JP6548731B2 - 改善された熱荷重耐久性を示すフィードスルーエレメントまたは接続エレメント - Google Patents

Description

本発明は、一般にフィードスルーエレメントまたは接続エレメント、特に、一般に２６０℃を超える高い運転温度または非常時温度を示す過酷な環境を意味する厳しい運転条件下で特に使用することができる、高い熱荷重耐久性を示すフィードスルーエレメントまたは接続エレメントに関する。本発明で達成可能である好ましい上限は、約９５０℃、しかしながら特に１０００℃、１１００℃および／または１２００℃である。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、一般に、この技術分野で公知であり、かつ多くの装置に備えられている。通常では、このようなフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは導電体を含み、この導電体は、フィードスルー開口部内で絶縁材料によって固定されている。このようなフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの性能を表すパラメータは、主に、絶縁材料の電気抵抗、ならびに絶縁材料および／または導体をフィードスルー開口部から引き抜くことを傾向的に引き起こしかねない熱および圧力に対する耐久性である。

このようなフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、例えば電流を装置のハウジングを貫通して導くために、極めて良好に適した技術であるにもかかわらず、上述のパラメータは、このようなフィードスルーエレメントを備えた装置にとって考えられる適用分野をしばしば制限する。米国特許第５，２０３，７２３号明細書には、絶縁材料としてポリマー材料により取り囲まれている金属ピンから製造されているフィードスルーエレメントが記載されている。導電体を取り囲むポリマー材料の形状は、凹部および凸部、例えばショルダにより比較的高い圧力に耐えるために適している。記載されたフィードスルーエレメントは、石油掘削測定工具または測量工具のセンサ内の接続部を作り出すために使用され、かつ２６０℃を超える運転温度でかつ最大２８，０００ｐｓｉの圧力で使用することができる。使用したポリマーの体積抵抗率は、ほぼ８．０×１０¹⁴Ωｃｍであり、それにより優れている。しかしながら、このようなポリマーの長期間安定性は、このポリマーが比較的高い運転温度、電磁放射線、例えばＵＶ線またはガンマ線、および物理的摩耗に基づく機械的な劣化に曝される場合に時間と共に低下する。

絶縁材料としてガラスのような無機材料が取り囲むフィードスルーエレメントも公知である。米国特許第８，３９７，６３８号明細書は、例えば、金属支持体のフィードスルー開口部がガラス材料により封止されていて、このガラス材料が導電体としてのピンも保持するエアバッグ点火装置のフィードスルー装置を記載している。このようなフィードスルーエレメントは、点火装置が点火される場合に、１４５００ｐｓｉに相当するほぼ１０００ｂａｒの圧力を観測することがある起爆剤の圧力に耐えることが予定されている。絶縁材料の電気特性は記載されていないが、このガラス材料の電気的な体積抵抗率は重要な役割を担わないことを前提とすることができる、というのも点火装置は一回だけ短い電気インパルスで点火され、次いでこの装置は破壊されるためである。

先に出願されたが、本出願の優先権に関連する日にはまだ公開されていない、本出願の権利者の出願の独国特許出願公開第１０２０１４２１８９８３号明細書は、ガラスであってもよい絶縁性固定材料を記載している。この出願に述べられたガラスは、公知のように、非晶質材料であり、この中ではクリスタリットは望ましくない。ガラスセラミックの結晶化した領域は、通常では、異なるＣＴＥ（熱膨張係数）を示すため、非晶質ガラスマトリックス、結晶化した領域の濃度ならびにその特別なＣＴＥは、ガラスセラミック材料の全体のＣＴＥを合わせるために使用することができる。しかしながら、この先出願では、非晶質ガラス材料が、ガラスセラミック材料と同様に良好に適しており、かつ２６０℃ならびに３５０℃の温度範囲を挙げることも明確に述べられている。

しかしながら、頻繁に上述の温度範囲よりも大きい温度範囲が好ましい。

より大きな運転温度範囲を提供するという目的は、本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントにより、および特に独立請求項の主題によっても達成される。好ましい実施形態は、この従属請求項から、ならびに本出願の記述から明らかとなる。

発明者は、結晶化したまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスと高温合金との組合せが、極めて広範囲の、特に独国特許出願公開第１０２０１４２１８９８３号明細書に記載された温度範囲を遙かに超える運転温度範囲を提供する、抜群のＣＴＥ比率を提供することができることを見出した。少なくとも部分的に結晶化したガラスの概念は、この場合、一般に、ガラスを基礎とする少なくとも部分的に結晶化した材料を含む。これは、通常の理解に従って、体積中の結晶割合が５０％〜９０％であることができるガラスセラミックも、１００％まで、またはほぼ１００％まで結晶化している材料も、つまり体積中の結晶割合が１００％まで、またはほぼ１００％までの材料も含む。

特に、本発明のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、４２０００ｐｓｉを超える運転圧力および／または非常時圧力にも耐えることができる。したがって、このフィードスルーエレメントは、多様な適用において、特に、エネルギー発生のための反応器、例えば原子炉において、特にその格納部内で、またはその格納部を貫通するフィードスルーとして、ならびに坑内用途および／または探鉱用途での穿孔機において、ならびに毒性材料の安全な封入のため、ならびに宇宙船において使用することができる。したがって、原子炉の一次回路中でのフィードスルーとして、例えば、特に制御棒に電流を供給するための原子炉圧力容器を貫通するフィードスルーとしての適用が特に好ましい。

好ましくは、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、高温合金を含む支持体、好ましくは機能エレメントおよび少なくとも部分的に結晶化したガラスの複合体を備え、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、好ましくは機能エレメントの一部分と、支持体の一部分との間に、または支持体の少なくとも一部分の中に配置されていて、さらに、高温合金を含む支持体は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、少なくとも部分的に結晶化したガラス３に及ぼすように形成されている。この圧縮応力により、本質的に少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの範囲で温度上昇する際に、少なくとも部分的に結晶化したガラスから支持体の剥離は起こらず、かつ好ましくは、少なくとも部分的に結晶化したガラスの機能エレメントからの剥離は起こらないことが保証される。これは、例えば、付加的装置が、機能エレメントを機械的に確実に保持するようにした実施形態の場合に、極めて好ましい。少なくとも部分的に結晶化したガラスに及ぼされる圧力を、例えばフィードスルーエレメントまたは接続エレメントに配置されている、特に圧力を遮る他の機能ユニットによって低減する他の装置が存在する場合であっても極めて好ましい。

本発明によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、特別でかつ同様に好ましい実施形態において、例えば光学的信号、音響的信号および／または電磁的信号が、少なくとも部分的に結晶化したガラスの本体自体を通して案内される場合には、付加的な機能エレメントは必要とされない。このような場合、既に、少なくとも部分的に結晶化したガラスの適切でかつその都度の適用目的に合わせた厚みで、この少なくとも部分的に結晶化したガラスが、信号輸送にとって減衰するかまたは散乱するように作用したとしても、これを通して十分に強い信号を案内することができる。例えば、スペクトル測定は、熱的関係または所定の化学物質の存在についての情報を提供することができる。その時間的な挙動を、さらに、例えば加熱または反応速度論的事象を検知するために使用することができる。

例えば少なくとも部分的に結晶化可能なガラスの、それぞれ軸方向の両側に配置されている圧電アクチュエータおよび／またはセンサを用いて音響信号を、例えば海中の適用のために伝達することができる。

さらに、容量結合および／または誘導結合は、付加的にまたは択一的に、例えば制御動作および／または監視動作の際の信号輸送のために、複雑な信号波形の一方向または双方向のフィードスルーを可能にする。

熱荷重を伴う適用の場合、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスの更なる結晶化を行うことができるので、この結晶化度は、特に、特に温度負荷を受ける領域で局所的にさらに高まる。それにより、例えば非常時の備えの意味で、付加的な運転安全性を提供することができる。この場合、例えば数週間から数年の長期間運転の場合に伴う、結晶化の向上による不透明性または散乱挙動の変化を、さらに、長期間運転時に受ける熱荷重についての尺度として利用することができる。

高温合金を含む支持体は、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、さらに好ましくは少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、最も好ましくは少なくとも１０℃から９００℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、少なくとも部分的に結晶化したガラス３に及ぼす場合がさらに好ましい。したがって、この圧縮応力が維持される限り、例えば上述の対策によるかまたはこの説明の更なる過程で述べられる対策により、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントがこの温度範囲で気密であることを保証することができる。

特に好ましい実施形態の場合に、高温合金を含む支持体は、好ましくは少なくとも１０℃から、少なくとも部分的に結晶化したガラスの結晶化温度Ｔ_Kまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を及ぼし、この圧縮応力によりフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの気密性が損なわれないことをほぼ持続的に保証することができる。結晶化温度は少なくとも部分的に結晶化可能な多くのガラスの場合に、例えば従来の圧縮ガラス封止のために使用されたガラスの軟化温度よりも遙かに高いため、それによりかなり高い運転温度を実現することができる。本発明で達成可能な好ましい上限は、約９５０℃、しかしながら特に１０００℃、１１００℃および／または１２００℃である。

他の極めて重要な温度は反転温度である。この反転温度は、圧縮ガラス封止の場合に、金属支持体がガラス材料に及ぼす圧縮応力が、引張応力に反転する温度である。したがって、反転温度は、圧縮ガラス封止の最大運転温度の限度である、というのも、圧縮ガラス封止は、ガラス封止を損なうことなく引張応力を所定の僅かな範囲でだけ許容できるにすぎないためである。したがって、反転温度は、いわば、金属支持体とガラス材料からなる絶縁体との互いの熱膨張曲線の交点を表す。

本発明にとって、この反転温度は、この反転温度が、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造時に、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスがフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの支持体に密着しはじめかつこれに融着しはじめる温度ではなく、またはその温度である必要がないという更なる意味を有する、というのも、温度Ｔ_Kともいわれる結晶化温度は、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料が、支持体に融着し、かつ少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料が機能エレメントに融着する温度とは相違することができるためである。

結晶化温度と支持体に融着する温度が異なる場合には、反転温度がほぼ結晶化温度に一致する。例えばこの説明の更なる過程でより詳細に記載される他の装置により、機能エレメントに作用することができる機械的力が受け止められる場合には、運転温度は、反転温度まで、および次に記載するようにさらにそれを越えてまで実現することができる。この場合、最大運転温度は、±２０％の変動率でほぼフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの反転温度に相当することができ、この場合、反転温度は、支持体が少なくとも部分的に結晶化したガラス材料に及ぼす圧縮応力が値０になる温度でもあり、かつ最大運転温度は、例えば好ましい少なくとも部分的に結晶化したガラスの場合に、４５０℃を超えて、特に９５０℃までの、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、より好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までの範囲にある。

好ましい実施形態の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは９００℃を超える温度で、好ましくは９５０℃までまたはそれを超える温度で、約５％の変動率を除いて、１．０６より大きな係数Ｆ_CTEだけ、一般に、支持体の材料の熱膨張係数、およびこの支持体の材料が高温合金からなる場合には、高温合金の熱膨張係数ＣＴＥ_Hよりも小さい。支持体が高温合金と他の材料とからなる場合には、熱膨張係数ＣＴＥ_Hは、この他の材料と合わせた高温合金からなる支持体の材料の全体として生じる熱膨張係数を示す。支持体の材料として、例えばセラミック材料を、高温合金と複合して用いてもよい。この場合、さらに、熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、それぞれ存在する少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数を示し、かつしたがってこのガラス質相、ならびに全ての少なくとも部分的に結晶化したおよび結晶化した相、ならびにその組合せを含む。熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、温度の関数であってもよく、この値で、クリスタリットの割合の関数として変化してもよい。

好ましくは、係数Ｆ_CTEは、１．０６〜３．５の範囲の値を示す。これは、本発明の範囲内で好ましくは、支持体が少なくとも部分的に結晶化したガラスに及ぼす圧縮応力が、上述の温度範囲で、特に反転温度の直前までで、限られた変化幅で一定であるという効果を示す。したがって、支持体内での少なくとも部分的に結晶化したガラスの確実な保持は、最大の運転温度まで極めて良好に保証される。

意外にも、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、少なくとも１つの結晶相と、ガラス転移温度Ｔｇを示す少なくとも１つの非晶質残留相とを含む部分的に結晶化したガラスであり、ここでフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、運転状態でかつ／または故障時に、Ｔｇよりも高い温度に曝されている場合が好ましい。部分的に結晶化した材料は、意外にも、圧縮応力および／または特に周囲環境条件により、支持体から押し出されず、かつこの圧縮応力は維持されることが判明した。これは、特に、少なくとも部分的に結晶化したガラスからなる物体が変形しないかまたはほとんど変形しないことに基づくことが予想される。さらに、少なくとも部分的に結晶化した材料と、特に製造プロセスの際に、特に融封の際に生じる物体との間の化学結合が、耐圧性に寄与することができる。それにより、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスのガラス質相の軟化温度を大幅に超える運転温度範囲を実現することができる。少なくとも部分的に結晶化したガラスのガラス質相は、予想されたように、機械的安定性を提供することができないにもかかわらず、この場合に全く予想されなかった強度値を観察することができる。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの好ましい実施形態の場合に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントが、運転状態でかつ／または故障時に曝される温度は、６５０℃より高く、好ましくは７００℃〜１２００℃にあることができる。

特に好ましい実施形態の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、３５０℃の温度で１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料であり、かつこのガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基準としてモル％で示して：
ＳｉＯ₂ ２５〜５５
Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
ＭＯ ２０〜５０
Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
を含み、ＭＯは、単独でまたは全ての任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、単独でまたは全ての任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択される。

最も好ましい実施形態の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、次に記載する組成を示し、この体積抵抗率も同様に示されている：

上述の組成の全ての値は、酸化物を基準としてモル％で示されている。同様に好ましい態様は、記載された実施形態の相応する成分の含有率から計算して、個々の成分の±２０％の個別の変動率でこの組成に一致する。

別の好ましいフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、高温合金を含む支持体、機能エレメント、および少なくとも部分的に結晶化したガラスを含む複合体を含み、ここで少なくとも部分的に結晶化したガラスは、機能エレメントの一部分と支持体の一部分との間に配置されていて、かつ支持体に、他の機能ユニット用の固定装置が割り当てられている。

支持体に、他の機能ユニットが配置されていて、他の機能ユニットは、支持体に配置された固定装置に割り当てられている固定装置を含む場合、それにより多くの好ましい作用を達成することができ、かつ適用を実現化することができる。この機能ユニットは、例えば、少なくとも部分的に結晶化したガラス用の圧力遮断する作用、および機能エレメント用の保持力を提供することができる。

このために、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、支持体に配置された他の機能ユニットの固定装置は、支持体の固定装置と、材料結合および／または形状結合により接続されていてもよい。

さらに、支持体に配置された他の機能ユニットの固定装置は、好ましくは、固定装置と、溶接、金属はんだによるはんだ付け、金属はんだによる硬ろう付け、ガラスはんだ、ねじ、ロック、リベット締め、クリンプ、熱的収縮ばめ、化学結合、または介在するシーラント、特に金属シーラントにより結合されていてもよい。

特に好ましい実施形態の場合に、支持体に配置された他の機能ユニットは、鉱物絶縁（ＭＩ）ケーブルを含む。

特に好ましいフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、圧縮応力を結晶化したガラスに及ぼす高温合金を含む支持体は、支持体と結晶化したガラスとの界面を気密に封止し、かつ固定装置は、機能ユニットについての接続部を気密に封止する。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、機能エレメントが少なくとも１つの取り外し可能で接続可能な、特に差込接続可能なエレメントを備え、この機能エレメントに、これと接続可能な、他の構成ユニットの他のエレメントが割り当てられている場合、それによりフレキシブルなフィードスルー接続を互いに割り当てられた差込接続部の形で提供することができる。このような実施態様は、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントを、石油掘削装置および／もしくは天然ガス掘削装置もしくは探索装置において、またはハウジングを備えたエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置において、またはエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置もしくは反応器もしくは毒性材料および／もしくは有害材料の貯蔵装置の封入部において、特に反応器の格納部内のフィードスルー装置として、または反応器、特に原子炉の格納部を貫通するフィードスルー装置として、または宇宙船もしくは宇宙探査船において、またはセンサおよび／もしくはアクチュエータのハウジングにおいて使用することができる場合に特に好ましい、というのも、この大きな運転温度範囲は、熱的に変動する環境条件でも、例えば安全が重視される状況もしくは非常事態であっても、高い安全性を提供できるためである。これは、例えば、火災時でもまだ機能したままであり、かつそれにより相応する非常措置、例えば定義された停止、消火操作の実行、冷却の維持および／もしくは実行、または排気操作を可能にするセンサまたはアクチュエータであってもよい。

このために、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、少なくとも１つの取り外し可能で接続可能な、特に差込接続可能なエレメント、および差込接続可能なエレメントに割り当てられたエレメントが、適用目的に応じて、電流のための接続部、コネクタ−ソケット装置としての形状結合の導波管装置、光導波路用の接続部、または流体接続部を提供することができる場合が特に好ましい。同様に、取り外し可能な差込接続は、さらに、この接続の誤りによる解除および／または非常事態の場合の解除を阻止する引き抜き防御装置を備えていることが予定されていてもよい。

好ましい実施形態の場合に、少なくとも１つの固定部分が備え付けられた機能ユニットは、シース、導体シース、センサハウジングおよびアクチュエータハウジングを含む群からなるエレメントを有し、この場合、この機能ユニットの固定部分は、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの固定部分に割り当てられている。これにより、本発明による装置の使用領域は、極めてフレキシブルに形成され、かつ多数の技術的に好ましい適用および使用を実現することが可能である。

この機能ユニットの場合に、アクチュエータハウジングは、例えば固体の媒体および／または流体の媒体のための線形駆動部および／またはロータリー駆動部に割り当てられていてもよい。これにより、線形駆動部およびロータリー駆動部、ならびに流体の媒体のための駆動部、例えばポンプ、インペラ、開放型スクリュー、例えば水の場合にペルトン水車または高熱蒸気の場合にガスタービンを駆動的に制御することができ、かつこの挙動をセンサにより検知することができる。

センサによる検知のために、センサハウジングが、好ましくは光学センサ、電気センサ、特に誘導センサ、容量センサおよび／または圧電センサに割り当てられていてもよい。

機能ユニットの導体シースが、電気的接続部、電磁的接続部、特に導波管を含む高周波接続部および／または光学的接続部を取り囲むか、またはこの接続の一部を定義する場合、これにより可能になる接続およびフィードスルーにより、プロセス技術的に重要な制御過程および調節過程を、電気的および電子的制御装置の範囲でならびにオプトエレクトロニクス装置の範囲で、特に厳しい運転条件下でも可能にすることができる。

特に好ましい実施形態は、シースまたは導体シースが、電気的接続部、電磁的接続部、特に導波管を含む高周波接続部を取り囲むか、またはこの接続部の一部を定義する場合にもたらされ、この場合、鋼を含む導体材料と電気的導体、電磁的導体、または導波管との間に、鉱物質の絶縁材料、特に酸化マグネシウムが配置されていてもよい。

好ましくは、導体は、熱電素子または加熱素子を有していてもよい。

別の態様の場合に、機能ユニットは、好ましくは、機械的、電気的、および／または電気化学的エネルギー貯蔵装置を備えていてもよい。

特に、エネルギー発生装置、例えば大工業的エネルギー発生装置、または内燃機関で、この機能ユニットは、水素フィードスルーを備えていてもよい。

本発明により確実に可能となる高い運転温度に基づいて、このフィードスルーエレメントまたは接続エレメント、この種の機能ユニット、またはこれらの組合せは、極めて好ましく、石油掘削装置および／もしくは天然ガス掘削装置もしくは探査装置において、またはハウジングを備えたエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置において、または反応器のエネルギー発生装置もしくは貯蔵装置もしくは毒性物質および／もしくは有害物質の貯蔵装置の封入部において、または宇宙船もしくは宇宙探査船において、またはセンサおよび／もしくはアクチュエータのハウジングにおいて使用することができる。

好ましくは、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法は、
− 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、特に少なくとも部分的に結晶化可能なまたは部分的に結晶化したガラスを準備する方法ステップと、
− 内部容積を定義する支持体を準備し、この内部容積内に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの他の構成要素を収容するための空間が準備されている、方法ステップと、
− 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を、支持体の少なくとも一部分の中に配置する方法ステップであって、この支持体の少なくとも一部分は、支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、
− 好ましくは、機能エレメントを準備する方法ステップと、
− 好ましくは、機能エレメントを配置することにより、機能エレメントの少なくとも一部分が少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料により取り囲まれていて、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料と好ましくは機能エレメントとからなる装置は、少なくとも一部分が、支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、または
− 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料からなる装置は、少なくとも一部分が、支持体の内部容積の中に配置されて、方法ステップと、
− 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる装置を加熱する方法ステップとであって、この加熱は、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、支持体の少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつこの支持体に融着し、かつ、好ましくは少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、機能エレメントの少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ好ましくは機能エレメントに融着する、方法ステップと、
− 好ましくは、支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる装置の温度を調節する方法ステップであって、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を少なくとも部分的に結晶化させる、方法ステップと、
− 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および機能エレメントからなる装置を冷却する方法ステップと、
を含むことができる。

少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料の結晶化は、この場合、特に温度管理によって決定される。これは、特に好ましくは、自己結晶化する材料である。つまり、結晶化を引き起こすために、他の物質、例えば結晶核としての充填剤の添加は必要ない。

この種の方法の場合に、極めて好ましくは、支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および機能エレメントからなる装置において、結晶化可能なガラスが好ましくは、機能エレメントにも支持体にも融着する温度とは別の温度で、少なくとも支持体に融着し、少なくとも部分的に結晶化を行うことができる。この少なくとも部分的な結晶化により、少なくとも部分的に結晶化したガラスの機械強度を、多くの場合に本質的に改善することができる。上述の融着温度とは無関係な結晶化温度Ｔ_k（これは、文献中では時として球状温度（Sphaerischtemperatur）ともいわれる）の選択により、結晶化または少なくとも部分的な結晶化は、例えば、より高い温度で、短時間で実施することができ、これが、規則的により高い反転温度も引き起こす。

例えば比較的低い反転温度が達成される場合には、融着温度より低い温度での少なくとも部分的な結晶化を実施することも可能である。

さらに、残りのガラス質の割合が十分であり、それにより相応する方法による加熱の際に、少なくとも部分的に結晶化可能なおよび部分的に結晶化した出発材料が、形状結合により支持体の少なくとも一部分に当接し、かつ支持体に融着し、かつ少なくとも部分的に結晶化可能なおよび部分的に結晶化した出発材料が、好ましくは形状結合により機能エレメントの少なくとも一部分に当接し、かつ好ましくは機能エレメントに融着する限り、方法により使用された出発材料が既に少なくとも部分的に結晶化を示すことも可能である。

少なくとも部分的に結晶化したガラス、好ましくは機能エレメント、ならびに支持体のための適切な材料の組合せにおいて、運転温度は、例えば、少なくとも部分的に結晶化したガラスが、存在する限り機能エレメントならびに支持体から剥離を引き起こさずに、少なくとも部分的に結晶化したガラスの、好ましくは機能エレメントならびに支持体との、しかしながら少なくとも支持体との付着により、これらのエレメントの間の引張応力が可能である場合に、それどころか反転温度を超えるまで拡がってもよい。この運転温度は、ケルビンで測定された反転温度を十分に２０％まで超えてもよい。ケルビンで示すこの温度記述の他に、明細書および特許請求の範囲のそれ以外の他の全ての温度記述は、セ氏の値で記述されている。

好ましくは、さらに結晶化が増大する場合、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_G、ならびにその熱膨張係数は、結晶化温度Ｔ_kを超えて更なる温度範囲で一定に留まる。

好ましくは、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、温度Ｔ_Kは、４５０℃を超え、好ましくは５５０℃を超え、より好ましくは６５０℃を超え、さらに好ましくは７５０℃を超え、より好ましくは９００℃を超え、より好ましくは９５０℃を超え、最も好ましくは１０００℃を超える。本発明で、最大運転温度について達成可能である好ましい上限は、ほぼ９５０℃、特に少なくとも部分的に結晶化可能なガラスおよび好ましくは高温合金の選択に応じて、１０００℃、１１００℃および／または１２００℃である。

上述の最も好ましい熱的耐久性は、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法によって達成することができ、この場合、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、３５０℃の温度で、１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料を含み、かつガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基準としてモル％で示して、
ＳｉＯ₂ ２５〜５５
Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
ＭＯ ２０〜５０
Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
を含み、ＭＯは、単独でまたは全ての任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、単独でまたは全ての任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択される。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントのこの種の製造方法において、支持体が、１０℃から少なくとも温度Ｔ_Kまでの範囲で、少なくとも部分的に結晶化するガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gよりも大きい熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示す金属高温合金を含む場合、それにより、この温度範囲でゼロより大きいかまたは少なくともゼロに等しい圧縮応力を確実に維持することができる。

少なくとも部分的に結晶化した出発ガラスの選択に応じて、支持体、ガラス質の、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる装置の冷却の間に、支持体は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、さらに好ましくは少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、最も好ましくは少なくとも１０℃から９００℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも部分的に結晶化したガラスの場合に、４５０℃を超えて、特に９５０℃まで、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までの範囲で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、少なくとも部分的に結晶化したガラス３に及ぼすことができる。

発明者は、本発明によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントが、運転温度および／または故障時の温度が、持続的に、最も好ましくは使用された部分的に結晶化したガラス材料において結晶化した領域の他にまだ存在する残留ガラス相のいまだに存在する非晶質の領域の転移温度Ｔｇよりも高くてもよいことを許容することを知見した。Ｔｇを超える場合に、非晶質材料は、通常ではいわば軟質になる。本発明の場合に、結晶化した領域および／または結晶相が、いわば軟質の材料を、支持体によりこの材料に及ぼされる圧縮応力によっても、予見可能な運転条件および／または故障時条件によってもまだ支持体から押し出されないように支持することができる。

特に好ましい実施形態の場合に、それどころか、Ｔｇを超える運転温度および／または故障時温度で、部分的に結晶化したガラス材料が後結晶化され、それにより少なくとも部分的に結晶化したガラス材料の全体体積中の結晶質相の割合が高まり、かつ本発明によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、それにより運転の間および／またはそれどころか故障時の間に強化され、特にさらに負荷に耐えるようになることも可能である。

本発明を、次に、添付の図面を参照しつつ、かつ好ましい実施態様を参照しつつより詳細に説明する。

金属ケーブルシースを備え、鉱物材料で絶縁された少なくとも２つのケーブル（ＭＩケーブル）が、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントと互いに接続されている、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第１の実施形態の図式的に示した断面図である。 多様な金属、金属合金、特に金属高温合金について、および本発明による結晶化可能なまたは結晶化したガラスについての、温度の関数としての熱膨張係数ＣＴＥのグラフである。 支持体を備え、その支持体中にフィードスルーエレメントを取り囲むガラスが保持されている、従来の圧縮ガラスフィードスルーの図式的に示した断面図である。 温度の関数としてのガラスおよび鋼の相対的熱膨張を、温度の関数としての、この相対的熱膨張から生じる圧縮応力の表示と共に示すグラフである。 それぞれ温度の関数としての、本発明による好ましくは少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_G、ならびに実際の値および絶対値ＣＴＥ_Kだけずらされた値を示す、金属高温合金Inconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示すグラフである。 鉱物絶縁ケーブルがフィードスルーエレメントまたは接続エレメントに接続されている、ブッシュ状の差込式接続部を備えた、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第２の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。 フィードスルーエレメントまたは接続エレメントと材料結合および／または形状結合により気密に接続された機能ユニットを備えた、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第３の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。 鉱物絶縁ケーブルがフィードスルーエレメントまたは接続エレメントと接続されている、ブッシュ状の差込式接続部を備えた、格納部内で好ましくは気密に保持されている、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第４の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。 フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの機能エレメントが、流体接続用のフィードスルーを示す、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第５の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。 測定エレクトロニクスも、格納部内に配置された測定機器のセンサも、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントに接続されている、ブッシュ状の差込式接続部を備えた、格納部内で好ましくは気密に保持されている、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第６の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。 好ましい本発明による実施形態によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの２つを含む、ケーシングおよび封入部を備えたエネルギー発生装置の極めて簡素化して図式的に示した断面図である。

本発明の次の詳細な説明において、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスの概念は、熱的な作用によりガラス質相から、ガラス質相に加えてさらにまたはほぼ完全に、結晶化した相も存在する相に変換することができるガラスを含むべきである。特に、この概念は、いまだに結晶化されていない、部分的にまたは完全に、結晶化されているガラスセラミックも含むべきである。

次の説明で、多様な実施形態において、数について同じ符号は、それぞれ同じ機能の構成要素または構成成分を表す。逆のことが何ら言及されていない限り、全ての記述は、特にそれぞれ使用された材料についても、同じ符号を備えた構成要素についてと同様に、記載された全ての実施形態に当てはまる。

明確さおよび理解しやすさのためだけに、全ての図は、縮尺通りに示されていない。

次に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第１の実施形態の断面図が示されている図１を参照し、この図は、この第１の実施形態の場合に、２つの接続エレメントを備え、これらの接続エレメントは、それぞれ、全体として符号１または１′で表される。

それぞれの接続エレメント１、１′のほぼ円筒状の支持体２および２′は、この中に融封されたまたはこれに融着された、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化したガラス３および３′を取り囲み、このガラス３および３′内には、またそれぞれ２つの機能エレメント４ａ、４ｂ、もしくは４ａ′、４ｂ′が保持されている。機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′は、この実施形態の場合に、差込式コンタクトを定義し、この差込式コンタクトは、それぞれ金属コンタクトブッシュ５および６と噛み合っている。

さらに、図中に示されていない実施形態の場合に、機能エレメント４、４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′、３４は、それぞれ少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３、３′により機能的に形成されていてもよいか、またはこの少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３、３′により置き換えられていてもよく、かつ付加的な物体的なエレメントとしてではなく、少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３、３′自体により提供されていてもよい。

任意の図から、および本発明の他の開示から、当業者は、本発明の技術分野に関して、例えば結晶化可能なガラスの軸方向で両側に配置されたセンサおよび／またはアクチュエータを備えたこの種の変更された機能エレメントをどのように実現することができるかを推知する。

支持体２、２′は、この実施形態の場合に、それぞれ普遍性の制限なしに、耐熱性金属合金、または金属高温合金、例えばInconel 750からなる。

しかしながら、他の実施形態は、それぞれ適用目的および使用目的に関して、支持体の材料において、それぞれの材料の熱的使用範囲が取り巻く運転条件に適切となる限り、高温合金なしで済ませてもよい。

機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′は、普遍性の制限なしに、主にＮｉＦｅ合金またはＣＦ２５、ＦｅＣｏ合金からなり、これらの機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′は、次に詳細に説明されるように、それぞれ少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′内に埋め込まれているか、またはこのガラス３、３′内に融封されている。このように、それぞれ少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′は、機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′の一部分と支持体２、２′の一部分との間に配置されている。

コンタクトブッシュ５、６は、機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′とほぼ同じ材料からなっていてもよく、したがって、ほぼ同様にＮｉＦｅ合金またはＣＦ２５、ＦｅＣｏ合金からなっていてもよく、かつ絶縁性のほぼ円筒状のホルダ７内に保持され、このホルダ７は、両方の接続エレメント１、１′の間で、この接続エレメント１、１′により定義された空間内に配置されている。ほぼ円筒状のホルダ７は、耐熱性セラミックまたは少なくとも部分的に結晶化したガラス３を含むか、または耐熱性セラミックまたは少なくとも部分的に結晶化したガラス３からなる。

支持体２は、支持体２′に向いたその端部に、環状ショルダ８の形の半径拡大部を有し、この半径拡大部の端面側のフランジ面９に、例えばガス充填された環状管型ガスケットとしてまたは単結晶の金属ガスケットとして構成されていてもよい金属高温ガスケット１０が当接する。

金属高温ガスケット１０は、支持体２′の半径が拡大された端面１２に形成されている環状溝１１により保持されている。

ユニオンナット１３は、支持体２の環状ショルダ８に当接し、かつ支持体２′の半径拡大部の雄ねじ１５と噛み合う雌ねじ１４を備える。ねじ１４および１５により、両方の支持体２および２′は、互いに機械的に強固に保持されていて、かつ高温ガスケット１０に、支持体２および２′の間の連続運転に耐える気密な封止を生じさせることを保証する力が加えられる。

これにより、取り外し可能で接続可能、特に差込接続可能なエレメントとして構成された機能エレメントが提供される。

支持体２の、図１では左側のまたは底側の端部に、通路開口部１６が形成されていて、この通路開口部１６内に、高温耐久性の鉱物絶縁された、好ましくは酸化マグネシウムで絶縁されたケーブル（ＭＩケーブル）１８の、好ましくは鋼または鋼合金からなるケーブルシース１７が突き出る。鉱物絶縁ケーブル１８は、溶接接続部または硬ろう接続部１９により、連続運転に耐えるように気密に、かつ支持体２に機械的に強固に配置されている。

支持体２′の、図１では右側のまたは底側の端部に、通路開口部２０が形成されていて、この通路開口部２０内に、高温耐久性の鉱物絶縁された、好ましくは酸化マグネシウムで絶縁されたケーブル（ＭＩケーブル）２２の、好ましくは鋼または鋼合金からなるケーブルシース２１が突き出る。鉱物絶縁ケーブル２２は、溶接接続部または硬ろう接続部２３により、連続運転に耐えるように気密に、かつ支持体２′に機械的に強固に配置されている。

この上述の態様により、機能エレメント４ａ、４ｂ、４ａ′、４ｂ′におよび少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′には、支持体２、２′の外側から、ほぼ力の作用はなく、かつ支持体２、２′の外側と内側との間の圧力差も、機能エレメント４ａ、４ｂ、４ａ′、４ｂ′におよび少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′にほぼ影響を及ぼさないことを保証することができる。

それにより、それぞれ支持体２、２′、機能エレメント４ａ、４ｂ、４ａ′、４ｂ′および少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′からなる複合体は、その運転温度範囲内で、ほぼ（これは、温度差による生じる支持体２、２′の内圧の変化、および熱膨張差により生じる剪断力または引張力を除くことを意味する）、ほとんど高められた機械的負荷ならびに圧縮負荷に持ちこたえる必要がない、というのもそれぞれ支持体２、２′内に配置された機能エレメント４ａ、４ｂ、４ａ′、４ｂ′、および少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′は、上述の配置により、支持体２、２′の外側に対して気密に密封され、かつ機械的影響に対して保護されているためである。

それぞれ圧着接続部２８、２９および３０、３１によって、または硬ろうによって、機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′と接続されている鉱物絶縁ケーブル１８の銅導体２４および２５、ならびに鉱物絶縁ケーブル２２の銅導体２６および２７も、全体の運転温度範囲にわたり、その熱膨張挙動によって、極めて僅かな引張力または剪断力を、機能エレメント４ａ、４ｂおよび４ａ′、４ｂ′に及ぼすだけであり、この引張力または剪断力は、感じとれるほどの機械負荷を引き起こさず、それにより少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′に対するそれぞれの結合の気密性を損なう破断は引き起こさない。

この種の装置は、本質的により高い運転温度を提供することができる、というのも、少なくとも部分的に結晶化したガラスにより施されるべき保持力は、本質的により僅かでなければならず、特に高温領域中で極端な引き抜き力または極端な衝撃に耐える必要がないためである。

この図中に示されていない、１つの支持体および１つの少なくとも部分的に結晶化したガラスの複合体を備えたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの好ましい実施形態の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、支持体の一部分の中に配置されていて、かつ既に少なくとも部分的に結晶化可能なガラスは、これを通して音響的および／または電磁的信号の輸送を信号伝達のために十分に提供する。

極めて意外にも、従来の圧縮ガラス封止されたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントと比べて、著しい改善が生じた。特に、意外にも、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは部分的に結晶化したガラス３、３′の反転温度を超えるまでの運転温度を達成することができた。上述の、および次にさらに詳細に説明される別の好ましい実施形態の場合に、意外にも運転温度は１０００℃を超えるまでに達した。本発明により達成可能である好ましい上限は、約９５０℃、しかしながら、特に１０００℃、１１００℃および／または１２００℃である。

例示的に図３に示されているような従来の圧縮ガラス封止の場合には、金属の、好ましくは鋼からなる支持体３２の内部に、ガラス３３が、この支持体３２に融着するように収容されていて、かつ同様にこのガラス３３に機能エレメント３４が融着され、かつ、ここでは、本発明の実施形態の場合でも機能エレメントとして使用可能であるような円筒状の管を、特にヘリウム、水素、熱ガスまたは液体、例えば冷媒のために、流体通路接続として保持する。

図４は、市場で入手可能な従来の圧縮ガラス封止についての、温度の関数としての、ガラス３３の相対的熱膨張の曲線３５、および支持体３２の鋼の相対的熱膨張の曲線３６を示すグラフを示す。これらの曲線は、約３５０℃で交差し、これが概してガラス封止温度に相当することが認識できる。この温度は、先行技術から公知の反転温度に相当する。

図４のグラフの下側部分には、この相対的な熱膨張から生じる圧縮応力および引張応力が、同様に温度の関数として曲線３７で表されている。

曲線３５と３６とが交差する温度、つまり反転温度より上で、圧縮応力が引張応力に移行することが明らかに認識でき、この引張応力が支持体３２、ガラス３３および機能エレメント３４からなる複合体に力を及ぼし、この力が、複合体の破断および複合体の気密性の損傷を引き起こしかねず、それにより、いずれにせよ、このフィードスルーエレメントの連続運転に耐える確実な運転温度を、明らかに３５０℃を下回る値に制限する。

発明者が見出したように、鋼の代わりに高温合金または少なくとも耐高温性金属素材を支持体２のために使用する場合、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスは、本質的により高い温度で、支持体内部で、その支持体に、および機能エレメント４に融着し、かつこの状態でそれどころか結晶化させることができる。

支持体２、２′のために適した素材を次に議論するために、図２を参照する。図２は、多様な金属、金属合金、特に金属高温合金について、および材料１についての表に従う結晶化可能なまたは結晶化したガラス（これは以後、図２に示すように好ましい少なくとも部分的に結晶化可能なガラスとも、または材料１ともいう）についての、温度の関数としての、熱膨張係数ＣＴＥのグラフを示す。

支持体と、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスとの相互作用をより良好に理解するために、まずこれについて好ましい素材を挙げる。

好ましくは、少なくとも部分的に結晶化したガラス３、３′は、３５０℃の温度で１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料を含み、かつこのガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基準としてモル％で示して、
ＳｉＯ₂ ２５〜５５
Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
ＭＯ ２０〜５０
Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
を含み、ＭＯは、単独でまたは全ての任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、単独でまたは全ての任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択される。

特に好ましくは、少なくとも部分的に結晶化したガラスは、次に記載する組成を示し、この体積抵抗率も同様に示されている。

この材料１の上述の組成の全ての値は、酸化物を基準としてモル％で示されている。

この少なくとも部分的に結晶化可能なガラスまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、図２のグラフにおいて、同様に、本発明により含まれるガラスの値として記載されている。

図２のグラフから、耐高温性素材のいくつかの僅かなものだけが、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gよりも大きく、したがって、全体の運転温度にわたり圧縮応力を少なくとも部分的に結晶化可能なガラスまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスに及ぼす熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示すことを認識することができる。

まず、ＣＴＥが、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１、１′の全体の運転温度範囲にわたり、少なくとも部分的に結晶化したまたは結晶化可能なガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gよりも大きい全ての素材（これは、以後高温合金ともいわれる）が適している。本発明の意味範囲の高温合金とは、特に、少なくとも部分的に結晶化したガラスに圧縮応力を及ぼすことができるために、４５０℃を超える、特に７００℃を超えるまたは９００℃を超える、本発明において予定された運転温度で十分に靭性である金属素材であると解釈される。

より一般的に、かつ他の適した結晶化可能なガラスおよび支持体用の素材を考慮して、次の供述を行うことができる。

少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは９００℃を超える温度で、好ましくは９５０℃を超える温度で、約５％の変動率を除いて、１．０６よりも大きい係数Ｆ_CTEだけ、高温合金の熱膨張係数ＣＴＥ_Hよりも小さくあるべきである。

一般に、係数Ｆ_CTEは、１．０６〜３．５の範囲にあるのが好ましい。

支持体２、２′用の特に好ましい素材は、Inconel 690であり、この熱膨張係数ＣＴＥ_Hは、図２のグラフでは、全体の温度範囲にわたり、最も高い値を示し、かつ意外にも、材料１についての表に従うガラスによって、このガラスが約８７０℃の温度でInconel 690からなる支持体２、２′に密着しかつこの支持体２、２′に気密に融着することができるほど良好な濡れが可能となり、ここでこの過程は、ガラス封止ともいわれ、かつこの温度はガラス封止温度ともいわれる。

発明者は、フィードスルーエレメントおよび接続エレメントのここに記載された実施形態にとって優れた特性は、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスの結晶化が、その融着温度、つまり少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が支持体の少なくとも一部分に形状結合により当接し、かつ支持体に融着し、ならびに少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、好ましくは機能エレメントの少なくとも一部分に形状結合により当接し、かつ好ましくは機能エレメントに融着する温度で行われない場合に生じることを見出した。好ましくは、結晶化温度Ｔ_kは、融着温度よりも高く、例えば９５４℃であることができる。結晶化温度Ｔ_kは、例えば８７０℃での融着温度にもかかわらず、１０００℃を超えていてもよく、例えば結晶化温度Ｔ_kは、特に９５０℃までであってもよく、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までであってもよい。

少なくとも部分的に結晶化可能なガラスの出発材料の適切な選択の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、数℃であることができる温度範囲内で反転温度を超える温度でもまだ一定であることができる。

例示的な結晶化時間は、１時間より長い範囲で、例えば２時間であってもよい。

表による材料１の少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gの値、および金属高温合金のInconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hの値は、垂直方向にずらされて、温度の関数として、グラフ中で、約９５０℃の材料１のガラスの結晶化温度で交差するように表されている場合に、圧縮応力および引張応力に関して図４で議論した供述と同様の供述が得られる。

図５は、金属高温合金のInconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hの実際の曲線３８、材料１について表に従う少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gの曲線３９、および金属高温合金Inconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hの、絶対値ＣＴＥ_Kだけ低い値にずらされた値の曲線４０を、それぞれ温度の関数として示すグラフを示し、この場合、値ＣＴＥ_Kは、材料１についての表に従う結晶化したガラスの約９５０℃の結晶化温度での、金属高温合金Inconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示す。

全体の図５で確認可能な、約５０℃から８５０℃を超える運転温度にわたり、Inconel 690を含む高温合金の圧縮応力は、結晶化したガラスに確実に及ぶことができることを認識することができる。

特に、ここに記載された実施形態について、例えば上述の記載に該当するような、外部の機械的力および外部の圧力の印加に対して遮断するために適切な措置は、それどころかさらに高い運転温度を達成することができ、つまり反転温度よりも２０％を超えるまでの温度を達成することができることが判明した。

少なくとも部分的に結晶化したガラスは、この結晶化の後に、その熱膨張係数がほぼ一定であるＣＴＥ_Kを超える別の温度範囲を示すため、９００℃を超える、それどころか約１０００℃までの運転温度、および少なくとも部分的に結晶化可能なガラスおよび支持体の高温合金の選択に応じて、それどころか１０００℃を超える運転温度も実現することができる。最大運転温度は、４５０℃を超え、特に９５０℃まで、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、より好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までの範囲にあることができる。好ましい場合に、運転温度は、結晶化したガラスの軟化温度まで、またはそれどころか溶融温度までに拡がる。これは、念のために述べるが、全体の系の特性である。記載されたように、存在する非晶質の残留ガラス相は、全く低い軟化温度を示すことができる。

ここに記載された実施形態のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造のために、例えば、次に記載する方法が適している。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法では、
− 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、特に結晶化可能なガラスを準備する方法ステップと、
− フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの他の構成要素を収容するための空間が提供されている内部容積を定義する支持体を準備する方法ステップであって、この内部容積は、円筒状の支持体２、２′の少なくとも一部、または次に記載する実施形態の支持体の内部空間の一部である、方法ステップと
− 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を、支持体の少なくとも一部分の中に配置する方法ステップであって、この支持体の少なくとも一部分は、支持体の内部容積の中に配置されており、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスは、物体の形で提供され、この物体は、ほぼ形状結合して支持体２、２′および次に記載される実施形態の支持体中に導入可能であり、かつほぼ形状結合して機能エレメント４または機能エレメント４ａ、４ｂ、４ａ′、４ｂ′を取り囲む、方法ステップと、
− 好ましくは、機能エレメントを準備する方法ステップと、
− 好ましくは、機能エレメントを配置することにより、機能エレメントの少なくとも一部分が、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料により取り囲まれていて、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料と好ましくは機能エレメントとからなる装置は、少なくとも一部分が、前記支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、
− 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる装置を加熱する方法ステップであって、この加熱は、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が支持体の少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ支持体に融着し、かつ少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、好ましくは機能エレメントの少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ好ましくは機能エレメントに融着する、方法ステップと、
− 好ましくは、支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および機能エレメントからなる装置の温度を調節する方法ステップであって、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を少なくとも部分的に結晶化させる、方法ステップと、
− 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および機能エレメントからなる装置を冷却する方法ステップと、
が実施される。

この場合、この加熱は、ガラス質の、少なくとも部分的に結晶化可能な、または少なくとも部分的に結晶化した出発材料が、支持体の少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ支持体と融着し、かつガラス質の、少なくとも部分的に結晶化可能な、または少なくとも部分的に結晶化した出発材料が、好ましくは機能エレメントの少なくとも一部分にも形状結合するように当接し、かつ好ましくは機能エレメントに融着する温度まで行われる。

好ましくは、この温度により、ガラス質の出発材料が少なくとも部分的に結晶化し、かつ部分的に結晶化したガラスになり、かつここで支持体が、ほぼゼロの圧縮応力を少なくとも部分的に結晶化したガラスに及ぼす温度Ｔ_Kも定義される必要はない。

温度Ｔ_Kが、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が支持体に融着し、かつ少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が機能エレメントに融着する温度とは異なる場合、このことから、特に上述の融着温度よりも本質的に高い結晶化温度および反転温度も許容する方法管理で更なる自由度が生じる。それにより、従来の圧縮ガラス封止と比べて本質的に高められた運転温度を達成することができる。

好ましくは、結晶化温度Ｔ_kは、８７０℃の融着温度にもかかわらず、例えば９４５℃であることができる。結晶化温度Ｔ_kは、例えば８７０℃での融着温度にもかかわらず、１０００℃を超えてもよく、例えばこの結晶化温度Ｔ_kは、特に９５０℃までであり、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、より好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までであってもよい。

本発明により達成可能であるこの好ましい上限は、ここに記載された方法の場合に、主に少なくとも部分的に結晶化可能なガラスおよび支持体２の高温合金のそれぞれ相応する選択によって達成することができる。

多様な少なくとも部分的に結晶化可能なガラスについて、温度Ｔ_Kは、４５０℃を超え、好ましくは５５０℃を超え、より好ましくは６５０℃を超え、さらに好ましくは７５０℃を超え、最も好ましくは９００℃を超え、ここで、それぞれの保持時間により、相応する結晶化度が調節される。

先に記載されたように、好ましい、この方法の場合に使用される少なくとも部分的に結晶化したガラス３は、３５０℃の温度で１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化可能な材料を含み、かつこのガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基礎としてモル％で示して、
ＳｉＯ₂ ２５〜５５
Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
ＭＯ ２０〜５０
Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
を含み、ＭＯは、個々にまたはそれぞれ任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、個々にまたはそれぞれ任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択され、かつ支持体は、１０℃から少なくとも温度Ｔ_Kの範囲で、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gよりも大きな熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示す金属高温合金を含む。

上述の少なくとも部分的に結晶化可能なガラス、および材料１において、その主成分は、ウォラストナイト、二酸化ジルコニウムおよび透輝石を含む。ウォラストナイトの熱膨張係数ＣＴＥは、ガラス相に類似し、ＺｒＯ₂の熱膨張係数ＣＴＥは、より高い。

好ましくは、この方法の場合、支持体２、少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３、および機能エレメント４からなる装置の、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスが少なくとも部分的に結晶化する温度の調節の際に、９５０℃の温度を選択し、かつこの温度を、冷却を導入する前に２時間の期間にわたり維持し、残留するガラス質相に対して相対的に７５％を超える質量％の結晶の割合を得ることが好ましい。

特に好ましくは少なくとも部分的に結晶化可能なガラスについて述べたかまたは材料１の組成を示す、結晶化したまたは少なくとも部分的に結晶化したガラス、は、最も意外な特性を示す。

図２からは、６５０℃をいくらか超える温度で、ほぼ６７０℃で、温度の関数としての熱膨張係数の推移における段階を認識することができ、この段階は、特に材料１の組成を示すかまたは好ましい少なくとも部分的に結晶化可能なガラスについて記載されたような範囲で表される組成を示す少なくとも部分的に結晶化したガラスのガラス温度Ｔｇにある。この段階は、残留ガラス相に要因があると見なされ、この残留ガラス相は、結晶化温度および最大運転温度で、Ｔｇを遙かに上回り、かつガラス質相は、固体の形ではなく、特に液状の形で存在することを示す。

それにもかかわらず、最も意外にも、先に記載された圧縮応力は、先に記載された温度範囲で維持され、かつ軟質の残留ガラス相は押し出されず、圧縮応力によっても、外部作用でも押し出されない。

図２のデータに基づいて、図５において符号３９を備えた熱挙動によって、本発明による目的にとって、ガラス温度Ｔｇを超えて十分な強度は達成できないであろうことを推測することができるであろう。

この方法の場合に、支持体、ガラス質の、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる装置の冷却の間に、素材および結晶化度の選択に応じて、支持体は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、さらに好ましくは少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、最も好ましくは少なくとも１０℃から９００℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、少なくとも部分的に結晶化したガラス３に及ぼす。

この冷却の後に、この圧縮応力は、支持体、少なくとも部分的に結晶化したガラス、および好ましくは機能エレメントからなる複合体中に、持続的にかつ連続運転に耐えて維持される。

このように製造されたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、特に、最大運転温度は、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントのほぼ反転温度に、±２０％の変動率で一致し、ここで、上述の方法管理で、この反転温度は、支持体が少なくとも部分的に結晶化したガラス材料に及ぼす圧縮応力が、値０を採る温度であり、かつ最大運転温度は、４５０℃を超える、特に９５０℃まで、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までの範囲にある。

機能エレメントについての素材として、上述のＮｉＦｅ合金またはＣＦ２５の他に、ＦｅＣｏ合金、特にベリリウム−銅合金、KovarまたはInconel、例えばInconel 690、Inconel 625等が適している。

次に、同様に本発明の方法により製造可能である更なる好ましい実施形態が記載される。

フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第２の実施形態の極めて図式的に示した断面図を示す図６を参照し、ここで、機能エレメント４は、ブッシュ状の差込式接続部４１を含む。

全体が符号１で示されるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、上述のような高温合金を含む支持体２、機能エレメント４、および少なくとも部分的に結晶化したガラス３を備えた複合体を備え、ここで、少なくとも部分的に結晶化したガラス３は、機能エレメント４の一部分４２と、支持体２の一部分４３との間に配置されている。

第１の上述の実施例とは異なり、少なくとも部分的に結晶化したガラス３の外周は、この実施形態の場合に、円筒ではなく、半径方向で先細になる形状を採り、この形状は、多くのここに記載されたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントによって密に詰められた装置において、これは、例えば次に図８を参照しながら詳細に記載されたように、格納部用のフィードスルーとして使用される場合および近い関連で他の接続部が製造される場合に利点を提供する。

このブッシュ状の差込式接続部４１の反対の端部では、この機能エレメント４は、硬ろう接続部４４によって、鉱物絶縁ケーブル４６の銅導体４５と接続されている。

支持体２には、この場合、鉱物絶縁ケーブル４６のために、他の機能ユニット用の固定装置４７が、雌ねじ４７の形で割り当てられていて、この雌ねじ４７は、支持体２の下端部に形成されていて、かつこの雌ねじ４７内に、好ましくは耐熱性絶縁材料５１として酸化マグネシウムで絶縁されたケーブル４６のケーブルシース５０のスリーブ末端部４９の雄ねじ４８が形状結合するように噛み合っている。

スリーブ末端部４９は端面で、例えばガス充填された環状管型ガスケットとしてまたは単結晶の金属ガスケットとして構成されていてもよい金属高温ガスケット５３を、支持体２の環状ショルダ５４に対して押圧し、それにより、フィードスルーエレメントおよび接続エレメント１と鉱物絶縁ケーブル４６との間に機械的に強固な接続ばかりか、気密な接続が形成される。

他の、支持体２に配置された、鉱物絶縁ケーブル４６が取り囲む機能ユニットに割り当てられていて、かつ固定装置として支持体２に割り当てられている雌ねじ４７とねじ止めされている雄ねじ４８として形成された固定装置の代わりに、他のまたは別の形状の固定、例えば溶接、金属はんだによるはんだ付け、金属はんだによる硬ろう付け、ガラスはんだ、ねじ、ロック、リベット締め、クリンプ、熱的収縮ばめ、化学結合を使用してもよい。

鉱物絶縁ケーブル４６の導体４５は、所定の適用のために、好ましくは銅導体４５の代わりにまたは銅導体４５に対して付加的に、熱電素子または加熱素子を備えていてもよい。

ブッシュ状の差込式接続部４１に隣接する端部に、支持体２は、また別の、図６には示されていない構成ユニットのための固定装置を、雌ねじ５５の形で備える。

このような他の構成ユニットは、ほぼ円筒状のホルダ７およびその中に配置されたコンタクトブッシュ６を備えた、図１に示した装置を、軽度に変更した構成形状として備えていてもよく、かつ雌ねじを備えたユニオンナット１３とは別に、相応して変更されるが、図６には示されていない雄ねじを備えたユニオンナットが、接続エレメント１との機械的に強固な接続のために使用されていてもよい。この場合に、支持体２の内部空間は、図１に示されたものよりも大きいため、円筒状のホルダ７の直径も同様に、これに対して相応して拡大されていてもよい。

これにより、差込接続可能なエレメント４１が提供され、この差込接続可能なエレメント４１に、他の構成ユニットの、これと接続可能な他のエレメント６が割り当てられている。この種の装置は、高い機械的および熱的負荷が生じるが、雰囲気的な圧力負荷を期待することができない使用領域で有用であることができる。

次に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントと材料結合および／または形状結合するように気密に接続した機能ユニット５６を備えた、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１の第３の実施形態の極めて簡素化して図式的に示した断面図を示す図７を参照する。

機能ユニット５６は、ハウジング５７を備え、ここで、ハウジング５７の雄ねじ４８の下方に、金属高温ガスケット５９用のシール面５８が形成されていて、このシール面５８は、その対峙する端部で、支持体２の環状ショルダ６０に対して気密に押圧している。

機能ユニット５６のハウジング５７は、ねじ止めにより支持体２に取り付けることができ、この場合、円筒状のコネクタ−ブッシュ装置６１は、ねじ止めの際に生じるねじれを許容するように構成されている。

この場合、結晶化したガラス３に圧縮応力を及ぼす、高温合金を備えた支持体２は、支持体２と結晶化したガラス３との間の界面を気密に封止し、かつ雌ねじ４７、雄ねじ４８、環状ショルダ６０、金属高温ガスケット５９およびハウジング５７のシール面５８を備えた固定装置は、ハウジング５７を備えた機能ユニットに対する接続部を気密に封止する。

この実施形態の場合に、ハウジング５７用の少なくとも部分的に結晶化したガラス３′は、使用する必要がないが、他の、次にさらに説明する使用の場合には好ましいことがある。

ハウジング５７がセンサハウジングおよび／またはアクチュエータハウジングとして構成されている場合、このハウジング５７は、図７中の単なる図式的な描写とは大きく異なる形状を採ることができ、この形状はそれぞれの条件に合わせることができる。

アクチュエータハウジングとして、ハウジング５７は、例えば固体の媒体および／または流体の媒体のための線形駆動部および／またはロータリー駆動部に割り当てられているかまたはこれらの駆動部を囲むことができる。

センサハウジングとして、ハウジング５７は、光学センサ、電気センサ、特に誘導センサ、容量センサおよび／または圧電センサに割り当てられているかまたはこれらのセンサを囲むことができる。

単に図式的に、このセンサおよび／またはアクチュエータは、図７中では符号６２を備えた構成ユニットにより認識することができる。

センサまたはアクチュエータの代わりにまたはこれに対して付加的に、ハウジング５７内に１つまたは多数のエネルギー貯蔵装置が、例えば、臨界的なまたは潜在的に危険を伴う環境の場合に非常電源供給部として配置されていてもよい。

次に、格納部６３内に気密に保持されている、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第４の実施形態の極めて図式的に示した断面図を示す図８を参照する。この格納部は、設備のカバーの一部であってもよく、この設備内に例えば毒性物質が存在する。

例えば、この実施形態も、ブッシュ状の差込式接続部４１を示し、鉱物絶縁ケーブルがフィードスルーエレメントまたは接続エレメントに接続されていているが、このケーブルは、支持体に対して気密に封止されている必要はない、というのもこのガスケットは、次に詳細に記載するように、支持体２との接続部で格納部６３によって提供されるためである。

環状ショルダ６４によって、この実施形態の場合に金属格納部６３の放射対称状の切欠６５内に支持体２が配置されていて、かつ溶接接続部または硬ろう接続部６６により、格納部６３に機械的に強固に保持されるばかりか、気密にも保持されている。

これとは別に、僅かな変更を行った適用の場合に、ナット７０は、金属高温ガスケット６７を、支持体２の環状ショルダ６４と格納部６３の放射対称状の切欠６５との間で気密に押圧することができる。

図７に示したハウジング５７の雄ねじ４８を、この実施形態の支持体２の雌ねじ５５内にねじ込み可能に相応して寸法決定する場合、このハウジング５７は、他の構成ユニットとして、フィードスルーエレメント１にねじ止めにより取り付けることができる。この使用の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラス３は、ハウジング５７を、ハウジング５７の外側に対して気密に封止し、かつ上述の方法によってハウジング５７内に、支持体２について記載されたように取り付けられていてもよい。

図９を参照して、次に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの第５の実施形態の顕著に図式的に示した断面図が記載され、この場合、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１の機能エレメントは、流体接続部６８のためのフィードスルーまたは電磁的導波管６８を示す。

この実施形態の場合に、中空円筒６９として形成された機能エレメント４に、例えば硬ろう接続部７１によって、他の円筒状のシースが取り付けられていて、この円筒状のシースは、鋼からなり、かつ流体接続部６８、または例えば電磁放射線用の、特に高周波接続用の電磁的導波管６８であることができる。さらに、この装置中には、光学接続が光導波路の形で配置されていてもよいか、または導波管６８の反射性内部がこの接続の一部を定義してもよい。

上述の流体接続部は、特にエネルギー発生装置でのまたは内燃機関での水素フィードスルーを備えてもよい。

図１０中には、格納部６３中に、好ましくは気密に保持されていて、機能エレメント４のそれぞれの端面に、例えばコネクタ−ブッシュ装置６１の一部としてブッシュ状の差込式接続部を備えた、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１の第６の実施形態の大幅に簡素化して図式的に示した断面図が示されている。

この実施形態の場合に、測定エレクトロニクス７２は、格納部６３の外側に存在する他の構成ユニットのハウジング５７内に配置されている。それにより、この測定エレクトロニクスは、格納部６３の内部に場合により生じる放射線とはほぼ無関係に運転することができる。

格納部の内側に配置されたセンサ６２は、そのハウジング５７により、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１に接続されていて、この装置により、非常事態または故障事態でも、確実に運転されかつセンサ測定値を格納部６３の内部から提供できる測定機器が提供されている。

この種の測定機器は、耐高温性であり、この格納部６３中に配置された構成要素により少なくとも故障安定性であり、高温で高い電気的絶縁抵抗を提供し、かつ極端に高い温度の場合でさえも、長い耐用時間を提供する。

この場合、好ましくは少なくとも部分的に結晶化可能なガラスの、極めて高い温度の場合でさえも提供される高い抵抗が特に好ましい。この実施形態の場合に示されるように、さらにここに記載された実施形態も、GOST R 53310-2009 「ELECTRICAL PENETRATIONS, HERMETIC INPUTS AND FEEDTHROUGHS OF POWER RAILS」で要求された値を連続運転に耐えて確実に凌駕する電気抵抗値を示す。

上述のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント１は、一般に、故障時に高い安全性を示し、例えば、１８０〜２００℃で１０ｂａｒの蒸気圧に耐える、蒸気故障時についての安全要件を確実に満たすことができる。少なくとも７２時間の間の７００℃の熱的一定負荷の炉心溶融の期待される負荷も、上述のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントは確実に耐える。

さらに、このフィードスルーエレメントまたは接続エレメント１は、例えば煙道ガス試験のような火災発生時用の相応する安全規定も満たす。これは、GOST 30247.0-94のR 120/EI 60の値を達成し、かつ明らかに改善された特性によりさらに上回る。

次に、全体で符号７３を備えたエネルギー発生装置の極めて簡素化して図式的に示した断面図を示す図１１を参照する。エネルギー発生装置７３は、ハウジング７４および封入部７５を備える。ハウジング７４も、封入部７５も、本発明の実施形態のこの明細書の意味範囲で、格納部６３を形成し、それにより上述のフィードスルーまたは接続を提供するために、それぞれフィードスルーエレメントまたは接続エレメント１が使用される。好ましい実施形態の場合に、これらのフィードスルーエレメントまたは接続エレメント１は、鉱物絶縁（ＭＩ）ケーブル１８により互いに接続されている。特に、接続エレメント１は、反応器の一次回路中でのフィードスルー、特にここに示されるように、例えば制御棒に電流を供給するための原子炉圧力容器を貫通するフィードスルーを提供するために適している。

さらに、他の好ましい実施形態は、好ましくはガラス表面に直接取り付けられている、半導体チップを含むセンサエレメントを含む。

特に好ましい実施形態は、例えば、支持体２の熱膨張係数よりも低い熱膨張係数を示す測定ブリッジおよび／または膜を備えたホイートストン圧力センサ、ならびにこのセンサの下方に存在する、少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３中の貫通開口部を含み、この貫通開口部を通して差圧がセンサによって測定可能である。

このセンサによる実施形態の場合、高い絶縁能力により、測定を誤らせる漏れ電流を抑制するか、またはそれどころか完全に阻止することができる少なくとも部分的に結晶化可能なガラス３の電気特性も好ましい。

上述のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント１は、従来のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの故障時に、ヒトおよび装置にとってかなりの被害が生じかねない環境中で、例えば石油掘削装置および／もしくは天然ガス掘削装置もしくは探索装置において、またはハウジングを備えたエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置において、またはエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置もしくは反応器もしくは毒性材料および／もしくは有害材料の貯蔵装置の封入部において、特に反応器の格納部内のフィードスルー装置として、または反応器、特に原子炉の格納部を貫通するフィードスルー装置として、または宇宙船もしくは宇宙探査船において、またはセンサおよび／もしくはアクチュエータのハウジングにおいて、特に好ましく使用される。

本発明および上述の記載は、全体の開示の一部である次の確認事項によって、特徴付けられ、かつ／またはまとめられてもよい。

確認事項１：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、高温合金を含む支持体２は、好ましくは少なくとも１０℃から少なくとも部分的に結晶化したガラスの結晶化温度Ｔ_Kまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を及ぼすことができる。

確認事項２：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、係数Ｆ_CTEは、１．０６〜３．５の範囲にあることができる。

確認事項３：本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gは、反転温度を超える温度で、１つの温度範囲内で一定であることができる。

確認事項４：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントが運転状態でかつ／または故障時に曝される温度は、この際に、機械特性、その電気抵抗、およびその気密性が本質的に損なわれることなしに、６５０℃を超えることができ、好ましく７００℃〜１２００℃であることができる。

確認事項５：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、支持体２に配置された他の機能ユニットの固定装置は、固定装置と、溶接、金属はんだによるはんだ付け、金属はんだによる硬ろう付け、ガラスはんだ、ねじ、ロック、リベット締め、クリンプ、熱的収縮ばめ、化学結合、または介在するシーラント、特に金属シーラントにより結合されていることができる。

確認事項６：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、機能エレメント４は、少なくとも１つの取り外し可能で接続可能な、特に差込接続可能なエレメントを備えることができ、この機能エレメント４に、他の構成ユニットの、これと接続可能な他のエレメントが割り当てられている。

確認事項７：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、少なくとも１つの取り外し可能で接続可能な、特に差込接続可能なエレメント、およびこの差込接続可能なエレメントに割り当てられたエレメントは、電流用の接続部、コネクタ−ソケット装置としての形状結合の導波管装置、光導波路用の接続部、または流体接続部を提供することができる。

確認事項８：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、少なくとも１つの固定部分は、他の構成要素の、機能エレメントと接続可能な他のエレメントに割り当てられていることができ、この場合、この固定部分は、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの固定部分に割り当てられている。

確認事項９：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、機能ユニットが、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントに割り当てられていることができ、この機能ユニットにおいて、アクチュエータハウジングが固体の媒体および／または流体の媒体用の線形駆動部および／またはロータリー駆動部に割り当てられる。

確認事項１０：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、センサハウジングは、光学センサ、電気センサ、特に誘導センサ、容量センサおよび／または圧電センサに割り当てられていることができる。

確認事項１１：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、この機能ユニットにおいて、シースは流体接続部を、導体シースは、電気的接続部、電磁的接続部、特に導波管を含む高周波接続部および／または光学接続部を取り囲むか、またはその結合の一部を定義することができる。

確認事項１２：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、この機能ユニットにおいて、導体シースは、電気的接続部、電磁的接続部、特に導波路管を含む高周波接続部を取り囲むか、またはこの接続の一部を定義し、この場合、鋼を含む導体シースと、電気的導体、電磁的導体または導波管との間に、少なくとも鉱物質の絶縁材料、特に酸化マグネシウムが配置されていることができる。

確認事項１３：好ましい実施形態の本開示によるならびに確認事項７によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、導体は、電流用の接続部として、熱電素子または加熱素子を備えていることができる。

確認事項１４：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、機能ユニットは、機械的、電気的、および／または電気化学的エネルギー貯蔵装置を備えていることができる。

確認事項１５：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの場合に、このフィードスルーエレメントまたは接続エレメントを含む測定機器において、測定エレクトロニクス７２も、格納部６３内に配置されたセンサ６２も、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１に接続されていることができる。

確認事項１６：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、支持体、少なくとも部分的に結晶化可能なガラス、および好ましくは機能エレメントからなる装置の温度の調節により（ここで、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスは、少なくとも部分的に結晶化され）、支持体がほぼゼロの圧縮応力を少なくとも部分的に結晶化したガラスに及ぼす温度Ｔ_Kを定義することができる。

確認事項１７：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、この温度Ｔ_Kは、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料が支持体に融着し、かつ少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料が好ましくは機能エレメントにも融着する温度とは相違することができる。

確認事項１８：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、この温度Ｔ_Kは、４５０℃を超え、好ましくは５５０℃を超え、より好ましくは６５０℃を超え、さらに好ましくは７５０℃を超え、最も好ましくは９００℃を超えることができる。

確認事項１９：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、少なくとも部分的に結晶化したガラス３は、３５０℃の温度で１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラス、またはガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料を含むことができ、かつこのガラス、ガラスセラミック、またはガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基準としてモル％で示して：
ＳｉＯ₂ ２５〜５５
Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
ＭＯ ２０〜５０
Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
を含み、ＭＯは、単独でまたは全ての任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、単独でまたは全ての任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択される。

確認事項２０：好ましい実施形態の本開示によるフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法の場合に、フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法は、支持体が、１０℃から少なくとも温度Ｔ_Kまでの範囲で、少なくとも部分的に結晶化したガラスの熱膨張係数ＣＴＥ_Gよりも大きい熱膨張係数ＣＴＥ_Hを示す金属高温合金を含むことができる。

確認事項２１：多くの適用にとって、既に、少なくとも部分的に結晶化可能なガラスは、例えば、これが、光学的、音響的および／または電磁的信号について透過性であるかまたは部分透過性である場合に、機能エレメントとして独立して作用するかまたは使用することができる。

上述の記載および特許請求の範囲において、機能エレメントは、好ましいとして言及されている限り、この機能エレメントは、本開示の意味範囲で、少なくとも部分的に結晶化したガラスが、所定の適用自体のためにも機能エレメントとしても作用することができ、したがって、この所定の実施のための他の機能エレメントは物体的に付加的に存在している必要がないことが示される。

１ フィードスルーエレメントまたは接続エレメント
１′ フィードスルーエレメントまたは接続エレメント
２ 支持体
２′ 支持体
３ 少なくとも部分的に結晶化可能なまたは結晶化したガラス
３′ 少なくとも部分的に結晶化可能なまたは結晶化したガラス
３″′ 結晶化可能なガラス
４ａ 機能エレメント
４ｂ 機能エレメント
４ａ′ 機能エレメント
４ｂ′ 機能エレメント
５ コンタクトブッシュ
６ コンタクトブッシュ
７ ほぼ円筒状のホルダ
８ 環状ショルダ
９ フランジ面
１０ 金属高温ガスケット
１１ 環状溝
１２ 端面
１３ ユニオンナット
１４ ユニオンナットの雌ねじ
１５ 支持体２′の半径拡大部の雄ねじ
１６ 通路開口部
１７ ＭＩケーブル１８のケーブルシース
１８ 鉱物絶縁ケーブル
１９ 溶接接続部または硬ろう接続部
２０ 通路開口部
２１ ＭＩケーブル２２のケーブルシース
２２ 鉱物絶縁ケーブル
２３ 溶接接続部または硬ろう接続部
２４ 鉱物絶縁ケーブル１８の銅導体
２５ 鉱物絶縁ケーブル１８の銅導体
２６ 鉱物絶縁ケーブル２２の銅導体
２７ 鉱物絶縁ケーブル２２の銅導体
２８ 圧着接続部または硬ろう接続部
２９ 圧着接続部または硬ろう接続部
３０ 圧着接続部または硬ろう接続部
３１ 圧着接続部または硬ろう接続部
３２ 支持体
３３ ガラス
３４ 機能エレメント、流体通路接続としての円筒状の管
３５ ガラス３３の相対的熱膨張
３６ 支持体の鋼の相対的熱膨張
３７ 相対的熱膨張から生じる圧縮応力または引張応力
３８ 金属高温合金Inconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hの曲線
３９ 少なくとも部分的に結晶化可能な、または少なくとも部分的に結晶化したガラスG018-385の熱膨張係数ＣＴＥ_Gの曲線
４０ 絶対値ＣＴＥ_Kだけずらされた値を示す金属高温合金Inconel 690の熱膨張係数ＣＴＥ_Hの曲線
４１ ブッシュ状の差込式接続部
４２ 機能エレメント４の部分
４３ 支持体２の部分
４４ 硬ろう接続部
４５ 鉱物絶縁ケーブル４６の銅導体
４６ 鉱物絶縁ケーブル
４７ 他の機能ユニット用の固定装置としての雌ねじ
４８ ケーブルシース５０のスリーブ末端部４９の雄ねじ
４９ ケーブルシース５０のスリーブ末端部
５０ ケーブルシース
５１ 耐熱性絶縁材料としての酸化マグネシウム
５２ 雌ねじ
５３ 金属高温ガスケット
５４ 支持体２の環状ショルダ
５５ 他の構成ユニットの固定のための雌ねじ
５６ 機能ユニット
５７ 機能ユニット５６のハウジング
５８ ハウジング５７のシール面
５９ 金属高温ガスケット
６０ 支持体２の環状ショルダ
６１ コネクタ−ブッシュ装置
６２ センサおよび／またはアクチュエータ
６３ 格納部
６４ 支持体２の環状ショルダ
６５ 格納部６３の放射対称状の切欠
６６ 硬ろう接続部
６７ 金属高温ガスケット
６８ 流体接続部または導波管
６９ 中空円筒
７０ ナット
７１ 硬ろう接続部
７２ 測定エレクトロニクス
７３ エネルギー発生装置
７４ ハウジング
７５ 封入部

Claims (19)

1. 高温合金を含む支持体（２）、機能エレメント（４）、および少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）の複合体を備えたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）は、前記機能エレメント（４）の一部分と前記支持体（２）の一部分との間に、または前記支持体の少なくとも一部分の中に配置されていて、前記高温合金を含む支持体（２）は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）に及ぼし、最大運転温度は、±２０％の変動でフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの反転温度にほぼ一致し、前記反転温度は、前記支持体が前記少なくとも部分的に結晶化したガラス材料に及ぼす圧縮応力が値０を採る温度であり、かつ前記最大運転温度は、４５０℃を超えて、特に９５０℃まで、好ましくは１０００℃までまたはそれ以上まで、好ましくは１１００℃まで、特に好ましくは１２００℃までの範囲にあり、１０℃から少なくとも結晶化温度Ｔ _K までの範囲で、少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）の熱膨張係数ＣＴＥ _G は、前記支持体（２）の高温合金の熱膨張係数ＣＴＥ _H よりも小さい、フィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
2. 前記高温合金を含む支持体（２）は、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、さらにより好ましくは少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、最も好ましくは少なくとも１０℃から９００℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、前記少なくとも部分的に結晶化可能なガラス（３）に及ぼす、請求項１記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
3. 前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）の熱膨張係数ＣＴＥ_G に対する前記高温合金の熱膨張係数ＣＴＥ _H の比は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは９００℃を超える温度で、好ましくは９５０℃を超える温度で、約５％の変動を除いて、１．０６より大きい、請求項１または２記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
4. 前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）は、少なくとも１つの結晶相と、ガラス転移温度Ｔｇを示す少なくとも１つの非晶質の残留ガラス相とを含む部分的に結晶化したガラスであり、前記フィードスルーエレメントまたは接続エレメントは、運転状態でかつ／または故障時に、Ｔｇより高い温度に曝されていて、前記少なくとも１つの結晶相は、前記部分的に結晶化したガラス（３）が圧縮応力および／または周囲条件により支持体から押し出されないように、前記部分的に結晶化したガラス（３）を支持する、請求項１から３までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
5. 前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）は、３５０℃の温度で１．０×１０¹⁰Ωｃｍを超える体積抵抗率を示すガラスまたはガラスセラミックまたはガラスを基礎とする結晶化した材料を含み、かつ前記ガラスまたは前記ガラスセラミックまたは前記ガラスを基礎とする結晶化した材料は、酸化物を基準とするモル％で示して：
   ＳｉＯ₂ ２５〜５５
   Ｂ₂Ｏ₃ ０．１〜１５
   Ａｌ₂Ｏ₃ ０〜１５
   ＭＯ ２０〜５０
   Ｍ₂Ｏ ０〜＜２
   を含み、ＭＯは、単独でまたは全ての任意の組合せで、ＭｇＯおよび／またはＣａＯおよび／またはＳｒＯおよび／またはＢａＯからなる群から選択され、かつＭ₂Ｏは、単独でまたは全ての任意の組合せで、Ｌｉ₂Ｏおよび／またはＮａ₂Ｏおよび／またはＫ₂Ｏからなる群から選択される、請求項１から４までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
6. 高温合金を含む支持体（２）、好ましくは機能エレメント（４）、および少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）の複合体を備えたフィードスルーエレメントまたは接続エレメントにおいて、前記少なくとも部分的に結晶化したガラス（３）は、好ましくは前記機能エレメント（４）の一部分と前記支持体（２）の一部分との間に、または前記支持体の少なくとも一部分の中に配置されていて、前記支持体（２）に、別の機能ユニット用の固定装置が割り当てられている、請求項１から５までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
7. 前記支持体（２）に別の機能ユニットが配置されていて、前記別の機能ユニットは固定装置を備え、前記固定装置は、前記支持体（２）に配置された固定装置に割り当てられている、請求項６記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
8. 前記支持体（２）に配置された前記別の機能ユニットの前記固定装置は、前記固定装置と材料結合および／または形状結合により結合されている、請求項６または７記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
9. 前記支持体（２）に配置された前記別の機能ユニットは、鉱物絶縁（ＭＩ）ケーブル（１８）を含む、請求項７または８記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
10. 前記圧縮応力を前記結晶化したガラスに及ぼす、前記高温合金を含む前記支持体は、支持体と結晶化したガラスとの間の界面を気密に封止し、かつ前記固定装置は、機能ユニットに対する接続部を気密に封止する、請求項６から９までの少なくとも１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。
11. 少なくとも１つの固定部分を備え、前記固定部分は、前記フィードスルーエレメントまたは接続エレメント１の固定部分に割り当てられている、請求項１から１０までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント用の機能ユニット。
12. シース、導体シース、センサハウジング、およびアクチュエータハウジングを含む群からなる少なくとも１つのエレメントを含む、請求項１１記載の機能ユニット。
13. 水素フィードスルー、特にエネルギー発生装置、特に内燃機関での水素フィードスルーを備えた、請求項１２記載の機能ユニット。
14. 請求項１から１０までのいずれか１項記載の、少なくとも１つのフィードスルーエレメントまたは接続エレメント、および請求項１１から１３までのいずれか１項記載の、少なくとも１つの機能ユニットを備えた組合せ。
15. 請求項１４記載の組合せを含む測定機器。
16. 石油掘削装置および／もしくは天然ガス掘削装置もしくは探索装置において、またはハウジングを備えたエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置において、またはエネルギー発生装置もしくはエネルギー貯蔵装置もしくは反応器もしくは毒性材料および／もしくは有害材料の貯蔵装置の封入において、特に反応器の格納部内のフィードスルー装置として、または反応器、特に原子炉の格納部を貫通するフィードスルー装置として、または宇宙船もしくは宇宙探査船において、またはセンサおよび／もしくはアクチュエータのハウジングにおける、請求項１から１０までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメント（１）、請求項１１から１３までのいずれか１項記載の機能ユニット、または請求項１４記載の組合せ、または請求項１５記載の測定機器の使用。
17. 請求項１から１０までのいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法において、
    − 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、特に少なくとも部分的に結晶化可能なまたは部分的に結晶化したガラスを準備する方法ステップと、
    − 内部容積を定義する支持体を準備する方法ステップであって、前記内部容積内に、前記フィードスルーエレメントまたは接続エレメントの他の構成要素を収容するための空間が準備されている、方法ステップと、
    − 前記少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を、前記支持体の少なくとも一部分の中に配置する方法ステップであって、前記支持体の少なくとも一部分は、前記支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、
    − 好ましくは、機能エレメントを準備する方法ステップと、
    − 好ましくは、前記機能エレメントを配置することにより、前記機能エレメントの少なくとも一部分が前記少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料により取り囲まれていて、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料と機能エレメントとからなる装置は、少なくとも一部分が、前記支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、または
    − 少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料からなる前記装置は、少なくとも一部分が、前記支持体の内部容積の中に配置されている、方法ステップと、
    − 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる前記装置を加熱する方法ステップであって、前記加熱は、前記少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、前記支持体の少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ前記支持体に融着し、かつ、好ましくは前記少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料が、前記機能エレメントの少なくとも一部分に形状結合するように当接し、かつ好ましくは前記機能エレメントに融着する温度まで実施される、方法ステップと、
    − 好ましくは、支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる前記装置の温度を調節する方法ステップであって、前記温度で前記少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料を少なくとも部分的に結晶化させる、方法ステップと、
    − 支持体、少なくとも部分的に結晶化可能な出発材料、および機能エレメントからなる前記装置を冷却する方法ステップと、
    を含むフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法。
18. 支持体、ガラス質の、少なくとも部分的に結晶化可能なまたは少なくとも部分的に結晶化した出発材料、および好ましくは機能エレメントからなる前記装置の冷却の間に、前記支持体は、少なくとも２０℃から４５０℃を超えるまでの温度で、好ましくは少なくとも２０℃から５５０℃を超えるまでの温度で、より好ましくは少なくとも２０℃から６５０℃を超えるまでの温度で、さらにより好ましくは少なくとも１０℃から７５０℃を超えるまでの温度で、最も好ましくは少なくとも１０℃から９００℃を超えるまでの温度で、ゼロより大きいかまたはほぼゼロに等しい圧縮応力を、前記少なくとも部分的に結晶化したガラス３に及ぼす、請求項１７記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法。
19. 請求項１７および／または１８のいずれか１項記載のフィードスルーエレメントまたは接続エレメントの製造方法により製造されたまたは製造可能なフィードスルーエレメントまたは接続エレメント。

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