JP6471888B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
2 主回路基板
3 補強板
4 中継回路基板
5 第1ガイド板
6 第2ガイド板
7 プローブ
8 ホルダー
9,49,52,53 ワイヤロープ
10 調節手段
12 電極
13 第1ガイド孔
14 第2ガイド孔
20 土台
22 調節ネジ
23 キャップ
24 レバー
42 接続ピン
43 接続ピン用ガイド板
44 ガイド孔
Claims (8)
- 第1の板状体と、
前記第1の板状体と間隔を空けて配置され、前記第1の板状体に固定されたホルダーによって周囲が保持された第2の板状体と、
前記第1の板状体と前記第2の板状体との間に配置され、前記第2の板状体に対して、前記第1の板状体から離れる方向に弾性力を作用させるバネ部材とを備え、
前記第1の板状体に少なくとも一端が固定されたワイヤロープを用いて、前記第2の板状体を支持することを特徴とするプローブカード。 - 前記第1の板状体に第1貫通孔を設け、前記第2の板状体に第2貫通孔を設けて、前記
ワイヤロープを前記第1貫通孔および前記第2貫通孔に挿入して、前記第2の板状体を支
持することを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 前記ワイヤロープを1つの前記第1貫通孔および1つの前記第2貫通孔に挿入し、略I
字状に配置して、前記第2の板状体を支持することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。 - 前記ワイヤロープを2つの前記第1貫通孔および2つの前記第2貫通孔に挿入し、略U
字状に配置して、前記第2の板状体を支持することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。 - 前記第1の板状体と前記第2の板状体の間に、第3貫通孔が形成された少なくとも1つ
の第3の板状体を配置し、前記第3貫通孔に前記ワイヤロープを挿入することを特徴とす
る請求項2〜4のいずれか1項に記載のプローブカード。 - 前記第2の板状体とは反対側の前記第1の板状体の表面に設けられた少なくとも1つの
調節手段によって、前記ワイヤロープの少なくとも一端が固定されて前記ワイヤロープの
張力が調節可能であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載のプローブカード。 - 前記調節手段は、前記第1の板状体の表面に固定された土台、前記土台とネジ係合させ
る調節ネジ、前記調節ネジの上端に取り付けられるキャップ、および、前記調節ネジを回
転させるためのレバーから構成され、前記レバーを用いて前記調節ネジを回転させること
によって、前記ワイヤロープの張力を調節することが可能であることを特徴とする請求項
6に記載のプローブカード。 - 前記ワイヤロープの径が、30〜200μmであることを特徴とする請求項1〜7のい
ずれか1項に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014179674A JP6471888B2 (ja) | 2014-09-03 | 2014-09-03 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016053529A JP2016053529A (ja) | 2016-04-14 |
JP6471888B2 true JP6471888B2 (ja) | 2019-02-20 |
Family
ID=55745205
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (4)
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-
2014
- 2014-09-03 JP JP2014179674A patent/JP6471888B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016053529A (ja) | 2016-04-14 |
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