JP6410101B2 - 積層体及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、接着層を介してガラスフィルムを樹脂フィルムに積層して一体化した積層体及びその製造方法に関する。

省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、近年は液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。これらのフラットパネルディスプレイにおいては、さらなる薄型化が要請される。特に有機ＥＬディスプレイには、折りたたみや巻き取ることによって持ち運びを容易にすると共に、平面だけでなく曲面にも使用可能とすることが求められている。

また、有機ＥＬディスプレイに使用される発光層や電子輸送層といった有機ＥＬ素子材料は、酸素や水蒸気等の気体が接触することにより劣化する。したがって、有機ＥＬディスプレイに使用される基板には、これを防止するために高いガスバリア性が求められる。

上記の観点から、近年では、有機ＥＬディスプレイに使用される基板として、超薄型のガラスフィルムが注目されている。ガラスフィルムは、ガスバリア性に優れるとともに、例えば厚みを３００μｍ以下とすることにより、高い可撓性を具備するものとなる。

しかしながら、ガラスフィルムは物理衝撃や熱衝撃に対して破損しやすいという欠点を有する。そこで、この欠点を補うために、ガラスフィルムを接着層によって樹脂フィルムに接着して積層一体化してなる積層体が提案されている（例えば特許文献１参照）。樹脂フィルムは、ガラスフィルムよりも比重が小さく、物理的衝撃にも強いという特徴を有する。したがって、ガラスフィルムと樹脂フィルムとを積層することにより、積層体は、軽量で、ガスバリア性、可撓性及び耐衝撃性に優れたものになる。このような積層体を利用すれば、有機ＥＬディスプレイの形状を多様化できるとともに、その信頼性及び寿命を大幅に向上させることができる。

ところで、積層体を量産する製造工程において、大面積の積層体から小面積（製品サイズ）の積層体に切り出す必要がある。また、有機ＥＬディスプレイ等の機器に搭載する場合、その機器のデザインに応じて、積層体を直線や曲線を含む輪郭に加工することも必要である。すなわち、積層体を所望の形状に切断する技術が必要となる。

一般に、ガラス板を切断する方法としては、ガラス板の表面にダイヤモンドカッターなどでスクライブ線を形成した後、そのスクライブ線に曲げ応力を作用させて割断する方法（スクライブ割断）が広く用いられている。しかしながら、上記の切断方法では、切断面にクラックが形成され易く、そのクラックを起点としてガラス板が破損するおそれがあった。

そこで、上記の切断方法に代えて、積層体にレーザを照射し、その照射熱によって照射部位を溶融させて切断する、いわゆるレーザ溶断が採用されている（例えば特許文献２参照）。

特開２０１１−１２１３２０号公報 特開２０１３−１０３８５２号公報

しかしながら、レーザ溶断によって積層体を切断した場合であっても、溶断により形成される積層体の端部では、ガラスフィルムの端面が露出した状態となる。この状態において、ガラスフィルムの厚みが、例えば３００μｍ以下まで薄板化されていると、その端面は、非常に脆くなり、有機ＥＬディスプレイ等の機器に搭載する場合に、他部材に接触することで破損するおそれがあった。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、接着層を介して樹脂フィルムにガラスフィルムを積層一体化させた積層体において、ガラスフィルムの端面の破損を防止することを技術的課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、接着層を介してガラスフィルムを樹脂フィルムの片面に積層して一体化した積層体であって、前記ガラスフィルムは、前記接着層を介して前記樹脂フィルムに接着される第１の面と、前記第１の面とは反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に位置する端面とを有し、前記樹脂フィルムの端部及び前記接着層の端部が溶融して一体に融合する融合部を備え、前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記端面を被覆することに特徴づけられる。

かかる構成によれば、積層体のガラスフィルムは、その端面が全て融合部によって被覆されていることから、積層体に他部材が接触する場合であっても、この端面よりも先に融合部に接触することになる。したがって、ガラスフィルムの端面に他部材が直接接触する事態を回避できる。これにより、ガラスフィルムの端面の破損を効果的に防止できる。

また、上記の積層体において、前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記第２の面の一部を被覆することが望ましい。このように、融合部は、ガラスフィルムの端面のみならず、ガラスフィルムにおける第２の面の一部をも被覆することから、他部材が接触した場合であってもガラスフィルムの端面から剥離し難い構造となり、この端面を強固に保護することが可能になる。

また、上記の積層体を製造する方法としては、前記樹脂フィルムが上側に位置し、前記ガラスフィルムが下側に位置するように前記積層体を設置する設置工程と、前記設置工程後に、前記積層体にレーザを照射して溶断するレーザ溶断工程と、を備え、前記レーザ溶断工程において、前記レーザの照射熱によって前記樹脂フィルムと前記接着層とを溶融させて一体に融合した融合部を形成し、前記融合部は、溶断により形成される前記ガラスフィルムの端面を被覆することに特徴づけられる。

このように、レーザ溶断工程では、レーザを積層体に照射することにより、樹脂フィルムと接着層とを溶融させ、樹脂フィルムにおいて溶融した部分と接着層において溶融した部分とが融合して融合部となる。設置工程において、積層体は、樹脂フィルムが上側に位置し、ガラスフィルムが下側に位置するように配置されている。このため、融合部は、その自重により、下側に位置するガラスフィルムに向かって流動する。この流動により、融合部は、溶断によって形成されるガラスフィルムの端面を被覆する。この状態のまま融合部を冷却して固化させることにより、ガラスフィルムの端面は、その全面が融合部によって被覆されることになる。これによって、ガラスフィルムの端面に他部材が直接接触する事態を回避でき、ガラスフィルムの端面の破損を効果的に防止できる。

また、上記の製造方法において、前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記第２の面の一部を被覆することが望ましい。このように、融合部がガラスフィルムの端面を越えて第２の面にまで到達し、この第２の面の一部を被覆することで、他部材が接触した場合であってもガラスフィルムの端面から剥離し難い構造となり、この端面を強固に保護することが可能になる。

前記レーザ溶断工程において、前記レーザは、前記樹脂フィルムの上方位置から前記樹脂フィルムに向かって照射されることが望ましい。これにより、設置工程によって上側に位置することとなる樹脂フィルムにレーザを直接照射して溶融させることができる。したがって、樹脂フィルムへのレーザの照射位置及び樹脂フィルムの溶融量を精度良く制御することが可能になる。

また、前記レーザ溶断工程において、前記積層体におけるレーザの照射部位にアシストガスを噴射することが望ましい。これにより、アシストガスを融合部に当て、その圧力により融合部の流動を促進させることができる。

この場合において、前記アシストガスの噴射圧力は、０．０１ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下であることが望ましい。アシストガスの圧力が０．０１ＭＰａ未満であると、融合部の流動を促進させるのに十分ではなく、また、０．５ＭＰａを超えると、樹脂フィルムの溶融した部分が飛散してしまうため好ましくない。

以上説明した本発明によれば、積層体におけるガラスフィルムの端面の破損を効果的に防止できる。

図１は、第１実施形態に係るレーザ溶断装置の斜視図である。 図２は、第１実施形態に係るレーザ溶断装置の縦断面図である。 図３は、本発明に係る積層体の断面図である。 図４は、積層体の他の例を示す断面図である。 図５は、第２実施形態に係るレーザ溶断装置の縦断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図４は、本発明の第１実施形態を示す。図１及び図２は、レーザ溶断装置を示し、図３及び図４は、レーザ溶断装置によって切断された積層体を示す。

図１及び図２に示すように、レーザ溶断装置１は、積層体２をレーザ溶断するものであって、積層体２を支持する支持台３と、積層体２に向かってレーザＬを照射するレーザ照射器４とを備える。支持台３は、所定の間隔をおいて離間された一対として構成されるとともに、図１に示すＴ方向に移動可能に構成されている。

レーザ照射器４は、支持台３の上方における定位置に設置されている。レーザ照射器４は、レーザＬを伝搬させる内部空間を有し、この内部空間にはレーザＬを集光するレンズ５が設けられている。レーザ照射器４の先端部には、レーザＬの照射方向に沿って噴射されるアシストガスＡＧをレーザ照射器４の内部に導入するガス導入管６が連結されている。また、レーザ照射器４の先端部には、レーザＬ及びアシストガスＡＧを照射・噴射するための照噴射口７が形成されている。なお、レーザ照射器４の出力は、１５〜６０Ｗとされている。

レーザ照射器４から照射されるレーザＬには、本実施形態ではＣＯ_２レーザが使用されるが、これに限定されず、ＹＡＧレーザその他の各種レーザが使用され得る。このレーザＬは、積層体２の上面における照射部位Ｃに照射されるとともに、レンズ５で集光されることにより、積層体２の上面に焦点ＦＰを形成する。

照噴射口７から噴射されるアシストガスＡＧの噴射圧力は、０．０１ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下であることが好ましい。このアシストガスＡＧは、例えば、酸素（又は空気）や、水蒸気・二酸化炭素・窒素・アルゴンなどの不活性ガスが用いられ、適所でこれらのガスを混合してもよい。また、アシストガスＡＧは、加熱することにより熱風として噴射させてもよい。

レーザ溶断装置１によって切断される積層体２は、樹脂フィルム８と、この樹脂フィルム８に接着されるガラスフィルム９と、このガラスフィルム９を樹脂フィルム８に接着する接着層１０とを備える。積層体２を構成する樹脂フィルム８、ガラスフィルム９及び接着層１０には、透明な材質のものが使用される。レーザ溶断装置１によって切断される積層体２は、樹脂フィルム８の片面８ａのみにガラスフィルム９を接着した構成になっている。以下、ガラスフィルム９が接着される樹脂フィルム８の一方の面８ａを「第１の面」といい、ガラスフィルム９が接着されていない他方の面８ｂを「第２の面」という。

樹脂フィルム８の厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下とされる。樹脂フィルム８の材質としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド（ＰＩ）が好ましく、その他に、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン等の各種樹脂材料を利用できる。

ガラスフィルム９の厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下とされる。ガラスフィルム９の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。

ガラスフィルム９として無アルカリガラスを使用することで、積層体２の透明性を向上させることができる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

ガラスフィルム９は、公知のフロート法、ロールアウト法、スロットダウンドロー法、リドロー法等を使用することができるが、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に設けられたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の両側の側壁部に沿って流下させながら、成形体の下端部で融合一体化し、１枚のガラスフィルム９を連続成形するというものである。

オーバーフローダウンドロー法により、厚み３００μｍ以下のガラスフィルム９を大量かつ安価に作製することができる。これにより作製されたガラスフィルム９は、研磨や研削、ケミカルエッチング等によってその厚みを調整する必要がない。また、オーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラス板の両面が、成形部材と接触しない成形法であり、得られたガラスフィルム９の両面（透光面）は火造り面となり、研磨しなくても高い表面品位を得ることができる。これにより、ガラスフィルム９に対する接着層１０の密着力を向上させることができ、より正確かつ精密にガラスフィルム９と樹脂フィルム８とを積層させることが可能となる。

図２に示すように、ガラスフィルム９は、樹脂フィルム８に接着される面（以下「第１の面」という）９ａと、この第１の面９ａとは反対側に位置する面（以下「第２の面」という）９ｂと、第１の面９ａと第２の面９ｂとの間に位置する端面９ｃとを有する。ガラスフィルム９の第１の面９ａは、接着層１０によって樹脂フィルム８の第１の面８ａに接着される。ガラスフィルム９の第２の面９ｂは、積層体２の一方の外面を構成するものである。

接着層１０の厚みは、１μｍ以上２００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下とされる。接着層１０の材質としては、例えば、アクリル系粘着剤、ＵＶ硬化樹脂、及びエチレン酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）が好適に使用され得るが、その他に、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤、紫外線硬化性アクリル系接着剤、紫外線硬化性エポキシ系接着剤、熱硬化性エポキシ系接着剤、熱硬化性メラミン系接着剤、熱硬化性フェノール系接着剤等が使用され得る。

以下、上記構成の積層体２を製造する方法について説明する。

まず、樹脂フィルム８と、樹脂フィルム８と略同じ大きさ(面積)のガラスフィルム９とを用意する。次に、樹脂フィルム８の第１の面８ａとガラスフィルム９の第１の面９ａとの間に、アクリル系粘着剤からなる接着剤を介在させ、ローラー等によってこれらを押圧して接合する。これにより、樹脂フィルム８、ガラスフィルム９および接着層１０を含む３層構造からなる積層体２が形成される。または、樹脂フィルム８の第１の面８ａとガラスフィルム９の第１の面９ａとの間に接着層１０としてエチレン酢酸ビニル共重合樹脂を介在させ、熱圧着した後に冷却してこれを硬化させることで、同様に積層体２を得ることができる。さらに、紫外線硬化性の樹脂（ＵＶ硬化樹脂）を用いて積層体２を製造する場合には、樹脂フィルム８とガラスフィルム９との間にこの樹脂を介在させた後、紫外線を照射することによりこれを硬化させる。

次に、この積層体２をレーザ溶断装置１の支持台３に載置する。この場合において、積層体２は、樹脂フィルム８が上側に位置し、ガラスフィルム９が下側に位置するように、支持台３に設置される（設置工程）。

積層体２が支持台３に載置されると、支持台３によって積層体２を移動させつつ、レーザ照射器４によるレーザＬがこの積層体２に照射され、アシストガスＡＧが積層体２に向けて噴射される。積層体２は、樹脂フィルム８が上側に位置していることから、その上方に位置するレーザ照射器４から照射されるレーザＬは、この積層体２の上面、すなわち、樹脂フィルム８における第２の面８ｂに照射される。この第２の面８ｂ上の照射部位ＣにレーザＬの焦点ＦＰが合わせられると、その照射熱により樹脂フィルム８が溶融し、次いで接着層１０が溶融する。この溶融がさらに進行すると、ガラスフィルム９も溶融するに至り、これによって積層体２は溶断される（レーザ溶断工程）。

このレーザ溶断工程において、樹脂フィルム８の溶融した部分と、接着層１０の溶融した部分とは、互いに融合して、図３に示す融合部１１を構成する。この融合１１は、その自重及びアシストガスＡＧの圧力によって下方に流動することになる。この場合、融合部１１は、下方に流動することにより、溶断により新たに形成されたガラスフィルム９の端面９ｃを越えて、このガラスフィルム９の第２の面９ｂに回り込む。

支持台３が積層体２を移動させていることから、この融合部１１は、ガラスフィルム９の第２の面９ｂに到達すると、その位置に留まった状態にて、積層体２の移動に応じてレーザ照射器４から徐々に遠ざかる。レーザ照射器４から遠ざかるにつれて、融合部１１は、徐々に冷却されて固化することになる。そうすると、固化した融合部１１は、ガラスフィルム９の端面９ｃを全体的に被覆するとともに、ガラスフィルム９の第２の面９ｂの一部を被覆した状態になる。

融合部１１がガラスフィルム９の端面９ｃと第２の面９ｂの一部とを被覆した状態で固化することで、このガラスフィルム９の端面９ｃは、この融合部１１によって保護されることになる。すなわち、融合部１１は、固化することによりガラスフィルム９の端部を被覆して保護する保護部となるのである（以下、融合部と保護部とに共通符号１１を用いる）。

レーザ溶断装置１によって溶断されて形成された積層体２は、その端部が保護部１１によって保護されている。図３に示すように、保護部１１は、ガラスフィルム９の端面９ｃを被覆する第１被覆部１１ａと、ガラスフィルム９の第２の面９ｂの一部を被覆する第２被覆部１１ｂとを含む。

第１被覆部１１ａは、図３に示すように、樹脂フィルム８の非溶融部分から湾曲する形状を有する。第１被覆部１１ａの厚みＴ１、すなわち、ガラスフィルム９の端面９ｃから最外端部までの長さは、１μｍ以上２００μｍ以下とされることが望ましい。

第２被覆部１１ｂは、図３に示すように、第１被覆部１１ａと一体に構成される。第２被覆部１１ｂがガラスフィルム９の第２の面９ｂを被覆する長さＷは、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下とされることが望ましい。また、第２被覆部１１ｂの厚みＴ２は、１μｍ以上２００μｍ以下とされることが望ましい。

なお、樹脂フィルム８と接着層１０とが融合してなる融合部１１は、樹脂フィルム８及び接着層１０の非溶融部分と一体に構成されることになる。図３に示すように、樹脂フィルム８及び接着層１０の非溶融部分と融合部１１との境界線ＢＬから、融合部１１の外端部までの距離Ｄ１は、０．１ｍｍ以上１．５ｍｍ以下とされることが望ましい。また、この境界線ＢＬからガラスフィルム９の端面９ｃまでの距離Ｄ２は、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下とされることが望ましい。

以上説明した本実施形態に係る積層体２及びその製造方法によれば、レーザ溶断工程において、レーザＬを積層体２における樹脂フィルム８の第２の面８ｂに照射することにより、この樹脂フィルム８及び接着層１０を溶融させて融合部１１とし、この融合部１１を、ガラスフィルム９の端面９ｃの全面を被覆する保護部１１とすることができる。保護部１１は、第１被覆部１１ａがガラスフィルム９の端面９ｃ全体を被覆し、第２被覆部１１ｂがガラスフィルム９の端面９ｃを越えて第２の面９ｂの一部を被覆した状態となる。このように、保護部１１は、第１被覆部１１ａによってガラスフィルム９の端面９ｃを保護することにより、他部材がこの端面９ｃに直接接触するといった事態を回避でき、しかも、第２被覆部１１ｂがガラスフィルム９の第２の面９ｂの一部をも被覆していることから、他部材が接触した場合であっても、保護部１１がガラスフィルム９の端面９ｃから剥離し難い構造となる。これによって、積層体２は、ガラスフィルム９の端面９ｃの破損を効果的に防止し得る構造となる。

また、この保護部１１は、積層体２をレーザ溶断することにより形成されることから、ガラスフィルム９の端面９ｃに二次加工を施したり、この端面９ｃに別体の保護部材を取り付けたりする必要がない。また、このような事後的な処理を行う場合と比較して、本方法は、積層体２を溶断するだけでよいので、製造工数が増加することがない。したがって、積層体２を低コストで製造することが可能である。

図４は、本実施形態に係るレーザ溶断装置１によって製造される積層体２の他の例を示す。図３の例では、積層体２は、融合部１１がガラスフィルム９の端面９ｃを越えて、このガラスフィルム９の第２の面９ｂの一部を被覆するものであったが、この例では、融合部１１は、ガラスフィルム９の第２の面９ｂを被覆しておらず、その端面９ｃのみを被覆している。このように、融合部１１がガラスフィルム９の端面９ｃのみを被覆する場合であっても、この端面９ｃを確実に保護し、他部材がこの端面９ｃに直接接触することを回避し、この端面９ｃの破損を効果的に防止できる。

図５は、本発明の第２実施形態を示す。本実施形態では、レーザ照射器４の位置が第１実施形態と異なる。図５に示すように、レーザ照射器４は、積層体２の下方位置に配置されている。レーザ照射器４は、上方に位置する積層体２のガラスフィルム９に向けてレーザＬを照射する。レーザＬは、ガラスフィルム９の第２の面９ｂ上に焦点ＦＰを形成する。この場合、積層体２は、レーザＬの照射により、ガラスフィルム９、接着層１０、樹脂フィルム８の順に溶融する。なお、これに限らず、レーザＬの焦点ＦＰを樹脂フィルム８の第２の面８ｂ上又は樹脂フィルム８の内部位置に形成することも可能であり、この場合、積層体２は、樹脂フィルム８、接着層９、ガラスフィルム１０の順に溶融することになる。本実施形態においても、第１実施形態と同様に、図３及び図４に示すような端部が保護部１１によって保護される積層体２が得られる。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、また、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、積層体２として、樹脂フィルム８、ガラスフィルム９及び接着層１０からなる３層構造のものを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、接着層１０を介して複数の樹脂フィルム８を積層するとともに、その一の樹脂フィルム８にガラスフィルム９を接着し、５層以上の積層体２とするようにしてもよい。

上記の実施形態では、レーザＬを鉛直方向に沿うように照射して積層体２を溶断する例を示したが、これに限定されず、上下方向（鉛直方向）に対して傾斜する方向に沿って、レーザＬを積層体２に照射するようにしてもよい。

上記の実施形態では、レーザ照射器４を定位置に固定するとともに、支持台３によって積層体２を移動させながら溶断を行う例を示したが、これに限定されず、支持台３を定位置に固定するとともに、レーザ照射器４を移動させることによって積層体２を溶断することも可能である。

上記の実施形態によれば、アシストガスＡＧを噴射して融合部１１の流動を促進させるようにした例を示したが、これに限らず、アシストガスＡＧの噴射を省略してもよい。

８ 樹脂フィルム
９ ガラスフィルム
９ａ ガラスフィルムの第１の面
９ｂ ガラスフィルムの第２の面
１０ 接着層
１１ 融合部

Claims (7)

1. 接着層を介してガラスフィルムを樹脂フィルムの片面に積層して一体化した積層体であって、
   前記ガラスフィルムは、前記接着層を介して前記樹脂フィルムに接着される第１の面と、前記第１の面とは反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に位置する端面とを有し、
   前記樹脂フィルムの端部及び前記接着層の端部が溶融して一体に融合する融合部を備え、前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記端面を被覆することを特徴とする積層体。
2. 前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記第２の面の一部を被覆する請求項１に記載の積層体。
3. 請求項１に記載の積層体を製造する方法であって、
   前記樹脂フィルムが上側に位置し、前記ガラスフィルムが下側に位置するように前記積層体を設置する設置工程と、
   前記設置工程後に、前記積層体に対してレーザを照射して溶断するレーザ溶断工程と、を備え、
   前記レーザ溶断工程において、前記レーザの照射熱によって前記樹脂フィルムと前記接着層とを溶融させて一体に融合した融合部を形成し、前記融合部は、溶断により形成される前記ガラスフィルムの端面を被覆することを特徴とする積層体の製造方法。
4. 前記融合部は、前記ガラスフィルムの前記第２の面の一部を被覆する請求項３に記載の積層体の製造方法。
5. 前記レーザ溶断工程において、前記レーザは、前記樹脂フィルムの上方位置から前記樹脂フィルムに向かって照射されることを特徴とする請求項３又は４に記載の積層体の製造方法。
6. 前記レーザ溶断工程において、前記積層体における前記レーザの照射部位にアシストガスを噴射することを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の積層体の製造方法。
7. 前記アシストガスの噴射圧力は、０．０１ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項６に記載の積層体の製造方法。

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