JP6440819B2 - シリコン−ゲルマニウム電気吸収型変調器 - Google Patents
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- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 title description 11
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 37
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 13
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 8
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 35
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 9
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 4
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction
- G02F1/025—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction in an optical waveguide structure
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/15—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction
- G02F1/0155—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction modulating the optical absorption
- G02F1/0157—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction modulating the optical absorption using electro-absorption effects, e.g. Franz-Keldysh [FK] effect or quantum confined stark effect [QCSE]
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/06—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 integrated waveguide
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Description
シリコン基板と、シリコン基板上に配置された酸化層と、を含む基板層と、
酸化層上に配置された上部層シリコンであって、導波路層が上部層シリコン上に形成された、上部層シリコンと、
上部層シリコン上に形成され、第1のドーピングパネル及び第2のドーピングパネルを含み、第1の種類の軽ドーピング領域が第1のドーピングパネル上に形成され、第2の種類の軽ドーピング領域が第2のドーピングパネル上に形成され、第1の種類の軽ドーピング領域及び第2の種類の軽ドーピング領域が、導波路層の2つの側方に位置し、導波路層に密接し、第1の種類の軽ドーピング領域、導波路層、及び第2の種類の軽ドーピング領域がPIN接合を形成する、ドーピング層と、
導波路層上に配置され、PIN接合に対して平行に接続された変調層と、を含み、
特定の波長を有するビームが導波路層にそって伝搬し、変調層及び導波路層によって形成された変調領域に入り、次いで、変調層と導波路層との間を振動して伝搬し、変調電気信号が第1の種類の軽ドーピング領域及び第2の種類の軽ドーピング領域に逆方向に印加されると、ビームについて変調層の光吸収係数が、変調電気信号とともに変化し、ビームが変調領域を通過した後に、ビームの光パワーもそれに従って変化し、電気−光変調がビームに対して行われる、電気吸収型変調器が提供される。
第1のドーピングパネル上に形成された第1の種類の重ドーピング領域であって、第1の種類の軽ドーピング領域が、第1の種類の重ドーピング領域と導波路層との間に位置し、第1の種類の重ドーピング領域のドーピング密度が、第1の種類の軽ドーピング領域のドーピング密度よりも大きい、第1の種類の重ドーピング領域と、
第2のドーピングパネル上に形成された第2の種類の重ドーピング領域であって、第2の種類の軽ドーピング領域が、第2の種類の重ドーピング領域と導波路層との間に位置し、第2の種類の重ドーピング領域のドーピング密度が、第2の種類の軽ドーピング領域のドーピング密度よりも大きい、第2の種類の重ドーピング領域と、を含む。
第1の種類がP型であり、第2の種類がN型である場合に、変調電気信号が第1の種類の軽ドーピング領域及び第2の種類の軽ドーピング領域に逆方向に印加されることが、変調電気信号の負の電極が第1の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続され、変調電気信号の正の電極が第2の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続されることである。
第1の金属電極層及び第2の金属電極層を含む金属層を含み、第1の金属電極層が第1の種類の重ドーピング領域上に形成され、第2の金属電極層が第2の種類の重ドーピング領域上に形成される。
上部層シリコン上に形成され、上部層シリコン、ドーピング層、導波路層及び変調層を覆うカバー層を含む。
導波路層と変調層との間に配置された変調バッファ層を含む。
110 基板層
112 シリコン基板
114 酸化層
120 上部層シリコン
122 導波路層
132 第1のドーピングパネル
133 第2のドーピングパネル
134 第1の種類の軽ドーピング領域
135 第2の種類の軽ドーピング領域
136 第1の種類の重ドーピング領域
137 第2の種類の重ドーピング領域
138 第1の金属電極層
139 第2の金属電極層
140 変調層
150 変調バッファ層
160 カバー層
Claims (13)
- シリコン基板と、前記シリコン基板上に配置された酸化層と、を含む基板層と、
上部層シリコンであって、導波路層が前記上部層シリコン上に形成された、上部層シリコンと、
前記上部層シリコン上に形成され、第1のドーピングパネル及び第2のドーピングパネルを含み、第1の種類の軽ドーピング領域が前記第1のドーピングパネル上に形成され、第2の種類の軽ドーピング領域が前記第2のドーピングパネル上に形成され、前記第1の種類の軽ドーピング領域及び前記第2の種類の軽ドーピング領域が、前記導波路層の2つの側方に位置し、前記導波路層に密接し、前記第1の種類の軽ドーピング領域、前記導波路層、及び前記第2の種類の軽ドーピング領域がPIN接合を形成する、ドーピング層と、
前記導波路層上に配置され、前記PIN接合に対して平行に接続された変調層と、を含み、
特定の波長を有するビームが前記導波路層にそって伝搬し、前記変調層及び前記導波路層によって形成された変調領域に入り、次いで、前記変調層と前記導波路層との間を振動して伝搬し、変調電気信号が前記第1の種類の軽ドーピング領域及び前記第2の種類の軽ドーピング領域に逆方向に印加されると、前記ビームについて前記変調層の光吸収係数が、前記変調電気信号とともに変化し、前記ビームが前記変調領域を通過した後に、前記ビームの光パワーもそれに従って変化し、電気−光変調が前記ビームに対して行われ、
前記変調層の断面が三角形または台形であり、前記断面が、前記ビームが伝搬する第2の方向に対して垂直である、電気吸収型変調器。 - 二酸化シリコン層が、前記導波路層及び前記ドーピング層の上に成長して形成され、選択的エピタキシャル領域が前記二酸化シリコン層をエッチングすることによって得られ、前記選択的エピタキシャル領域が、前記変調層を成長させるために使用され、前記ビームが前記導波路層及び前記変調層を伝搬する際に必要なモード合致要件を前記変調層の大きさが満たすように、前記変調電気信号が印加される第1の方向における前記選択的エピタキシャル領域の開口幅が選択され、成長した前記変調層の厚さ及び形状が制御される、請求項1に記載の電気吸収型変調器。
- 前記第2の方向における前記選択的エピタキシャル領域の長さが、成長した前記変調層の長さであり、前記ビームが前記変調領域を伝搬する場合に、前記光パワーが、λ/(n1 eff−n2 eff)の振動周期で前記変調層と前記導波路層との間を振動し、前記変調層の長さが、前記振動周期の整数倍であり、λが前記ビームの波長であり、n1 effが前記変調層における前記ビームの有効屈折率であり、n2 effが、前記導波路層における前記ビームの有効屈折率である、請求項2に記載の電気吸収型変調器。
- 前記第1の方向が、前記第2の方向に対して垂直である、請求項3に記載の電気吸収型変調器。
- 前記ドーピング層がさらに、
前記第1のドーピングパネル上に形成された第1の種類の重ドーピング領域であって、前記第1の種類の軽ドーピング領域が、前記第1の種類の重ドーピング領域と前記導波路層との間に位置し、前記第1の種類の重ドーピング領域のドーピング密度が、前記第1の種類の軽ドーピング領域のドーピング密度よりも大きい、第1の種類の重ドーピング領域と、
前記第2のドーピングパネル上に形成された第2の種類の重ドーピング領域であって、前記第2の種類の軽ドーピング領域が、前記第2の種類の重ドーピング領域と前記導波路層との間に位置し、前記第2の種類の重ドーピング領域のドーピング密度が、前記第2の種類の軽ドーピング領域のドーピング密度よりも大きい、第2の種類の重ドーピング領域と、を含む、請求項1に記載の電気吸収型変調器。 - 前記第1の種類がN型であり、前記第2の種類がP型である場合に、変調電気信号が前記第1の種類の軽ドーピング領域及び前記第2の種類の軽ドーピング領域に逆方向に印加されることが、前記変調電気信号の正の電極が前記第1の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続され、前記変調電気信号の負の電極が前記第2の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続されることであり、または、
前記第1の種類がP型であり、前記第2の種類がN型である場合に、変調電気信号が前記第1の種類の軽ドーピング領域及び前記第2の種類の軽ドーピング領域に逆方向に印加されることが、前記変調電気信号の負の電極が前記第1の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続され、前記変調電気信号の正の電極が前記第2の種類の軽ドーピング領域に電気的に接続されることである、請求項5に記載の電気吸収型変調器。 - 前記電気吸収型変調器がさらに、
第1の金属電極層及び第2の金属電極層を含む金属層を含み、前記第1の金属電極層が前記第1の種類の重ドーピング領域上に形成され、前記第2の金属電極層が前記第2の種類の重ドーピング領域上に形成された、請求項5に記載の電気吸収型変調器。 - 前記電気吸収型変調器がさらに、
前記上部層シリコン上に形成され、前記上部層シリコン、前記ドーピング層、前記導波路層及び前記変調層を覆うカバー層を含む、請求項7に記載の電気吸収型変調器。 - 第1のビア及び第2のビアが前記カバー層上に配置され、前記第1のビアが前記第1の金属電極層と連通し、前記第2のビアが前記第2の金属電極層と連通し、前記変調電気信号が、前記第1のビア及び前記第2のビアを通して前記第1の金属電極層及び前記第2の金属電極層に印加される、請求項8に記載の電気吸収型変調器。
- 前記導波路層がリッジ導波路であり、前記導波路層がシリコンからなる、請求項1に記載の電気吸収型変調器。
- 前記変調層が、所定の比率に従ってゲルマニウムをシリコンと混合することによって形成された、請求項1に記載の電気吸収型変調器。
- 前記電気吸収型変調器がさらに、
前記導波路層と前記変調層との間に配置された変調バッファ層を含む、請求項1に記載の電気吸収型変調器。 - 前記PIN接合によって生じる内部電場が、前記変調領域内に存在し、変調電気信号が前記PIN接合に逆方向に印加される場合、前記変調層における前記内部電場が、前記変調電気信号とともに変化し、前記変調電気信号が強い場合、前記内部電場が増加し、前記変調層が前記ビームをより吸収し、前記変調電気信号が弱い場合、前記内部電場が減少し、前記変調層が前記ビームを吸収する量が小さくなる、請求項1に記載の電気吸収型変調器。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/CN2014/083472 WO2016015303A1 (zh) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 锗硅电吸收调制器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017522609A JP2017522609A (ja) | 2017-08-10 |
JP6440819B2 true JP6440819B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=55216658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017505141A Active JP6440819B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | シリコン−ゲルマニウム電気吸収型変調器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9804426B2 (ja) |
EP (1) | EP3163359B1 (ja) |
JP (1) | JP6440819B2 (ja) |
KR (1) | KR101961237B1 (ja) |
CN (1) | CN105474078B (ja) |
WO (1) | WO2016015303A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019008163A (ja) * | 2017-06-26 | 2019-01-17 | 日本電気株式会社 | 電界吸収型光変調器 |
FR3078437B1 (fr) | 2018-02-23 | 2022-02-04 | St Microelectronics Crolles 2 Sas | Jonction pn |
CN112204459A (zh) * | 2018-02-27 | 2021-01-08 | 洛克利光子有限公司 | 电吸收调制器 |
JP2019159273A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 日本電気株式会社 | 電界吸収型光変調器 |
KR102132809B1 (ko) * | 2018-05-09 | 2020-07-13 | 한국과학기술연구원 | 폴리머 도파로 상에 위치한 그래핀 필름을 포함하는 광학 소자 및 상기 광학 소자를 포함하는 레이저 펄스 장치 |
CN108828797B (zh) * | 2018-06-25 | 2020-08-25 | 中国科学院半导体研究所 | 一种硅基电吸收调制器及其制备方法 |
CN110687692B (zh) | 2018-07-05 | 2023-04-21 | 苏州旭创科技有限公司 | 一种光调制器 |
US10962810B2 (en) * | 2018-09-27 | 2021-03-30 | Massachusetts Institute Of Technology | Strained germanium silicon optical modulator array including stress materials |
CN112379479B (zh) * | 2020-11-10 | 2021-12-28 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种硅基光收发器件及其制备方法 |
CN113376772A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-10 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种基于锗硅电吸收调制器的硅光收发模块 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04243216A (ja) * | 1991-01-17 | 1992-08-31 | Nec Corp | 光導波路の製造方法ならびに光集積素子及びその製造方法 |
JPH05157919A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Nec Corp | 半導体光導波路およびその製造方法 |
US7340709B1 (en) * | 2004-07-08 | 2008-03-04 | Luxtera, Inc. | Method of generating a geometrical rule for germanium integration within CMOS |
US8160404B2 (en) * | 2005-11-22 | 2012-04-17 | Massachusetts Institute Of Technology | High speed and low loss GeSi/Si electro-absorption light modulator and method of fabrication using selective growth |
CN100468103C (zh) * | 2006-08-30 | 2009-03-11 | 中国科学院半导体研究所 | 三电容mos硅基高速高调制效率电光调制器 |
GB2454452B (en) * | 2007-09-10 | 2011-09-28 | Ct For Integrated Photonics Ltd | Optoelectronic components |
CN100570970C (zh) * | 2007-12-13 | 2009-12-16 | 清华大学 | 利用soa四波混频效应产生高频微波的集成光电子器件 |
EP2243152A4 (en) * | 2008-01-18 | 2015-06-17 | Univ California | INTEGRATION PLATFORM CONNECTED TO A HYBRID SILICON-LASER-QUANTUM-TRAY MIXING LAYER FOR ADVANCED PHOTONIC CIRCUITS WITH ELECTRO-ABSORPTION MODULATORS |
WO2010103891A1 (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-16 | 日本電気株式会社 | 光変調器とその製造方法 |
US9134553B2 (en) * | 2010-03-15 | 2015-09-15 | Agency For Science, Technology And Research | Optical modulator and method for manufacturing the same |
JP5494216B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2014-05-14 | 富士通株式会社 | 導波路型光デバイス |
US8401345B2 (en) * | 2010-06-16 | 2013-03-19 | Oracle America, Inc. | Optical modulator with three-dimensional waveguide tapers |
JP5565148B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-08-06 | 富士通株式会社 | 半導体光素子 |
JP5300807B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2013-09-25 | 株式会社東芝 | 光変調素子 |
US8467632B2 (en) * | 2011-01-06 | 2013-06-18 | Oracle America, Inc. | Waveguide electro-absorption modulator |
KR101178321B1 (ko) * | 2011-02-14 | 2012-08-30 | 인하대학교 산학협력단 | 광전자 변조기 |
JP5978664B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2016-08-24 | 富士通株式会社 | 半導体光変調素子 |
US10025120B2 (en) * | 2012-12-13 | 2018-07-17 | Luxtera, Inc. | Method and system for a low parasitic silicon high-speed phase modulator having raised fingers perpendicular to the PN junction |
JP5413865B1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-02-12 | 株式会社フジクラ | 光導波路素子及び光変調器 |
CN103094835A (zh) * | 2013-01-14 | 2013-05-08 | 武汉电信器件有限公司 | 一种提高电吸收调制激光器隔离电阻的方法 |
CN103226252B (zh) * | 2013-05-06 | 2016-05-18 | 中国科学院半导体研究所 | 一种提高耗尽型硅基电光调制器调制效率的掺杂结构 |
US20160313577A1 (en) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | Laxense Inc. | Dual-junction optical modulator and the method to make the same |
JP6062496B1 (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-18 | 株式会社フジクラ | 光導波路素子 |
-
2014
- 2014-07-31 EP EP14898811.6A patent/EP3163359B1/en active Active
- 2014-07-31 JP JP2017505141A patent/JP6440819B2/ja active Active
- 2014-07-31 KR KR1020177004079A patent/KR101961237B1/ko active IP Right Grant
- 2014-07-31 WO PCT/CN2014/083472 patent/WO2016015303A1/zh active Application Filing
- 2014-07-31 CN CN201480038181.5A patent/CN105474078B/zh active Active
-
2017
- 2017-01-27 US US15/417,822 patent/US9804426B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3163359B1 (en) | 2020-04-22 |
WO2016015303A1 (zh) | 2016-02-04 |
KR20170032393A (ko) | 2017-03-22 |
JP2017522609A (ja) | 2017-08-10 |
EP3163359A1 (en) | 2017-05-03 |
US20170139239A1 (en) | 2017-05-18 |
CN105474078A (zh) | 2016-04-06 |
US9804426B2 (en) | 2017-10-31 |
KR101961237B1 (ko) | 2019-03-22 |
CN105474078B (zh) | 2019-03-08 |
EP3163359A4 (en) | 2017-06-28 |
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Date | Code | Title | Description |
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