JP6464327B2 - 撮像素子及び撮像装置 - Google Patents

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Description

本発明は、撮像素子及び撮像装置に関する。
CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の撮像素子の高解像度化に伴い、電子内視鏡、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、又は、スマートフォンを含む携帯電話機等の撮像機能を有する電子機器の需要が急増している。なお、以上のような撮像機能を有する電子機器を撮像装置と称する。
これら撮像装置では、主要な被写体に焦点を合わせる合焦制御方法として、位相差AF(Auto Forcus)方式が採用されている。
位相差AF方式により合焦制御を行う撮像装置に搭載される撮像素子には、例えば、光電変換部の受光領域が互いに逆方向に偏心した位相差検出用画素のペアを受光面に離散的に設けたものが使用される(特許文献1参照)。
特許文献1に記載された撮像素子の位相差検出用画素は、光電変換部と、この光電変換部に蓄積された電荷を保持する電荷保持部とが、位相差検出用画素のペアによる位相差の検出方向に並んだ構成となっている。
日本国特開2012−151774号公報
位相差検出用画素は、光電変換部の受光領域の位相差検出方向の幅が、その他の通常の画素(撮像用画素)と比較すると小さくなる。このため、特許文献1のように、光電変換部に対して位相差検出方向の隣に電荷保持部が存在する構成では、光電変換部の受光領域の位相差検出方向の幅を大きくとることが難しい。
位相差検出用画素において、光電変換部の受光領域の位相差検出方向の幅が光の波長に近づくと、この受光領域には光が入射しづらくなる。この結果、位相差検出用画素の感度及び斜入射特性等の画素性能を十分に確保することが難しくなる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、光電変換部と電荷保持部を含む位相差を検出可能な画素を備えた撮像素子であって、この画素の画素性能を十分に確保することのできる撮像素子とこれを備える撮像装置を提供することを目的とする。
本発明の撮像素子は、撮像光学系を通して被写体を撮像する撮像素子であって、半導体基板内に形成され、上記撮像光学系の瞳領域の一方向に並ぶ異なる部分を通過した一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部と、上記半導体基板内に形成され、上記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部と、のペアを複数有し、上記ペアを構成する上記光電変換部を含む画素は、上記画素内の上記光電変換部から転送された電荷を保持し、上記電荷に応じた信号が読み出し回路によって読み出される電荷保持部を含み、上記半導体基板に垂直な方向から見た状態において、上記画素に含まれる上記電荷保持部は、その画素のうちのその画素に含まれる上記光電変換部を上記一方向に移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に配置されているものである。
本発明の撮像装置は、上記撮像素子を備えるものである。
本発明によれば、光電変換部と電荷保持部を含む位相差を検出可能な画素を備えた撮像素子であって、この画素の画素性能を十分に確保することのできる撮像素子とこれを備える撮像装置を提供することができる。
本発明の一実施形態である撮像装置の一例としてのデジタルカメラの概略構成を示す図である。 図1に示す撮像素子5の概略構成を示す平面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された撮像用画素51Aの概略構成を示す平面模式図である。 図3に示すA−A線の断面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素としての第一画素51Rの概略構成を示す平面模式図である。 図5に示すB−B線の断面模式図である。 図5に示すC−C線の断面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素としての第二画素51Lの概略構成を示す平面模式図である。 図8に示すD−D線の断面模式図である。 図8に示すE−E線の断面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された撮像用画素51Aの変形例を示す平面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された第一画素51Rの変形例を示す平面模式図である。 図2に示す受光面50に形成された第二画素51Lの変形例を示す平面模式図である。 図3に示す撮像用画素51Aに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。 図5に示す第一画素51Rに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。 図8に示す第二画素51Lに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。 図12に示す第一画素51Rに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。 図13に示す第二画素51Lに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。 図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素の変形例を示す平面模式図である。 本発明の撮影装置の一実施形態であるスマートフォン200の外観を示すものである。 図20に示すスマートフォン200の構成を示すブロック図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態である撮像装置の一例としてのデジタルカメラの概略構成を示す図である。
図1に示すデジタルカメラは、撮像レンズ1と、絞り2と、レンズ制御部4と、レンズ駆動部8と、絞り駆動部9と、を有するレンズ装置40を備える。
本実施形態において、レンズ装置40はデジタルカメラ本体に着脱可能なものとして説明するが、デジタルカメラ本体に固定されるものであってもよい。撮像レンズ1と絞り2は撮像光学系を構成する。
レンズ装置40のレンズ制御部4は、デジタルカメラ本体のシステム制御部11と有線又は無線によって通信可能に構成される。
レンズ制御部4は、システム制御部11からの指令にしたがい、レンズ駆動部8を介して撮像レンズ1に含まれるフォーカスレンズを駆動したり、絞り駆動部9を介して絞り2を駆動したりする。
デジタルカメラ本体は、レンズ装置40の撮像光学系を通して被写体を撮像するCMOSイメージセンサ等のMOS型の撮像素子5と、撮像素子5を駆動する撮像素子駆動部10と、デジタルカメラの電気制御系全体を統括制御するシステム制御部11と、操作部14と、デジタル信号処理部17と、着脱自在の記憶媒体21が接続される外部メモリ制御部20と、カメラ背面等に搭載された有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ又はLCD(Liquid Crystal Display)等の表示部23を駆動する表示ドライバ22と、を備える。
システム制御部11は、プロセッサとRAM(Ramdom Access Memory)とROM(Read Only Memory)を含んで構成され、デジタルカメラ全体を統括制御する。システム制御部11は、撮像素子5から出力される信号に基づいて、位相差AF方式による合焦制御を行う。
デジタル信号処理部17は、プロセッサとRAMとROMを含み、このROMに格納されたプログラムをこのプロセッサが実行することで各種処理を行う。
デジタル信号処理部17は、撮像素子5の各画素から出力される信号で構成される撮像画像信号に対し、補間演算、ガンマ補正演算、及び、RGB/YC変換処理等の処理を行うことで、表示部23への表示用のライブビュー画像データと、記憶媒体21への記憶用の撮像画像データとを生成する。
デジタル信号処理部17、外部メモリ制御部20、及び、表示ドライバ22は、制御バス24及びデータバス25によって相互に接続され、システム制御部11からの指令に基づいて動作する。
図2は、図1に示す撮像素子5の概略構成を示す平面模式図である。
撮像素子5は、一方向である行方向Xに配列された複数の画素51からなる画素行52が、行方向Xと直交する列方向Yに複数配列された受光面50と、受光面50に配列された画素51を駆動する駆動回路53と、受光面50に配列された画素行52の各画素51から信号線に読み出される信号を処理する信号処理回路54と、を備える。受光面50に形成された各画素51はシリコン等の半導体基板に形成されている。
受光面50に形成された複数の画素51には、レンズ装置40の撮像光学系の瞳領域の行方向Xに並ぶ異なる2つの部分を通過した一対の光束に基づく2つの像の位相差を検出するための位相差検出用画素と、この一対の光束の両方を受光する撮像用画素51Aとが含まれる。
受光面50に形成された位相差検出用画素には、上記の一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部を含む第一画素51Rと、上記の一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部を含む第二画素51Lとが含まれる。
受光面50には、第一画素51Rと第二画素51Lのペアが複数配置されている。システム制御部11は、この複数のペアから読み出される信号に基づいて位相差を算出し、算出した位相差に基づいてフォーカスレンズを制御して合焦制御を行う。
図3は、図2に示す受光面50に形成された撮像用画素51Aの概略構成を示す平面模式図である。図4は、図3に示すA−A線の断面模式図である。図3は、各画素51が形成された半導体基板60の表面に対して垂直な方向から見た状態を示している。
撮像用画素51Aは、光電変換部61と、電荷転送部62と、電荷保持部63と、フローティングディフュージョン69と、読み出し回路64と、光電変換部61の一部、電荷転送部62、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64を遮光する遮光膜66(図4参照)と、を備える。
光電変換部61は、レンズ装置40の撮像光学系を通った光を受光し受光量に応じた電荷を発生して蓄積する。光電変換部61は、半導体基板60内に形成されたフォトダイオード等で構成される。
電荷保持部63は、光電変換部61に蓄積された電荷を保持する。電荷保持部63は、半導体基板60内の不純物領域により構成される。
光電変換部61と電荷保持部63は、半導体基板60内で列方向Yに離間して配列されている。
電荷転送部62は、光電変換部61に蓄積された電荷を電荷保持部63に転送する。
電荷転送部62は、図3及び図4に示すように、半導体基板60内の光電変換部61と電荷保持部63との間の領域に形成された転送チャネル62bと、転送チャネル62b及び電荷保持部63の上方に酸化膜68を介して形成された転送電極62aとで構成される。図3及び図4の例では、転送電極62aが電荷保持部63の上方にまで形成されているが、転送電極62aが転送チャネル62bの上方にのみ形成された構成であってもよい。
転送電極62aに印加される電圧が駆動回路53によって制御されることで、光電変換部61に蓄積された電荷が転送チャネル62bを経由して、電荷保持部63に転送される。
フローティングディフュージョン69は、電荷を電圧に変換するためのものであり、電荷保持部63に保持された電荷が転送されてくる。電荷保持部63とフローティングディフュージョン69との間の半導体基板の上方には、図示省略の読み出し電極が形成されている。この読み出し電極に印加される電圧が駆動回路53によって制御されることで、電荷保持部63に保持された電荷がフローティングディフュージョン69に転送される。
遮光膜66は、図4に示すように、光電変換部61、電荷転送部62、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64の上方に形成されている。
遮光膜66のうち、光電変換部61の上方には開口65が形成されている。遮光膜66の開口65の中心は、光電変換部61の中心と一致している。
光電変換部61は、この開口65を通して、撮像光学系を通った光を受光する。図3において、光電変換部61における遮光膜66の開口65と重なる部分が、光電変換部61の受光領域を構成する。
図3に示す読み出し回路64は、電荷保持部63に保持された電荷を信号に変換して信号線SGに読み出す回路であり、周知の構成を採用可能である。読み出し回路64は、駆動回路53によって駆動される。
読み出し回路64は、例えば、フローティングディフュージョン69の電位をリセットするためのリセットトランジスタと、フローティングディフュージョン69の電位を信号に変換して出力する出力トランジスタと、出力トランジスタから出力される信号を選択的に信号線SGに読み出すための選択トランジスタと、を含む。
なお、読み出し回路64は、隣接する他の画素51と共用される場合もある。
図5は、図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素としての第一画素51Rの概略構成を示す平面模式図である。図6は、図5に示すB−B線の断面模式図である。図7は、図5に示すC−C線の断面模式図である。なお、図5は、半導体基板60の表面に対して垂直な方向から見た状態を示している。
第一画素51Rは、光電変換部61と、電荷転送部62Rと、電荷保持部63と、読み出し回路64と、フローティングディフュージョン69と、光電変換部61の一部、電荷転送部62R、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64を遮光する遮光膜66(図6及び図7参照)と、を備える。
第一画素51Rに含まれる光電変換部61、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64の構成は、撮像用画素51Aと同じである。
第一画素51Rの遮光膜66は、光電変換部61の上方に開口65Rを有する。開口65Rの中心は、光電変換部61の中心に対して行方向Xの右方向に偏心している。第一画素51Rの光電変換部61は、この開口65Rを通して、撮像光学系の瞳領域の行方向Xの右半分を通った光を受光する。
図5において、光電変換部61における遮光膜66の開口65Rと重なる部分が、第一画素51Rの光電変換部61の受光領域61Rを構成する。
電荷転送部62Rは、光電変換部61に蓄積された電荷を電荷保持部63に転送する。
図5及び図6に示すように、電荷転送部62Rは、光電変換部61のうちの受光領域61Rを列方向Yに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域と電荷保持部63との間に形成された転送チャネル62brと、転送チャネル62br及び電荷保持部63の上方に酸化膜68を介して形成された転送電極62arとで構成される。
図5及び図6の例では、転送電極62arが電荷保持部63の上方にも形成されているが、転送電極62arが転送チャネル62br上方にのみ形成される構成であってもよい。
転送電極62arに印加される電圧が駆動回路53によって制御されることで、光電変換部61に蓄積された電荷が転送チャネル62brを経由して、電荷保持部63に転送される。
図8は、図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素としての第二画素51Lの概略構成を示す平面模式図である。図9は、図8に示すD−D線の断面模式図である。図10は、図8に示すE−E線の断面模式図である。なお、図8は、半導体基板60の表面に対して垂直な方向から見た状態を示している。
第二画素51Lは、光電変換部61と、電荷転送部62Lと、電荷保持部63と、読み出し回路64と、フローティングディフュージョン69と、光電変換部61の一部、電荷転送部62L、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64を遮光する遮光膜66(図9及び図10参照)と、を備える。
第二画素51Lに含まれる光電変換部61、電荷保持部63、フローティングディフュージョン69、及び、読み出し回路64の構成は、撮像用画素51Aと同じである。
第二画素51Lの遮光膜66は、光電変換部61の上方に開口65Lを有する。開口65Lの中心は、光電変換部61の中心に対して行方向Xの左方向に偏心している。光電変換部61は、この開口65Lを通して、撮像光学系の瞳領域の行方向Xの左半分を通った光を受光する。
図8において、光電変換部61における遮光膜66の開口65Lと重なる部分が、第二画素51Lの光電変換部61の受光領域61Lを構成する。
電荷転送部62Lは、光電変換部61に蓄積された電荷を電荷保持部63に転送する。
図8及び図10に示すように、電荷転送部62Lは、光電変換部61のうちの受光領域61Lを列方向Yに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域と電荷保持部63との間に形成された転送チャネル62blと、転送チャネル62bl及び電荷保持部63の上方に酸化膜68を介して形成された転送電極62alとで構成される。
図8及び図10の例では、転送電極62alが電荷保持部63の上方にも形成されているが、転送電極62alが転送チャネル62bl上方にのみ形成された構成であってもよい。
転送電極62alに印加される電圧が駆動回路53によって制御されることで、光電変換部61に蓄積された電荷が転送チャネル62blを経由して、電荷保持部63に転送される。
以上の構成により、第一画素51Rの受光領域61Rでは、レンズ装置40の撮像光学系の瞳領域を行方向Xに2分割した場合の一方の分割領域を通過した光が受光される。また、第二画素51Lの受光領域61Lでは、レンズ装置40の撮像光学系の瞳領域の他方の分割領域を通過した光が受光される。
したがって、第一画素51Rから信号線SGに読み出される信号と、第二画素51Lから信号線SGに読み出される信号との相関演算を行うことで、行方向Xの位相差を算出することができる。
撮像素子5の第一画素51Rは、図5の平面視において、光電変換部61を行方向Xに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に電荷保持部63が配置される構成である。また、撮像素子5の第二画素51Lは、図8の平面視において、光電変換部61を行方向Xに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に電荷保持部63が配置される構成である。
この構成によれば、第一画素51R及び第二画素51Lの各々において、光電変換部61の行方向Xの隣には、画素内での占有面積の大きい電荷保持部63が配置されないことになる。このため、第一画素51R及び第二画素51Lの各々において、行方向Xの幅に占める光電変換部61の幅の割合を高めることができ、光電変換部61の行方向Xの幅を大きくすることが可能となる。
光電変換部61の行方向Xの幅が大きくできることで、第一画素51Rの受光領域61Rの行方向Xの幅と、第二画素51Lの受光領域61Lの行方向Xの幅をそれぞれ大きくすることができる。したがって、電荷保持部63を有する位相差検出用画素であっても、画素性能を向上させることができる。
また、撮像素子5の第一画素51Rの電荷転送部62Rの転送チャネル62brは、図5の平面視において、受光領域61Rを列方向Yに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に配置される構成である。また、撮像素子5の第二画素51Lの電荷転送部62Lの転送チャネル62blは、図8の平面視において、受光領域61Lを列方向Yに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に配置される構成である。
この構成によれば、受光領域61R(受光領域61L)と、その列方向Yの隣にある転送電極62ar(転送電極62al)との距離を大きくすることができる。このため、例えば開口65R(開口65L)を電荷保持部63側に向かって伸ばしても、電荷転送部62R(電荷転送部62L)の遮光性能を十分に確保することができる。
このように、第一画素51R及び第二画素51Lの構成によれば、開口65R(開口65L)の列方向Yの幅を大きくすることができるため、位相差検出用画素の感度を向上させることができる。
なお、図5の例では、第一画素51Rにおいて、光電変換部61と電荷保持部63が列方向Yに並ぶものとした。しかし、第一画素51Rにおいて、光電変換部61を行方向Xに移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に電荷保持部63が配置される構成となっていれば、光電変換部61と電荷保持部63の並ぶ方向は、列方向Yでなくてもよい。
例えば、図5において、電荷保持部63が行方向Xにずれている構成であってもよい。図5の構成によれば、第一画素51Rの行方向Xの幅を最小にすることができるため、画素サイズの縮小に有利である。
同様に、図8において、電荷保持部63が行方向Xにずれている構成であってもよい。図8の構成によれば、第二画素51Lの行方向Xの幅を最小にすることができるため、画素サイズの縮小に有利である。
また、図5において電荷転送部62Rを図3の電荷転送部62に置き換えた構成としてもよい。同様に、図8において電荷転送部62Lを図3の電荷転送部62に置き換えた構成としてもよい。このような構成であっても、受光領域61Rと受光領域61Lの各々の行方向Xの幅の拡大は可能であり、位相差検出用画素の画素性能を向上させることができる。
ここまでは、撮像素子5の受光面50に形成された位相差検出用画素が行方向Xの位相差を検出するためのものとして説明したが、位相差検出用画素は列方向Yの位相差を検出するためのものであってもよい。
図11は、図2に示す受光面50に形成された撮像用画素51Aの変形例を示す平面模式図である。
図11に示す撮像用画素51Aは、図3に示す撮像用画素51Aを左に90度回転し、フローティングディフュージョン69と読み出し回路64の位置を電荷保持部63の右隣に変更した構成である。なお、図11において転送チャネル62bの図示は省略されている。
図12は、図2に示す受光面50に形成された第一画素51Rの変形例を示す平面模式図である。
図12に示す第一画素51Rは、図5に示す第一画素51Rを左に90度回転し、フローティングディフュージョン69と読み出し回路64の位置を電荷保持部63の右隣に変更した構成である。なお、図12において転送チャネル62brの図示は省略されている。
図13は、図2に示す受光面50に形成された第二画素51Lの変形例を示す平面模式図である。
図13に示す第二画素51Lは、図8に示す第二画素51Lを左に90度回転し、フローティングディフュージョン69と読み出し回路64の位置を電荷保持部63の右隣に変更した構成である。なお、図13において転送チャネル62blの図示は省略されている。
図11〜図13に示す構成の画素51が受光面50に形成された撮像素子5によれば、第一画素51Rから出力される信号と、第二画素51Lから出力される信号との相関演算によって列方向Yの位相差を算出することができる。
この変形例の撮像素子5であっても、受光領域61Rと受光領域61Lの各々の列方向Yの幅と、受光領域61Rと受光領域61Lの各々の行方向Xの幅をそれぞれ大きくすることができ、位相差検出用画素の画素性能を向上させることができる。
なお、撮像素子5の受光面50には、例えば、図3又は図11に示す複数の撮像用画素51Aと、図5に示す第一画素51Rと図8に示す第二画素51Lの複数のペアと、図12に示す第一画素51Rと図13に示す第二画素51Lの複数のペアとが配置されていてもよい。
この構成によれば、行方向Xの位相差と列方向Yの位相差を算出することができ、高精度の合焦制御が可能となる。
撮像素子5の各画素51の光電変換部61の受光領域の上方には、この受光領域に光を集光するためのレンズが設けられていることが好ましい。以下、このレンズの構成例について説明する。
図14は、図3に示す撮像用画素51Aに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。なお、図14において転送チャネル62bの図示は省略されている。
図14に示すように、撮像用画素51Aの遮光膜66の開口65の上方にはレンズ67が設けられている。レンズ67は、図14の例では楕円形状となっており、第一画素51Rと第二画素51Lによる位相差の検出方向である行方向Xの幅が列方向Yの幅よりも大きくなっている。
図15は、図5に示す第一画素51Rに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。なお、図14において転送チャネル62brの図示は省略されている。
図15に示すように、第一画素51Rの遮光膜66の開口65Rの上方にはレンズ67が設けられている。レンズ67は、図15の例では楕円形状となっており、第一画素51Rと第二画素51Lによる位相差の検出方向である行方向Xの幅が列方向Yの幅よりも大きくなっている。
図16は、図8に示す第二画素51Lに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。なお、図16において転送チャネル62blの図示は省略されている。
図16に示すように、第二画素51Lの遮光膜66の開口65Lの上方にはレンズ67が設けられている。レンズ67は、図16の例では楕円形状となっており、第一画素51Rと第二画素51Lによる位相差の検出方向である行方向Xの幅が列方向Yの幅よりも大きくなっている。
図14〜図16に示す構成の画素51が受光面50に形成された撮像素子5によれば、レンズ67の端部と電荷保持部63との距離を大きくすることができるため、レンズ67で集光された光が電荷保持部63に漏れこむのを防ぐことができ、撮像品質を向上させることができる。
図17は、図12に示す第一画素51Rに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。なお、図17において転送チャネル62brの図示は省略されている。
図17に示すように、第一画素51Rの遮光膜66の開口65Rの上方にはレンズ67が設けられている。レンズ67は、図17の例では楕円形状となっており、第一画素51Rと第二画素51Lによる位相差の検出方向である列方向Yの幅が行方向Xの幅よりも大きくなっている。
図18は、図13に示す第二画素51Lに搭載されるレンズの形状の一例を示す図である。なお、図18において転送チャネル62blの図示は省略されている。
図18に示すように、第二画素51Lの遮光膜66の開口65Lの上方にはレンズ67が設けられている。レンズ67は、図18の例では楕円形状となっており、第一画素51Rと第二画素51Lによる位相差の検出方向である列方向Yの幅が行方向Xの幅よりも大きくなっている。
図17及び図18に示す構成の画素51が受光面50に形成された撮像素子5によれば、レンズ67の端部と電荷保持部63との距離を大きくすることができるため、レンズ67で集光された光が電荷保持部63に漏れこむのを防ぐことができ、撮像品質を向上させることができる。
撮像素子5の受光面50に形成される位相差検出用画素は、レンズ装置40の撮像光学系の瞳領域の行方向Xに並ぶ異なる2つの部分を通過した一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部と、上記の一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部との両方を含む画素であってもよい。
図19は、図2に示す受光面50に形成される位相差検出用画素の変形例を示す平面模式図である。
図19に示す位相差検出用画素51Bは、光電変換部71Rと、光電変換部71Lと、電荷転送部72Rと、電荷転送部72Lと、電荷保持部73Rと、電荷保持部73Lと、読み出し回路74Rと、読み出し回路74Lと、フローティングディフュージョン76Rと、フローティングディフュージョン76Lと、これらを遮光する図示省略の遮光膜と、を備える。
光電変換部71Rと光電変換部71Lは、それぞれ、半導体基板70内に形成されたフォトダイオード等によって構成される。光電変換部71Rと光電変換部71Lは行方向Xに離間して配列されている。
位相差検出用画素51Bにおける光電変換部71Rの中心は、図3に示す撮像用画素51Aの光電変換部61の中心に対し行方向Xの右方向に偏心している。
位相差検出用画素51Bにおける光電変換部71Lの中心は、図3に示す撮像用画素51Aの光電変換部61の中心に対し行方向Xの左方向に偏心している。
電荷保持部73Rは、光電変換部71Rに蓄積された電荷を保持する。電荷保持部73Lは、光電変換部71Lに蓄積された電荷を保持する。電荷保持部73Rと電荷保持部73Lは、それぞれ、半導体基板70内に形成された不純物領域で構成される。
電荷保持部73R及び電荷保持部73Lは、位相差検出用画素51Bの平面領域のうち、光電変換部71Rを行方向Xに移動させた場合の軌跡で示される領域と、光電変換部71Lを行方向Xに移動させた場合の軌跡で示される領域とを除く領域に配置されている。
図19の例では、電荷保持部73Rは、光電変換部71Rに対して列方向Yに離間して配置されている。また、電荷保持部73Lは、光電変換部71Lに対して列方向Yに離間して配置されている。
電荷転送部72Rは、光電変換部71Rと電荷保持部73Rとの間に配置されており、光電変換部71Rに蓄積された電荷を電荷保持部73Rに転送する。電荷転送部72Rの構成は、電荷転送部62と同様であり、転送チャネルと転送電極とにより構成される。
電荷転送部72Lは、光電変換部71Lと電荷保持部73Lとの間に配置されており、光電変換部71Lに蓄積された電荷を電荷保持部73Lに転送する。電荷転送部72Lの構成は、電荷転送部62と同様であり、転送チャネルと転送電極とにより構成される。
フローティングディフュージョン76Rは、電荷保持部73Rに保持された電荷が転送され、転送された電荷を電圧に変換する。
フローティングディフュージョン76Lは、電荷保持部73Lに保持された電荷が転送され、転送された電荷を電圧に変換する。
読み出し回路74Rは、電荷保持部73Rに保持された電荷を信号に変換して信号線SGに読み出す回路であり、例えば上述した構成が採用される。
読み出し回路74Lは、電荷保持部73Lに保持された電荷を信号に変換して信号線SGに読み出す回路であり、例えば上述した構成が採用される。
光電変換部71R、光電変換部71L、電荷転送部72R、電荷転送部72L、電荷保持部73R、電荷保持部73L、読み出し回路74R、読み出し回路74L、フローティングディフュージョン76R、及び、フローティングディフュージョン76Lの上方には、図示省略の遮光膜が形成されている。
この遮光膜は、光電変換部71Rの上方に開口75Rを有し、光電変換部71Lの上方に開口75Lを有する。
開口75Rの中心は、光電変換部71Rの中心と一致している。開口75Lの中心は、光電変換部71Lの中心と一致している。
以上の構成の位相差検出用画素51Bでは、光電変換部71Rが、レンズ装置40の撮像光学系の瞳領域の行方向Xに並ぶ異なる2つの部分を通過した一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部として機能する。また、光電変換部71Lが、上記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部として機能する。
したがって、光電変換部71R、電荷転送部72R、電荷保持部73R、読み出し回路74R、及び、フローティングディフュージョン76Rからなるユニットが、図5に示した第一画素51Rと同様に機能する。
また、光電変換部71L、電荷転送部72L、電荷保持部73L、読み出し回路74L、及び、フローティングディフュージョン76Lからなるユニットが、図8に示した第二画素51Lと同様に機能する。
図19に示す位相差検出用画素51Bによれば、光電変換部71R及び光電変換部71Lの各々の行方向の隣には、画素内での占有面積の大きい電荷保持部73R及び電荷保持部73Lが配置されないことになる。
このため、行方向Xの幅に占める光電変換部71R及び光電変換部71Lの各々の幅の割合を高めることができ、光電変換部71R及び光電変換部71Lの各々の行方向Xの幅を大きくすることが可能となる。したがって、位相差検出用画素51Bの画素性能を向上させることができる。
位相差を検出するための光電変換部のペアが1つの画素51内に配置される構成では、画素内のスペースに余裕がなくなる。このため、図19に示す構成が特に有効となる。
なお、図2に示す受光面50に形成された位相差検出用画素の構成として、図19に示す位相差検出用画素51Bを左に90度回転した構成とすることもできる。この構成によれば、列方向Yの位相差を高精度に検出することが可能となる。
図19に示す位相差検出用画素51Bにおいても、開口75R及び開口75Lの上方に、行方向Xの幅が列方向Yの幅よりも大きい1つのレンズを搭載して、光電変換部71R及び光電変換部71Lに光を集光することで、電荷保持部73R及び電荷保持部73Lへの電荷の漏れこみを防ぐことができ、撮像品質を向上させることができる。
なお、図19に示す位相差検出用画素51Bでは、電荷保持部73Rに保持された電荷と電荷保持部73Lに保持された電荷を、例えば読み出し回路74Rのフローティングディフュージョン76Lに同時に転送し、このフローティングディフュージョン76Lの電位を信号に変換して信号線SGに読み出すこともできる。
この構成とすることで、位相差検出用画素51Bを図3に示した撮像用画素51Aとして機能させることができる。このように、位相差検出用画素51Bを撮像用画素と兼用する場合、受光面50には、この位相差検出用画素51Bのみが二次元状に配置されていてもよい。
ここまでは撮像装置としてデジタルカメラを例にしたが、以下では、撮像装置としてカメラ付のスマートフォンの実施形態について説明する。
図20は、本発明の撮影装置の一実施形態であるスマートフォン200の外観を示すものである。
図20に示すスマートフォン200は、平板状の筐体201を有し、筐体201の一方の面に表示部としての表示パネル202と、入力部としての操作パネル203とが一体となった表示入力部204を備えている。
また、この様な筐体201は、スピーカ205と、マイクロホン206と、操作部207と、カメラ部208とを備えている。
なお、筐体201の構成はこれに限定されず、例えば、表示部と入力部とが独立した構成を採用したり、折り畳み構造又はスライド機構を有する構成を採用したりすることもできる。
図21は、図20に示すスマートフォン200の構成を示すブロック図である。
図21に示すように、スマートフォンの主たる構成要素として、無線通信部210と、表示入力部204と、通話部211と、操作部207と、カメラ部208と、記憶部212と、外部入出力部213と、GPS(Global Positioning System)受信部214と、モーションセンサ部215と、電源部216と、主制御部220とを備える。
また、スマートフォン200の主たる機能として、図示省略の基地局装置BSと図示省略の移動通信網NWとを介した移動無線通信を行う無線通信機能を備える。
無線通信部210は、主制御部220の指示にしたがって、移動通信網NWに収容された基地局装置BSに対し無線通信を行うものである。この無線通信を使用して、音声データ、画像データ等の各種ファイルデータ、電子メールデータ等の送受信、又は、Webデータ又はストリーミングデータ等の受信を行う。
表示入力部204は、主制御部220の制御により、画像(静止画像および動画像)又は文字情報等を表示して視覚的にユーザに情報を伝達するとともに、表示した情報に対するユーザ操作を検出する、いわゆるタッチパネルであって、表示パネル202と、操作パネル203とを備える。
表示パネル202は、LCD(Liquid Crystal Display)、OELD(Organic Electro−Luminescence Display)等を表示デバイスとして用いたものである。
操作パネル203は、表示パネル202の表示面上に表示される画像を視認可能に載置され、ユーザの指又は尖筆によって操作される一又は複数の座標を検出するデバイスである。このデバイスをユーザの指又は尖筆によって操作すると、操作に起因して発生する検出信号を主制御部220に出力する。次いで、主制御部220は、受信した検出信号に基づいて、表示パネル202上の操作位置(座標)を検出する。
図20に示すように、本発明の撮影装置の一実施形態として例示しているスマートフォン200の表示パネル202と操作パネル203とは一体となって表示入力部204を構成しているが、操作パネル203が表示パネル202を完全に覆うような配置となっている。
係る配置を採用した場合、操作パネル203は、表示パネル202外の領域についても、ユーザ操作を検出する機能を備えてもよい。換言すると、操作パネル203は、表示パネル202に重なる重畳部分についての検出領域(以下、表示領域と称する)と、それ以外の表示パネル202に重ならない外縁部分についての検出領域(以下、非表示領域と称する)とを備えていてもよい。
なお、表示領域の大きさと表示パネル202の大きさとを完全に一致させても良いが、両者を必ずしも一致させる必要は無い。また、操作パネル203が、外縁部分と、それ以外の内側部分の2つの感応領域を備えていてもよい。更に、外縁部分の幅は、筐体201の大きさ等に応じて適宜設計されるものである。
更にまた、操作パネル203で採用される位置検出方式としては、マトリクススイッチ方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、電磁誘導方式、又は、静電容量方式等が挙げられ、いずれの方式を採用することもできる。
通話部211は、スピーカ205又はマイクロホン206を備え、マイクロホン206を通じて入力されたユーザの音声を主制御部220にて処理可能な音声データに変換して主制御部220に出力したり、無線通信部210あるいは外部入出力部213により受信された音声データを復号してスピーカ205から出力させたりするものである。
また、図20に示すように、例えば、スピーカ205を表示入力部204が設けられた面と同じ面に搭載し、マイクロホン206を筐体201の側面に搭載することができる。
操作部207は、キースイッチ等を用いたハードウェアキーであって、ユーザからの指示を受け付けるものである。例えば、図20に示すように、操作部207は、スマートフォン200の筐体201の側面に搭載され、指等で押下されるとオンとなり、指を離すとバネ等の復元力によってオフ状態となる押しボタン式のスイッチである。
記憶部212は、主制御部220の制御プログラム又は制御データ、アプリケーションソフトウェア、通信相手の名称又は電話番号等を対応づけたアドレスデータ、送受信した電子メールのデータ、WebブラウジングによりダウンロードしたWebデータ又は、ダウンロードしたコンテンツデータを記憶し、またストリーミングデータ等を一時的に記憶するものである。また、記憶部212は、スマートフォン内蔵の内部記憶部217と着脱自在な外部メモリスロットを有する外部記憶部218により構成される。
なお、記憶部212を構成するそれぞれの内部記憶部217と外部記憶部218は、フラッシュメモリタイプ(flash memory type)、ハードディスクタイプ(hard disk type)、マルチメディアカードマイクロタイプ(multimedia card micro type)、カードタイプのメモリ(例えば、MicroSD(登録商標)メモリ等)、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)等の格納媒体を用いて実現される。
外部入出力部213は、スマートフォン200に連結される全ての外部機器とのインタフェースの役割を果たすものであり、他の外部機器に通信等(例えば、ユニバーサルシリアルバス(USB)、IEEE1394等)又はネットワーク(例えば、インターネット、無線LAN、ブルートゥース(Bluetooth)(登録商標)、RFID(Radio Frequency Identification)、赤外線通信(Infrared Data Association:IrDA)(登録商標)、UWB(Ultra Wideband)(登録商標)、ジグビー(ZigBee)(登録商標)等)により直接的又は間接的に接続するためのものである。
スマートフォン200に連結される外部機器としては、例えば、有/無線ヘッドセット、有/無線外部充電器、有/無線データポート、カードソケットを介して接続されるメモリカード(Memory card)又はSIM(Subscriber Identity Module Card)/UIM(User Identity Module
Card)カード、オーディオ・ビデオI/O(Input/Output)端子を介して接続される外部オーディオ・ビデオ機器、無線接続される外部オーディオ・ビデオ機器、有/無線接続されるスマートフォン、有/無線接続されるパーソナルコンピュータ、有/無線接続されるPDA、有/無線接続されるパーソナルコンピュータ、イヤホン等がある。
外部入出力部213は、このような外部機器から伝送を受けたデータをスマートフォン200の内部の各構成要素に伝達したり、スマートフォン200の内部のデータを外部機器に伝送したりする。
GPS受信部214は、主制御部220の指示にしたがって、GPS衛星ST1〜STnから送信されるGPS信号を受信し、受信した複数のGPS信号に基づく測位演算処理を実行し、スマートフォン200の緯度、経度、高度からなる位置を検出する。
GPS受信部214は、無線通信部210又は外部入出力部213(例えば、無線LAN)から位置情報を取得できる時には、その位置情報を用いて位置を検出することもできる。
モーションセンサ部215は、例えば、3軸の加速度センサ等を備え、主制御部220の指示にしたがって、スマートフォン200の物理的な動きを検出する。スマートフォン200の物理的な動きを検出することにより、スマートフォン200の動く方向又は加速度が検出される。係る検出結果は、主制御部220に出力されるものである。
電源部216は、主制御部220の指示にしたがって、スマートフォン200の各部に、バッテリ(図示しない)に蓄えられる電力を供給するものである。
主制御部220は、マイクロプロセッサを備え、記憶部212が記憶する制御プログラム又は制御データにしたがって動作し、スマートフォン200の各部を統括して制御するものである。
また、主制御部220は、無線通信部210を通じて、音声通信又はデータ通信を行うために、通信系の各部を制御する移動通信制御機能と、アプリケーション処理機能を備える。
アプリケーション処理機能は、記憶部212が記憶するアプリケーションソフトウェアにしたがって主制御部220が動作することにより実現するものである。
アプリケーション処理機能としては、例えば、外部入出力部213を制御して対向機器とデータ通信を行う赤外線通信機能、電子メールの送受信を行う電子メール機能、又は、ウェブページを閲覧するウェブブラウジング機能等がある。
また、主制御部220は、受信データ又はダウンロードしたストリーミングデータ等の画像データ(静止画像又は動画像のデータ)に基づいて、映像を表示入力部204に表示する等の画像処理機能を備える。
画像処理機能とは、主制御部220が、上記画像データを復号し、この復号結果に画像処理を施して、画像を表示入力部204に表示する機能のことをいう。
更に、主制御部220は、表示パネル202に対する表示制御と、操作部207、操作パネル203を通じたユーザ操作を検出する操作検出制御を実行する。表示制御の実行により、主制御部220は、アプリケーションソフトウェアを起動するためのアイコン又はスクロールバー等のソフトウェアキーを表示したり、あるいは電子メールを作成したりするためのウィンドウを表示する。
なお、スクロールバーとは、表示パネル202の表示領域に収まりきれない大きな画像等について、画像の表示部分を移動する指示を受け付けるためのソフトウェアキーのことをいう。
また、操作検出制御の実行により、主制御部220は、操作部207を通じたユーザ操作を検出したり、操作パネル203を通じて、上記アイコンに対する操作又は、上記ウィンドウの入力欄に対する文字列の入力を受け付けたり、あるいは、スクロールバーを通じた表示画像のスクロール要求を受け付ける。
更に、操作検出制御の実行により主制御部220は、操作パネル203に対する操作位置が、表示パネル202に重なる重畳部分(表示領域)か、それ以外の表示パネル202に重ならない外縁部分(非表示領域)かを判定し、操作パネル203の感応領域又はソフトウェアキーの表示位置を制御するタッチパネル制御機能を備える。
また、主制御部220は、操作パネル203に対するジェスチャ操作を検出し、検出したジェスチャ操作に応じて、予め設定された機能を実行することもできる。ジェスチャ操作とは、従来の単純なタッチ操作ではなく、指等によって軌跡を描いたり、複数の位置を同時に指定したり、あるいはこれらを組み合わせて、複数の位置から少なくとも1つについて軌跡を描く操作を意味する。
カメラ部208は、図1に示したデジタルカメラにおける外部メモリ制御部20、記憶媒体21、表示部23、表示ドライバ22、及び、操作部14以外の構成を含む。
カメラ部208によって生成された撮像画像データは、記憶部212に記憶したり、外部入出力部213又は無線通信部210を通じて出力したりすることができる。
図20に示すスマートフォン200において、カメラ部208は表示入力部204と同じ面に搭載されているが、カメラ部208の搭載位置はこれに限らず、表示入力部204の背面に搭載されてもよい。
また、カメラ部208はスマートフォン200の各種機能に利用することができる。例えば、表示パネル202にカメラ部208で取得した画像を表示することができる。操作パネル203の操作入力のひとつとして、カメラ部208の画像を利用することができる。
また、GPS受信部214が位置を検出する際に、カメラ部208からの画像を参照して位置を検出することもできる。更には、カメラ部208からの画像を参照して、3軸の加速度センサを用いずに、或いは、3軸の加速度センサと併用して、スマートフォン200のカメラ部208の光軸方向を判断したり現在の使用環境を判断したりすることもできる。勿論、カメラ部208からの画像をアプリケーションソフトウェア内で利用することもできる。
その他、静止画又は動画の画像データにGPS受信部214により取得した位置情報、マイクロホン206により取得した音声情報(主制御部等により、音声テキスト変換を行ってテキスト情報となっていてもよい)、モーションセンサ部215により取得した姿勢情報等を付加して記憶部212に記憶したり、外部入出力部213又は無線通信部210を通じて出力したりすることもできる。
以上のように、本明細書には以下の事項が開示されている。
(1) 撮像光学系を通して被写体を撮像する撮像素子であって、半導体基板内に形成され、上記撮像光学系の瞳領域の一方向に並ぶ異なる部分を通過した一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部と、上記半導体基板内に形成され、上記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部と、のペアを複数有し、上記ペアを構成する上記光電変換部を含む画素は、上記画素内の上記光電変換部から転送された電荷を保持し、上記電荷に応じた信号が読み出し回路によって読み出される電荷保持部を含み、上記半導体基板に垂直な方向から見た状態において、上記画素に含まれる上記電荷保持部は、その画素のうちのその画素に含まれる上記光電変換部を上記一方向に移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に配置されている撮像素子。
(2) (1)記載の撮像素子であって、上記画素の上記光電変換部及び上記電荷保持部は、上記一方向に直交する方向に並んでいる撮像素子。
(3) (1)又は(2)記載の撮像素子であって、全ての上記画素は、上記一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する上記光電変換部を含む第一画素と、上記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する上記光電変換部を含む第二画素とを含み、上記第一画素と上記第二画素の各々は、上記光電変換部に蓄積された電荷を上記電荷保持部に転送するための上記半導体基板内に形成されたチャネル及び上記転送チャネル上方に形成された転送電極と、上記光電変換部の受光領域を除く領域、上記電荷保持部、及び、上記転送電極を遮光する遮光膜と、を含み、上記転送チャネルは、上記半導体基板に垂直な方向から見た状態において、上記画素のうちの上記光電変換部の上記受光領域を上記一方向に直交する方向に移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に形成されている撮像素子。
(4) (3)記載の撮像素子であって、上記第一画素と上記第二画素の各々は、上記光電変換部の上方に上記光電変換部の受光領域に光を集光するためのレンズを有し、上記レンズは、上記一方向の幅が上記一方向に直交する方向の幅よりも大きくなっている撮像素子。
(5) (1)記載の撮像素子であって、全ての上記画素は、上記一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する上記光電変換部を含む第一画素と、上記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する上記光電変換部を含む第二画素とを含み、上記第一画素と上記第二画素の各々は、上記光電変換部の上方に上記光電変換部の受光領域に光を集光するためのレンズを有し、上記レンズは、上記一方向の幅が上記一方向に直交する方向の幅よりも大きくなっている撮像素子。
(6) (1)〜(5)のいずれか1つに記載の撮像素子を備える撮像装置。
本発明によれば、高精度の合焦制御が可能な撮像装置を提供することができる。
以上、本発明を特定の実施形態によって説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、開示された発明の技術思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
本出願は、2016年9月27日出願の日本特許出願(特願2016−188705)に基づくものであり、その内容はここに取り込まれる。
1 撮像レンズ
2 絞り
4 レンズ制御部
5 撮像素子
40 レンズ装置
50 受光面
51 画素
51A 撮像用画素
51R 第一画素
51L 第二画素
51B 位相差検出用画素
52 画素行
53 駆動回路
54 信号処理回路
X 行方向
Y 列方向
8 レンズ駆動部
9 絞り駆動部
10 撮像素子駆動部
11 システム制御部
14 操作部
17 デジタル信号処理部
20 外部メモリ制御部
21 記憶媒体
22 表示ドライバ
23 表示部
24 制御バス
25 データバス
60,70 半導体基板
61,71R,71L 光電変換部
62,62R,62L,72R,72L 電荷転送部
62a,62ar,62al 転送電極
62b,62br,62bl 転送チャネル
63,73R,73L 電荷保持部
64,74R,74L 読み出し回路
65,65R,65L,75R,75L 開口
69,76R,76L フローティングディフュージョン
66 遮光膜
67 レンズ
68 酸化膜
SG 信号線
200 スマートフォン
201 筐体
202 表示パネル
203 操作パネル
204 表示入力部
205 スピーカ
206 マイクロホン
207 操作部
208 カメラ部
210 無線通信部
211 通話部
212 記憶部
213 外部入出力部
214 GPS受信部
215 モーションセンサ部
216 電源部
217 内部記憶部
218 外部記憶部
220 主制御部
ST1〜STn GPS衛星

Claims (3)

  1. 撮像光学系を通して被写体を撮像する撮像素子であって、
    半導体基板内に形成された画素の中に、前記撮像光学系の瞳領域の一方向に並ぶ異なる部分を通過した一対の光束の一方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部を含む第一画素と、前記一対の光束の他方を受光し受光量に応じた電荷を蓄積する光電変換部を含む第二画素と、のペアが複数含まれており、
    前記ペアを構成する前記第一画素及び第二画素の各々は、
    前記画素内の前記光電変換部から転送された電荷を保持し、前記電荷に応じた信号が読み出し回路によって読み出される電荷保持部と、
    前記光電変換部に蓄積された電荷を前記電荷保持部に転送するための前記半導体基板内に形成された転送チャネル及び前記転送チャネル上方に形成された転送電極と、
    前記光電変換部の受光領域を除く領域、前記電荷保持部、及び、前記転送電極を遮光する遮光膜と、を含み、
    前記第一画素及び第二画素の各々に含まれる前記光電変換部及び電荷保持部は、前記半導体基板に垂直な方向から見た状態において、前記一方向に直交する方向に並んでおり、
    前記転送チャネルは、前記半導体基板に垂直な方向から見た状態において、前記第一画素及び第二画素のうちの前記光電変換部の前記受光領域を前記一方向に直交する方向に移動させた場合の軌跡で示される領域を除く領域に形成されている撮像素子。
  2. 請求項1記載の撮像素子であって、
    前記第一画素と前記第二画素の各々は、前記光電変換部の上方に前記光電変換部の受光領域に光を集光するためのレンズを有し、
    前記レンズは、前記一方向の幅が前記一方向に直交する方向の幅よりも大きくなっている撮像素子。
  3. 請求項1又は2記載の撮像素子を備える撮像装置。
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