JP6428397B2 - 内部温度測定装置及び温度差測定モジュール - Google Patents
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Description
Tb=(Tt′−Ta′)Rx/R2+Tt′ …(2)
ここで、Ta、Ta′とは、それぞれ、図10において左側、右側に示してある熱流束センサの上面側の温度センサにより測定される温度のことである。Tt、Tt′とは、それぞれ、図10において左側、右側に示してある熱流束センサの下面側の温度センサにより測定される温度のことである。R1、R2とは、各熱流束センサの断熱材の熱抵抗のことである。
度良く測定(算出)できる内部温度測定装置は未だ実現されていないのが現状である。
この内部温度測定装置1は、測定対象物(人体等)の表面近傍に存在する非発熱体の個人差/固体差の影響を受けることなく、測定対象物の内部温度を測定(算出)するための装置である。図1に示してあるように、内部温度測定装置1は、プリント回路板30に設けられている貫通孔に、温度差測定モジュール10を挿入した構成を有している。
温度測定装置10は、測定対象物の内部温度の測定時に、この温度差測定モジュール10の下面(図1における下側の面)を測定対象物の表面に接触させて使用される装置となっている。
置されている。
・MEMSチップ20の、ΔT(又はΔT′)を測定するためのサーモパイル24の温接点群がその上に配置されている脚部23下に第1の伝熱パッド14が存在する。
・MEMSチップ20の、ΔT′(又はΔT)を測定するためのサーモパイル24の温接点群がその上に配置されている脚部23下に、第1の伝熱パッド14と繋がっていない第2の伝熱パッド14が存在している。
(1)MEMSチップ20の、ΔT(又はΔT′)を測定するためのサーモパイル24の温接点群がその上に配置されている脚部23下に、第1の伝熱パッド14が存在する。
(2)MEMSチップ20の、ΔT′(又はΔT)を測定するためのサーモパイル24の温接点群がその上に配置されている脚部23下に、第1の伝熱パッド14と繋がっていない第2の伝熱パッド14が存在する。
(3)第1の伝熱パッド14と第2の伝熱パッド14との間が、各伝熱パッド14よりも熱伝導性が低い低熱伝導部19により分離されている。
上記した内部温度測定装置1は、各種の変形を行うことが出来るものである。例えば、伝熱パッド14の上下方向(MEMSチップ20と筐体底部の並び方向)から視た形状を、『ΔT又はΔT′を測定するためのサーモパイル24の温接点群が配置されている、MEMSチップ20の天面部21の部分』を包含する形状としておいても良い。ただし、伝熱パッド14・脚部23間の接触面積が大きい方が、測定対象物からの熱を各脚部23に良好に伝達できる。従って、伝熱パッド14の形状は、上記した実施形態の形状(上下方向から視て脚部23を包含する形状)としておくことが好ましい。
、放熱フィンを備えた部材や、面積が、温度差測定モジュール10の開口部の面積の数倍ある部材を採用しておいても良い。
11 パッケージ
12 筐体
12a、12b 側壁
13 リード
14 伝熱パッド
20 MEMSチップ
21 天面部
22 支持部
23 脚部
24、24a、24b、24c サーモパイル
26 ASIC
30 プリント回路板
31 プリント配線板
32 デバイス
32a 演算回路
Claims (4)
- 測定対象物の内部温度を測定する内部温度測定装置において、
板状の基材と、
前記基材の一方の面上に配置された、前記内部温度の算出に使用する第1温度差及び第2温度差を測定するMEMSデバイスであって、板状の天面部と、前記天面部を、前記基材の前記一方の面に対してほぼ平行に支持する、前記天面部に至る1つ以上の空洞が設けられている支持部と、いずれかの前記空洞と対向した前記天面部の部分に冷接点が位置し、前記支持部と対向した前記天面部の部分に温接点が位置する複数の熱電対で構成された前記第1温度差を測定するための第1サーモパイルと、いずれかの前記空洞と対向した前記天面部の部分に冷接点が位置し、前記支持部と対向した前記天面部の部分に温接点が位置する複数の熱電対で構成された前記第2温度差を測定するための第2サーモパイルとを含むMEMSデバイスと、
を備え、
前記基材に、前記MEMSデバイスと前記基材の並び方向から見た平面視において、前記MEMSデバイスの前記第1サーモパイルの温接点群を包含する形状の第1の高熱伝導性部と、前記並び方向から見た平面視において、前記MEMSデバイスの前記第2サーモパイルの温接点群を包含する形状の、前記第1の高熱伝導性部と繋がっていない第2の高熱伝導性部とが設けられており、
前記基材の前記第1の高熱伝導性部と前記第2の高熱伝導性部との間に、各高熱伝導性部の構成材料よりも熱伝導性が低い材料で形成された低熱伝導性部が設けられている
ことを特徴とする内部温度測定装置。 - 前記並び方向から見た前記第1の高熱伝導性部の形状が、前記第1サーモパイルの温接点群を含む前記天面部の部分であって、当該温接点群の並び方向と直交する両方向に前記空洞の内面上の位置又は前記天面部の端まで延びた前記天面部の部分を包含する形状であり、
前記並び方向から見た前記第2の高熱伝導性部の形状が、前記第2サーモパイルの温接点群を含む前記天面部の部分であって、当該温接点群の並び方向と直交する両方向に前記空洞の内面上の位置又は前記天面部の端まで延びた前記天面部の部分を包含する形状である
ことを特徴とする請求項1に記載の内部温度測定装置。 - 前記MEMSデバイスにより測定された前記第1温度差及び前記第2温度差を用いて、前記内部温度を算出する演算回路を備えたプリント回路板と、
複数のリードを備えた有底筒状のパッケージと、
を備え、
前記パッケージが、前記プリント回路板に設けられている貫通孔に挿入されており、
前記基材が、前記パッケージの底部である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の内部温度測定装置。 - 測定対象物の内部温度の算出に使用される第1温度差及び第2温度差を測定する温度差測定モジュールにおいて、
複数のリードを備えた有底筒状のパッケージと、
前記パッケージの内底面上に配置されたMEMSデバイスであって、板状の天面部と、前記天面部を、前記内底面に対してほぼ平行に支持する、前記天面部に至る1つ以上の空洞が設けられている支持部と、いずれかの前記空洞と対向した前記天面部の部分に冷接点が位置し、前記支持部と対向した前記天面部の部分に温接点が位置する複数の熱電対で構成された前記第1温度差を測定するための第1サーモパイルと、いずれかの前記空洞と対向した前記天面部の部分に冷接点が位置し、前記支持部と対向した前記天面部の部分に温
接点が位置する複数の熱電対で構成された前記第2温度差を測定するための第2サーモパイルとを含むMEMSデバイスと、
を備え、
前記パッケージの底部に、前記MEMSデバイスと前記パッケージの並び方向から見た平面視にて前記MEMSデバイスの前記第1サーモパイルの温接点群を包含する形状の第1の高熱伝導性部と、前記並び方向から見た平面視にて前記MEMSデバイスの前記第2サーモパイルの温接点群を包含する形状の、前記第1の高熱伝導性部と繋がっていない第2の高熱伝導性部とが設けられており、
前記底部の前記第1の高熱伝導性部と前記第2の高熱伝導性部との間に、各高熱伝導性部の構成材料よりも熱伝導性が低い材料で形成された低熱伝導性部が設けられている
ことを特徴とする温度差測定モジュール。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2015049944A JP6428397B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 内部温度測定装置及び温度差測定モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015049944A JP6428397B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 内部温度測定装置及び温度差測定モジュール |
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Family Applications (1)
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JP2015049944A Active JP6428397B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 内部温度測定装置及び温度差測定モジュール |
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-
2015
- 2015-03-12 JP JP2015049944A patent/JP6428397B2/ja active Active
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