JP6484473B2 - Gas leak inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、例えば熱交換器や貯湯タンク等の、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置に関するものである。   The present invention relates to a gas leak inspection apparatus that performs a gas leak inspection of a test object having a hollow portion, such as a heat exchanger or a hot water storage tank.

例えば給湯器等の熱源装置には、通水される水を加熱するための熱交換器が設けられており、また、熱源装置には、発電装置の廃熱や集熱機によって集熱した太陽光の熱等を貯湯する貯湯槽(貯湯タンク)が設けられたものもある。このような熱源装置の熱交換器や貯湯タンクには水を通したり収容したりする中空部が形成されている。その中空部の周壁等に外部に通じる貫通孔が形成されていると、その貫通孔を通して水漏れが生じ、熱源装置の故障等の問題が生じるため、熱源装置の出荷前には、前記熱交換器や貯湯タンク等に前記のような貫通孔が有るか無いかを検査して貫通孔が形成されていないことを確認する必要がある。   For example, a heat source device such as a water heater is provided with a heat exchanger for heating water to be passed, and the heat source device includes waste heat from a power generator or solar light collected by a heat collector. Some have hot water storage tanks (hot water storage tanks) that store hot water. The heat exchanger and hot water storage tank of such a heat source device are formed with a hollow portion through which water is passed and stored. If a through-hole leading to the outside is formed in the peripheral wall or the like of the hollow portion, water leakage occurs through the through-hole, causing problems such as failure of the heat source device. It is necessary to check whether or not the through-hole is formed by inspecting whether or not the above-described through-hole is present in the vessel or hot water storage tank.

そこで、熱交換器や貯湯タンクに実際に水を通し、水漏れが生じるような貫通孔があるかどうかを実際に検査することも考えられるが、水の導入と排出には時間がかかるために不適であり、また、水道水等の水にはカルシウム等が含まれており、その不純物に起因して正確な検査が行えないといった問題も生じる。そこで、熱交換器等の中空部を有する被検査体に加圧気体を導入し、その加圧気体が漏れるかどうかの判断に基づいて貫通孔の有無を検出する気体漏れ検査が行われている(例えば特許文献1、参照)。   Therefore, it is conceivable to actually inspect the heat exchanger and hot water tank for water and to check whether there is a through-hole that causes water leakage, but it takes time to introduce and discharge water. In addition, there is a problem that water such as tap water contains calcium and the like, and accurate inspection cannot be performed due to impurities. Therefore, a gas leak inspection is performed in which a pressurized gas is introduced into an object to be inspected having a hollow portion such as a heat exchanger, and the presence or absence of a through hole is detected based on whether the pressurized gas leaks. (For example, refer to Patent Document 1).

以下に、このような気体漏れ検査を行うための気体漏れ検査装置と、その気体漏れ検査装置を用いた気体漏れ検査方法の一例を述べる。図13に示されるように、この気体漏れ検査装置1は、加圧気体の導入口2と、該加圧気体の導入口2から導入される加圧気体の導入用通路3とを有しており、該加圧気体の導入用通路3は、加圧気体を分岐する分岐部4と、該分岐部4により分岐された加圧気体を被検査体5側に導く被検査体側導入通路6と、分岐部3により分岐された加圧気体を基準体7側に導く基準体側導入通路8とを有している。   Below, an example of the gas leak test | inspection apparatus for performing such a gas leak test | inspection and the gas leak test | inspection method using the gas leak test | inspection apparatus is described. As shown in FIG. 13, the gas leakage inspection apparatus 1 includes a pressurized gas inlet 2 and a pressurized gas introduction passage 3 introduced from the pressurized gas inlet 2. The pressurized gas introduction passage 3 includes a branching portion 4 for branching the pressurized gas, and an inspection subject side introduction passage 6 for guiding the pressurized gas branched by the branching portion 4 to the inspection subject 5 side. And a reference body side introduction passage 8 for guiding the pressurized gas branched by the branch portion 3 to the reference body 7 side.

被検査体5は中空部を有する気体漏れ検査用の被検査体(ワーク)であり、例えば熱交換器や貯湯タンク等の様々なものがあるが、通常は、その検査毎に交換されるものである。基準体7は被検査体5の気体漏れ検査の基準となる基準体(マスタ)であり、取り付けた状態とされることもあるし、条件に応じて交換されることもあるが、一般には、基準体7の交換回数は被検査体5の交換回数よりも少ない。例えば、同種類の(形状や大きさ、素材等が同じ)被検査体5を数多く検査する場合には、基準体7は交換せずに同一のものが用いられることが多い。   The inspected object 5 is an inspected object (work) for inspecting a gas leak having a hollow portion. For example, there are various objects such as a heat exchanger and a hot water storage tank, which are normally replaced for each inspection. It is. The reference body 7 is a reference body (master) that serves as a reference for the gas leakage inspection of the object 5 to be inspected, and may be in an attached state or may be replaced depending on conditions. The number of replacements of the reference body 7 is smaller than the number of replacements of the inspection object 5. For example, when many inspection objects 5 of the same type (the same shape, size, material, etc.) are inspected, the same reference body 7 is often used without being replaced.

なお、気体漏れ検査装置1の構成要素に基準体7や被検査体5は含まれないが、図13を含め、気体漏れ検査装置1の構成説明図においては、説明を分かりやすくするために基準体7と被検査体5を取り付けた状態の図が模式的に示されている。また、この気体漏れ検査装置1を用いた気体漏れ検査は基準体7と被検査体5との差圧に基づいて行われるものであり、ハーゲン-ポアズイユの法則による換算を用いた水漏れと気体漏れとの相関関係を考慮し、例えば300kPaの加圧気体を通したときの基準体7側と被検査体5側との差圧が12Pa未満であれば、被検査体5に水漏れに対応する気体漏れは生じていない(水漏れの心配がない)と判断することが行われている。なお、この気体漏れ判断に用いられる差圧値は、被検査体5の容積や漏れ基準によっても異なる値とされる。   In addition, although the reference | standard body 7 and the to-be-inspected object 5 are not contained in the component of the gas leak test | inspection apparatus 1, in the structure explanatory drawing of the gas leak test | inspection apparatus 1 including FIG. The figure of the state which attached the body 7 and the to-be-inspected body 5 is typically shown. In addition, the gas leak inspection using the gas leak inspection apparatus 1 is performed based on the differential pressure between the reference body 7 and the object 5 to be inspected. Water leakage and gas using conversion according to Hagen-Poiseuille's law Considering the correlation with leakage, for example, if the differential pressure between the reference body 7 side and the inspected object 5 side when passing a pressurized gas of 300 kPa is less than 12 Pa, the inspected object 5 corresponds to water leakage It is determined that there is no gas leakage (no worry of water leakage). In addition, the differential pressure value used for this gas leak judgment is a value that varies depending on the volume of the object to be inspected 5 and the leak standard.

図13において、加圧気体の導入用通路3における分岐部4よりも手前側(加圧気体流通の上流側)の通路と、基準体側導入通路8と被検査体側導入通路6にはそれぞれ、気体導入制御弁9,10,11が設けられ、気体導入制御弁10,11よりも気体通過の下流側位置において基準体側導入通路8と被検査体側導入通路6とをバイパスするバイパス通路17が設けられている。バイパス通路17には被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧を検出する差圧検出部12が設けられている。差圧検出部12は、例えばダイヤフラム等を介して感圧素子で計測し、電気信号に変換する圧力計を有して形成されており、図13ではダイヤフラム20を有する差圧検出部12が模式的に示されている。   In FIG. 13, a gas is introduced into the passage on the near side (upstream side of the pressurized gas flow) in the passage 3 for introducing the pressurized gas 3 (upstream side of the pressurized gas flow), the reference body side introduction passage 8 and the inspection object side introduction passage 6 respectively. Introduction control valves 9, 10, and 11 are provided, and a bypass passage 17 that bypasses the reference body side introduction passage 8 and the inspection object side introduction passage 6 at a position downstream of the gas introduction control valves 10 and 11 is provided. ing. The bypass passage 17 is provided with a differential pressure detection unit 12 that detects a differential pressure between the gas pressure in the device under test 5 and the gas pressure in the reference body 7. The differential pressure detection unit 12 is formed with a pressure gauge that is measured by a pressure sensitive element through a diaphragm or the like and converted into an electric signal, for example. In FIG. 13, the differential pressure detection unit 12 having the diaphragm 20 is schematically illustrated. Has been shown.

また、基準体7側と被検査体5側から加圧気体を排出する気体排出通路18が設けられており、気体排出通路18には気体排出制御弁19が設けられている。なお、気体排出制御弁19や前記気体導入制御弁9,10,11の構成は特に限定されるものではないが、例えば弁の開閉を空気圧により行うエアオペレートバルブを適用することができる。   Further, a gas discharge passage 18 for discharging pressurized gas from the reference body 7 side and the inspected object 5 side is provided, and a gas discharge control valve 19 is provided in the gas discharge passage 18. The configurations of the gas discharge control valve 19 and the gas introduction control valves 9, 10, and 11 are not particularly limited. For example, an air operated valve that opens and closes the valve by air pressure can be applied.

このような気体漏れ検査装置を用いて被検査体5の気体漏れ検査を行う場合は、まず、例えば図13(a)に示されるように、気体排出制御弁19を閉じ、気体導入制御弁9,10,11を開いて加圧気体の導入口2から被検査体5と基準体7の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程(加圧工程)の動作が行われる。この加圧気体導入工程後に、図13(b)に示されるように、気体導入制御弁9,10,11を閉じ、被検査体5と基準体7を加圧気体の導入側と遮断して被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程の動作が行われる。   When performing a gas leak test on the device under test 5 using such a gas leak test apparatus, first, as shown in FIG. 13A, for example, the gas discharge control valve 19 is closed and the gas introduction control valve 9 is closed. , 10 and 11 are opened, and the operation of the pressurized gas introduction process (pressurization process) is performed in which the pressurized gas is introduced from the pressurized gas introduction port 2 into both the inspection object 5 and the reference body 7. After this pressurized gas introduction process, as shown in FIG. 13 (b), the gas introduction control valves 9, 10, 11 are closed, and the inspected object 5 and the reference body 7 are disconnected from the pressurized gas introduction side. The operation | movement of the equilibrium process which balances the pressure of the gas in to-be-inspected body 5 and the pressure of the gas in the reference | standard body 7 is performed.

そして、この平衡工程後に、図13(c)に示されるように、被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧を差圧検出部12によって検出する差圧検出工程(検出工程)の動作が行われる。図13(c)には、ダイヤフラム20を有する差圧検出部12を適用したときの、被検査体5側から気体が漏れた場合の様子が模式的に示されており、例えばこの図に示されるように、例えば被検査体5側から気体が漏れると差圧検出部12によって被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧が検出され、この検出値に基づき、図示されていない気体漏れ検出部によって被検査体5側の気体漏れが検出される。   Then, after this equilibration step, as shown in FIG. 13C, the differential pressure detection unit 12 detects the differential pressure between the gas pressure in the object 5 and the gas pressure in the reference body 7. The operation of the pressure detection process (detection process) is performed. FIG. 13C schematically shows a state in which gas leaks from the inspected object 5 side when the differential pressure detection unit 12 having the diaphragm 20 is applied. For example, FIG. For example, when gas leaks from the inspected object 5 side, the differential pressure detector 12 detects the differential pressure between the gas pressure in the inspected object 5 and the gas pressure in the reference body 7, and this detected value Based on the above, a gas leak on the inspected object 5 side is detected by a gas leak detector not shown.

なお、差圧検出部12による検出値(検出差圧)に基づく気体漏れの検出(判断)も様々な方法が適用されるが、例えば検出差圧が予め与えられている閾値(例えば気体の圧力300kPaのときに12Pa)以上の場合に気体漏れが生じていると判断することができる。差圧検出部12による差圧検出工程の動作後には、図13(d)に示されるように、気体導入制御弁10,11と気体排出制御弁19が開かれ、気体排出通路18を通して被検査体5内と基準体7内から気体を排出する気体排出工程(排出工程)の動作が行われる。   Various methods are also applied to the detection (judgment) of gas leakage based on the detection value (detection differential pressure) by the differential pressure detection unit 12, but for example, a threshold (for example, gas pressure) to which the detection differential pressure is given in advance. In the case of 12 Pa) or more at 300 kPa, it can be determined that gas leakage has occurred. After the operation of the differential pressure detection step by the differential pressure detector 12, the gas introduction control valves 10 and 11 and the gas discharge control valve 19 are opened and inspected through the gas discharge passage 18 as shown in FIG. An operation of a gas discharge process (discharge process) for discharging gas from the body 5 and the reference body 7 is performed.

特開2004−61201号公報JP 2004-6201 A

ところで、周知の如く、気体に圧力を加えて圧縮すると気体の温度は上昇するものであり、図13に示したような気体漏れ検装置においては、加圧工程(加圧気体導入時)には例えば図14のHで示す斜線部分の領域(被検査体5と基準体7の端部、差圧検出部12のダイヤフラム20付近、気体排出通路18の出力側の気体排出制御弁19付近)には吸気の際には熱が溜まりやすい。一方、排気の際には減圧されて熱が奪われ、減圧時には気体排出制御弁19周辺の温度が最も低下し、系として熱的不均衡が生じることから、吸気排気が繰り返し行われると熱影響が生じやすい。 However, as is well known, the temperature of the gas when compression pressure is applied to the gas is intended to increase, the gas leakage inspection apparatus as shown in FIG. 13, the pressurization step (when pressurized gas introduction) For example, a hatched area indicated by H in FIG. 14 (ends of the inspection object 5 and the reference body 7, the vicinity of the diaphragm 20 of the differential pressure detection unit 12, and the vicinity of the gas discharge control valve 19 on the output side of the gas discharge passage 18) There is a tendency for heat to accumulate during inhalation. On the other hand, when exhausting, the pressure is reduced and heat is taken away, and when the pressure is reduced, the temperature around the gas exhaust control valve 19 is the lowest, and thermal imbalance occurs as a system. Is likely to occur.

なお、気体漏れ検査において、前記の如く、被検査体5は検査毎に交換が行われるが、基準体7は被検査体5のように頻繁には交換が行われないため、気体漏れ検査を繰り返し行うと、基準体7内には特に吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすい。   In the gas leak inspection, as described above, the inspection object 5 is replaced every inspection, but the reference body 7 is not frequently replaced like the inspection object 5, so the gas leakage inspection is performed. If it is repeated, the reference body 7 is particularly susceptible to thermal effects due to repeated intake and exhaust.

また、被検査体5の容積が大きかったり断熱性が高かったりすると、被検査体5の中空部内と外気温との温度差が大きくなり、例えば基準体7の中空部内が外気温とほぼ同等の温度のときには基準体7側と被検査体5側との温度が大きく異なる場合も考えられる。   In addition, when the volume of the inspection object 5 is large or the heat insulating property is high, a temperature difference between the inside of the hollow portion of the inspection object 5 and the outside air temperature becomes large. For example, the inside of the hollow portion of the reference body 7 is almost equal to the outside air temperature. In the case of the temperature, there may be a case where the temperature of the reference body 7 side and the inspection object 5 side are greatly different.

このように、基準体7側と被検査体5側との温度差が生じていると、その熱に起因して被検査体5内と基準体7内の気体の圧力差に基づく被検査体5からの気体漏れ検出が正確に行われない。そのため、本発明者は、気体漏れ検出を正確に行えるようにするには、前記のように吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすいことに起因する基準体7側と被検査体5側との温度差や、基準体7の中空部内の温度と被検査体5内の中空部内の温度との差をできるだけ少なくすることが必要であると考えた。   Thus, if there is a temperature difference between the reference body 7 side and the inspection object 5 side, the inspection object based on the pressure difference between the gas in the inspection object 5 and the reference body 7 due to the heat. The gas leak detection from 5 is not accurately performed. For this reason, in order to accurately detect the gas leak, the present inventor has a relationship between the reference body 7 side and the inspected object 5 side due to the fact that the thermal influence due to repeated intake and exhaust is likely to occur as described above. It was considered necessary to minimize the temperature difference and the difference between the temperature in the hollow part of the reference body 7 and the temperature in the hollow part in the inspection object 5 as much as possible.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、圧縮気体の吸気排気等に伴う熱の影響を受け難く、被検査体の気体漏れ検査を正確に行うことができる気体漏れ検査装置を提供することにある。   The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and the object thereof is not easily affected by heat caused by intake / exhaust of compressed gas and the like, and it is possible to accurately perform a gas leak inspection of an object to be inspected. The object is to provide a gas leakage inspection device.

本発明は上記目的を達成するために、次の構成をもって課題を解決する手段としている。すなわち、第1の発明は、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であって、前記被検査体に導入された加圧気体の圧力と前記被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて前記被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第1のプリプロセス動作を行う手段と、前記基準体と前記被検査体の両方に加圧気体を通す第2のプリプロセス動作を行う手段とのうちの少なくとも第1のプリプロセス動作を行う手段を有して少なくとも第1のプリプロセス動作を行うことを可能とするプリプロセス動作実行手段と、該プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段を有する構成をもって課題を解決するための手段としている。 In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration as means for solving the problems. That is, the first invention is a gas leak inspection apparatus for inspecting a gas leak of a test object having a hollow portion, wherein the pressure of the pressurized gas introduced into the test object and the gas leak of the test object Before the start of the gas leak inspection for detecting the gas leakage of the object to be inspected based on the differential pressure with the pressure of the pressurized gas introduced into the reference body having a hollow portion which is a reference for the inspection, only on the reference body side means for performing a first pre-process operation through a pressurized gas, at least a first of the second means for performing preprocessing operation through the pressurized gas to both the reference member side of the test subject side A preprocess operation executing means having at least a first preprocess operation and capable of performing at least a first preprocess operation, and a preprocess start for starting the preprocess operation by the preprocess operation execution means Control And a means for solving the problem with the arrangement having means.

また、第2の発明は、前記第1の発明の構成に加え、プリプロセス動作実行手段は第1のプリプロセス動作を行う手段と第2のプリプロセス動作を行う手段とを有し、前記プリプロセス開始操作手段は、プリプロセス動作実行手段による第1のプリプロセス動作を開始させるための第1のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第2のプリプロセス動作を開始させるための第2のプリプロセス開始操作手段を個別に備えていることを特徴とする。 According to a second aspect of the invention, in addition to the configuration of the first aspect of the invention, the preprocess operation executing means includes means for performing a first preprocess operation and means for performing a second preprocess operation. The process start operation unit is configured to start a first preprocess operation by the preprocess operation execution unit and a second preprocess operation by the preprocess operation execution unit. The second pre-process start operation means is individually provided.

さらに、第3の発明は、前記第1の発明の構成に加え、前記プリプロセス動作実行手段によって第1のプリプロセス動作のみを行うか第2のプリプロセス動作のみを行うか第1と第2の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部が設けられており、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行することを特徴とする。   Further, in the third invention, in addition to the configuration of the first invention, whether the preprocess operation execution means performs only the first preprocess operation or only the second preprocess operation. An operation selection operation unit for selecting whether to perform both of the preprocess operations is provided, and the operation selected by the operation selection operation unit is executed by the preprocess operation execution means.

さらに、第4の発明は、前記第1または第2または第3の発明の構成に加え、配設される基準体の容積および配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づきプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第1のプリプロセス動作のみとするか第2のプリプロセス動作のみとするか第1と第2の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを有し、該実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定する構成としたことを特徴とする。   Furthermore, the fourth invention includes, in addition to the configuration of the first, second or third invention, volume detecting means for detecting the volume of the reference body to be arranged and the volume of the inspected object to be arranged, A first preprocess operation is performed by the preprocess operation execution means based on the volume of the reference body detected by the volume detection means, the volume of the object to be inspected, and predetermined preprocess operation execution reference information. Only the second pre-process operation or both the first and second pre-process operations, and based on the determination of the execution operation determination unit The present invention is characterized in that the preprocess operation performed by the preprocess operation executing means is determined.

さらに、第5の発明は、前記第1乃至第4のいずれか一つの発明の構成に加え、前記基準体側と被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を有し、該圧力可変手段を制御することによってプリプロセス動作時に行われる第1と第2の対応するプリプロセス動作に応じて前記基準体側と前記被検査体側に選択的に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整する圧力調整手段を有することを特徴とする。   Further, the fifth aspect of the invention is a pressure capable of changing the pressure of the gas selectively introduced into at least one of the reference body side and the inspected object side in addition to the configuration of any one of the first to fourth inventions. It has variable means and is selectively introduced into the reference body side and the inspected object side in accordance with the first and second corresponding preprocess operations performed during the preprocess operation by controlling the pressure variable means. It is characterized by having a pressure adjusting means for adjusting the pressure of the gas to be smaller than the pressure of the gas introduced into the reference body side and the inspected body side during the gas leak inspection.

本発明は、中空部を有する被検査体に導入された加圧気体の圧力と、被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づき、被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査を行うが、この気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第1のプリプロセス動作と、前記基準体と前記被検査体の両方に加圧気体を通す第2のプリプロセス動作との少なくとも一方のプリプロセス動作を、プリプロセス動作実行手段によって行うことにより、基準体と被検査体の温度を安定化することができる。 The present invention relates to the pressure of the pressurized gas introduced into the object to be inspected having a hollow part and the pressure of the pressurized gas introduced into the reference body having a hollow part as a reference for gas leakage inspection of the object to be inspected. Based on the differential pressure, a gas leak inspection is performed to detect a gas leak of the object to be inspected. Before the start of the gas leak inspection, a first pre-process operation in which a pressurized gas is passed only to the reference body side, and the reference at least one of the preprocessing operation of the second preprocess operation said the body side to both the test subject side through a pressurized gas, by performing the preprocessing operation execution means, the temperature of the reference body and the test subject Can be stabilized.

つまり、気体漏れ検査装置内に加圧気体を導入すると、気体の圧縮に伴って発生する熱が気体漏れ検査装置内の特定の部位や基準体内の特定部位や被検査体内の特定部位に溜まりやすく、また、圧縮気体の排気の際には熱が奪われるので系の(気体漏れ検査装置や基準体、被検査体を含む構成要素内に)熱的不均衡が生じることになり、吸気排気が繰り返し行われると熱影響が生じやすいため、被検査体内と基準体内の気体の圧力差に基づく被検査体の気体漏れ検出が正確に行われないことがあったが、本発明においては、プリプロセス動作実行手段によって適宜のプリプロセス動作を行うことにより、基準体と被検査体の温度を安定化することができる。   In other words, when pressurized gas is introduced into the gas leak inspection apparatus, the heat generated by the compression of the gas tends to accumulate in a specific part in the gas leak inspection apparatus, a specific part in the reference body, or a specific part in the inspected body. In addition, since heat is taken away when exhausting compressed gas, a thermal imbalance (in the components including the gas leakage inspection device, the reference body, and the object to be inspected) occurs. When repeatedly performed, a thermal effect is likely to occur. Therefore, the gas leakage detection of the object to be inspected based on the pressure difference between the gas in the object to be inspected and the reference object may not be accurately performed. By performing an appropriate preprocess operation by the operation executing means, the temperature of the reference body and the object to be inspected can be stabilized.

例えば、気体漏れ検査において、一般に、被検査体は検査毎に交換が行われるが、基準体は被検査体のように頻繁には交換が行われないため、気体漏れ検査を繰り返し行うと、基準体内には特に吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすい。それに対し、プリプロセス動作実行手段によって第1のプリプロセス動作を行って、気体漏れ検査の開始前に、基準体側にのみ加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度を安定化でき(吸気排気の繰り返しによる熱影響を解消して例えば周囲温度や被検査体側と同等の温度にでき)、正確な気体漏れ検査を行うことができる。   For example, in the gas leak inspection, the inspection object is generally replaced every inspection, but the reference body is not frequently replaced like the inspection object. The body is particularly susceptible to thermal effects due to repeated intake and exhaust. On the other hand, the temperature of the gas in the reference body can be stabilized by performing the first preprocess operation by the preprocess operation execution means and passing the pressurized gas only to the reference body side before the start of the gas leak inspection ( The thermal effect due to repeated intake and exhaust can be eliminated (for example, the ambient temperature or the same temperature as the object to be inspected), and an accurate gas leak inspection can be performed.

また、例えば被検査体の容積が大きいときや、被検査体が例えば樹脂製であったりガラス製であったりして放熱性の低い素材(断熱性が高い)のものである場合等には、被検査体内の気体が、その周囲温度と同等の温度になるのに時間がかかり、例えば周囲温度と同等の温度になっている基準体内の気体との温度差が生じる可能性があるが、プリプロセス動作実行手段によって第2のプリプロセス動作を行って、気体漏れ検査の開始前に、基準体側と被検査体側の両方に加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度と被検査体側の気体の温度とを同等にして安定化でき(被検査体側の温度残留歪み等の影響を抑制でき)、正確な気体漏れ検査を行うことができる。   Also, for example, when the volume of the object to be inspected is large, or when the object to be inspected is made of, for example, resin or glass and is a material with low heat dissipation (high heat insulation), etc. It takes time for the gas in the body to be inspected to reach a temperature equivalent to the ambient temperature, for example, there may be a temperature difference from the gas in the reference body at a temperature equivalent to the ambient temperature. The second pre-process operation is performed by the process operation execution means, and the gas temperature in the reference body and the inspected object side are passed through the pressurized gas through both the reference object side and the inspected object side before the start of the gas leak inspection. The temperature of the gas can be equalized and stabilized (the influence of temperature residual distortion on the inspected object side can be suppressed), and an accurate gas leak test can be performed.

さらに、第1と第2のプリプロセス動作の両方の動作を行うと、第1のプリプロセス動作によって、気体漏れ検査の開始前に基準体側にのみ加圧気体を通すことにより、吸気排気の繰り返しによる基準体内の熱影響を解消して熱的に安定化し、さらに、第2のプリプロセス動作によって、基準体側と被検査体側の両方に加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度と被検査体側の気体の温度とを同等にして安定化でき、正確な気体漏れ検査を行うことができる。   Furthermore, when both the first and second preprocess operations are performed, the first preprocess operation repeats the intake and exhaust by passing the pressurized gas only to the reference body side before the start of the gas leak inspection. The thermal effect of the reference body is eliminated and the thermal stabilization is achieved. Further, the second pre-process operation allows the pressurized gas to pass through both the reference body side and the inspected object side, thereby increasing the temperature of the gas in the reference body. The temperature of the gas on the inspection object side can be made equal and stabilized, and an accurate gas leak inspection can be performed.

なお、プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作は、プリプロセス開始操作手段を操作することによって容易に行わせることができるものであり、例えば、プリプロセス開始操作手段を、プリプロセス動作実行手段による第1のプリプロセス動作を開始させるための第1のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第2のプリプロセス動作を開始させるための第2のプリプロセス開始操作手段を個別に備える構成とすれば、その個別の操作手段を必要に応じて適宜操作することによって、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。   Note that the preprocess operation by the preprocess operation execution means can be easily performed by operating the preprocess start operation means. A first pre-process start operation means for starting one pre-process operation and a second pre-process start operation means for starting a second pre-process operation by the pre-process operation execution means. Then, an appropriate preprocess operation can be easily executed by appropriately operating the individual operation means as necessary.

また、プリプロセス動作実行手段によって第1のプリプロセス動作のみを行うか第2のプリプロセス動作のみを行うか第1と第2の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部を設け、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行するようにした場合も、動作選択操作部を操作してプリプロセス開始操作手段を操作することによって、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。   Also, an operation selection operation for selecting whether to perform only the first preprocess operation, only the second preprocess operation, or both the first and second preprocess operations by the preprocess operation execution means. When the operation selected by the operation selection operation unit is executed by the preprocess operation execution unit, the operation can be appropriately performed by operating the operation selection operation unit and operating the preprocess start operation unit. It is possible to easily execute a preprocess operation.

また、配設される基準体の容積および配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づき、プリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第1のプリプロセス動作のみとするか第2のプリプロセス動作のみとするか第1と第2の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを設けると、基準体の容積と被検査体の容積とに応じた適宜のプリプロセス動作を選択できる。   Further, a volume detecting means for detecting the volume of the reference body to be disposed and the volume of the object to be inspected, the volume of the reference body detected by the volume detecting means, and the volume of the object to be inspected Whether the preprocess operation performed by the preprocess operation execution means is only the first preprocess operation or only the second preprocess operation based on the determined preprocess operation execution reference information. When an execution operation determining means for determining whether to perform the preprocess operation is provided, an appropriate preprocess operation can be selected according to the volume of the reference body and the volume of the inspection object.

例えば、前記の如く、被検査体の容積が大きい場合には、その周囲温度と被検査体の中の温度が同等の温度になるのに時間がかかり、周囲温度と同等の温度になっている基準体内の気体との温度差が生じる可能性がある。そこで、このような場合に第2のプリプロセス動作を行うことにより、被検査体と基準体の温度を同等にして安定化することができる。   For example, as described above, when the volume of the object to be inspected is large, it takes time for the ambient temperature and the temperature in the object to be equal to each other, and the temperature is equivalent to the ambient temperature. There may be a temperature difference from the gas in the reference body. Therefore, by performing the second preprocessing operation in such a case, the temperatures of the object to be inspected and the reference body can be made equal and stabilized.

一方、被検査体の容積が小さい場合には、基準体のみに加圧気体を通すことにより、効率的に気体漏れ検査の準備動作を行うようにすることができる等、被検査体と基準体の容積に基づく実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定することにより、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。   On the other hand, when the volume of the object to be inspected is small, the preparatory operation for the gas leak inspection can be efficiently performed by passing the pressurized gas only through the reference body. By determining the preprocess operation to be performed by the preprocess operation execution unit based on the determination of the execution operation determination unit based on the volume, it is possible to easily execute an appropriate preprocess operation.

さらに、基準体側や被検査体側に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を設けることにより、基準体側や被検査体側に導入する気体の圧力を必要に応じて可変できる。そして、圧力調整手段によって圧力可変手段を制御することにより、プリプロセス動作時に行われる第1と第2の対応するプリプロセス動作に対応させて前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整することにより、小さな圧力で効率的にプリプロセス動作を行うことができる。   Furthermore, by providing a pressure variable means that can change the pressure of the gas introduced to the reference body side or the inspection object side, the pressure of the gas introduced to the reference body side or the inspection object side can be changed as necessary. Then, by controlling the pressure variable means by the pressure adjusting means, the gas introduced into the reference body side and the inspected object side in correspondence with the first and second corresponding preprocess operations performed during the preprocess operation. By adjusting the pressure to be smaller than the pressure of the gas introduced to the reference body side and the inspected body side during the gas leak inspection, the preprocess operation can be performed efficiently with a small pressure.

つまり、プリプロセス動作は、基準体内や被検査体内の気体の温度が高くならないように調整するために行われるものであるから、圧力の高い気体を導入する必要はなく、気体圧縮による温度上昇抑制や排気等による減圧時に発生する温度低下等の観点から、むしろ、気体の圧力は小さい方が望ましいので、前記のように、導入する気体の圧力を大気圧よりは高めであっても試験圧よりは小さくすることにより適切にプリプロセス動作を行うことができ、気体漏れ検査時には高い圧力の気体を導入することによって、効率的に、かつ、適切に気体漏れ検査を行うことができる。   In other words, since the pre-process operation is performed to adjust the temperature of the gas in the reference body or the subject to be inspected, it is not necessary to introduce a high-pressure gas, and the temperature rise is suppressed by gas compression. Rather, from the standpoint of temperature drop that occurs during decompression due to exhaust or exhaust, etc., it is desirable that the gas pressure be smaller, so as described above, even if the gas pressure to be introduced is higher than the atmospheric pressure, It is possible to appropriately perform the preprocess operation by reducing the size of the gas, and by introducing a high-pressure gas at the time of the gas leak test, the gas leak test can be performed efficiently and appropriately.

本発明に係る気体漏れ検査装置の第1実施例の要部構成を示す模式的な説明図である。It is typical explanatory drawing which shows the principal part structure of 1st Example of the gas leak test | inspection apparatus which concerns on this invention. 第1実施例の気体漏れ検査装置の要部制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part control structure of the gas leak test | inspection apparatus of 1st Example. 第1実施例の気体漏れ検査装置の動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation example of the gas leak test | inspection apparatus of 1st Example. 第1実施例の気体漏れ検査装置のウォーミングアップ運転動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the warming-up driving | operation operation | movement example of the gas leak test | inspection apparatus of 1st Example. 第1実施例の気体漏れ検査装置の動作に伴う弁開閉動作を説明するためのタイムチャートである。It is a time chart for demonstrating the valve opening / closing operation | movement accompanying operation | movement of the gas leak test | inspection apparatus of 1st Example. 本発明に係る気体漏れ検査装置の第2実施例の要部構成を示す模式的な説明図である。It is typical explanatory drawing which shows the principal part structure of 2nd Example of the gas leak test | inspection apparatus which concerns on this invention. 第2実施例の気体漏れ検査装置の要部制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part control structure of the gas leak test | inspection apparatus of 2nd Example. 第2実施例の気体漏れ検査装置の動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation example of the gas leak test | inspection apparatus of 2nd Example. 第2実施例の気体漏れ検査装置の差圧検出動作前後の電動ボールバルブ開閉動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the electric ball valve opening / closing operation example before and behind the differential pressure detection operation of the gas leak test | inspection apparatus of 2nd Example. 第2実施例の気体漏れ検査装置の差圧検出動作時とその前後の差圧変動例を説明するためのグラフである。It is a graph for demonstrating the example of a differential pressure change at the time of the differential pressure detection operation | movement of the gas leak test | inspection apparatus of 2nd Example, and its front and back. 第2実施例の気体漏れ検査装置の動作に伴う弁開閉動作を説明するためのタイムチャートである。It is a time chart for demonstrating the valve opening / closing operation | movement accompanying operation | movement of the gas leak test | inspection apparatus of 2nd Example. 第2実施例の変形例の要部構成を示す模式的な説明図である。It is typical explanatory drawing which shows the principal part structure of the modification of 2nd Example. 気体漏れ検査動作の各工程例を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically each process example of gas leak test | inspection operation | movement. 従来の気体漏れ検査装置における問題点を説明するための、気体加圧時の状態例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of a state at the time of gas pressurization for demonstrating the problem in the conventional gas leak test | inspection apparatus.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき実施例によって説明する。なお、本実施例の説明において、これまでの説明の例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略または簡略化する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that, in the description of the present embodiment, the same reference numerals are given to the same name portions as those in the examples described so far, and the duplicate description is omitted or simplified.

図1には、本発明に係る気体漏れ検査装置の第1実施例の要部構成が模式的に示されており、図2には、その要部制御構成がブロック図により示されている。本実施例の気体漏れ検査装置は、従来例と同様に、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であり、その基本構成は図13に示した従来例と同様の構成要素を多く有している。本実施例の説明において、図13に示した構成要素についての説明は省略または簡略化する。   FIG. 1 schematically shows a main part configuration of a first embodiment of the gas leakage inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 shows a main part control configuration in a block diagram. The gas leakage inspection apparatus of the present embodiment is a gas leakage inspection apparatus that performs a gas leakage inspection of an object to be inspected having a hollow portion, as in the conventional example, and its basic configuration is the same as that of the conventional example shown in FIG. It has many components. In the description of this embodiment, the description of the components shown in FIG. 13 is omitted or simplified.

図1に示されるように、本実施例の気体漏れ検査装置1には、空気導入通路3における空気導入部2と空気導入制御弁9との間に、気体の圧力を可変可能な試験圧設定手段13と、導入経路切替弁14(PPV)とが設けられている。試験圧設定手段13は、気体漏れ検査時に基準体7側と被検査体5側に導入される気体の圧力を予め定められる試験圧となるように設定(可変設定)する手段である。また、導入経路切替弁14を迂回する迂回通路33が形成されており、迂回通路33には低圧ガバナ(調圧器)35(PPR;プリプロセス動作用レギュレータ)と逆止弁30が設けられている。   As shown in FIG. 1, in the gas leakage inspection apparatus 1 of the present embodiment, a test pressure setting capable of varying the gas pressure between the air introduction section 2 and the air introduction control valve 9 in the air introduction passage 3. Means 13 and an introduction path switching valve 14 (PPV) are provided. The test pressure setting means 13 is a means for setting (variably setting) the pressure of the gas introduced into the reference body 7 side and the inspected object 5 side at the time of gas leakage inspection to be a predetermined test pressure. Further, a bypass passage 33 that bypasses the introduction path switching valve 14 is formed, and the bypass passage 33 is provided with a low pressure governor (pressure regulator) 35 (PPR; preprocess operation regulator) and a check valve 30. .

空気導入通路3の分岐部4の手前側には分岐通路15が接続され、分岐通路15には気体排出制御弁16(AV2)が設けられている。また、分岐部4よりも下流側の被検査体側導入通路6と基準体側導入通路8には、それぞれ、バイパス通路17との接続部よりも下流側に手動開閉弁36,37が設けられており、これらの手動開閉弁36,37は、検査時は解放となっている。   A branch passage 15 is connected to the front side of the branch portion 4 of the air introduction passage 3, and a gas discharge control valve 16 (AV 2) is provided in the branch passage 15. Further, in the inspection object side introduction passage 6 and the reference body side introduction passage 8 downstream of the branch portion 4, manual open / close valves 36 and 37 are provided on the downstream side of the connection portion with the bypass passage 17, respectively. These manual on-off valves 36 and 37 are open at the time of inspection.

また、本実施例では、気体排出通路18は被検査体5側と基準体7側とにそれぞれ設けられており(符号18a,18b、参照)、基準体7側から加圧気体を排出する基準体側排出通路18aと被検査体5側から加圧気体を排出する被検査体側排出通路18bが形成されている。基準体側排出通路18aに気体排出制御弁19(19a)(EXHV1)が設けられ、被検査体排出通路18bに気体排出制御弁19(19b)(EXHV2)が設けられている。   In the present embodiment, the gas discharge passages 18 are respectively provided on the inspected object 5 side and the reference body 7 side (see reference numerals 18a and 18b), and a reference for discharging pressurized gas from the reference body 7 side. A body-side discharge passage 18a and a body-side discharge passage 18b that discharges pressurized gas from the body 5 to be inspected are formed. A gas discharge control valve 19 (19a) (EXHV1) is provided in the reference body side discharge passage 18a, and a gas discharge control valve 19 (19b) (EXHV2) is provided in the inspection object discharge passage 18b.

本実施例において、これらの気体排出制御弁19a,19bおよび気体導入制御弁9(AV1),10(AV3),11(AV4),導入経路切替弁14、気体排出制御弁16は全て、スプリングバック式のエアオペレートバルブにより形成されている。なお、各弁はスプリングバック式ではないエアオペレートバルブにより形成することもできるし、エアオペレートバルブ以外の弁により形成することもできるが、電磁弁とすると開閉時に熱が発生するため、エアオペレートバルブにより形成ことが好ましい。   In this embodiment, the gas discharge control valves 19a and 19b, the gas introduction control valves 9 (AV1), 10 (AV3), and 11 (AV4), the introduction path switching valve 14, and the gas discharge control valve 16 are all springback. It is formed by an air operated valve of the type. Each valve can be formed by an air operated valve that is not a springback type, or it can be formed by a valve other than an air operated valve. However, if an electromagnetic valve is used, heat is generated during opening and closing. Is preferably formed.

また、空気導入制御弁9は常時閉、その他の弁10,11,14,16,19a,19bは常時開の弁であり、空気導入制御弁10,11以外の弁体作動方向は、気体の流れとは逆方向に形成されている。そして、基準体7と被検査体5はそれぞれ、弁体が基準体7側と被検査体5側に向けた方向に作動するエアオペレートバルブにより挟まれており、各弁を閉じた状態で閉じ込められた気体側から各弁に圧力がかかっても気体の漏れが微少も生じないように形成されている。   The air introduction control valve 9 is normally closed, and the other valves 10, 11, 14, 16, 19a, 19b are normally open valves. The valve body operating directions other than the air introduction control valves 10, 11 are gas It is formed in the direction opposite to the flow. The reference body 7 and the inspected object 5 are sandwiched between air operated valves whose valve bodies are operated in directions directed toward the reference body 7 side and the inspected object 5 side. Even if pressure is applied to each valve from the gas side, the gas is not leaked.

図2に示されるように、本実施例の気体漏れ検査装置1は、制御装置21を備えた制御構成を有して、スタートAスイッチ22、スタートBスイッチ23に信号接続されている。制御装置21は、ウォーミングアップ運転実行手段24、気体漏れ検査実行手段25、気体漏れ検出部26,圧力調整手段27、プリプロセス動作実行手段28を有しており、前記差圧検出部12と試験圧設定手段13と導入経路切替弁14と弁9,10,11,16,19にも信号接続されている。   As shown in FIG. 2, the gas leakage inspection apparatus 1 of the present embodiment has a control configuration including a control device 21 and is signal-connected to a start A switch 22 and a start B switch 23. The control device 21 includes a warm-up operation executing means 24, a gas leak inspection executing means 25, a gas leak detecting section 26, a pressure adjusting means 27, and a preprocess operation executing means 28, and the differential pressure detecting section 12 and the test pressure. Signals are also connected to the setting means 13, the introduction path switching valve 14, and the valves 9, 10, 11, 16, and 19.

なお、図2に示されている弁9,10,11,16,19は、前記気体導入制御弁9,10,11と気体排出制御弁16,19を示すが、図2では、図を分かりやすくするためにこれらの各弁をまとめて表示している。   The valves 9, 10, 11, 16, and 19 shown in FIG. 2 indicate the gas introduction control valves 9, 10, 11 and the gas discharge control valves 16, 19, respectively. In FIG. These valves are shown together for the sake of simplicity.

また、図1に示す構成を有する本実施例と図13に示した従来例とはシステム構成は異なる部分はあるが、本実施例においても、気体漏れ検査動作は図13の各工程とほぼ同様に行われ、被検査体5に導入された加圧気体の圧力と基準体7に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて被検査体5の気体漏れ検査が行われるものであり、この動作は気体漏れ検査実行手段25によって実行される。   Further, although the system configuration of the present embodiment having the configuration shown in FIG. 1 is different from that of the conventional example shown in FIG. 13, the gas leakage inspection operation in this embodiment is almost the same as each step in FIG. 13. The gas leakage inspection of the object to be inspected 5 is performed based on the differential pressure between the pressure of the pressurized gas introduced into the object to be inspected 5 and the pressure of the pressurized gas introduced into the reference body 7. Yes, this operation is executed by the gas leakage inspection execution means 25.

つまり、気体漏れ検査実行手段25は、各弁9,10,11,16,19の開閉動作を行い、また、圧力調整手段27に指令を加えて導入気体の圧力を調整させ、被検査体5と基準体7の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程(図13(a)参照)を実行する。また、該加圧器体導入工程後に被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程(図13(b)参照)と、該平衡工程後に被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧を検出する差圧検出工程(図13(c)参照)と、該差圧検出工程後に被検査体5内と基準体7内から気体を排出する気体排出工程(図13(d)参照)とを実行する。   In other words, the gas leak test execution means 25 opens and closes the valves 9, 10, 11, 16, and 19, and also gives a command to the pressure adjustment means 27 to adjust the pressure of the introduced gas, thereby inspecting the object 5 to be inspected. And a pressurized gas introduction step (see FIG. 13A) for introducing a pressurized gas into both the reference body 7 and the reference body 7. Further, an equilibrium step (see FIG. 13B) that balances the pressure of the gas in the inspection object 5 and the pressure of the gas in the reference body 7 after the pressurizer body introduction step, and the inspection subject after the equilibrium step. A differential pressure detecting step (see FIG. 13C) for detecting a differential pressure between the pressure of the gas in the gas 5 and the pressure of the gas in the reference body 7, and the inspection object 5 and the reference body after the differential pressure detecting step 7 performs a gas discharge step (see FIG. 13D) for discharging gas from the inside.

なお、本実施例では、基準体7側から加圧気体を導出する気体排出制御弁19aと被検査体5側から加圧気体を導出する気体排出制御弁19bとが別々に設けられているので、気体漏れ検査実行手段25は、前記4つの工程のうちの気体排出工程においては、気体排出制御弁19a,19bを共に開き、それ以外の工程においては気体排出制御弁19a,19bを共に閉じる。また、例えば加圧気体導入工程(CHG)は30秒程度、平衡工程(BAL)は60秒程度、差圧検出工程(DET)は60秒程度、気体排出工程(EXH)は10秒程度行われるといったように、これらの各工程は、予め定められる設定時間で行われるものである。   In the present embodiment, the gas discharge control valve 19a for deriving pressurized gas from the reference body 7 side and the gas discharge control valve 19b for deriving pressurized gas from the inspected object 5 side are provided separately. The gas leakage inspection execution means 25 opens both the gas discharge control valves 19a and 19b in the gas discharge step among the four steps, and closes both the gas discharge control valves 19a and 19b in the other steps. For example, the pressurized gas introduction process (CHG) is performed for about 30 seconds, the equilibrium process (BAL) is performed for about 60 seconds, the differential pressure detection process (DET) is performed for about 60 seconds, and the gas discharge process (EXH) is performed for about 10 seconds. As described above, each of these steps is performed at a predetermined set time.

本実施例において、差圧検出工程において差圧検出部12によって検出される基準体7と被検査体5との圧力差は、例えば表示部31に表示されると共に気体漏れ検出部26に加えられ、気体漏れ検出部26によって被検査体5に気体漏れがあるかどうかが検出される。   In the present embodiment, the pressure difference between the reference body 7 and the inspection object 5 detected by the differential pressure detection unit 12 in the differential pressure detection step is displayed on the display unit 31 and added to the gas leak detection unit 26, for example. The gas leak detector 26 detects whether or not there is a gas leak in the inspection object 5.

圧力調整手段27は、試験圧設定手段13を制御することによって気体漏れ検査動作時に導入する気体の圧力を調整すると共に、導入経路切替弁14の開閉制御を行い、加圧気体の導入口2から導入される加圧気体を、導入経路切替弁14を通して基準体7や被検査体5側に導くか、あるいは、低圧ガバナ35を通して基準体7や被検査体5側に導くかを選択制御することにより、基準体7や被検査体5側に導かれる加圧気体の圧力を調整する。   The pressure adjusting means 27 controls the test pressure setting means 13 to adjust the pressure of the gas introduced during the gas leak inspection operation, and also controls the opening and closing of the introduction path switching valve 14 so as to control the pressure from the pressurized gas inlet 2. Selectively controlling whether the pressurized gas to be introduced is guided to the reference body 7 and the inspected object 5 side through the introduction path switching valve 14 or to the reference body 7 and the inspected object 5 side through the low pressure governor 35. Thus, the pressure of the pressurized gas guided to the reference body 7 or the inspected object 5 side is adjusted.

圧力調整手段27は、気体漏れ検査実行手段25から気体漏れ検査実行時の圧力調整指令が加えられると、試験圧設定手段13を制御することによって気体漏れ検査動作時に導入する気体の圧力を予め定められる設定試験圧(例えば300〜500kPa)とし、導入経路切替弁14を開いて導入経路切替弁14を通して試験圧の加圧気体を基準体7側と被検査体5側とに導入できるようにする。この圧力調整手段27による導入気体圧力の調整と気体漏れ検査実行手段25による弁9,10,11,16,19の開閉制御によって、従来例とほぼ同様の気体漏れ検査動作が行われることになる。   When the pressure adjustment command at the time of executing the gas leak test is applied from the gas leak test executing unit 25, the pressure adjusting unit 27 controls the test pressure setting unit 13 to determine the gas pressure to be introduced during the gas leak test operation in advance. The set test pressure (for example, 300 to 500 kPa) is set, and the introduction path switching valve 14 is opened so that the pressurized gas of the test pressure can be introduced to the reference body 7 side and the inspection object 5 side through the introduction path switching valve 14. . By adjusting the introduced gas pressure by the pressure adjusting means 27 and opening / closing control of the valves 9, 10, 11, 16, and 19 by the gas leakage inspection executing means 25, a gas leakage inspection operation substantially similar to the conventional example is performed. .

スタートAスイッチ22は、気体漏れ検査装置1による気体漏れ検査動作の準備動作開始のための操作手段であり、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査動作の開始前に必要に応じて行われるウォーミングアップ運転や第1のプリプロセス動作を開始させるための操作手段である。スタートAスイッチ22が操作される(例えば押される)と、準備動作スタート信号がウォーミングアップ運転実行手段24とプリプロセス動作実行手段28とに加えられる。   The start A switch 22 is an operation means for starting a preparatory operation for a gas leak inspection operation by the gas leak inspection apparatus 1 and is warmed up as necessary before the gas leak inspection operation by the gas leak inspection execution means 25 is started. This is an operation means for starting the operation and the first preprocess operation. When the start A switch 22 is operated (for example, pressed), a preparation operation start signal is applied to the warm-up operation execution means 24 and the preprocess operation execution means 28.

ウォーミングアップ運転実行手段24は、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査動作の開始時に、予め定められる設定条件が満たされたときには、気体漏れ検査動作の複数の前記動作工程(図13(a)〜(d)、参照)を、該気体漏れ検査の動作時に行われる各工程の所要時間よりも短い予め定められている設定短縮時間で予め定められている設定回数だけ行ってから前記気体漏れ検査の動作を開始させるものである。   The warming-up operation execution unit 24 is configured to perform a plurality of operation steps of the gas leak inspection operation (FIG. 13A to FIG. 13A) when a predetermined setting condition is satisfied at the start of the gas leak inspection operation by the gas leak inspection execution unit 25. (D), see) is performed for a predetermined number of times with a predetermined set shortening time shorter than the time required for each step performed during the operation of the gas leak test, and then the gas leak test is performed. The operation is started.

このウォーミングアップ運転実行手段24によるウォーミングアップ運転実行の基準となる設定条件とは、例えば気体漏れ検査装置1の電源をオンしてからの初期運転時や、前回の計測(気体漏れ検査)終了後、予め定められる設定時間(S分以上であり、Sは例えば30〜60。例えばS分=60分=1時間)経過したときとすることができ、ウォーミングアップ運転実行手段24は、気体漏れ検査装置1の電源をオンしてからの初期運転時かどうかの判断手段と、前回計測終了時を把握する手段と時計機構(図示せず)とを有し、前記のような設定条件が満たされたときにはウォーミングアップ運転を実行する。   The setting conditions that serve as a reference for executing the warming-up operation by the warming-up operation executing means 24 are, for example, in the initial operation after turning on the power of the gas leakage inspection device 1 or after the previous measurement (gas leakage inspection) is completed. The predetermined set time (S minutes or more, S is 30 to 60, for example, S minutes = 60 minutes = 1 hour) may have passed, and the warm-up operation execution means 24 is It has a means for determining whether or not it is an initial operation after turning on the power, a means for grasping the end of the previous measurement, and a clock mechanism (not shown), and warming up when the above set conditions are satisfied Run the operation.

つまり、気体漏れ検査装置1の電源をオンしてからの初期運転時や、前回計測終了後に長時間(一定時間以上)経過した後に、直ぐに気体漏れ検査動作を行うと、気体漏れ検査装置1が安定せずに測定が正確に行われないことが多いので、気体漏れ検査装置1の電源をオンしてからの初期運転時と予め定められる設定時間以上経過したときにウォーミングアップ運転を実行することにより、気体漏れ検査装置の安定化を的確に行え、正確な気体漏れ検査動作を行うことができるようにする。   In other words, when the gas leak inspection operation is performed immediately after the initial operation after turning on the power of the gas leak inspection apparatus 1 or after a long time (a certain time or more) has elapsed after the end of the previous measurement, the gas leak inspection apparatus 1 In many cases, measurement is not performed accurately without being stabilized, so that the warm-up operation is executed when a predetermined set time elapses after the initial operation after the gas leakage inspection apparatus 1 is turned on. The gas leakage inspection apparatus can be accurately stabilized and an accurate gas leakage inspection operation can be performed.

なお、ウォーミングアップ運転に必要であると判断する前記設定時間は、この時間経過後に直ぐに気体漏れ検査動作を行うと気体漏れ検査装置が安定せずに正確な測定が行われないと推定される時間であり、例えば実験等により予め求めて定められる時間である。   The set time for determining that it is necessary for the warm-up operation is a time when it is estimated that if the gas leak test operation is performed immediately after the elapse of time, the gas leak test apparatus is not stabilized and accurate measurement is not performed. Yes, for example, a time determined in advance by experiments or the like.

また、前記の如く、本実施例においても、気体漏れ検査動作自体は従来例とほぼ同様に行われるものであり、気体漏れ検査動作時には、加圧気体導入工程(CHG)、平衡工程(BAL)、差圧検出工程(DET)、気体排出工程(EXH)の全工程を合わせて例えば160秒程度行われるが、ウォーミングアップ運転は、例えば全工程の時間を合わせて20秒程度、またはそれ以下に短縮し、1回以上の予め定められる設定回数(例えば2〜3回)繰り返し行われる。   In addition, as described above, in this embodiment, the gas leakage inspection operation itself is performed in substantially the same manner as the conventional example. During the gas leakage inspection operation, the pressurized gas introduction process (CHG) and the equilibrium process (BAL) The total of the differential pressure detection process (DET) and the gas discharge process (EXH) is performed for about 160 seconds, for example, but the warm-up operation is shortened to, for example, about 20 seconds or less. Then, it is repeated one or more predetermined times (for example, 2 to 3 times).

なお、ウォーミングアップ運転中の各工程の時間は、例えば時間設定パタンを複数設けて選択できるようにしてもよいし、典型パタンを予め設定しておいて必要に応じて可変できるようにしてもよい。また、ウォーミングアップ運転の設定回数も可変できるようにしてもよい。   Note that the time for each process during the warm-up operation may be selected by providing a plurality of time setting patterns, for example, or may be variable as needed by setting a typical pattern in advance. Further, the set number of warm-up operations may be variable.

例えば、冬等の気温が低いときにはウォーミングアップ運転の各工程の時間や設定回数を多めにし、その逆に夏等の気温が高い時には各工程の時間や設定回数を少なめにする等、外気温に応じてウォーミングアップ運転の設定を自動的に変更してもよいし、利用者が気温に対応させて設定を変更できるようにしてもよい。また、ウォーミングアップ運転実行手段24にカレンダー機能を持たせて、そのカレンダーに応じて自動的に設定を変更してもよい。   For example, when the temperature is low in winter, etc., the time and number of times for each process of warm-up operation are increased. On the other hand, when the temperature is high in summer, etc., the time and the number of times for each process are reduced. Then, the setting of the warm-up operation may be automatically changed, or the user may be able to change the setting corresponding to the temperature. Further, the warming-up operation execution means 24 may have a calendar function, and the setting may be automatically changed according to the calendar.

また、気体漏れ検査装置1の停止時間に応じて、停止時間が長くなるほど各工程の時間や設定回数を多めにする等、ウォーミングアップ運転の設定を自動的に、または手動により変更してもよいし、測定する被検査体5の容積を考慮して、被検査体5の大きさが大きいほど、各工程の時間や設定回数を多めにする等、ウォーミングアップ運転の設定を自動的に、または手動により変更してもよい。   Moreover, according to the stop time of the gas leak test | inspection apparatus 1, you may change the setting of warming-up driving | operation automatically or manually, such as increasing the time of each process and setting frequency | count, so that stop time becomes long. In consideration of the volume of the object 5 to be measured, the warm-up operation is set automatically or manually, such as the larger the size of the object 5 to be measured, the more the time and the number of times of each process are set. It may be changed.

ウォーミングアップ運転実行手段24は、ウォーミングアップ運転の実行に際し、各弁9,10,11,16,19の開閉を適宜行うと共に、圧力調整手段27にウォーミングアップ運転実行信号を加え、加圧気体の導入口2から導入される加圧気体を、導入経路切替弁14を通して基準体7や被検査体5側に導くようにしてウォーミングアップ運転を実行する。   The warming-up operation execution means 24 appropriately opens and closes the valves 9, 10, 11, 16, 19 when executing the warming-up operation, and adds a warm-up operation execution signal to the pressure adjustment means 27 to introduce the pressurized gas inlet 2 The warming-up operation is executed so that the pressurized gas introduced from the gas is guided to the reference body 7 and the inspected object 5 through the introduction path switching valve 14.

圧力調整手段27は、ウォーミングアップ運転実行手段24からウォーミングアップ運転実行信号が加えられると、気体漏れ検査動作時と同様に、前記試験圧の加圧気体が基準体7や被検査体5側に導かれるように、試験圧設定手段13を制御し、かつ、導入経路切替弁14を開状態として、試験圧の加圧気体を基準体7や被検査体5側に導く。   When the warm-up operation execution signal is applied from the warm-up operation execution unit 24, the pressure adjusting unit 27 guides the pressurized gas of the test pressure to the reference body 7 or the inspected object 5 side as in the gas leak inspection operation. As described above, the test pressure setting means 13 is controlled, and the introduction path switching valve 14 is opened, and the pressurized gas at the test pressure is guided to the reference body 7 or the inspected object 5 side.

なお、ウォーミングアップ運転実行手段24によるウォーミングアップ運転中にも、検出工程においては、被検査体5側と基準体7側との差圧の検出が行われることになり、このときに検出される値は不適切な値となることが多い。つまり、ウォーミングアップ運転は、気体漏れ検査装置1を安定化するための運転であり、このウォーミングアップ運転が終了するまでの間は気体漏れ検査装置1の安定化が不十分である可能性があり、また、ウォーミングアップ運転は通常の気体漏れ検査動作に比べて各工程を非常に短い時間で行うものであるため、検出工程において被検査体5側と基準体7側との差圧の検出を正確に行うことはできない可能性がある。   Even during the warm-up operation by the warm-up operation execution means 24, the detection process detects the differential pressure between the inspected object 5 side and the reference body 7 side, and the value detected at this time is It is often an inappropriate value. That is, the warm-up operation is an operation for stabilizing the gas leak inspection apparatus 1, and there is a possibility that the gas leak inspection apparatus 1 is not sufficiently stabilized until the warm-up operation ends. In the warming-up operation, each process is performed in a very short time compared to a normal gas leakage inspection operation, and therefore, the differential pressure between the inspected object 5 side and the reference body 7 side is accurately detected in the detection process. It may not be possible.

そこで、本実施例では、ウォーミングアップ運転実行手段24によるウォーミングアップ運転中には、気体漏れ検出部28側からエラー信号が出力される可能性があるが、ウォーミングアップ運転実行手段24は、ウォーミングアップ運転中に出力されるエラー信号は無視してウォーミングアップ運転を継続し、前記設定回数繰り返して行い、その後、ウォーミングアップ済み信号を出力してプリプロセス動作に移行する(プリプロセス動作が行われない場合には気体漏れ検査動作に移行する)ようにしている。   Thus, in this embodiment, during the warming up operation by the warming up operation executing means 24, there is a possibility that an error signal may be output from the gas leak detection unit 28 side, but the warming up operation executing means 24 outputs during the warming up operation. Ignore the error signal to be continued and continue the warm-up operation, repeat the set number of times, then output the warm-up completed signal and shift to the pre-process operation (if the pre-process operation is not performed, gas leak inspection Move to operation).

以上のようなウォーミングアップ運転を実行し、ごく短い時間であっても気体漏れ検査装置1に加圧気体を通し、弁9,10,11,14,16,19を開閉制御することによって、例えば夕方から次の日の朝までの間や昼休みの時間をおいた後に測定を行う時等、気体漏れ検査装置1、接続配管、基準体7(マスタ)および外部弁等の起動後の過渡的な特性変化を解消することができ、気体漏れ検査装置1を安定化することができるので、休憩等を挟んだ断続的な検査でも精度の高い気体漏れ検査動作を行うことができる。   The warm-up operation as described above is performed, and even in a very short time, the pressurized gas is passed through the gas leakage inspection apparatus 1 and the valves 9, 10, 11, 14, 16, 19 are controlled to open and close, for example, in the evening Transient characteristics after startup of the gas leak tester 1, connecting pipe, reference body 7 (master), external valve, etc., for example, when measuring from the morning until the next day or after taking a lunch break Since the change can be eliminated and the gas leakage inspection apparatus 1 can be stabilized, a highly accurate gas leakage inspection operation can be performed even in intermittent inspections with a break or the like interposed therebetween.

ウォーミングアップ運転実行手段24は、以上のようなウォーミングアップ運転を実行した時の終了時とウォーミングアップ運転を実行しない時(する必要がないとき)とには、ウォーミングアップ済み信号をプリプロセス動作実行手段28に加える。   The warm-up operation execution means 24 applies a warm-up completed signal to the pre-process operation execution means 28 when the warm-up operation is completed and when the warm-up operation is not executed (when it is not necessary). .

プリプロセス動作実行手段28は、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査の開始前に、基準体7側にのみ加圧気体を通す第1のプリプロセス動作と、基準体7と被検査体5の両方に加圧気体を通す第2のプリプロセス動作との少なくとも一方の動作を行う手段である。プリプロセス動作実行手段28は、ウォーミングアップ運転実行手段24からウォーミングアップ済み信号が加えられると、例えば以下のタイミングで第1のプリプロセス動作を行う。   The pre-process operation executing means 28 is a first pre-process operation in which a pressurized gas is passed only to the reference body 7 side before the gas leak inspection is started by the gas leak inspection executing means 25, and the reference body 7 and the object 5 to be inspected. Means for performing at least one of a second pre-process operation in which a pressurized gas is passed through both of them. When the warm-up completion signal is added from the warm-up operation execution unit 24, the pre-process operation execution unit 28 performs the first pre-process operation at the following timing, for example.

つまり、プリプロセス動作実行手段28は、スタートAスイッチ22の操作が行われる度に(スタートAスイッチ22が押されてからウォーミングアップ済み信号が加えられる度に)第1のプリプロセス動作を行ってもよいし、例えばスタートAスイッチ22が予め定められる設定回数操作される毎に(スタートAスイッチ22が設定回数押されてウォーミングアップ済み信号がプリプロセス動作実行手段28に設定回数加えられる度に)第1のプリプロセス動作を行ってもよい。   That is, the preprocess operation executing means 28 may perform the first preprocess operation every time the start A switch 22 is operated (every time a warm-up signal is applied after the start A switch 22 is pressed). For example, every time the start A switch 22 is operated a predetermined number of times (every time the start A switch 22 is pressed a predetermined number of times and a warm-up signal is added to the preprocess operation executing means 28), the first time The pre-processing operation may be performed.

また、スタートAスイッチ22が押された後に初めてウォーミングアップ運転実行手段24からウォーミングアップ済み信号が加えられたときと、その後、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査実行終了後(気体漏れ検査実行手段25から気体漏れ検査終了信号が加えられたとき)には自動的に毎回第1のプリプロセス動作を行う、あるいは、気体漏れ検査実行終了回数が設定回数となった毎に第1のプリプロセス動作を行う等、様々な制御パタンを設定することができる。また、以上のような固定の制御パタンを予め設定しておいてもよいし、必要に応じて制御パタンを可変できるようにしてもよい。   Further, when a warm-up signal is applied from the warm-up operation executing means 24 for the first time after the start A switch 22 is pressed, and after the gas leak inspection execution by the gas leak inspection executing means 25 is finished (the gas leak inspection executing means 25). The first preprocess operation is automatically performed every time when the gas leak inspection end signal is added), or the first preprocess operation is performed every time the gas leak inspection execution end count reaches the set number of times. Various control patterns can be set. Also, the fixed control pattern as described above may be set in advance, or the control pattern may be variable as necessary.

本実施例では、一例として、スタートAスイッチ22が操作された後に、押されてから初めてウォーミングアップ運転実行手段24からウォーミングアップ済み信号が加えられたときと、その後、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査実行終了後(気体漏れ検査実行手段25から気体漏れ検査終了信号が加えられたとき)に毎回、自動的に第1のプリプロセス動作を行うように設定されている。   In the present embodiment, as an example, when the warm-up operation executing means 24 applies the warm-up operation execution means 24 for the first time after the start A switch 22 is operated, and after that, the gas leak inspection execution means 25 performs gas leakage. It is set so that the first preprocess operation is automatically performed every time after completion of the inspection (when a gas leakage inspection end signal is added from the gas leakage inspection execution means 25).

プリプロセス動作実行手段28による第1のプリプロセス動作は、弁9,10,11,16,19の開閉制御と、導入経路切替弁14の閉制御とによって、加圧気体を基準体7に通す動作であり、具体的には、プリプロセス動作実行手段28は、第1のプリプロセス動作を行う際に、気体導入制御弁9,10と気体排出制御弁19aを開き、気体導入制御弁11と気体排出制御弁16,19bを閉じる。   The first pre-process operation by the pre-process operation executing means 28 allows the pressurized gas to pass through the reference body 7 by opening / closing control of the valves 9, 10, 11, 16, 19 and closing control of the introduction path switching valve 14. Specifically, the preprocess operation executing means 28 opens the gas introduction control valves 9 and 10 and the gas discharge control valve 19a when performing the first preprocess operation, The gas discharge control valves 16, 19b are closed.

また、プリプロセス動作時に導入する加圧気体の圧力は試験圧よりも小さく設定されるものであり、プリプロセス動作実行手段28は、第1のプリプロセス動作を行う際に、圧力調整手段27にプリプロセス動作実行信号を加え、導入経路切替弁14を閉状態とし、低圧ガバナ35を通して加圧気体を基準体7側に導くことにより、試験圧より小さい圧力(例えば10kPaを超える圧力で、かつ、100kPa未満の圧力)の加圧気体を基準体7側に導き、加圧気体を基準体7に通して気体排出制御弁19a側から排出するようにする。   The pressure of the pressurized gas introduced during the preprocess operation is set to be smaller than the test pressure, and the preprocess operation execution means 28 uses the pressure adjustment means 27 when performing the first preprocess operation. A preprocess operation execution signal is added, the introduction path switching valve 14 is closed, and the pressurized gas is guided to the reference body 7 side through the low pressure governor 35, whereby a pressure lower than the test pressure (for example, a pressure exceeding 10 kPa, and The pressurized gas (pressure less than 100 kPa) is guided to the reference body 7 side, and the pressurized gas is passed through the reference body 7 and discharged from the gas discharge control valve 19a side.

なお、第1のプリプロセス動作および後述する第2のプリプロセス動作時に導入する加圧気体の圧力は特に限定されるものではないが、気体の流速が音速を超えると、衝撃波が生じ、振動等により損傷が生じたり発熱が生じたりするといった支障が生じるため、気体の流速が音速以下になるように調整されるものであり、そのために、本実施例では、例えば導入する加圧気体の圧力が100kPaを超えないように低圧ガバナ35を設けて調整している。   The pressure of the pressurized gas introduced during the first preprocess operation and the second preprocess operation described later is not particularly limited. However, if the gas flow velocity exceeds the speed of sound, a shock wave is generated, vibration, etc. In this embodiment, for example, the pressure of the pressurized gas to be introduced is adjusted so that the flow velocity of the gas is adjusted to be lower than the sound velocity. The low pressure governor 35 is provided and adjusted so as not to exceed 100 kPa.

なお、低圧ガバナ35を設ける代わりに、圧力を定圧から高圧までの広い範囲で可変可能な電空レギュレータを設けて、導入する加圧気体の圧力を調整してもよい。   Instead of providing the low pressure governor 35, an electropneumatic regulator capable of changing the pressure in a wide range from a constant pressure to a high pressure may be provided to adjust the pressure of the pressurized gas to be introduced.

また、プリプロセス動作実行手段28は、第1のプリプロセス動作時に、必要に応じ、ファン等を用いて基準体7内を冷却する等して温度安定化を図ってもよい。放熱性の高い基準体7を用いる場合等には、特に、ファンによる温度安定化が有効になる。   Further, the preprocess operation executing means 28 may stabilize the temperature by cooling the inside of the reference body 7 using a fan or the like as necessary during the first preprocess operation. When using the reference body 7 having high heat dissipation, temperature stabilization by a fan is particularly effective.

プリプロセス動作実行手段28は、第1のプリプロセス動作を実行した後、直ちに、あるいは予め定められる設定待機時間経過後に第1のプリプロセス動作終了信号を発信し、表示部31に加える。表示部31には、第1のプリプロセス動作終了表示が行われる。なお、表示の仕方は特に限定されるものでなく適宜設定されるものである。また、表示部31を設けて表示を行う代わりに、あるいは表示に加え、メッセージ発生やブザーやチャイム等の音の発生等、適宜の音声による報知を行うようにしてもよい。   The pre-process operation execution means 28 transmits a first pre-process operation end signal immediately after the first pre-process operation is executed or after a predetermined set waiting time has elapsed, and adds it to the display unit 31. The display unit 31 displays the first preprocess operation end display. Note that the display method is not particularly limited, and is appropriately set. Further, instead of providing the display unit 31 for display, or in addition to the display, notification by appropriate sound such as generation of a message or generation of sound such as a buzzer or chime may be performed.

スタートBスイッチ23は、気体漏れ検査装置1による気体漏れ検査動作の準備動作から気体漏れ検査動作に移行させるための操作手段である。例えば、スタートAスイッチ22が操作されてから、ウォーミングアップ運転や第1のプリプロセス動作が適宜行われ、表示部31に第1のプリプロセス動作終了表示等の報知が行われたときに、利用者がスタートBスイッチ23を操作する(例えば利用者によって押される)と、検査移行スタート信号がプリプロセス動作実行手段28と気体漏れ検査実行手段25とに加えられる。   The start B switch 23 is an operation means for shifting from a gas leak test operation preparation operation to a gas leak test operation by the gas leak test apparatus 1. For example, when the warm-up operation or the first preprocess operation is appropriately performed after the start A switch 22 is operated and the display unit 31 is notified of the first preprocess operation end display or the like, the user When the start B switch 23 is operated (for example, pressed by the user), an inspection transition start signal is applied to the preprocess operation execution means 28 and the gas leak inspection execution means 25.

スタートBスイッチ23の操作によって検査移行スタート信号が加えられると、例えばその都度、プリプロセス動作実行手段28が第2のプリプロセス動作を行うようにすることができる。つまり、スタートBスイッチ23は、プリプロセス動作実行手段28による第2のプリプロセス動作を開始させるための第2のプリプロセス開始操作手段としても機能するものであり、また、前記の如く、スタートAスイッチ22がプリプロセス動作実行手段28による第1のプリプロセス動作を開始させるための第1のプリプロセス開始操作手段としても機能することから、本実施例では、プリプロセス動作実行手段28による第1と第2の少なくともプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段として、第1のプリプロセス開始操作手段と第2のプリプロセス開始操作手段を個別に備える態様と成している。   When an inspection transition start signal is applied by operating the start B switch 23, for example, the preprocess operation executing means 28 can perform the second preprocess operation each time. That is, the start B switch 23 also functions as a second preprocess start operation means for starting the second preprocess operation by the preprocess operation execution means 28, and, as described above, the start A switch A Since the switch 22 also functions as a first preprocess start operation means for starting the first preprocess operation by the preprocess operation execution means 28, in the present embodiment, the first process by the preprocess operation execution means 28 is performed. As a preprocess start operation means for starting at least a second preprocess operation, a first preprocess start operation means and a second preprocess start operation means are separately provided.

なお、スタートBスイッチ23の操作の度に第2のプリプロセス動作を行う代わりに、例えばスタートBスイッチ23が連続して2回押されるといった、特有の操作毎に、プリプロセス動作実行手段28に検査移行スタート信号が加えられるようにして、この場合にのみ、第2のプリプロセス動作が行われるようにしてもよい。また、スタートBスイッチ23が第2のプリプロセス動作の開始用の操作手段と気体漏れ検査の開始用の操作手段を兼ねる構成とせずに、気体漏れ検査動作開始用の操作手段と第2のプリプロセス動作開始操作専用の操作手段を個別に設けてもよい。   Instead of performing the second preprocess operation every time the start B switch 23 is operated, the preprocess operation executing means 28 is instructed for each specific operation such as the start B switch 23 being pressed twice continuously. The inspection pre-start signal may be added, and the second pre-process operation may be performed only in this case. In addition, the start B switch 23 is not configured to serve as both the operation means for starting the second pre-process operation and the operation means for starting the gas leak test, and the operation means for starting the gas leak test operation and the second pre-process operation. Operation means dedicated to the process operation start operation may be provided individually.

プリプロセス動作実行手段28は、スタートBスイッチ23の操作に伴う検査移行スタート信号が加えられると、気体導入制御弁9,10,11と気体排出制御弁19a,19bを開く。なお、気体排出制御弁16は閉じたままとする。また、プリプロセス動作実行手段28は、第2のプリプロセス動作を行う際にも、圧力調整手段27にプリプロセス動作実行信号を加え、導入経路切替弁14を閉状態とし、低圧ガバナ35を通して加圧気体を基準体7側と被検査体5側とに導くことにより、試験圧より小さい圧力の加圧気体を基準体7側と被検査体5側とに導く。そして、加圧気体を基準体7に通して気体排出制御弁19a側から排出するようにするとともに、加圧気体を被検査体5に通して気体排出制御弁19b側から排出するようにする。   The pre-process operation executing means 28 opens the gas introduction control valves 9, 10, 11 and the gas discharge control valves 19 a, 19 b when an inspection transition start signal accompanying the operation of the start B switch 23 is applied. The gas discharge control valve 16 remains closed. The preprocess operation executing means 28 also applies a preprocess operation execution signal to the pressure adjusting means 27 when the second preprocess operation is performed, closes the introduction path switching valve 14, and applies it through the low pressure governor 35. By introducing the pressurized gas to the reference body 7 side and the inspection object 5 side, the pressurized gas having a pressure smaller than the test pressure is guided to the reference body 7 side and the inspection object 5 side. Then, the pressurized gas is passed through the reference body 7 and discharged from the gas discharge control valve 19a side, and the pressurized gas is passed through the body under test 5 and discharged from the gas discharge control valve 19b side.

プリプロセス動作実行手段28は、第2のプリプロセス動作終了後、あるいは、第2のプリプロセス動作の必要がない場合には、プリプロセス動作済み信号を気体漏れ検査実行手段25に加える。気体漏れ検査実行手段25は、プリプロセス動作実行手段28からプリプロセス動作済み信号が加えられると、前記のような気体漏れ検査動作を実行する。   The preprocess operation execution means 28 applies a preprocess operation complete signal to the gas leak inspection execution means 25 after the end of the second preprocess operation or when the second preprocess operation is not necessary. When the preprocess operation completion signal is added from the preprocess operation execution unit 28, the gas leak inspection execution unit 25 executes the gas leak inspection operation as described above.

本実施例は以上のように構成されており、以下、本実施例の気体漏れ検査装置を用いた動作について説明する。図3に示されるように、ステップS1で電源がON(オン)されるとステップS2で初期画面が表示され、ステップS3で計測設定画面が表示される。ここで、利用者により、計測設定操作が行われてスタートAスイッチ22が操作されると、ステップS4で、気体漏れ検査動作の準備動作が開始される。つまり、ステップS5で計測画面が表示され、ステップS6で、ウォーミングアップ運転実行手段24によるウォーミングアップ運転(暖機運転)が、ウォーミングアップ運転を実行するために定められた前記設定条件を満たす場合には、適宜行われる。   The present embodiment is configured as described above, and the operation using the gas leakage inspection apparatus of the present embodiment will be described below. As shown in FIG. 3, when the power is turned on in step S1, an initial screen is displayed in step S2, and a measurement setting screen is displayed in step S3. Here, when the measurement setting operation is performed by the user and the start A switch 22 is operated, a preparation operation for the gas leakage inspection operation is started in step S4. That is, a measurement screen is displayed in step S5, and if the warming-up operation (warm-up operation) by the warm-up operation execution means 24 satisfies the set conditions defined for executing the warm-up operation in step S6, Done.

このウォーミングアップ運転は、例えば図4に示されるように行われるものであり、ステップDS1で気体漏れ検査動作の準備動作がスタートすると、ステップDS2で、電源がオンされてから最初の運転(初期運転)かどうかが判断され、初期運転の場合にはステップDS4に進み、初期運転でない場合にはステップDS3で、前回計測終了後からS分(Sは例えば30〜60であり、ここではS分=60分=1時間)経過したかどうかが判断され、経過した場合にはステップDS4に進む。ステップS3で、前回計測終了後からS分経過していないと判断された場合にはステップDS9に進み、ウォーミングアップ済み信号が出力されて、図3のステップS7に進む。   This warm-up operation is performed, for example, as shown in FIG. 4. When the preparation operation for the gas leak inspection operation is started in step DS1, the first operation (initial operation) after the power is turned on in step DS2. In the case of initial operation, the process proceeds to step DS4, and in the case of non-initial operation, in step DS3, S minutes (S is 30 to 60, for example, S minutes = 60 from the end of the previous measurement). It is determined whether or not (minute = 1 hour) has elapsed, and if it has elapsed, the process proceeds to step DS4. If it is determined in step S3 that S minutes have not elapsed since the end of the previous measurement, the process proceeds to step DS9, a warm-up completed signal is output, and the process proceeds to step S7 in FIG.

一方、図4のステップDS4に進んだ場合には、ウォーミングアップ運転実行手段24によるウォーミングアップ運転が順次行われる。つまり、ステップDS4で、加圧気体導入工程(CHG)の動作が例えば約5秒行われ、ステップDS5で、平衡工程(BAL)の動作が例えば約1秒行われ、ステップDS6で、差圧検出工程(DET)の動作が例えば約1秒行われ、ステップDS7で、気体排出工程(EXH)の動作が例えば約1秒行われる。そして、ステップDS8で、これらの全工程が前記設定回数(ここでは3回)終了したかどうかの判断が行われ、3回終了したらステップDS9に進んでから図3のステップS7に進む。   On the other hand, when the process proceeds to step DS4 in FIG. 4, the warm-up operation by the warm-up operation execution means 24 is sequentially performed. That is, in step DS4, the operation of the pressurized gas introduction process (CHG) is performed for about 5 seconds, for example, in step DS5, the operation of the equilibrium process (BAL) is performed for about 1 second, for example, and the differential pressure detection is performed in step DS6. The operation of the process (DET) is performed for about 1 second, for example, and in step DS7, the operation of the gas discharge process (EXH) is performed for about 1 second, for example. Then, in step DS8, it is determined whether or not all of these steps have been completed for the set number of times (here, 3 times), and if completed 3 times, the process proceeds to step DS9 and then proceeds to step S7 in FIG.

図3のステップS7では、必要に応じて、第1のプリプロセス動作(PP1)が行われる。つまり、本実施例では、電源がオンされてから初回の運転時と気体漏れ検査動作終了後に、ウォーミングアップ運転実行手段24からプリプロセス動作実行手段28にウォーミングアップ済み信号が加えられて第1のプリプロセス動作開始信号(PP1信号)が出力されるので、その場合は、前記の如く第1のプリプロセス動作が開始される。   In step S7 of FIG. 3, a first preprocess operation (PP1) is performed as necessary. That is, in this embodiment, the warm-up operation execution means 24 adds a warm-up completed signal to the pre-process operation execution means 28 at the first operation after the power is turned on and after the gas leakage inspection operation is completed, and the first pre-process is performed. Since the operation start signal (PP1 signal) is output, in this case, the first preprocess operation is started as described above.

なお、図5には、第1のプリプロセス動作と第2のプリプロセス動作とを経て気体漏れ検査動作を行う際の一連の動作における各工程別の弁開閉状態が示されている。同図に示されるように、第1のプリプロセス動作時には、導入経路切替弁14が閉じられ、気体導入制御弁9,10と気体排出制御弁19aが開かれ、それ以外の弁11,16,19bは閉じられる。   FIG. 5 shows the valve open / closed state for each process in a series of operations when the gas leakage inspection operation is performed through the first preprocess operation and the second preprocess operation. As shown in the figure, during the first pre-process operation, the introduction path switching valve 14 is closed, the gas introduction control valves 9, 10 and the gas discharge control valve 19a are opened, and the other valves 11, 16, 19b is closed.

そして、第1のプリプロセス動作が終了すると、第1のプリプロセス動作終了が表示部31に表示されるので、図3のステップS8で、利用者によるスタートBスイッチ23の操作が行われてステップS9に進み、ステップS9で、前記の如く第2のプリプロセス動作(PP2)が行われる。なお、ステップS9での第2のプリプロセス動作以降の弁開閉動作もそれぞれ、図5のタイムチャートに示されている。   When the first preprocess operation is completed, the first preprocess operation completion is displayed on the display unit 31, so that the user operates the start B switch 23 in step S8 of FIG. Proceeding to S9, in step S9, the second pre-process operation (PP2) is performed as described above. Note that the valve opening / closing operations after the second preprocessing operation in step S9 are also shown in the time chart of FIG.

第2のプリプロセス動作後には、気体漏れ検査実行手段25によって、図3のステップS10〜ステップS14までの各動作が行われる。つまり、図3のステップS10で、気体漏れ検査装置を安定化するために例えば予め定められる設定待機時間(例えば30秒)経過するまで待ち(DLY)、ステップS11で、被検査体5と基準体7の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程(CHG)の動作を行い、ステップS12で、被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程(BAL)の動作を行う。   After the second preprocess operation, each operation from step S10 to step S14 in FIG. That is, in step S10 of FIG. 3, in order to stabilize the gas leakage inspection apparatus, for example, a predetermined waiting time (for example, 30 seconds) is waited (DLY), and in step S11, the inspected object 5 and the reference object. An operation of a pressurized gas introduction process (CHG) for introducing a pressurized gas into both of them is performed, and in step S12, the pressure of the gas in the inspection object 5 and the pressure of the gas in the reference body 7 are balanced. The operation of the step (BAL) is performed.

その後、ステップS13で、検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧を気体漏れ検出部26によって検出する差圧検出工程(DET)の動作を行って、検出結果を表示部31に表示したり、検出結果を気体漏れ検査装置1に信号接続されているパソコンのデータ格納部に格納してデータ処理等の適宜の操作に利用したり、記録用紙に記録したりするといった適宜の動作を行い、ステップS14で、被検査体5内と基準体7内から気体を排出する気体排出工程(EXH)の動作を実行する。   Thereafter, in step S13, a differential pressure detection step (DET) in which a differential pressure between the gas pressure in the test body 5 and the gas pressure in the reference body 7 is detected by the gas leak detection unit 26 is performed and detected. The result is displayed on the display unit 31, the detection result is stored in a data storage unit of a personal computer signal-connected to the gas leak inspection apparatus 1, and used for appropriate operations such as data processing, or recorded on a recording sheet. In step S14, an operation of a gas discharge process (EXH) for discharging gas from the inspected object 5 and the reference body 7 is performed.

そして、気体排出工程の動作後には、図3のステップS5に戻り、計測画面の表示が行われて、次回の気体漏れ検査動作が行われることになるが、気体漏れ検査動作がほぼ連続して行われる場合には、ステップS6のウォーミングアップ運転は行われずにステップS7に進むことになる。そこで、気体漏れ検査を2回目以降行うときには、前回の気体漏れ検査動作の気体排出動作終了時から利用者による被検査体5の付け替え作業時に第1のプリプロセス動作を行うようにすることで、気体漏れ検査の準備から実際の測定動作までの時間の流れを有効に利用することができ、全体の計測時間を短縮できるので好ましい。   And after operation | movement of a gas discharge process, it returns to step S5 of FIG. 3, a display of a measurement screen is performed, and the next gas leak test | inspection operation | movement will be performed, but gas leak test | inspection operation | movement is substantially continuous. If so, the warm-up operation in step S6 is not performed, and the process proceeds to step S7. Therefore, when performing the gas leak inspection for the second time and thereafter, by performing the first pre-process operation at the time of replacement work of the inspection object 5 by the user from the end of the gas discharge operation of the previous gas leak inspection operation, This is preferable because the flow of time from the preparation for the gas leak inspection to the actual measurement operation can be used effectively, and the overall measurement time can be shortened.

本実施例の気体漏れ検査装置1を用いて、熱交換器や貯湯タンクの気体漏れ検査を行ったところ、気体漏れ判定の結果がほぼ100%適切な値となることが確認されている。   When the gas leak test of the heat exchanger and the hot water storage tank is performed using the gas leak test apparatus 1 of the present embodiment, it is confirmed that the result of the gas leak determination is almost 100%.

次に、本発明に係る気体漏れ検査装置の第2実施例について説明する。なお、第2実施例の説明において、前記第1実施例および従来例と同一部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略または簡略化する。   Next, a second embodiment of the gas leak inspection apparatus according to the present invention will be described. In the description of the second embodiment, the same parts as those in the first embodiment and the conventional example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted or simplified.

図6には、本発明に係る気体漏れ検査装置の第2実施例の要部システム構成が模式的に示されており、図7には、その制御構成がブロック図により示されている。第2実施例のシステム構成が第1実施例となる特徴的なことは、基準体7側から加圧気体を排出する基準体側排出通路18aにおける加圧気体の出口34側が、通路連通制御弁32を介し、被検査体側導入通路6のバイパス通路17への接続位置よりも気体通過の下流側位置に接続されていることである。   FIG. 6 schematically shows a main system configuration of a second embodiment of the gas leakage inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 7 shows a control configuration thereof in a block diagram. The system configuration of the second embodiment is characteristic of the first embodiment in that the pressurized gas outlet 34 side of the reference body side discharge passage 18a for discharging the pressurized gas from the reference body 7 side is connected to the passage communication control valve 32. It is connected to the downstream position of gas passage rather than the connection position to the bypass passage 17 of the to-be-inspected object side introduction passage 6 via.

通路連通制御弁32は電動ボールバルブ(BV)により形成されており、該電動ボールバルブは、開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁である。通路連通制御弁32は、通路連通制御弁32を制御する弁制御手段(図7の符号29、参照)によって、差圧検出部12による差圧検出時には閉じて該差圧検出時以外には開いた状態される。   The passage communication control valve 32 is formed by an electric ball valve (BV), and the electric ball valve is a valve that slowly opens and closes and hardly or hardly undergoes pressure fluctuations during the opening and closing operation. The passage communication control valve 32 is closed when a differential pressure is detected by the differential pressure detector 12 by a valve control means (see reference numeral 29 in FIG. 7) for controlling the passage communication control valve 32, and is opened when the differential pressure is not detected. It is in the state.

また、第2実施例において、基準体側排出通路18aには気体排出制御弁が設けられておらず、基準体7側から加圧気体を排出する際には、加圧気体が基準体7の出口側(図の下部側)から基準体側排出通路18aを通して被検査体5に導入され、被検査体5と被検査体側排出通路18bを通って排出される。また、被検査体5の交換作業時に、被検査体5への気体導入側が大気解放となる際に、そこから加圧気体を排出することもできる。   In the second embodiment, the reference body side discharge passage 18a is not provided with a gas discharge control valve. When the pressurized gas is discharged from the reference body 7 side, the pressurized gas is discharged from the reference body 7. From the side (the lower side in the figure) through the reference body side discharge passage 18a to the inspection object 5 and discharged through the inspection object 5 and the inspection object side discharge passage 18b. Further, when the inspection object 5 is replaced, when the gas introduction side to the inspection object 5 is released to the atmosphere, the pressurized gas can be discharged therefrom.

なお、第2実施例において、配置される基準体7については特に限定されるものではないが、基準体7の容積が被検査体5の容積に比べて格段に小さい小容器が適用されるようにすることが好ましい。基準体7を小容器により形成すると、基準体7からの気体排出を被検査体5側を通して行っても短時間で行える。   In the second embodiment, the reference body 7 to be arranged is not particularly limited, but a small container in which the volume of the reference body 7 is much smaller than the volume of the object 5 to be inspected is applied. It is preferable to make it. When the reference body 7 is formed of a small container, the gas can be discharged from the reference body 7 through the inspected object 5 side in a short time.

また、第2実施例の制御構成は図7に示され、図2に示した前記第1実施例の制御構成とほぼ同様に構成されているが、第2実施例では、制御装置21内に弁制御手段29が設けられており、気体漏れ検査実行手段25による気体漏れ検査の実行動作時に通路連通制御弁32の開閉制御が以下のように行われる。   The control configuration of the second embodiment is shown in FIG. 7 and is substantially the same as the control configuration of the first embodiment shown in FIG. The valve control means 29 is provided, and the opening / closing control of the passage communication control valve 32 is performed as follows during the gas leak test execution operation by the gas leak test execution means 25.

つまり、気体漏れ検査実行手段25は、気体漏れ検査の実行動作時に、前記第1実施例と同様に、図8のステップS11,12で、加圧気体導入工程、平衡工程を順に行った後、弁制御手段29に通路連通制御弁32の制御開始信号を加える。   That is, the gas leak test execution means 25 performs the pressurized gas introduction process and the equilibrium process in order in steps S11 and 12 of FIG. 8 in the same manner as in the first embodiment, during the gas leak test execution operation, A control start signal for the passage communication control valve 32 is added to the valve control means 29.

弁制御手段29は、この制御開始信号を受けて、通路連通制御弁32(BV)を閉じる方向に動作させる(図8のステップS13、参照)。そうすると、図11のタイムチャートのボールバルブ駆動の蘭に示されるように、電動ボールバルブにより形成された通路連通制御弁32は徐々に閉じていくので、例えば図9のステップBS1に示されるように、通路連通制御弁32が完全に閉じてから、予め定められる設定時間経過後(例えば図9のステップBS2で3秒経過したことが確認された後)に、気体漏れ検出部26に信号を加える。   Upon receiving this control start signal, the valve control means 29 operates the passage communication control valve 32 (BV) in the closing direction (see step S13 in FIG. 8). Then, as shown in the ball valve driving orchid in the time chart of FIG. 11, the passage communication control valve 32 formed by the electric ball valve is gradually closed, so that, for example, as shown in step BS1 of FIG. Then, after the passage communication control valve 32 is completely closed, a signal is added to the gas leak detection unit 26 after a predetermined set time has elapsed (for example, after 3 seconds have been confirmed in step BS2 in FIG. 9). .

気体漏れ検出部26は、差圧検出部12により検出される差圧に基づいて気体漏れの有無を検出し(図9のステップBS3)、検出済み信号を、気体漏れ検査実行手段25を介して弁制御手段29に加える。弁制御手段29は、この検出済み信号を受けて通路連通制御弁32を開く方向に動作させ、徐々に開かせる(図9のステップBS4、図11のタイムチャートのボールバルブ駆動の蘭、図8のステップS15、を参照)。以上のように、通路連通制御弁32は、差圧検出部12による差圧検出時には閉じて該差圧検出時以外には開いた状態される。   The gas leak detection unit 26 detects the presence or absence of gas leak based on the differential pressure detected by the differential pressure detection unit 12 (step BS3 in FIG. 9), and sends a detected signal via the gas leak inspection execution means 25. It adds to the valve control means 29. Upon receipt of this detected signal, the valve control means 29 operates in a direction to open the passage communication control valve 32 and gradually opens it (step BS4 in FIG. 9, ball valve drive run in the time chart of FIG. 11, FIG. 8). Step S15). As described above, the passage communication control valve 32 is closed when the differential pressure is detected by the differential pressure detector 12 and is opened when the differential pressure is not detected.

なお、第2実施例では、通路連通制御弁32が開かれてから予め定められる設定時間経過後(例えば図9のステップBS5で3秒経過したことが確認された後)に、図8のステップS16で、気体排出動作が行われる。   In the second embodiment, after a predetermined time has elapsed since the passage communication control valve 32 was opened (for example, after confirming that 3 seconds have elapsed in step BS5 in FIG. 9), the step in FIG. In S16, a gas discharge operation is performed.

第2実施例では、通路連通制御弁32を設けて差圧検出時以外は通路連通制御弁32を開いておくことにより、図10に示されるように、差圧検出時までは差圧検出部(差圧検出計)12の両端を同一圧力にすることができて差圧を0とすることができる。また、通路連通制御弁32を閉じたままにしておくと、基準体7に加圧気体が導入されることによって基準体7の出口側に熱が溜まるが、通路連通制御弁32を開いておくことにより、熱を基準体7の出口側から被検査体5側に排出(逃がすことが)できて、基準体7側の熱歪みを解消でき、基準体7側と被検査体5側の温度を互いに等しいまたはほぼ等しい温度に安定化できる。   In the second embodiment, by providing the passage communication control valve 32 and opening the passage communication control valve 32 except when the differential pressure is detected, as shown in FIG. 10, the differential pressure detection unit until the differential pressure is detected. (Differential pressure detector) Both ends of 12 can be made into the same pressure, and a differential pressure can be made 0. If the passage communication control valve 32 is kept closed, heat is accumulated on the outlet side of the reference body 7 by introducing the pressurized gas into the reference body 7, but the passage communication control valve 32 is kept open. Thus, heat can be discharged (released) from the outlet side of the reference body 7 to the inspection object 5 side, the thermal distortion on the reference body 7 side can be eliminated, and the temperatures of the reference body 7 side and the inspection object 5 side can be eliminated. Can be stabilized at a temperature equal to or approximately equal to each other.

そして、差圧検出時に通路連通制御弁32を閉じることによって、基準体7と被検査体5とを非連通状態として(切り離した状態として)密閉し、基準体7と被検査体5との差圧計測を行うことで、基準体7側と被検査体5側が共に温度的に安定した状態で、かつ、差圧検出直前まで差圧を0とした状態で差圧を検出することによって基準体7と被検査体5との差圧を正確に検出することができる。なお、その差圧検出後も通路連通制御弁32を開くことにより差圧検出部(差圧検出計)12の両端を同一圧力にすることができて差圧を0とすることができる。   Then, by closing the passage communication control valve 32 at the time of detecting the differential pressure, the reference body 7 and the inspected object 5 are sealed in a non-communication state (disconnected state), and the difference between the reference body 7 and the inspected object 5 is determined. By performing pressure measurement, the reference body is detected by detecting the differential pressure in a state in which both the reference body 7 side and the inspected object 5 side are stable in temperature, and the differential pressure is 0 until immediately before the differential pressure is detected. 7 and the object 5 to be inspected can be accurately detected. Even after the differential pressure is detected, both ends of the differential pressure detector (differential pressure detector) 12 can be made the same pressure by opening the passage communication control valve 32 so that the differential pressure can be zero.

第2実施例においては、通路連通制御弁32を開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁である電動ボールバルブにより形成することによって、通路連通制御弁32を閉じて基準体側と被検査体側を切り離す動作を緩やかに行うことができ、通路連通制御弁32を閉じるときや開くときの圧力変動の影響を小さくできるので、差圧検出時に通路連通制御弁32を閉じて基準体側と被検査体側とを切り離すときの圧力変動を殆ど生じないようにできることから、この切り離し動作時の圧力変動の影響も殆ど0にでき、非常に正確に差圧計測を行うことができる。   In the second embodiment, the passage communication control valve 32 is closed by forming the passage communication control valve 32 by an electric ball valve that is a valve that opens and closes slowly and does not cause pressure fluctuation during the opening and closing operation. Thus, the operation of separating the reference body side and the inspected object side can be performed gently, and the influence of pressure fluctuation when closing or opening the passage communication control valve 32 can be reduced, so that the passage communication control valve 32 is closed when a differential pressure is detected. Thus, the pressure fluctuation when separating the reference body side and the object to be inspected can be hardly caused, so that the influence of the pressure fluctuation during the separation operation can be almost zero, and the differential pressure measurement can be performed very accurately. .

また、第2実施例でも前記第1実施例と同様に、プリプロセス動作を行うによって基準体7側と被検査体5側をさらに温度的に安定した状態とするので、基準体7と被検査体5との差圧計測を正確に行うことができる。   Also, in the second embodiment, similarly to the first embodiment, the reference body 7 side and the inspected object 5 side are further stabilized in temperature by performing the preprocess operation. Differential pressure measurement with the body 5 can be accurately performed.

なお、第2実施例においては、配置される基準体7は、その容積が、配置される被検査体5の容積よりも小さいものとされるので、気体漏れ検出部26は、基準体7の容積と被検査体5の容積との差に応じて生じる被検査体5内の気体の圧力と基準体7内の気体の圧力との差圧分(ドリフト分)を、差圧検出部12による検出差圧値から差し引いた値に基づいて、被検査体5からの気体漏れを検出する。   In the second embodiment, the reference body 7 to be arranged has a volume smaller than the volume of the inspected object 5 to be arranged. The differential pressure detector 12 determines a differential pressure (drift) between the gas pressure in the test object 5 and the gas pressure in the reference body 7 generated according to the difference between the volume and the volume of the test object 5. Based on the value subtracted from the detected differential pressure value, gas leakage from the inspection object 5 is detected.

つまり、第2実施例の気体漏れ検査装置1を用いての気体漏れ検査は、配設される被検査体5に対し、配設される基準体7の容積が格段に小さくなるようにして被検査体5の気体漏れ検査動作が行われるようにすることを好ましい態様としており、このような場合には、基準体7の容積が小さいので、加圧気体の圧力が基準体7の気体導出側に強くかかっても、基準体7の容積が大きい場合に比べると、気体の温度は少しずつしか上昇しないといった利点があるが、その反面、配設される被検査体5と、配設される基準体7の容積とが異なると、その容積の違いにより、被検査体5側と基準体7側との差圧の検出に影響がある。   That is, the gas leak inspection using the gas leak inspection apparatus 1 of the second embodiment is performed so that the volume of the reference body 7 to be disposed is markedly smaller than the object 5 to be disposed. The gas leakage inspection operation of the inspection body 5 is preferably performed. In such a case, since the volume of the reference body 7 is small, the pressure of the pressurized gas is on the gas outlet side of the reference body 7. Even if it is strongly applied, there is an advantage that the temperature of the gas only rises little by little compared with the case where the volume of the reference body 7 is large, but on the other hand, it is provided with the object 5 to be inspected. If the volume of the reference body 7 is different, the difference in volume affects the detection of the differential pressure between the inspected object 5 side and the reference body 7 side.

そこで、例えば、予め実験等によって、気体漏れがあることが始めから分かっている被検査体5を用いる等して、被検査体5に漏れが生じている場合には被検査体5と基準体7との差圧がどのように検出されるかといったデータを基準体7の容積と被検査体5の容積に対応させて様々に求め、それらの相関関係をとっておき、その相関関係データと被検査体5および基準体7の容積のデータとに基づいて差圧検出のプログラムを変える等して被検査体5側と基準体7側との差圧を検出し、気体漏れ検査動作を行うようにする。   Therefore, for example, when the inspected object 5 is leaked by using an inspected object 5 that has been known from the beginning by an experiment or the like, the inspected object 5 and the reference object are used. The data such as how the differential pressure with respect to 7 is detected is variously determined in correspondence with the volume of the reference body 7 and the volume of the object 5 to be inspected, the correlation between them is taken, the correlation data and the object to be inspected The differential pressure detection program is changed based on the volume data of the body 5 and the reference body 7 to detect the differential pressure between the inspected object 5 side and the reference body 7 side, and the gas leakage inspection operation is performed. To do.

なお、図10には、第2実施例において検出される差圧検出時(DET)およびその前後の差圧値のイメージ図が示されており、この図において、例えば、特性線aは差圧が判定閾値を超えているので気体漏れがあると判断され、特性線bの場合には差圧が判定閾値未満であるので気体漏れはないと判断される。   FIG. 10 shows an image diagram of the differential pressure value (DET) detected in the second embodiment and the differential pressure value before and after that. In this figure, for example, the characteristic line a indicates the differential pressure. Since it exceeds the determination threshold, it is determined that there is a gas leak. In the case of the characteristic line b, it is determined that there is no gas leak because the differential pressure is less than the determination threshold.

また、第2実施例において、小容器の基準体7を設ける代わりに、図12に示されるように、基準体側導入通路8に設けられた手動開閉弁37と通路連通制御弁32との間の通路(図の破線枠M内の通路部分)を基準体として機能するようにしてもよい。このようにする場合も、前記第2実施例と同様の効果を奏することができる。   Further, in the second embodiment, instead of providing the small container reference body 7, as shown in FIG. 12, between the manual opening / closing valve 37 provided in the reference body side introduction passage 8 and the passage communication control valve 32. The passage (passage portion in the broken line frame M in the figure) may function as a reference body. Also in this case, the same effect as the second embodiment can be obtained.

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものでなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において様々な態様を採り得る。例えば、前記各実施例では、プリプロセス開始操作手段は、第1のプリプロセス開始操作手段と第2のプリプロセス開始操作手段を個別に備える態様としたが、第1と第2のプリプロセス動作の開始のためのプリプロセス開始操作手段は一つの操作手段としてもよい。   In addition, this invention is not limited to the said Example, A various aspect can be taken in the range which does not deviate from the technical scope of this invention. For example, in each of the above-described embodiments, the preprocess start operation unit includes the first preprocess start operation unit and the second preprocess start operation unit, but the first and second preprocess operations The preprocess start operation means for starting the process may be a single operation means.

この場合、例えば図2、図7の破線に示されるように、プリプロセス動作実行手段28によって第1のプリプロセス動作のみを行うか第2のプリプロセス動作のみを行うか第1と第2の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部40を設け、動作選択操作部40により選択操作された動作を、プリプロセス開始操作手段の操作が行われたときにプリプロセス動作実行手段28により実行するようにしてもよい。また、この場合は、例えば前記各実施例におけるスタートBスイッチ23は省略し、一つのスイッチが操作された後に、第1と第2のプリプロセス動作を自動的に適宜行うようにしてもよい。 In this case, for example, as shown by the broken lines in FIGS. 2 and 7, whether the preprocess operation execution means 28 performs only the first preprocess operation or only the second preprocess operation. An operation selection operation unit 40 is provided for selecting whether to perform both preprocess operations, and the operation selected by the operation selection operation unit 40 is preprocessed when the preprocess start operation means is operated. It may be executed by the execution means 28. In this case, for example, the start B switch 23 in each of the above embodiments may be omitted, and the first and second preprocess operations may be automatically performed appropriately after one switch is operated.

また、図2、図7の破線に示されるように、配設される基準体の容積と、配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段41と、容積検出手段41が検出した結果に基づいてプリプロセス動作実行手段28によるプリプロセス動作を決定する実行動作判断手段42とを設けてもよい。なお、これらの容積検出手段41と実行動作判断手段42は制御装置21内に設けてもよいし、制御装置21とは別に設けて制御装置21と信号接続されるようにしてもよい。   2 and 7, the volume detection means 41 for detecting the volume of the reference body to be arranged, the volume of the object to be inspected, and the volume detection means 41 have detected. An execution operation determination unit 42 that determines the preprocess operation by the preprocess operation execution unit 28 based on the result may be provided. The volume detection means 41 and the execution operation determination means 42 may be provided in the control device 21 or may be provided separately from the control device 21 and connected to the control device 21 in a signal manner.

このようにする場合、容積検出手段41が検出した結果を実行動作判断手段42に加え、実行動作判断手段42が、容積検出手段41によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づき、プリプロセス動作実行手段28により行うプリプロセス動作を第1のプリプロセス動作のみとするか第2のプリプロセス動作のみとするか第1と第2の両方のプリプロセス動作とするかを判断するようにする。   In this case, the result detected by the volume detection unit 41 is added to the execution operation determination unit 42, and the execution operation determination unit 42 detects the volume of the reference body and the volume of the inspection object detected by the volume detection unit 41. Whether the preprocess operation performed by the preprocess operation execution means 28 is only the first preprocess operation or only the second preprocess operation based on the predetermined preprocess operation execution reference information. It is determined whether or not both of the two preprocessing operations are to be performed.

そして、実行動作判断手段42による判断結果をプリプロセス動作実行手段28に加え、例えば被検査体5の容積が大きいときには第1のプリプロセス動作と第2のプリプロセス動作の両方を行い、被検査体5の容積が小さいときには第1のプリプロセス動作のみを行うようにする等、プリプロセス動作実行手段28が行うプリプロセス動作を決定してプリプロセス動作実行手段28により実行する構成としてもよい。この場合も、例えば前記各実施例におけるスタートBスイッチ23は省略し、一つのスイッチが操作された後に、第1と第2のプリプロセス動作を自動的に適宜行うようにしてもよい。   Then, the determination result by the execution operation determination unit 42 is added to the preprocess operation execution unit 28. For example, when the volume of the inspection object 5 is large, both the first preprocess operation and the second preprocess operation are performed. For example, when the volume of the body 5 is small, only the first preprocess operation may be performed, and the preprocess operation performed by the preprocess operation execution unit 28 may be determined and executed by the preprocess operation execution unit 28. Also in this case, for example, the start B switch 23 in each of the above embodiments may be omitted, and the first and second preprocessing operations may be automatically performed appropriately after one switch is operated.

さらに、前記第2実施例では、通路連通制御弁32として電動ボールバルブを用いたが、通路連通制御弁32は電動ボールバルブに限定されるものではなく適宜設定されるものである。なお、通路連通制御弁32は、開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁であることが望ましく、このような弁として、電動ボールバルブの代わりにモータスライドバルブ等を適用することもできる。   Furthermore, in the second embodiment, an electric ball valve is used as the passage communication control valve 32. However, the passage communication control valve 32 is not limited to the electric ball valve and is appropriately set. The passage communication control valve 32 is desirably a valve that has a slow opening / closing operation and that causes little or no pressure fluctuation during the opening / closing operation. As such a valve, a motor slide valve or the like can be used instead of an electric ball valve. Can also be applied.

さらに、前記各実施例で設けたウォーミングアップ運転実行手段24は省略することもできる。   Further, the warm-up operation execution means 24 provided in each of the embodiments can be omitted.

本発明は、圧縮気体の吸気排気に伴う熱の影響を受け難く、被検査体の気体漏れ検査を正確に行うことができる気体漏れ検査装置であるので、熱交換器や貯湯タンク等の気体漏れを検査する装置として利用できる。   Since the present invention is a gas leakage inspection device that is not easily affected by the heat associated with intake and exhaust of compressed gas and can accurately perform a gas leakage inspection of an object to be inspected, the gas leakage of a heat exchanger, a hot water storage tank, etc. It can be used as a device for inspecting.

1 気体漏れ検査装置
2 加圧気体の導入口
3 加圧気体の導入用通路
4 分岐部
5 被検査体
6 被検査体側導入通路
7 基準体
8 基準体側導入通路
9,10,11 気体導入制御弁
12 差圧検出部
13 試験圧設定手段
14 導入経路切替弁
17 バイパス通路
18,18a,18b 気体排出通路
19 19a,19b 気体排出制御弁
21 制御装置
22 スタートAスイッチ
23 スタートBスイッチ
24 ウォーミングアップ運転実行手段
25 気体漏れ検査実行手段
26 気体漏れ検出部
27 圧力調整手段
28 プリプロセス動作実行手段
29 弁制御手段
32 通路連通制御弁
34 出口
35 低圧ガバナ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Gas leak test | inspection apparatus 2 Introduction port of pressurized gas 3 Passage for introduction of pressurized gas 4 Branch part 5 Inspected object 6 Inspected object side introducing passage 7 Reference body 8 Reference object side introducing passage 9, 10, 11 Gas introduction control valve 12 differential pressure detector 13 test pressure setting means 14 introduction path switching valve 17 bypass path 18, 18a, 18b gas discharge path 19 19a, 19b gas discharge control valve 21 control device 22 start A switch 23 start B switch 24 warming-up operation execution means 25 Gas leak inspection execution means 26 Gas leak detection unit 27 Pressure adjustment means 28 Pre-process operation execution means 29 Valve control means 32 Passage communication control valve 34 Outlet 35 Low pressure governor

Claims (5)

中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であって、前記被検査体に導入された加圧気体の圧力と前記被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて前記被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第1のプリプロセス動作を行う手段と、前記基準体と前記被検査体の両方に加圧気体を通す第2のプリプロセス動作を行う手段とのうちの少なくとも第1のプリプロセス動作を行う手段を有して少なくとも第1のプリプロセス動作を行うことを可能とするプリプロセス動作実行手段と、該プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段を有することを特徴とする気体漏れ検装置。 A gas leakage inspection apparatus for performing a gas leakage inspection of an object to be inspected having a hollow portion, wherein the pressure of the pressurized gas introduced into the object to be inspected and a hollow portion that serves as a reference for the gas leakage inspection of the object to be inspected Before starting the gas leak test for detecting the gas leak of the object to be inspected based on the pressure difference with the pressure of the pressurized gas introduced into the reference body having the first, pass the pressurized gas only to the reference body side means for performing a preprocessing operation, means for performing at least a first pre-process operation of a means for performing a second pre-process operation through the pressurized gas to both the test subject side and the reference body-side And a preprocess operation executing means for enabling at least a first preprocess operation, and a preprocess start operation means for starting a preprocess operation by the preprocess operation executing means. Gas leakage inspection apparatus that. プリプロセス動作実行手段は第1のプリプロセス動作を行う手段と第2のプリプロセス動作を行う手段とを有し、プリプロセス開始操作手段は、プリプロセス動作実行手段による第1のプリプロセス動作を開始させるための第1のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第2のプリプロセス動作を開始させるための第2のプリプロセス開始操作手段を個別に備えていることを特徴とする請求項1記載の気体漏れ検装置。 The preprocess operation execution means includes a first preprocess operation means and a second preprocess operation means. The preprocess start operation means performs the first preprocess operation by the preprocess operation execution means. A first preprocess start operation means for starting and a second preprocess start operation means for starting a second preprocess operation by the preprocess operation execution means are separately provided. gas leakage inspection apparatus according to claim 1. プリプロセス動作実行手段によって第1のプリプロセス動作のみを行うか第2のプリプロセス動作のみを行うか第1と第2の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部が設けられており、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行することを特徴とする請求項1記載の気体漏れ検装置。 An operation selection operation unit for selecting whether to perform only the first preprocess operation, only the second preprocess operation, or both the first and second preprocess operations by the preprocess operation executing means. provided, gas leakage inspection apparatus according to claim 1, wherein performing the operation selected by said operating selection operating part by the preprocess operation execution means. 配設される基準体の容積と、配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づきプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第1のプリプロセス動作のみとするか第2のプリプロセス動作のみとするか第1と第2の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを有し、該実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定する構成としたことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3に記載の気体漏れ検装置。 The volume of the reference body to be disposed, the volume detection means for detecting the volume of the inspection object to be disposed, and the volume of the reference body and the volume of the inspection object to be detected detected by the volume detection means are predetermined. Whether the preprocess operation performed by the preprocess operation execution means is only the first preprocess operation or only the second preprocess operation based on the preprocess operation execution reference information. An execution operation determination unit that determines whether to perform a process operation, and the preprocess operation performed by the preprocess operation execution unit is determined based on the determination of the execution operation determination unit. gas leakage inspection apparatus according to 1 or claim 2 or claim 3. 基準体側と被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を有し、該圧力可変手段を制御することによってプリプロセス動作時に行われる第1と第2の対応するプリプロセス動作に応じて前記基準体側と前記被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整する圧力調整手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の気体漏れ検装置。 First and second pressure sensors that are capable of changing the pressure of gas selectively introduced into at least one of the reference body side and the inspected body side, and that are performed during pre-process operation by controlling the pressure variable means. The pressure of the gas selectively introduced into at least one of the reference body side and the inspected object side in accordance with the corresponding pre-process operation of the gas is introduced into the reference body side and the inspected object side during the gas leak test. gas leakage inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a pressure adjusting means for adjusting smaller than.
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