JP6515811B2 - Triazine polymer-containing composition - Google Patents

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Description

本発明は、トリアジン系重合体含有組成物に関する。   The present invention relates to a triazine polymer-containing composition.

近年、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、タッチパネル、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、および有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを開発する際に、高機能な高分子材料が要求されるようになってきた。
求められる具体的な特性としては、1)耐熱性、2)透明性、3)高屈折率、4)高溶解性、5)低体積収縮率、6)高温高湿耐性、7)高膜硬度などが挙げられる。
この点に鑑み、本発明者らは、トリアジン環および芳香環を有する繰り返し単位を含む重合体が高屈折率を有し、ポリマー単独で高耐熱性、高透明性、高屈折率、高溶解性、低体積収縮を達成でき、電子デバイスを作製する際の膜形成用組成物として好適であることを既に見出している(特許文献1)。
In recent years, we develop electronic devices such as liquid crystal displays, organic electroluminescence (EL) displays, touch panels, optical semiconductor (LED) elements, solid-state imaging devices, organic thin film solar cells, dye-sensitized solar cells, and organic thin film transistors (TFTs) At the same time, high functional polymer materials have come to be required.
Specific characteristics required are 1) heat resistance, 2) transparency, 3) high refractive index, 4) high solubility, 5) low volume shrinkage, 6) high temperature and high humidity resistance, 7) high film hardness Etc.
In view of this point, the present inventors have found that a polymer containing a repeating unit having a triazine ring and an aromatic ring has a high refractive index, and the polymer alone has high heat resistance, high transparency, high refractive index, and high solubility. It has already been found that low volume shrinkage can be achieved and it is suitable as a composition for film formation when producing an electronic device (Patent Document 1).

ところで、液晶表示素子における、スペーサー、絶縁膜、保護膜などにおいて、透明材料を用いたパターン形成が行われており、これまでに多くのネガ型感光性組成物がこの用途に提案されてきた。
特に、近年では、高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイの需要が高まっていることにより、直径10μm以下の小さなパターンが求められるようになっている。
また、タッチパネルにおいては、透明電極の視認性向上のために高屈折率層の必要性が高まっているが、電極配線部分に絶縁膜が存在すると応答性に影響が出てくることから、配線部分から100〜1000μmの幅で絶縁層を除去する必要がある。
当該用途に用いられている既存材料は、屈折率という点で不十分であり、また、透明性を維持しつつ、その屈折率を1.7超まで向上することは困難である。
この点、上記特許文献1の重合体は、屈折率という点では要求に応えられるものの、微細パターンの形成性という点で改善の余地がある。
By the way, pattern formation using a transparent material is performed in a spacer, an insulating film, a protective film, etc. in a liquid crystal display element, and many negative photosensitive compositions have been proposed for this use so far.
In particular, in recent years, with the increasing demand for high definition liquid crystal displays and displays for mobile phones, small patterns having a diameter of 10 μm or less are required.
Moreover, in the touch panel, the need for a high refractive index layer is increasing to improve the visibility of the transparent electrode, but the presence of the insulating film in the electrode wiring portion affects the response, so the wiring portion It is necessary to remove the insulating layer with a width of 100 to 1000 μm.
The existing materials used for the application are insufficient in terms of refractive index, and it is difficult to improve the refractive index to over 1.7 while maintaining transparency.
In this respect, although the polymer of Patent Document 1 can meet the requirements in terms of refractive index, there is room for improvement in terms of fine pattern formation.

なお、特許文献2には、トリアジン環含有重合体を含むパターン形成用組成物が開示されているものの、この重合体は屈折率が1.7未満であり、より高い屈折率が要求される上記用途には適していない。   In addition, although the composition for pattern formation containing a triazine ring containing polymer is disclosed by patent document 2, this polymer is less than 1.7 refractive index, and the said high refractive index is requested | required. Not suitable for use.

また、近年のデバイスの薄型化・軽量化の潮流から、プラスチックフィルム基板等の耐熱性が低い材料が用いられることも増加してきており、薄膜作製時に低温焼成が可能な材料や組成の設計に対する要求が高まっている。   In addition, with the trend of thinning and reducing the weight of devices in recent years, the use of materials with low heat resistance such as plastic film substrates is also increasing, and there is a demand for the design of materials and compositions that can be fired at low temperatures when producing thin films. Is rising.

国際公開第2010/128661号International Publication No. 2010/128661 特開2004−156001号公報JP 2004-156001 A

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、低温焼成にて、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、高屈折率な微細パターンをも形成し得るトリアジン系重合体含有組成物を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to form a thin film having high refractive index and excellent transparency by low temperature baking, and to form a triazine series weight which can also form a fine pattern of high refractive index. It is an object to provide a united containing composition.

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、所定の官能基を有するアリールアミノ基で置換されたトリアジン環含有重合体と、2種類の架橋剤とを含む組成物を用いることで、低温焼成にて、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、高屈折率な微細パターンをも形成し得ることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that a composition comprising a triazine ring-containing polymer substituted with an arylamino group having a predetermined functional group and two crosslinkers. By using this, it was found that a thin film having a high refractive index and excellent transparency can be formed by low temperature baking, and a fine pattern having a high refractive index can also be formed, thereby completing the present invention.

すなわち、本発明は、
1. 下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含む重合体と、少なくとも2種類の架橋剤とを含むことを特徴とするトリアジン系重合体含有組成物、

Figure 0006515811
{式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar1は、水酸基、カルボキシル基および/またはマレイミド基を有するアリール基を表し、Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 0006515811
〔式中、R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)
Figure 0006515811
(式中、R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
2. 前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物との組み合わせである1のトリアジン系重合体含有組成物、
3. 前記多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物との含有量が、質量比で1:1〜3:1である2のトリアジン系重合体含有組成物、
4. 前記重合体が、下記式(18)で示される繰り返し単位構造を含む1〜3のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物、
Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、前記と同じ意味を表す。)
5. 下記式(19)で示される繰り返し単位構造を含む4のトリアジン系重合体含有組成物、
Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、前記と同じ意味を表す。)
6. 下記式(23)で示される繰り返し単位構造を含む5のトリアジン系重合体含有組成物、
Figure 0006515811
7. さらに、オキシラン環含有化合物と、光硬化型触媒とを含有する1〜6のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物、
8. さらにアジド化合物を含有する1〜6のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物、
9. パターン形成用である1〜8のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物、
10. 1〜8のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物を硬化させて得られる硬化膜、
11. 9のトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン、
12. 基材と、この基材上に形成された10の硬化膜とを備える電子デバイス、
13. 基材と、この基材上に形成された10の硬化膜とを備える光学部材、
14. 基材と、この基材上に形成された11のパターンとを備える電子デバイス
を提供する。That is, the present invention
1. A triazine-based polymer-containing composition comprising a polymer having a repeating unit structure represented by the following formula (1), and at least two types of crosslinking agents,
Figure 0006515811
[Wherein, R and R ′ each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group, and Ar 1 is an aryl group having a hydroxyl group, a carboxyl group and / or a maleimide group Ar 2 represents at least one selected from the group represented by formulas (2) to (13).
Figure 0006515811
[Wherein, R 1 to R 92 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group optionally having a carbon number of 1 to 10, or a carbon number of 1 represents an alkoxy group which may have a branched structure to 10, R 93 and R 94 represents an alkyl group which may have a hydrogen atom or a branched structure having 1 to 10 carbon atoms, W 1 and W 2 is, independently of each other, a single bond, CR 95 R 96 (R 95 and R 96 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having a branched structure of 1 to 10 carbon atoms ( Provided that they may together form a ring))), C = O, O, S, SO, SO 2 or NR 97 (R 97 is a hydrogen atom or 1 carbon atom represents an alkyl group which may have a branched structure 10.) represents, X 1 Contact Fine X 2 independently of one another, a single bond, an alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms, or the formula, (14)
Figure 0006515811
(Wherein, R 98 to R 101 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or a branched structure, or 1 carbon atom) And an alkoxy group which may have a branched structure of 10 to 10, and Y 1 and Y 2 independently of each other are a single bond or an alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms Represents a group represented by ]}
2. 1. The triazine-based polymer-containing composition according to 1, wherein the crosslinking agent is a combination of a polyfunctional (meth) acrylic compound and a polyfunctional epoxy compound.
3. 2. The triazine polymer-containing composition according to 2, wherein the content of the polyfunctional (meth) acrylic compound and the polyfunctional epoxy compound is 1: 1 to 3: 1 by mass ratio,
4. The triazine polymer-containing composition according to any one of 1 to 3, wherein the polymer comprises a repeating unit structure represented by the following formula (18):
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)
5. 4. A triazine-based polymer-containing composition of 4 comprising a repeating unit structure represented by the following formula (19):
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)
6. 5. A triazine-based polymer-containing composition of 5 comprising a repeating unit structure represented by the following formula (23):
Figure 0006515811
7. Furthermore, the triazine polymer-containing composition according to any one of 1 to 6, which comprises an oxirane ring-containing compound and a photocurable catalyst,
8. Furthermore, the triazine type polymer containing composition in any one of 1-6 containing an azide compound,
9. A composition containing a triazine polymer according to any one of 1 to 8 for pattern formation,
10. A cured film obtained by curing a triazine polymer-containing composition according to any one of 1 to 8,
11. A pattern prepared from the triazine polymer containing composition of 9,
12. An electronic device comprising a substrate and 10 cured films formed on the substrate,
13. An optical member comprising a substrate and 10 cured films formed on the substrate,
14. Provided is an electronic device comprising a substrate and 11 patterns formed on the substrate.

本発明によれば、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、マスキングして露光・硬化させた後、これをアルカリ現像等することで微細パターンを形成することができる。
特に、2種類の架橋剤を併用していることから、低温焼成にて薄膜形成が可能であるという利点を有している。
本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、架橋されたトリアジン環含有重合体による、高耐熱性、高屈折率、低体積収縮という特性を発揮し得るため、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、タッチパネル、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)、レンズ、プリズム、カメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置等を作製する際の一部材など、電子デバイスや光学材料の分野に好適に利用できる。
また、本発明の組成物から作製された高屈折率パターンは、上述したタッチパネル等の透明電極骨見え防止、有機ELディスプレイの光取出し用途やブラックマトリックス用途をはじめとした、高屈折率パターンが要求される用途に好適に用いることできる。
According to the present invention, a thin film having high refractive index and excellent transparency can be formed, and after exposure and curing by masking, a fine pattern can be formed by alkali development or the like.
In particular, since two types of crosslinking agents are used in combination, it has an advantage that thin film formation is possible by low temperature baking.
A cured film or a fine pattern produced from the composition of the present invention can exhibit the properties of high heat resistance, high refractive index, and low volume shrinkage due to the crosslinked triazine ring-containing polymer, and thus liquid crystal displays, organic electro Luminescent (EL) display, touch panel, optical semiconductor (LED) element, solid-state image sensor, organic thin film solar cell, dye-sensitized solar cell, organic thin film transistor (TFT), lens, prism, camera, binoculars, microscope, semiconductor exposure device etc It can be suitably used in the field of electronic devices and optical materials, such as one member when producing
Moreover, the high refractive index pattern produced from the composition of the present invention is required to prevent the appearance of the transparent electrode such as the touch panel described above, and the light extraction application and the black matrix application of the organic EL display. It can be used suitably for the use.

実施例1で得られた高分子化合物[4]の1H−NMRスペクトル図である。FIG. 2 is a 1 H-NMR spectrum diagram of the polymer compound [4] obtained in Example 1. 実施例1で得られた高分子化合物[4]のTG−DTA測定結果を示す図である。FIG. 5 is a graph showing the results of TG-DTA measurement of the polymer compound [4] obtained in Example 1.

以下、本発明についてさらに詳しく説明する。
本発明に係るトリアジン系重合体含有組成物は、下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含む重合体と、少なくとも2種類の架橋剤とを含むものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The triazine polymer-containing composition according to the present invention comprises a polymer having a repeating unit structure represented by the following formula (1) and at least two types of crosslinking agents.

Figure 0006515811
Figure 0006515811

上記式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表すが、屈折率をより高めるという観点から、ともに水素原子であることが好ましい。
本発明において、アルキル基の炭素数としては特に限定されるものではないが、1〜20が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数1〜10がより好ましく、1〜3がより一層好ましい。また、その構造は、鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
In the above formulas, R and R ′ each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group, but from the viewpoint of further increasing the refractive index, both are hydrogen atoms preferable.
In the present invention, the carbon number of the alkyl group is not particularly limited, but is preferably 1 to 20, and in view of further enhancing the heat resistance of the polymer, the carbon number is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 3. Is even more preferred. In addition, the structure may be linear, branched or cyclic.

アルキル基の具体例としては、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、シクロプロピル、n−ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、シクロブチル、1−メチル−シクロプロピル、2−メチル−シクロプロピル、n−ペンチル、1−メチル−n−ブチル、2−メチル−n−ブチル、3−メチル−n−ブチル、1,1−ジメチル−n−プロピル、1,2−ジメチル−n−プロピル、2,2−ジメチル−n−プロピル、1−エチル−n−プロピル、シクロペンチル、1−メチル−シクロブチル、2−メチル−シクロブチル、3−メチル−シクロブチル、1,2−ジメチル−シクロプロピル、2,3−ジメチル−シクロプロピル、1−エチル−シクロプロピル、2−エチル−シクロプロピル、n−ヘキシル、1−メチル−n−ペンチル、2−メチル−n−ペンチル、3−メチル−n−ペンチル、4−メチル−n−ペンチル、1,1−ジメチル−n−ブチル、1,2−ジメチル−n−ブチル、1,3−ジメチル−n−ブチル、2,2−ジメチル−n−ブチル、2,3−ジメチル−n−ブチル、3,3−ジメチル−n−ブチル、1−エチル−n−ブチル、2−エチル−n−ブチル、1,1,2−トリメチル−n−プロピル、1,2,2−トリメチル−n−プロピル、1−エチル−1−メチル−n−プロピル、1−エチル−2−メチル−n−プロピル、シクロヘキシル、1−メチル−シクロペンチル、2−メチル−シクロペンチル、3−メチル−シクロペンチル、1−エチル−シクロブチル、2−エチル−シクロブチル、3−エチル−シクロブチル、1,2−ジメチル−シクロブチル、1,3−ジメチル−シクロブチル、2,2−ジメチル−シクロブチル、2,3−ジメチル−シクロブチル、2,4−ジメチル−シクロブチル、3,3−ジメチル−シクロブチル、1−n−プロピル−シクロプロピル、2−n−プロピル−シクロプロピル、1−イソプロピル−シクロプロピル、2−イソプロピル−シクロプロピル、1,2,2−トリメチル−シクロプロピル、1,2,3−トリメチル−シクロプロピル、2,2,3−トリメチル−シクロプロピル、1−エチル−2−メチル−シクロプロピル、2−エチル−1−メチル−シクロプロピル、2−エチル−2−メチル−シクロプロピル、2−エチル−3−メチル−シクロプロピル基等が挙げられる。   Specific examples of the alkyl group are methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, cyclopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, t-butyl, cyclobutyl, 1-methyl-cyclopropyl, 2-methyl-cyclopropyl , N-pentyl, 1-methyl-n-butyl, 2-methyl-n-butyl, 3-methyl-n-butyl, 1,1-dimethyl-n-propyl, 1,2-dimethyl-n-propyl, 2 , 2-dimethyl-n-propyl, 1-ethyl-n-propyl, cyclopentyl, 1-methyl-cyclobutyl, 2-methyl-cyclobutyl, 3-methyl-cyclobutyl, 1,2-dimethyl-cyclopropyl, 2,3- Dimethyl-cyclopropyl, 1-ethyl-cyclopropyl, 2-ethyl-cyclopropyl, n-hexyl, 1-methyl-n-pen , 2-methyl-n-pentyl, 3-methyl-n-pentyl, 4-methyl-n-pentyl, 1,1-dimethyl-n-butyl, 1,2-dimethyl-n-butyl, 1,3- Dimethyl-n-butyl, 2,2-dimethyl-n-butyl, 2,3-dimethyl-n-butyl, 3,3-dimethyl-n-butyl, 1-ethyl-n-butyl, 2-ethyl-n-butyl Butyl, 1,1,2-trimethyl-n-propyl, 1,2,2-trimethyl-n-propyl, 1-ethyl-1-methyl-n-propyl, 1-ethyl-2-methyl-n-propyl, Cyclohexyl, 1-methyl-cyclopentyl, 2-methyl-cyclopentyl, 3-methyl-cyclopentyl, 1-ethyl-cyclobutyl, 2-ethyl-cyclobutyl, 3-ethyl-cyclobutyl, 1,2-dimethyl-cyclo , 1,3-dimethyl-cyclobutyl, 2,2-dimethyl-cyclobutyl, 2,3-dimethyl-cyclobutyl, 2,4-dimethyl-cyclobutyl, 3,3-dimethyl-cyclobutyl, 1-n-propyl-cyclopropyl , 2-n-propyl-cyclopropyl, 1-isopropyl-cyclopropyl, 2-isopropyl-cyclopropyl, 1,2,2-trimethyl-cyclopropyl, 1,2,3-trimethyl-cyclopropyl, 2,2,2, 3-trimethyl-cyclopropyl, 1-ethyl-2-methyl-cyclopropyl, 2-ethyl-1-methyl-cyclopropyl, 2-ethyl-2-methyl-cyclopropyl, 2-ethyl-3-methyl-cyclopropyl And the like.

上記アルコキシ基の炭素数としては特に限定されるものではないが、1〜20が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数1〜10がより好ましく、1〜3がより一層好ましい。また、そのアルキル部分の構造は、鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。   The carbon number of the above alkoxy group is not particularly limited, but is preferably 1 to 20, and in view of further enhancing the heat resistance of the polymer, the carbon number is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 3 preferable. In addition, the structure of the alkyl moiety may be linear, branched or cyclic.

アルコキシ基の具体例としては、メトキシ、エトキシ、n−プロポキシ、イソプロポキシ、n−ブトキシ、イソブトキシ、s−ブトキシ、t−ブトキシ、n−ペントキシ、1−メチル−n−ブトキシ、2−メチル−n−ブトキシ、3−メチル−n−ブトキシ、1,1−ジメチル−n−プロポキシ、1,2−ジメチル−n−プロポキシ、2,2−ジメチル−n−プロポキシ、1−エチル−n−プロポキシ、n−ヘキシルオキシ、1−メチル−n−ペンチルオキシ、2−メチル−n−ペンチルオキシ、3−メチル−n−ペンチルオキシ、4−メチル−n−ペンチルオキシ、1,1−ジメチル−n−ブトキシ、1,2−ジメチル−n−ブトキシ、1,3−ジメチル−n−ブトキシ、2,2−ジメチル−n−ブトキシ、2,3−ジメチル−n−ブトキシ、3,3−ジメチル−n−ブトキシ、1−エチル−n−ブトキシ、2−エチル−n−ブトキシ、1,1,2−トリメチル−n−プロポキシ、1,2,2−トリメチル−n−プロポキシ、1−エチル−1−メチル−n−プロポキシ、1−エチル−2−メチル−n−プロポキシ基等が挙げられる。   Specific examples of the alkoxy group include methoxy, ethoxy, n-propoxy, isopropoxy, n-butoxy, isobutoxy, sec-butoxy, tert-butoxy, n-pentoxy, 1-methyl-n-butoxy, 2-methyl-n -Butoxy, 3-methyl-n-butoxy, 1,1-dimethyl-n-propoxy, 1,2-dimethyl-n-propoxy, 2,2-dimethyl-n-propoxy, 1-ethyl-n-propoxy, n -Hexyloxy, 1-methyl-n-pentyloxy, 2-methyl-n-pentyloxy, 3-methyl-n-pentyloxy, 4-methyl-n-pentyloxy, 1,1-dimethyl-n-butoxy, 1,2-dimethyl-n-butoxy, 1,3-dimethyl-n-butoxy, 2,2-dimethyl-n-butoxy, 2,3-dimethyl-n-butyl 3,3-Dimethyl-n-butoxy, 1-ethyl-n-butoxy, 2-ethyl-n-butoxy, 1,1,2-trimethyl-n-propoxy, 1,2,2-trimethyl-n-propoxy 1-ethyl-1-methyl-n-propoxy, 1-ethyl-2-methyl-n-propoxy group and the like.

上記アリール基の炭素数としては特に限定されるものではないが、6〜40が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数6〜16がより好ましく、6〜13がより一層好ましい。
アリール基の具体例としては、フェニル、o−クロルフェニル、m−クロルフェニル、p−クロルフェニル、o−フルオロフェニル、p−フルオロフェニル、o−メトキシフェニル、p−メトキシフェニル、p−ニトロフェニル、p−シアノフェニル、α−ナフチル、β−ナフチル、o−ビフェニリル、m−ビフェニリル、p−ビフェニリル、1−アントリル、2−アントリル、9−アントリル、1−フェナントリル、2−フェナントリル、3−フェナントリル、4−フェナントリル、9−フェナントリル基等が挙げられる。
The carbon number of the above aryl group is not particularly limited, but is preferably 6 to 40, and in view of further enhancing the heat resistance of the polymer, the carbon number is preferably 6 to 16 and more preferably 6 to 13 preferable.
Specific examples of the aryl group include phenyl, o-chlorophenyl, m-chlorophenyl, p-chlorophenyl, o-fluorophenyl, p-fluorophenyl, o-methoxyphenyl, p-methoxyphenyl, p-nitrophenyl, p-cyanophenyl, α-naphthyl, β-naphthyl, o-biphenylyl, m-biphenylyl, p-biphenylyl, 1-anthryl, 2-anthryl, 9-anthryl, 1-phenanthryl, 2-phenanthryl, 3-phenanthryl, 4 -Phenanthryl, 9- phenanthryl group etc. are mentioned.

アラルキル基の炭素数としては特に限定されるものではないが、炭素数7〜20が好ましく、そのアルキル部分は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
その具体例としては、ベンジル、p−メチルフェニルメチル、m−メチルフェニルメチル、o−エチルフェニルメチル、m−エチルフェニルメチル、p−エチルフェニルメチル、2−プロピルフェニルメチル、4−イソプロピルフェニルメチル、4−イソブチルフェニルメチル、α−ナフチルメチル基等が挙げられる。
The carbon number of the aralkyl group is not particularly limited, but is preferably 7 to 20 carbon atoms, and the alkyl moiety thereof may be linear, branched or cyclic.
Specific examples thereof include benzyl, p-methylphenylmethyl, m-methylphenylmethyl, o-ethylphenylmethyl, m-ethylphenylmethyl, p-ethylphenylmethyl, 2-propylphenylmethyl, 4-isopropylphenylmethyl, 4-isobutylphenyl methyl, an alpha-naphthyl methyl group, etc. are mentioned.

上記Ar1は、水酸基、カルボキシル基および/またはマレイミド基を有するアリール基であれば特に限定されるものではないが、下記式(15)〜(17)で示されるものが好ましい。Although said Ar 1 will not be specifically limited if it is an aryl group which has a hydroxyl group, a carboxyl group, and / or a maleimide group, What is shown by following formula (15)-(17) is preferable.

Figure 0006515811
(式中、R102〜R110は、互いに独立して、上記R1と同様の意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, R 102 to R 110 independently of each other represent the same meaning as the above R 1 ).

これらの中でも、置換基R102〜R110が水素原子である下記式で示されるものが好ましい。Among these, those represented by the following formulas in which the substituents R 102 to R 110 are hydrogen atoms are preferable.

Figure 0006515811
Figure 0006515811

特に、得られる硬化物のアルカリ現像液に対する溶解性を向上させるという点から、下記式で示されるものが好ましい。   In particular, from the viewpoint of improving the solubility of the obtained cured product in an alkali developer, those represented by the following formula are preferable.

Figure 0006515811
Figure 0006515811

以上のアリール基の中でも、得られる硬化膜の高屈折率や透明性および微細パターンの解像度等を考慮すると、フェノール性水酸基を有するものが好ましい。
したがって、本発明のトリアジン環含有重合体は、下記式(18)で示される繰り返し単位構造を含むことが好ましく、下記式(19)で示される繰り返し単位構造を含むことがより好ましい。
Among the above aryl groups, those having a phenolic hydroxyl group are preferable in consideration of the high refractive index and the transparency of the resulting cured film, the resolution of the fine pattern, and the like.
Therefore, the triazine ring-containing polymer of the present invention preferably contains a repeating unit structure represented by the following formula (18), and more preferably includes a repeating unit structure represented by the following formula (19).

Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)

Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)

上記Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。The Ar 2 represents at least one selected from the group represented by formulas (2) to (13).

Figure 0006515811
Figure 0006515811

上記R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
なお、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
また、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)で示される基を表す。
The R 1 to R 92 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branched structure, or 1 to 10 carbon atoms R 1 represents an alkoxy group which may have a branched structure, and W 1 and W 2 each independently represent a single bond, CR 95 R 96 (R 95 and R 96 independently of each other, a hydrogen atom or carbon C ア ル キ ル O, O, S, SO, an alkyl group which may have a branched structure of the number 1 to 10 (provided that they may together form a ring), C = O, O, S, SO, SO 2 or NR 97 (R 97 represents a hydrogen atom or an alkyl group optionally having 1 to 10 carbon atoms and having a branched structure), and R 93 and R 94 each represent a hydrogen atom or a carbon number Represents an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10;
The halogen atom includes a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
Examples of the alkyl group and the alkoxy group include the same as described above.
Moreover, X 1 and X 2 each independently represent a single bond, an alkylene group optionally having a carbon number of 1 to 10, and a group represented by the formula (14).

Figure 0006515811
Figure 0006515811

上記R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。これらハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン基等が挙げられる。
The R 98 to R 101 are, independently of one another, a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branched structure, or 1 to 10 carbon atoms Y represents an alkoxy group which may have a branched structure, and Y 1 and Y 2 each independently represent a single bond or an alkylene group which may have a C 1-10 branched structure. Examples of the halogen atom, the alkyl group and the alkoxy group include the same as described above.
As an alkylene group which may have a C1-C10 branched structure, a methylene, ethylene, a propylene, a trimethylene, tetramethylene, a pentamethylene group etc. are mentioned.

特に、Arとしては、式(2)、(5)〜(13)で示される少なくとも1種が好ましく、式(2)、(5)、(7)、(8)、(11)〜(13)で示される少なくとも1種がより好ましい。上記式(2)〜(13)で表されるアリール基の具体例としては、下記式で示されるものが挙げられるが、これらに限定されるものではない。   In particular, as Ar, at least one selected from Formulas (2) and (5) to (13) is preferable, and Formulas (2), (5), (7), (8), and (11) to (13) are preferable. More preferred is at least one of the groups shown in Although the thing shown by a following formula is mentioned as a specific example of the aryl group represented by said Formula (2)-(13), It is not limited to these.

Figure 0006515811
Figure 0006515811

これらの中でも、より高い屈折率のポリマーが得られることから、下記式で示されるアリール基がより好ましい。   Among these, an aryl group represented by the following formula is more preferable since a polymer having a higher refractive index can be obtained.

Figure 0006515811
Figure 0006515811

特に、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対する溶解性をより高めることを考慮すると、下記式(20)で示される繰り返し単位構造を含むことが好ましく、下記式(21)で示される繰り返し単位構造を含むことがより好ましい。   In particular, in consideration of enhancing the solubility in a highly safe solvent such as a resist solvent, it is preferable to include a repeating unit structure represented by the following formula (20), and a repeating unit structure represented by the following formula (21) More preferably,

Figure 0006515811
(式中、R、R′およびR1〜R4は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and R 1 to R 4 have the same meaning as described above)

Figure 0006515811
(式中、R、R′およびR1〜R4は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and R 1 to R 4 have the same meaning as described above)

このような観点から、特に好適な繰り返し単位構造としては、下記式(22)で示されるものが挙げられ、下記式(23)で示されるものがより好ましい。   From such a point of view, particularly preferable repeating unit structures include those represented by the following formula (22), and those represented by the following formula (23) are more preferable.

Figure 0006515811
(式中、RおよびR′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein R and R ′ represent the same meaning as described above)

Figure 0006515811
Figure 0006515811

本発明における重合体の重量平均分子量は、特に限定されるものではないが、500〜500000が好ましく、さらに500〜100000が好ましく、より耐熱性を向上させるとともに、収縮率を低くするという点から、2000以上が好ましく、より溶解性を高め、得られた溶液の粘度を低下させるという点から、50000以下が好ましく、30000以下がより好ましく、さらに10000以下が好ましい。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCという)分析による標準ポリスチレン換算で得られる平均分子量である。
The weight-average molecular weight of the polymer in the present invention is not particularly limited, but is preferably 500 to 500,000, more preferably 500 to 100,000, and from the viewpoint of improving heat resistance and lowering shrinkage rate, 2000 or more is preferable, 50000 or less is preferable, 30000 or less is more preferable, and 10000 or less is more preferable from the point of raising solubility more and reducing the viscosity of the obtained solution.
In addition, the weight average molecular weight in this invention is an average molecular weight obtained by standard polystyrene conversion by gel permeation chromatography (henceforth GPC) analysis.

本発明で用いるトリアジン環含有重合体は、上述した特許文献1に開示された手法によって製造することができる。
例えば、下記スキーム1に示されるように、繰り返し構造(26)を有するトリアジン環含有重合体は、フェニルアミノ基を有するトリアジン化合物(24)およびジアミノ化合物(25)を適当な有機溶媒中で反応させて得ることができる。
なお、上記式(24)で表される化合物は、ハロゲン化シアヌルと、3−アミノフェノールとから公知の方法で製造することができる。また、ハロゲン化シアヌルと、3−アミノフェノールとの反応系内に、ジアミノ化合物を添加して反応を行ってもよい。
The triazine ring-containing polymer used in the present invention can be produced by the method disclosed in Patent Document 1 mentioned above.
For example, as shown in the following scheme 1, a triazine ring-containing polymer having a repeating structure (26) is produced by reacting a triazine compound (24) having a phenylamino group and a diamino compound (25) in an appropriate organic solvent Can be obtained.
In addition, the compound represented by the said Formula (24) can be manufactured by a well-known method from halogenated cyanuric and 3-aminophenol. Alternatively, the reaction may be carried out by adding a diamino compound in the reaction system of cyanuric halide and 3-aminophenol.

Figure 0006515811
(式中、Xは、互いに独立してハロゲン原子を表す。RおよびR′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, X's each independently represent a halogen atom. R and R 'have the same meaning as described above.)

上記反応において、各原料の仕込み量としては、目的とする重合体が得られる限りにおいて任意であるが、トリアジン化合物(24)1当量に対し、ジアミノ化合物(25)0.01〜10当量が好ましく、0.1〜0.8当量または1〜5当量がより好ましい。
反応温度は、用いる溶媒の融点から溶媒の沸点までの範囲で適宜設定すればよいが、特に、−30〜150℃程度が好ましく、−10〜100℃がより好ましい。
In the above reaction, the preparation amount of each raw material is optional as long as the target polymer can be obtained, but 0.01 to 10 equivalents of the diamino compound (25) is preferable to 1 equivalent of the triazine compound (24). , 0.1 to 0.8 equivalents or 1 to 5 equivalents are more preferable.
The reaction temperature may be appropriately set in the range from the melting point of the solvent used to the boiling point of the solvent, but in particular, about -30 to 150 ° C is preferable, and -10 to 100 ° C is more preferable.

有機溶媒としては、この種の反応において通常用いられる種々の溶媒を用いることができ、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメチルスルホキシド;N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、テトラメチル尿素、ヘキサメチルホスホルアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピペリドン、N,N−ジメチルエチレン尿素、N,N,N’,N’−テトラメチルマロン酸アミド、N−メチルカプロラクタム、N−アセチルピロリジン、N,N−ジエチルアセトアミド、N−エチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルプロピオン酸アミド、N,N−ジメチルイソブチルアミド、N−メチルホルムアミド、N,N’−ジメチルプロピレン尿素等のアミド系溶媒、およびそれらの混合溶媒が挙げられる。
中でもN,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、およびそれらの混合系が好ましく、特に、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンが好適である。
As the organic solvent, various solvents commonly used in this type of reaction can be used, for example, tetrahydrofuran, dioxane, dimethyl sulfoxide; N, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, tetramethyl urea, Hexamethylphosphoramide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-piperidone, N, N-dimethylethyleneurea, N, N, N ', N'-tetramethylmalonamide, N-methylcaprolactam, N-acetyl pyrrolidine, N, N-diethylacetamide, N-ethyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylpropionic acid amide, N, N-dimethylisobutyramide, N-methyl formamide, N, N'-dimethylpropylene urea Amide solvents such as H, and mixed solvents thereof
Among them, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, and a mixture thereof are preferable, and in particular, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone Is preferred.

各成分の配合順序は任意であるが、トリアジン化合物(24)および有機溶媒を含む溶液に、ジアミノ化合物(25)を加える方法が好適である。
後から加える成分は、ニートで加えても、上述したような有機溶媒に溶かした溶液で加えてもよいが、操作の容易さや反応のコントロールのし易さなどを考慮すると、後者の手法が好適である。
また、添加は、滴下等によって徐々に加えても、全量一括して加えてもよい。
Although the compounding order of each component is arbitrary, a method of adding the diamino compound (25) to a solution containing the triazine compound (24) and the organic solvent is preferable.
The components to be added later may be added neat or in a solution dissolved in an organic solvent as described above, but the latter method is preferable in consideration of ease of operation and control of the reaction. It is.
Further, the addition may be gradually added by dropping or the like, or all at once.

また、上記反応では、重合時または重合後に通常用いられる種々の塩基を添加してもよい。
この塩基の具体例としては、炭酸カリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ナトリウムエトキシド、酢酸ナトリウム、炭酸リチウム、水酸化リチウム、酸化リチウム、酢酸カリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、水酸化バリウム、リン酸三リチウム、リン酸三ナトリウム、リン酸三カリウム、フッ化セシウム、酸化アルミニウム、アンモニア、トリメチルアミン、トリエチルアミン、ジイソプロピルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、N−メチルピペリジン、2,2,6,6−テトラメチル−N−メチルピペリジン、ピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、N−メチルモルホリン等が挙げられる。
塩基の添加量は、トリアジン化合物(24)1当量に対して1〜100当量が好ましく、1〜10当量がより好ましい。なお、これらの塩基は水溶液にして用いてもよい。
得られる重合体には、原料成分が残存していないことが好ましいが、本発明の効果を損なわなければ一部の原料が残存していてもよい。
いずれのスキームの方法においても、反応終了後、生成物は再沈法等によって容易に精製できる。
In the above reaction, various bases which are usually used during or after polymerization may be added.
Specific examples of this base include potassium carbonate, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydroxide, sodium hydrogencarbonate, sodium ethoxide, sodium acetate, lithium carbonate, lithium hydroxide, lithium oxide, lithium oxide, potassium acetate, magnesium oxide, oxide Calcium, barium hydroxide, trilithium phosphate, trisodium phosphate, tripotassium phosphate, cesium fluoride, aluminum oxide, ammonia, trimethylamine, triethylamine, diisopropylamine, diisopropylethylamine, N-methylpiperidine, 2,2,6 And 6-tetramethyl-N-methylpiperidine, pyridine, 4-dimethylaminopyridine, N-methylmorpholine and the like.
The amount of the base added is preferably 1 to 100 equivalents, more preferably 1 to 10 equivalents, per equivalent of the triazine compound (24). These bases may be used in the form of an aqueous solution.
Although it is preferable that the raw material component does not remain in the polymer obtained, some raw materials may remain if the effect of the present invention is not impaired.
In any of the schemes, after completion of the reaction, the product can be easily purified by reprecipitation or the like.

なお、本発明においては、少なくとも1つの末端トリアジン環のハロゲン原子の一部を、アルキル、アラルキル、アリール、アルキルアミノ、アルコキシシリル基含有アルキルアミノ、アラルキルアミノ、アリールアミノ、アルコキシ、アラルキルオキシ、アリールオキシ、エステル基等でキャップしてもよい。
これらの中でも、アルキルアミノ、アルコキシシリル基含有アルキルアミノ、アラルキルアミノ、アリールアミノ基が好ましく、アルキルアミノ、アリールアミノ基がより好ましく、アリールアミノ基がさらに好ましい。
上記アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
In the present invention, a part of the halogen atoms of at least one terminal triazine ring is alkyl, aralkyl, aryl, alkylamino, alkoxysilyl group-containing alkylamino, aralkylamino, arylamino, alkoxy, aralkyloxy, aryloxy And may be capped with an ester group or the like.
Among these, an alkylamino, an alkoxysilyl group-containing alkylamino, an aralkylamino, and an arylamino group are preferable, an alkylamino and an arylamino group are more preferable, and an arylamino group is more preferable.
Examples of the above-mentioned alkyl group and alkoxy group include the same as described above.

エステル基の具体例としては、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル基等が挙げられる。
アリール基の具体例としては、フェニル、o−クロルフェニル、m−クロルフェニル、p−クロルフェニル、o−フルオロフェニル、p−フルオロフェニル、o−メトキシフェニル、p−メトキシフェニル、p−ニトロフェニル、p−シアノフェニル、α−ナフチル、β−ナフチル、o−ビフェニリル、m−ビフェニリル、p−ビフェニリル、1−アントリル、2−アントリル、9−アントリル、1−フェナントリル、2−フェナントリル、3−フェナントリル、4−フェナントリル、9−フェナントリル基等が挙げられる。
アラルキル基の具体例としては、ベンジル、p−メチルフェニルメチル、m−メチルフェニルメチル、o−エチルフェニルメチル、m−エチルフェニルメチル、p−エチルフェニルメチル、2−プロピルフェニルメチル、4−イソプロピルフェニルメチル、4−イソブチルフェニルメチル、α−ナフチルメチル基等が挙げられる。
Specific examples of the ester group include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl group and the like.
Specific examples of the aryl group include phenyl, o-chlorophenyl, m-chlorophenyl, p-chlorophenyl, o-fluorophenyl, p-fluorophenyl, o-methoxyphenyl, p-methoxyphenyl, p-nitrophenyl, p-cyanophenyl, α-naphthyl, β-naphthyl, o-biphenylyl, m-biphenylyl, p-biphenylyl, 1-anthryl, 2-anthryl, 9-anthryl, 1-phenanthryl, 2-phenanthryl, 3-phenanthryl, 4 -Phenanthryl, 9- phenanthryl group etc. are mentioned.
Specific examples of the aralkyl group include benzyl, p-methylphenylmethyl, m-methylphenylmethyl, o-ethylphenylmethyl, m-ethylphenylmethyl, p-ethylphenylmethyl, 2-propylphenylmethyl, 4-isopropylphenyl Methyl, 4-isobutylphenyl methyl, an alpha-naphthyl methyl group, etc. are mentioned.

アルキルアミノ基の具体例としては、メチルアミノ、エチルアミノ、n−プロピルアミノ、イソプロピルアミノ、n−ブチルアミノ、イソブチルアミノ、s−ブチルアミノ、t−ブチルアミノ、n−ペンチルアミノ、1−メチル−n−ブチルアミノ、2−メチル−n−ブチルアミノ、3−メチル−n−ブチルアミノ、1,1−ジメチル−n−プロピルアミノ、1,2−ジメチル−n−プロピルアミノ、2,2−ジメチル−n−プロピルアミノ、1−エチル−n−プロピルアミノ、n−ヘキシルアミノ、1−メチル−n−ペンチルアミノ、2−メチル−n−ペンチルアミノ、3−メチル−n−ペンチルアミノ、4−メチル−n−ペンチルアミノ、1,1−ジメチル−n−ブチルアミノ、1,2−ジメチル−n−ブチルアミノ、1,3−ジメチル−n−ブチルアミノ、2,2−ジメチル−n−ブチルアミノ、2,3−ジメチル−n−ブチルアミノ、3,3−ジメチル−n−ブチルアミノ、1−エチル−n−ブチルアミノ、2−エチル−n−ブチルアミノ、1,1,2−トリメチル−n−プロピルアミノ、1,2,2−トリメチル−n−プロピルアミノ、1−エチル−1−メチル−n−プロピルアミノ、1−エチル−2−メチル−n−プロピルアミノ基等が挙げられる。   Specific examples of the alkylamino group include methylamino, ethylamino, n-propylamino, isopropylamino, n-butylamino, isobutylamino, s-butylamino, t-butylamino, n-pentylamino, 1-methyl- n-Butylamino, 2-methyl-n-butylamino, 3-methyl-n-butylamino, 1,1-dimethyl-n-propylamino, 1,2-dimethyl-n-propylamino, 2,2-dimethyl -N-propylamino, 1-ethyl-n-propylamino, n-hexylamino, 1-methyl-n-pentylamino, 2-methyl-n-pentylamino, 3-methyl-n-pentylamino, 4-methyl -N-Pentylamino, 1,1-dimethyl-n-butylamino, 1,2-dimethyl-n-butylamino, 1,3-dimethyl n-Butylamino, 2,2-dimethyl-n-butylamino, 2,3-dimethyl-n-butylamino, 3,3-dimethyl-n-butylamino, 1-ethyl-n-butylamino, 2-ethyl -N-Butylamino, 1,1,2-trimethyl-n-propylamino, 1,2,2-trimethyl-n-propylamino, 1-ethyl-1-methyl-n-propylamino, 1-ethyl-2 And -methyl-n-propylamino and the like.

アラルキルアミノ基の具体例としては、ベンジルアミノ、メトキシカルボニルフェニルメチルアミノ、エトキシカルボニルフェニルメチルアミノ、p−メチルフェニルメチルアミノ、m−メチルフェニルメチルアミノ、o−エチルフェニルメチルアミノ、m−エチルフェニルメチルアミノ、p−エチルフェニルメチルアミノ、2−プロピルフェニルメチルアミノ、4−イソプロピルフェニルメチルアミノ、4−イソブチルフェニルメチルアミノ、ナフチルメチルアミノ、メトキシカルボニルナフチルメチルアミノ、エトキシカルボニルナフチルメチルアミノ基等が挙げられる。
アリールアミノ基の具体例としては、フェニルアミノ、メトキシカルボニルフェニルアミノ、エトキシカルボニルフェニルアミノ、ナフチルアミノ、メトキシカルボニルナフチルアミノ、エトキシカルボニルナフチルアミノ、アントラニルアミノ、ピレニルアミノ、ビフェニルアミノ、ターフェニルアミノ、フルオレニルアミノ基等が挙げられる。
Specific examples of the aralkylamino group include benzylamino, methoxycarbonylphenylmethylamino, ethoxycarbonylphenylmethylamino, p-methylphenylmethylamino, m-methylphenylmethylamino, o-ethylphenylmethylamino, m-ethylphenylmethylamino Amino, p-ethylphenylmethylamino, 2-propylphenylmethylamino, 4-isopropylphenylmethylamino, 4-isobutylphenylmethylamino, naphthylmethylamino, methoxycarbonylnaphthylmethylamino, ethoxycarbonylnaphthylmethylamino and the like. .
Specific examples of the arylamino group include phenylamino, methoxycarbonylphenylamino, ethoxycarbonylphenylamino, naphthylamino, methoxycarbonylnaphthylamino, ethoxycarbonylnaphthylamino, anthranylamino, pyrenylamino, biphenylamino, terphenylamino, fluorenyl An amino group etc. are mentioned.

アルコキシシリル基含有アルキルアミノ基としては、モノアルコキシシリル基含有アルキルアミノ、ジアルコキシシリル基含有アルキルアミノ、トリアルコキシシリル基含有アルキルアミノ基のいずれでもよく、その具体例としては、3−トリメトキシシリルプロピルアミノ、3−トリエトキシシリルプロピルアミノ、3−ジメチルエトキシシリルプロピルアミノ、3−メチルジエトキシシリルプロピルアミノ、N−(2−アミノエチル)−3−ジメチルメトキシシリルプロピルアミノ、N−(2−アミノエチル)−3−メチルジメトキシシリルプロピルアミノ、N−(2−アミノエチル)−3−トリメトキシシリルプロピルアミノ基等が挙げられる。   The alkoxysilyl group-containing alkylamino group may be any of monoalkoxysilyl group-containing alkylamino, dialkoxysilyl group-containing alkylamino, and trialkoxysilyl group-containing alkylamino group, and specific examples thereof include 3-trimethoxysilyl. Propylamino, 3-triethoxysilylpropylamino, 3-dimethylethoxysilylpropylamino, 3-methyldiethoxysilylpropylamino, N- (2-aminoethyl) -3-dimethylmethoxysilylpropylamino, N- (2- (2-aminoethyl) Aminoethyl) -3-methyldimethoxysilylpropylamino, N- (2-aminoethyl) -3-trimethoxysilylpropylamino and the like.

アリールオキシ基の具体例としては、フェノキシ、ナフトキシ、アントラニルオキシ、ピレニルオキシ、ビフェニルオキシ、ターフェニルオキシ、フルオレニルオキシ基等が挙げられる。
アラルキルオキシ基の具体例としては、ベンジルオキシ、p−メチルフェニルメチルオキシ、m−メチルフェニルメチルオキシ、o−エチルフェニルメチルオキシ、m−エチルフェニルメチルオキシ、p−エチルフェニルメチルオキシ、2−プロピルフェニルメチルオキシ、4−イソプロピルフェニルメチルオキシ、4−イソブチルフェニルメチルオキシ、α−ナフチルメチルオキシ基等が挙げられる。
Specific examples of the aryloxy group include phenoxy, naphthoxy, anthranyloxy, pyrenyloxy, biphenyloxy, terphenyloxy, fluorenyloxy and the like.
Specific examples of the aralkyloxy group include benzyloxy, p-methylphenylmethyloxy, m-methylphenylmethyloxy, o-ethylphenylmethyloxy, m-ethylphenylmethyloxy, p-ethylphenylmethyloxy, 2-propyl A phenyl methyloxy, 4-isopropylphenyl methyloxy, 4-isobutylphenyl methyloxy, the (alpha) -naphthyl methyloxy group etc. are mentioned.

これらの基は、トリアジン環上のハロゲン原子を対応する置換基を与える化合物で置換することで容易に導入することができ、例えば、下記式スキーム2に示されるように、アニリン(誘導体)等の有機モノアミンを加えて反応させることで、少なくとも1つの末端にフェニルアミノ基を有するトリアジン環含有重合体(27)が得られる。   These groups can be easily introduced by substituting a halogen atom on the triazine ring with a compound giving the corresponding substituent, and, for example, as shown in the following scheme 2, such as aniline (derivative) etc. The organic monoamine is added and reacted to obtain a triazine ring-containing polymer (27) having a phenylamino group at at least one end.

Figure 0006515811
(式中、X、RおよびR′は上記と同じ意味を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, X, R and R ′ represent the same meaning as described above)

上記有機モノアミンとしては、アルキルモノアミン、アラルキルモノアミン、アリールモノアミンのいずれを用いることもできる。
アルキルモノアミンとしては、メチルアミン、エチルアミン、n−プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、s−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、1−メチル−n−ブチルアミン、2−メチル−n−ブチルアミン、3−メチル−n−ブチルアミン、1,1−ジメチル−n−プロピルアミン、1,2−ジメチル−n−プロピルアミン、2,2−ジメチル−n−プロピルアミン、1−エチル−n−プロピルアミン、n−ヘキシルアミン、1−メチル−n−ペンチルアミン、2−メチル−n−ペンチルアミン、3−メチル−n−ペンチルアミン、4−メチル−n−ペンチルアミン、1,1−ジメチル−n−ブチルアミン、1,2−ジメチル−n−ブチルアミン、1,3−ジメチル−n−ブチルアミン、2,2−ジメチル−n−ブチルアミン、2,3−ジメチル−n−ブチルアミン、3,3−ジメチル−n−ブチルアミン、1−エチル−n−ブチルアミン、2−エチル−n−ブチルアミン、1,1,2−トリメチル−n−プロピルアミン、1,2,2−トリメチル−n−プロピルアミン、1−エチル−1−メチル−n−プロピルアミン、1−エチル−2−メチル−n−プロピルアミン、2−エチルヘキシルアミン等が挙げられる。
As the organic monoamine, any of an alkyl monoamine, an aralkyl monoamine, and an aryl monoamine can be used.
As alkyl monoamines, methylamine, ethylamine, n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, n-pentylamine, 1-methyl-n-butylamine, 2-methyl- n-butylamine, 3-methyl-n-butylamine, 1,1-dimethyl-n-propylamine, 1,2-dimethyl-n-propylamine, 2,2-dimethyl-n-propylamine, 1-ethyl-n -Propylamine, n-hexylamine, 1-methyl-n-pentylamine, 2-methyl-n-pentylamine, 3-methyl-n-pentylamine, 4-methyl-n-pentylamine, 1,1-dimethyl -N-butylamine, 1,2-dimethyl-n-butylamine, 1,3-dimethyl-n- Tylamine, 2,2-dimethyl-n-butylamine, 2,3-dimethyl-n-butylamine, 3,3-dimethyl-n-butylamine, 1-ethyl-n-butylamine, 2-ethyl-n-butylamine, 1, 1,2-trimethyl-n-propylamine, 1,2,2-trimethyl-n-propylamine, 1-ethyl-1-methyl-n-propylamine, 1-ethyl-2-methyl-n-propylamine, 2-ethylhexyl amine etc. are mentioned.

アラルキルモノアミンの具体例としては、ベンジルアミン、p−メトキシカルボニルベンジルアミン、p−エトキシカルボニルベンジルアミン、p−メチルベンジルアミン、m−メチルベンジルアミン、o−メトキシベンジルアミン等が挙げられる。
アリールモノアミンの具体例としては、アニリン、p−メトキシカルボニルアニリン、p−エトキシカルボニルアニリン、p−メトキシアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、アントラニルアミン、1−アミノピレン、4−ビフェニリルアミン、o−フェニルアニリン、4−アミノ−p−ターフェニル、2−アミノフルオレン等が挙げられる。
Specific examples of the aralkyl monoamine include benzylamine, p-methoxycarbonylbenzylamine, p-ethoxycarbonylbenzylamine, p-methylbenzylamine, m-methylbenzylamine, o-methoxybenzylamine and the like.
Specific examples of aryl monoamines include aniline, p-methoxycarbonylaniline, p-ethoxycarbonylaniline, p-methoxyaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, anthranylamine, 1-aminopyrene, 4-biphenylylamine, o- Examples include phenyl aniline, 4-amino-p-terphenyl, 2-amino fluorene and the like.

この場合、有機モノアミンの使用量は、ハロゲン化シアヌル化合物に対して、0.05〜500当量とすることが好ましく、0.05〜120当量がより好ましく、0.05〜50当量がより一層好ましい。
反応温度は60〜150℃が好ましく、80〜150℃がより好ましく、80〜120℃がより一層好ましい。
ただし、有機モノアミン、ハロゲン化シアヌル化合物、ジアミノアリール化合物の3成分の混合は、低温下で行ってもよく、その場合の温度としては、−50〜50℃程度が好ましく、−20〜50℃程度がより好ましく、−20〜10℃がさらに好ましい。低温仕込み後は、重合させる温度まで一気に(一段階で)昇温して反応を行うことが好ましい。
また、ハロゲン化シアヌル化合物とジアミノアリール化合物の2成分の混合を低温下で行ってもよく、その場合の温度としては、−50〜50℃程度が好ましく、−20〜50℃程度がより好ましく、−20〜10℃がさらに好ましい。低温仕込み後、有機モノアミンを加え、重合させる温度まで一気に(一段階で)昇温して反応を行うことが好ましい。
また、このような有機モノアミンの存在下で、ハロゲン化シアヌル化合物と、ジアミノアリール化合物とを反応させる反応は、上述と同様の有機溶媒を用いて行ってもよい。
In this case, the amount of the organic monoamine used is preferably 0.05 to 500 equivalents, more preferably 0.05 to 120 equivalents, and still more preferably 0.05 to 50 equivalents relative to the cyanuric halide compound. .
60-150 degreeC is preferable, 80-150 degreeC is more preferable, and 80-120 degreeC of the reaction temperature is still more preferable.
However, the mixing of the three components of the organic monoamine, halogenated cyanuric compound and diaminoaryl compound may be carried out at low temperature, and the temperature in that case is preferably about -50 to 50 ° C, and about -20 to 50 ° C. Is more preferable, and −20 to 10 ° C. is more preferable. After low-temperature charging, it is preferable to carry out the reaction by raising the temperature to the polymerization temperature at once (in one step).
In addition, mixing of the two components of the halogenated cyanuric compound and the diaminoaryl compound may be performed at low temperature, and the temperature in that case is preferably about -50 to 50 ° C, and more preferably about -20 to 50 ° C, -20-10 degreeC is further more preferable. After charging at a low temperature, it is preferable to add an organic monoamine and raise the temperature to the polymerization temperature in one step (in one step) to carry out the reaction.
In addition, the reaction of reacting a cyanuric halide compound and a diaminoaryl compound in the presence of such an organic monoamine may be performed using the same organic solvent as described above.

本発明の組成物では、上記トリアジン環含有重合体とともに、少なくとも2種類の架橋剤を用いる。架橋剤としては、上述したトリアジン環含有重合体と反応し得る置換基を有する化合物であれば特に限定されるものではない。
そのような化合物としては、メチロール基、メトキシメチル基などの架橋形成置換基を有するメラミン系化合物、置換尿素系化合物、エポキシ基またはオキセタン基などの架橋形成置換基を含有する化合物、ブロック化イソシアナートを含有する化合物、酸無水物を有する化合物、(メタ)アクリル基を有する化合物、フェノプラスト化合物等が挙げられるが、耐熱性や保存安定性の観点からエポキシ基、ブロックイソシアネート基、(メタ)アクリル基を含有する化合物が好ましく、特に、ブロックイソシアネート基を有する化合物や、開始剤を用いなくとも光硬化可能な組成物を与える多官能エポキシ化合物および多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる2種が好ましく、多官能エポキシ化合物と多官能(メタ)アクリル化合物との組み合わせがより好ましい。
なお、これらの化合物は、重合体の末端処理に用いる場合は少なくとも1個の架橋形成置換基を有していればよく、重合体同士の架橋処理に用いる場合は少なくとも2個の架橋形成置換基を有する必要がある。
In the composition of the present invention, at least two crosslinking agents are used together with the triazine ring-containing polymer. The crosslinking agent is not particularly limited as long as it is a compound having a substituent capable of reacting with the triazine ring-containing polymer described above.
As such a compound, a melamine compound having a crosslink forming substituent such as methylol group or methoxymethyl group, a substituted urea compound, a compound having a crosslink forming substituent such as an epoxy group or an oxetane group, blocked isocyanate Compounds containing an acid anhydride, compounds containing an acid anhydride, compounds containing an (meth) acrylic group, phenoplast compounds, etc., but from the viewpoint of heat resistance and storage stability, epoxy groups, blocked isocyanate groups, (meth) acrylics The compound containing a group is preferable, and in particular, two compounds selected from a compound having a blocked isocyanate group and a polyfunctional epoxy compound and a polyfunctional (meth) acrylic compound which give a photocurable composition without using an initiator Preferably, a polyfunctional epoxy compound and a polyfunctional (meth) acrylic compound Seen together is more preferable.
In addition, these compounds should just have at least 1 bridge formation substituent, when using for the terminal treatment of a polymer, and when using for the crosslinking process of polymers mutually, at least 2 bridge formation substituents It is necessary to have

多官能エポキシ化合物としては、エポキシ基を一分子中2個以上有するものであれば特に限定されるものではない。
その具体例としては、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4’−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル等が挙げられる。
The polyfunctional epoxy compound is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule.
Specific examples thereof include tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,2-epoxy-4- (epoxyethyl) cyclohexane, glycerol triglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl Ether, 2,6-diglycidyl phenyl glycidyl ether, 1,1,3-tris [p- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] propane, 1,2-cyclohexanedicarboxylic acid diglycidyl ester, 4,4'- Methylenebis (N, N-diglycidyl aniline), 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, trimethylolethane triglycidyl ether, bisphenol-A-diglycidyl ether, pentaerythyl Ritol polyglycidyl ether etc. are mentioned.

また、市販品として、少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂である、YH−434、YH434L(東都化成(株)製)、シクロヘキセンオキサイド構造を有するエポキシ樹脂である、エポリードGT−401、同GT−403、同GT−301、同GT−302、セロキサイド2021、同3000(ダイセル化学工業(株)製)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)1001、同1002、同1003、同1004、同1007、同1009、同1010、同828(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)807(ジャパンエポキシレジン(株)製)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)152、同154(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPPN201、同202(以上、日本化薬(株)製)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂である、EOCN−102、同103S、同104S、同1020、同1025、同1027(以上、日本化薬(株)製)、エピコート(現、jER)180S75(ジャパンエポキシレジン(株)製)、脂環式エポキシ樹脂である、デナコールEX−252(ナガセケムテックス(株)製)、CY175、CY177、CY179(以上、CIBA−GEIGY A.G製)、アラルダイトCY−182、同CY−192、同CY−184(以上、CIBA−GEIGY A.G製)、エピクロン200、同400(以上、DIC(株)製)、エピコート(現、jER)871、同872(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、ED−5661、ED−5662(以上、セラニーズコーティング(株)製)、脂肪族ポリグリシジルエーテルである、デナコールEX−611、同EX−612、同EX−614、同EX−622、同EX−411、同EX−512、同EX−522、同EX−421、同EX−313、同EX−314、同EX−321(ナガセケムテックス(株)製)等を用いることもできる。   In addition, YH-434 and YH434L (made by Tohto Kasei Co., Ltd.), which are epoxy resins having at least two epoxy groups, and Eporide GT-401, which are epoxy resins having a cyclohexene oxide structure are commercially available products. -403, GT-301, GT-302, Celoxide 2021, 3000 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), bisphenol A epoxy resin, Epicoat (now jER) 1001, 1002, 1003, 1004, 1007, 1009, 1010, 828 (above, made by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.), Epicoat (now jER) 807 (made by Japan Epoxy Resins, Inc.) which is a bisphenol F-type epoxy resin Epikote (now a phenol novolac epoxy resin) jER) 152, 154 (above, Japan Epoxy Resins Co., Ltd.), EPPN 201, 202 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.), cresol novolac epoxy resin, EOCN-102, 103S, 104 S, 1020, 1025, 1027 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd. product), Epicoat (now, jER) 180 S 75 (Japan Epoxy Resins Co., Ltd. product), an epoxy epoxy resin, Denacol EX- 252 (manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd.), CY175, CY177, CY179 (manufactured by CIBA-GEIGY A.G), Araldite CY-182, the same CY-192, and the same CY-184 (manufactured by CIBA-GEIGY A. G), Epiclon 200, 400 (all manufactured by DIC Corporation), Epicoat (now jER) 87 872 (above, made by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.), ED-5661, ED-5662 (above, made by Celanese Coatings Co., Ltd.), aliphatic polyglycidyl ether, Denacol EX-611, EX- 612, EX-614, EX-622, EX-411, EX-512, EX-522, EX-421, EX-313, EX-314, EX-321 (Nagase Chemex) (Made by KK) etc. can also be used.

多官能(メタ)アクリル化合物としては、(メタ)アクリル基を一分子中2個以上有するものであれば特に限定されるものではない。
その具体例としては、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート、エトキシ化グリセリントリメタクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ポリグリセリンモノエチレンオキサイドポリアクリレート、ポリグリセリンポリエチレングリコールポリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート等が挙げられる。
The polyfunctional (meth) acrylic compound is not particularly limited as long as it has two or more (meth) acrylic groups in one molecule.
Specific examples thereof include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, ethoxylated bisphenol A diacrylate, ethoxylated bisphenol A dimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, and ethoxylated Trimethylolpropane trimethacrylate, ethoxylated glycerin triacrylate, ethoxylated glycerin trimethacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetramethacrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexaacrylate, polyglycerin monoethylene oxide polyacrylate, polyglycerin Polyethylene Glycol polyacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, Tricyclodecane dimethanol diacrylate, tricyclodecane dimethanol dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate and the like can be mentioned.

また、多官能(メタ)アクリル化合物は、市販品として入手が可能であり、その具体例としては、NKエステルA−200、同A−400、同A−600、同A−1000、同A−9300(イソシアヌル酸トリス(2−アクリロイルオキシエチル))、同A−9300−1CL、同A−TMPT、同UA−53H、同1G、同2G、同3G、同4G、同9G、同14G、同23G、同ABE−300、同A−BPE−4、同A−BPE−6、同A−BPE−10、同A−BPE−20、同A−BPE−30、同BPE−80N、同BPE−100N、同BPE−200、同BPE−500、同BPE−900、同BPE−1300N、同A−GLY−3E、同A−GLY−9E、同A−GLY−20E、同A−TMPT−3EO、同A−TMPT−9EO、同AT−20E、同ATM−4E、同ATM−35E(以上、新中村化学工業(株)製)、KAYARAD(登録商標)DPEA−12、同PEG400DA、同THE−330、同RP−1040(以上、日本化薬(株)製)、M−210、M−350(以上、東亞合成(株)製)、KAYARAD(登録商標)DPHA、同NPGDA、同PET30(以上、日本化薬(株)製)、NKエステル A−DPH、同A−TMPT、同A−DCP、同A−HD−N、同TMPT、同DCP、同NPG、同HD−N(以上、新中村化学工業(株)製)、NKオリゴ U−15HA(新中村化学工業(株)製)、NKポリマー バナレジンGH−1203(新中村化学工業(株)製)等が挙げられる。   Also, polyfunctional (meth) acrylic compounds are commercially available, and specific examples thereof include NK esters A-200, A-400, A-600, A-1000, and A-. 9300 (tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate), A-9300-1CL, A-TMPT, UA-53H, 1G, 2G, 3G, 4G, 9G, 14G, 23G, ABE-300, A-BPE-4, A-BPE-6, A-BPE-10, A-BPE-20, A-BPE-30, BPE-80N, BPE- 100N, BPE-200, BPE-500, BPE-900, BPE-1300N, A-GLY-3E, A-GLY-9E, A-GLY-20E, A-TMPT-3EO, A-T PT-9EO, AT-20E, ATM-4E, ATM-35E (above, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product), KAYARAD (registered trademark) DPEA-12, PEG400DA, THE-330, and RP -104 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd. product), M-210, M-350 (above, Toagosei Co., Ltd. product), KAYARAD (registered trademark) DPHA, NPGDA, PET 30 (above, Nippon Kayaku) NK Ester A-DPH, A-TMPT, A-DCP, A-HD-N, TMPT, DCP, NPG, HD-N (all, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. And NK Oligo U-15 HA (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), NK Polymer Vanaresin GH-1203 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and the like.

酸無水物化合物としては、2分子のカルボン酸を脱水縮合させたカルボン酸無水物であれば、特に限定されるものではなく、その具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、オクチル無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸等の分子内に1個の酸無水物基を有するもの;1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸無水物、3,4−ジカルボキシ−1,2,3,4−テトラヒドロ−1−ナフタレンコハク酸二無水物、ビシクロ[3.3.0]オクタン−2,4,6,8−テトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物等の分子内に2個の酸無水物基を有するもの等が挙げられる。   The acid anhydride compound is not particularly limited as long as it is a carboxylic acid anhydride obtained by dehydration condensation of two molecules of carboxylic acid, and specific examples thereof include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydroanhydride One per molecule of phthalic acid, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, maleic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, octyl succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, etc. With an acid anhydride group; 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride, pyromellitic acid anhydride, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene Succinic acid dianhydride, bicyclo [3.3.0] octane-2,4,6,8-tetracarboxylic acid dianhydride, 5- (2,5-dicarboxylic acid dianhydride, Xotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′ Benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 1, Those having two acid anhydride groups in the molecule such as 3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride and the like can be mentioned.

ブロック化イソシアネートを含有する化合物としては、イソシアネート基(−NCO)が適当な保護基によりブロックされたブロック化イソシアネート基を一分子中2個以上有し、熱硬化の際の高温に曝されると、保護基(ブロック部分)が熱解離して外れ、生じたイソシアネート基が樹脂との間で架橋反応を起こすものであれば特に限定されるものではなく、例えば、下記式で示される基を一分子中2個以上(なお、これらの基は同一のものでも、また各々異なっているものでもよい)有する化合物が挙げられる。   As a compound containing a blocked isocyanate, when an isocyanate group (-NCO) has two or more blocked isocyanate groups blocked by a suitable protecting group in one molecule, and is exposed to a high temperature during heat curing It is not particularly limited as long as the protective group (block portion) is thermally dissociated and the resulting isocyanate group causes a cross-linking reaction with the resin. For example, one group represented by the following formula is The compound which has 2 or more in the molecule (note that these groups may be the same or different) may be mentioned.

Figure 0006515811
(式中、Rbはブロック部の有機基を表す。)
Figure 0006515811
(Wherein, R b represents an organic group of a block part)

このような化合物は、例えば、一分子中2個以上のイソシアネート基を有する化合物に対して適当なブロック剤を反応させて得ることができる。
一分子中2個以上のイソシアネート基を有する化合物としては、例えば、イソホロンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンビス(4−シクロヘキシルイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートのポリイソシアネートや、これらの二量体、三量体、および、これらとジオール類、トリオール類、ジアミン類、またはトリアミン類との反応物などが挙げられる。
ブロック剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、2−エトキシヘキサノール、2−N,N−ジメチルアミノエタノール、2−エトキシエタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類;フェノール、o−ニトロフェノール、p−クロロフェノール、o−、m−またはp−クレゾール等のフェノール類;ε−カプロラクタム等のラクタム類、アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、メチルイソブチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、アセトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム等のオキシム類;ピラゾール、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチルピラゾール等のピラゾール類;ドデカンチオール、ベンゼンチオール等のチオール類などが挙げられる。
Such a compound can be obtained, for example, by reacting an appropriate blocking agent with a compound having two or more isocyanate groups in one molecule.
Examples of the compound having two or more isocyanate groups in one molecule include isophorone diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, methylenebis (4-cyclohexylisocyanate), polyisocyanate of trimethylhexamethylene diisocyanate, and dimers thereof And trimers and reaction products thereof with diols, triols, diamines, or triamines.
As the blocking agent, for example, alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, 2-ethoxyhexanol, 2-N, N-dimethylaminoethanol, 2-ethoxyethanol, cyclohexanol and the like; phenol, o-nitrophenol Phenols such as p-chlorophenol, o-, m- or p-cresol; lactams such as ε-caprolactam; acetone oxime, methyl ethyl ketone oxime, methyl isobutyl ketone oxime, cyclohexanone oxime, acetophenone oxime, oximes such as benzophenone oxime And pyrazoles such as pyrazole, 3,5-dimethylpyrazole and 3-methylpyrazole; and thiols such as dodecanethiol and benzenethiol.

ブロック化イソシアネートを含有する化合物は、市販品としても入手が可能であり、その具体例としては、B−830、B−815N、B−842N、B−870N、B−874N、B−882N、B−7005、B−7030、B−7075、B−5010(以上、三井化学ポリウレタン(株)製)、デュラネート(登録商標)17B−60PX、同TPA−B80E、同MF−B60X、同MF−K60X、同E402−B80T(以上、旭化成ケミカルズ(株)製)、カレンズMOI−BM(登録商標)(以上、昭和電工(株)製)等が挙げられる。   Compounds containing blocked isocyanates are commercially available, and specific examples thereof include B-830, B-815N, B-842N, B-870N, B-874N, B-882N, B. -7005, B-7030, B-7075, B-5010 (above, Mitsui Chemicals Polyurethanes Co., Ltd.), Duranate (registered trademark) 17B-60PX, TPA-B80E, MF-B60X, MF-K60X, The same E402-B80T (above, Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. product), Kalens MOI-BM (trademark) (above, Showa Denko Co., Ltd. product), etc. are mentioned.

アミノプラスト化合物としては、メトキシメチレン基を一分子中2個以上有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン CYMEL(登録商標)303、テトラブトキシメチルグリコールウリル 同1170、テトラメトキシメチルベンゾグアナミン 同1123(以上、日本サイテックインダストリーズ(株)製)等のサイメルシリーズ、メチル化メラミン樹脂であるニカラック(登録商標)MW−30HM、同MW−390、同MW−100LM、同MX−750LM、メチル化尿素樹脂である同MX−270、同MX−280同MX−290(以上、(株)三和ケミカル製)等のニカラックシリーズ等のメラミン系化合物が挙げられる。
オキセタン化合物としては、オキセタニル基を一分子中2個以上有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、オキセタニル基を含有するOXT−221、OX−SQ−H、OX−SC(以上、東亞合成(株)製)等が挙げられる。
The aminoplast compound is not particularly limited as long as it has two or more methoxymethylene groups in one molecule, and, for example, hexamethoxymethylmelamine CYMEL (registered trademark) 303, tetrabutoxymethyl glycoluril 1170 Cymer series such as tetramethoxymethyl benzoguanamine 1123 (all manufactured by Nippon Cytech Industries, Ltd.), methylated melamine resin Nikalac (registered trademark) MW-30HM, MW-390, MW-100LM, and the like Examples include melamine based compounds such as Nicalac series such as MX-750LM, methylated urea resin, MX-270 and MX-280, MX-290 (above, Sanwa Chemical Co., Ltd.).
The oxetane compound is not particularly limited as long as it has two or more oxetanyl groups in one molecule, and, for example, OXT-221, OX-SQ-H, OX-SC (containing one or more oxetanyl groups) And Toagosei Co., Ltd.).

フェノプラスト化合物としては、ヒドロキシメチレン基を一分子中2個以上有し、そして熱硬化の際の高温に曝されると、本発明の重合体との間で脱水縮合反応により架橋反応が進行するものである。
フェノプラスト化合物としては、例えば、2,6−ジヒドロキシメチル−4−メチルフェノール、2,4−ジヒドロキシメチル−6−メチルフェノール、ビス(2−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジヒドロキシメチルフェニル)プロパン、ビス(3−ホルミル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)ホルミルメタン、α,α−ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−4−ホルミルトルエン等が挙げられる。
フェノプラスト化合物は、市販品としても入手が可能であり、その具体例としては、26DMPC、46DMOC、DM−BIPC−F、DM−BIOC−F、TM−BIP−A、BISA−F、BI25X−DF、BI25X−TPA(以上、旭有機材工業(株)製)等が挙げられる。
As a phenoplast compound, it has two or more hydroxymethylene groups in one molecule, and when exposed to a high temperature during heat curing, the crosslinking reaction proceeds by the dehydration condensation reaction with the polymer of the present invention It is a thing.
As the phenoplast compound, for example, 2,6-dihydroxymethyl-4-methylphenol, 2,4-dihydroxymethyl-6-methylphenol, bis (2-hydroxy-3-hydroxymethyl-5-methylphenyl) methane, Bis (4-hydroxy-3-hydroxymethyl-5-methylphenyl) methane, 2,2-bis (4-hydroxy-3,5-dihydroxymethylphenyl) propane, bis (3-formyl-4-hydroxyphenyl) methane And bis (4-hydroxy-2,5-dimethylphenyl) formylmethane, α, α-bis (4-hydroxy-2,5-dimethylphenyl) -4-formyltoluene and the like.
The phenoplast compound is also available as a commercial product, and as specific examples, 26DMPC, 46DMOC, DM-BIPC-F, DM-BIOC-F, TM-BIP-A, BISA-F, BI25X-DF And BI25X-TPA (all manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd.) and the like.

これらの中でも、架橋剤配合による屈折率低下を抑制し得るとともに、硬化反応が速やかに進行するという点から、多官能(メタ)アクリル化合物が好適であり、その中でも、トリアジン環含有重合体との相溶性に優れていることから、下記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物がより好ましい。
このような骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物としては、例えば、NKエステルA−9300、同A−9300−1CL(いずれも、新中村化学工業(株)製)が挙げられる。
Among these, polyfunctional (meth) acrylic compounds are preferable in that they can suppress the decrease in refractive index due to the addition of a crosslinking agent and the curing reaction proceeds rapidly, and among them, triazine ring-containing polymers are preferable. The following polyfunctional (meth) acrylic compounds having an isocyanuric acid skeleton are more preferable because they are excellent in compatibility.
As a polyfunctional (meth) acrylic compound which has such frame | skeleton, NK ester A-9300 and the same A-93000-1CL (all are Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product) are mentioned, for example.

Figure 0006515811
(式中、R111〜R113は、互いに独立して、末端に少なくとも1つの(メタ)アクリル基を有する一価の有機基である。)
Figure 0006515811
(Wherein, each of R 111 to R 113 independently of each other is a monovalent organic group having at least one (meth) acrylic group at its terminal).

また、硬化速度をより向上させるとともに、得られる硬化膜の耐溶剤性および耐酸性、耐アルカリ性を高めるという観点から、25℃で液体であり、かつ、その粘度が5000mPa・s以下、好ましくは1〜3000mPa・s、より好ましくは1〜1000mPa・s、より一層好ましくは1〜500mPa・sの多官能(メタ)アクリル化合物(以下、低粘度架橋剤という)を、単独もしくは2種以上組み合わせて、または、上記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物と組み合わせて用いることが好適である。
このような低粘度架橋剤も市販品として入手可能であり、例えば、上述した多官能(メタ)アクリル化合物のうち、NKエステルA−GLY−3E(85mPa・s,25℃)、同A−GLY−9E(95mPa・s,25℃)、同A−GLY−20E(200mPa・s,25℃)、同A−TMPT−3EO(60mPa・s,25℃)、同A−TMPT−9EO、同ATM−4E(150mPa・s,25℃)、同ATM−35E(350mPa・s,25℃)(以上、新中村化学工業(株)製)等の、(メタ)アクリル基間の鎖長が比較的長い架橋剤が挙げられる。
In addition, from the viewpoint of further improving the curing rate and improving the solvent resistance and acid resistance and alkali resistance of the resulting cured film, it is liquid at 25 ° C. and has a viscosity of 5000 mPa · s or less, preferably 1 A multi-functional (meth) acrylic compound (hereinafter referred to as a low viscosity cross-linking agent) having a viscosity of -3000 mPa · s, more preferably 1 to 1000 mPa · s, still more preferably 1 to 500 mPa · s, alone or in combination Alternatively, it is preferable to use in combination with the above-mentioned polyfunctional (meth) acrylic compound having an isocyanuric acid skeleton.
Such low viscosity crosslinking agents are also commercially available. For example, among the above-mentioned polyfunctional (meth) acrylic compounds, NK esters A-GLY-3E (85 mPa · s, 25 ° C.), A-GLYs −9 E (95 mPa · s, 25 ° C.), A-GLY-20 E (200 mPa · s, 25 ° C.), A-TMPT-3 EO (60 mPa · s, 25 ° C.), A-TMPT-9 EO, ATM -4E (150 mPa · s, 25 ° C), ATM-35E (350 mPa · s, 25 ° C) (above, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and the like, the chain length between (meth) acrylic groups is relatively Long crosslinkers may be mentioned.

さらに、得られる硬化膜の耐アルカリ性をも向上させることを考慮すると、NKエステルA−GLY−20E(新中村化学工業(株)製)、および同ATM−35E(新中村化学工業(株)製)の少なくとも一方と、上記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物と組み合わせて用いることが好適である。   Furthermore, in consideration of improving the alkali resistance of the obtained cured film, NK ester A-GLY-20E (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and ATM-35E (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) It is preferable to use it in combination with the polyfunctional (meth) acrylic compound having the above-mentioned isocyanuric acid skeleton, and at least one of them.

架橋剤の総使用量は、トリアジン環含有重合体100質量部に対して、1〜100質量部が好ましいが、溶剤耐性を考慮すると、その下限は、好ましくは2質量部、より好ましくは5質量部であり、さらには、屈折率をコントロールすることを考慮すると、その上限は好ましくは20質量部、より好ましくは15質量部である。
2種以上の架橋剤の使用比率は特に限定されるものではないが、上述な好適な組み合わせである多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物とを併用する場合、多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物との含有量が、質量比で1:10〜10:1程度とすることができ、好ましくは1:1〜5:1であり、より好ましくは1:1〜3:1である。
The total amount of the crosslinking agent used is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the triazine ring-containing polymer, but in view of solvent resistance, the lower limit is preferably 2 parts by mass, more preferably 5 parts The upper limit is preferably 20 parts by mass, more preferably 15 parts by mass, in consideration of controlling the refractive index.
The use ratio of the two or more crosslinking agents is not particularly limited, but in the case where the multifunctional (meth) acrylic compound and the multifunctional epoxy compound which are the preferable combination described above are used in combination, the polyfunctional (meth) acrylic is used. The content of the compound and the polyfunctional epoxy compound can be about 1:10 to 10: 1 in mass ratio, preferably 1: 1 to 5: 1, and more preferably 1: 1 to 3: It is 1.

本発明の組成物には、それぞれの架橋剤に応じた開始剤を配合することもできる。なお、上述のとおり、架橋剤として多官能エポキシ化合物および多官能(メタ)アクリル化合物を用いる場合、開始剤を使用せずとも光硬化が進行して硬化膜を与えるものであるが、その場合に開始剤を使用しても差し支えない。   In the composition of the present invention, an initiator corresponding to each crosslinking agent can also be blended. In addition, as above-mentioned, when using a polyfunctional epoxy compound and a polyfunctional (meth) acrylic compound as a crosslinking agent, although photocuring advances without using an initiator, a cured film is given, but in that case It is safe to use an initiator.

多官能エポキシ化合物を架橋剤として用いる場合には、光酸発生剤や光塩基発生剤を用いることができる。
光酸発生剤としては、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、ジアゾニウム塩、スルホニウム塩やヨードニウム塩などのオニウム塩誘導体を用いることができる。
その具体例としては、フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート、4−メトキシフェニルジアゾニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−メチルフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等のアリールジアゾニウム塩;ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジ(4−メチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジ(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等のジアリールヨードニウム塩;トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(4−メトキシフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス(ジフェニルスルフォニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス(ジフェニルスルフォニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロホスフェート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート等のトリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。
When using a polyfunctional epoxy compound as a crosslinking agent, a photo-acid generator and a photo-base generator can be used.
The photoacid generator may be appropriately selected from known ones and used. For example, onium salt derivatives such as diazonium salts, sulfonium salts and iodonium salts can be used.
Specific examples thereof include aryldiazonium salts such as phenyldiazonium hexafluorophosphate, 4-methoxyphenyldiazonium hexafluoroantimonate, 4-methylphenyldiazonium hexafluorophosphate and the like; diphenyliodonium hexafluoroantimonate, di (4-methylphenyl) Diaryl iodonium salts such as iodonium hexafluorophosphate, di (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate; triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (4-methoxyphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, diphenyl-4-thiophenoxy Phenyl sulfonium hexafluoroantimonate, diphenyl-4-thiophenoxy Henylsulfonium hexafluorophosphate, 4,4'-bis (diphenylsulfonylo) phenyl sulfide-bishexafluoroantimonate, 4,4'-bis (diphenylsulfonylio) phenyl sulfide-bishexafluorophosphate, 4,4 '-Bis [di (β-hydroxyethoxy) phenylsulfonio] phenyl sulfide-bishexafluoroantimonate, 4,4'-bis [di (β-hydroxyethoxy) phenylsulfonio] phenyl sulfide-bis-hexafluorophosphate , 4- [4 '-(Benzoyl) phenylthio] phenyl-di (4-fluorophenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, 4- [4'-(benzoyl) phenylthio] phenyl-di (4-fluorophenyl) sul Triarylsulfonium salts such as triphenylsulfonium hexafluorophosphate and the like.

これらのオニウム塩は市販品を用いてもよく、その具体例としては、サンエイドSI−60、SI−80、SI−100、SI−60L、SI−80L、SI−100L、SI−L145、SI−L150、SI−L160、SI−L110、SI−L147(以上、三新化学工業(株)製)、UVI−6950、UVI−6970、UVI−6974、UVI−6990、UVI−6992(以上、ユニオンカーバイド社製)、CPI−100P、CPI−100A、CPI−200K、CPI−200S(以上、サンアプロ(株)製)、アデカオプトマーSP−150、SP−151、SP−170、SP−171(以上、旭電化工業(株)製)、イルガキュア 261(BASF社製)、CI−2481、CI−2624、CI−2639、CI−2064(以上、日本曹達(株)製)、CD−1010、CD−1011、CD−1012(以上、サートマー社製)、DS−100、DS−101、DAM−101、DAM−102、DAM−105、DAM−201、DSM−301、NAI−100、NAI−101、NAI−105、NAI−106、SI−100、SI−101、SI−105、SI−106、PI−105、NDI−105、BENZOIN TOSYLATE、MBZ−101、MBZ−301、PYR−100、PYR−200、DNB−101、NB−101、NB−201、BBI−101、BBI−102、BBI−103、BBI−109(以上、ミドリ化学(株)製)、PCI−061T、PCI−062T、PCI−020T、PCI−022T(以上、日本化薬(株)製)、IBPF、IBCF(三和ケミカル(株)製)等を挙げることができる。   As these onium salts, commercially available products may be used, and as specific examples thereof, Sanaid SI-60, SI-80, SI-100, SI-60L, SI-80L, SI-100L, SI-L145, SI- L150, SI-L160, SI-L110, SI-L147 (above, made by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.), UVI-6950, UVI-6970, UVI-6974, UVI-6990, UVI-6992 (above, union carbide) CPI-100P, CPI-100A, CPI-200K, CPI-200S (above, San-Apro Ltd.), Adeka Optomer SP-150, SP-151, SP-170, SP-171 (above, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. product, Irgacure 261 (manufactured by BASF Corporation), CI-2481, CI-2624, CI-26 9, CI-2064 (above, Nippon Soda Co., Ltd. product), CD-1010, CD-1011, CD-1012 (above, Sartmar company), DS-100, DS-101, DAM-101, DAM-102 , DAM-105, DAM-201, DSM-301, NAI-100, NAI-101, NAI-105, NAI-106, SI-100, SI-101, SI-105, SI-106, PI-105, NDI -105, BENZOIN TOSYLATE, MBZ-101, MBZ-301, PYR-100, PYR-200, DNB-101, NB-101, NB-201, BBI-101, BBI-102, BBI-103, BBI-109 ( The above, Midori Chemical Co., Ltd. product), PCI-061 T, PCI-062 T, PCI-020 T, P I-022T (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), it can be mentioned IBPF, IBCF (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), and the like.

一方、光塩基発生剤としても、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、Co−アミン錯体系、オキシムカルボン酸エステル系、カルバミン酸エステル系、四級アンモニウム塩系光塩基発生剤などを用いることができる。
その具体例としては、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、O−カルバモイルヒドロキシルアミド、O−カルバモイルオキシム、[[(2,6−ジニトロベンジル)オキシ]カルボニル]シクロヘキシルアミン、ビス[[(2−ニトロベンジル)オキシ]カルボニル]ヘキサン1,6−ジアミン、4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン、N−(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト(III)トリス(トリフェニルメチルボレート)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2’−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2’,4’−ジニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン等が挙げられる。
また、光塩基発生剤は市販品を用いてもよく、その具体例としては、TPS−OH、NBC−101、ANC−101(いずれも製品名、みどり化学(株)製)等が挙げられる。
On the other hand, the photo base generator may be appropriately selected from known ones and used, for example, Co-amine complex type, oxime carboxylate type, carbamate type, quaternary ammonium salt type photo base generator, etc. Can be used.
Specific examples thereof include 2-nitrobenzylcyclohexylcarbamate, triphenylmethanol, O-carbamoylhydroxylamide, O-carbamoyloxime, [[(2,6-dinitrobenzyl) oxy] carbonyl] cyclohexylamine, bis [[(2 -Nitrobenzyl) oxy] carbonyl] hexane 1,6-diamine, 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl-1-morpholinoethane, (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane, N- (2-nitrobenzyloxycarbonyl) pyrrolidine, hexaamminecobalt (III) tris (triphenylmethyl borate), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2,6-dimethyl- 3,5-di Cetyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine, 2,6-dimethyl-3,5-diacetyl-4- (2 ', 4'-dinitrophenyl) -1,4-dihydropyridine, etc. It can be mentioned.
Moreover, a commercial item may be used for a photobase generator, As a specific example, TPS-OH, NBC-101, ANC-101 (all are a product name, Midori Chemical Co., Ltd. product) etc. are mentioned.

光酸または塩基発生剤を用いる場合、多官能エポキシ化合物100質量部に対して、0.1〜15質量部の範囲で使用することが好ましく、より好ましくは1〜10質量部の範囲である。
なお、必要に応じてエポキシ樹脂硬化剤を、多官能エポキシ化合物100質量部に対して、1〜100質量部の量で配合してもよい。
When a photoacid or base generator is used, it is preferably used in an amount of 0.1 to 15 parts by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass, with respect to 100 parts by mass of the polyfunctional epoxy compound.
In addition, you may mix | blend the epoxy resin hardening | curing agent in the quantity of 1-100 mass parts with respect to 100 mass parts of polyfunctional epoxy compounds as needed.

一方、多官能(メタ)アクリル化合物を用いる場合には、光ラジカル重合開始剤を用いることができる。
光ラジカル重合開始剤としても、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ミヒラーのベンゾイルベンゾエート、アミロキシムエステル、オキシムエステル類、テトラメチルチウラムモノサルファイドおよびチオキサントン類等が挙げられる。
特に、光開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。光開裂型の光ラジカル重合開始剤については、最新UV硬化技術(159頁、発行人:高薄一弘、発行所:(株)技術情報協会、1991年発行)に記載されている。
市販の光ラジカル重合開始剤としては、例えば、BASF社製 商品名:イルガキュア 127、184、369、379、379EG、651、500、754、819、903、907、784、2959、CGI1700、CGI1750、CGI1850、CG24−61、OXE01、OXE02、ダロキュア 1116、1173、MBF、BASF社製 商品名:ルシリン TPO、UCB社製 商品名:ユベクリル P36、フラテツリ・ランベルティ社製 商品名:エザキュアー KIP150、KIP65LT、KIP100F、KT37、KT55、KTO46、KIP75/B等が挙げられる。
光ラジカル重合開始剤を用いる場合、多官能(メタ)アクリレート化合物100質量部に対して、0.1〜200質量部の範囲で使用することが好ましく、1〜150質量部の範囲で使用することがより好ましい。
On the other hand, when using a polyfunctional (meth) acrylic compound, a radical photopolymerization initiator can be used.
The photo radical polymerization initiator may be appropriately selected from known ones and used. For example, acetophenones, benzophenones, Michler's benzoyl benzoate, amiloxym esters, oxime esters, tetramethylthiuram monosulfide and thioxanthones, etc. Can be mentioned.
In particular, photocleavage type photo radical polymerization initiators are preferred. The photocleavage type photo radical polymerization initiator is described in the latest UV curing technology (p. 159, Issuer: Kazuhiro Takata, Publisher: Institute of Technology Information, published in 1991).
As a commercially available radical photopolymerization initiator, for example, BASF Corp. trade name: Irgacure 127, 184, 369, 379, 379 EG, 651, 500, 754, 819, 903, 907, 784, 2959, CGI 1700, CGI 1750, CGI 1850 CG24-61, OXE01, OXE02, Darocure 1116, 1173, MBF, manufactured by BASF Trade name: Lucirin TPO, manufactured by UCB Trade name: Yubekrill P36, manufactured by Fratetris-Lamberty Trade name: Ezacure KIP150, KIP65LT, KIP100F, KT37, KT55, KTO46, KIP75 / B etc. are mentioned.
When using a radical photopolymerization initiator, it is preferable to use in the range of 0.1 to 200 parts by mass and use in the range of 1 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyfunctional (meth) acrylate compound. Is more preferred.

本発明の組成物には、各種溶媒を添加し、トリアジン環含有重合体を溶解させて使用することが好ましい。
溶媒としては、例えば、水、トルエン、p−キシレン、o−キシレン、m−キシレン、エチルベンゼン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、1−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、トリメチレングリコール、1−メトキシ−2−ブタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコール、ベンジルアルコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルノーマルブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ノーマルプロピル、酢酸イソブチル、酢酸ノーマルブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロパノール、tert−ブタノール、アリルアルコール、ノーマルプロパノール、2−メチル−2−ブタノール、イソブタノール、ノーマルブタノール、2−メチル−1−ブタノール、1−ペンタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチルヘキサノール、1−メトキシ−2−プロパノール、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、N−シクロヘキシル−2−ピロリジノン等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。
It is preferable that various solvents be added to the composition of the present invention, and the triazine ring-containing polymer be dissolved and used.
As the solvent, for example, water, toluene, p-xylene, o-xylene, m-xylene, ethylbenzene, styrene, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol, propylene glycol monoethyl ether, ethylene Glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene Recall monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol, 1-octanol, ethylene glycol, hexylene glycol, trimethylene glycol, 1- Methoxy-2-butanol, cyclohexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, propylene glycol, benzyl alcohol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, γ -Butyrolactone, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isopropyl ketone, di Ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl normal butyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, ethyl acetate, isopropyl acetate, normal propyl acetate, isobutyl acetate, normal butyl acetate, ethyl lactate, methanol, ethanol, isopropanol, tert-butanol, allyl alcohol, Normal propanol, 2-methyl-2-butanol, isobutanol, normal butanol, 2-methyl-1-butanol, 1-pentanol, 2-methyl-1-pentanol, 2-ethylhexanol, 1-methoxy-2- Propanol, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methylpyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazo Jin Won, dimethyl sulfoxide, N- cyclohexyl-2-pyrrolidinone and the like. These may be used singly or may be used in combination of two or more.

この際、組成物中の固形分濃度は、保存安定性に影響を与えない範囲であれば特に限定されず、目的とする膜の厚みに応じて適宜設定すればよい。具体的には、溶解性および保存安定性の観点から、固形分濃度0.1〜50質量%が好ましく、より好ましくは0.1〜40質量%である。   Under the present circumstances, solid content concentration in a composition will not be specifically limited if it is a range which does not affect storage stability, What is necessary is just to set suitably according to the thickness of the target film | membrane. Specifically, in view of solubility and storage stability, the solid content concentration is preferably 0.1 to 50% by mass, and more preferably 0.1 to 40% by mass.

本発明の組成物には、本発明の効果を損なわない限りにおいて、トリアジン環含有重合体、架橋剤および溶媒以外のその他の成分、例えば、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤などの添加剤が含まれていてもよい。
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル類;ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類;ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、商品名エフトップEF301、EF303、EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製(旧(株)ジェムコ製))、商品名メガファックF171、F173、R−08、R−30、R−40、F−553、F−554、RS−75、RS−72−K(DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム(株)製)、商品名アサヒガードAG710,サーフロンS−382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、BYK−302、BYK−307、BYK−322、BYK−323、BYK−330、BYK−333、BYK−370、BYK−375、BYK−378(ビックケミー・ジャパン(株)製)等が挙げられる。
In the composition of the present invention, as long as the effects of the present invention are not impaired, addition of triazine ring-containing polymer, crosslinking agent and other components other than solvent, such as leveling agent, surfactant, silane coupling agent, etc. An agent may be included.
Examples of surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, etc .; polyoxyethylene octyl phenol ether, polyoxyethylene nonyl phenol Polyoxyethylene alkyl allyl ethers such as ethers; polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymers; sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan monooleate, sorbitan trioleate, sorbitan tristearate Sorbitan fatty acid esters such as: polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene so Nonionic surfactants such as polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters such as bitan monopalmitate, polyoxyethylene sorbitan monostearate, polyoxyethylene sorbitan trioleate, polyoxyethylene sorbitan tristearate, etc. EF303, EF352 (Mitsubishi Materials Electronics Kasei Co., Ltd. (old) manufactured by Gemco), trade names Megafac F171, F173, R-08, R-30, R-40, F-40, F-553, F-554, RS-75, RS-72-K (made by DIC Corporation), Florard FC430, FC431 (made by Sumitomo 3M Co., Ltd.), trade name Asahi Guard AG710, Surfron S-382, SC101, SC101, SC102, SC103, SC104, SC105 , SC 106 (Asahi Fluorine-based surfactants such as Shikko Co., Ltd., organosiloxane polymer KP 341 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), BYK-302, BYK-307, BYK-322, BYK-323, BYK-330, BYK- 333, BYK-370, BYK-375, BYK-378 (manufactured by Big Chemie Japan KK), and the like.

これらの界面活性剤は、単独で使用しても、2種以上組み合わせて使用してもよい。界面活性剤の使用量は、トリアジン環含有重合体100質量部に対して0.0001〜5質量部が好ましく、0.001〜1質量部がより好ましく、0.01〜0.5質量部がより一層好ましい。
なお、上記その他の成分は、本発明の組成物を調製する際の任意の工程で添加することができる。
These surfactants may be used alone or in combination of two or more. The amount of surfactant used is preferably 0.0001 to 5 parts by mass, more preferably 0.001 to 1 parts by mass, and 0.01 to 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the triazine ring-containing polymer. Even more preferred.
The above-mentioned other components can be added at any step in preparing the composition of the present invention.

本発明の組成物は、基材に塗布し、その後、必要に応じて加熱して溶剤を蒸発させた後、加熱または光照射して所望の硬化膜とすることができる。
組成物の塗布方法は任意であり、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、ジェットディスペンサー法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法等の方法を採用できる。
The composition of the present invention can be applied to a substrate and then heated as required to evaporate the solvent, and then heated or irradiated with light to form a desired cured film.
The composition may be applied by any method, such as spin coating, dipping, flow coating, inkjet, jet dispenser, spraying, bar coating, gravure coating, slit coating, roll coating, transfer, etc. Methods such as printing, brush coating, blade coating, air knife coating and the like can be employed.

また、基材としては、シリコン、インジウム錫酸化物(ITO)が成膜されたガラス、インジウム亜鉛酸化物(IZO)が成膜されたガラス、ポリエチレンテレフタレート(PET)、プラスチック、ガラス、石英、セラミックス等からなる基材等が挙げられ、可撓性を有するフレキシブル基材を用いることもできる。
焼成温度は、溶媒を蒸発させる目的では特に限定されず、例えば40〜400℃で行うことができるが、本発明の組成物では150℃未満、特に60〜130℃の低温焼成にて薄膜を形成することができる。
焼成方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレートやオーブンを用いて、大気、窒素等の不活性ガス、真空中等の適切な雰囲気下で蒸発させればよい。
焼成温度および焼成時間は、目的とする電子デバイスのプロセス工程に適合した条件を選択すればよく、得られる膜の物性値が電子デバイスの要求特性に適合するような焼成条件を選択すればよい。
光照射する場合の条件も特に限定されるものではなく、用いるトリアジン環含有重合体および架橋剤に応じて、適宜な照射エネルギーおよび時間を採用すればよい。
また、上記組成物を光照射にて硬化膜を作製するにあたって、マスクを介して光照射した後、現像液にて現像することで微細パターンを形成することもできる。
この場合、露光後の現像は、例えば有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
有機溶媒現像液の具体例としては、NMP、γ−ブチロラクトン、DMSO等が挙げられ、一方、水性現像液の具体例としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム,水酸化カリウム,テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリ水溶液が挙げられる。
Further, as the substrate, silicon, glass on which indium tin oxide (ITO) is formed, glass on which indium zinc oxide (IZO) is formed, polyethylene terephthalate (PET), plastic, glass, quartz, ceramics The base material etc. which consist of etc. are mentioned, A flexible base material which has flexibility can also be used.
The calcination temperature is not particularly limited for the purpose of evaporating the solvent, and can be carried out, for example, at 40 to 400 ° C. However, in the composition of the present invention, a thin film is formed by low temperature calcination at less than 150 ° C., particularly 60 to 130 ° C. can do.
The baking method is not particularly limited. For example, using a hot plate or an oven, evaporation may be performed under an appropriate atmosphere such as air, an inert gas such as nitrogen, or in vacuum.
The firing temperature and the firing time may be selected from the conditions suitable for the process steps of the target electronic device, and the firing conditions may be selected such that the physical properties of the obtained film conform to the required characteristics of the electronic device.
The conditions for light irradiation are also not particularly limited, and appropriate irradiation energy and time may be adopted according to the triazine ring-containing polymer and the crosslinking agent to be used.
Moreover, when producing a cured film by light irradiation of the said composition, after irradiating with light through a mask, the fine pattern can also be formed by developing with a developing solution.
In this case, development after exposure can be performed, for example, by immersing the exposure resin in an organic solvent developer or an aqueous developer.
Specific examples of organic solvent developers include NMP, γ-butyrolactone, DMSO and the like, while specific examples of aqueous developers include sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethyl ammonium Examples thereof include aqueous alkaline solutions such as hydroxides.

ネガ型のパターン形成用組成物とする場合、上記組成物に、さらにオキシラン環含有化合物と、光硬化型触媒とを配合してもよい。
オキシラン環含有化合物としては、分子内にオキシラン環を1個以上、好ましくは2個以上有するものが挙げられ、その具体例としては、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリブタジエン樹脂、オキセタン化合物等が挙げられる。これらは単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
オキシラン含有化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、10〜400質量部程度とすることができる。
In the case of forming a negative pattern forming composition, the above composition may further contain an oxirane ring-containing compound and a photocurable catalyst.
Examples of the oxirane ring-containing compound include compounds having one or more, preferably two or more oxirane rings in the molecule, and specific examples thereof include glycidyl ether type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, alicyclic epoxy resin Resin, epoxy modified polybutadiene resin, oxetane compound etc. are mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
Although the compounding quantity of an oxirane containing compound is not specifically limited, It can be about 10-400 mass parts with respect to 100 mass parts of triazine ring containing polymers.

光硬化型触媒としては、光カチオン発生剤が挙げられる。光カチオン発生剤の具体例としては、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート等のトリアリールスルホニウム塩;トリアリールセレニウム塩;ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のジアリールヨードニウム塩などが挙げられる。これらは単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
光硬化型触媒の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、0.1〜100質量部程度とすることができる。
The photocurable catalyst includes a photocation generator. Specific examples of the photocation generator include triarylsulfonium salts such as triphenylsulfonium hexafluorophosphate and triphenylsulfonium hexafluoroantimonate; triarylselenium salts; diphenyliodonium hexafluorophosphate and diphenyliodonium hexafluoroantimonate Diaryl iodonium salts and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
The compounding amount of the photocurable catalyst is not particularly limited, but can be about 0.1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the triazine ring-containing polymer.

上記ネガ型パターン形成用組成物の調製法は特に限定されるものではなく、任意の順序で各成分を配合して調製すればよい。また、その際、上述した溶媒を用いてよい。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、紫外光等を1〜4000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。光照射は、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、LED、レーザー光等の公知の各種手法を用いて行えばよい。
なお、必要に応じ、露光前後に80〜180℃程度、耐熱性の低い基材等を用いる場合、好ましくは80℃以上150℃未満、より好ましくは80〜130℃で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
The preparation method of the said composition for negative pattern formation is not specifically limited, What is necessary is to mix | blend and prepare each component in arbitrary order. At this time, the above-mentioned solvent may be used.
The composition described above can be cured by, for example, irradiating ultraviolet light or the like at 1 to 4000 mJ / cm 2 after application according to the above-described method. Light irradiation may be performed using various known methods such as a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, an LED, and a laser beam.
In addition, as needed, when using a low heat resistant base material etc. about 80-180 degreeC before and after exposure, you may heat at preferably 80 degreeC or more and less than 150 degreeC, More preferably, it is 80-130 degreeC.
The development after exposure can be carried out by immersing the exposure resin in the above-described organic solvent developer or aqueous developer.

一方、ポジ型のパターン形成用組成物とする場合、上記組成物に、さらにアジド化合物を配合してもよい。
アジド化合物としては、1,2−ナフトキノンジアジド基を1個以上、好ましくは2個以上有する化合物が好ましく、その具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシ−ベンゾフェノンと1,2−ナフトキノン−(2)−ジアジド−5−スルホン酸とのエステル等の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸誘導体などが挙げられる。
オキシラン含有化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、4〜60質量部程度とすることができる。
On the other hand, when it is set as a positive pattern forming composition, an azide compound may be further added to the above composition.
As the azide compound, a compound having one or more, preferably two or more 1,2-naphthoquinonediazide groups is preferable. As a specific example thereof, 2,3,4-trihydroxy-benzophenone and 1,2-naphthoquinone- (2) 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid derivatives such as esters with diazide-5-sulfonic acid and the like.
Although the compounding quantity of an oxirane containing compound is not specifically limited, It can be about 4-60 mass parts with respect to 100 mass parts of triazine ring containing polymers.

上記ポジ型パターン形成用組成物の調製法も特に限定されるものではなく、任意の順序で各成分を配合して調製すればよい。また、その際、上述した溶媒を用いてもよい。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、上述の光照射法により、紫外光等を1〜2000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。この場合も、必要に応じ、露光前後に80〜180℃程度、耐熱性の低い基材等を用いる場合、好ましくは80℃以上150℃未満、より好ましくは80〜130℃で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
The preparation method of the composition for forming a positive pattern is also not particularly limited, and the components may be mixed and prepared in an arbitrary order. At this time, the above-mentioned solvent may be used.
The composition described above can be applied by the above-described method, and then cured by, for example, irradiating ultraviolet light or the like at 1 to 2000 mJ / cm 2 by the above-described light irradiation method. Also in this case, when using a low heat resistant substrate or the like at about 80 to 180 ° C. before and after exposure, heating may be preferably performed at 80 ° C. or more and less than 150 ° C., more preferably 80 to 130 ° C. .
The development after exposure can be carried out by immersing the exposure resin in the above-described organic solvent developer or aqueous developer.

上記各パターン形成用組成物には、必要に応じて各種添加剤を加えてもよい。添加剤としては、ベンジル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、1−ナフチルメチル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム メチルサルフェート等の熱カチオン発生剤;2,5−ジエチルチオキサントン、アントラセン、9,10−エトキシアントラセン等の光増感剤や、上記膜形成用組成物において例示した添加剤などが挙げられる。   Various additives may be added to the above-mentioned each composition for pattern formation if needed. Additives include thermal cation generators such as benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, 1-naphthylmethyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium methyl sulfate; 2 Photosensitizers, such as 5-diethyl thioxanthone, anthracene, 9, 10- ethoxy anthracene, etc., the additive illustrated in the composition for film formation, etc. are mentioned.

以上のようにして得られた本発明の硬化膜や微細パターンは、高耐熱性、高屈折率、および低体積収縮を達成できるため、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、タッチパネル、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)、レンズ、プリズムカメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置などを作製する際の一部材など、電子デバイスや光学材料分野に好適に利用できる。   The cured film and fine pattern of the present invention obtained as described above can achieve high heat resistance, high refractive index, and low volume shrinkage, and thus, liquid crystal display, organic electroluminescence (EL) display, touch panel, optical semiconductor (LED) elements, solid-state imaging elements, organic thin-film solar cells, dye-sensitized solar cells, organic thin-film transistors (TFTs), lenses, prism cameras, binoculars, microscopes, semiconductor exposure devices, etc. And optical materials can be suitably used.

以下、実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。なお、実施例で用いた各測定装置は以下のとおりである。
1H−NMR]
装置:Varian NMR System 400NB(400MHz
)JEOL−ECA700(700MHz)
測定溶媒:DMSO−d6
基準物質:テトラメチルシラン(TMS)(δ0.0ppm)
[GPC]
装置:SHIMADZU社製 SCL−10Avp GPCに改造
カラム:Shodex KF−804L+KF−805L
カラム温度:60℃
溶媒:NMP(1%LiCl添加)
検出器:UV(254nm)
検量線:標準ポリスチレン
[紫外線可視分光光度計]
装置:(株)島津製作所製 SHIMADSU UV−3600
[エリプソメーター]
装置:ジェー・エー・ウーラム・ジャパン製 多入射角分光エリプソメー
ターVASE
[示差熱天秤(TG−DTA)]
装置:(株)リガク製 TG−8120
昇温速度:10℃/分
測定温度:25℃−750℃
[電子顕微鏡]
日本電子(株)製 電子顕微鏡S−4800
EXAMPLES The present invention will be more specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In addition, each measuring device used in the Example is as follows.
[ 1 H-NMR]
Equipment: Varian NMR System 400NB (400 MHz)
) JEOL-ECA 700 (700 MHz)
Measurement solvent: DMSO-d6
Reference material: tetramethylsilane (TMS) (δ 0.0 ppm)
[GPC]
Device: Remodeled to SHIMADZU SCL-10Avp GPC Column: Shodex KF-804L + KF-805L
Column temperature: 60 ° C
Solvent: NMP (1% LiCl added)
Detector: UV (254 nm)
Calibration curve: Standard polystyrene [UV-visible spectrophotometer]
Device: SHIMADSU UV-3600 manufactured by Shimadzu Corporation
[Ellipsometer]
Device: JA A. Woolam Japan multi-incidence spectroscopy ellipsometer VASE
[Differential thermal balance (TG-DTA)]
Device: TG-8120 manufactured by Rigaku Corporation
Heating rate: 10 ° C / min Measurement temperature: 25 ° C-750 ° C
[electronic microscope]
Nippon Denshi Co., Ltd. electron microscope S-4800

[1]トリアジン環含有重合体の合成
[実施例1] 高分子化合物[4]の合成

Figure 0006515811
[1] Synthesis of triazine ring-containing polymer [Example 1] Synthesis of polymer compound [4]
Figure 0006515811

窒素下、500mL四口フラスコに、3−アミノフェノール[2](11.00g、0.1mol、東京化成工業(株)製)を加え、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)104.14gに溶解し、0℃以下に冷却した。その後、2,4,6−トリクロロ−1,3,5−トリアジン[1](18.34g、0.1mol、エボニック・デグサ製)を加え、1時間撹拌した後、NMP154.96gに溶かしたm−フェニレンジアミン[3](16.14g、0.15moL)を、内温を30℃以下に保つように滴下した。滴下後、90℃に加温して3時間反応させ、トリエチルアミン50.34gを加えて重合を停止した。
生成したトリエチルアミン塩酸塩をろ過で除去し、ろ液をイオン交換水1290gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をアセトン200gに再溶解させ、さらにイオン交換水1500gに再沈殿した。沈殿物をろ過して得られた生成物を100℃で8時間乾燥し、目的の高分子化合物[4]26.6gを得た(以下、L−TmDA−100という)。
L−TmDA−100の1H−NMRスペクトルの測定結果を図1に示す。また、L−TmDA−100のGPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは8,200、多分散度Mw/Mnは2.15であった。
Under nitrogen, 3-aminophenol [2] (11.00 g, 0.1 mol, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) is added to a 500 mL four-necked flask, and 104.14 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) is added. Melted and cooled to 0 ° C. or less. Thereafter, 2,4,6-trichloro-1,3,5-triazine [1] (18.34 g, 0.1 mol, made by Evonik Degussa) was added and stirred for 1 hour, then dissolved in 154.96 g of NMP. -Phenylenediamine [3] (16.14g, 0.15moL) was dropped so that internal temperature was maintained at 30 degrees C or less. After dropping, the mixture was heated to 90 ° C. and allowed to react for 3 hours, and 50.34 g of triethylamine was added to terminate the polymerization.
The formed triethylamine hydrochloride was removed by filtration, and the filtrate was dropped into 1290 g of ion exchanged water to carry out reprecipitation. The resulting precipitate was filtered, and the filtrate was redissolved in 200 g of acetone and further reprecipitated in 1500 g of ion exchanged water. The product obtained by filtering the precipitate was dried at 100 ° C. for 8 hours to obtain 26.6 g of the target polymer compound [4] (hereinafter referred to as L-TmDA-100).
The measurement result of the 1 H-NMR spectrum of L-TmDA-100 is shown in FIG. Moreover, the weight average molecular weight Mw measured by polystyrene conversion by GPC of L-TmDA-100 was 8,200, and polydispersion degree Mw / Mn was 2.15.

上記実施例1で得られた高分子化合物[4]5.200mgを白金パンに加え、TG−DTAにより昇温速度15℃/minで測定を行ったところ、5%重量減少は392℃であった。その結果を図2に示す。   When 5.200 mg of the polymer compound [4] obtained in Example 1 above was added to a platinum pan and measurement was performed at a temperature rising rate of 15 ° C./min by TG-DTA, the 5% weight loss was 392 ° C. The The results are shown in FIG.

[2]組成物の調製
[実施例2]
窒素下、200mLナスフラスコに、実施例1で得られたL−TmDA−100 12.00gを加え、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)18.00gを加えて40質量%のポリマー溶液(以下、L−TmDA−100−Mという)を調製した。
得られたL−TmDA−100−MをPGMEにて10質量%に希釈し、屈折率を測定したところ1.7494(@550nm)であった。
[2] Preparation of Composition [Example 2]
Under nitrogen, 12.00 g of L-TmDA-100 obtained in Example 1 was added to a 200 mL eggplant flask, 18.00 g of propylene glycol monomethyl ether (PGME) was added as a solvent, and a 40% by mass polymer solution (hereinafter referred to as L-TmDA-100-M was prepared.
The obtained L-TmDA-100-M was diluted to 10% by mass with PGME, and the refractive index was measured, which was 1.7494 (@ 550 nm).

[3]微細パターンの作製
[実施例3]
実施例2で調製したL−TmDA−100−M18.95g、多官能アクリレート(AT−20E、新中村化学工業(株)製)0.74g、多官能エポキシ(エポリードGT−401、ダイセル化学工業(株)製)0.37g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE02、BASF社製)0.52g、光酸発生剤(CPI−210S、サンアプロ(株)製)0.45g、PGME24.0gを加えて固形分20質量%の組成物(LP−W)45gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターを用いて濾過した後、ガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布した。100℃、30秒ホットプレート上で焼成(ソフトベーク)して塗膜を形成した。この塗膜に紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が、200mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、100℃、25分ホットプレート上でポストベークを行い、23℃のNMD−3現像液(東京応化工業(株)製)で一定時間浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。現像後、10/10μm、7/7μm、5/5μmのライン/スペースが、残渣なく解像した。
ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜上に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
[3] Preparation of fine pattern [Example 3]
L-TmDA-100-M 18.95 g prepared in Example 2, 0.74 g of a multifunctional acrylate (AT-20E, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product), a multifunctional epoxy (Epolide GT-401, Daicel Chemical Industries, Ltd. Add 0.37 g of Photonics Co., Ltd.), 0.52 g of photo radical initiator (IRGACURE OXE02, manufactured by BASF), 0.45 g of a photoacid generator (CPI-210S, manufactured by San-Apro Co., Ltd.), and 24.0 g of PGME. 45 g of composition (LP-W) of 20% by mass was prepared.
The composition was filtered using a 0.45 μm filter and then coated on a glass substrate using a spin coater. The coating film was formed by baking (soft baking) on a hot plate at 100 ° C. for 30 seconds. The coating film was irradiated with ultraviolet light at an irradiation amount of 365 nm of 200 mJ / cm 2 by an ultraviolet irradiation device MA6 (manufactured by SUSS). Then, it is post-baked on a hot plate at 100 ° C. for 25 minutes, developed by immersion in a 23 ° C. NMD-3 developer (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for a certain period of time, and developed. went. After development, 10/10 μm, 7/7 μm, 5/5 μm lines / spaces were resolved without residue.
As a result of visual observation under a sodium lamp, no foreign matter was found on the cured film formed on the glass substrate. Furthermore, when the electron microscope observation was performed, the foreign material was not seen on the cured film.

[4]硬化膜の作製
[実施例4]
実施例2で調製したL−TmDA−100−M18.95g、多官能アクリレート(AT−20E、新中村化学工業(株)製)0.74g、多官能エポキシ(エポリードGT−401、ダイセル化学工業(株)製)0.37g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE02、BASF社製)0.52g、光酸発生剤(CPI−210S、サンアプロ(株)製)0.45g、PGME24.0gを加えて固形分20質量%の組成物(LP−W)45gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターを用いて濾過した後、シリコンウエハ基板上にスピンコーターを用いて塗布した。100℃、30秒ホットプレート上で焼成(ソフトベーク)して塗膜を形成した。この塗膜に紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が、200mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、100℃、25分ホットプレート上でポストベークを行い、硬化膜を作製した。
得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率を測定したところ、屈折率1.711(@550nm)であった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率75%であった。
[4] Preparation of Cured Film [Example 4]
L-TmDA-100-M 18.95 g prepared in Example 2, 0.74 g of a multifunctional acrylate (AT-20E, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product), a multifunctional epoxy (Epolide GT-401, Daicel Chemical Industries, Ltd. Add 0.37 g of Photonics Co., Ltd.), 0.52 g of photo radical initiator (IRGACURE OXE02, manufactured by BASF), 0.45 g of a photoacid generator (CPI-210S, manufactured by San-Apro Co., Ltd.), and 24.0 g of PGME. 45 g of composition (LP-W) of 20% by mass was prepared.
The composition was filtered using a 0.45 μm filter and then coated on a silicon wafer substrate using a spin coater. The coating film was formed by baking (soft baking) on a hot plate at 100 ° C. for 30 seconds. The coating film was irradiated with ultraviolet light at an irradiation amount of 365 nm of 200 mJ / cm 2 by an ultraviolet irradiation device MA6 (manufactured by SUSS). Thereafter, post-baking was performed on a hot plate at 100 ° C. for 25 minutes to prepare a cured film.
About the obtained cured film, when the refractive index in 550 nm was measured with the ellipsometer, it was refractive index 1.711 (@ 550 nm). Moreover, when the transmittance | permeability of 400 nm was measured about the obtained cured film, the transmittance | permeability was 75%.

Claims (10)

下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含む重合体と、少なくとも2種類の光硬化性の架橋剤とを含むことを特徴とするパターン形成用であるトリアジン系重合体含有組成物。
Figure 0006515811
{式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar1は、水酸基、カルボキシル基および/またはマレイミド基を有するアリール基を表し、Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 0006515811
〔式中、R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)
Figure 0006515811
(式中、R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
A triazine-based polymer-containing composition for pattern formation, which comprises a polymer having a repeating unit structure represented by the following formula (1) and at least two types of photocurable crosslinking agents.
Figure 0006515811
[Wherein, R and R ′ each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group, and Ar 1 is an aryl group having a hydroxyl group, a carboxyl group and / or a maleimide group Ar 2 represents at least one selected from the group represented by formulas (2) to (13).
Figure 0006515811
[Wherein, R 1 to R 92 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group optionally having a carbon number of 1 to 10, or a carbon number of 1 represents an alkoxy group which may have a branched structure to 10, R 93 and R 94 represents an alkyl group which may have a hydrogen atom or a branched structure having 1 to 10 carbon atoms, W 1 and W 2 is, independently of each other, a single bond, CR 95 R 96 (R 95 and R 96 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having a branched structure of 1 to 10 carbon atoms ( Provided that they may together form a ring))), C = O, O, S, SO, SO 2 or NR 97 (R 97 is a hydrogen atom or 1 carbon atom represents an alkyl group which may have a branched structure 10.) represents, X 1 Contact Fine X 2 independently of one another, a single bond, an alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms, or the formula, (14)
Figure 0006515811
(Wherein, R 98 to R 101 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfo group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or a branched structure, or 1 carbon atom) And an alkoxy group which may have a branched structure of 10 to 10, and Y 1 and Y 2 independently of each other are a single bond or an alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms Represents a group represented by ]}
前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物との組み合わせである請求項1記載のトリアジン系重合体含有組成物。   The triazine polymer-containing composition according to claim 1, wherein the crosslinking agent is a combination of a polyfunctional (meth) acrylic compound and a polyfunctional epoxy compound. 前記多官能(メタ)アクリル化合物と多官能エポキシ化合物との含有量が、質量比で1:1〜3:1である請求項2記載のトリアジン系重合体含有組成物。   The triazine polymer-containing composition according to claim 2, wherein the content of the polyfunctional (meth) acrylic compound and the polyfunctional epoxy compound is 1: 1 to 3: 1 by mass ratio. 前記重合体が、下記式(18)で示される繰り返し単位構造を含む請求項1〜3のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物。
Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、前記と同じ意味を表す。)
The triazine type-polymer containing composition of any one of Claims 1-3 in which the said polymer contains the repeating unit structure shown by following formula (18).
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)
下記式(19)で示される繰り返し単位構造を含む請求項4記載のトリアジン系重合体含有組成物。
Figure 0006515811
(式中、R、R′およびAr2は、前記と同じ意味を表す。)
The triazine type polymer containing composition of Claim 4 containing the repeating unit structure shown by following formula (19).
Figure 0006515811
(Wherein, R, R ′ and Ar 2 represent the same meaning as described above)
下記式(23)で示される繰り返し単位構造を含む請求項5記載のトリアジン系重合体含有組成物。
Figure 0006515811
The triazine type polymer containing composition of Claim 5 containing the repeating unit structure shown by following formula (23).
Figure 0006515811
さらにアジド化合物を含有する請求項1〜6のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物。   The triazine polymer-containing composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising an azide compound. 請求項1〜7のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン。   A pattern produced from the triazine polymer-containing composition according to any one of claims 1 to 7. 基材と、この基材上に形成された請求項8記載のパターンとを備える光学部材。   An optical member comprising a substrate and the pattern according to claim 8 formed on the substrate. 基材と、この基材上に形成された請求項8記載のパターンとを備える電子デバイス。   An electronic device comprising a substrate and the pattern according to claim 8 formed on the substrate.
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