JP6465799B2 - 有機半導体配合物 - Google Patents
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Description
従来のOFETは、ゲート電極、誘電体材料から作られるゲート絶縁体層(以下、「誘電体」または「ゲート誘電体」ともいう)、ソースおよびドレイン電極、有機半導体(OSC)材料から作られる半導体層、ならびにしばしば、前述の層上に、これらを環境の影響および/またはその後のデバイス製造工程からの損傷から保護するためのパッシベーション層を含む。
1)例えばUS 2011/0037064 A1またはAdv. Mat., 2009, 21, 1166-1171に開示されているような、溶液処理可能なフッ素化材料、テフロン(登録商標)AF(DuPont)またはCytop(商標)(AGJ)シリーズなど、
2)例えばAppl. Phys. Lett., 2008, 93, 183305 1-3に開示されているような、化学気相蒸着ポリ(p-キシリレン)、「パリレン」としても知られる。
したがって、OEデバイスにおける誘電体またはパッシベーション層として使用するパリレン層への改善された接着性を示す、利用可能なOSC組成を有することが望ましい。
本発明はさらに、本発明に係る配合物の使用をとおして得られる有機半導体層に関する。
本発明はさらに、本発明に係る有機半導体層を含む、有機電子デバイス、特にトップゲートOFETまたはボトムゲートOFETを製造する方法に関する。
本明細書において、用語「有機電界効果トランジスタ(OFET)」は、「有機薄膜トランジスタ(OTFT)」として知られているようなデバイスのサブクラスを包括するものであることが理解されるであろう。
また、用語「誘電体」および「絶縁」は、本明細書において互換的に使用されることが理解されるであろう。よって、絶縁材料または層への言及は、誘電体材料または層を包括するものである。さらに、本明細書において、用語「有機電子デバイス」は、用語「有機半導体デバイス」および上で定義したようなOFETなどのいくつかの特定の実装を包括するものであることが理解されるであろう。
パリレンは、一連の化学気相蒸着ポリ(p−キシリレン)の一般的な商品名である。パリレンは、通常、以下の構造のp-キシリレン中間体の化学蒸着によって調製され、
あろう、そして一般的に知られている用語「オリゴマー」、「コポリマー」、「ホモポリマー」などを包括するものである。さらに用語ポリマーは、ポリマー自体に加えて、かかるポリマーの合成に付随する開始剤、触媒および他の要素からの残基、ここでかかる残基は共有結合で組み込まれていないものとして理解される、を包括するものであることが理解されるであろう。さらにかかる残基および他の要素は、通常、重合後の精製工程の間に除去される一方、典型的にはポリマーと混合または混ざり合い、それは容器間または溶媒間もしくは分散媒体間で移動したときにポリマーに残る。
本発明の好ましい態様において、ポリマー添加剤は、式I
で表される、選択された1または2以上の2価の繰り返し単位を含む。
で表される、選択された1または2以上の2価の繰り返し単位を含む。
有機半導体(OSC)層は、n−またはp−型OSCであることができる。効果的なOSCは、1×10−5cm2V−1s−1より大きいFET移動度を示す。
小分子OSCを含むOSC配合物について、配合物中のポリマー添加剤の濃度は、好ましくは0.01〜2.0%、極めて好ましくは0.05〜0.5%である。
ポリマーOSCを含むOSC配合物について、配合物中のポリマー添加剤の濃度は、好ましくは0.1〜30%である。
前述の濃度値は、溶媒(単数または複数)ならびにOSCおよびポリマー添加剤などの全ての固形成分を含む配合物を参照している。
ポリマーOSCを含むOSC配合物について、配合物中のポリマー添加剤のOSCに対する割合は、好ましくは1:5〜10:1である。
パリレン層を形成する気相蒸着法の好適なプロセス条件は、当業者に既知であり、刊行物、例えばP. Kramer et al., Journal of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition, Vol. 22 (1984), pp. 475-491に記載されている。
本発明の別の態様は、本発明に係る配合物を基板上へ堆積する工程、および配合物が溶媒を含む場合は、溶媒を除去する工程を含む、有機半導体層を製造する方法に関する。
a)基板上に、以上および以下に記載の配合物を堆積させ、有機半導体層を形成する工程、
b)配合物が溶媒を含む場合に、溶媒を除去する工程、
c)任意に有機半導体層をアニールする工程、
d)気相蒸着によってp−キシリレンの層を有機半導体層上に堆積させる工程を含む。
本発明の別の好ましい態様において、OEデバイスは、ポリ(p−キシリレン)を含むパッシベーション層を含むボトムゲートOFETである。
図1をみると、本発明の好ましい態様に係るトップゲートOFETデバイスの概略図および単純化した表現が提供されている。かかるOFETデバイスは、基板(1)、ソースおよびドレイン電極(2a、2b)、以上および以下に記載の配合物の使用をとおして得られた有機半導体層(3)、ポリ(p−キシリレン)を含み、ゲート絶縁膜として働く誘電体層(4)、およびゲート電極(5)を含む。
A)ソースおよびドレイン電極(2a、2b)を基板(1)上に形成する工程、
B)ソースおよびドレイン電極(2a、2b)上に、本発明に係る配合物から有機半導体層(3)を形成する工程、
C)有機半導体層(3)上に、p−キシリレンの気相蒸着によって誘電体層(4)を形成する工程、
D)誘電体層(4)上にゲート電極(5)を形成する工程
を含む方法による、例えば、図1に例示されているようなトップゲートOFETデバイスの製造方法に関する。
A)ゲート電極(5)を基板(1)上に形成する工程、
B)基板(1)およびゲート電極(5)上に誘電体層(4)を形成する工程
C)誘電体層(4)の上にソースおよびドレイン電極(2a、2b)を形成する工程、
D)ソースおよびドレイン電極(2a、2b)ならびに誘電体層(4)の上に本発明に係る配合物から有機半導体層(3)を形成する工程、
E)有機半導体層(3)上にp−キシリレンの気相蒸着によりパッシベーション層(6)を形成する工程
を含む方法による、例えば、図2に例示されているようなボトムゲートOFETデバイスの製造方法に関する。
以上および以下において、特記しない限り、パーセントは重量パーセントであり、温度は摂氏(℃)である。
Teonex Q65FA(登録商標)(DuPont Teijin Films(商標)から入手可能)をメタノールで洗浄した。
1ミクロン層のLisicon(登録商標)P014-MAK-175 (Merck KGaAから入手可能)平坦化材料は、スピンコーティング(1500rpm、30s)を介してTeonexフィルム上に堆積し、その後70℃で8分ベーキングし、4分UV照射した(UVA 0.011W/cm2、365nmでのピーク)。
約60nm厚の金ソースドレイン電極を、Lisicon(登録商標)P014-MAK-175層上に、1mm長の20μm幅の平行板ジオメトリを用いてLisicon(登録商標)P014-MAK-175層上に蒸着させた。
1.60%の2,8−ジフルオロ−5,11−ビス(トリエチルシリルエチニル)アントラジチオフェン、0.20%のポリ(エチレン[70%]−コ−プロピレン−コ−5−メチレン−2−ノルボルネン)(Sigma-Aldrichから)、78.56%のシクロヘキシルベンゼンおよび19.64%のメシチレンを含むOSC配合物を、その後上記フィルム上のソース/ドレイン電極のアレイ上に、5×5cm広域ブロックとして、6cm3/m2装荷アニロックスおよびCyrel HiQSフレキソマットを具備するRK Flexiproof 100フレキソ印刷を使用して、70m/minの速度で印刷した。印刷したOSC層を、その後70℃で5分間アニールした。
最後に、デバイスのアクティブチャンネル〜ソースおよびドレイン電極間領域を完全に覆うように、40nm厚の金ゲート電極アレイを、誘電体パリレンC層の上に蒸着した。
図1に示すトランジスタの伝達特性は、0.3cm2/Vsより大きいホール移動度を有する良好なトランジスタ性能を示している。
Teonex Q65FA(登録商標)フィルム(DuPont Teijin Films(商標)から入手可能)をメタノール中で洗浄した。
1ミクロン層のLisicon(登録商標)P014-MAK-175(Merck KGaAから入手可能)平坦化材料をスピンコーティング(1500rpm、30秒)を介してTeonexフィルム上に堆積させ、その後70℃で8分ベーキングし、4分UV照射した(UVA 0.011W/cm2、365nmにピーク)。
電極をLisicon(登録商標)M001(Merck KGaAから入手可能)電極処理材料で1分間処理し、乾燥し、ホットプレート上で70℃で2分間アニールした。
最後に、デバイスのアクティブチャンネル〜ソースおよびドレイン電極間領域を完全に覆うように、40nm厚の金ゲート電極アレイを、誘電体パリレンC層の上に蒸着した。
図2に示すトランジスタの伝達特性は、0.5cm2/Vsより大きいホール移動度を有する良好なトランジスタ性能を示している。
Claims (25)
- 有機半導体(OSC)層および誘電体またはパッシベーション層を含む有機電子デバイスであって、有機半導体層が、有機半導体およびポリマー添加剤を含む配合物の使用をとおして得られ、ポリマー添加剤がアルケン基、ノルボルネン基およびフェニルスルフィド基から選択される1または2以上の反応性基を含み、誘電体またはパッシベーション層が、ポリ(p−キシリレン)を含み、有機半導体層のポリマー添加剤が、有機半導体層と誘電体またはパッシベーション層との間の界面で、その1または2以上の反応性基を介して、誘電体またはパッシベーション層のポリ(p−キシリレン)に化学的に結合している、前記有機電子デバイス。
- ポリマー添加剤が、式I
で表される1または2以上の2価の繰り返し単位を含む、請求項1に記載の有機電子デバイス。 - ポリマー添加剤が、式II
で表されるポリマーである、請求項1または2に記載の有機電子デバイス。 - ポリマー添加剤が、1−フェニルスルファニル−エチレン、メチレン、エチレン、プロピレン、5−メチレン−2−ノルボルネンまたはこれらの組み合わせから選択される、1または2以上の繰り返し単位を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- ポリマー添加剤が、ポリ(ビニルフェニルスルフィド)およびポリ(エチレン−コ−プロピレン−コ−5−メチレン−2−ノルボルネン)から選択される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- 有機半導体が、小分子を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- 有機半導体が、オリゴアセンまたは置換オリゴアセンを含む、請求項6に記載の有機電子デバイス。
- 有機半導体が、2または3以上のアルキルシリルエチニル基で置換されたオリゴアセンを含む、請求項7に記載の有機電子デバイス。
- オリゴアセンが、アントラセン、テトラセン、ペンタセンまたはアントラジチオフェンであり、これらの全ては任意に置換されていてもよい、請求項7または8に記載の有機電子デバイス。
- OSCが小分子OSCであり、配合物中のOSCに対するポリマー添加剤の割合が1:40〜1:4である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- OSCがポリマーOSCであり、配合物中のOSCに対するポリマー添加剤の割合が1:5〜10:1である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- 有機電界効果トランジスタ(OFET)、有機薄膜トランジスタ(OTFT)、有機発光ダイオード(OLED)または有機光起電(OPV)デバイスである、請求項1〜11のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
- トップゲートOFETまたはボトムゲートOFETである、請求項12に記載の有機電子デバイス。
- 基板(1)、ソースおよびドレイン電極(2a、2b)、有機半導体層(3)、ポリ(p−キシリレン)を含み、ゲート絶縁体として働く誘電体層(4)、およびゲート電極(5)を含む、請求項13に記載のトップゲートOFET。
- 基板(1)、ゲート電極(5)、ゲート絶縁体として働く誘電体層(4)、ソースおよびドレイン電極(2a、2b)、有機半導体層(3)およびポリ(p−キシリレン)を含むパッシベーション層(6)を含む、請求項13に記載のボトムゲートOFET。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機電子デバイスを含む製品またはアセンブリであって、集積回路(IC)、無線周波数識別(RFID)タグ、RFIDタグを含有するセキュリティマーキングまたはセキュリティデバイス、フラットパネルディスプレイ(FPD)、FPDのバックプレーン、FPDのバックライト、電子写真装置、電子写真記録装置、有機メモリデバイス、圧力センサ、光センサ、化学センサ、バイオセンサまたはバイオチップである、前記製品またはアセンブリ。
- a)有機半導体およびポリマー添加剤を含む配合物であって、ポリマー添加剤がアルケン基、ノルボルネン基およびフェニルスルフィド基から選択される1または2以上の反応性基を含む、前記配合物を基板上に堆積させ、有機半導体層を形成する工程、
b)配合物が溶媒を含む場合に、溶媒を除去する工程、
c)任意に有機半導体層をアニールする工程、
d)気相蒸着によってp−キシリレンの層を有機半導体層上に堆積させる工程を含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 以下の工程
A)ソースおよびドレイン電極(2a、2b)を基板(1)上に形成する工程、
B)有機半導体およびポリマー添加剤を含む配合物であって、ポリマー添加剤がアルケン基、ノルボルネン基およびフェニルスルフィド基から選択される1または2以上の反応性基を含む、前記配合物から有機半導体層(3)をソースおよびドレイン電極(2a、2b)上に形成する工程、
C)有機半導体層(3)上に、p−キシリレンの気相蒸着によって誘電体層(4)を形成する工程、
D)誘電体層(4)上にゲート電極(5)を形成する工程
を含む、請求項14に記載のOFETの製造方法。 - 以下の工程
A)ゲート電極(5)を基板(1)上に形成する工程、
B)基板(1)およびゲート電極(5)上に誘電体層(4)を形成する工程、
C)誘電体層(4)の上にソースおよびドレイン電極(2a、2b)を形成する工程、
D)有機半導体およびポリマー添加剤を含む配合物であって、ポリマー添加剤がアルケン基、ノルボルネン基およびフェニルスルフィド基から選択される1または2以上の反応性基を含む、前記配合物から有機半導体層(3)をソースおよびドレイン電極(2a、2b)ならびに誘電体層(4)の上に形成する工程、
E)有機半導体層(3)上にp−キシリレンの気相蒸着によりパッシベーション層(6)を形成する工程
を含む、請求項15に記載のOFETの製造方法。 - 配合物がさらに有機溶媒を含む、請求項17〜19のいずれか一項に記載の製造方法。
- 溶媒が、シクロヘキシルベンゼン、メシチレン、4−メチルアニソール、3,4−ジメチルアニソール、インダン、キシレン、テトラリン、1,5−ジメチルテトラリン、1−メチルナフタレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、イソブチルベンゼン、1,3,5−トリイソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、クメン、フェネトール、p−シメンまたは前述した溶媒の任意の組み合わせから選択される、請求項20に記載の製造方法。
- OSCが小分子OSCであり、配合物中のOSCの濃度が0.1〜10%である、請求項17〜21のいずれか一項に記載の製造方法。
- OSCが小分子OSCであり、配合物中のポリマー添加剤の濃度が0.01〜2.0%である、請求項17〜22のいずれか一項に記載の製造方法。
- OSCがポリマーOSCであり、配合物中のOSCの濃度が0.05〜5%である、請求項17〜21のいずれか一項に記載の製造方法。
- OSCがポリマーOSCであり、配合物中のポリマー添加剤の濃度が0.1〜30%である、請求項17〜21および24のいずれか一項に記載の製造方法。
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