JP6501657B2 - 液圧シリンダ装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ロッド位置検出装置を備えた液圧シリンダ装置に係り、特に、永久磁石、リードスイッチ等を備えたロッド位置検出装置を、シリンダ本体の外方に取付けるようにした技術である。
従来、油圧などの液圧で作動する液圧シリンダ装置は、ピストンロッドの位置を検出して負荷の駆動を制御するようにしており、ロッド位置検出装置として例えば次のような技術が知られている。
すなわち、ピストン部材の進出限界位置を検出するリミットスイッチからなる進出限界位置検出手段と、ピストン部材の退入限界位置を検出するリミットスイッチからなる退入限界位置検出手段とを設けて、これら検出手段をヘッド側壁の外側に設けたものが公知である(例えば、特許文献1参照)。
そして、進出限界位置検出手段は、ピストン部材の進出動作時に、ピストン部材が進出限界位置の近傍位置から進出限界位置まで進出する間だけ軸部材がピストン部材と共に進出側へ移動するために軸部材の移動量を小さくしてストローク方向の長さを短くできるようにしている。
また、退入限界位置検出手段は、ヘッド側壁にロッド部と平行で対向状に形成されたピン孔と、このピン孔に所定距離移動自在に挿通されたピン部材とを設けて、このピン部材と協働してピストン部材の退入限界位置を検出可能としている。
また、従来、ピストンロッドの後端面側から軸方向へ深孔を形成し、この深孔の内周面に環状マグネットを装着し、ヘッドカバー側から非磁性の保護管を深孔に挿入し、この保護管内には、リードスイッチをそれぞれ内部に備えた2本の非磁性のパイプを挿入することによりストローク端を検出するようにしたものも公知である(例えば、特許文献2参照)。
さらに、従来、両ロッドタイプの各ロッドに永久磁石を設け、各ロッド支持部に設けた非磁性のケース内に近接スイッチを収納したものも公知である(例えば、特許文献3、特許文献4参照)。
特許第3904992号公報 特許第3280345号公報 特開昭58−72771号公報 特開昭58−72772号公報
特許文献1記載の従来の技術は、シリンダのストローク方向の長さを短くすることができるが、進出限界位置検出手段における挿入穴、保持孔、係合受動部、係合能動部などの構造及び退入限界位置検出手段におけるピン孔、ピン、スプリングなどの構造が複雑で高価となる課題があった。
また、特許文献1記載の従来の技術は、あらかじめ設計で定めた進出限界位置と退入限界位置を検出することはできるが、顧客が液圧シリンダ装置の駆動条件を変更する必要があっても、進出限界位置と退入限界位置との中間位置を検出するように調節することができず、汎用性に欠けるという課題があった。
特許文献2に記載の従来の技術は、ピストンロッドの後端面側から軸方向へストロークに応じた深孔加工が必要で、ストロークが長くなると深孔加工が困難となるという課題があった。
また、保護管に高圧の液圧が作用するため保護管の肉厚が厚くなるためロッド部の外径が大きくなって小型の液圧シリンダには適用できないという課題があった。
特許文献3及び特許文献4に記載された従来の技術は、あらかじめ設計で定めた永久磁石の固定位置をロッド支持部に設けた近接スイッチで検出するために、検出するロッド位置の調節ができないという課題があった。
また、特許文献3及び特許文献4に記載された従来の技術は、ロッドの進出位置と退出位置の双方位置を検出する場合には、両ロッドタイプにしなければならず、液圧シリンダ及び検出装置の構造が複雑となるという課題があった。
そこで、本発明は、このような従来の技術が有していた課題を解決しようとするものであり、ロッド位置検出装置からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにした液圧シリンダ装置において、前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、円筒状カバーの外周に位置調節可能に固定したリードスイッチにより、液圧シリンダ装置における簡単な構造でありながら、精度の高い汎用性のあるロッド位置検出装置を構成することを目的としている。
請求項1に係る本発明の液圧シリンダ装置は、シリンダ本体と、第一ロッドブッシュと、第二ロッドブッシュと、ピストンと、ピストンロッドと、ロッド位置検出装置とを備えるとともに、前記第一ロッドブッシュの外方に位置するピストンロッドの第一ロッドブッシュ側端部に負荷を連結して、前記ロッド位置検出装置からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにした液圧シリンダ装置において、
前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、
前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、
前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、
前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けおり、
前記円筒状カバーの所定長さは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが前記シリンダ本体内に最も入り込んだ際に、前記永久磁石が前記シリンダ本体から所定寸法離れた前記円筒状カバー内に位置するようにしたものである。
請求項2に係る本発明の液圧シリンダ装置造は、シリンダ本体と、第一ロッドブッシュと、第二ロッドブッシュと、ピストンと、ピストンロッドと、ロッド位置検出装置とを備えるとともに、前記第一ロッドブッシュの外方に位置するピストンロッドの第一ロッドブッシュ側端部に負荷を連結して、前記ロッド位置検出装置からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにした液圧シリンダ装置において、
前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、
前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、
前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、
前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けており、
前記円筒状カバーは、前記シリンダ本体への取付側の外周に、環状溝を形成するとともに、前記環状溝に係合する円弧状内周を備えた固定板を一対形成して、一対の前記固定板を前記環状溝に係合させた状態で前記シリンダ本体の側面に固定したものである。
請求項3に係る本発明の液圧シリンダ装置は、請求項1又は2に記載の液圧シリンダ装置の構成に加え、前記円筒状カバーの内周と前記永久磁石の外周とは、接触又は近接するように前記円筒状カバーの内径と前記永久磁石の外径とを形成したものである。
請求項1に係る本発明の液圧シリンダ装置の効果は、前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けたから、液圧シリンダ装置において、構造を簡単にできながら、精度が高く、リードスイッチの取付位置を調節することで汎用性のあるロッド位置検出装置を構成できるのである。
また、ストローク長やピストン径が異なる液圧シリンダ装置においても、ロッド位置検出装置の構成部品の共用率を高めるとともに設計仕様を共通にすることができるのである。
さらに、前記円筒状カバーの所定長さは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが前記シリンダ本体内に最も入り込んだ際に、前記永久磁石が前記シリンダ本体から所定寸法離れた前記円筒状カバー内に位置するようにしたから、永久磁石の磁界が磁性材料であるシリンダ本体による影響を軽減してリードスイッチの検出信号の精度を一層高くすることができるのである。
請求項2に係る本発明の液圧シリンダ装置の効果は、前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けたから、液圧シリンダ装置において、構造を簡単にできながら、精度が高く、リードスイッチの取付位置を調節することで汎用性のあるロッド位置検出装置を構成できるのである。
また、ストローク長やピストン径が異なる液圧シリンダ装置においても、ロッド位置検出装置の構成部品の共用率を高めるとともに設計仕様を共通にすることができるのである。
さらに、前記円筒状カバーは、前記シリンダ本体への取付側の外周に、環状溝を形成するとともに、前記環状溝に係合する円弧状内周を備えた固定板を一対形成して、一対の前記固定板を前記環状溝に係合させた状態で前記シリンダ本体の側面に固定したから、円筒状カバーを簡単に着脱できるとともに、リードスイッチの取付位置の調節が一層簡単にできるのである。
しかも、ストローク長やピストン径が異なる液圧シリンダ装置でも、一対の固定板を共用できるのである。
請求項3に係る本発明の液圧シリンダ装置の効果は、請求項1又は2に係る本発明の液圧シリンダ装置の効果に加え、前記円筒状カバーの内周と前記永久磁石の外周とは、接触又は近接するように前記円筒状カバーの内径と前記永久磁石の外径とを形成したから、永久磁石の磁界は厚みの薄い非磁性の円筒状カバーを介してリードスイッチに作用するため、小型の永久磁石を使用でき、ロッド位置検出装置の径方向を小形に形成することができるのである。
本発明の第一の実施の形態に係る液圧シリンダ装置の平面図である。 図1の右側面図である。 図1のA−A線断面図である。 図1の斜視図である。 本発明の第一の実施の形態に係る一対の固定板を示す斜視図である。 本発明の第二の実施の形態に係る液圧シリンダ装置の平面図である。 図6の右側面図である。 図6のB−B線断面図である。 図6の斜視図である。
以下、本発明の実施の形態を添付した図面により詳細に説明する。
図1〜図5は本発明の第一の実施の形態に係る図面であり、図6〜図9は本発明の第二の実施の形態に係る図面であり、図1は第一の実施の形態に係る液圧シリンダ装置の平面図、図2は図1の右側面図、図3は図1のA−A線断面図、図4は図1の斜視図、図5は一対の固定板を示す斜視図、図6は第二の実施の形態に係る液圧シリンダ装置の平面図、図7は図6の右側面図、図8は図6のB−B線断面図及び図9は図6の斜視図である。
本発明の第一の実施の形態を示す図1〜図5において、1は作動液として油を用いた液圧シリンダ装置であり、液圧シリンダ装置1は、シリンダチューブ21からなるシリンダ本体2と、第一ロッドブッシュ22と、第二ロッドブッシュ23と、ピストン24と、ピストンロッド25と、ロッド位置検出装置3とを備えている。
また、液圧シリンダ装置1は、シリンダ本体2のシリンダチューブ21の上面に設けた2つの油ポート26から油が出入りする複動シリンダタイプであり、最高使用圧力を16MPaとし、ピストン径を32mm、ストロークを50mmとして設計している。
そして、第一ロッドブッシュ22の外に位置するピストンロッド25の第一ロッドブッシュ側端部となる負荷側端部25aに負荷(図示せず)を連結して、ロッド位置検出装置3からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにしている。
また、シリンダチューブ21、ピストン24及びピストンロッド25は材質を炭素鋼で形成しており、第一ロッドブッシュ22及び第二ロッドブッシュ23は材質を銅合金(黄銅)で形成している。
この実施の形態では、負荷としては、例えば、金型の中子であり、液圧シリンダ装置1は、ロッド位置検出装置3からの検出信号を受けて金型に対して中子を脱着するように駆動するのである。
ロッド位置検出装置3は、位置検出ロッド4と、位置検出ロッド4の外周に固定した円環状の永久磁石5と、円筒状カバー6と、円筒状カバー6の外周に固定した2個のリードスイッチ7とを備え、ピストンロッド25が往復動する際に負荷の駆動を制御するための所定の位置を検出するようにしている。
位置検出ロッド4は、一端41を第二ロッドブッシュ23を貫通してピストンロッド25のピストン側端部25bに連結するとともに、他端42外周に永久磁石5を固定している。
前記円筒状カバー6は、材質を非磁性材料のアルミニウム合金(A6063)としており、外径46mm、内径40mm、板厚3mm、所定長さ113mmの円筒状に形成して、永久磁石5を固定した位置検出ロッド4を覆っている。
位置検出ロッド4は、材質をピストンロッド25と同じ炭素鋼で形成しており、外径18mmで永久磁石5を固定した他端42を外径12mmとするとともに端部に雄ねじを形成している。
永久磁石5は、フェライト磁石で、着磁方向を位置検出ロッド4の軸方向としており、外径39.5mm、内径26mm、厚み2.5mmの環状に形成して、位置検出ロッド4の他端42外周に円環板51を介して一対の座金52で挟みつけるとともに六角ナット53で固定している。
円環板51、座金52及び六角ナット53は、いずれも材質をステンレス鋼としている。
このように、円筒状カバー6の内径を40mmに、永久磁石5の外径を39.5mmに形成して円筒状カバー6の内周と永久磁石5の外周とは、接触又は近接するように円筒状カバー6の内径と永久磁石5の外径とを形成することにより、永久磁石5の磁界は厚みの薄い非磁性の円筒状カバー6を介してリードスイッチ7に作用するため、小型の永久磁石5を使用でき、ロッド位置検出装置3の径方向を小形に形成することができるのである。
ここで、接触又は近接するように円筒状カバー6の内径と永久磁石5の外径とを形成するとは、円筒状カバー6の内周が永久磁石5の外周を案内して、永久磁石5の往復動を拘束することなく接触する程度に近接させることを意味している。
また、円筒状カバー6は、シリンダ本体2のシリンダチューブ21への取付側の外周に、図3示す環状溝61を形成するとともに、この環状溝61に係合する図5に示す円弧状内周62a及び4個の固定孔62bを備えた固定板62を一対形成して、一対の固定板62を環状溝61に係合させた状態でシリンダチューブ21の側面に六角ボルト63により固定している。
さらに、円筒状カバー6の外方端部の内周に環状の内周溝64を形成して中心に通気孔65aを備えた蓋65を止め輪66で固定している。
固定板62及び蓋65は材質を一般構造用圧延鋼で、六角ボルト63は材質を機械構造用合金鋼で、止め輪66は材質をみがき特殊帯鋼でそれぞれ形成している。
円筒状カバー6の所定長さを113mmとしたのは、永久磁石5を固定した位置検出ロッド4が円筒状カバー6内で、50mmのストロークを往復動でき、かつ、永久磁石5を固定した位置検出ロッド4がシリンダ本体2内に最も入り込んだ際に、永久磁石5がシリンダ本体2のシリンダチューブ21から所定寸法、例えば、25mm離れた円筒状カバー6内に位置するようにするためである。
このように永久磁石5がシリンダ本体2のシリンダチューブ21から所定寸法離れた円筒状カバー6内に位置するようにするようにしたのは、永久磁石5の磁界が磁性材料である鋼材からなるシリンダチューブ21による影響を軽減してリードスイッチ7の検出信号の精度を高くするためである。
一対の前記リードスイッチ7は、取付バンド71と取付バンド71の長さを調節するハウジング72及びボルト73とから形成しており、ボルト73を左右に回転することにより取付バンド71の長さを調節することができるようにしている。
したがって、液圧シリンダ装置1を負荷に連結して駆動する際に、リードスイッチ7の固定位置を円筒状カバー6の外周における前記円筒状カバー6の所定長さ方向に負荷の駆動条件に応じた所定位置に位置調節できるのである。
なお、図3において、22a、23a、22b、23bは、第一ロッドブッシュ22、第二ロッドブッシュ23をシリンダチューブ21にそれぞれ固定する六角穴付止ネジと銅片である。
また、図3において、22c、23cは、第一ロッドブッシュ22、第二ロッドブッシュ23の端面にそれぞれ形成された工具を差し込んで着脱する一対の穴である。
さらに、図3において、22d、23d、22e、23e、22f、23f、22g、23gは、第一ロッドブッシュ22、第二ロッドブッシュ23にそれぞれ設けたダストパッキン、バックアップリング、両用パッキン、Oリングである。
また、図3において、24a、25cは、ピストン24、ピストンロッド25にそれぞれ設けたOリングである。
図2及び図4において、27は、シリンダチューブ21の筒方向全長に亘って形成した液圧シリンダ装置1を負荷等に固定するための4個の座グリを備えた固定用孔である。
次に、本発明の第二の実施の形態を図6〜図9に基づいて説明する。
第二の実施の形態は、第一の実施の形態における液圧シリンダ装置1において、ストロークが同じで、ピストン径を32mmから125mmに大きくした液圧シリンダ装置1aである。
以下、第一の実施の形態と同様な構成については、同一の符号を付して説明を省略ないし簡略にして説明する。
液圧シリンダ装置1aは、シリンダチューブ21aとシリンダ底21bとを一体に形成したシリンダ本体2aと、第一ロッドブッシュ22と、第二ロッドブッシュ23と、ピストン24と、ピストンロッド25と、ロッド位置検出装置3とを備えている。
また、液圧シリンダ装置1aは、第一の実施の形態と同様に、シリンダ本体2aのシリンダチューブ21aの上面に設けた2つの油ポート26から油が出入りする複動シリンダタイプであり、最高使用圧力を16MPaとし、ピストン径を125mm、ストロークを50mmとして設計している。
そして、ロッド位置検出装置3における第一の実施の形態と異なる構成は、ピストンロッド25と位置検出ロッド3との連結構造と、第二ロッドブッシュ23のシリンダ本体2aへの固定構造とである。
以下、第二の実施の形態における第一の実施の形態と異なるこれらの構成について説明する。
図8において、ピストンロッド25と位置検出ロッド3との連結構造は、ピストンロッド25のピストン側端部25bに雌ねじを形成し、位置検出ロッド3の一端41に雄ねじを形成して螺合するようにしたものである。
また、第二ロッドブッシュ23のシリンダ本体2aへの固定構造は、シリンダチューブ21aの厚さが厚く上面から第一の実施の形態のように六角穴付止ネジ23aと銅片23bとで固定することが困難なために、シリンダ底21bと第二ロッドブッシュ23の双方に亘って雌ねじを形成して六角穴付止ネジ23hにより回り止めとすることで固定するようにしている。
以上の第一及び第二の実施の形態から理解できるように、ロッド位置検出装置は、構造を簡単にできながら、精度が高く、リードスイッチの取付位置を調節することで汎用性をもたせることができるのである。
また、ストローク長やピストン径が異なる液圧シリンダ装置においても、ロッド位置検出装置の構成部品の共用率を高めるとともに設計仕様を共通にすることができるのである。
以上の第一及び第二の実施の形態では、作動液として油を用いたが、油に替えて水や水グリ(水−グリコール系作動液)などを用いることができる。
また、以上の第一及び第二の実施の形態では、液圧シリンダ装置は、ピストンの両側に液圧を作用させる複動シリンダタイプとしたが、ピストンの片側に液圧を作用させる単動タイプとすることもできる。
また、以上の第一及び第二の実施の形態では、ロッド位置検出装置におけるリードスイッチを2個用いたが、1個又は3個とすることもできる。
1、1a 液圧シリンダ装置
2、2a シリンダ本体
22 第一ロッドブッシュ
23 第二ロッドブッシュ
24 ピストン
25 ピストンロッド
25a 負荷側端部
25b ピストン側端部
3 ロッド位置検出装置
4 位置検出ロッド
41 一端
42 他端
5 永久磁石
6 円筒状カバー
61 環状溝
62 固定板
62a 円弧状内周
7 リードスイッチ

Claims (3)

  1. シリンダ本体と、第一ロッドブッシュと、第二ロッドブッシュと、ピストンと、ピストンロッドと、ロッド位置検出装置とを備えるとともに、前記第一ロッドブッシュの外方に位置するピストンロッドの第一ロッドブッシュ側端部に負荷を連結して、前記ロッド位置検出装置からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにした液圧シリンダ装置において、
    前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、
    前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、
    前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、
    前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けており、
    前記円筒状カバーの所定長さは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが前記シリンダ本体内に最も入り込んだ際に、前記永久磁石が前記シリンダ本体から所定寸法離れた前記円筒状カバー内に位置するようにしていることを特徴とする液圧シリンダ装置。
  2. シリンダ本体と、第一ロッドブッシュと、第二ロッドブッシュと、ピストンと、ピストンロッドと、ロッド位置検出装置とを備えるとともに、前記第一ロッドブッシュの外方に位置するピストンロッドの第一ロッドブッシュ側端部に負荷を連結して、前記ロッド位置検出装置からの検出信号により、負荷の駆動を制御するようにした液圧シリンダ装置において、
    前記ロッド位置検出装置は、位置検出ロッドと、前記位置検出ロッドの外周に固定した円環状の永久磁石と、非磁性材料からなる円筒状カバーと、前記円筒状カバーの外周に固定したリードスイッチとを備えており、
    前記位置検出ロッドは、一端を前記第二ロッドブッシュを貫通して前記ピストンロッドのピストン側端部に連結するとともに、他端外周に前記永久磁石を固定しており、
    前記円筒状カバーは、前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドが該円筒状カバー内で往復動可能な所定長さに形成して前記永久磁石を固定した前記位置検出ロッドを覆うとともに、前記シリンダ本体の前記第二ロッドブッシュ側に取付けており、
    前記リードスイッチは、前記円筒状カバーの外周における前記円筒状カバーの所定長さ方向に位置調節可能に取付けており、
    前記円筒状カバーは、前記シリンダ本体への取付側の外周に、環状溝を形成するとともに、前記環状溝に係合する円弧状内周を備えた固定板を一対形成して、一対の前記固定板を前記環状溝に係合させた状態で前記シリンダ本体の側面に固定していることを特徴とする液圧シリンダ装置。
  3. 前記円筒状カバーの内周と前記永久磁石の外周とは、接触又は近接するように前記円筒状カバーの内径と前記永久磁石の外径とを形成していることを特徴とする請求項1又は2に記載の液圧シリンダ装置。
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