JP6544484B2 - 光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタに関し、特に、損失がないタップ（ロスレスタップ）を実現した光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタに関する。

デジタルコヒーレント通信システムは、１本の光ファイバを波長多重化して大容量の情報を伝送することを可能にする通信システムである。現在のデジタルコヒーレント通信システムに用いられる波長可変レーザ装置においては、波長可変の局部発振用の光源として、送信用と受信用との合計２つを搭載している。そして、それぞれの光源には、発光する光の波長や出力強度やＳ／Ｎ比（Signal-to-Noise Ratio）等をモニタするための光モニタ機構が搭載されている。

さらに、今後のデジタルコヒーレント通信システムは、小型化・低消費電力化の観点から、２つ搭載されていた光源を、１つでカバーすることが検討されている。光源が２つから１つに減ることによって、１つの光源には高出力動作が求められるとともに、モニタ精度のより一層の向上が求められる。

例えば、半導体光増幅器と導波路型光回路とからなる外部共振器型レーザ光源について一例を説明する。図３Ａ、図３Ｂは、光モニタ機構を備えていない簡単な構造を採用した外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図である。図３Ａは、該外部共振器型レーザ光源の構造を示す。図３Ｂは、図３Ａに示す構造の外部共振器型レーザ光源における光のパスと進行方向とを矢印によって示す図である。外部共振器型レーザ光源は、外部の光フィルタと半導体光増幅器（ＳＯＡ： Semiconductor Optical Amplifier）とをレンズを用いて空間的に結合させて、共振器構造を構成している。この共振器構造の採用により、高性能の光フィルタを用いることができ、波長可変域を比較的広くすることが可能である。

外部共振型レーザ光源は、図３Ａに示すように、光回路１０Ａと半導体光増幅器２０とからなる。光回路１０Ａは、光導波路１１と折り返しループ形状の折り返しループミラー１２とによって構成される。折り返しループミラー１２は、リング共振器として機能しており、周回長は入力光の波長によって決定される。光は、図３Ｂに示すように、半導体光増幅器２０と光回路１０Ａとを周回して、増幅された光出力として出力される。

具体的には、半導体光増幅器２０に電流を印加して発光された往路の光は、半導体光増幅器２０から光回路１０Ａに出力される。しかる後、半導体光増幅器２０からの光は、図３Ｂに示すように、光回路１０Ａ内の光導波路１１を通って、折り返しループミラー１２との接続点において時計回り方向と反時計回り方向との２方向に分岐される。２方向に分岐されたそれぞれの光は、折り返しループミラー１２を通って、折り返し構造を経由して、光導波路１１に折り返されてくる。半導体光増幅器２０は、光出力側に向かう１方向の光に対し増幅器として機能する。この半導体光増幅器２０には、端面に反射防止膜が形成してある。復路の光はその端面に至る間に半導体光増幅器２０で増幅される。折り返しループミラー１２で折り返された復路の光は、半導体光増幅器２０に入射され、増幅された後、その一部が端面を透過して外部に光出力として出力される。半導体光増幅器２０で増幅された復路の光の一部は端面で反射され、往路の光となり、光導波路１１を経て、折り返しループミラー１２へ送られる。このように、図３の外部共振型レーザ光源では、光導波路１１を介して折り返されてきた復路の光は半導体光増幅器２０で増幅され、光出力側の端面において復路の光の一部が反射され、光導波路１１と折り返しループミラー１２とを経由して再度戻ってくることを繰り返す。半導体光増幅器２０と光導波路１１と折り返しループミラー１２とでなる構造により、レーザ発振を可能にするとともに、レーザ発振光の一部を端面から外部に向かう出力光としている。

次に、光モニタ機構を備えて構成されている場合の従来の外部共振器型レーザ光源について一例を説明する。図４Ａ、図４Ｂは、光モニタ機構を備えている場合の従来の外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図であり、図４Ａは、該外部共振器型レーザ光源の構造を示し、図４Ｂは、図４Ａに示す構造の外部共振器型レーザ光源における光のパスと進行方向とを矢印によって示す図である。

図４Ａに示すように、光の波長や強度等をモニタするための光学タップとして、光回路１０Ｂ内には、図３Ａの光回路１０Ａに対して、さらにタップポート１７（すなわち、モニタ用光導波路）が備えられている（特許文献１および特許文献２参照）。なお、ここで、光学タップとは、光を取り出す部分のこと、または、光を取り出す動作のことを意味している。そして、タップポート１７は、半導体光増幅器２０から折り返しループミラー１２への光導波路１１にその一部が近接するような曲線形状として形成され、往路の光の一部（数％程度）を分岐させて取り出すことができる分岐構造としている。

したがって、図４Ｂに示すように、折り返しループミラー１２へ向かう往路の光の一部が、タップポート１７（モニタ用光導波路）に取り出されて、モニタポート１８側の光導波路を経由してモニタ光出力として出力される。

特開２０１５−２１２６８７号公報 国際公開第２０１３／１１４５７８号

しかしながら、従来技術においては、光の波長や出力強度やＳ／Ｎ比（Signal-to-Noise Ratio）等をモニタする光モニタ機構において、一部の光をモニタ用として取り出すに当たり、過剰な損失が発生している。この損失を押さえることが重要である。高出力動作を実現するためには、光源内部の光学損失が極限まで小さいことが求められる。特に、小型化の観点から、２つの光源を１つに絞った構成とする場合には、高出力動作を実現するために、前記光モニタ機構において、光損失を極限にまで小さくすることが求められる。

しかし、従来の技術においては、該光モニタ機構として図４に記載したような構造のタップポート１７を用いており、折り返しループミラー１２から折り返されて光導波路１１を経由して半導体光増幅器２０に向かう復路の光についても、その一部がタップポート１７側に取り出されて、モニタポート１８とは逆方向の捨てポート１９側の光導波路に向かい、ここで、意図しないモニタ光すなわち無効な光として捨て去られ、光の損失が生じている。そこで、図４に示すような従来の光モニタ機構を有する光装置では、光モニタにおける光の不要な損失を極力低減するという解決するべき課題があった。

（本発明の目的）
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、モニタ用の光を取り出す場合に、光の損失が極力発生しない構造を備えた光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタを提供することをその目的としている。

前述の課題を解決するため、本発明による光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタは、主に、次のような特徴的な構成を採用している。

（１）本発明による光モニタ機構は、光導波路が接続された折り返しループ形状の折り返しループミラーを備えた光回路の光をモニタするための光モニタ機構であって、前記折り返しループミラーと前記光導波路との接続点の位置から時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが一致する当該折り返しループミラー上の位置に近接して、折り返し形状またはループ形状のタップポートを配置した構造とし、前記折り返しループミラーからの一部の光をモニタ光として前記タップポートに取り出すことを特徴とする。

（２）本発明による外部共振器型レーザ光源は、半導体光増幅器と導波路型の光回路とからなる外部共振器型レーザ光源において、前記光回路における光をモニタするための光モニタ機構として、前記（１）に記載の光モニタ機構を用いることを特徴とする。

（３）本発明による波長可変レーザ装置は、波長可変のレーザ光を発光する波長可変レーザ装置において、前記レーザ光を発光する光源として、前記（２）に記載の外部共振器型レーザ光源を用いることを特徴とする。

（４）本発明による光導波路フィルタは、波長多重光を波長に応じて光波長フィルタにより分離する光導波路フィルタにおいて、前記光波長フィルタに入射される前記波長多重光をモニタするための光モニタ機構として、前記（１）に記載の光モニタ機構を用いることを特徴とする。

本発明の光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタによれば、以下のような効果を奏することができる。

すなわち、本発明によれば、光の強度や波長やＳ／Ｎ比等をモニタするための光モニタ機構として、折り返し形状またはループ形状のタップ構造を採用しているので、不要な光損失が生じることなく、モニタ光を取り出すことができる。

本発明に係る光モニタ機構の一例を示す構造図である。 本発明に係る光モニタ機構の一例を示す構造図である。 本発明に係る光導波路フィルタの構造の一例を示す構造図である。 光モニタ機構を備えていない簡単な構造の場合の外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図である。 光モニタ機構を備えていない簡単な構造の場合の外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図である。 光モニタ機構を備えている場合の従来の外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図である。 光モニタ機構を備えている場合の従来の外部共振器型レーザ光源の一例を示す構造図である。

以下、本発明による光モニタ機構、外部共振器型レーザ光源、波長可変レーザ装置および光導波路フィルタの好適な実施形態について添付図を参照して説明する。なお、以下の説明においては、本発明による光モニタ機構および光導波路フィルタについて説明するが、半導体光増幅器と導波路型光回路とからなる外部共振器型レーザ光源、あるいは、デジタルコヒーレント通信システムにおいて使用される可変の波長レーザ光を発光する波長可変レーザ装置を、かかる光モニタ機構を用いた構造とするようにしても良いことは言うまでもない。また、以下の各図面に付した図面参照符号は、理解を助けるための一例として各要素に便宜上付記したものであり、本発明を図示の態様に限定することを意図するものではないことも言うまでもない。

（本発明の特徴）
本発明の実施形態の説明に先立って、本発明の特徴についてその概要をまず説明する。本発明は、光の波長や出力強度やＳ／Ｎ比（Signal-to-Noise Ratio）等をモニタする光モニタ機構として、折り返し形状またはループ形状としたタップ構造を設けることを主要な特徴としている。つまり、光回路に設けられた折り返しループミラー部に対して、近接した位置に折り返し形状またはループ形状の光学タップを設けることにより、光損失を低減して光パワーをモニタすることが可能な構造を備えた光モニタ機構とすることを主要な特徴としている。

より具体的には、次のような構造を備えた光モニタ機構を採用することを、主要な特徴としている。

すなわち、折り返しループ状の光導波路からなる折り返しループミラーに対して、光回路の開口端まで導波光を導く直線形状の光導波路と折り返し状またはループ状の光導波路（タップポート）とからなる光学タップを、前記折り返しループミラーに対して導波光の入力と出力とを行う光導波路が接続された前記折り返しループミラー上の一端から、ループを時計回り方向に周回した場合の光学長とループを反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなるループミラー上の位置に、配置する。そして、該光学タップに関し、光回路の開口端まで導波光を導く直線形状の光導波路が接続された折り返し形状またはループ形状の光導波路（タップポート）上の一端から、ループを時計回り方向に周回した場合の光学長とループを反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる光導波路（タップポート）上の位置を、前記折り返しループミラーに最も近接して配置することを、特徴としている。

而して、光の波長や出力強度やＳ／Ｎ比をモニタするための光モニタ機構として、光回路に不要な開口部(捨てポート)を設けることを不要とすることが可能となり、引いては、過剰な光損失の発生を抑制することができる。

かくのごとき光モニタ機構は、折り返しループミラーを有する光導波路と半導体光増幅器とからなる外部共振器型レーザ光源や、波長可変フィルタ等に好適に適用することができる。例えば、外部共振器型レーザ光源においては、導波路型光回路の折り返しループミラーに対して、本発明に係る光モニタ機構（すなわちループ形状の光学タップ（または折り返し形状の光学タップ）構造）を設けることにより、モニタ用の光を取り出す際の光損失が発生しない光源とすることができる。

（本発明に係る実施形態）
次に、本発明に係る光モニタ機構の実施形態について、図１を参照しながら説明する。図１Ａ、図１Ｂは、本発明に係る光モニタ機構の一例を示す構造図であり、図１Ａは、該光モニタ機構の構造の一例を示し、図１Ｂは、図１Ａの光モニタ機構における光のパスと進行方向とを矢印によって示す図である。

図１Ａに示すように、本実施形態における光モニタ機構は、折り返し構造を有するループミラーの直近に、ループ形状または折り返し形状の光学タップを設けることを特徴としている。この光モニタ機構は、図４Ａと同様、光回路１０と半導体光増幅器２０とを有する光装置に設けられている。光回路１０は、直線形状の光導波路１１とループ形状の折り返しループミラー１２との他に、光モニタ用の光学タップとして、ループ形状（または折り返し形状）のタップポート１５と直線形状の光導波路１６とを用いた構造としている。ここで、光学タップとは、光を取り出す部分のこと、または、光を取り出す動作のことを意味している。この光モニタ用の光学タップがループ形状（または折り返し形状）のタップポート１５と直線形状の光導波路１６とでなる点が図４の従来の光モニタ機構と相違している。図４の従来の光モニタ機構では、光モニタ用の光学タップとして、光導波路１１にその一部が近接させた曲線形状のタップポート１７を用いていた。

ループ状の光導波路からなる折り返しループミラー１２の周回長（光学長）は、入力光の波長によって決定され、リング共振器として機能している。また、タップポート１５は、周回長（光学長）がモニタ対象側の折り返しループミラー１２の周回長と同じ長さのループ形状または折り返し形状の光導波路であり、光回路１０の開口端１４まで導波光（モニタ光）を導く直線形状の光導波路１６に接続されている。

タップポート１５は、回路１０内において、モニタ対象側の折り返しループミラー１２に対して近接配置される。折り返しループミラー１２に近接配置されるタップポート１５の位置は、折り返しループミラー１２に導波光を入出力する光導波路１１の接続部となる接続位置から、当該折り返しループミラー１２を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置（すなわち、光導波路１１の接続位置の反対側の当該折り返しループミラー１２上の位置）である。

また、タップポート１５は、光導波路１６との接続位置から、当該タップポート１５を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置（すなわち、光導波路１６の接続位置の反対側の当該タップポート１５上の位置）が、モニタ対象側の折り返しループミラー１２に最も近接した位置になるように設置する。すなわち、言い換えると、モニタ対象側となる折り返しループミラー１２に最も近接したタップポート１５上の位置から時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが一致するタップポート１５上の位置に、直線形状の光導波路１６を接続した構造とする。折り返しループミラー１２、タップポート１５および光導波路１６をこのように光学的に接続する光モニタ機構は、光導波路１６が接続されたタップポート１５上の接続点において、タップポート１５を時計回り方向に周回するモニタ光とタップポート１５を反時計回り方向に周回するモニタ光とを合波して、光導波路１６、開口端１４を介して外部に取り出すことを可能にしている。

かくのごとく、タップ構造をループ形状または折り返し形状とした光モニタ機構を用いることにより、捨てポートが不要となり、例えば、半導体光増幅器と折り返しループミラーを有する導波路型光回路とからなる外部共振器型レーザ光源のレーザ光の出力強度や波長等を、光損失が生じない形でモニタすることが可能になる。

（実施形態の動作の説明）
次に、図１Ａ示した光モニタ機構の動作について、図１Ｂを参照しながら、その一例を説明する。

図１Ｂに示すように、モニタ対象となる光は、半導体光増幅器２０と光回路１０とを周回して、増幅された光出力として出力される。具体的には、往路の光は、半導体光増幅器２０を経由して光回路１０に入力される。

しかる後、半導体光増幅器２０からの光は、図１Ｂに示すように、光回路１０内の光導波路１１を通って、折り返しループミラー１２との接続点において時計回り方向と反時計回り方向との２方向に分岐して、それぞれの光が折り返しループミラー１２を通り、光導波路１１の接続位置の反対側の位置（タップポート１５との接続位置）を経由して、光導波路１１との接続点まで戻ってくる。戻ってきた２つの光は、光導波路１１との接続点において互いの光が合波されて、光導波路１１に折り返されてくる。

この時、光導波路１１の接続位置の反対側の当該折り返しループミラー１２上の位置（すなわち、当該折り返しループミラー１２を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置）に近接して配置されているタップポート１５に、時計回り方向と反時計方向との双方の光の一部が、モニタ光として取り出される。すなわち、当該折り返しループミラー１２を時計回り方向に周回した光の一部は、折り返しループ形状のタップポート１５を反時計方向に周回するモニタ光として、また、当該折り返しループミラー１２を反時計回り方向に周回した光の一部は、折り返しループ形状のタップポート１５を時計回り方向に周回するモニタ光として、取り出される。

一方、光導波路１１に折り返された復路の光は、再び、半導体光増幅器２０に入射されて、増幅された後、外部に光出力として出力される。なお、半導体光増幅器２０においては、光出力側の端面において復路の光の一部を反射し、光導波路１１と折り返しループミラー１２とを経由して再度戻ってくることを繰り返すことによって発振し、増幅した光出力として半導体光増幅器２０から外部に出力される。

他方、タップポート１５に取り出された２つのモニタ光、すなわち、時計回り方向と反時計回り方向との２方向に周回するそれぞれのモニタ光は、折り返しループ形状のタップポート１５を通って、モニタ対象側の折り返しループミラー１２に最も近接した当該タップポート１５上の位置の反対側の位置（すなわち、当該タップポート１５を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置）にまで周回する。そして、当該反対側の位置において、２つのモニタ光は合波されて、当該反対側の位置に接続されている光導波路１６を経由して、光回路１０の開口端１４からモニタ用光出力として出力され、当該モニタ機構が搭載されている導波路基板から外部に出力される。

光導波路１６とのタップポート１５の接続点において２つのモニタ光が合波されるが、モニタ対象側の折り返しループミラー１２からモニタ光として一部の光が取り出された位置から、当該タップポート１５を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置において合波されるので、２つのモニタ光は光強度と位相とが完全に同一であり、光損失が発生することなく、合波されることになる。なお、２つのモニタ光の合波部において、２つのモニタ光の光強度や位相が異なっていた場合には、光損失が発生してしまうので、タップポート１５の配置位置および設置方向については、極力、精度が高いことが望まれる。さらに、折り返しループ形状のタップポート１５と折り返しループミラー１２とのそれぞれの光導波路において、時計方向回り方向と反時計方向回り方向とのそれぞれの光導波路に関し、光損失率および光の位相シフト率等を含む光学的特性が、完全に同一になっていることが重要である。

タップポート１５の構造を前述したような折り返し形状またはループ形状とした光モニタ機構を採用しているので、図４に示したような捨てポート１９は存在しなくなり、モニタ光を取り出しても、光損失が発生することはない。したがって、例えば、前述したように、半導体光増幅器２０と折り返しループミラー１２を有する導波路型の光回路１０とからなる外部共振器型レーザ光源のレーザ光の出力強度や波長等を、光損失が生じない形で、モニタすることが可能になる。なお、かくのごとき折り返しループ形状以外のタップポート構造にしてしまうと、モニタ光の進行方向によって、モニタ光の強度が異なってしまうため、合波部分で損失が発生してしまう。

（本実施形態の効果の説明）
以上に詳細に説明したように、本実施形態においては、光の強度や波長やＳ／Ｎ比等をモニタするための光モニタ機構として、折り返し形状またはループ形状のタップ構造を採用しているので、不要な光損失が生じることなく、モニタ光を取り出すことができるという効果が得られる。

（光導波路フィルタの実施形態）
次に、導波光を波長に応じて抽出する機構を備えた光導波路フィルタの実施例について、図２を用いて説明する。図２は、本発明に係る光導波路フィルタの構造の一例を示す構造図であり、波長多重光を波長に応じて分離する光波長フィルタ機構として、可変の特定波長のみを分離して取り出す光波長可変フィルタを備えた光導波路フィルタを例にとって、その構造例を示している。

光導波路フィルタにおいては、光信号の状態（波長、強度、Ｓ／Ｎ比等）を監視して制御する機構を備えていることが重要になってきている。このため、例えば、図２に示すような光モニタ機構を備えた光導波路フィルタ３０の構造を採用することが今後の方向として有望である。なお、ここでは、光波長フィルタとして光波長可変フィルタからなる光導波路フィルタについて示すが、本発明は、かかる場合に限るものではなく、光波長固定フィルタを用いても構わないことは言うまでもない。

図２に示す光導波路フィルタ３０は、光波長フィルタ機構３１として、２段の光波長可変フィルタ３２Ａ、３２Ｂを備えた構造を備えるとともに、光導波路１１と折り返しループミラー１２とをさらに備えており、また、光モニタ機構として、該折り返しループミラー１２上の光導波路１１の接続点とは反対側の位置（すなわち、光導波路１１の接続点から当該折り返しループミラー１２を時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが等しくなる位置）に近接させて、直線形状の光導波路１６を接続したループ形状または折り返し形状のタップポート１５を配置した構造としている。つまり、光導波路フィルタ３０は、波長多重光を波長に応じて分離する光波長フィルタ機構３１を備えるとともに、光モニタ機構として、図１に示した光モニタ機構を適用している場合を示している。

以上、本発明の好適な実施形態の構成を説明した。しかし、かかる実施形態は、本発明の単なる例示に過ぎず、何ら本発明を限定するものではないことに留意されたい。本発明の要旨を逸脱することなく、特定用途に応じて種々の変形変更が可能であることが、当業者には容易に理解できよう。

この出願は、２０１６年４月２１日に出願された日本出願特願２０１６−０８５２０９を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

１０ 光回路
１０Ａ 光回路
１０Ｂ 光回路
１１ 光導波路
１２ 折り返しループミラー
１４ 開口端
１５ タップポート
１６ 光導波路
１７ タップポート
１８ モニタポート
１９ 捨てポート
２０ 半導体光増幅器
３０ 光導波路フィルタ
３１ 光波長フィルタ機構
３２Ａ 光波長可変フィルタ
３２Ｂ 光波長可変フィルタ

Claims (6)

1. 光導波路が接続された折り返しループ形状の折り返しループミラーを備え、前記折り返しループミラーと前記光導波路との接続点の位置から時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが一致する当該折り返しループミラー上の位置に近接して、折り返し形状またはループ形状のタップポートを配置した構造とし、前記折り返しループミラーからの一部の光をモニタ光として前記タップポートに取り出すことを特徴とする光モニタ機構。
2. 前記折り返しループミラーに最も近接した前記タップポート上の位置から時計回り方向に周回した場合の光学長と反時計回り方向に周回した場合の光学長とが一致する当該タップポート上の位置に、光導波路を接続し、該光導波路が接続された当該タップポート上の接続点において、当該タップポートを時計回り方向に周回する前記モニタ光と当該タップポートを反時計回り方向に周回する前記モニタ光とを合波して、モニタ用光出力として該光導波路を介して外部に取り出すことを特徴とする請求項１に記載の光モニタ機構。
3. 前記光導波路との接続点の位置から前記折り返しループミラーを時計回り方向に周回する光導波路と反時計回り方向に周回する光導波路との双方の光導波路に関し、光損失率および光の位相シフト率を含む光学的特性が同一であり、かつ、前記折り返しループミラーに最も近接した前記タップポート上の位置から時計回り方向に周回する光導波路と反時計回り方向に周回する光導波路との双方の光導波路に関し、光損失率および光の位相シフト率を含む光学的特性が同一であることを特徴とすることを特徴とする請求項１または２に記載の光モニタ機構。
4. 半導体光増幅器と導波路型の光回路とからなる外部共振器型レーザ光源において、前記光回路における光をモニタするための光モニタ機構として、請求項１ないし３のいずれかに記載の光モニタ機構を用いることを特徴とする外部共振器型レーザ光源。
5. 波長可変のレーザ光を発光する波長可変レーザ装置において、前記レーザ光を発光する光源として、請求項４に記載の外部共振器型レーザ光源を用いることを特徴とする波長可変レーザ装置。
6. 波長多重光を波長に応じて光波長フィルタにより分離する光導波路フィルタにおいて、前記光波長フィルタに入射される前記波長多重光をモニタするための光モニタ機構として、請求項１ないし３のいずれかに記載の光モニタ機構を用いることを特徴とする光導波路フィルタ。

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