JP6524281B2 - 分光器 - Google Patents
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Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
Claims (10)
- 光通過部、第1光検出部及び第2光検出部が設けられた光検出ユニットと、
前記光通過部、前記第1光検出部及び前記第2光検出部との間に空間が形成されるように前記光検出ユニットに固定された支持体と、
前記支持体に設けられた配線と、
前記支持体に設けられ、前記空間において、前記光通過部を通過した光を反射する第1光学部と、
前記光検出ユニットに設けられ、前記空間において、前記第1光学部で反射された光を反射する第2光学部と、
前記支持体に設けられ、前記空間において、前記第2光学部で反射された光を前記第1光検出部に対して反射する第3光学部と、を備え、
前記光検出ユニットと前記配線とは、電気的に接続されており、
前記第2光学部又は前記第3光学部は、前記空間において、入射した光を分光すると共に反射し、
前記第1光検出部及び前記第2光検出部は、半導体材料からなる基板において互いに離れた領域に設けられている、分光器。 - 前記第1光検出部及び前記第2光検出部は、前記基板の同一の表面に設けられている、請求項1記載の分光器。
- 前記光検出ユニットは、バンプを介して前記配線と電気的に接続されており、前記バンプを介して前記支持体に固定されている、請求項1又は2記載の分光器。
- 前記第1光学部は、平面ミラーである、請求項1〜3のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第1光学部は、凹面ミラーである、請求項1〜3のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第2光学部は、平面ミラーである、請求項1〜5のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第2光学部は、分光部である、請求項1〜5のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第1光学部は、成形層を介して前記支持体に設けられている、請求項1〜7のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第3光学部は、成形層を介して前記支持体に設けられている、請求項1〜7のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第1光学部及び前記第3光学部は、成形層を介して前記支持体に設けられている、請求項1〜7のいずれか一項記載の分光器。
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