JP6438588B2 - 透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス - Google Patents
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Description
本発明は、透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスに関し、特に、消光比と散乱係数を向上させた透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスに関する。
本発明者等は、単結晶と同等のベルデ定数を有するTGG(Tb3Ga5O12)の多結晶ガーネットセラミックスからなるファラデー回転子を実用化した。しかし、TGGの可視光領域におけるベルデ定数は小さいため、精力的に開発が進められている可視光レーザーの小型化に対応することは容易でない。また、TGGは比較的高価な原料であることから、原料コストが高くなるという問題がある。
そのため、可視波長〜1000nm付近の波長領域においてTGGよりも大きなベルデ定数を有し、高価な原料であるGaを使用しないTAG(Tb3Al5O12)の単結晶に関する研究開発が進められている。しかし、TAGは分解溶融型化合物であることから、出発原料を溶融した溶融組成から直接ガーネット相であるTAG単結晶を作製することは困難である。そのため、大型単結晶の作製が可能であるチョクラルスキー法を適用することが難しいので、フローティングゾーン法によってTAG単結晶が作製されている(特許文献1、非特許文献1)。しかし、フローティングゾーン法では大型単結晶の作製が難しいため、量産化に際して多くの障害がある。
また、特許文献2には、仮焼粉の平均粒径および成形密度を調整することによって透光率を改善しようとする、透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスの製造方法が開示されている。しかし、透光率が低く、特性評価試料の厚みが0.15cmと薄いため、実用性に欠けるという問題がある。
Journal of Crystal Growth 267(2004)188-193(Growth of terbium aluminum garnet(Tb3Al5O12;TAG)single crystals by the hybrid laser floating zone machine)
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、光透過率が高くて量産化が可能である透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを提供することを課題とする。
本発明の課題は下記[1]および[2]の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにより基本的に解決される。
[1]一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜71の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびYを含有することを特徴とする。
[2]一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜70の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびLuを含有することを特徴とする。
[1]一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜71の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびYを含有することを特徴とする。
[2]一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜70の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびLuを含有することを特徴とする。
焼結助剤としてSiおよびYを含有する場合、Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Yを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有することが好ましい。
焼結助剤としてSiおよびLuを含有する場合、Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Luを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有することが好ましい。
透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスの平均結晶粒径は、0.8〜30μmであることが好ましい。本発明において、平均結晶粒径とは、以下の式から算出した数値をいう。
d=1.56C/(MN)
d:平均結晶粒径(μm)
C:走査型電子顕微鏡で撮影した画像上において任意に引いた線の長さ
N:上記の任意に引いた線上の結晶粒の数
M:画像の倍率
d=1.56C/(MN)
d:平均結晶粒径(μm)
C:走査型電子顕微鏡で撮影した画像上において任意に引いた線の長さ
N:上記の任意に引いた線上の結晶粒の数
M:画像の倍率
本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスは光学素子として用いることができる。また、焼結助剤としてSiおよびYを含有する場合、本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスは磁気光学素子として用いることができる。
本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスは、Gaに代えてAlを用いているので安価であり、焼結助剤としてSiおよびYを含有しているので光透過率が高く、焼成プロセスにより量産化が可能である。そして、光学素子として実用的に優れた機能を発揮するためには、例えば、波長633nmおよび1064nmにおける消光比は30dB以上、散乱係数は0.4%/cm以下であることが好ましい。そのためには、焼結助剤として、Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Yを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有するか、または、Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Luを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有することによって、上記特性を備えた光学素子を提供することができる。さらに、透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスの平均結晶粒径を0.8〜30μmとすることによっても、上記特性を備えた光学素子を提供することができる。
以下に本発明の好ましい実施形態に関して具体的な実施例に基づいて説明するが、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において様々な変更や修正が可能であり、本発明は下記実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。
[実施例1]
(原料の作製)
純度99.9%以上の酸化テルビウムを硝酸に溶解させることにより濃度1mol/Lの硝酸テルビウム溶液を調製し、純度99.9%以上の塩化アルミニウムを超純水に溶解させることにより濃度1mol/Lの塩化アルミニウム溶液を調製した。次に、上記の硝酸テルビウム溶液300mL(ミリリットル)と、上記の塩化アルミニウム溶液500mLと、濃度1mol/Lの硫酸アンモニウム水溶液150mLとを混合し、さらに超純水を加えて全量10Lの混合液を得た。得られた混合液を撹拌しながら、濃度0.5mol/Lの炭酸水素アンモニウム水溶液を5mL/minの滴下速度でpHが8.0になるまで滴下し、撹拌を続けながら室温で2日間静置した。2日間静置後、吸引による濾過と超純水による水洗を数回繰り返した後、150℃の乾燥機に入れ、2日間乾燥した。得られた前駆体粉末をアルミナ坩堝に入れ、電気炉により1200℃で3時間仮焼を行った。以上のようにして、比表面積6.0m2/gのテルビウム・アルミニウム・ガーネット(TAG)原料粉末(純度99.9質量%以上)を作製した。
(原料の作製)
純度99.9%以上の酸化テルビウムを硝酸に溶解させることにより濃度1mol/Lの硝酸テルビウム溶液を調製し、純度99.9%以上の塩化アルミニウムを超純水に溶解させることにより濃度1mol/Lの塩化アルミニウム溶液を調製した。次に、上記の硝酸テルビウム溶液300mL(ミリリットル)と、上記の塩化アルミニウム溶液500mLと、濃度1mol/Lの硫酸アンモニウム水溶液150mLとを混合し、さらに超純水を加えて全量10Lの混合液を得た。得られた混合液を撹拌しながら、濃度0.5mol/Lの炭酸水素アンモニウム水溶液を5mL/minの滴下速度でpHが8.0になるまで滴下し、撹拌を続けながら室温で2日間静置した。2日間静置後、吸引による濾過と超純水による水洗を数回繰り返した後、150℃の乾燥機に入れ、2日間乾燥した。得られた前駆体粉末をアルミナ坩堝に入れ、電気炉により1200℃で3時間仮焼を行った。以上のようにして、比表面積6.0m2/gのテルビウム・アルミニウム・ガーネット(TAG)原料粉末(純度99.9質量%以上)を作製した。
(成形および焼結)
得られたTAG原料粉末75gに、溶媒としてエタノール50g、バインダーとしてポリビニルアルコール(PVA)0.75g、可塑剤としてポリエチレングリコール(PEG)0.75g、潤滑剤としてステアリン酸0.375gを加えた。そして、焼結体に対する金属換算での含有量で、Siが100質量ppm、Yが200質量ppmとなるように、焼結助剤としてSiO2とY2O3を上記のTAG原料粉末に添加して混合材料を得た。そして、ナイロンポットとナイロンボールとを用いて、上記の混合材料を100時間ボールミルにより混合して混合粉体を得た。この混合粉体を噴霧乾燥器(スプレードライ)により噴霧乾燥し、球状の乾燥顆粒を得た。そして、乾燥した球状粒を直径5mmの金型に入れ、20MPaの圧力で一次成形を行った後、125MPaの圧力で冷間等方圧加圧法(CIP)により成形し、アルキメデス法による相対密度が59.8%の成形体を得た。この成形体を10℃/hrの昇温速度で600℃まで昇温し、600℃で20時間保持して溶媒、可塑剤および潤滑剤を除去し、さらに、溶媒等を十分除去するために上記成形体を1100℃まで昇温し、1100℃で10時間保持した。その後、成形体を真空炉において1600℃の焼成温度で8時間保持して焼成した後、室温まで降温させて、透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス(Tb3Al5O12、直径3mmで長さ25mmの中実円筒状体)を得た。真空炉の真空度は10−1Pa、焼成時の昇温速度は300℃/hr、降温速度は300℃/hrとした。
得られたTAG原料粉末75gに、溶媒としてエタノール50g、バインダーとしてポリビニルアルコール(PVA)0.75g、可塑剤としてポリエチレングリコール(PEG)0.75g、潤滑剤としてステアリン酸0.375gを加えた。そして、焼結体に対する金属換算での含有量で、Siが100質量ppm、Yが200質量ppmとなるように、焼結助剤としてSiO2とY2O3を上記のTAG原料粉末に添加して混合材料を得た。そして、ナイロンポットとナイロンボールとを用いて、上記の混合材料を100時間ボールミルにより混合して混合粉体を得た。この混合粉体を噴霧乾燥器(スプレードライ)により噴霧乾燥し、球状の乾燥顆粒を得た。そして、乾燥した球状粒を直径5mmの金型に入れ、20MPaの圧力で一次成形を行った後、125MPaの圧力で冷間等方圧加圧法(CIP)により成形し、アルキメデス法による相対密度が59.8%の成形体を得た。この成形体を10℃/hrの昇温速度で600℃まで昇温し、600℃で20時間保持して溶媒、可塑剤および潤滑剤を除去し、さらに、溶媒等を十分除去するために上記成形体を1100℃まで昇温し、1100℃で10時間保持した。その後、成形体を真空炉において1600℃の焼成温度で8時間保持して焼成した後、室温まで降温させて、透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス(Tb3Al5O12、直径3mmで長さ25mmの中実円筒状体)を得た。真空炉の真空度は10−1Pa、焼成時の昇温速度は300℃/hr、降温速度は300℃/hrとした。
(消光比と散乱係数の測定)
上記セラミックスの両端面をダイヤモンドスラリーで鏡面研磨した(反射防止コート層無し)。なお、本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを、例えば、光アイソレータのファラデー回転子として用いる場合、反射防止膜を設けることが好ましい。上記のようにして得られた、直径3mmで長さ20mmの中実円筒状体のセラミックスに対して、波長1064nm(YAGレーザー)および波長633nm(He−Neレーザー)における消光比と散乱係数を測定した。消光比の測定では、セラミックスの両側に偏光板を配置して磁場を加えずに透過光量を測定し、一方の偏光板を90度回転させ、透過光量の最大値と最少値との比から消光比を求めた。
上記セラミックスの両端面をダイヤモンドスラリーで鏡面研磨した(反射防止コート層無し)。なお、本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを、例えば、光アイソレータのファラデー回転子として用いる場合、反射防止膜を設けることが好ましい。上記のようにして得られた、直径3mmで長さ20mmの中実円筒状体のセラミックスに対して、波長1064nm(YAGレーザー)および波長633nm(He−Neレーザー)における消光比と散乱係数を測定した。消光比の測定では、セラミックスの両側に偏光板を配置して磁場を加えずに透過光量を測定し、一方の偏光板を90度回転させ、透過光量の最大値と最少値との比から消光比を求めた。
(散乱係数と消光比の算出)
散乱係数は以下の式(1)から算出し、消光比は以下の式(3)から算出した。すべての試料に対して、散乱係数と消光比の測定方法と算出方法は同じである。
散乱係数=[(TAGの理論透過率)−((W2/W1)×100)]/試料長さ(cm) (1)
W1:セラミックスを光路に置かない場合のレーザー強度の値
W2:セラミックスを光路に置いた場合のレーザー強度の値
TAGの理論透過率=[((R−1)2/(R+1)2)−1]2×100 (2)
(波長1064nmの屈折率Rは1.844で、TAGの理論透過率は83.2%)
(波長633nmの屈折率Rは1.863で、TAGの理論透過率は82.7%)
消光比=10×log10(W4/W3) (3)
W3:セラミックスを光路に置いた状態で、偏光板を回転させた時のレーザー強度の最小値
W4:セラミックスを光路に置いた状態で、偏光板を回転させた時のレーザー強度の最大値
散乱係数は以下の式(1)から算出し、消光比は以下の式(3)から算出した。すべての試料に対して、散乱係数と消光比の測定方法と算出方法は同じである。
散乱係数=[(TAGの理論透過率)−((W2/W1)×100)]/試料長さ(cm) (1)
W1:セラミックスを光路に置かない場合のレーザー強度の値
W2:セラミックスを光路に置いた場合のレーザー強度の値
TAGの理論透過率=[((R−1)2/(R+1)2)−1]2×100 (2)
(波長1064nmの屈折率Rは1.844で、TAGの理論透過率は83.2%)
(波長633nmの屈折率Rは1.863で、TAGの理論透過率は82.7%)
消光比=10×log10(W4/W3) (3)
W3:セラミックスを光路に置いた状態で、偏光板を回転させた時のレーザー強度の最小値
W4:セラミックスを光路に置いた状態で、偏光板を回転させた時のレーザー強度の最大値
[実施例2〜13および比較例1]
焼結体に対する金属換算でのSiとYの含有量を変えた以外は実施例1と同様にして、実施例2〜13および比較例1の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例1〜13および比較例1のセラミックスのSiおよびYの含有量(質量ppm)と消光比と散乱係数を以下の表1に示す。
焼結体に対する金属換算でのSiとYの含有量を変えた以外は実施例1と同様にして、実施例2〜13および比較例1の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例1〜13および比較例1のセラミックスのSiおよびYの含有量(質量ppm)と消光比と散乱係数を以下の表1に示す。
表1に示すように、Yを含有していない比較例1の消光比は30dB以下で、散乱係数も小さくない。また、Siの含有量が2質量ppmである実施例2と、Yの含有量が10ppmである実施例5と、Yの含有量が750ppmである実施例11と、Siの含有量が500質量ppmである実施例13の消光比は30dB以下で、散乱係数も小さくない。表1に基づいて、Siの含有量を5質量ppm〜250質量ppmとし、Yの含有量を20質量ppm〜600質量ppmとすることで、波長633nmおよび1064nmにおける消光比を30dB以上とし、散乱係数を0.4%/cm以下にすることができる。
[実施例14〜19]
Tb元素をDy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuに代えた以外は実施例1と同様にして、実施例14〜19の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例14〜19のセラミックスの消光比と散乱係数を以下の表2に示す。なお、測定波長633nm又は1064nmに特異吸収がある場合、消光比と散乱係数の測定を行わなかった。
Tb元素をDy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuに代えた以外は実施例1と同様にして、実施例14〜19の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例14〜19のセラミックスの消光比と散乱係数を以下の表2に示す。なお、測定波長633nm又は1064nmに特異吸収がある場合、消光比と散乱係数の測定を行わなかった。
表2に示すように、実施例17のTm3Al5O12および実施例19のLu3Al5O12によれば、波長633nmおよび1064nmにおける消光比を35dBとし、散乱係数を0.3%/cm以下にすることができる。
[実施例20〜25]
CIP法による成形時の圧力を変更して成形体のアルキメデス法による相対密度を変更した以外は実施例1と同様にして、実施例20〜25の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例20〜25のセラミックスのCIP法による成形圧力と相対密度と消光比と散乱係数を以下の表3に示す。
CIP法による成形時の圧力を変更して成形体のアルキメデス法による相対密度を変更した以外は実施例1と同様にして、実施例20〜25の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例20〜25のセラミックスのCIP法による成形圧力と相対密度と消光比と散乱係数を以下の表3に示す。
表3に示すように、相対密度が48.3〜53.9(%)である実施例20、21、22の消光比は29dB以下で、散乱係数も小さくない。しかし、相対密度が55.3〜63.2(%)である実施例23、24、25の波長633nmおよび1064nmにおける消光比は34dB以上で、散乱係数は0.4%/cm以下である。
[実施例26〜35]
焼成温度及び焼成時間を変更した以外は実施例1と同様にして、実施例26〜35の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例26〜35のセラミックスの焼成温度と焼成時間と平均結晶粒径と消光比と散乱係数を以下の表4に示す。焼成時間とは、焼成温度での保持時間をいう。焼成温度1300℃では緻密なセラミックスを得られなかったので、消光比と散乱係数の測定を行わなかった。表4における平均結晶粒径は、段落0011に記載した式により算出した数値を示す。
焼成温度及び焼成時間を変更した以外は実施例1と同様にして、実施例26〜35の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例26〜35のセラミックスの焼成温度と焼成時間と平均結晶粒径と消光比と散乱係数を以下の表4に示す。焼成時間とは、焼成温度での保持時間をいう。焼成温度1300℃では緻密なセラミックスを得られなかったので、消光比と散乱係数の測定を行わなかった。表4における平均結晶粒径は、段落0011に記載した式により算出した数値を示す。
表4に示すように、焼成温度が1400℃である実施例27と、1600℃での焼成時間が0.2時間である実施例29と、焼成温度が1750℃である実施例35の消光比は29dB以下で、散乱係数も小さくない。一方、焼成温度が1500〜1700℃で、焼成時間が0.5〜8時間である実施例28、30〜34の波長633nmおよび1064nmにおける消光比は30dB以上で、散乱係数は0.4%/cm以下である。
[実施例36〜48]
焼成工程の後に熱間等方圧加圧法(HIP)を施した以外は実施例1と同様にして、実施例36〜48の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例36〜48のセラミックスのHIP法による温度と圧力と消光比と散乱係数を以下の表5に示す。なお、HIPにおける処理時間は3時間である。
焼成工程の後に熱間等方圧加圧法(HIP)を施した以外は実施例1と同様にして、実施例36〜48の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例36〜48のセラミックスのHIP法による温度と圧力と消光比と散乱係数を以下の表5に示す。なお、HIPにおける処理時間は3時間である。
表5に示すように、1250〜1700℃の温度で、40〜196MPaの圧力で、3時間HIPを施すことにより(実施例36〜47)、波長633nmおよび1064nmにおける消光比を35dB以上とし、散乱係数を0.3%/cm以下にすることができる。しかし、HIPの温度が1750℃と高くなりすぎると(実施例48)、消光比は28dB以下になり、散乱係数も小さくならない。
[実施例49〜57および比較例2]
焼結体に対する金属換算でのSiとLuの含有量を変えた以外は実施例1と同様にして、実施例49〜57および比較例2の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例49〜57および比較例2のセラミックスのSiおよびLuの含有量(質量ppm)と消光比と散乱係数を以下の表6に示す。
焼結体に対する金属換算でのSiとLuの含有量を変えた以外は実施例1と同様にして、実施例49〜57および比較例2の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを作製した。実施例49〜57および比較例2のセラミックスのSiおよびLuの含有量(質量ppm)と消光比と散乱係数を以下の表6に示す。
表6に示すように、Luを含有していない比較例2の消光比は29dB以下で、散乱係数も小さくない。また、Siの含有量が2質量ppmである実施例49と、Luの含有量が10ppmである実施例51と、Luの含有量が750ppmである実施例55と、Siの含有量が500質量ppmである実施例57の消光比は30dB以下で、散乱係数も小さくない。表1に基づいて、Siの含有量を5質量ppm〜250質量ppmとし、Luの含有量を20質量ppm〜600質量ppmとすることで、波長633nmおよび1064nmにおける消光比を30dB以上とし、散乱係数を0.4%/cm以下にすることができる。
本発明の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスは、光アイソレータのファラデー回転子として用いることができる。
Claims (7)
- 一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜71の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびYを含有することを特徴とする透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス。
- 一般式R3Al5O12(Rは原子番号65〜70の希土類元素からなる群から選択される元素である)で表される透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスにおいて、焼結助剤としてSiおよびLuを含有することを特徴とする透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス。
- Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Yを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有することを特徴とする請求項1に記載の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス。
- Siを金属換算で5質量ppm以上250質量ppm以下含有し、Luを金属換算で20質量ppm以上600質量ppm以下含有することを特徴とする請求項2に記載の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス。
- 平均結晶粒径が0.8〜30μmであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックス。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを光学素子として用いることを特徴とする光学デバイス。
- 請求項1、3および5のいずれかに記載の透光性希土類アルミニウムガーネットセラミックスを磁気光学素子として用いることを特徴とする磁気光学デバイス。
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KR20050044617A (ko) | 2002-09-27 | 2005-05-12 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 테르븀계 상자성 가닛 단결정 및 자기 광학 장치 |
US7253129B2 (en) * | 2003-01-27 | 2007-08-07 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | Rare earth garmet sintered compact |
JP2008007385A (ja) | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | テルビウム・アルミニウム酸化物からなるセラミックスの製造方法およびその方法により製造したテルビウム・アルミニウム酸化物からなるセラミックス |
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WO2008134418A1 (en) | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Nanocerox, Inc. | Sintered polycrystalline yttrium aluminum garnet and use thereof in optical devices |
US7799267B2 (en) | 2007-09-14 | 2010-09-21 | The Penn State Research Foundation | Method for manufacture of transparent ceramics |
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