JP6466690B2 - Multilayer capacitor - Google Patents

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Description

本発明は、高周波領域での等価直列インダクタンス(ESL)を低減した、ノイズフィルタ等に用いられる積層型コンデンサに関するものである。   The present invention relates to a multilayer capacitor used for a noise filter or the like with reduced equivalent series inductance (ESL) in a high frequency region.

近年、情報処理機器または通信機器等はデジタル化されており、これらの機器は情報処理能力の高速化に伴って取り扱われるデジタル信号の高周波数化が進んでいる。したがって、これらの機器は、発生するノイズも同様に高周波数領域で増大する傾向にあり、ノイズ対策のために、例えば、積層型コンデンサ等の電子部品が使用されている。このような積層型コンデンサは、例えば、特許文献1に開示されているものがある。   In recent years, information processing devices, communication devices, and the like have been digitized, and the frequency of digital signals handled by these devices has been increasing with the increase in information processing capability. Therefore, in these devices, the generated noise tends to increase in the high frequency region as well, and for example, electronic components such as multilayer capacitors are used for noise countermeasures. An example of such a multilayer capacitor is disclosed in Patent Document 1.

特開2005−44871号公報JP 2005-44871 A

このように、積層型コンデンサは、例えば、CPU等のLSIの電源回路等において、電源ラインまたは他のデバイスからLSIにノイズが入り込むことを抑制するために、または、LSIの誤動作等を抑制するために用いられている。   As described above, the multilayer capacitor is used, for example, to suppress noise from entering the LSI from the power supply line or other devices in an LSI power circuit such as a CPU, or to prevent malfunction of the LSI. It is used for.

しかしながら、情報処理機器または通信機器等は、高周波数化の傾向がさらに増加しつつあり、積層型コンデンサは、高周波数領域でのノイズ、例えば、信号ラインまたは電源ライン等の高周波数域のノイズを低減するために、ESLをさらに低減しなければならない。   However, the trend toward higher frequencies is increasing in information processing equipment or communication equipment, and multilayer capacitors are subject to noise in high frequency areas, for example, noise in high frequency areas such as signal lines or power supply lines. In order to reduce, ESL must be further reduced.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ESLを低くすることができる積層型コンデンサを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a multilayer capacitor capable of reducing ESL.

本発明の積層型コンデンサは、複数の誘電体層が積層されて、互いに対向する第1およ
び第2の主面と前記第1および第2の主面間を連結する、互いに対向する第1および第2の端面と前記第1および第2の端面間を連結する、互いに対向する第1および第2の側面とを有する略直方体状積層体と、前記積層体内の前記複数の誘電体層の積層方向に間隔をおいて配置されており、前記第1の端面および前記第2の端面の少なくとも一方に引き出された複数の信号用内部電極と、積層方向に配置された前記信号用内部電極の間に配置されており、前記積層体内の同一平面内で間隔を介して互いに対向するとともに、前記第1の側面および前記第2の側面への引出部を有する第1の接地用内部電極および第2の接地用内部電極を含む一対の接地用内部電極と、前記第1の側面および前記第2の側面に配置されており、前記接地用内部電極に電気的に接続された接地用外部端子と、
前記第1の端面および前記第2の端面にそれぞれ配置されており、前記信号用内部電極に電気的に接続された一対の外部電極とを備えており、前記信号用内部電極は、対向する前記第1の接地用内部電極の端部と前記第2の接地用電極の端部との間の領域に対応する部分が前記第1の主面から前記第2の主面の方向に向かって凹んでおり、前記一対の接地用内部電極は、対向するそれぞれの前記端部が前記第2の主面側に位置する前記信号用内部電極に近づくように前記第2の主面に向かって傾いていることを特徴とするものである。
In the multilayer capacitor of the present invention, a plurality of dielectric layers are stacked to connect the first and second main surfaces facing each other and the first and second main surfaces facing each other. a second end surface connecting between said first and second end surfaces, and a substantially rectangular parallelepiped laminate having a first and second side surfaces facing each other, of the plurality of dielectric layers of the laminate A plurality of signal internal electrodes arranged at intervals in the stacking direction and drawn out to at least one of the first end surface and the second end surface; and the signal internal electrodes disposed in the stacking direction. A first grounding internal electrode and a first grounding electrode , which are disposed between each other and oppose each other with a gap in the same plane in the laminate, and have lead portions to the first side surface and the second side surface; a pair of ground including 2 ground internal electrodes And the internal electrode, the first side and the second being located on the side, the external terminal said electrically connected to the internal electrode for grounding the ground,
It said first end face and are arranged on the second end face is provided with a pair of external electrodes electrically connected to the internal electrode the signal, internal electrode the signal is opposed A portion corresponding to a region between the end portion of the first grounding internal electrode and the end portion of the second grounding electrode is directed from the first main surface toward the second main surface. is concave, the pair of grounding inner electrode, toward the front Stories second main surface so as to approach the inner electrode the signal that each of said end portions positioned on the second main surface side facing It is characterized by being inclined.

本発明の積層型コンデンサによれば、対向する接地用内部電極の端部を信号用内部電極に近づかせることによってESLを低くすることができる。   According to the multilayer capacitor of the present invention, the ESL can be lowered by bringing the end of the opposing grounding internal electrode closer to the signal internal electrode.

実施の形態に係る積層型コンデンサを示す概略の斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a multilayer capacitor according to an embodiment. (a)は、図1に示す積層型コンデンサのA−A線で切断した断面図であり、(b)は、図1に示す積層型コンデンサの他の例のA−A線で切断した断面図である。(A) is sectional drawing cut | disconnected by the AA line of the multilayer capacitor | condenser shown in FIG. 1, (b) is the cross section cut | disconnected by the AA line | wire of the other example of the multilayer capacitor | condenser shown in FIG. FIG. 図1に示す積層型コンデンサの概略の分解斜視図である。FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of the multilayer capacitor shown in FIG. 1. (a)は、図2(a)に示す積層型コンデンサの要部Bの拡大図であり、(b)は、信号用内部電極および接地用内部電極の配設状態を説明するための説明図である。FIG. 2A is an enlarged view of a main part B of the multilayer capacitor shown in FIG. 2A, and FIG. 2B is an explanatory diagram for explaining an arrangement state of a signal internal electrode and a ground internal electrode. It is. 図1に示す積層型コンデンサの他の例の信号用内部電極および接地用内部電極の配設状態を説明するための説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining an arrangement state of signal internal electrodes and ground internal electrodes in another example of the multilayer capacitor shown in FIG. 1. 図1に示す積層型コンデンサの他の例の概略の分解斜視図である。FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of another example of the multilayer capacitor shown in FIG. 1.

<実施の形態1>
以下、本発明の実施の形態1に係る積層型コンデンサ10について図面を参照しながら説明する。
<Embodiment 1>
The multilayer capacitor 10 according to Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態に係る積層型コンデンサ10を示す概略の斜視図であり、図2(a)は図1に示している積層型コンデンサ10のA−A線で切断した断面図である。また、積層型コンデンサ10は、いずれの方向が上方もしくは下方とされてもよいものであるが、便宜的に、直交座標系XYZを定義するとともに、Z方向の正側を上方として、上面もしくは下面の用語を用いるものとする。   FIG. 1 is a schematic perspective view showing a multilayer capacitor 10 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a cross section of the multilayer capacitor 10 shown in FIG. FIG. The multilayer capacitor 10 may have either direction upward or downward. For convenience, the multilayer capacitor 10 defines an orthogonal coordinate system XYZ, and the upper side or the lower side with the positive side in the Z direction as the upper side. The following terms shall be used.

積層型コンデンサ10は、図1乃至図4に示すように、積層体1と、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3(第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3b)と、接地用外部端子4と、一対の外部電極5(第1の外部電極5aと第2の外部電極5b)とを備えている。   As shown in FIGS. 1 to 4, the multilayer capacitor 10 includes a multilayer body 1, a signal internal electrode 2, a pair of ground internal electrodes 3 (a first ground internal electrode 3a and a second ground ground electrode). An internal electrode 3b), a grounding external terminal 4, and a pair of external electrodes 5 (a first external electrode 5a and a second external electrode 5b) are provided.

積層体1は、複数の誘電体層1gが積層されて略直方体状に形成されており、互いに対向する第1および第2の主面1a、1bと互いに対向する第1および第2の端面1c、1dと互いに対向する第1および第2の側面1e、1fとを有している。そして、互いに対向する第1および第2の端面1c、1dは、第1および第2の主面1a、1b間を連結しており、また、互いに対向する第1および第2の側面1e、1fは、第1および第2の主面1a、1b間および第1および第2の端面1c、1d間を連結している。なお、略直方体状とは、立方体形状または直方体形状のみならず、例えば、立方体または直方体の稜線部分に面取りが施されて稜部がR形状となるものを含んでいる。   The multilayer body 1 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape by laminating a plurality of dielectric layers 1g, and the first and second end faces 1c facing each other with the first and second main faces 1a and 1b facing each other. 1d and first and second side surfaces 1e and 1f facing each other. The first and second end faces 1c, 1d facing each other connect the first and second main faces 1a, 1b, and the first and second side faces 1e, 1f facing each other. Connects the first and second main faces 1a, 1b and the first and second end faces 1c, 1d. The substantially rectangular parallelepiped shape includes not only a cubic shape or a rectangular parallelepiped shape, but also includes, for example, a shape in which a ridge line portion of a cube or a rectangular parallelepiped is chamfered so that a ridge portion has an R shape.

積層体1は、誘電体層1gとなるセラミックグリーンシートを複数枚積層して焼成することで得られる焼結体である。このように、積層体1は、略直方体状に形成されており、互いに対向する第1の主面1aおよび第2の主面1bと、第1の主面1aおよび第2の主面1bに直交しており、互いに対向する第1の端面1cおよび第2の端面1dと、第1の端面1cおよび第2の端面1dに直交しており、互いに対向する第1の側面1eおよび第2の側面1fとを有している。また、積層体1は、誘電体層1gの積層方向(Z方向)に対して、直交する方向の断面(XY面)となる平面が長方形状となっている。また、積層型コンデンサ10は、積層体1の各稜線部が丸みを有していてもよい。   The laminated body 1 is a sintered body obtained by laminating and firing a plurality of ceramic green sheets to be the dielectric layer 1g. Thus, the laminated body 1 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and is formed on the first main surface 1a and the second main surface 1b, the first main surface 1a, and the second main surface 1b facing each other. The first end face 1c and the second end face 1d that are orthogonal to each other, and the first side face 1e and the second end face 1d that are orthogonal to the first end face 1c and the second end face 1d and that are opposite to each other. Side surface 1f. Moreover, the laminated body 1 has a rectangular plane that is a cross section (XY plane) in a direction orthogonal to the laminating direction (Z direction) of the dielectric layer 1g. In the multilayer capacitor 10, each ridge line portion of the multilayer body 1 may be rounded.

このような構成の積層型コンデンサ10の寸法は、長手方向(Y方向)の長さが、例えば、0.6(mm)〜2.2(mm)、短手方向(X方向)の長さが、例えば、0.3(mm)〜1.5(mm)、高さ方向(Z方向)の長さが、例えば、0.3(mm)〜1.
2(mm)である。
The dimension of the multilayer capacitor 10 having such a configuration is such that the length in the longitudinal direction (Y direction) is, for example, 0.6 (mm) to 2.2 (mm), and the length in the short direction (X direction). However, the length in the height direction (Z direction) is, for example, 0.3 (mm) to 1.5 (mm).
2 (mm).

誘電体層1gは、平面視において長方形状であり、1層当たりの厚みが、例えば、0.5(μm)〜3.0(μm)である。積層体1は、例えば、10(層)〜1000(層)からなる複数の誘電体層1gがZ方向に積層されている。   The dielectric layer 1g has a rectangular shape in a plan view, and the thickness per layer is, for example, 0.5 (μm) to 3.0 (μm). In the laminated body 1, for example, a plurality of dielectric layers 1g composed of 10 (layers) to 1000 (layers) are laminated in the Z direction.

誘電体層1gは、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)、チタン酸カルシウム(CaTiO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)またはジルコン酸カルシウム(CaZrO)等である。また、誘電体層1gは、高い誘電率の点から、特に、誘電率の高い強誘電体材料としてチタン酸バリウムを用いることが好ましい。 The dielectric layer 1g is, for example, barium titanate (BaTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), or calcium zirconate (CaZrO 3 ). The dielectric layer 1g is preferably made of barium titanate as a ferroelectric material having a high dielectric constant from the viewpoint of a high dielectric constant.

複数の信号用内部電極2は、積層体1内に形成されており、積層方向からの平面視において長方形状であり、また、積層体1内の複数の誘電体層1gの積層方向に間隔をおいて配置されており、第1の端面1cおよび第2の端面1dの少なくとも一方の端面に引き出されている。   The plurality of signal internal electrodes 2 are formed in the multilayer body 1 and have a rectangular shape in plan view from the stacking direction, and are spaced in the stacking direction of the plurality of dielectric layers 1g in the stack body 1. And is drawn out to at least one end face of the first end face 1c and the second end face 1d.

また、信号用内部電極2は、図2(a)および図3では、Y方向の両端部が第1の端面1cおよび第2の端面1dに露出するように、第1の端面1cおよび第2の端面1dにそれぞれ引き出されている。すなわち、信号用内部電極4は、X方向の端部が第1の側面1eおよび第2の側面1fに対して内側に位置するように設けられており、Y方向の端部が第1の端面1cおよび第2の端面1dのそれぞれに露出するようにY方向に延びて積層体1内に配置されている。すなわち、信号用内部電極2は、第1の端面1cおよび第2の端面1dに露出するとともに、第1の側面1eおよび第2の側面1fに露出しないように設けられている。また、積層体1内の信号用内部電極2の積層数は、積層型コンデンサ10の特性等に応じて適宜設計される。   2A and 3, the signal internal electrode 2 includes the first end face 1c and the second end face so that both end portions in the Y direction are exposed to the first end face 1c and the second end face 1d. Are respectively drawn out to the end face 1d. That is, the signal internal electrode 4 is provided such that the end portion in the X direction is located inside the first side surface 1e and the second side surface 1f, and the end portion in the Y direction is the first end surface. It extends in the Y direction so as to be exposed at each of 1c and second end face 1d, and is arranged in laminate 1. That is, the signal internal electrode 2 is provided so as to be exposed to the first end face 1c and the second end face 1d and not to be exposed to the first side face 1e and the second side face 1f. The number of signal internal electrodes 2 in the multilayer body 1 is appropriately designed according to the characteristics of the multilayer capacitor 10.

このように、複数の信号用内部電極2は、積層体1内の複数の誘電体層1gの積層方向に所定間隔をおいて配置されており、積層体1の第1の主面1aおよび第2の主面1bに略平行となるようにそれぞれ設けられている。そして、積層型コンデンサ10において、信号用内部電極2は、図2(a)に示すように、誘電体層1g間に配置されて、一方の端部が第1の端面1cに引き出されており、他方の端部が第1の端面1cに対向する第2の端面1dに引き出されている。   As described above, the plurality of signal internal electrodes 2 are arranged at predetermined intervals in the stacking direction of the plurality of dielectric layers 1g in the stacked body 1, and the first main surface 1a and the first main surface 1a of the stacked body 1 are arranged. 2 are provided so as to be substantially parallel to the main surface 1b. In the multilayer capacitor 10, the signal internal electrode 2 is disposed between the dielectric layers 1g as shown in FIG. 2 (a), and one end thereof is drawn out to the first end face 1c. The other end is drawn out to the second end face 1d facing the first end face 1c.

信号用内部電極2の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料、あるいは、これらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料である。また、信号用内部電極2は、電極の厚みが、例えば、0.5(μm)〜2(μm)であり、用途に応じて厚みを適宜設定すればよい。   The conductive material of the signal internal electrode 2 is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), or gold (Au), or one or more of these metal materials For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy. Further, the signal internal electrode 2 has an electrode thickness of, for example, 0.5 (μm) to 2 (μm), and the thickness may be appropriately set according to the application.

一対の接地用内部電極3は、図2(a)に示すように、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとからなり、積層方向において信号用内部電極2の間に配置されており、信号用内部電極2に略平行となるように対向するとともに、積層体1内の同一平面内に所定間隔を介して互いに対向して配置されている。第1の接地用内部電極3aは、第1の側面1eへの引出部3a1と第2の側面1fへの引出部3a2とを有しており、また、第2の接地用内部電極3bは、第1の側面1eへの引出部3b1と第2の側面1fへの引出部3b2とを有している。なお、一対の接地用内部電極3は、図4に示すように、第1の接地用内部電極3aの端部3aaが角部3abと両側の角部3abの間に位置する辺部3acとからなり、第2の接地用内部電極3bの端部3baが角部3bbと両側の角部3bbの間に位置する辺部3bcとからなる。   As shown in FIG. 2A, the pair of grounding internal electrodes 3 is composed of a first grounding internal electrode 3a and a second grounding internal electrode 3b, and between the signal internal electrodes 2 in the stacking direction. Are disposed so as to be substantially parallel to the signal internal electrode 2 and are disposed to face each other at a predetermined interval in the same plane in the laminate 1. The first grounding internal electrode 3a has a lead-out part 3a1 to the first side face 1e and a lead-out part 3a2 to the second side face 1f, and the second grounding internal electrode 3b It has a lead-out part 3b1 to the first side face 1e and a lead-out part 3b2 to the second side face 1f. As shown in FIG. 4, the pair of grounding internal electrodes 3 includes an end portion 3aa of the first grounding internal electrode 3a from a side portion 3ac located between the corner portion 3ab and the corner portions 3ab on both sides. Thus, the end portion 3ba of the second grounding internal electrode 3b is composed of the corner portion 3bb and the side portion 3bc located between the corner portions 3bb on both sides.

このように、一対の接地用内部電極3は、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとが一対となって、積層体1内の積層方向に対して直交する方向の同一平面内に所定間隔で互いに対向して配置されている。なお、同一平面内とは、同一の誘電体層1g間にあることをいう。   As described above, the pair of grounding internal electrodes 3 is a direction orthogonal to the stacking direction in the stacked body 1, in which the first grounding internal electrode 3 a and the second grounding internal electrode 3 b form a pair. Are arranged opposite to each other at a predetermined interval in the same plane. The term “in the same plane” means that it is between the same dielectric layers 1g.

第1の接地用内部電極3aは、図3に示すように、積層方向から平面視して四角形状の主電極部を有しており、引出部3a1が四角形状の主電極部の第1の側面1e側の辺部から第1の側面1eに延在して設けられており、引出部3a1の端部が第1の側面1eに露出するように第1の側面1eに引き出されている。   As shown in FIG. 3, the first grounding internal electrode 3a has a rectangular main electrode portion in plan view from the stacking direction, and the lead-out portion 3a1 is a first main electrode portion having a rectangular shape. It extends from the side on the side surface 1e side to the first side surface 1e, and is pulled out to the first side surface 1e so that the end of the lead-out portion 3a1 is exposed to the first side surface 1e.

同様に、第1の接地用内部電極3aは、図3に示すように、積層方向から平面視して四角形状の主電極部を有しており、引出部3a2が四角形状の主電極部の第2の側面1f側の辺部から第2の側面1fに延在して設けられており、引出部3a2の端部が第2の側面1fに露出するように第2の側面1fに引き出されている。   Similarly, as shown in FIG. 3, the first grounding internal electrode 3a has a rectangular main electrode portion in plan view from the stacking direction, and the lead-out portion 3a2 is a rectangular main electrode portion. The second side surface 1f is extended from the side of the second side surface 1f to the second side surface 1f, and is pulled out to the second side surface 1f so that the end of the lead-out portion 3a2 is exposed to the second side surface 1f. ing.

また、第2の接地用内部電極3bは、図3に示すように、積層方向から平面視して四角形状の主電極部を有しており、引出部3b1が四角形状の主電極部の第1の側面1e側の辺部から第1の側面1eに延在して設けられており、引出部3b1の端部が第1の側面1eに露出するように第1の側面1eに引き出されている。   Further, as shown in FIG. 3, the second grounding internal electrode 3b has a quadrangular main electrode portion in plan view from the stacking direction, and the lead-out portion 3b1 is the second main electrode portion of the quadrangular main electrode portion. 1 is extended from the side portion on the side surface 1e side to the first side surface 1e, and is pulled out to the first side surface 1e so that the end portion of the lead-out portion 3b1 is exposed to the first side surface 1e. Yes.

同様に、第1の接地用内部電極3bは、図3に示すように、積層方向から平面視して四角形状の主電極部を有しており、引出部3b2が四角形状の主電極部の第2の側面1f側の辺部から第2の側面1fに延在して設けられており、引出部3b2の端部が第2の側面1fに露出するように第2の側面1fに引き出されている。   Similarly, as shown in FIG. 3, the first grounding internal electrode 3b has a rectangular main electrode portion in plan view from the stacking direction, and the lead-out portion 3b2 is a rectangular main electrode portion. The second side 1f is extended from the side of the second side 1f to the second side 1f, and the end of the lead-out part 3b2 is pulled out to the second side 1f so as to be exposed to the second side 1f. ing.

このように、一対の接地用内部電極3は、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとが、間隙を介して互いに対向するように配置されており、同一平面内の中央部の領域に対向部を有している。第1の接地用内部電極3aの引出部3a1および引出部3a2は、図3に示すように、対向部に近接して設けられており、また、第2の接地用内部電極3bの引出部3b1および引出部3b2は、同様に、対向部に近接して設けられている。   In this way, the pair of grounding internal electrodes 3 are arranged such that the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b face each other with a gap therebetween, and are within the same plane. It has an opposing part in the area | region of the center part. As shown in FIG. 3, the lead-out part 3a1 and the lead-out part 3a2 of the first grounding internal electrode 3a are provided close to the opposing part, and the lead-out part 3b1 of the second grounding internal electrode 3b. Similarly, the lead-out part 3b2 is provided close to the facing part.

また、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとは、例えば、20(μm)〜200(μm)の間隔を介して互いに対向して配置されている。   Further, the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b are disposed to face each other with an interval of 20 (μm) to 200 (μm), for example.

また、信号用内部電極2は、図4に示すように、積層方向から平面視して、一対の接地用内部電極3間の領域と重なる部分に凹部2aを有している。すなわち、信号用内部電極2は、図4に示すように、積層方向に直交する方向からみて、一対の接地用内部電極3の端部3aaと端部3baとの間の領域に対応する部分が凹んでおり、幅方向(X方向)にわたって凹部2aを有している。なお、信号用内部電極2の凹部2aは、一対の接地用内部電極3の端部3aaと3baとの間の領域の大きさに応じて形成される。すなわち、凹部2aの幅方向(X方向)の長さおよび深さは、一対の接地用内部電極3の端部3aaと3baとの間の領域の大きさに応じて形成されることになる。   Further, as shown in FIG. 4, the signal internal electrode 2 has a recess 2 a in a portion overlapping with a region between the pair of ground internal electrodes 3 in plan view from the stacking direction. That is, as shown in FIG. 4, the signal internal electrode 2 has a portion corresponding to a region between the end 3 aa and the end 3 ba of the pair of ground internal electrodes 3 when viewed from the direction orthogonal to the stacking direction. It is recessed and has the recessed part 2a over the width direction (X direction). The recess 2a of the signal internal electrode 2 is formed according to the size of the region between the ends 3aa and 3ba of the pair of ground internal electrodes 3. That is, the length and the depth in the width direction (X direction) of the recess 2a are formed according to the size of the region between the end portions 3aa and 3ba of the pair of grounding internal electrodes 3.

接地用内部電極3の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料、あるいは、これらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料である。第1〜第4の接地用電極2a、2b、3a、3bは、同一の金属材料または合金材料によって形成することが好ましい。また、第1の接地用内部電極2および第2の接地用内部電極3は、厚みが、例えば、0.5(μm)〜2(μm)である。また、信号用内部電極2および接地用内部電極3は
、同一の金属材料または合金材料によって形成することが好ましい。
The conductive material of the grounding internal electrode 3 is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), or gold (Au), or one or more of these metal materials For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy. The first to fourth grounding electrodes 2a, 2b, 3a, 3b are preferably formed of the same metal material or alloy material. The first grounding internal electrode 2 and the second grounding internal electrode 3 have a thickness of 0.5 (μm) to 2 (μm), for example. The signal internal electrode 2 and the ground internal electrode 3 are preferably formed of the same metal material or alloy material.

積層型コンデンサ10は、積層体1内において、図2(a)および図3に示すように、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3と、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3とが上から順に交互に配置されており、それぞれの内部電極の層間には誘電体層1gがそれぞれ配置されている。すなわち、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3と、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3とは、積層体1内において誘電体層1gで隔てられかつ互いに対向して配置されており、これらの内部電極間には少なくとも1層の誘電体層1gがそれぞれ挟まれており、これらの内部電極が形成された誘電体層1gが複数枚積層されて積層型コンデンサ10の積層体1が形成される。   As shown in FIG. 2A and FIG. 3, the multilayer capacitor 10 includes a signal internal electrode 2, a pair of ground internal electrodes 3, a signal internal electrode 2, The grounding internal electrodes 3 are alternately disposed in order from the top, and dielectric layers 1g are disposed between the respective internal electrodes. That is, the signal internal electrode 2, the pair of ground internal electrodes 3, the signal internal electrode 2, and the pair of ground internal electrodes 3 are separated from each other by the dielectric layer 1 g in the multilayer body 1 and face each other. And at least one dielectric layer 1g is sandwiched between the internal electrodes, and a plurality of dielectric layers 1g on which these internal electrodes are formed are laminated to form a multilayer capacitor Ten laminated bodies 1 are formed.

また、積層型コンデンサ10は、図2(a)および図3においては、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3と、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極3とが上から順に交互に配置されており、Z方向における最外層(上面側および下面側)がそれぞれ信号用内部電極2となっている。また、積層型コンデンサ10は、図2(a)に示すような積層構成に限定されない。信号用内部電極2および一対の接地用内部電極3のそれぞれの積層数は、積層型コンデンサ10の特性等に応じて適宜設計される。   2A and 3, the multilayer capacitor 10 includes a signal internal electrode 2, a pair of ground internal electrodes 3, a signal internal electrode 2, and a pair of ground internal electrodes 3. Are alternately arranged in order from the top, and the outermost layers (upper surface side and lower surface side) in the Z direction are the signal internal electrodes 2, respectively. Further, the multilayer capacitor 10 is not limited to the multilayer configuration as shown in FIG. The number of layers of the signal internal electrode 2 and the pair of grounding internal electrodes 3 is appropriately designed according to the characteristics of the multilayer capacitor 10 and the like.

また、積層型コンデンサ10Aは、図2(b)に示すように、積層構成として、一対の接地用内部電極3と、信号用内部電極2と、一対の接地用内部電極2と、信号用内部電極2とが上から順に交互に配置され、Z方向における上面側の最外層が一対の接地用内部電極3であり、下面側の最外層が一対の接地用内部電極3であってもよい。このように、積層型コンデンサ10Aは、上面側および下面側の最外層の内部電極に、一対の接地用内部電極2をそれぞれ配置することによって、一対の接地用内部電極3が外部からの電界等を遮るのでシールド効果を向上させることができる。   Further, as shown in FIG. 2B, the multilayer capacitor 10A includes a pair of grounding internal electrodes 3, a signal internal electrode 2, a pair of grounding internal electrodes 2, and a signal internal, as shown in FIG. The electrodes 2 may be alternately arranged in order from the top, the outermost layer on the upper surface side in the Z direction may be a pair of grounding internal electrodes 3, and the outermost layer on the lower surface side may be a pair of grounding internal electrodes 3. As described above, the multilayer capacitor 10A is configured such that the pair of grounding internal electrodes 3 are arranged on the outermost layer internal electrodes on the upper surface side and the lower surface side, respectively, so that the pair of grounding internal electrodes 3 can receive an electric field from the outside. Shielding can be improved so that the shielding effect can be improved.

したがって、積層型コンデンサ10Aは、上面側および下面側の最外層の内部電極が一対の接地用内部電極2(第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3b)で構成されており、一対の接地用内部電極2によってシールド効果が得られ、例えば、入力耐性以上のノイズまたは静電気による放電等の外乱ノイズの影響を効果的に低減することができる。   Therefore, in the multilayer capacitor 10A, the inner electrodes on the outermost layer on the upper surface side and the lower surface side are constituted by a pair of grounding internal electrodes 2 (first grounding internal electrode 3a and second grounding internal electrode 3b). Thus, a shield effect is obtained by the pair of grounding internal electrodes 2, and the influence of disturbance noise such as noise exceeding input tolerance or discharge due to static electricity can be effectively reduced.

接地用外部端子4は、第1の側面1eおよび第2の側面1fにそれぞれ配置されており、接地用内部電極3に電気的に接続されている。積層型コンデンサ10は、接地用外部端子4が第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dからなり、図1に示すように、積層体1の互いに対向する第1の側面1eおよび第2の側面1fにそれぞれ配置されている。第1の接地用外部端子4aおよび第3の接地用外部端子4cが第1の側面1cにそれぞれ配置されており、第2の接地用外部端子4bおよび第4の接地用外部端子4dが第2の側面1fにそれぞれ配置されている。第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dは、それぞれの端部が積層体1の上面(第1の主面1a)および下面(第2の主面1b)に延在するように設けられている。   The grounding external terminals 4 are disposed on the first side face 1e and the second side face 1f, respectively, and are electrically connected to the grounding internal electrode 3. In the multilayer capacitor 10, the grounding external terminal 4 includes first to fourth grounding external terminals 4 a, 4 b, 4 c, and 4 d, and as shown in FIG. 1e and the second side face 1f, respectively. The first grounding external terminal 4a and the third grounding external terminal 4c are respectively disposed on the first side surface 1c, and the second grounding external terminal 4b and the fourth grounding external terminal 4d are the second. It is arrange | positioned at 1f of each side. The first to fourth grounding external terminals 4a, 4b, 4c, and 4d have respective end portions extending to the upper surface (first main surface 1a) and the lower surface (second main surface 1b) of the laminate 1. It is provided to do.

また、第1の接地用外部端子4aと第2の接地用外部端子4bとが電気的に接続され、また、第3の接地用外部端子4cbと第4の接地用外部端子4dとが電気的に接続されている構成であってもよい。例えば、第1の接地用外部端子4aと第2の接地用外部端子4bとが積層体1の上面(第1の主面1a)または下面(第2の主面1b)の一方で繋がり、第3の接地用外部端子4cbと第4の接地用外部端子4dとが積層体1の上面(第1の主面1a)または下面(第2の主面1b)の一方で繋がっている構成であってもよく、また、接地用外部端子4は、第1の接地用外部端子4aおよび第2の接地用外部端子4bが、また、第3の接地用外部端子4cおよび第4の接地用外部端子4dが積層体1の上面(
第1の主面1a)および下面(第2の主面1b)の両方において繋がっている構成であってもよい。
The first grounding external terminal 4a and the second grounding external terminal 4b are electrically connected, and the third grounding external terminal 4cb and the fourth grounding external terminal 4d are electrically connected. The structure connected to may be sufficient. For example, the first ground external terminal 4a and the second ground external terminal 4b are connected to one of the upper surface (first main surface 1a) or the lower surface (second main surface 1b) of the laminate 1, The third grounding external terminal 4cb and the fourth grounding external terminal 4d are connected to one of the upper surface (first main surface 1a) and the lower surface (second main surface 1b) of the laminate 1. The grounding external terminal 4 may be the first grounding external terminal 4a and the second grounding external terminal 4b, and the third grounding external terminal 4c and the fourth grounding external terminal. 4d is the upper surface of the laminate 1 (
The structure connected in both the 1st main surface 1a) and the lower surface (2nd main surface 1b) may be sufficient.

第1の接地用外部端子4aは、第1の接地用内部電極3aの引出部3a1に接続され、第2の接地用外部端子4bは、第1の接地用内部電極3aの引出部3a2aに接続されている。また、第3の接地用外部端子4cは、第2の接地用内部電極3bの引出部3b1に接続され、第4の接地用外部端子4dは、第2の接地用内部電極3bの引出部3b2に接続されている。   The first grounding external terminal 4a is connected to the lead portion 3a1 of the first grounding internal electrode 3a, and the second grounding external terminal 4b is connected to the lead portion 3a2a of the first grounding internal electrode 3a. Has been. The third grounding external terminal 4c is connected to the lead portion 3b1 of the second grounding internal electrode 3b, and the fourth grounding external terminal 4d is the lead portion 3b2 of the second grounding internal electrode 3b. It is connected to the.

また、第1の接地用外部端子4aは、引出部3a1の第1の側面1eへの露出部を覆うように設けられており、第2の接地用外部端子4bは、引出部3a2の第2の側面1fへの露出部を覆うように設けられている。また、第3の接地用外部端子4cは、引出部3b1の第1の側面1eへの露出部を覆うように設けられており、第4の接地用外部端子4dは、引出部3b2の第2の側面1fへの露出部を覆うように設けられている。   The first grounding external terminal 4a is provided so as to cover the exposed part of the lead part 3a1 to the first side face 1e, and the second grounding external terminal 4b is the second part of the lead part 3a2. It is provided so as to cover the exposed part to the side surface 1f. The third grounding external terminal 4c is provided so as to cover the exposed part of the lead part 3b1 to the first side face 1e, and the fourth grounding external terminal 4d is the second part of the lead part 3b2. It is provided so as to cover the exposed part to the side surface 1f.

そして、接地用外部端子4は、図1に示すように、引出部3a1、3a2、3b1、3b2を覆うように形成されているとともに、積層体1において、第1および第2の側面1e、1fから第1および第2の主面1a、1bの表面にそれぞれ延在して形成されている。   As shown in FIG. 1, the grounding external terminal 4 is formed so as to cover the lead portions 3 a 1, 3 a 2, 3 b 1, 3 b 2, and in the laminated body 1, the first and second side surfaces 1 e, 1 f To the surfaces of the first and second main surfaces 1a and 1b.

具体的には、接地用外部端子4(第1〜第4の接地用外部端子4a〜4d)は、図1に示すように、積層体1の表面(主面および側面)に形成されており、下地電極とめっき層とを含んでおり、めっき層は、下地電極を覆うように下地電極の表面上に形成されている。なお、めっき層は、はんだ接合のために、下地電極を覆うように下地電極の表面上に形成されており、接地用外部端子4をリフロー工法等により容易かつ確実にはんだを介して基板のパッド等に実装するためのものであり、また、下地電極の保護または積層型コンデンサ10の実装性の向上等のためのものである。   Specifically, the grounding external terminals 4 (first to fourth grounding external terminals 4a to 4d) are formed on the surface (main surface and side surfaces) of the laminate 1 as shown in FIG. The base electrode and the plating layer are included, and the plating layer is formed on the surface of the base electrode so as to cover the base electrode. The plating layer is formed on the surface of the base electrode so as to cover the base electrode for solder joining, and the grounding external terminal 4 can be easily and reliably inserted into the pad of the substrate through the reflow method. For the purpose of protecting the base electrode or improving the mountability of the multilayer capacitor 10.

また、積層型コンデンサ10の第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dは、例えば、積層型コンデンサ10が搭載される回路基板(図示せず)上のグランド(接地)用パッドにそれぞれ接続されることになる。   The first to fourth grounding external terminals 4a, 4b, 4c, and 4d of the multilayer capacitor 10 are, for example, for grounding (grounding) on a circuit board (not shown) on which the multilayer capacitor 10 is mounted. It will be connected to each pad.

接地用外部端子4の下地電極の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料、あるいは、これらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料である。   The conductive material of the ground electrode of the grounding external terminal 4 is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd) or gold (Au), or these metal materials For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy.

下地電極は、第1および第2の主面1a、1bにおける厚みが、例えば、4(μm)〜10(μm)であり、第1および第2の側面1e、1fにおける厚みが、例えば、4(μm)〜10(μm)である。   The base electrode has a thickness on the first and second main surfaces 1a and 1b of, for example, 4 (μm) to 10 (μm), and a thickness of the first and second side surfaces 1e and 1f of, for example, 4 (Μm) to 10 (μm).

一対の外部電極5は、互いに対向する第1の外部電極5aと第2の外部電極5bとからなり、第1の端面1cおよび第2の端面1dにそれぞれ配置されている。積層型コンデンサ10は、図2に示すように、第1の外部電極5aが第1の端面1cに設けられ、また、第2の外部電極5bが第1の端面1dに設けられており、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bは信号用内部電極2にそれぞれ接続されている。   The pair of external electrodes 5 includes a first external electrode 5a and a second external electrode 5b facing each other, and are disposed on the first end surface 1c and the second end surface 1d, respectively. As shown in FIG. 2, the multilayer capacitor 10 has a first external electrode 5a provided on the first end face 1c, and a second external electrode 5b provided on the first end face 1d. The first external electrode 5a and the second external electrode 5b are connected to the signal internal electrode 2, respectively.

このように、一対の外部電極5は、第1の外部電極5aと第2の外部電極5bとからなり、第1および第2の端面1c、1dを覆うように形成されており、第1の外部電極5aと第2の外部電極5bとが互いに対向するように配置されている。そして、一対の外部電極5は、図1に示すように、第1および第2の端面1c、1dを覆うように形成されてい
るとともに、積層体1において、第1および第2の端面1c、1dから第1および第2の主面1a、1bの表面にそれぞれ延在して形成されており、また、第1および第2の端面1c、1dから第1および第2の側面1e、1fの表面にそれぞれ延設して形成されている。
As described above, the pair of external electrodes 5 includes the first external electrode 5a and the second external electrode 5b, and is formed so as to cover the first and second end faces 1c and 1d. The external electrode 5a and the second external electrode 5b are arranged so as to face each other. As shown in FIG. 1, the pair of external electrodes 5 are formed so as to cover the first and second end faces 1 c and 1 d, and in the stacked body 1, the first and second end faces 1 c, The first and second main faces 1a and 1b are formed to extend from 1d to the surfaces of the first and second main faces 1a and 1b, respectively, and from the first and second end faces 1c and 1d to the first and second side faces 1e and 1f. Each is formed extending on the surface.

具体的には、一対の外部電極5(第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5b)は、図1に示すように、積層体1の表面(端面、主面および側面)に形成されており、下地電極とめっき層とを含んでおり、めっき層は、下地電極を覆うように下地電極の表面上に形成されている。なお、めっき層は、はんだ接合のために、下地電極を覆うように下地電極の表面上に形成されており、一対の外部電極5をリフロー工法等により容易かつ確実にはんだを介して基板のパッド等に実装するためのものであり、また、下地電極の保護または積層型コンデンサ10の実装性の向上等のためのものである。   Specifically, the pair of external electrodes 5 (first external electrode 5a and second external electrode 5b) are formed on the surface (end surface, main surface and side surface) of the laminate 1 as shown in FIG. And includes a base electrode and a plating layer, and the plating layer is formed on the surface of the base electrode so as to cover the base electrode. Note that the plating layer is formed on the surface of the base electrode so as to cover the base electrode for solder bonding, and the pair of external electrodes 5 are easily and reliably attached to the substrate pad via the solder by a reflow method or the like. For the purpose of protecting the base electrode or improving the mountability of the multilayer capacitor 10.

外部電極5の下地電極の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料、あるいは、これらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料である。また、一対の金属層4gは、同一の金属材料または合金材料によって形成することが好ましい。   The conductive material of the base electrode of the external electrode 5 is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), or gold (Au), or one of these metal materials For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy is included. The pair of metal layers 4g are preferably formed of the same metal material or alloy material.

下地電極は、第1および第2の主面1a、1bにおける厚みが、例えば、4(μm)〜10(μm)であり、第1および第2の端面1c、1dにおける厚みが、例えば、10(μm)〜25(μm)であり、第1および第2の側面1e、1fにおける厚みが、例えば、4(μm)〜10(μm)である。   The base electrode has a thickness on the first and second main surfaces 1a and 1b of, for example, 4 (μm) to 10 (μm), and a thickness on the first and second end surfaces 1c and 1d of, for example, 10 (Μm) to 25 (μm), and the thicknesses of the first and second side surfaces 1e and 1f are, for example, 4 (μm) to 10 (μm).

接地用外部端子4および外部電極5のめっき層は、単一のめっき層から形成されていてもよいが、第1のめっき層と第2のめっき層とを備えていてもよい。第1のめっき層は、下地電極を覆うように形成されており、第2のめっき層は、第1のめっき層を覆うように第1のメッキ層の表面上に形成されている。めっき層は、例えば、ニッケル(Ni)めっき層、銅(Cu)めっき層、金(Au)めっき層またはスズ(Sn)めっき層等の1層または複数層のめっき層で形成されている。第1のめっき層は、厚みが、例えば、5(μm)〜10(μm)であり、第2のめっき層は、厚みが、例えば、3(μm)〜5(μm)である。積層型コンデンサ10において、めっき層は、例えば、第1のめっき層がニッケル(Ni)めっき層であり、第2のめっき層がスズ(Sn)めっき層である。   The plating layers of the grounding external terminal 4 and the external electrode 5 may be formed of a single plating layer, but may include a first plating layer and a second plating layer. The first plating layer is formed so as to cover the base electrode, and the second plating layer is formed on the surface of the first plating layer so as to cover the first plating layer. The plating layer is formed of one or more plating layers such as a nickel (Ni) plating layer, a copper (Cu) plating layer, a gold (Au) plating layer, or a tin (Sn) plating layer. The first plating layer has a thickness of, for example, 5 (μm) to 10 (μm), and the second plating layer has a thickness of, for example, 3 (μm) to 5 (μm). In the multilayer capacitor 10, for example, the first plating layer is a nickel (Ni) plating layer and the second plating layer is a tin (Sn) plating layer.

積層型コンデンサ10は、積層型コンデンサ10が搭載される回路基板(図示せず)上の、例えば、信号ライン用電極または電流ライン用電極等に、信号用内部電極2が接続されることになる。   In the multilayer capacitor 10, the signal internal electrode 2 is connected to, for example, a signal line electrode or a current line electrode on a circuit board (not shown) on which the multilayer capacitor 10 is mounted. .

積層型コンデンサ10は、信号用内部電極2がY方向(第1の端面1cおよび第2の端面1dの方向)に延びて配置されており、この信号用内部電極2で信号を伝達する経路を構成している。また、積層型コンデンサ10は、積層体1内の上下方向(積層方向)において、信号用内部電極2と第1の接地用内部電極3aとで容量を構成しており、また、信号用内部電極2と第2の接地用内部電極3bとで容量を構成している。   In the multilayer capacitor 10, the signal internal electrode 2 extends in the Y direction (the direction of the first end face 1 c and the second end face 1 d), and a path for transmitting a signal through the signal internal electrode 2 is provided. It is composed. The multilayer capacitor 10 includes a signal internal electrode 2 and a first ground internal electrode 3a in the vertical direction (lamination direction) in the multilayer body 1, and the signal internal electrode. 2 and the second grounding internal electrode 3b constitute a capacitor.

また、積層型コンデンサ10は、一対の接地用内部電極3が信号用内部電極2を間に挟んでZ方向(積層方向)にそれぞれ配置されており、信号用内部電極2に対して交差する方向(第1の側面1eおよび第2の側面1f)に引出部3a1、3a2、3b1、3b2が延びている。そして、積層型コンデンサ10は、引出部3a1、3a2、3b1、3b2が第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dにそれぞれ接続されており、第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3bでグランドに電流を流す経路を構成している。   In the multilayer capacitor 10, a pair of grounding internal electrodes 3 are arranged in the Z direction (lamination direction) with the signal internal electrode 2 sandwiched therebetween, and intersect with the signal internal electrode 2. The lead portions 3a1, 3a2, 3b1, 3b2 extend on the (first side surface 1e and second side surface 1f). In the multilayer capacitor 10, the lead portions 3a1, 3a2, 3b1, 3b2 are connected to the first to fourth grounding external terminals 4a, 4b, 4c, 4d, respectively, and the first grounding internal electrode 3a is connected. The second grounding internal electrode 3b constitutes a path for passing a current to the ground.

このように、積層型コンデンサ10は、積層体1内の同一平面内に第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3bが間隙を介して互い対向して配置されており、第1の接地用内部電極3aが引出部3a1と引出部3a2とを有しており、また、第2の接地用内部電極3bが引出部3b1と引出部3b2とを有している。また、第1の接地用内部電極3aは、引出部3a1が第1の側面1eに引き出されており、引出部3a2が第1の側面1eに対向する第2の側面1dに引き出されており、引出部3a1と引出部3a2とが互いに対向して設けられているので、引出部3a1と引出部3a2とにおいて、引出部3a1に向かって流れる電流と引出部3a2に向かって流れる電流が互いに逆方向に流れるようになる。   Thus, in the multilayer capacitor 10, the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b are arranged to face each other with a gap in the same plane in the multilayer body 1. The first grounding internal electrode 3a has a lead part 3a1 and a lead part 3a2, and the second grounding internal electrode 3b has a lead part 3b1 and a lead part 3b2. The first grounding inner electrode 3a has a lead portion 3a1 led out to the first side surface 1e, and a lead portion 3a2 led out to the second side surface 1d opposite to the first side surface 1e. Since the lead portion 3a1 and the lead portion 3a2 are provided to face each other, the current flowing toward the lead portion 3a1 and the current flowing toward the lead portion 3a2 are opposite to each other in the lead portion 3a1 and the lead portion 3a2. To flow into.

また、第2の接地用内部電極3bは、引出部3b1が第1の側面1eに引き出されており、引出部3b2が第1の側面1eに対向する第2の側面1dに引き出されており、引出部3b1と引出部3b2とが互いに対向して設けられているので、引出部3b1と引出部3b2とにおいて、引出部3b1に向かって流れる電流と引出部3b2に向かって流れる電流が互いに逆方向に流れるようになる。   The second grounding internal electrode 3b has a lead portion 3b1 drawn to the first side surface 1e, and a lead portion 3b2 drawn to the second side surface 1d facing the first side surface 1e. Since the lead portion 3b1 and the lead portion 3b2 are provided to face each other, in the lead portion 3b1 and the lead portion 3b2, the current flowing toward the lead portion 3b1 and the current flowing toward the lead portion 3b2 are opposite to each other. To flow into.

積層型コンデンサ10は、第1の接地用内部電極3aの引出部3a1および引出部3a2と第2の接地用内部電極3bの引出部3b1および引出部3b2とからなる経路を介してグランドに電流が流れるようになっている。したがって、積層型コンデンサ10は、これらの経路を介してグランドに電流が流れるので、相互インダクタンスを互いに打ち消しあうことができる。   The multilayer capacitor 10 has a current flowing to the ground via a path formed by the lead portions 3a1 and 3a2 of the first grounding internal electrode 3a and the lead portions 3b1 and 3b2 of the second grounding internal electrode 3b. It comes to flow. Therefore, the multilayer capacitor 10 can cancel each other's mutual inductance since a current flows to the ground through these paths.

このように、積層型コンデンサ10は、第1の接地用内部電極3aにおいて、電流が相互に逆方向に流れるように、引出部3a1と引出部3a2とが対向して配置されており、このような構成にすることによって、グランドに流れる電流が逆方向となるので、発生する磁界方向が互いに逆方向になり、相互誘導効果により、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。また、同様に、積層型コンデンサ10は、第2の接地用内部電極3bにおいて、電流が相互に逆方向に流れるように、引出部3b1と引出部3b2とが対向して配置されており、このような構成にすることによって、グランドに流れる電流が逆方向となるので、発生する磁界方向が互いに逆方向になり、相互誘導効果により、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。   Thus, in the multilayer capacitor 10, the lead portion 3 a 1 and the lead portion 3 a 2 are arranged to face each other in the first grounding internal electrode 3 a so that currents flow in opposite directions. With this configuration, since the current flowing through the ground is in the opposite direction, the directions of the generated magnetic fields are opposite to each other, and the equivalent series inductance (ESL) can be reduced due to the mutual induction effect. Similarly, in the multilayer capacitor 10, the lead portion 3b1 and the lead portion 3b2 are arranged to face each other in the second grounding internal electrode 3b so that currents flow in opposite directions. With such a configuration, since the current flowing through the ground is in the opposite direction, the directions of the generated magnetic fields are opposite to each other, and the equivalent series inductance (ESL) can be reduced due to the mutual induction effect.

さらに、一対の接地用内部電極3は、図4に示すように、対向するそれぞれの端部3aaおよび端部3baが信号用内部電極2に近づくように、第1の主面1aまたは第2の主面1bに向かって傾いている。すなわち、一対の接地用内部電極3の対向部において、端部3aaおよび端部3baは、互いに下方に向かって傾いて設けられており、積層方向に直交する方向からみて、図4に示すように、下方の信号用内部電極2に向かって湾曲している。   Further, as shown in FIG. 4, the pair of grounding internal electrodes 3 includes the first main surface 1a or the second main surface 1a or the second main surface 2a so that the opposing end portions 3aa and 3ba approach the signal internal electrode 2. It is inclined toward the main surface 1b. That is, in the facing portion of the pair of grounding internal electrodes 3, the end portion 3aa and the end portion 3ba are inclined downward with respect to each other, as shown in FIG. It is curved toward the lower signal internal electrode 2.

具体的には、積層型コンデンサ10では、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとが間隙を介して対向する対向部において、端部3aaと端部3baとが、下方に位置する信号用内部電極2に近づくように下方の第2の主面1bの方向に向かって傾いている。また、端部3aaおよび端部3baの傾き角度αは、図4に示すように、例えば、5(°)〜20(°)である。なお、傾き角度αは、大きくなるにつれて信号用内部電極2に近づくことになるが、信号用内部電極2と接地用内部電極3との短絡等を考慮して適宜設定される。   Specifically, in the multilayer capacitor 10, at the facing portion where the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b face each other with a gap, the end 3aa and the end 3ba are: It is inclined toward the second main surface 1b below so as to approach the signal internal electrode 2 positioned below. Moreover, as shown in FIG. 4, the inclination | tilt angle (alpha) of edge part 3aa and edge part 3ba is 5 (degrees)-20 (degrees), for example. The inclination angle α approaches the signal internal electrode 2 as it increases, but is appropriately set in consideration of a short circuit between the signal internal electrode 2 and the ground internal electrode 3.

上述したように、積層型コンデンサ10は、同一平面内において、第1の接地用内部電極3a内で相互に電流が逆方向に流れており、また、第2の接地用内部電極3b内で相互
に電流が逆方向に流れているので、積層体1内で磁界を相殺するような作用が生じることになる。したがって、積層型コンデンサ10は、同一平面内において、第1の接地用内部電極3a内で相互に電流が逆方向に流れており、第2の接地用内部電極3b内で相互に電流が逆方向に流れるので、グランドに流れる電流が逆方向となるので発生する磁界方向が互いに逆方向になり、相互誘導効果により、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。
As described above, in the multilayer capacitor 10, currents flow in the opposite directions in the first grounding internal electrode 3a in the same plane, and in the second grounding internal electrode 3b. Since the current flows in the opposite direction, an action that cancels the magnetic field in the stacked body 1 occurs. Therefore, in the multilayer capacitor 10, currents flow in the opposite directions in the first grounding internal electrode 3a in the same plane, and the currents flow in the reverse direction in the second grounding internal electrode 3b. Therefore, the directions of the generated magnetic fields are opposite to each other, and the equivalent series inductance (ESL) can be reduced due to the mutual induction effect.

さらに、第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3bは、対向部に位置する端部3aaおよび端部3baがそれぞれ下方に位置する信号用内部電極2に近づくように第2の主面1bに向かって傾いている。接地用内部電極3の端部3aaと端部3baとの間の領域において、接地用内部電極3の端部3aaおよび端部3baは拘束されておらず、一方、接地用内部電極3の端部3aaと端部3baとの間に対応する領域において、信号用内部電極2は拘束されている。積層されたセラミックグリーンシートをプレス加工して積層体を作製する場合に、信号用内部電極2と一対の接地用内部電極3との間の誘電体層1gは、プレスの加圧方向に変形することになり、接地用内部電極3の端部3aaおよび端部3baは拘束されておらず、一方、信号用内部電極2は拘束されているので、下端部3aaおよび端部3baの下方(第2の主面1b)への傾きが信号用内部電極2の凹部2aの凹みよりも大きくなる。したがって、第1の接地用内部電極3aの端部3aaおよび第2の接地用内部電極3bの端部3baは、信号用内部電極2に近づくことになる。   Further, the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b are arranged so that the end 3aa and the end 3ba located at the opposing part approach the signal internal electrode 2 located below, respectively. It is inclined toward the main surface 1b. In the region between the end portion 3aa and the end portion 3ba of the grounding internal electrode 3, the end portion 3aa and the end portion 3ba of the grounding internal electrode 3 are not restrained, whereas the end portion of the grounding internal electrode 3 is not constrained. The signal internal electrode 2 is constrained in a region corresponding to the space between 3aa and the end 3ba. When a laminated body is produced by pressing the laminated ceramic green sheets, the dielectric layer 1g between the signal internal electrode 2 and the pair of grounding internal electrodes 3 is deformed in the pressing direction of the press. Accordingly, the end 3aa and the end 3ba of the grounding internal electrode 3 are not constrained, while the signal internal electrode 2 is constrained, so that the lower part 3aa and the end 3ba (second Is greater than the recess of the recess 2a of the signal internal electrode 2. Therefore, the end 3aa of the first grounding internal electrode 3a and the end 3ba of the second grounding internal electrode 3b are close to the signal internal electrode 2.

例えば、図4に示すように、一対の接地用内部電極3は、信号用内部電極2に近づくように設けられているので、信号用内部電極2に入ったノイズ成分を第1の接地用内部電極3aの端部3aaおよび第2の接地用内部電極3bの端部3baを介してグランドに効果的に逃がすことができる。   For example, as shown in FIG. 4, the pair of grounding internal electrodes 3 are provided so as to approach the signal internal electrode 2, so that the noise component that has entered the signal internal electrode 2 is converted into the first grounding internal electrode 2. It is possible to effectively escape to the ground through the end 3aa of the electrode 3a and the end 3ba of the second grounding internal electrode 3b.

したがって、積層型コンデンサ10は、磁界の相殺作用によって、インダクタンスが低下して、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。このように、積層型コンデンサ10は、ESLが小さくなり、共振周波数を高周波数域側にシフトさせることができるので、高周波数域のノイズを効果的に低減することができる。   Therefore, the multilayer capacitor 10 can reduce the equivalent series inductance (ESL) by reducing the inductance by the magnetic field canceling action. As described above, the multilayer capacitor 10 has a low ESL and can shift the resonance frequency to the high frequency region side, so that noise in the high frequency region can be effectively reduced.

積層型コンデンサ10は、例えば、回路基板(図示せず)の信号ラインまたは電源ライン等に接続する場合には、第1の外部電極5aを信号ラインまたは電源ラインの入力端に接続し、また、第2の外部電極5bを信号ラインまたは電源ラインの出力端に接続するとともに、第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dをそれぞれ接地端(グランド)に接続して、信号ラインまたは電源ラインの高周波ノイズを低減することができる。この場合には、例えば、ノイズを低減したい信号ラインまたは電源ライン等のパターンはカットされており、積層型コンデンサ10は、カットされたパターンの部分に第1の外部電極5aと第2の外部電極5bとがそれぞれ接続されている。   For example, when the multilayer capacitor 10 is connected to a signal line or a power supply line of a circuit board (not shown), the first external electrode 5a is connected to the input end of the signal line or the power supply line, The second external electrode 5b is connected to the output end of the signal line or the power supply line, and the first to fourth grounding external terminals 4a, 4b, 4c, 4d are connected to the grounding end (ground), respectively. High frequency noise of the line or power supply line can be reduced. In this case, for example, a pattern such as a signal line or a power supply line for which noise is to be reduced is cut, and the multilayer capacitor 10 includes the first external electrode 5a and the second external electrode at the cut pattern portion. 5b are connected to each other.

また、同様に、積層型コンデンサ10は、等価直列インダクタンス(ESL)が低減されるので、例えば、CPUの駆動電源ラインまたは信号ラインに接続することによって、駆動電源ラインまたは信号ラインの高周波数域のノイズを低減することができる。例えば、積層型コンデンサ10は、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bを回路基板上の電源ラインまたは信号ラインに対して並列(回路上同電位)となるように接続するとともに、第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dを接地端(グランド)に接続して、電源ラインまたは信号ラインの高周波ノイズを低減することができる。この場合には、例えば、ノイズを低減したい電源ラインまたは信号ラインのパターンはカットされておらず、積層型コンデンサ10は、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bが電源ラインまたは信号ラインに対して並列に接続されている。   Similarly, since the equivalent series inductance (ESL) of the multilayer capacitor 10 is reduced, for example, by connecting it to the drive power supply line or signal line of the CPU, the high frequency range of the drive power supply line or signal line can be reduced. Noise can be reduced. For example, the multilayer capacitor 10 connects the first external electrode 5a and the second external electrode 5b in parallel with the power supply line or signal line on the circuit board (the same potential in the circuit), and The first to fourth grounding external terminals 4a, 4b, 4c, and 4d can be connected to a ground terminal (ground) to reduce high-frequency noise in the power supply line or signal line. In this case, for example, the pattern of the power supply line or the signal line for which noise is to be reduced is not cut, and the multilayer capacitor 10 is configured such that the first external electrode 5a and the second external electrode 5b are the power supply line or signal line. Are connected in parallel.

また、積層型コンデンサ100は、図6に示すように、信号用内部電極2Aが積層体1内に形成されて、平面視において長方形状であり、一対の接地用内部電極3間に配置されて、積層体1の第1の端面1cおよび第2の端面1dのうちの一方の端面に引き出されていてもよい。すなわち、信号用内部電極2Aは、第1の側面1eおよび第2の側面1fに対して内側に位置するように設けられており、Y方向の端部が第1の端面1cおよび第2の端面1dのどちらか一方の端面に露出するようにY方向に延びるように積層体1内に配置させてもよい。すなわち、信号用内部電極2Aは、第1の端面1cおよび第2の端面1dの一方の端面に露出するように設けられているとともに、第1の側面1eおよび第2の側面1fに露出しないように設けられている。   In addition, as shown in FIG. 6, the multilayer capacitor 100 has a signal internal electrode 2 </ b> A formed in the multilayer body 1 and has a rectangular shape in plan view, and is disposed between the pair of grounding internal electrodes 3. The laminated body 1 may be drawn out to one end face of the first end face 1c and the second end face 1d. That is, the signal internal electrode 2A is provided so as to be located on the inner side with respect to the first side surface 1e and the second side surface 1f, and the end portions in the Y direction are the first end surface 1c and the second end surface. You may arrange | position in the laminated body 1 so that it may extend in a Y direction so that it may be exposed to either one end surface of 1d. That is, the signal internal electrode 2A is provided so as to be exposed at one end face of the first end face 1c and the second end face 1d, and is not exposed to the first side face 1e and the second side face 1f. Is provided.

このように、積層型コンデンサ100は、上述したように信号用内部電極2が一方の端面のみに引き出されており、このような構成にすることによって、例えば、回路基板(図示せず)の信号ラインまたは電源ライン等に接続する場合には、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bを信号ラインまたは電源ライン上に接続するとともに、第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dを接地端(グランド)に接続して、信号ラインまたは電源ラインの高周波ノイズを低減することができる。この場合には、例えば、ノイズを低減したい電源ラインまたは信号ラインのパターンはカットされておらず、ラインのパターン上に、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bが接続されている。   As described above, in the multilayer capacitor 100, the signal internal electrode 2 is drawn out only to one end face as described above. With this configuration, for example, a signal of a circuit board (not shown) can be obtained. When connecting to a line or a power supply line or the like, the first external electrode 5a and the second external electrode 5b are connected to the signal line or the power supply line, and the first to fourth grounding external terminals 4a and 4b are connected. 4c and 4d can be connected to a ground end (ground) to reduce high-frequency noise in the signal line or the power line. In this case, for example, the pattern of the power supply line or signal line for which noise is to be reduced is not cut, and the first external electrode 5a and the second external electrode 5b are connected on the line pattern.

また、同様に、積層型コンデンサ100は、例えば、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bを回路基板上の電源ラインまたは信号ラインに対して並列(回路上同電位)となるように接続するとともに、第1〜第4の接地用外部端子4a、4b、4c、4dを接地端(グランド)に接続して、電源ラインまたは信号ラインの高周波ノイズを低減することができる。この場合には、ノイズを低減したい電源ラインまたは信号ラインのパターンはカットされておらず、第1の外部電極5aおよび第2の外部電極5bが電源ラインに対して並列に接続されている。   Similarly, in the multilayer capacitor 100, for example, the first external electrode 5a and the second external electrode 5b are arranged in parallel with the power supply line or signal line on the circuit board (the same potential in the circuit). In addition to the connection, the first to fourth ground external terminals 4a, 4b, 4c, and 4d can be connected to the ground end (ground) to reduce high-frequency noise in the power supply line or the signal line. In this case, the pattern of the power supply line or signal line for which noise is to be reduced is not cut, and the first external electrode 5a and the second external electrode 5b are connected in parallel to the power supply line.

ここで、図1に示している積層型コンデンサ10の製造方法の一例について説明する。   Here, an example of a method for manufacturing the multilayer capacitor 10 shown in FIG. 1 will be described.

複数の第1〜第3のセラミックグリーンシートを準備する。第1のセラミックグリーンシートは、信号用内部電極2が形成されるものであり、第2のセラミックグリーンシートは、一対の接地用内部電極3が形成されるものである。   A plurality of first to third ceramic green sheets are prepared. The first ceramic green sheet is formed with the signal internal electrode 2, and the second ceramic green sheet is formed with a pair of grounding internal electrodes 3.

複数の第1のセラミックグリーンシートは、信号用内部電極2を形成するために、セラミックグリーンシート上に、信号用内部電極2のパターン形状を信号用内部電極2用の導体ペースト用いて信号用内部電極導体ペースト層が形成される。なお、第1のセラミックグリーンシートは、多数個の積層型コンデンサ10を得るために、1枚のセラミックグリーンシート内に複数の信号用内部電極2が形成される。   In order to form the signal internal electrode 2, the plurality of first ceramic green sheets are formed on the ceramic green sheet by using the pattern shape of the signal internal electrode 2 using the conductor paste for the signal internal electrode 2. An electrode conductor paste layer is formed. In the first ceramic green sheet, in order to obtain a large number of multilayer capacitors 10, a plurality of signal internal electrodes 2 are formed in one ceramic green sheet.

また、複数の第2のセラミックグリーンシートは、一対の接地用内部電極3を形成するために、セラミックグリーンシート上に、一対の接地用内部電極3(第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3b)のパターン形状を所定の間隔をもって配列して、接地用内部電極3用の導体ペースト用いて一対の接地用内部電極導体ペースト層が形成される。なお、第2のセラミックグリーンシートは、多数個の積層型コンデンサ10を得るために、1枚のセラミックグリーンシート内に複数の一対の接地用内部電極3が形成される。   Further, in order to form a pair of grounding internal electrodes 3, the plurality of second ceramic green sheets have a pair of grounding internal electrodes 3 (the first grounding internal electrode 3 a and the second grounding internal electrode 3 on the ceramic green sheet). A pair of grounding internal electrode conductor paste layers are formed using the conductive paste for the grounding internal electrode 3 by arranging the pattern shapes of the grounding internal electrodes 3b) at a predetermined interval. In the second ceramic green sheet, a plurality of pairs of grounding internal electrodes 3 are formed in one ceramic green sheet in order to obtain a large number of multilayer capacitors 10.

上述の信号用内部電極導体ペースト層および接地用内部電極導体ペースト層は、例えば、スクリーン印刷法等を用いて、セラミックグリーンシート上に、それぞれの導体ペース
トを所定のパターン形状で印刷して形成する。
The signal internal electrode conductor paste layer and the ground internal electrode conductor paste layer described above are formed by printing each conductor paste in a predetermined pattern shape on a ceramic green sheet using, for example, a screen printing method or the like. .

なお、第1および第2のセラミックグリーンシートは誘電体層1gとなり、信号用用内部電極導体ペースト層は信号用内部電極2となり、接地用内部電極導体ペースト層は接地用内部電極3となる。   The first and second ceramic green sheets become the dielectric layer 1g, the signal internal electrode conductor paste layer becomes the signal internal electrode 2, and the ground internal electrode conductor paste layer becomes the ground internal electrode 3.

誘電体層1gとなるセラミックグリーンシートの材料としては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)、チタン酸カルシウム(CaTiO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)またはジルコン酸カルシウム(CaZrO)等の誘電体セラミックスを主成分とするものである。副成分として、例えば、Mn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物またはNi化合物等が添加されたものであってもよい。 Examples of the material of the ceramic green sheet used as the dielectric layer 1g include dielectrics such as barium titanate (BaTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), or calcium zirconate (CaZrO 3 ). The main component is body ceramics. For example, a Mn compound, Fe compound, Cr compound, Co compound, or Ni compound may be added as the accessory component.

第1および第2のセラミックグリーンシートは、誘電体セラミックスの原料粉末および有機バインダに適当な有機溶剤等を添加し混合することによって泥漿状のセラミックスラリーを作製して、ドクターブレード法等を用いてセラミックスラリーを成形することによって得られる。   The first and second ceramic green sheets are prepared by adding a suitable organic solvent and the like to the dielectric ceramic raw material powder and the organic binder and mixing them, and using a doctor blade method or the like. It is obtained by forming a ceramic slurry.

信号用内部電極2用の導体ペーストおよび接地用内部電極3用の導体ペーストは、上述したそれぞれの内部電極の導体材料(金属材料)の粉末に添加剤(誘電体材料)、バインダ、溶剤、分散剤等を加えて混練することで作製される。信号用内部電極2および接地用内部電極3の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料あるいはこれらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料が挙げられる。信号用内部電極2および接地用内部電極3は、同一の金属材料または合金材料によって形成することが好ましい。   The conductor paste for the signal internal electrode 2 and the conductor paste for the ground internal electrode 3 are formed by adding additives (dielectric materials), binders, solvents, dispersions to the above-described conductor material (metal material) powders of the internal electrodes. It is prepared by adding an agent and kneading. The conductive material of the signal internal electrode 2 and the ground internal electrode 3 is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), or gold (Au), or these metals. For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy including one or more materials may be used. The signal internal electrode 2 and the ground internal electrode 3 are preferably formed of the same metal material or alloy material.

第1のセラミックグリーンシートは、信号用内部電極2が形成されており、第2のセラミックグリーンシートは接地用内部電極3が形成されており、これらの第1のセラミックグリーンシートと第2のセラミックグリーンシートとを交互に複数積層して、内部電極が形成されていないセラミックグリーンシートを積層方向の最外層にそれぞれ積層することによって、セラミック材料からなる積層体を作製する。   The first ceramic green sheet has a signal internal electrode 2 formed thereon, and the second ceramic green sheet has a ground internal electrode 3 formed thereon. The first ceramic green sheet and the second ceramic green sheet A plurality of green sheets are alternately stacked, and a ceramic green sheet on which no internal electrode is formed is stacked on the outermost layer in the stacking direction, thereby manufacturing a stacked body made of a ceramic material.

このように、複数の第1および第2のセラミックグリーンシートからなる積層体は、プレスして一体化することで、多数個の生積層体1を含む大型の生積層体となる。この大型の生積層体を切断することによって、図1に示すような積層型コンデンサ10の積層体1となる生積層体1を得ることができる。大型の生積層体の切断は、例えば、ダイシングブレード等を用いて行なうことができる。   Thus, the laminated body which consists of a some 1st and 2nd ceramic green sheet becomes a large-sized raw laminated body containing many raw laminated bodies 1 by pressing and integrating. By cutting this large green laminate, a green laminate 1 that becomes the laminate 1 of the multilayer capacitor 10 as shown in FIG. 1 can be obtained. The large green laminate can be cut using, for example, a dicing blade.

積層型コンデンサ10では、一対の接地用内部電極3は、対向するそれぞれの端部が信号用内部電極2に近づくように第1の主面1aまたは第2の主面1bに向かって傾いている。ここで、一対の接地用内部電極3の端部3aaおよび端部3baを傾かせる方法について以下に説明する。   In the multilayer capacitor 10, the pair of grounding internal electrodes 3 are inclined toward the first main surface 1 a or the second main surface 1 b so that the opposing end portions approach the signal internal electrode 2. . Here, a method of tilting the end 3aa and the end 3ba of the pair of grounding internal electrodes 3 will be described below.

複数のセラミックグリーンシートを積層する際に、積層用の台板上に、例えば、ペットフィルムを配置して、まず、ペットフィルム上に内部電極が形成されていないセラミックグリーンシートを載置する。そして、第1のセラミックグリーンシートと第2のセラミックグリーンとを交互に複数層積層して、最後に、内部電極が形成されていないセラミックグリーンシートを載置して積層体とし、この積層体の上面に、例えば、ペットフィルムを配置する。ここでは、積層体の下面が第2の主面1bであるとする。   When laminating a plurality of ceramic green sheets, for example, a pet film is placed on a base plate for lamination, and first, a ceramic green sheet on which no internal electrode is formed is placed on the pet film. Then, the first ceramic green sheet and the second ceramic green are alternately laminated in a plurality of layers, and finally a ceramic green sheet on which no internal electrode is formed is placed to form a laminated body. For example, a pet film is disposed on the upper surface. Here, it is assumed that the lower surface of the laminate is the second main surface 1b.

次に、上述の積層体(ペットフィルムを含む)に対して仮プレスを行なう。仮プレスは
、積層されたセラミックグリーンシート間のエアーの脱気または積層されたセラミックグリーンシート同士の密着のために行なう。そして、仮プレス後に、静水圧プレスを用いて、仮プレスされた積層体(ペットフィルムを含む)を加圧する。この加圧時に、第2のセラミックグリーンシートにおいて、接地用内部電極3の非印刷部(第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとの間の領域)が静水圧プレスの加圧方向に変形するとともに、接地用内部電極3の印刷部(第1の接地用内部電極3aの端部3aaおよび第2の接地用内部電極の端部3ba)が互いに対向するそれぞれの端部に向かうように延伸変形することにより、接地用内部電極3は、端部3aaおよび端部3baが下方の信号用内部電極2に近づくように第2の主面に向かって傾くことになる。なお、端部3aaおよび端部3baは、例えば、静水圧プレスの加圧時の圧力を調整することによって、所望の傾き角度にすることができる。
Next, a temporary press is performed on the above-described laminate (including a pet film). Temporary pressing is performed for deaeration of air between the laminated ceramic green sheets or adhesion between the laminated ceramic green sheets. Then, after the temporary pressing, the temporarily pressed laminate (including the pet film) is pressurized using an isostatic press. During this pressurization, the non-printing portion of the grounding internal electrode 3 (the region between the first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b) is hydrostatically pressed on the second ceramic green sheet. And the printing portion of the grounding internal electrode 3 (the end portion 3aa of the first grounding internal electrode 3a and the end portion 3ba of the second grounding internal electrode) facing each other. By extending and deforming toward the portion, the grounding internal electrode 3 is inclined toward the second main surface so that the end portion 3aa and the end portion 3ba approach the signal internal electrode 2 below. In addition, end part 3aa and end part 3ba can be made into a desired inclination angle by adjusting the pressure at the time of pressurization of an isostatic press, for example.

また、信号用内部電極2は、第1の接地用内部電極3aと第2の接地用内部電極3bとの間の領域に対応する部分が凹んで凹部2aを有することになる。したがって、静水圧プレスを用いて積層体を加圧することによって、接地用内部電極3は、端部3aaおよび端部3baが信号用内部電極2に近づくように第2の主面に向かって傾くことになり、信号用内部電極2は、一対の接地用内部電極3の端部3aaと端部3baとの間の領域に対向する部分に凹部2aを有することになる。   Further, the signal internal electrode 2 has a concave portion 2a in which a portion corresponding to a region between the first ground internal electrode 3a and the second ground internal electrode 3b is recessed. Therefore, by pressing the laminate using the hydrostatic press, the grounding internal electrode 3 is inclined toward the second main surface so that the end 3aa and the end 3ba approach the signal internal electrode 2. Thus, the signal internal electrode 2 has a recess 2a in a portion facing the region between the end 3aa and the end 3ba of the pair of ground internal electrodes 3.

また、後述するように(実施の形態2)、接地用内部電極3は、対向部の端部3aaの角部3abが辺部3acよりも、また、端部3baの角部3bbが辺部3bcよりもさらに第1の主面1aまたは第2の主面1bに近づくように設けられており、このような場合にも、例えば、静水圧プレスの加圧時の圧力で調整することができる。また、接地用内部電極3は、角部3abおよび角部bbが拘束されていないので、辺部3acおよび辺部3bcよりも下方に向かって傾きやすく、信号用内部電極2にさらに近づきやすくなる。   As will be described later (Embodiment 2), the grounding internal electrode 3 is configured such that the corner 3ab of the end 3aa of the opposing portion is more than the side 3ac, and the corner 3bb of the end 3ba is the side 3bc. Furthermore, it is provided so that it may approach the 1st main surface 1a or the 2nd main surface 1b, and also in such a case, it can adjust with the pressure at the time of pressurization of an isostatic press, for example. Further, since the corner portion 3ab and the corner portion bb are not constrained in the grounding internal electrode 3, the grounding inner electrode 3 tends to be inclined downwardly from the side portion 3ac and the side portion 3bc, and is more likely to come closer to the signal internal electrode 2.

そして、積層体1は、生積層体1を、例えば、800(℃)〜1300(℃)で焼成することによって得ることができる。この工程によって、複数の第1および第2のセラミックグリーンシートが誘電体層1gとなり、信号用内部電極導体ペースト層が信号用内部電極2となり、接地用内部電極導体ペースト層が接地用内部電極3となる。また、積層体1は、例えば、バレル研磨等の研磨手段を用いて角部または辺部を丸めることができる。積層体1は、角部または辺部を丸めることにより角部または辺部が欠けにくいものとなる。   And the laminated body 1 can be obtained by baking the raw laminated body 1 at 800 (degreeC) -1300 (degreeC), for example. By this step, the plurality of first and second ceramic green sheets become the dielectric layer 1g, the signal internal electrode conductor paste layer becomes the signal internal electrode 2, and the ground internal electrode conductor paste layer becomes the ground internal electrode 3. It becomes. Moreover, the laminated body 1 can round a corner | angular part or a side part using grinding | polishing means, such as barrel grinding | polishing, for example. The laminated body 1 becomes a thing which a corner | angular part or a side part cannot be easily chipped by rounding a corner | angular part or a side part.

次に、積層体1の第1の端面1cおよび第2の端面1dに外部電極5の下地電極となる外部電極5用の導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより外部電極5の下地電極を形成する。また、下地電極用の導電ペーストは、上述した下地電極を構成する金属材料の粉末にバインダ、溶剤、分散剤等を加えて混練することで作製される。   Next, the base electrode of the external electrode 5 is formed by applying and baking the conductive paste for the external electrode 5 that becomes the base electrode of the external electrode 5 on the first end surface 1c and the second end surface 1d of the laminate 1. . In addition, the conductive paste for the base electrode is produced by adding and kneading a binder, a solvent, a dispersant, and the like to the metal material powder constituting the base electrode described above.

また、下地電極用の導電ペーストは、下地電極を構成する金属材料の粉末にバインダ、溶剤、分散剤等を加えて混練することで作製される。なお、下地電極の導電材料は、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)または金(Au)等の金属材料、あるいは、これらの金属材料の一種以上を含む、例えば、Ag−Pd合金等の合金材料である。また、下地電極の形成は、導体ペーストを焼き付ける方法を用いる以外に、蒸着法、めっき法またはスパッタリング法等の薄膜形成法を用いて行なってもよい。   In addition, the conductive paste for the base electrode is produced by adding a binder, a solvent, a dispersant, and the like to the powder of the metal material constituting the base electrode and kneading. The conductive material of the base electrode is, for example, a metal material such as nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), or gold (Au), or one or more of these metal materials. For example, an alloy material such as an Ag—Pd alloy. The base electrode may be formed by using a thin film forming method such as a vapor deposition method, a plating method, or a sputtering method, in addition to using a method of baking a conductor paste.

同様に、積層体1の第1の側面1eおよび第2の側面1fに接地用外部端子4の下地電極となる接地用外部端子4用の導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより接地用外部端子4の下地電極を形成する。また、下地電極用の導電ペーストは、上述した接地用外部端子4を構成する金属材料の粉末にバインダ、溶剤、分散剤等を加えて混練することで作
製される。
Similarly, a grounding external terminal 4 is applied to the first side surface 1e and the second side surface 1f of the laminated body 1 by applying and baking a conductive paste for the grounding external terminal 4 which is a base electrode of the grounding external terminal 4. A base electrode is formed. In addition, the conductive paste for the base electrode is prepared by adding a binder, a solvent, a dispersant and the like to the metal material powder constituting the grounding external terminal 4 and kneading them.

次に、外部電極5およぶ外部接地用端子4の下地電極を覆うように下地電極の表面にめっき層を形成する。めっき層は、例えば、電解めっき法等を用いて、下地電極の表面に形成する。めっき層は、例えば、ニッケル(Ni)めっき層、銅(Cu)めっき層、金(Au)めっき層またはスズ(Sn)めっき層等の1層のめっき層または複数層のめっき層である。めっき層は、単一のめっき層から形成されていてもよいが、積層型コンデンサ10は、めっき層が第1のめっき層と第2のめっき層とからなり、これらの積層体を表面に形成している。積層型コンデンサ10は、例えば、第1のめっき層がニッケル(Ni)めっき層からなり、第2のめっき層が錫(Sn)めっき層からなり、第2のめっき層の錫(Sn)めっき層が第1のめっき層のニッケル(Ni)めっき層を覆うように形成される。   Next, a plating layer is formed on the surface of the base electrode so as to cover the base electrode of the external electrode 5 and the external grounding terminal 4. The plating layer is formed on the surface of the base electrode using, for example, an electrolytic plating method. The plating layer is, for example, a single plating layer or a plurality of plating layers such as a nickel (Ni) plating layer, a copper (Cu) plating layer, a gold (Au) plating layer, or a tin (Sn) plating layer. Although the plating layer may be formed from a single plating layer, the multilayer capacitor 10 includes a first plating layer and a second plating layer, and these laminates are formed on the surface. doing. In the multilayer capacitor 10, for example, the first plating layer is a nickel (Ni) plating layer, the second plating layer is a tin (Sn) plating layer, and the second plating layer is a tin (Sn) plating layer. Is formed so as to cover the nickel (Ni) plating layer of the first plating layer.

このような工程を経ることによって、積層型コンデンサ10は、一対の接地用内部電極3の対向するそれぞれの端部3aa、3baが信号用内部電極2に近づくように第1の主面1aまたは第2の主面1bに向かって傾くことになる。   Through such a process, the multilayer capacitor 10 has the first main surface 1a or the second main surface 1a or the second main surface 3a so that the opposing end portions 3aa and 3ba of the pair of grounding internal electrodes 3 approach the signal internal electrode 2. 2 toward the main surface 1b.

本発明は、上述の実施の形態1の積層型コンデンサ10に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。以下、他の実施の形態について以下に説明する。なお、他の実施の形態に係る積層型コンデンサのうち、実施の形態1に係る積層型コンデンサ10と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。   The present invention is not limited to the multilayer capacitor 10 of the first embodiment described above, and various modifications and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. Hereinafter, other embodiments will be described. Note that, among the multilayer capacitors according to other embodiments, the same portions as those of the multilayer capacitor 10 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.

<実施の形態2>
以下、本発明の実施の形態2に係る積層型コンデンサ10Bについて図面を参照しながら以下に説明する。
<Embodiment 2>
Hereinafter, the multilayer capacitor 10B according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

積層型コンデンサ10Bは、図5に示すように、第1の接地用内部電極3aが角部3abと両側の角部3abの間に位置する辺部3acとからなり、第2の接地用内部電極3bが角部3bbと両側の角部3bbの間に位置する辺部3bcとからなる。   In the multilayer capacitor 10B, as shown in FIG. 5, the first grounding internal electrode 3a is composed of a corner portion 3ab and a side portion 3ac located between the corner portions 3ab on both sides. 3b includes a corner 3bb and a side 3bc located between the corners 3bb on both sides.

一対の接地用内部電極3は、端部3aaおよび端部3baの両側の角部3abおよび角部3bbがさらに信号用内部電極2に近づくように第1の主面1bまたは第2の主面に向かって傾いている。すなわち、図5に示すように、接地用内部電極3は、対向部の端部3aaの角部3abが辺部3acよりも、また、端部3baの角部3bbが辺部3bcよりもさらに第1の主面1aまたは第2の主面1bに近づいている。   The pair of grounding internal electrodes 3 are arranged on the first main surface 1b or the second main surface so that the corners 3ab and 3bb on both sides of the end 3aa and the end 3ba are closer to the signal inner electrode 2. It is tilted toward. That is, as shown in FIG. 5, in the grounding internal electrode 3, the corner portion 3ab of the end portion 3aa of the facing portion has a corner portion 3ab that is closer to the side portion 3ac, and the corner portion 3bb of the end portion 3ba has the second portion than the side portion 3bc. 1 main surface 1a or 2nd main surface 1b is approached.

第1の接地用内部電極3aおよび第2の接地用内部電極3bは、対向部に位置する端部3aaの角部3abおよび端部3baの角部3bbが下方に位置する信号用内部電極2にさらに近づくように第2の主面1bに向かって傾いているので、角部3abおよび角部3bbと信号用内部電極2との距離が短くなり、例えば、図5に示すように、上方の第1の接地用内部電極3aの角部3abおよび第2の接地用内部電極3bの角部3bbを介して、信号用内部電極2に入ったノイズ成分をグランドに効果的に逃がすことができる。   The first grounding internal electrode 3a and the second grounding internal electrode 3b are connected to the signal internal electrode 2 in which the corner 3ab of the end 3aa located at the opposite portion and the corner 3bb of the end 3ba are located below. Since it is inclined toward the second main surface 1b so as to approach further, the corner 3ab and the distance between the corner 3bb and the signal internal electrode 2 are shortened. For example, as shown in FIG. Through the corner 3ab of the first grounding internal electrode 3a and the corner 3bb of the second grounding inner electrode 3b, the noise component that has entered the signal inner electrode 2 can be effectively released to the ground.

また、第1の接地用内部電極3aは、引出部3a1および引出部3a2が角部3abに近接して設けられており、また、第2の接地用内部電極3bは、引出部3b1および引出部3b2が角部3bbに近接して設けられているので、一対の接地用内部電極2は、上方の第1の接地用内部電極3aの角部3abから引出部3a1および引出部3a2を介して、また、第2の接地用内部電極3bの角部3bbから引出部3b1および引出部3b2を介して、信号用内部電極2に入ったノイズ成分をグランドにさらに効果的に逃がすことができる。   Further, the first grounding internal electrode 3a is provided with the lead part 3a1 and the lead part 3a2 close to the corner part 3ab, and the second grounding internal electrode 3b is provided with the lead part 3b1 and the lead part. Since 3b2 is provided close to the corner portion 3bb, the pair of grounding inner electrodes 2 is connected to the upper cornering portion 3ab of the first grounding inner electrode 3a via the leading portion 3a1 and the leading portion 3a2. In addition, the noise component that has entered the signal internal electrode 2 can be more effectively released to the ground from the corner 3bb of the second grounding internal electrode 3b through the extraction portion 3b1 and the extraction portion 3b2.

本発明は、上述した実施の形態1および実施の形態2に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。   The present invention is not particularly limited to Embodiment 1 and Embodiment 2 described above, and various changes and improvements can be made within the scope of the present invention.

1 積層体
1a 第1の主面
1b 第2の主面
1c 第1の端面
1d 第2の端面
1e 第1の側面
1f 第2の側面
1g 誘電体層
2、2A 信号用内部電極
2a 凹部
3 接地用内部電極
3a 第1の接地用内部電極
3aa 端部
3ab 角部
3ac 辺部
3b 第2の接地用内部電極
3ba 端部
3bb 角部
3bc 辺部
4 接地用外部端子
5 外部電極
10、10A、10B、100 積層型コンデンサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminated body 1a 1st main surface 1b 2nd main surface 1c 1st end surface 1d 2nd end surface 1e 1st side surface 1f 2nd side surface 1g Dielectric layer 2, 2A Signal internal electrode 2a Recessed part 3 Ground Internal electrode 3a first grounding internal electrode 3aa end 3ab corner 3ac side 3b second grounding internal electrode 3ba end 3bb corner 3bc side 4 grounding external terminal 5 external electrodes 10, 10A, 10B , 100 multilayer capacitors

Claims (2)

複数の誘電体層が積層されて、互いに対向する第1および第2の主面と前記第1および第2の主面間を連結する、互いに対向する第1および第2の端面と前記第1および第2の端面間を連結する、互いに対向する第1および第2の側面とを有する略直方体状積層体と、
前記積層体内の前記複数の誘電体層の積層方向に間隔をおいて配置されており、前記第1の端面および前記第2の端面の少なくとも一方に引き出された複数の信号用内部電極と、
積層方向に配置された前記信号用内部電極の間に配置されており、前記積層体内の同一平面内で間隔を介して互いに対向するとともに、前記第1の側面および前記第2の側面への引出部を有する第1の接地用内部電極および第2の接地用内部電極を含む一対の接地用内部電極と、
前記第1の側面および前記第2の側面に配置されており、前記接地用内部電極に電気的に接続された接地用外部端子と、
前記第1の端面および前記第2の端面にそれぞれ配置されており、前記信号用内部電極に電気的に接続された一対の外部電極とを備えており、
前記信号用内部電極は、対向する前記第1の接地用内部電極の端部と前記第2の接地用電極の端部との間の領域に対応する部分が前記第1の主面から前記第2の主面の方向に向かって凹んでおり、
前記一対の接地用内部電極は、対向するそれぞれの前記端部が前記第2の主面側に位置する前記信号用内部電極に近づくように前記第2の主面に向かって傾いていることを特徴とする積層型コンデンサ。
A plurality of dielectric layers are stacked to connect the first and second main surfaces facing each other and the first and second main surfaces, and the first and second end surfaces facing each other and the first and connecting the second end surface, a substantially rectangular parallelepiped laminate having a first and second side surfaces facing each other,
A plurality of signal internal electrodes arranged at intervals in the stacking direction of the plurality of dielectric layers in the stack, and drawn to at least one of the first end surface and the second end surface;
Arranged between the signal internal electrodes arranged in the laminating direction, facing each other with a gap in the same plane in the laminated body, and leading to the first side surface and the second side surface A pair of grounding internal electrodes including a first grounding internal electrode and a second grounding internal electrode having a portion;
A ground external terminal disposed on the first side surface and the second side surface and electrically connected to the ground internal electrode;
It said first end face and are arranged on the second end face is provided with a pair of external electrodes electrically connected to the internal electrode the signal,
The signal internal electrode has a portion corresponding to a region between an end portion of the first grounding internal electrode and an end portion of the second grounding electrode facing each other from the first main surface to the first main surface. 2 is concave toward the main surface,
The pair of grounding inner electrodes, the said end of each facing is tilted toward the second SL front so as to approach the inner electrode the signal located at the main surface side second main surface Multilayer capacitor characterized by
前記一対の接地用内部電極は、前記端部の両側の角部が前記端部の辺部よりもさらに前記信号用内部電極に近づくように前記第2の主面に向かって傾いていることを特徴とする請求項1に記載の積層型コンデンサ。 The pair of grounding inner electrodes, the corner portions on both sides of said end portion is inclined toward the front Stories second main surface so as to approach the internal electrode further the signal than the side portion of the end portion The multilayer capacitor according to claim 1.
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