JP6546368B2 - 力覚センサ - Google Patents
力覚センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6546368B2 JP6546368B2 JP2019509140A JP2019509140A JP6546368B2 JP 6546368 B2 JP6546368 B2 JP 6546368B2 JP 2019509140 A JP2019509140 A JP 2019509140A JP 2019509140 A JP2019509140 A JP 2019509140A JP 6546368 B2 JP6546368 B2 JP 6546368B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- operation member
- force sensor
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 3
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 210000002615 epidermis Anatomy 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/02—Input arrangements using manually operated switches, e.g. using keyboards or dials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
図1は第1実施形態に係る力覚センサ10の構成を示す断面図、図2は力覚センサ10の構成を示す平面図、図3は力覚センサ10の機能ブロック図である。図4は力覚センサ10の適用例を示す図である。図1は、図2のA−A'線における断面から見た正面図に対応する。操作部材12は、図1においては破線で仮想的に示し、図2では省略している。各図には、基準座標としてX−Y−Z座標が示されている。Z方向は上方向であり、X−Y面はZ方向に直交する面である。以下の説明において、Z方向に沿って見た状態を平面視ということがある。
つづいて、第2実施形態について説明する。第2実施形態においては、4つの第2電極131、132、133、134のそれぞれに対応するように第1電極も4つに分割しており、さらに、第2電極131、132、133、134を導通板135で互いに導通させている点が第1実施形態と異なる。第2実施形態においては、第1実施形態と同様の構成については、その詳細な説明は省略する。
11 基材
12 操作部材
20 第1電極
20c 平面中心
31、32、33、34 第2電極
41、42、43、44 静電容量検知部
51 演算部
52 制御部
53 表示装置
110 力覚センサ
111 基材
112 操作部材
120c 平面中心
121、122、123、124 第1電極
131、132、133、134 第2電極
135 導通板
141、142、143、144 静電容量検知部
151 演算部
152 制御部
153 表示装置
R1、R11 第1領域
R2、R12 第2領域
Claims (4)
- 基材と、
前記基材上の第1領域に固定された第1電極と、
前記基材において前記第1領域と異なる第2領域に固定され、前記第1電極よりも高い位置まで延びる第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間の距離に対応する静電容量を検知する静電容量検知部と、
前記第2電極と接触する接触領域を有する操作部材とを備え、
前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一方は複数設けられ、
前記第2電極は、前記操作部材に対する操作によって荷重が加えられると弾性変形を生じ、この弾性変形によって前記第2電極と前記第1電極との距離が変化するとともに、前記第1電極は前記基材上において1つの環状をなしており、前記第2電極は、前記第1電極の環の内側において前記基材に固定され、さらに、前記第1電極の上方へ湾曲して延びることを特徴とする力覚センサ。 - 前記静電容量検知部からの出力情報に基づいて前記操作部材へ加わった荷重の状況を検知する演算部を備える請求項1に記載の力覚センサ。
- 前記第2電極は、環状の前記第1電極の平面中心に関して対称となるように4つに分割されている請求項1に記載の力覚センサ。
- 前記操作部材は、前記第2電極を覆うように前記基材に装着される請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の力覚センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017060242 | 2017-03-25 | ||
JP2017060242 | 2017-03-25 | ||
PCT/JP2018/009040 WO2018180346A1 (ja) | 2017-03-25 | 2018-03-08 | 力覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018180346A1 JPWO2018180346A1 (ja) | 2019-06-27 |
JP6546368B2 true JP6546368B2 (ja) | 2019-07-17 |
Family
ID=63677362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019509140A Active JP6546368B2 (ja) | 2017-03-25 | 2018-03-08 | 力覚センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11402281B2 (ja) |
JP (1) | JP6546368B2 (ja) |
WO (1) | WO2018180346A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7560031B2 (ja) * | 2021-01-20 | 2024-10-02 | 本田技研工業株式会社 | 3軸力センサ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6314823B1 (en) * | 1991-09-20 | 2001-11-13 | Kazuhiro Okada | Force detector and acceleration detector and method of manufacturing the same |
US5421213A (en) * | 1990-10-12 | 1995-06-06 | Okada; Kazuhiro | Multi-dimensional force detector |
JPH05215627A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Kazuhiro Okada | 多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置 |
US6282956B1 (en) * | 1994-12-29 | 2001-09-04 | Kazuhiro Okada | Multi-axial angular velocity sensor |
JP4176849B2 (ja) * | 1997-05-08 | 2008-11-05 | 株式会社ワコー | センサの製造方法 |
DE69922727T2 (de) * | 1998-03-31 | 2005-12-15 | Hitachi, Ltd. | Kapazitiver Druckwandler |
JP4295883B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2009-07-15 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
JP3628972B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2005-03-16 | ニッタ株式会社 | 静電容量式センサ |
ATE336744T1 (de) * | 2001-03-14 | 2006-09-15 | Nitta Corp | Elektrischer kapazitätssensor |
KR100404904B1 (ko) * | 2001-06-09 | 2003-11-07 | 전자부품연구원 | 차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법 |
JP2004045173A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサ |
JP3848901B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2006-11-22 | ニッタ株式会社 | 静電容量式センサ |
JP4907050B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2012-03-28 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
JP4387691B2 (ja) * | 2003-04-28 | 2009-12-16 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
JP4514509B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2010-07-28 | アップサイド株式会社 | 力センサー、力検出システム及び力検出プログラム |
JP4963138B1 (ja) * | 2011-07-27 | 2012-06-27 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
US9383277B2 (en) * | 2013-07-17 | 2016-07-05 | Wacoh Corporation | Force sensor |
JP6188231B2 (ja) | 2014-02-26 | 2017-08-30 | アルプス電気株式会社 | 荷重検出装置及び前記荷重検出装置を用いた電子機器 |
-
2018
- 2018-03-08 WO PCT/JP2018/009040 patent/WO2018180346A1/ja active Application Filing
- 2018-03-08 JP JP2019509140A patent/JP6546368B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-22 US US16/517,860 patent/US11402281B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018180346A1 (ja) | 2018-10-04 |
US11402281B2 (en) | 2022-08-02 |
JPWO2018180346A1 (ja) | 2019-06-27 |
US20190339142A1 (en) | 2019-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN205485928U (zh) | 电子设备和动态输入表面 | |
JP6288073B2 (ja) | センサ装置、入力装置および電子機器 | |
US9459734B2 (en) | Input device with deflectable electrode | |
EP2722734B1 (en) | Wired electrode for a touch screen panel | |
KR20130022544A (ko) | 정전용량형 압력 감지 센서 및 그를 포함하는 입력 장치 | |
KR20100067630A (ko) | 터치 패드 장치 및 터치 패드 장치 상에서 목적 객체의 위치를 측정하는 방법 | |
KR101536236B1 (ko) | 전자 장치의 터치 감지 구조 | |
KR20120010827A (ko) | 정전용량 터치패널용 스타일러스펜 | |
JP6431610B2 (ja) | 静電容量式入力装置 | |
JP2014157611A (ja) | 静電容量式タッチパネルの導電模様構造 | |
US9841859B2 (en) | Sensor structure and detection method | |
US9377916B2 (en) | Touch panel | |
CN113348347A (zh) | 压敏元件 | |
JP6546368B2 (ja) | 力覚センサ | |
US20120105133A1 (en) | Input device | |
CN114026518A (zh) | 电容检测面上具有可移动手柄的输入设备及电容耦合装置 | |
JP2014170334A (ja) | 静電容量式タッチパネルおよびそれを用いた手持ち式電子機器 | |
KR102066329B1 (ko) | 촉각 센서, 그 제조 방법 및 그 동작 방법 | |
KR102233011B1 (ko) | 스위치 장치 | |
WO2018179911A1 (ja) | 力覚センサ | |
CN116761991A (zh) | 力输入定位 | |
KR20160033891A (ko) | 요철부가 형성된 본딩패드를 갖는 터치전극을 포함하는 터치패널 | |
CN201060778Y (zh) | 具有开关的旋转型编码器 | |
JP4476511B2 (ja) | 電子機器用入力装置 | |
JP2013156949A (ja) | タッチパネル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190318 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190620 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6546368 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |