhesive removing tape contacts the photomask is moved along the place where the pellicle adhesive remains. 14. The pellicle adhesive removal method according to any one of items 13.

また、本発明の請求項１５に係る発明は、前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱することを特徴とする請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。   The invention according to claim 15 of the present invention heats the pellicle adhesive remaining on the photomask, wherein the pellicle adhesive removal method according to any one of claims 10 to 14 is provided. It is.

また、本発明の請求項１６に係る発明は、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。   In the invention according to claim 16 of the present invention, the main surface of the adhesive removing tape impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact with a portion where the pellicle adhesive remains on the photomask, and then the peeling chemical solution is used. The main surface of the adhesive removing tape in a dry state not impregnated with the adhesive is brought into contact with a portion where the adhesive removing tape impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact. The pellicle adhesive removal method according to any one of the above.

本発明によれば、大量の液体を要せずに、フォトマスクの汚染を防止しつつ、効率的に、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去することができる。   According to the present invention, it is possible to efficiently remove the pellicle adhesive remaining on the photomask while preventing contamination of the photomask without requiring a large amount of liquid.

本発明に係るペリクル接着剤除去装置の一例について示す図The figure shown about an example of the pellicle adhesive removal apparatus which concerns on this invention 本発明に係るペリクル接着剤除去装置の他の例について示す図The figure shown about the other example of the pellicle adhesive removal apparatus which concerns on this invention ペリクルを装着したフォトマスクについて示す図Diagram showing photomask with pellicle ペリクル接着剤について示す要部拡大図Enlarged view of main parts showing pellicle adhesive ペリクルを剥がした後のフォトマスクについて示す図Figure showing the photomask after peeling the pellicle

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係るペリクル接着剤除去装置の一例について示す図である。
図１に示すように、ペリクル接着剤除去装置１０は、フォトマスク１を保持するフォトマスク保持機構１５と、接着剤除去テープ１１の背面を押圧体１４によって押圧することにより、接着剤除去テープ１１の主面を、フォトマスク１のペリクル接着剤６が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、接着剤除去テープ１１を供給するテープ供給機構と、接着剤除去テープ１１を回収するテープ回収機構と、を備えており、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１に付着させて、フォトマスク１から除去するものである。 (First embodiment)
FIG. 1 is a view showing an example of a pellicle adhesive removing apparatus according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the pellicle adhesive removing device 10 presses the photomask holding mechanism 15 that holds the photomask 1 and the back surface of the adhesive removing tape 11 with a pressing body 14, thereby causing the adhesive removing tape 11. A tape pressing mechanism for bringing the principal surface of the photomask 1 into contact with a portion where the pellicle adhesive 6 remains, a tape supply mechanism for supplying the adhesive removing tape 11, a tape collecting mechanism for collecting the adhesive removing tape 11, The pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 is attached to the adhesive removal tape 11 impregnated with the chemical solution 32 for removal and removed from the photomask 1.

なお、本発明において、「接着剤除去テープ１１の主面」とは、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する側の面を指し、「接着剤除去テープ１１の背面」とは、接着剤除去テープ１１が押圧体１４によって押圧される側の面を指す。   In the present invention, the “main surface of the adhesive removing tape 11” refers to the surface on the side where the adhesive removing tape 11 contacts the photomask 1, and the “rear surface of the adhesive removing tape 11” refers to an adhesive. The surface on the side where the agent removing tape 11 is pressed by the pressing body 14 is indicated.

接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置は、フォトマスク１または押圧体１４の移動機構（図示せず）により、相対的に移動させることができる。
図１に示すペリクル接着剤除去装置１０においては、フォトマスク保持機構１５が水平移動することによって、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置を変更する。 The position where the adhesive removing tape 11 contacts the photomask 1 can be relatively moved by the moving mechanism (not shown) of the photomask 1 or the pressing body 14.
In the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. 1, the position where the adhesive removing tape 11 contacts the photomask 1 is changed by the horizontal movement of the photomask holding mechanism 15.

本発明においては、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置を、ペリクル接着剤６が残る箇所に沿って移動させることが好ましい。
図５に示すように、ペリクル接着剤６が残る箇所は限定された領域であり、この限定された領域を走査することで、マスクパターンが形成されている領域等を汚染することなく、短時間で効率良く、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去できるからである。 In the present invention, it is preferable to move the position where the adhesive removing tape 11 contacts the photomask 1 along the place where the pellicle adhesive 6 remains.
As shown in FIG. 5, the portion where the pellicle adhesive 6 remains is a limited region. By scanning the limited region, the region where the mask pattern is formed is not contaminated for a short time. This is because the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 can be removed efficiently.

なお、図１に示すように、ペリクル接着剤除去装置１０においては、フォトマスク１の主面（マスクパターンが形成された面）を重力方向（図中の下方向）に向けて、フォトマスク１を保持することが好ましい。
異物がフォトマスク１のマスクパターンが形成された領域に付着することを防止するためである。さらに、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２が、フォトマスク１の主面の望まない箇所に液垂れすることを防止する効果もある。
また、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６が糸状になっている場合に、その糸状のペリクル接着剤を除去する際に、糸状の一部がフォトマスク１の主面の望まない箇所に再付着してしまうことを防止する効果もある。
なお、本発明において、「フォトマスク１の主面」とは、フォトマスク１においてマスクパターンが形成された面を指す。 As shown in FIG. 1, in the pellicle adhesive removing apparatus 10, the photomask 1 is directed so that the main surface (surface on which the mask pattern is formed) of the photomask 1 is directed in the direction of gravity (downward in the figure). Is preferably maintained.
This is to prevent foreign matters from adhering to the region where the mask pattern of the photomask 1 is formed. Furthermore, there is also an effect of preventing the peeling chemical liquid 32 impregnated in the adhesive removing tape 11 from dripping onto an undesired portion of the main surface of the photomask 1.
Further, when the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 is in the form of a thread, when the thread-like pellicle adhesive is removed, a part of the thread is reattached to an undesired portion of the main surface of the photomask 1. There is also an effect of preventing this.
In the present invention, the “main surface of the photomask 1” refers to the surface of the photomask 1 on which the mask pattern is formed.

図１に示すペリクル接着剤除去装置１０において、上記のテープ供給機構は、巻出しロール１２から接着剤除去テープ１１を引き出して、フォトマスク１と接触する箇所に接着剤除去テープ１１を供給するものである。
また、上記のテープ回収機構は、巻取りロール１３に接着剤除去テープ１１を巻き取ることで、フォトマスク１と接触する箇所から接着剤除去テープ１１を回収するものである。 In the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. 1, the above tape supply mechanism draws the adhesive removing tape 11 from the unwinding roll 12 and supplies the adhesive removing tape 11 to a place where it contacts the photomask 1. It is.
In addition, the tape recovery mechanism described above recovers the adhesive removal tape 11 from a portion that contacts the photomask 1 by winding the adhesive removal tape 11 around the winding roll 13.

ここで、接着剤除去テープ１１が駆動する方向は、フォトマスク１と接触する箇所において、フォトマスク１が移動する方向と同じ向きであっても良いが、図１に示すように、フォトマスク１が移動する方向と逆向きであることが好ましい。フォトマスク１が移動する方向と逆向きである方が、除去効果が高いからである。   Here, the direction in which the adhesive removing tape 11 is driven may be the same direction as the direction in which the photomask 1 moves at the place where it comes into contact with the photomask 1, but as shown in FIG. It is preferable that the direction is opposite to the moving direction. This is because the removal effect is higher in the direction opposite to the direction in which the photomask 1 moves.

ペリクル接着剤除去装置１０は上記のような構成を備えるため、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１に付着させて、フォトマスク１から除去することができる。
それゆえ、除去に用いる液体の量は、接着剤除去テープ１１に含浸させる剥離用薬液３２の量で済み、大量の液体を要しない。リンス液も不要である。 Since the pellicle adhesive removal apparatus 10 has the above-described configuration, the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 is attached to the adhesive removal tape 11 impregnated with the chemical solution 32 for removal and removed from the photomask 1. can do.
Therefore, the amount of the liquid used for the removal is the amount of the chemical solution for peeling 32 to be impregnated in the adhesive removing tape 11, and a large amount of liquid is not required. A rinse solution is also unnecessary.

また、接着剤除去テープ１１は、ペリクル接着剤６を付着する前の汚染されていない接着剤除去テープ１１が巻出しロール１２から連続的に供給され、フォトマスク１のペリクル接着剤が残る箇所に局所的に接触してペリクル接着剤６を付着し、その後は、フォトマスク１から離間され、巻取りロール１３によって回収される。
すなわち、フォトマスク１に接触する箇所には、常に新しい接着剤除去テープ１１が供給され、ペリクル接着剤６を付着した接着剤除去テープ１１が再度使用されることはない。
それゆえ、本発明においては、ペリクル接着剤６を付着した接着剤除去テープ１１によってフォトマスク１が汚染してしまうことを、防止できる。 Further, the adhesive removal tape 11 is continuously supplied from the unwinding roll 12 with the uncontaminated adhesive removal tape 11 before the pellicle adhesive 6 is adhered, and the pellicle adhesive remains on the photomask 1. The pellicle adhesive 6 is adhered by locally contacting, and thereafter, the pellicle adhesive 6 is separated from the photomask 1 and collected by the take-up roll 13.
In other words, a new adhesive removing tape 11 is always supplied to a portion that contacts the photomask 1, and the adhesive removing tape 11 with the pellicle adhesive 6 attached is not used again.
Therefore, in the present invention, it is possible to prevent the photomask 1 from being contaminated by the adhesive removing tape 11 to which the pellicle adhesive 6 is attached.

また、本発明においては、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１を、フォトマスク１のペリクル接着剤６が残る箇所に局所的に接触させるため、除去に係る領域の面積は小さく、剥離用薬液３２及び接着剤除去テープ１１のいずれも使用量を少なくすることができる。
また、本発明においては、元々ペリクル接着剤６が付着していない箇所にまで、剥離用薬液３２等の液体をかけて、その後リンスや乾燥を施すといった工程も不要なため、除去に係る工程を短縮できる。 Further, in the present invention, since the adhesive removal tape 11 impregnated with the peeling chemical 32 is locally brought into contact with the portion where the pellicle adhesive 6 of the photomask 1 remains, the area of the removal area is small, Both the peeling chemical liquid 32 and the adhesive removing tape 11 can reduce the amount used.
Further, in the present invention, since there is no need for a step of applying a liquid such as the peeling chemical solution 32 to a place where the pellicle adhesive 6 is not originally attached, and thereafter rinsing or drying, a step related to removal is not necessary. Can be shortened.

また、上記のように、本発明においては、液体洗浄やリンスを施すといった工程も不要なため、フォトマスクを乾燥させないと除去状態の確認が出来ないといった不具合も生じない。
本発明においては、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１から離間すれば、除去状態を直ぐに確認することができ、除去状態が思わしくなければ、押圧体１４の押圧力を調整して再度除去工程を施すなどの処置を取ることで、結果的に除去時間を短縮することが可能である。
本発明においては、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０のように、ペリクル接着剤６の除去状態を観察するために、ＣＣＤカメラ等の撮像機構２１を備える構成としても良い。 In addition, as described above, the present invention does not require a step of performing liquid cleaning or rinsing, so that there is no problem that the removal state cannot be confirmed unless the photomask is dried.
In the present invention, if the adhesive removing tape 11 is separated from the photomask 1, the removal state can be confirmed immediately. If the removal state is not appropriate, the pressing step of the pressing body 14 is adjusted and the removal step is performed again. As a result, it is possible to shorten the removal time.
In the present invention, as in the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. 1, in order to observe the removal state of the pellicle adhesive 6, an imaging mechanism 21 such as a CCD camera may be provided.

本発明においては、接着剤除去テープとして、予め剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを用いても良いが、ペリクル接着剤除去装置が、接着剤除去テープに剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えるものであっても良い。   In the present invention, an adhesive removing tape that has been impregnated with a peeling chemical solution in advance may be used as the adhesive removing tape, but the pellicle adhesive removing device impregnates the chemical removing agent into the adhesive removing tape. A mechanism may be provided.

例えば、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０においては、巻出しロール１２から引き出した接着剤除去テープ１１の主面に、薬液供給ノズル３１から剥離用薬液３２を吐出して、接着剤除去テープ１１に剥離用薬液３２を含浸させている。過度の剥離用薬液３２は、薬液回収部３３により回収される。   For example, in the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. 1, the peeling chemical liquid 32 is discharged from the chemical liquid supply nozzle 31 onto the main surface of the adhesive removing tape 11 drawn from the unwinding roll 12, and the adhesive removing tape is used. 11 is impregnated with a peeling chemical solution 32. The excessive exfoliating chemical 32 is collected by the chemical collecting unit 33.

また、本発明においては、押圧体１４から剥離用薬液３２を浸み出させて、接着剤除去テープ１１に剥離用薬液３２を含浸させても良い。   In the present invention, the peeling chemical liquid 32 may be leached out from the pressing body 14 and the adhesive removing tape 11 may be impregnated with the peeling chemical liquid 32.

ペリクル接着剤除去装置１０が上記のような機構を有していれば、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６の状態に応じて、剥離用薬液３２の量や濃度を調整することが可能である。また、接着剤除去テープ１１がペリクル接着剤６と接触する直前に、若しくは接触時に、適切な量の剥離用薬液３２を付与できるため、剥離用薬液３２の乾燥や、望まない箇所への付着等を防止することもできる。   If the pellicle adhesive removal apparatus 10 has the above-described mechanism, it is possible to adjust the amount and concentration of the peeling chemical solution 32 according to the state of the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1. . Further, an appropriate amount of the chemical solution for peeling 32 can be applied immediately before or at the time when the adhesive removing tape 11 comes into contact with the pellicle adhesive 6, so that the peeling chemical solution 32 is dried, adhered to an undesired location, or the like. Can also be prevented.

また、本発明においてペリクル接着剤除去装置１０は、押圧体１４を摺動させる摺動機構を備え、接着剤除去テープ１１の背面で押圧体１４を摺動させるようにしても良い。
例えば、接着剤除去テープ１１の長手方向や幅方向に押圧体１４を往復運動させたり、円運動させたりすることができる。また、超音波振動を与えることで、摺動させてもよい。 Further, in the present invention, the pellicle adhesive removing device 10 may be provided with a sliding mechanism for sliding the pressing body 14 so that the pressing body 14 is slid on the back surface of the adhesive removing tape 11.
For example, the pressing body 14 can be reciprocated or circularly moved in the longitudinal direction or the width direction of the adhesive removing tape 11. Moreover, you may make it slide by giving an ultrasonic vibration.

このような摺動を施すことで、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２によって膨潤したペリクル接着剤６は、フォトマスク１から剥がれ易くなり、接着剤除去テープ１１に付着されて、フォトマスク１から効果的に除去されることになる。
なお、押圧体１４は接着剤除去テープ１１の背面で摺動するため、押圧体１４がフォトマスク１に残るペリクル接着剤６に触れることは無い。それゆえ、押圧体１４がペリクル接着剤６によって汚染されることも無い。 By performing such sliding, the pellicle adhesive 6 swollen by the peeling chemical solution 32 impregnated in the adhesive removing tape 11 is easily peeled off from the photomask 1 and attached to the adhesive removing tape 11. It is effectively removed from the photomask 1.
Since the pressing body 14 slides on the back surface of the adhesive removing tape 11, the pressing body 14 does not touch the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1. Therefore, the pressing body 14 is not contaminated by the pellicle adhesive 6.

また、本発明においてペリクル接着剤除去装置１０は、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を加熱する加熱機構を備えていても良い。
加熱することで、ペリクル接着剤６の剥離用薬液３２への溶解度を向上させる効果や、ペリクル接着剤６をより膨潤させるといった効果を奏することができ、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、より除去し易くすることができるからである。また、加熱によってペリクル接着剤６を軟化させ、より除去し易くすることも可能である。 In the present invention, the pellicle adhesive removing apparatus 10 may include a heating mechanism for heating the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1.
By heating, the effect of improving the solubility of the pellicle adhesive 6 in the peeling chemical solution 32 and the effect of further swelling the pellicle adhesive 6 can be achieved. The pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 It is because it can be made easier to remove. It is also possible to soften the pellicle adhesive 6 by heating and make it easier to remove.

例えば、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０において、フォトマスク１の裏面側（主面とは反対側）に、赤外線ランプ、または、ホットプレートから構成される加熱機構（図示略）を設けることで、フォトマスク１の裏面側からの赤外線の照射やホットプレートによる近接加熱により、ペリクル接着剤６を含めフォトマスク１全体を加熱することができる。   For example, in the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. 1, a heating mechanism (not shown) composed of an infrared lamp or a hot plate is provided on the back side (the side opposite to the main surface) of the photomask 1. Thus, the entire photomask 1 including the pellicle adhesive 6 can be heated by infrared irradiation from the back side of the photomask 1 or proximity heating by a hot plate.

また、フォトマスク１の主面側であって、ペリクル接着剤６が接着剤除去テープ１１と接触する前の箇所に、赤外線を含むスポットライトを照射する機構を設け（図示略）、ペリクル接着剤６が残る箇所に沿って赤外線を含むスポットライトを照射することにより、局所的にペリクル接着剤６を加熱してもよい。   Further, a mechanism (not shown) for irradiating a spotlight containing infrared rays is provided on the main surface side of the photomask 1 and before the pellicle adhesive 6 comes into contact with the adhesive removing tape 11. The pellicle adhesive 6 may be locally heated by irradiating a spotlight containing infrared rays along the portion where the 6 remains.

加熱されるペリクル接着剤６の温度範囲としては、ペリクル接着剤６が、より除去され易くなる温度範囲であれば用いることができるが、ペリクル接着剤６の温度は、接着剤除去テープ１１との接触時において、接着剤除去テープ１１に含浸させる剥離用薬液３２の沸点以下であることが好ましい。
それゆえ、例えば、剥離用薬液３２として二塩化メチレンを用いる場合、ペリクル接着剤６の温度は、接着剤除去テープ１１との接触時において、室温（通常２３℃）以上であって４０℃以下となるようにすることが好ましい。 As the temperature range of the pellicle adhesive 6 to be heated, any temperature range can be used as long as the pellicle adhesive 6 is more easily removed, but the temperature of the pellicle adhesive 6 is the same as that of the adhesive removal tape 11. At the time of contact, the boiling point of the peeling chemical liquid 32 impregnated in the adhesive removing tape 11 is preferably not more than the boiling point.
Therefore, for example, when methylene dichloride is used as the peeling chemical 32, the temperature of the pellicle adhesive 6 is not less than room temperature (usually 23 ° C.) and not more than 40 ° C. when in contact with the adhesive removing tape 11. It is preferable to do so.

接着剤除去テープ１１の材料としては、剥離用薬液３２を含浸することができ、剥離用薬液３２に溶解せず、剥離用薬液３２によって変質しないものであれば用いることができる。また、その主面は、膨潤したペリクル接着剤６が付着し易いものであることが好ましい。接着剤除去テープ１１としては、例えば、テープ状の布や不織布、金属テープを布で被覆したものや、ガラス繊維クロス、フッ素系樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アルミナ等から構成されるテープを挙げることができる。   As a material of the adhesive removing tape 11, any material can be used as long as it can be impregnated with the chemical solution for peeling 32, does not dissolve in the chemical solution for peeling 32, and is not altered by the chemical solution for peeling 32. Moreover, it is preferable that the main surface is a thing which the swollen pellicle adhesive 6 adheres easily. Examples of the adhesive removing tape 11 include a tape-like cloth, a nonwoven fabric, a metal tape covered with a cloth, a glass fiber cloth, a fluorine resin, a polyethylene resin, a polyimide resin, a polyester resin, and alumina. A tape can be mentioned.

剥離用薬液３２としては、ペリクル接着剤６の成分に対応した薬液を選定する必要があるが、例えば、アセトン、ベンゼン、トルエン、酢酸エチル、酢酸メチル、メチルエチルケトン、トリクレン、パークレン、二塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、シクロヘキサン、テロラヒドロフラン、ガソリン等の有機溶剤、これらの内の少なくとも１成分を含む混合物等を挙げることができる。   As the peeling chemical solution 32, it is necessary to select a chemical solution corresponding to the component of the pellicle adhesive 6. For example, acetone, benzene, toluene, ethyl acetate, methyl acetate, methyl ethyl ketone, trichlene, parkrene, methylene dichloride, dimethyl Examples thereof include organic solvents such as formamide, cyclohexane, terahydrofuran and gasoline, and mixtures containing at least one of these components.

押圧体１４の材料としては、剥離用薬液３２に溶解せず、剥離用薬液３２によって変質しないものであれば用いることができる。また、その表面は、剥離用薬液３２に対して親和性の低いものであることが好ましい。例えば、フッ素系樹脂、ＰＥＥＫ、ＰＥＴ等、耐薬品性を有する樹脂や、これら樹脂を金属にコーティングした物を用いることができる。   As the material of the pressing body 14, any material that does not dissolve in the peeling chemical solution 32 and is not altered by the peeling chemical solution 32 can be used. Moreover, it is preferable that the surface is a thing with low affinity with respect to the chemical | medical agent 32 for peeling. For example, a resin having chemical resistance such as a fluorine resin, PEEK, or PET, or a material obtained by coating these resins on a metal can be used.

（第２の実施形態）
図１においては、１本の接着剤除去テープ１１を用いてフォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去するペリクル接着剤除去装置１０を例示したが、本発明においては、２本以上の接着剤除去テープ１１を用いてペリクル接着剤６を除去しても良い。 (Second Embodiment)
In FIG. 1, the pellicle adhesive removing apparatus 10 that removes the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 using one adhesive removing tape 11 is illustrated. However, in the present invention, two or more adhesives are used. The pellicle adhesive 6 may be removed using the removal tape 11.

例えば、ペリクル接着剤除去装置を、テープ押圧機構、テープ供給機構、及び、テープ回収機構を含む一組のテープ駆動機構を２組以上備える構成として、２組以上の各テープ駆動機構によって駆動される各接着剤除去テープを、フォトマスクのペリクル接着剤が残る箇所に、連続的に接触させることにより、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去しても良い。   For example, the pellicle adhesive removing device is driven by two or more sets of tape drive mechanisms as a configuration including two or more sets of tape drive mechanisms including a tape pressing mechanism, a tape supply mechanism, and a tape recovery mechanism. The pellicle adhesive remaining on the photomask may be removed by bringing each adhesive removal tape into contact with a portion where the pellicle adhesive remains on the photomask.

このような構成であれば、フォトマスクに残るペリクル接着剤を、汚染されていない２本以上の接着剤除去テープで、連続的に複数回擦り取ることができ、より効果的にペリクル接着剤を除去することができる。
また、１本の接着剤除去テープを用いてペリクル接着剤を除去する場合に比べて、使用する接着剤除去テープの本数に応じて、フォトマスク１の移動速度を速くすることもでき、除去に係る時間を短くすることもできる。 With such a configuration, the pellicle adhesive remaining on the photomask can be scraped continuously multiple times with two or more uncontaminated adhesive removal tapes, and the pellicle adhesive can be more effectively removed. Can be removed.
In addition, the moving speed of the photomask 1 can be increased according to the number of adhesive removal tapes used, as compared with the case where the pellicle adhesive is removed using one adhesive removal tape. Such time can be shortened.

（第３の実施形態）
また、本発明においては、剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを用いた後に、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープを用いることもできる。
より具体的には、上記の第２の実施形態における２組以上のテープ駆動機構のうち、少なくとも一組のテープ駆動機構によって駆動される接着剤除去テープが、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態のものであり、他の一組のテープ駆動機構によって剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープをフォトマスクに接触させた後に、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープをフォトマスクに接触させるものであっても良い。 (Third embodiment)
Moreover, in this invention, after using the adhesive removal tape impregnated with the chemical | medical agent for peeling, the adhesive removal tape of the dry state which is not impregnated with the chemical | medical agent for peeling can also be used.
More specifically, among the two or more sets of tape drive mechanisms in the second embodiment, the adhesive removal tape driven by at least one set of tape drive mechanisms is dry and not impregnated with the peeling chemical. In a dry state, the adhesive removal tape impregnated with the stripping chemical by another set of tape drive mechanisms is brought into contact with the photomask, and then the dry adhesive not impregnated with the stripping chemical You may make a removal tape contact a photomask.

例えば、図２に示すペリクル接着剤除去装置５０は、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０が備える一組のテープ駆動機構６０に加えて、別の一組のテープ駆動機構７０を備えている。
より詳しくは、図中左側の一組のテープ駆動機構６０は、押圧体１４を有するテープ押圧機構、巻出しロール１２を有するテープ供給機構、及び、巻取りロール１３を有するテープ回収機構を含み、駆動する接着剤除去テープ１１は剥離用薬液３２を含浸させたものである。
一方、図中右側の一組のテープ駆動機構７０は、押圧体５４を有するテープ押圧機構、巻出しロール５２を有するテープ供給機構、及び、巻取りロール５３を有するテープ回収機構を含み、駆動する接着剤除去テープ５１は剥離用薬液３２を含浸させていない乾いた状態のものである。 For example, the pellicle adhesive removing apparatus 50 shown in FIG. 2 includes another set of tape driving mechanisms 70 in addition to the set of tape driving mechanisms 60 included in the pellicle adhesive removing apparatus 10 shown in FIG. .
More specifically, the set of tape drive mechanisms 60 on the left side in the drawing includes a tape pressing mechanism having a pressing body 14, a tape supply mechanism having an unwinding roll 12, and a tape collecting mechanism having a winding roll 13. The adhesive removing tape 11 to be driven is impregnated with a chemical solution 32 for peeling.
On the other hand, a set of tape drive mechanisms 70 on the right side in the drawing includes a tape pressing mechanism having a pressing body 54, a tape supply mechanism having an unwinding roll 52, and a tape recovery mechanism having a winding roll 53, and is driven. The adhesive removing tape 51 is in a dry state not impregnated with the peeling chemical solution 32.

ペリクル接着剤除去装置５０においては、フォトマスク１はフォトマスク保持機構１５によって図中右方向（Ｘ方向）に移動され、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６は、まず、一組のテープ駆動機構６０によって駆動される接着剤除去テープ１１と接触する。
接着剤除去テープ１１は剥離用薬液３２を含浸しているため、剥離用薬液３２によってペリクル接着剤６は膨潤し、接着剤除去テープ１１によって擦り取られる。 In the pellicle adhesive removing device 50, the photomask 1 is moved in the right direction (X direction) in the figure by the photomask holding mechanism 15, and the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 is first a set of tape drive mechanisms. It contacts the adhesive removal tape 11 driven by 60.
Since the adhesive removing tape 11 is impregnated with the peeling chemical solution 32, the pellicle adhesive 6 is swollen by the peeling chemical solution 32 and scraped off by the adhesive removing tape 11.

ここで、フォトマスク１には、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２が残留する場合がある。また、この残留した剥離用薬液３２にはペリクル接着剤６が溶解している場合もある。そして、この剥離用薬液３２に溶解したペリクル接着剤６は、剥離用薬液３２が乾燥すると、再び残渣としてフォトマスク１に残る場合がある。   Here, the peeling chemical liquid 32 impregnated in the adhesive removing tape 11 may remain on the photomask 1. Further, the pellicle adhesive 6 may be dissolved in the remaining peeling chemical solution 32. The pellicle adhesive 6 dissolved in the peeling chemical solution 32 may remain as a residue on the photomask 1 again when the peeling chemical solution 32 is dried.

これに対し、ペリクル接着剤除去装置５０においては、一組のテープ駆動機構７０によって駆動される接着剤除去テープ５１を接触させることによって、このフォトマスク１に残留する剥離用薬液３２を拭き取ることができる。
それゆえ、例え、フォトマスク１に残留した剥離用薬液３２にペリクル接着剤６が溶解していた場合でも、剥離用薬液３２ごと拭き取ることで、剥離用薬液３２が乾燥した後に、剥離用薬液３２に溶解していたペリクル接着剤６が、残渣としてフォトマスク１に残る不具合を解消することができる。 On the other hand, in the pellicle adhesive removing device 50, the peeling chemical solution 32 remaining on the photomask 1 can be wiped off by bringing the adhesive removing tape 51 driven by a set of tape drive mechanisms 70 into contact. it can.
Therefore, even if the pellicle adhesive 6 is dissolved in the peeling chemical solution 32 remaining in the photomask 1, the peeling chemical solution 32 is dried and then the peeling chemical solution 32 is dried by wiping the whole peeling chemical solution 32. The problem that the pellicle adhesive 6 dissolved in the photomask 1 remains as a residue in the photomask 1 can be solved.

なお、ペリクル接着剤除去装置５０において、接着剤除去テープ５１には、接着剤除去テープ１１と同じ材料を用いることができる。また、押圧体５４も、押圧体１４と同じ材料を用いることができ、押圧体１４と同じ構成とすることができる。   In the pellicle adhesive removing device 50, the same material as the adhesive removing tape 11 can be used for the adhesive removing tape 51. The pressing body 54 can also be made of the same material as the pressing body 14 and can have the same configuration as the pressing body 14.

以上、本発明に係るペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。   As mentioned above, although each embodiment was described about the pellicle adhesive removal apparatus and the pellicle adhesive removal method which concern on this invention, this invention is not limited to the said embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and exhibits the same function and effect regardless of the case. Are included in the technical scope.

以下に実施例を示して、本発明をさらに具体的に説明する。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples.

（実施例１）
図１に示す構成のペリクル接着剤除去装置１０を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
また、押圧体１４にはフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、振動を与えて接着剤除去テープ１１の背面で摺動させた。
処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。 Example 1
Using the pellicle adhesive removing apparatus 10 having the configuration shown in FIG. 1, a process of removing the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 was performed.
The pellicle adhesive 6 was an acrylic resin adhesive, methylene dichloride was used for the peeling chemical solution 32, and a cotton cloth tape-like was used for the adhesive removing tape 11.
The pressing body 14 was made of a metal coated with a fluororesin, and was slid on the back surface of the adhesive removing tape 11 with vibration.
As a result of observation after the treatment, the pellicle adhesive 6 was removed from the photomask 1.
Further, no re-adhesion of the pellicle adhesive 6 was observed in a region other than the residue of the initial pellicle adhesive 6.

（実施例２）
図１に示す構成のペリクル接着剤除去装置１０が有する一組のテープ駆動機構を、２組備えたペリクル接着剤除去装置を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
なお、この実施例２では、２組のテープ駆動機構で駆動する各接着剤除去テープ１１には、いずれも同じ材料から構成されるものを使用し、各接着剤除去テープ１１に、それぞれ剥離用薬液３２として二塩化メチレンを含浸させた。
また、２組のテープ駆動機構に含まれる各テープ押圧機構の各押圧体１４には、いずれもフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、それぞれ振動を与えて、各接着剤除去テープ１１の背面で摺動させた。
また、この実施例２では、フォトマスク１の移動速度を、実施例１の２倍の速さで移動させた。その結果、概ね実施例１の半分の時間で処理が終了した。
処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。 (Example 2)
A process of removing the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 by using a pellicle adhesive removing apparatus provided with two sets of tape drive mechanisms of the pellicle adhesive removing apparatus 10 having the configuration shown in FIG. went.
The pellicle adhesive 6 was an acrylic resin adhesive, methylene dichloride was used for the peeling chemical solution 32, and a cotton cloth tape-like was used for the adhesive removing tape 11.
In the second embodiment, the adhesive removing tapes 11 driven by two sets of tape drive mechanisms are made of the same material, and the adhesive removing tapes 11 are for peeling. As the chemical solution 32, methylene dichloride was impregnated.
Moreover, as each pressing body 14 of each tape pressing mechanism included in the two sets of tape driving mechanisms, a material in which a fluorine-based resin is coated on a metal is used, and vibrations are applied to the pressing bodies 14 of each adhesive removing tape 11. Slide on the back.
In Example 2, the moving speed of the photomask 1 was moved twice as fast as that in Example 1. As a result, the processing was completed in about half the time of Example 1.
As a result of observation after the treatment, the pellicle adhesive 6 was removed from the photomask 1.
Further, no re-adhesion of the pellicle adhesive 6 was observed in a region other than the residue of the initial pellicle adhesive 6.

（実施例３）
図２に示す構成のペリクル接着剤除去装置５０を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１、５１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
また、押圧体１４、５４にはフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、振動を与えて、接着剤除去テープ１１、５１の背面で摺動させた。
この実施例３では、フォトマスク１の移動速度は、実施例１と同じ速さで移動させた。 処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。
また、フォトマスク１には剥離用薬液３２の乾燥シミも観測されなかった。 Example 3
Using the pellicle adhesive removing apparatus 50 having the configuration shown in FIG. 2, a process for removing the pellicle adhesive 6 remaining on the photomask 1 was performed.
The pellicle adhesive 6 was an acrylic resin adhesive, methylene dichloride was used for the peeling chemical solution 32, and cotton cloths in tape form were used for the adhesive removal tapes 11 and 51.
Further, the pressing bodies 14 and 54 were made by coating a metal with a fluorine resin, and were slid on the back surface of the adhesive removing tapes 11 and 51 by applying vibration.
In Example 3, the moving speed of the photomask 1 was moved at the same speed as in Example 1. As a result of observation after the treatment, the pellicle adhesive 6 was removed from the photomask 1.
Further, no re-adhesion of the pellicle adhesive 6 was observed in a region other than the residue of the initial pellicle adhesive 6.
Further, no dry spots of the peeling chemical solution 32 were observed on the photomask 1.

１ フォトマスク
２ ペリクル
３ ペリクル膜
４ ペリクルフレーム
５ ペリクル接着剤
６ フォトマスクに残ったペリクル接着剤
１０、５０ ペリクル接着剤除去装置
１１、５１ 接着剤除去テープ
１２、５２ 巻出しロール
１３、５３ 巻取りロール
１４、５４ 押圧体
１５ フォトマスク保持機構
２１ 撮像機構
３１ 薬液供給ノズル
３２ 剥離用薬液
３３ 薬液回収部
３４、３５、３６ ロール
６０、７０ テープ駆動機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Photomask 2 Pellicle 3 Pellicle film 4 Pellicle frame 5 Pellicle adhesive 6 Pellicle adhesive remaining on the photomask 10, 50 Pellicle adhesive removal device 11, 51 Adhesive removal tape 12, 52 Unwinding roll 13, 53 Winding Roll 14, 54 Press body 15 Photomask holding mechanism 21 Imaging mechanism 31 Chemical liquid supply nozzle 32 Chemical liquid for peeling 33 Chemical liquid recovery part 34, 35, 36 Roll 60, 70 Tape drive mechanism

Claims (10)

フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する装置であって、
前記フォトマスクを保持するフォトマスク保持機構と、
接着剤除去テープの背面を押圧体によって押圧することにより前記接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、
前記接着剤除去テープを供給するテープ供給機構と、
前記接着剤除去テープを回収するテープ回収機構と、
を備えており、
前記ペリクル接着剤を、剥離用薬液を含浸させた前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去装置。 An apparatus for removing pellicle adhesive remaining on a photomask,
A photomask holding mechanism for holding the photomask;
A tape pressing mechanism for bringing the principal surface of the adhesive removing tape into contact with the portion where the pellicle adhesive remains of the photomask by pressing the back surface of the adhesive removing tape with a pressing body;
A tape supply mechanism for supplying the adhesive removing tape;
A tape recovery mechanism for recovering the adhesive removal tape;
With
The pellicle adhesive removing apparatus, wherein the pellicle adhesive is attached to the adhesive removing tape impregnated with a peeling chemical and removed from the photomask. 前記フォトマスク保持機構が、
前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けて、前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項１に記載のペリクル接着剤除去装置。 The photomask holding mechanism is
2. The pellicle adhesive removing apparatus according to claim 1, wherein the photomask is held such that a surface of the photomask on which a mask pattern is formed is directed in a gravitational direction. 前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル接着剤除去装置。   The pellicle adhesive removing apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a chemical liquid impregnation mechanism for impregnating the adhesive removing tape with the peeling chemical liquid. フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する方法であって、
剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの背面を、押圧体によって押圧することにより、前記接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させ、前記ペリクル接着剤を前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去方法。 A method of removing pellicle adhesive remaining on a photomask,
By pressing the back surface of the adhesive removing tape impregnated with the chemical for peeling with a pressing body, the main surface of the adhesive removing tape is brought into contact with the portion where the pellicle adhesive remains on the photomask, and the pellicle A pellicle adhesive removing method, wherein an adhesive is attached to the adhesive removing tape and removed from the photomask . 前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けた状態で、前記ペリクル接着剤を前記フォトマスクから除去することを特徴とする請求項４に記載のペリクル接着剤除去方法。 5. The pellicle adhesive removing method according to claim 4, wherein the pellicle adhesive is removed from the photomask in a state in which a surface on which the mask pattern of the photomask is formed is directed in the direction of gravity . 前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、
前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項４または請求項５に記載のペリクル接着剤除去方法。 The exfoliating chemical is leached from the pressing body,
6. The pellicle adhesive removing method according to claim 4 or 5, wherein the adhesive removing tape is impregnated with the peeling chemical . 前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。 The pellicle adhesive removal method according to any one of claims 4 to 6, wherein the pressing body is slid on the back surface of the adhesive removal tape . 前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。 The pellicle adhesive according to any one of claims 4 to 7, wherein a position where the adhesive removing tape contacts the photomask is moved along a place where the pellicle adhesive remains. Removal method . 前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱することを特徴とする請求項４乃至請求項８のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。 The method for removing a pellicle adhesive according to any one of claims 4 to 8, wherein the pellicle adhesive remaining on the photomask is heated . 前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、
前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項４乃至請求項９のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。
 After contacting the main surface of the adhesive removing tape impregnated with the peeling chemical solution to the place where the pellicle adhesive remains on the photomask,
5. The main surface of the adhesive removing tape in a dry state not impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact with a portion where the adhesive removing tape impregnated with the peeling chemical solution is brought into contact. The pellicle adhesive removal method according to any one of claims 9 to 9 .
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