JP6424035B2 - 光走査型観察装置、及び、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、対象物を光走査する光走査型観察装置、及び、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法に関する。

従来の光走査型観察装置として、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色のレーザ光源を用いて、観察対象のカラー画像を得るものがある。分光方式には、照射光をRGB連続出力の合波とし、検出光を分光フィルタにて分光し、複数の検出器でそれぞれ測定する連続光方式と、RGB照射をフレーム毎に切り替えて一つの検出器で検出する面順次方式と、RGB照射をピクセル毎に切り替えて一つの検出器で検出するピクセル順次方式(時分割変調方式)とがある(特許文献１)。
面順次方式と時分割変調方式は、分光器と各色に対応する検出器とが不要のため、小型化やコスト削減に有利である。しかし、面順次方式では、フレーム毎にRGBを切り替えてそれぞれの色の画像を取得するため、RGBの各色の画像の取得にタイムラグがあり、視野移動の場合に色のちらつきが見られるという問題がある。一方、時分割変調方式では、同フレーム内でRGBの各色の画像を取得することができるので、面順次方式のような視野の移動に伴う色のちらつきが発生しない利点がある。

米国特許出願公開第2006/0226231号

一般的に、RGBのレーザ光源には、応答特性に違いがある。より具体的には、レーザ光源が照射指令を受けたタイミング（照射指令タイミング）から、実際にレーザ光が対象物上に照射されるまでのタイミング（実際の照射タイミング）までに掛かる時間が、RGBのレーザ光源どうしで異なる。図１５において、破線で示すRGBの円は、それぞれ仮に照射指令タイミングと同時にレーザ光が対象物上に照射された場合での、RGBの各色のレーザ光の仮想照射エリアを示しており、実線で示すRGBの円は、対象物上でのRGBの各色のレーザ光の実際の照射エリアを示している。図１５に示すように、RGBのレーザ光源間の応答特性の差異に起因して、時分割変調方式では、走査中において、RGBのそれぞれの実際の照射エリアが、検出器によるRGBのそれぞれの画素の検出（サンプリング）エリアに対して、相対的に異なる量をもってずれる結果、１つの色の実際の照射エリアが互いに隣り合う複数の画素サンプリングエリアに跨って存在するという色漏れが生じ、画質が劣化するという問題があった。

したがって、この点に着目してなされた本発明の目的は、色漏れを抑制し得る、光走査型観察装置、及び、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法を提供することにある。

上記目的を達成する光走査型観察装置の発明は、
複数のレーザ光源からそれぞれ異なる波長のパルス状レーザ光を順次射出させるレーザ光源駆動部と、
前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる走査部と、
前記パルス状レーザ光の順次の照射により前記対象物から得られる光を順次検出するレーザ光検出部と、
前記レーザ光検出部から出力される検出信号に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像処理部と、
前記レーザ光検出部から出力される一の波長の前記パルス状レーザ光の照射により得られる検出信号への、他の波長の前記パルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が実質的に混在しないように、前記レーザ光源駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記照射パラメータの調整を行う調整モードにおいて、所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出部から出力された検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する。

この光走査型観察装置の発明において、前記制御部は、前記レーザ光源駆動部を介して、前記複数のレーザ光源の照射パラメータを調整するのが好ましい。

また、この光走査型観察装置の発明において、前記制御部は、前記所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出部から得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された前記所定範囲外である場合、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における照射パラメータを、前記検出信号が該所定範囲内となるように変更するようにすると、好適である。

この光走査型観察装置の発明において、前記照射パラメータは、照射指令タイミング及びパルス幅のうち少なくともいずれか一方であるのが、好ましい。

上記目的を達成するパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第１発明は、
レーザ光源からパルス状レーザ光を射出させる、レーザ光源駆動ステップと、
前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる、走査ステップと、
前記パルス状レーザ光の照射により前記対象物から得られる光を検出する、光検出ステップと、
所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出ステップで得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲外である場合に、前記パルス状レーザ光の照射パラメータを、前記検出信号が該所定範囲内となるように調整する、調整ステップと、
を含んでいる。

上記目的を達成するパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第２発明は、
複数のレーザ光源からそれぞれ異なる波長のパルス状レーザ光を順次射出させる、レーザ光源駆動ステップと、
前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる、走査ステップと、
前記パルス状レーザ光の順次の照射により前記対象物から得られる光を検出する、光検出ステップと、
前記光検出ステップで一の波長の前記パルス状レーザ光の照射により得られる検出信号に、他の波長の前記パルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が混在している場合、前記検出信号の混在を低減するように、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における照射パラメータを調整する、調整ステップと、
を含み、
前記調整ステップでは、所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出ステップで得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲外である場合に、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における前記照射パラメータを調整する。

上記のパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第１又は第２発明において、前記照射パラメータは、照射指令タイミング及びパルス幅のうち少なくともいずれか一方であるのが、好ましい。

本発明によれば、色漏れを抑制し得る、光走査型観察装置、及び、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法を提供することができる。

光走査型観察装置の第１実施形態の概略構成を示すブロック図である。 図１のスコープを概略的に示す概観図である。 図２のスコープの先端部の断面図である。 図３の駆動部および照明用光ファイバの揺動部を示す図であり、図４（ａ）は側面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 照明パラメータ調整方法の第１実施形態を説明するための概要図である。 照明パラメータ調整方法の第１実施形態のフローチャートである。 照明パラメータの調整後における各レーザ光源への制御信号と光検出器からの検出信号との一例を示すタイムチャートである。 図７の例における、レーザ光の照射指令タイミングと実際の照射エリアとの関係を説明するための概要図である。 照明パラメータ調整方法の第２実施形態を説明するための概要図である。 照明パラメータ調整方法の第２実施形態のフローチャートである。 照明パラメータ調整方法の第３実施形態を説明するための概要図である。 照明パラメータ調整方法の第３実施形態のフローチャートである。 光走査型観察装置の変形例の概略構成を示すブロック図である。 図４のアクチュエータの変形例を説明するための図であり、図１４（ａ）はスコープの先端部の断面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のアクチュエータを拡大して示す斜視図であり、図１４（ｃ）は、図１４（ｂ）の偏向磁場発生用コイルおよび永久磁石を含む部分の光ファイバの軸に垂直な面による断面図である。 従来の光走査型観察装置を説明するための概要図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
まず、図１〜図４を参照して、本発明の光走査型観察装置の第１実施形態を説明する。図１は、第１実施形態に係る光走査型観察装置の概略構成を示すブロック図である。図１において、光走査型観察装置１０は、光走査型内視鏡装置として構成されており、スコープ２０と、制御装置本体３０と、ディスプレイ４０とを、備えている。

まず、制御装置本体３０の構成を説明する。制御装置本体３０は、メモリ３９と、光走査型観察装置１０全体を制御する制御部３１と、レーザ光源駆動部３２と、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂ（以下、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂを包括的に「レーザ光源３３」ともいう。）と、結合器３４と、駆動制御部３８と、光検出器３５と、ＡＤＣ（アナログ−デジタル変換器）３６と、画像処理部３７とを、備えている。

レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂは、レーザ光源駆動部３２からの制御信号（照射指令）に従って、それぞれＲ、Ｇ、Ｂの波長（以下、「色」ともいう。）のパルス状レーザ光を射出する。レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂとしては、例えばＤＰＳＳレーザ（半導体励起固体レーザ）やレーザダイオードを使用することができる。

メモリ３９は、例えば以下の表１に示すような、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂからのパルス状レーザ光の波長（Ｒ、Ｇ、Ｂ）のそれぞれに対する、パルス状レーザ光の照射パラメータ（本例では、照射タイミングｔ）を格納する、照射パラメータテーブル５０を保持している。
なお、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_Bは、それぞれの色の照射指令タイミング（レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂがレーザ光源駆動部３２から照射指令を受けるタイミング）を規定するためのパラメータである。本例において、各色の照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_Bは、それぞれの色の照射指令タイミングの初期値に対して早めたり遅らせたりする時間量（すなわち、照射指令タイミングの初期値に対する時間変化量）を指しており、後述するように光走査型観察装置１０を用いてパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法（以下、単に「照射パラメータ調整方法」ともいう。）を予め実施して設定されたものである。本例において、各色の照射指令タイミングの初期値は、パルス状レーザ光の照射を、所定の照射順序（Ｒ、Ｇ、Ｂの順）で一定の時間間隔（照射周期）Ｔ_E毎に行う場合における、それぞれの色の照射指令タイミングに設定されている。

なお、照射パラメータ調整方法は、例えば、光走査型観察装置１０の製品出荷時、メンテナンス時、走査直前等、対象物１００の観察のための通常の走査以外のタイミングで使用されるものである。以下、説明の便宜上、照射パラメータ調整方法を実施するときの光走査型観察装置１０のモードを「調整モード」といい、対象物１００の観察のための通常の走査を行うときの光走査型観察装置１０のモードを「走査モード」という。
なお、光走査型観察装置１０は、製品出荷時にのみ、例えば人手を介して、照射パラメータの調整を行ってもよく、その場合、出荷後の光走査型観察装置１０には、「調整モード」がシステム的に備わっている必要はない。

制御部３１は、照射パラメータ設定部５１を有している。照射パラメータ設定部５１は、走査前に予め、メモリ３９内のパラメータテーブル５０からＲ、Ｇ、Ｂの各色の照射パラメータ（照射タイミングｔ）を読み出して、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の照射指令タイミングの設定（補正）を行う。そして、制御部３１は、走査中に、設定後の照射指令タイミングを用いてレーザ光源駆動部３２を制御する。
制御部３１は、設定後の照射指令タイミングを用いてレーザ光源駆動部３２を制御することにより、後述するように、光検出器３５から出力されるＲ、Ｇ、Ｂのいずれかの波長のパルス状レーザ光の照射により得られる検出信号への、他の波長のパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が、実質的に混在しないようにすることができる。ここで、「実質的に混在しない」とは、検出される他の波長のレーザ光の信号が５％未満であることを意味する。

レーザ光源駆動部３２は、制御部３１からの制御信号に従って、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３ＢからＲ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光を順次射出させる。なお、レーザ光源駆動部３２は、１回の走査中に、レーザ光源３３からのＲ、Ｇ、Ｂの光の波長を、それぞれの色の照射指令タイミングに応じて、所定の照射順序（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂの順序）で繰り返し切り替える。
ここで、「１回の走査」とは、１画像（１フレーム）を撮影するために、例えばらせん状等の所定の走査経路の始点から終点まで１回走査することを意味している。

レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂから射出されるパルス状レーザ光は、結合器３４により同軸に合成された光路を経て、照明光として、シングルモードファイバである送光ファイバ１１に入射される。
結合器３４は、例えばファイバ合波器やダイクロイックプリズム等を用いて構成される。
レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂおよび結合器３４は、制御装置本体３０と信号線で結ばれた、制御装置本体３０とは別の筐体に収納されていても良い。

結合器３４から送光ファイバ１１（走査部）に入射したパルス状レーザ光は、スコープ２０の先端部まで導光され、対象物１００に照射される。その際、制御装置本体３０の駆動制御部３８は、スコープ２０のアクチュエータ２１（走査部）を振動駆動することによって、送光ファイバ１１の先端部を振動駆動する。これにより、送光ファイバ１１から射出された照明光（パルス状レーザ光）は、対象物１００の観察表面上で、所定走査経路に沿って、２次元走査される。パルス状レーザ光の順次の照射により対象物１００から得られる反射光や散乱光などの光は、マルチモードファイバにより構成される受光ファイバ１２の先端で受光されて、スコープ２０内を通り制御装置本体３０まで導光される。

なお、本例では、送光ファイバ１１及びアクチュエータ２１が、レーザ光源３３からのパルス状レーザ光を対象物１００に照射して対象物１００上で走査させる走査部を構成している。

光検出器３５（レーザ光検出部）は、パルス状レーザ光の照射周期Ｔ_E毎に、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光の順次の照射により対象物１００から得られる光を、受光ファイバ１２を介して順次に検出（サンプリング）して、アナログの検出信号を出力する。
なお、以下では、光検出器３５が対象物１００から得られるＲ、Ｇ、Ｂの光をサンプリングする期間を、「サンプリング期間」という。走査モードにおけるサンプリング期間の時間長さは、照射周期Ｔ_Eと同じに設定される。調整モードにおけるサンプリング期間は、後述するように、照射パラメータ調整方法の実行時に設定される。

ＡＤＣ３６は、光検出器３５からのアナログの検出信号をデジタルの検出信号に変換し、画像処理部３７に出力する。
また、第１実施形態では、ＡＤＣ３６を介して光検出器３５から出力される検出信号が、任意の記憶装置（例えば、制御装置本体３０のメモリ３９や、図示しない外部記憶装置等）に蓄積される。

画像処理部３７は、ＡＤＣ３６から順次に入力された、各波長に対応する検出信号を、それぞれ照射指令タイミングと走査位置とに対応付けて、順次に任意の記憶装置（図示せず）に記憶する。この照射指令タイミングと走査位置との情報は、制御部３１から得る。制御部３１では、駆動制御部３８により印加した振動電圧の振幅および位相などの情報から、走査経路上の走査位置の情報が算出される。なお、制御部３１では、走査位置の情報を算出する代わりに、予め、所定の走査条件に対応した、走査時間と走査位置との関係を規定したテーブルを内部に格納し、そのテーブルから走査位置の情報を読み出して、画像処理部３７に渡すようにしてもよい。なお、本例では、各色の照射指令タイミングが調整（補正）されても、各色の走査位置情報をそのまま適用できる。
そして、画像処理部３７は、走査終了後または走査中に、ＡＤＣ３６から入力された各検出信号に基づいて、強調処理、γ処理、補間処理等の画像処理を必要に応じて行って画像信号を生成し、対象物１００の画像をディスプレイ４０に表示する。

次に、スコープ２０の構成を説明する。図２は、スコープ２０を概略的に示す概観図である。スコープ２０は、操作部２２および挿入部２３を備える。操作部２２には、制御装置本体３０からの送光ファイバ１１、受光ファイバ１２、及び配線ケーブル１３が、それぞれ接続されている。これら送光ファイバ１１、受光ファイバ１２および配線ケーブル１３は挿入部２３内部を通り、挿入部２３の先端部２４（図２における破線部内の部分）まで延在している。

図３は、図２のスコープ２０の挿入部２３の先端部２４を拡大して示す断面図である。スコープ２０の挿入部２３の先端部２４は、アクチュエータ２１、投影用レンズ２５ａ、２５ｂ、中心部を通る送光ファイバ１１および外周部を通る複数の受光ファイバ１２を含んで構成される。

アクチュエータ２１は、送光ファイバ１１の先端部１１ｃを振動駆動する。アクチュエータ２１は、取付環２６によりスコープ２０の挿入部２３の内部に固定されたファイバ保持部材２９および圧電素子２８ａ〜２８ｄ（図４（ａ）および（ｂ）参照）を含んで構成される。送光ファイバ１１は、ファイバ保持部材２９で支持されるとともにファイバ保持部材２９で支持された固定端１１ａから先端部１１ｃまでが、揺動可能に支持された揺動部１１ｂとなっている。一方、受光ファイバ１２は挿入部２３の外周部を通るように配置され、先端部２４の先端まで延在している。さらに、受光ファイバ１２の各ファイバの先端部には図示しない検出用レンズを備える。

さらに、投影用レンズ２５ａ、２５ｂおよび検出用レンズは、スコープ２０の挿入部２３の先端部２４の最先端に配置される。投影用レンズ２５ａ、２５ｂは、送光ファイバ１１の先端部１１ｃから射出されたレーザ光が、対象物１００上に照射されて略集光するように構成されている。また、検出用レンズは、対象物１００上に集光されたレーザ光が、対象物１００により反射、散乱等をした光等を取り込み、検出用レンズの後に配置された受光ファイバ１２に集光、結合させるように配置される。なお、投影用レンズは、二枚構成に限られず、一枚や他の複数枚のレンズにより構成しても良い。

図４（ａ）は、光走査型観察装置１０のアクチュエータ２１の振動駆動機構および送光ファイバ１１の揺動部１１ｂを示す図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。送光ファイバ１１は四角柱状の形状を有するファイバ保持部材２９の中央を貫通して、ファイバ保持部材２９に固定保持される。ファイバ保持部材２９の４つの側面は、それぞれ±Ｙ方向および±Ｘ方向に向いている。そして、ファイバ保持部材２９の±Ｙ方向の両側面にはＹ方向駆動用の一対の圧電素子２８ａ、２８ｃが固定され、±Ｘ方向の両側面にはＸ方向駆動用の一対の圧電素子２８ｂ、２８ｄが固定される。

各圧電素子２８ａ〜２８ｄは、制御装置本体３０の駆動制御部３８からの配線ケーブル１３が接続されており、駆動制御部３８によって電圧が印加されることによって駆動される。

Ｘ方向の圧電素子２８ｂと２８ｄとの間には常に正負が反対で大きさの等しい電圧が印加され、同様に、Ｙ方向の圧電素子２８ａと２８ｃとの間にも常に反対方向で大きさの等しい電圧が印加される。ファイバ保持部材２９を挟んで対向配置された圧電素子２８ｂ、２８ｄが、互いに一方が伸びるとき他方が縮むことによって、ファイバ保持部材２９に撓みを生じさせ、これを繰り返すことによりＸ方向の振動を生ぜしめる。Ｙ方向の振動についても同様である。

駆動制御部３８は、Ｘ方向駆動用の圧電素子２８ｂ、２８ｄとＹ方向駆動用の圧電素子２８ａ、２８ｃとに、同一の周波数の振動電圧を印加し、あるいは、異なる周波数の振動電圧を印加し、振動駆動させることができる。Ｙ方向駆動用の圧電素子２８ａ、２８ｃとＸ方向駆動用の圧電素子２８ｂ、２８ｄとをそれぞれ振動駆動させると、図３、図４に示した送光ファイバ１１の揺動部１１ｂが振動し、先端部１１ｃが偏向するので、先端部１１ｃから出射されるパルス状レーザ光は、対象物１００の表面上を所定走査経路に沿って順次走査される。

つぎに、図５及び図６を参照して、本発明のパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第１実施形態について説明する。なお、図５において、破線で示すRの円は、仮にＲの照射指令タイミングと同時にＲのレーザ光が対象物上に照射された場合での、Rのレーザ光の仮想照射エリアを示しており、実線で示すRの円は、対象物上でのRのレーザ光の実際の照射エリアを示している。前述したように、調整モード下において、光走査型観察装置１０を用いてパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法を実施することによって、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂからのパルス状レーザ光の照射パラメータｔ（本例では、照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）が調整される。

第１実施形態では、所定の走査経路に沿って走査をしながら、Ｒ、Ｇ、Ｂのうちいずれか１色のパルス状レーザ光を射出させて、Ｒ、Ｇ、Ｂの各サンプリング期間において色漏れが発生していないか否かを検出し、色漏れが発生していればその色について照射パラメータを調整する。そして、これを３色について繰り返す。対象物１００としては、例えば白色のボード等、任意のものを用いることができる。

まず、調整モードにおけるＲ、Ｇ、Ｂのサンプリング期間は、走査モードで使用されるＲ、Ｇ、Ｂのそれぞれの画素の画像取得のためのサンプリング期間と同じに設定される（ステップＳ１１）。なお、本明細書において「サンプリング期間」とは、サンプリングの周波数及びタイミングによって決まるものである。

図５及び図６に示すように、走査中に、Ｒの照射指令タイミングになると、レーザ光源駆動部３２が、レーザ光源３３Ｒに照射指令を出力し、Ｒのパルス状レーザ光を射出させる（ステップＳ１２、レーザ光源駆動ステップ）。レーザ光源３３Ｒからのパルス状レーザ光は、送光ファイバ１１及びアクチュエータ２１（走査部）により、対象物１００に照射されて対象物１００上で走査される（走査ステップ）。そして、光検出器３５により、Ｒ画素のサンプリング期間Ｔ_R、及びこれに続くＧ画素、Ｂ画素用のサンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_Bのそれぞれにおいて、対象物１００から得られる光が検出される（光検出ステップ）。

つぎに、ＡＤＣ３６から出力されるサンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号が、それぞれサンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bに対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ１３）。なお、理想的には、Ｒ画素の実際の照射エリア（実線の円）が、Ｒのサンプリングエリア（走査エリア）内に収まっていることが望ましく、Ｒの実際の照射エリアの少なくとも一部が他の色（Ｇ、Ｂ）のサンプリングエリア内に存在している場合、Ｒの色漏れが生じていることとなる。したがって、Ｒのサンプリング期間Ｔ_Rでの検出信号はなるべく高いことが好ましく、Ｇ、Ｂのサンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号がなるべく低いことが好ましい。この観点から、図６の例では、Ｒのサンプリング期間Ｔ_Rの所定範囲が所定値Ｓ_R以上の範囲とされており、Ｇ、Ｂのサンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_Bの所定範囲がそれぞれ所定値Ｓ_G、Ｓ_B以下の範囲とされている。
ここで、例えば、Ｒのサンプリング期間Ｔ_Rの上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_R）を、Ｒのピーク光量の９０％とし、Ｇ、Ｂのサンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_Bの上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_G、Ｓ_B）を、それぞれＲのピーク光量の５％とすることができる。Ｒのピーク光量は、例えば、Ｒの照射パラメータを全ステップ変更して取得することができる。

そして、サンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号の少なくともいずれか１つが、上記所定範囲外である場合（Ｓ１３、Ｎｏ）、Ｒの照射タイミングｔ_Rを変更し（ステップＳ１４）、変更後の照射タイミングｔ_Rを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。その後も、サンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号の全てが、それぞれ上記所定範囲内となるまでＳ１２〜Ｓ１４を繰り返すことにより、Ｒの照射タイミングｔ_Rの調整を行う（調整ステップ）。なお、ステップＳ１４での照射タイミングｔ_Rの変更は、その前のステップＳ１３でのサンプリング期間Ｔ_Rでの検出信号を考慮して行われると、好適である。

一方、ステップＳ１３において、サンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号の全てが、上記所定範囲内である場合は（Ｓ１３、Ｙｅｓ）、ステップＳ１５に進んで、Ｇについて、Ｒにおける上記Ｓ１２〜Ｓ１４と同様の処理を行う。すなわち、Ｇの照射指令タイミングになると、レーザ光源駆動部３２が、レーザ光源３３Ｇに照射指令を出力し、Ｇのパルス状レーザ光を射出させる（ステップＳ１５）。その後、光検出器３５により、Ｇのサンプリング期間Ｔ_G、及びこれに続くＢ、Ｒのサンプリング期間Ｔ_B、Ｔ_Rのそれぞれにおいて、対象物１００から得られる光が検出される。光検出器３５からＡＤＣ３６を介して出力される、サンプリング期間Ｔ_R、Ｔ_G、Ｔ_Bでの検出信号の少なくともいずれか１つが、サンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_B、Ｔ_Rに対して予め設定された所定範囲外である場合（Ｓ１６、Ｎｏ）、Ｇの照射タイミングｔ_Gを変更し（ステップＳ１７）、その後も、サンプリング期間Ｔ_G、Ｔ_B、Ｔ_Rでの検出信号の全てが、上記所定範囲内となるまでＳ１５〜Ｓ１７を繰り返すことにより、Ｇの照射タイミングｔ_Gの調整を行う。ここで、Ｒの場合と同様、Ｇのサンプリング期間Ｔ_Gでの検出信号はなるべく高いことが好ましく、Ｂ、Ｒのサンプリング期間Ｔ_B、Ｔ_Rでの検出信号がなるべく低いことが好ましいとの観点から、図６の例では、Ｇのサンプリング期間Ｔ_Gの所定範囲が所定値Ｓ_G以上の範囲とされており、Ｂ、Ｒのサンプリング期間Ｔ_B、Ｔ_Rの所定範囲がそれぞれ所定値Ｓ_B、Ｓ_R以下の範囲とされている。
ここで、例えば、Ｇのサンプリング期間Ｔ_Gの上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_G）を、Ｇのピーク光量の９０％とし、Ｂ、Ｒのサンプリング期間Ｔ_B、Ｔ_Rの上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_B、Ｓ_R）を、それぞれＧのピーク光量の５％とすることができる。Ｇのピーク光量は、例えば、Ｇの照射パラメータを全ステップ変更して取得することができる。

その後、Ｂについても、ＲやＧと同様の処理を行う（ステップＳ１８〜Ｓ２０）。
上記の処理により、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の照射パラメータ（照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）の調整が完了する。

図７及び図８は、照射パラメータの調整後における、走査モード下での光走査型観察装置１０の性能を表している。図７のタイムチャートにおいて、「制御信号（Ｒ）」、「制御信号（Ｇ）」、「制御信号（Ｂ）」は、それぞれ、レーザ光源駆動部３２からＲ、Ｇ、Ｂのレーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂへ照射指令（制御信号）が出力されるタイミングを示しており、「検出信号」は、走査モードでのサンプリング期間にて光検出器３５から出力される検出信号を示している。図８の概要図において、破線で示す円は、照射指令タイミングでの仮想照射エリアを示しており、実線で示す円は、実際の照射エリアを示している。

本例では、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂのうち、Ｇのレーザ光源３３Ｇの応答性が最も遅く、Ｂのレーザ光源３３Ｂの応答性が最も速いことを考慮して、Ｇの照射指令タイミングを初期値よりも照射タイミングｔ_Gだけ早めて、Ｂの照射指令タイミングを初期値よりも照射タイミングｔ_Bだけ遅らせている（ｔ_G > ｔ_R(＝0) >ｔ_B）。
この結果、図８に示すように、Ｒ、Ｇ、Ｂの実際の照射エリア（図８の実線で示す円）が、互いに重なり合わずに、それぞれの色のサンプリングエリア内に収まっており、また、図７に示すように、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号の値がほぼ均等にされている。よって、一の波長のパルス状レーザ光の照射により得られる検出信号への、他の波長のパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が実質的に混在しないようにされ、色漏れが低減されたことがわかる。これにより、画質が向上される。

（第２実施形態）
つぎに、図９及び図１０を参照して、本発明のパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第２実施形態を、第１実施形態と異なる点を中心に、説明する。なお、以下に説明する照射パラメータ調整方法の第２実施形態では、図１〜図４を参照して上述した光走査型観察装置１０を用いるものとする。

照射パラメータ調整方法の第２実施形態では、所定の走査経路に沿って走査をしながら、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光を順次射出させて、一の波長のパルス状レーザ光の照射により得られる検出信号に、他の波長のパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が混在している場合、検出信号の混在を低減するように、少なくとも１つの波長のパルス状レーザ光の各々における照射パラメータを調整する。

まず、この調整モードにおけるＲ、Ｇ、Ｂのサンプリング周波数は、走査モードで使用されるサンプリング周波数の２倍に設定される。さらに、調整モードにおけるサンプリング期間は、走査モードでのＲ、Ｇ、Ｂの画素のサンプリング期間の各々における、中央の半画素分に相当する期間Ｔ_R1、Ｔ_G1、Ｔ_B1と、走査モードにおいて互いに隣接する２色の画素のサンプリング期間を跨ぐ、半画素分に相当する期間Ｔ_R2、Ｔ_G2、Ｔ_B2とが、交互に設けられる（ステップＳ３１）。

図９及び図１０に示すように、走査中に、レーザ光源駆動部３２は、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納された照射パラメータｔ（照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）に基づき、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂに照射指令を順次出力し、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光を順次射出させる（ステップＳ３２、レーザ光源駆動ステップ）。なお、ステップＳ３２は、以下のステップＳ３３〜Ｓ３８を実行する間、継続して実行されるものとする。レーザ光源３３からのパルス状レーザ光は、送光ファイバ１１及びアクチュエータ２１（走査部）により、対象物１００に照射されて対象物１００上で走査される（走査ステップ）。そして、光検出器３５により、各サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2、Ｔ_G1、Ｔ_G2、Ｔ_B1、Ｔ_B2のそれぞれにおいて、対象物１００から得られる光が検出される（光検出ステップ）。光検出器３５から出力される、サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2、Ｔ_G1、Ｔ_G2、Ｔ_B1、Ｔ_B2での検出信号は、ＡＤＣ３６によってアナログ−デジタル変換される。

つぎに、Ｒ画素の中間の半画素分に対応するサンプリング期間Ｔ_R1と、その次の、Ｒ画素及びＧ画素を跨ぐサンプリング期間Ｔ_R2とでの検出信号の両方が、それぞれサンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ３３）。なお、理想的には、Ｒの照射エリアの走査方向の中央部（レーザ波形における山部分）がサンプリング期間Ｔ_R1のエリアの走査方向の中央部にあり、かつ、Ｒ、Ｇの照射エリアのそれぞれの走査方向の端部（レーザ波形における谷部分）を跨ぐサンプリング期間Ｔ_R2のエリア内において、ＲとＧの照射エリアどうしの重なり度合いがなるべく小さいことが望ましい。Ｒの照射エリアの走査方向の中央がサンプリング期間Ｔ_R1のエリアの走査方向の中央から外れると、色漏れが生じ、ひいては、Ｒの照射エリアが他の色（Ｇ、Ｂ）の照射エリアと重なり合う結果、複数の色のパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号どうしが混在することとなる。したがって、サンプリング期間Ｔ_R1での検出信号はある程度高いことが好ましく、サンプリング期間Ｔ_R2での検出信号はある程度低いことが好ましい。この観点から、図１０の例では、サンプリング期間Ｔ_R1の所定範囲が所定値Ｓ_R1以上の範囲とされており、サンプリング期間Ｔ_R2の所定範囲が所定値Ｓ_R2以下の範囲とされている。
ここで、例えば、サンプリング期間Ｔ_R1の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_R1）を、ピーク光量の９０％とし、サンプリング期間Ｔ_R2の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_R2）を、ピーク光量の１０％とすることができる。

そして、サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2での検出信号の少なくともいずれか一方が、上記所定範囲外である場合（Ｓ３３、Ｎｏ）、Ｒの照射タイミングｔ_Rを変更し（ステップＳ３４）、変更後の照射タイミングｔ_Rを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。その後も、サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2での検出信号の両方が、それぞれ上記所定範囲内となるまでＳ３３〜Ｓ３４を繰り返すことにより、Ｒの照射タイミングｔ_Rの調整を行う（調整ステップ）。

一方、ステップＳ３３において、サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_R2での検出信号の両方が、上記所定範囲内である場合は（Ｓ３３、Ｙｅｓ）、ステップＳ３５に進んで、Ｇについて、Ｒにおける上記Ｓ３３〜Ｓ３４と同様の処理を行う。すなわち、Ｇ画素の中間の半画素分に相当するサンプリング期間Ｔ_G1と、その次の、Ｇ画素及びＢ画素を跨ぐサンプリング期間Ｔ_G2とでの検出信号の両方が、それぞれサンプリング期間Ｔ_G1、Ｔ_G2に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ３５）。ここで、Ｒの場合と同様、サンプリング期間Ｔ_G1での検出信号はある程度高いことが好ましく、サンプリング期間Ｔ_G2での検出信号はある程度低いことが好ましいとの観点から、図１０の例では、サンプリング期間Ｔ_G1の所定範囲が所定値Ｓ_G1以上の範囲とされており、サンプリング期間Ｔ_G2の所定範囲が所定値Ｓ_G2以下の範囲とされている。
ここで、例えば、サンプリング期間Ｔ_G1の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_G1）を、ピーク光量の９０％とし、サンプリング期間Ｔ_G2の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_G2）を、ピーク光量の１０％とすることができる。

そして、サンプリング期間Ｔ_G1、Ｔ_G2での検出信号の少なくともいずれか一方が、上記所定範囲外である場合（Ｓ３５、Ｎｏ）、Ｇの照射タイミングｔ_Gを変更し（ステップＳ３６）、変更後の照射タイミングｔ_Gを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。その後も、サンプリング期間Ｔ_G1、Ｔ_G2での検出信号の両方が、それぞれ上記所定範囲内となるまでＳ３５〜Ｓ３６を繰り返すことにより、Ｇの照射タイミングｔ_Gの調整を行う。

その後、Ｂについても、ＲやＧと同様の処理を行う（ステップＳ３７〜Ｓ３８）。
上記の処理により、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の照射パラメータｔ（照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）の調整が完了する。

第２実施形態によれば、中央の半画素分に相当する期間Ｔ_R1、Ｔ_G1、Ｔ_B1で得られる検出信号を所定値より大きくし、サンプリング期間を跨ぐ半画素分に相当する期間Ｔ_R2、Ｔ_G2、Ｔ_B2で得られる検出信号を所定値より小さくすることにより、隣接する波長の光の照射エリアの重なりを小さくすることができるので、色漏れが抑制され、画質が向上される。

（第３実施形態）
つぎに、図１１及び図１２を参照して、本発明のパルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法の第３実施形態を、第１実施形態と異なる点を中心に、説明する。なお、以下に説明する照射パラメータ調整方法の第３実施形態では、図１〜図４を参照して上述した光走査型観察装置１０を用いるものとする。

照射パラメータ調整方法の第３実施形態でも、第２実施形態と同様に、所定の走査経路に沿って走査をしながら、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光を順次射出させて、一の波長のパルス状レーザ光の照射により得られる検出信号に、他の波長のパルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が混在している場合、検出信号の混在を低減するように、少なくとも１つの波長のパルス状レーザ光の各々における照射パラメータを調整する。

まず、この調整モードにおけるＲ、Ｇ、Ｂのサンプリング期間（ひいては周波数及びタイミング）は、走査モードで使用するサンプリング期間と同じに設定される（ステップＳ５１）。

図１１及び図１２に示すように、走査中に、レーザ光源駆動部３２は、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納された照射パラメータｔ（照射タイミングｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）に基づき、レーザ光源３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂに照射指令を順次出力し、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光を順次射出させる（ステップＳ５２、レーザ光源駆動ステップ）。なお、ステップＳ５２は、以下のステップＳ５３〜Ｓ６５を実行する間、継続して実行されるものとする。レーザ光源３３からのパルス状レーザ光は、送光ファイバ１１及びアクチュエータ２１（走査部）により、対象物１００に照射されて対象物１００上で走査される（走査ステップ）。そして、光検出器３５により、各サンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_G1、Ｔ_B1のそれぞれにおいて、対象物１００から得られる光が検出される（光検出ステップ）。光検出器３５から出力される、それぞれのサンプリング期間Ｔ_R1、Ｔ_G1、Ｔ_B1での検出信号は、ＡＤＣ３６によってアナログ−デジタル変換される。

つぎに、Ｒのサンプリング期間Ｔ_R1での検出信号が、サンプリング期間Ｔ_R1に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ５３）。なお、理想的には、Ｒの実際の照射エリア（実線の円）が、Ｒ画素のサンプリングエリア（走査エリア）内に収まっていることが望ましい。したがって、サンプリング期間Ｔ_R1での検出信号はある程度高いことが好ましい。この観点から、図１２の例では、サンプリング期間Ｔ_R1の所定範囲が、所定値Ｓ_R1以上の範囲とされている。
ここで、例えば、サンプリング期間Ｔ_R1の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_R1）を、ピーク光量の９０％とすることができる。

そして、サンプリング期間Ｔ_R1での検出信号が、上記所定範囲外である場合（Ｓ５３、Ｎｏ）、Ｒの照射タイミングｔ_Rを変更し（ステップＳ５４）、変更後の照射タイミングｔ_Rを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。その後も、サンプリング期間Ｔ_R1での検出信号が、サンプリング期間Ｔ_R1の所定範囲内となるまでＳ５３〜Ｓ５４を繰り返すことにより、Ｒの照射タイミングｔ_Rの調整を行う（調整ステップ）。

一方、ステップＳ５３において、サンプリング期間Ｔ_R1での検出信号が、上記所定範囲内である場合は（Ｓ５３、Ｙｅｓ）、ステップＳ５５に進んで、Ｇについて、Ｒにおける上記Ｓ５３〜Ｓ５４と同様の処理を行う（ステップＳ５５〜Ｓ５６）。
その後、Ｂについても、ＲやＧと同様の処理を行う（ステップＳ５７〜Ｓ５８）。

つぎに、調整モードにおけるＲ、Ｇ、Ｂのサンプリング期間を、走査モードでのサンプリング期間よりも半画素分移動（本例では、遅延）させる（ステップＳ５９）。次に、Ｒのサンプリング期間Ｔ_R2での検出信号が、サンプリング期間Ｔ_R2に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ６０）。なお、理想的には、ＲとＧの照射エリアを跨ぐサンプリング期間Ｔ_R2のエリア内において、ＲとＧの照射エリアどうしの重なり度合いがなるべく小さいことが望ましい。したがって、サンプリング期間Ｔ_R2での検出信号はある程度低いことが好ましい。この観点から、図１２の例では、サンプリング期間Ｔ_R2の所定範囲が、所定値Ｓ_R2以下の範囲とされている。
ここで、例えば、サンプリング期間Ｔ_R2の上記所定範囲の閾値（所定値Ｓ_R2）を、ピーク光量の１０％とすることができる。

そして、サンプリング期間Ｔ_R2での検出信号が、上記所定範囲外である場合（Ｓ６０、Ｎｏ）、Ｒの照射タイミングｔ_Rを変更し（ステップＳ６１）、変更後の照射タイミングｔ_Rを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。その後も、サンプリング期間Ｔ_R2での検出信号が、サンプリング期間Ｔ_R2の上記所定範囲内となるまでＳ６０〜Ｓ６１を繰り返すことにより、Ｒの照射タイミングｔ_Rの調整を行う（調整ステップ）。

一方、ステップＳ６０において、サンプリング期間Ｔ_R2での検出信号が、上記所定範囲内である場合は（Ｓ６０、Ｙｅｓ）、ステップＳ６２に進んで、Ｇについて、Ｒにおける上記Ｓ６０〜Ｓ６１と同様の処理を行う（ステップＳ６２〜Ｓ６３）。
その後、Ｂについても、ＲやＧと同様の処理を行う（ステップＳ６４〜Ｓ６５）。
上記の処理により、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の照射パラメータｔ（ｔ_R、ｔ_G、ｔ_B）の調整が完了する。

第３実施形態によれば、第２実施形態と同様の効果に加えて、第２実施形態では調整モードにおけるサンプリング周波数を走査モードにおけるサンプリング周波数の２倍に設定する際に必要となり得る、制御装置本体３０の基板の変更が、不要となる。

なお、本発明は、上述した各実施形態に限られるものではなく、様々な変形例が可能である。

上述した各例において、照射パラメータｔは、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光の照射タイミングに加えて、又は代えて、Ｒ、Ｇ、Ｂのパルス状レーザ光のパルス幅を含んでも良い。

上述した各例において、照射パラメータ調整方法の一部又は全部のステップは、それぞれ人による光走査型観察装置１０の操作に応じて実行されるようにしてもよいし、あるいは、プログラム化されて、光走査型観察装置１０により自動で実行されるようにしてもよい。
図１３は、照射パラメータ調整方法の一部又は全部のステップを含むプログラムを実行可能なように構成された光走査型観察装置１０を示している。図１３の光走査型観察装置１０は、制御部３１が、照射パラメータ調整部５２を有している点で、図１の光走査型観察装置１０と異なる。照射パラメータ調整部５２は、メモリ３９等の記憶装置に記憶された上記のプログラムを実行することにより、照射パラメータの調整を行い、調整後の照射パラメータを、メモリ３９内の照射パラメータテーブル５０に格納する。

また、送光ファイバ１１のアクチュエータ２１は、圧電素子を用いたものに限られず、例えば、送光ファイバ１１に固定した永久磁石とこれを駆動する偏向磁場発生用コイル（電磁コイル）とを用いたものでもよい。以下、このアクチュエータ２１の変形例について、図１４を参照して説明する。図１４（ａ）はスコープ２０の先端部２４の断面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のアクチュエータ２１を拡大して示す斜視図であり、図１４（ｃ）は、図１４（ｂ）の偏向磁場発生用コイル６２ａ〜６２ｄおよび永久磁石６３を含む部分の送光ファイバ１１の軸に垂直な面による断面図である。

送光ファイバ１１の揺動部１１ｂの一部には、送光ファイバ１１の軸方向に着磁され貫通孔を有する永久磁石６３が、送光ファイバ１１が貫通孔を通った状態で結合されている。また、揺動部１１ｂを囲むように、一端部を取付環２６に固定された角型チューブ６１が設けられ、永久磁石６３の一方の極と対向する部分の角型チューブ６１の各側面には、平型の偏向磁場発生用コイル６２ａ〜６２ｄが設けられている。

Ｙ方向の偏向磁場発生用コイル６２ａと６２ｃのペアおよびＸ方向の偏向磁場発生用コイル６２ｂと６２ｄのペアは、角型チューブ６１のそれぞれ対向する面に配置され、偏向磁場発生用コイル６２ａの中心と偏向磁場発生用コイル６２ｃの中心を結ぶ線と、偏向磁場発生用コイル６２ｂの中心と偏向磁場発生用コイル６２ｄの中心を結ぶ線とは、静止時の送光ファイバ１１の配置される角型チューブ６１の中心軸線付近で直交する。これらのコイルは、配線ケーブル１３を介して制御装置本体３０のアクチュエータ３８に接続され、駆動制御部３８からの駆動電流によって駆動される。

さらに、走査部は、光ファイバの先端を振動させるものに限られない。例えば、レーザ光源３３から対象物に至る光路上にＭＥＭＳミラーなどの光走査素子を設けることも可能である。

また、本発明の光走査型観察装置は、光走査型顕微鏡装置として構成されてもよい。

１０ 光走査型観察装置
１１ 送光ファイバ（走査部）
１１ａ 固定端
１１ｂ 揺動部
１１ｃ 先端部
１２ 受光ファイバ
１３ 配線ケーブル
２０ スコープ
２１ アクチュエータ（走査部）
２２ 操作部
２３ 挿入部
２４ 先端部
２５ａ、２５ｂ 投影用レンズ
２６ 取付環
２８ａ〜２８ｄ 圧電素子
２９ ファイバ保持部材
３０ 制御装置本体
３１ 制御部
３２ レーザ光源駆動部
３３、３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂ レーザ光源
３４ 結合器
３５ 光検出器（レーザ光検出部）
３６ ＡＤＣ
３７ 画像処理部
３８ 駆動制御部
３９ メモリ
４０ ディスプレイ
５０ 照射パラメータテーブル
５１ 照射パラメータ設定部
５２ 照射パラメータ調整部
６１ 角型チューブ
６２ａ〜６２ｄ 偏向磁場発生用コイル
６３ 永久磁石
１００ 対象物

Claims (7)

1. 複数のレーザ光源からそれぞれ異なる波長のパルス状レーザ光を順次射出させるレーザ光源駆動部と、
   前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる走査部と、
   前記パルス状レーザ光の順次の照射により前記対象物から得られる光を順次検出するレーザ光検出部と、
   前記レーザ光検出部から出力される検出信号に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像処理部と、
   前記レーザ光検出部から出力される一の波長の前記パルス状レーザ光の照射により得られる検出信号への、他の波長の前記パルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が実質的に混在しないように、前記レーザ光源駆動部を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、前記照射パラメータの調整を行う調整モードにおいて、所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出部から出力された検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲内か否かを判断する、光走査型観察装置。
2. 前記制御部は、前記所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出部から得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された前記所定範囲外である場合、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における照射パラメータを、前記検出信号が該所定範囲内となるように変更する、請求項１に記載の光走査型観察装置。
3. 前記制御部は、前記レーザ光源駆動部を介して、前記複数のレーザ光源の照射パラメータを調整する、請求項１又は２に記載の光走査型観察装置。
4. 前記照射パラメータは、照射指令タイミング及びパルス幅のうち少なくともいずれか一方である、請求項２又は３に記載の光走査型観察装置。
5. レーザ光源からパルス状レーザ光を射出させる、レーザ光源駆動ステップと、
   前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる、走査ステップと、
   前記パルス状レーザ光の照射により前記対象物から得られる光を検出する、光検出ステップと、
   所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出ステップで得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲外である場合に、前記パルス状レーザ光の照射パラメータを、前記検出信号が該所定範囲内となるように調整する、調整ステップと、
   を含む、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法。
6. 複数のレーザ光源からそれぞれ異なる波長のパルス状レーザ光を順次射出させる、レーザ光源駆動ステップと、
   前記パルス状レーザ光を対象物に照射して該対象物上で走査させる、走査ステップと、
   前記パルス状レーザ光の順次の照射により前記対象物から得られる光を検出する、光検出ステップと、
   前記光検出ステップで一の波長の前記パルス状レーザ光の照射により得られる検出信号に、他の波長の前記パルス状レーザ光の照射により生じる検出信号が混在している場合、前記検出信号の混在を低減するように、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における照射パラメータを調整する、調整ステップと、
   を含み、
   前記調整ステップでは、所定サンプリング期間中に前記レーザ光検出ステップで得られた検出信号が、該所定サンプリング期間に対して予め設定された所定範囲外である場合に、少なくとも１つの波長の前記パルス状レーザ光の各々における前記照射パラメータを調整する、パルス状レーザ光の照射パラメータ調整方法。
7. 前記照射パラメータは、照射指令タイミング及びパルス幅のうち少なくともいずれか一方である、請求項５又は６に記載の照射パラメータ調整方法。

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