JP6531749B2 - 基板の貼り合わせ方法、並びに、マイクロチップおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
このようなマイクロリアクタを用いた反応分析システムは、マイクロ・トータル・アナリシス・システム(以下、「μTAS」という。)と称されている。このμTASによれば、試薬の体積に対する表面積の比が大きくなることなどから高速かつ高精度の反応分析を行うことが可能となり、また、コンパクトで自動化されたシステムを実現することが可能となる。
しかしながら、これらの方法には、以下のような問題がある。すなわち、接着剤によって接合する方法においては、接着剤が微小流路に染みだして流路が閉塞してしまったり、微小流路の一部が狭くなって流路の径が不均一なものとなったり、さらに、流路の壁面における均質な特性に乱れが生じたりする、という問題が生じるおそれがある。また、熱融着によって接合する方法においては、加熱溶融温度以上で融着すると加熱段階で流路が潰れてしまったり、流路が所定の断面形状に保持されなかったりするため、マイクロチップの高機能化が困難となる、という問題がある。
また、2枚の基板の間に結合膜を介在させ、当該結合膜に紫外線を照射することにより当該結合膜に接着性を発現させ、これにより、2枚の基板を接合する方法も提案されている(例えば特許文献6参照)。
このようなマイクロチップの実現には、1枚のマイクロチップに複数の測定検出部を組み込むことや、測定検出部に複数の測定法に対応した多様な測定構造を構築することなどが必要とされる。従って、必然的に1枚のマイクロチップは大型化することになる。
大型のマイクロチップは、例えば、縦横が85mm×128mm程度とされ、このマイクロチップを構成する2枚のマイクロチップ基板の厚みは、各々、例えば、数mm以上となる。
上述したように、マイクロチップは典型的には一対(2枚)のマイクロチップ基板が対向して接合された構造を有する。そして、大型のマイクロチップにおいては、当然ながら、一対のマイクロチップ基板自体も大きくなる。これに伴い、それぞれのマイクロチップ基板が不可避的に有する接合面のうねりやマイクロチップ基板自体の反りなどが、一対のマイクロチップ基板同士の接合状態に与える影響も大きくなる。
すなわち、マイクロチップ基板の接合面のうねりやマイクロチップ基板自体の反りによって、一対のマイクロチップ基板同士を積重する際、接合面の全面が密着しない場合も生じる。
図10においては、貫通孔からなる注入ポート62、試薬などを排出するための貫通孔からなる排出ポート63、並びに、注入ポート62の貫通孔および排出ポート63の貫通孔を連通する樋状の流路形成部分64が形成された第1のマイクロチップ基板51と、略平板状の第2のマイクロチップ基板55とを接合して、マイクロチップを作製する方法を具体的に説明する。
まず、第1のマイクロチップ基板51の接合面51aおよび第2のマイクロチップ基板55の接合面55aの各々に、紫外線光源59から放射される真空紫外線Lを照射する(図10(a−1)および(a−2))。ここで、第1のマイクロチップ基板51の接合面51aにはうねり(図10において点線で囲った部分)が生じているものとする。
次に、第1のマイクロチップ基板51の接合面51aおよび第2のマイクロチップ基板55接合面55aが接触するよう、第1のマイクロチップ基板51および第2のマイクロチップ基板55を積重する。得られた積重体50において、第1のマイクロチップ基板51の接合面51aに係るうねりを有する部分には、わずかながら空間Sが形成されている(図10(b))。
さらに、この積重体50を加圧および加熱する(図10(c))。このように加圧および加熱することにより、接合体57が得られる。
一般的に、樹脂材料による射出成形においては、成形品に50〜100μm程度の凹みは十分に生じうる。一方、マイクロチップ基板51に形成される微小流路(マイクロ流路)の接合方向における高さ(図10において流路形成部分64の上下方向の長さ)は、例えば50〜200μm程度であり、この高さが大きく変化してしまうと当該マイクロ流路に流通させる検体の流速や反応速度が、所期の設計値からずれてしまうために好ましくない。一般には、所期の設計値からの誤差は±10%以内であることが求められる。
一方、流路形成部分64の変形を小さく抑制するため押圧力を小さくすると、図10(d)に示されるように、上記の空間Sが消失されずに接合の不良個所として残留してしまう。押圧工程において加熱することによって接合界面のなじみは若干良好になるが、加熱によるマイクロ流路の変形を引き起こすおそれがある。
従って、マイクロチップ基板において、上記のレベルの凹みが形成されている場合、空間Sを消失させつつ、マイクロ流路の変形を抑えることは容易ではない。
また、基板の貼り合わせ面のうねりや基板自体の反りがある状態において2枚の基板を貼り合わせた場合、上記したうねりや反りに起因して接合体の一部に応力集中が生じ、場合によっては当初は接合していた基板の少なくとも一部の領域が、この応力集中により、剥がれてしまうといった問題も生じ得る。
また、接合体において接合境界に気泡が存在する場合は、これが光学的測定を行う際のノイズの原因となってしまうことがある。
なお、マイクロチップ基板の厚みが例えば10μm程度などと薄い場合は、当該マイクロチップ基板の可撓性が高くなるために2枚のマイクロチップ基板の接合境界の密着性を向上させることができるが、大型のマイクロチップを作製する場合には個々のマイクロチップ基板の厚みは数mm以上となるために、このような手法を選択することは難しい。
第1の基板の接合面および第2の基板の接合面の各々を活性化する表面活性化工程と、
当該第1の基板と当該第2の基板とをそれぞれの接合面が接触するように積重した状態で押圧する押圧工程とを有し、
前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の接合面が、区分用凹所によって離間するよう区画された複数の接合領域よりなることを特徴とする。
式(1):0.7t≧d≧dmin >0.05t
また、前記区分用凹所が溝からなる場合には、当該溝の幅をwとしたとき、下記式(2)を満たすことが好ましい。
式(2):w≧t
上記の基板の貼り合わせ方法によって前記第1の基板および前記第2の基板を接合することによって、内部に媒体が流れる流路を有するマイクロチップを得ることを特徴とする。
接着剤を介在させずに直接互いに貼り合わせられたそれぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板よりなり、当該第1の基板および当該第2の基板の少なくとも一方の接合面に流路形成部分が設けられており、
当該第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の接合面が、区分用凹所によって離間するよう区画された複数の接合領域よりなることを特徴とする。
図1は、本発明の基板の貼り合わせ方法の一例を概略的に示す説明図である。図2は、第1の基板および第2の基板の一例を示す斜視図である。図3は、第1の基板における区分用凹所を拡大して示す断面図である。
本発明の基板の貼り合わせ方法は、第1の基板11の接合面12および第2の基板15の接合面16の各々を活性化する表面活性化工程(図1(a−1)および(a−2))と、当該第1の基板11と当該第2の基板15とをそれぞれの接合面12,16が接触するように積重して積重体10を得る積重工程(図1(b))と、積重体10を押圧する押圧工程(図1(c))とを有する。
本発明に適用される第1の基板11および第2の基板15は、それぞれ、ガラスおよび合成樹脂よりなる群から選ばれる材料からなるものである。
基板11,15を構成する合成樹脂としては、シリコーン樹脂、シクロオレフィン樹脂(シクロオレフィンポリマー(COP)やシクロオレフィンコポリマー(COC)など)、アクリル樹脂などを用いることができる。例えば基板11,15がマイクロチップ基板である場合、光透過性に優れる材料を用いることが好ましく、光透過性に優れる樹脂としては、例えば、アクリル樹脂またはシクロオレフィン樹脂を用いることができる。
基板11,15を構成するガラスとしては、石英ガラス、アルカリガラス、硼珪酸ガラスなどを用いることができる。
第1の基板11の接合面12および第2の基板15の接合面16には、機能領域が含有されている。機能領域とは、例えば、マイクロチャンネルと称される流路などを構成する構造凹部20(図2参照)が形成される領域、または、対となる基板に形成された構造凹部20を密閉するための領域をいう。
第1の基板11の接合面12を構成する各接合領域12aは、略同一の平面に位置されるものであることが好ましい。
第2の基板15には構造凹部が形成されていないが、例えばその接合面16に、第1の基板11の構造凹部20に対応する構造凹部が形成されていてもよい。
構造凹部20および区分用溝18は、例えば平板状の基板を射出成形することなどによって形成することができる。
例えば、図1および図2の例における区分用溝18は、第1の基板11の縦方向および横方向にそれぞれ伸びる2本の樋状の溝が十字状に交差した形状を有する。この例において、接合面12は、それぞれ平面視したときに矩形の接合領域12aが4個、縦横に並んで配置されたものとされる。
式(1):0.7t≧d≧dmin >0.05t
さらに、図1および図2に示すように、区分用凹所が区分用溝18からなる場合は、当該区分用溝18の幅をwとしたとき、上記式(1)に加えて、下記式(2)を満たすことが好ましい。
式(2):w≧t
このような式(1)および式(2)を満たすことにより、後述する押圧工程において付与される、流路形成部分24が過度な変形を生ずることのない小さな加圧力によって、確実に接合領域12aの全面を第2の基板15の接合面16に密着させることができる。
また、上記式(1)を満たすことにより、十分な機械的強度が得られながら、第1の基板11における区分用溝18が形成された部分の可撓性が大きくなり、その結果、押圧工程において、各接合領域12aを各平面度に対応した小さな加圧力で確実に第2の基板15の接合面16に密着させることができる。ここで、区分用溝18の接合面12からの深さの上限値dが過度に大きい、すなわち区分用溝18が過度に深い場合は、第1の基板11に十分な機械的強度が得られず、区分用溝18の接合面12からの深さの下限値dmin が過度に小さい、すなわち区分用溝18が過度に浅い場合は、第1の基板11における区分用溝18が形成された部分に十分な可撓性が得られない。
第1の基板11の構造凹部20の過度な変形を伴わない加圧力は、当該第1の基板11を構成する素材のヤング率と、当該構造凹部20の各部のサイズとによって決定される。
表面活性化工程は、第1の基板11の接合面12および第2の基板15の接合面16の各々に真空紫外線Lを照射する紫外線照射処理工程、または大気圧プラズマによってプラズマ化したプロセスガスを、第1の基板の接合面および第2の基板の接合面の各々に接触させるプラズマガス処理工程であることが好ましい。図1においては紫外線照射処理工程を行うものとした。
表面活性化工程として、紫外線照射処理工程を選択する場合においては、紫外線光源30から、基板11,15における接合面12,16に、波長200nm以下の真空紫外線Lを照射する。
紫外線光源30としては、例えば、波長172nmに輝線を有するキセノンエキシマランプ等のエキシマランプ、波長185nmに輝線を有する低圧水銀ランプ、波長120〜200nmの範囲に輝線を有する重水素ランプを好適に用いることができる。
基板11,15の接合面12,16に照射される真空紫外線Lの照度は、例えば10〜100mW/cm2 である。
また、基板11,15の接合面12,16に対する真空紫外線Lの照射時間は、基板11,15を構成する材料に応じて適宜設定されるが、例えば5秒間以上であることが好ましく、より好ましくは10〜60秒間である。
表面活性化工程として、プラズマガス処理工程を選択する場合においては、大気圧プラズマによってプラズマ化したプロセスガスを、基板の接合面に接触させる。
プロセスガスとしては、窒素ガス、アルゴンガスなどを主成分とし、酸素ガスが0.01〜5体積%含有してなるものを使用することが好ましい。または、窒素ガスとクリーンドライエア(CDA)との混合ガスを用いることも可能である。
また、プラズマガス処理による処理時間は、例えば5〜100秒間である。
積重工程においては、図1(b)に示すように、室温環境下において、第1の基板11および第2の基板15を、第1の基板11の接合面12と第2の基板15の接合面16とが互いに接触した状態に積重する。
この積重工程を経ることにより、第1の基板11と第2の基板15とが積重した状態の積重体10が得られる。
ここで、第1の基板11の接合面12にはうねり(図1において鎖線で囲った部分)が生じているものとする。従って、得られた積重体10において、第1の基板11の接合面12に係るうねりを有する部分には、空間Sが形成される。
なお、図1の例においては第2の基板15にはうねりが生じていないものとされているが、第2の基板15にもうねりや反りが生じていても、本発明の効果が得られる。
押圧工程においては、積重工程において得られた積重体10を互いに接近する方向に押圧して加圧することにより、第1の基板11の接合面12および第2の基板15の接合面16を互いに密着させる。
具体的な加圧条件を挙げると、加圧力は、流路形成部分24が過度な変形を生ずることのない大きさとされ、具体的には例えば0.1〜5MPaであり、加圧時間が例えば60〜300秒間である。また、基板に対する加圧処理を例えば二段階に分けて行う場合には、二回目の加圧処理における加圧力は、上記数値範囲内において、一回目の加圧処理における加圧力より小さく設定することができる。また、二回目の加圧処理における加圧時間は、上記数値範囲内において、一回目の加圧処理における加圧時間より長く設定することができる。
なお、区分用凹所を有さない第1の基板と第2の基板との積重体を押圧すると、流路形成部分が過度な変形を生ずることのない小さな加圧力によっては、全ての接合領域12aを適切に接合することができないことがある。
この相違は、ヘルツの接触弾性変形理論によって説明することができる。概略的に説明すると、接合面が、区分用凹所により当該接合面よりも小さな面積の接合領域に分割されていると、個々の接合領域における平面度は、元の接合面よりも小さくなる、すなわち平面性が高くなる。そして、平面度が小さいほど、第1の基板と第2の基板とを確実に密着させるために必要な加圧力が小さくなる。従って、流路形成部分の過度な変形を伴わずに、個々の接合領域での接合を隙間が生じることなく行うことができる。
一方、区分用凹所により分割されていない大面積の連続する接合面における平面度は、複数の接合領域に分割した場合よりも大きくなる、すなわち平面性が低くなるので、接合面の全面を確実に密着させるために必要な加圧力が、大きくなる。従って、この大きな加圧力で押圧しなければならないので、流路形成部分に変形が生じるおそれが大きくなる。ここに、平面度とは、ある面(接合面あるいは個々の接合領域)を仮想の2つの平行な平面で挟んだ場合の両平面の最短距離をいう。
以上のことから、図1(d)に示すように、第1の基板11の接合面12の全面が第2の基板15の接合面16に対して一様に接触した状態となる。その結果、基板11,15同士の接合の不良個所が発生することや、基板11に形成されたマイクロ流路流路となる構造凹部20が変形すること、並びに、2枚の基板11,15の接合境界17aに気泡が挟まることなどが回避されて、これらの不具合が第1の基板11の構造凹部20に干渉することなく、第1の基板11および第2の基板15間に良好な密着状態が得られる。
そして、第1の基板11と第2の基板15とが、様々な化学反応プロセスを経ることによって、例えば、第1の基板11の接合面12の終端のOH基と第2の基板15の接合面16の終端のOH基とによる水素結合により接合され、以って、第1の基板11と第2の基板15とが一体に強固に接合された接合体17が得られる。
本発明のマイクロチップの製造方法は、上記の基板の貼り合わせ方法を用いて内部に媒体が流れる流路を有するマイクロチップを得る方法である。
すなわち、それぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板において、第1の基板および第2の基板の少なくとも一方の接合面に流路形成部分が設けられたものをマイクロチップ基板として用いる。
本発明のマイクロチップは、上記のマイクロチップの製造方法によって得られる、内部に媒体が流れる流路を有するものである。
具体的には、図1(d)に示されるように、第1の基板11および第2の基板15が互いに貼り合わせられた接合体17よりなる。
そして、第1の基板11の接合面12および第2の基板15の接合面16の少なくとも一方の接合面(図1においては第1の基板11の接合面12)が、区分用溝18によって離間するよう区画された複数の接合領域12aよりなる。
第1の基板11および当該第2の基板15の少なくとも一方の接合面12,16(図1においては第1の基板11の接合面12)には、注入ポート22、排出ポート23および流路形成部分24とを有する構造凹部20が設けられており、図1(d)に示されるように、第1の基板11に形成された流路形成部分24が、第2の基板15が蓋となってこれにより密閉されて、内部に媒体が流れる流路Rが区画されている。
例えば、図1および図2に示す接合体17のように第1の基板11の接合面12を構成する接合領域12aに構造凹部20が形成されることに限定されず、第2の基板の1つの連続した平面である接合面に構造凹部が形成されていてもよい。この場合、対となる第1の基板には、第2の基板の接合面に形成された構造凹部と対応する位置に、これを密閉するための接合領域が配置される。
また、構造凹部は第1の基板11および第2の基板15の両方に形成されていてもよい。
また例えば、区分用溝18は、第1の基板11の接合面12の反対面および/または第2の基板15の接合面16の反対面に形成されていてもよい。
なお、図4(a)〜(c)において、符号20は構造凹部を示す。
周縁凹所19B,19Cは、例えば平板状の基板を射出成形することなどによって形成することができる。
下記の第1の基板および第2の基板を用意した。
図5は、実施例1に係る第1の基板を示す平面図である。第1の基板(41A)は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の一方の面に、外形が36mm×36mmの矩形の接合領域(42aA)6個が2個×3列に縦横に並列に、凸部として残留配置されるよう、周縁凹所(49A)および区分用溝(48A)が射出成形により形成されたものである。区分用溝(48A)の幅は2mm、深さ(接合領域(42aA)から区分用溝(48A)の最深部までの距離)は1mmである。また、周縁凹所(49A)の深さ(接合領域(42aA)から周縁凹所(49A)の最深部までの距離)も1mmである。
第2の基板は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の接合面に、構造凹部が形成された12×8穴のマイクロプレートである。構造凹部となるマイクロプレートの複数の穴はそれぞれ独立しており、2穴が流路で連結されているマイクロチップ構造ではないが、マイクロプレートの各穴を、マイクロチップの注入ポートおよび排出ポートと仮想して貼り合わせを行った。マイクロプレートの各穴における構造凹部となるべき穴は、対となる第1の基板において、同一の接合領域(42aA)と対向すると仮想した。第1の基板(41A)と対応する第2の基板の穴の位置を図5において鎖線で示す。
キセノンエキシマランプを用い、2枚の基板の各々の接合面に、照度が40mW/cm2 、照射時間が20秒間となる条件で、真空紫外線を照射した。
2枚の基板を、それぞれの接合面が互いに接触するよう積重して積重体を得た(積重工程)。次いで、この積重体を加圧力が0.2MPa、加圧時間が300秒間、加熱温度が90℃の条件で加圧することによって、2枚の基板を接合し、接合体〔A〕を得た。
実施例1において、第1の基板として以下のものを使用したことの他は同様にして、2枚の基板を接合し、接合体〔B〕を得た。
図6は、実施例2に係る第1の基板を示す平面図である。第1の基板(41B)は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の一方の面に、外形が18mm×36mmの細長い矩形の接合領域(42aB)12個が2個×6列に縦横に並列に、凸部として残留配置されるよう、周縁凹所(49B)および区分用溝(48B)が射出成形により形成されたものである。区分用溝(48B)の幅は2mm、深さ(接合領域(42aB)から区分用溝(48B)の最深部までの距離)は1mmである。また、周縁凹所(49B)の深さ(接合領域(42aB)から周縁凹所(49B)の最深部までの距離)も1mmである。
実施例1において、第1の基板として以下のものを使用したことの他は同様にして、2枚の基板を接合し、接合体〔C〕を得た。
図7は、実施例3に係る第1の基板を示す平面図である。第1の基板(41C)は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の一方の面に、長辺が43mm×短辺が18mmの細長い六角形の接合領域(42aC)11個が、4個、3個、4個と3列に、凸部として残留配置されるよう、周縁凹所(49C)および区分用溝(48C)が射出成形により形成されたものである。区分用溝(48C)の幅は最も狭い部位で2mm、深さ(接合領域(42aC)から区分用溝(48C)の最深部までの距離)は1mmである。また、周縁凹所(49C)の深さ(接合領域(42aC)から周縁凹所(49C)の最深部までの距離)も1mmである。
実施例1において、第1の基板として以下のものを使用したことの他は同様にして、2枚の基板を接合し、接合体〔D〕を得た。
図8は、実施例4に係る第1の基板を示す平面図である。第1の基板(41D)は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の一方の面に、外形が54mm×72mmの矩形の接合領域(42aD)2個が、凸部として残留配置されるよう、周縁凹所(49D)および区分用溝(48D)が射出成形により形成されたものである。区分用溝(48D)の幅は2mm、深さ(接合領域(42aD)から区分用溝(48D)の最深部までの距離)は1mmである。また、周縁凹所(49D)の深さ(接合領域(42aD)から周縁凹所(49D)の最深部までの距離)も1mmである。
実施例1において、第1の基板として以下のものを使用したことの他は同様にして、2枚の基板を接合し、接合体〔E〕を得た。
図9は、比較例1に係る第1の基板を示す平面図である。第1の基板(41E)は、SBS基準に準じた外形(85mm×128mm)を有し、厚みが2mmのシクロオレフィン樹脂(日本ゼオン株式会社製「ゼオネックス460R」)よりなる板の一方の面に、外形が106mm×72mmの矩形の接合面(42E)1個が、凸部として残留配置されるよう、周縁凹所(49E)が射出成形により形成されたものである。周縁凹所(49E)の深さ(接合面(42E)から周縁凹所(49E)の最深部までの距離)は1mmである。
具体的には、第1の基板と第2の基板とが接合されると、両者は一体化し、隙間なく接合された部分は界面がなくなる。一方、接合がなされていない部分において界面が残る。そのため、第2の基板側から平面写真を撮影し、撮影画像における界面が残った部分は暗部として観測される。従って、接合体〔A〕〜〔E〕の接合状況は、各接合体〔A〕〜〔E〕を第2の基板側から平面写真を撮影し、この撮影画像について、画像計測ソフトウエアを用いて接合されていない部分の面積を算出し、この値を用いて、接合されるべき全面積(理論値)中の実際に接合された接合面積の比率を求めた。
接合面積の比率は、80%以上である場合に実用に耐えるものと考えられる。
11 第1の基板
12 接合面
12a,12aA,12aB,12aC 接合領域
15 第2の基板
16 接合面
17 接合体
17a 接合境界
18,18A,18B,18C 区分用溝
19B,19C 周縁凹所
20 構造凹部
22 注入ポート
23 排出ポート
24 流路形成部分
30 紫外線光源
41A,41B,41C,41D,41E 第1の基板
42aA,42aB,42aC,42aD 接合領域
42E 接合面
48A,48B,48C,48D 区分用溝
49A,49B,49C,49D,49E 周縁凹所
50 積重体
51 第1のマイクロチップ基板
51a 接合面
55 第2のマイクロチップ基板
55a 接合面
57 接合体
59 紫外線光源
62 注入ポート
63 排出ポート
64 流路形成部分
L 真空紫外線
R 流路
S 空間
Claims (14)
- それぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板を接合する方法であって、
第1の基板の接合面および第2の基板の接合面の各々を活性化する表面活性化工程と、
当該第1の基板と当該第2の基板とをそれぞれの接合面が接触するように積重した状態で押圧する押圧工程とを有し、
前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の接合面が、区分用凹所によって離間するよう区画された複数の接合領域よりなることを特徴とする基板の貼り合わせ方法。 - 前記区分用凹所を有する基板の厚みをt、前記区分用凹所の接合面からの深さの上限値をd、区分用凹所の接合面からの深さdの下限値をdmin としたとき、dmin は50μmよりも大きい値であり、かつ、下記式(1)を満たすことを特徴とする請求項1に記載の基板の貼り合わせ方法。
式(1):0.7t≧d≧dmin >0.05t - 前記区分用凹所が溝からなり、当該溝の幅をwとしたとき、下記式(2)を満たすことを特徴とする請求項2に記載の基板の貼り合わせ方法。
式(2):w≧t - 前記表面活性化工程は、前記第1の基板の接合面および前記第2の基板の接合面の各々に真空紫外線を照射する紫外線照射処理工程であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板の貼り合わせ方法。
- 前記表面活性化工程は、大気圧プラズマによってプラズマ化したプロセスガスを、前記第1の基板の接合面および前記第2の基板の接合面の各々に接触させるプラズマガス処理工程であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板の貼り合わせ方法。
- それぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板において、当該第1の基板および当該第2の基板の少なくとも一方の接合面に流路形成部分が設けられており、
請求項1〜請求項5のいずれかに記載の基板の貼り合わせ方法によって前記第1の基板および前記第2の基板を接合することによって、内部に媒体が流れる流路を有するマイクロチップを得ることを特徴とするマイクロチップの製造方法。 - 内部に媒体が流れる流路を有するマイクロチップであって、
接着剤を介在させずに直接互いに貼り合わせられたそれぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板よりなり、当該第1の基板および当該第2の基板の少なくとも一方の接合面に流路形成部分が設けられており、
当該第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の接合面が、区分用凹所によって離間するよう区画された複数の接合領域よりなることを特徴とするマイクロチップ。 - 前記区分用凹所を有する基板の厚みをt、前記区分用凹所の接合面からの深さの上限値をd、区分用凹所の接合面からの深さdの下限値をdmin としたとき、dmin は50μmよりも大きい値であり、かつ、下記式(1)を満たすことを特徴とする請求項7に記載のマイクロチップ。
式(1):0.7t≧d≧dmin >0.05t - 前記区分用凹所が、前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の側周縁に開口する樋状のものであることを特徴とする請求項7に記載のマイクロチップ。
- 前記区分用凹所が、前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の周縁に設けられた周縁凹所に連通するものであることを特徴とする請求項7に記載のマイクロチップ。
- 内部に媒体が流れる流路を有するマイクロチップであって、
互いに貼り合わせられたそれぞれガラスまたは樹脂からなる第1の基板および第2の基板よりなり、当該第1の基板および当該第2の基板の少なくとも一方の接合面に流路形成部分が設けられており、
当該第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の接合面が、区分用凹所によって離間するよう区画された複数の接合領域よりなり、
前記区分用凹所を有する基板の厚みをt、前記区分用凹所の接合面からの深さの上限値をd、区分用凹所の接合面からの深さdの下限値をd min としたとき、d min は50μmよりも大きい値であり、かつ、下記式(1)を満たすことを特徴とするマイクロチップ。
式(1):0.7t≧d≧d min >0.05t - 前記区分用凹所が溝からなり、当該溝の幅をwとしたとき、下記式(2)を満たすことを特徴とする請求項8または請求項11に記載のマイクロチップ。
式(2):w≧t - 前記区分用凹所が、前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の側周縁に開口する樋状のものであることを特徴とする請求項8、請求項11および請求項12のいずれかに記載のマイクロチップ。
- 前記区分用凹所が、前記第1の基板の接合面および/または前記第2の基板の周縁に設けられた周縁凹所に連通するものであることを特徴とする請求項8、請求項11および請求項12のいずれかに記載のマイクロチップ。
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