JP6407296B2 - マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法 - Google Patents
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Description
αon 光がターゲット面上に向けられる切換位置に対応する角度位置
αoff 光がターゲット面上に向けられない切換位置に対応する角度位置
Δt 持続時間
T 周期
Claims (10)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置(10)の照明系であって、
a)光パルスのシーケンス(42−1,42−2,42−3,52−1,52−2)を発生させるように設計された光源(LS;LS1,LS2)と、
b)2つの切換位置の間でデジタル式に切換可能である光学要素(32)のアレイ(28)と、
c)前記光学要素をそれらがそれらの切換位置を2つの連続光パルス間でのみ変化させ、かつ該光パルス中にそれらの切換位置を維持するように駆動するように設計された制御デバイス(34)と、
を含み、
レンズ(38)が、前記アレイ(28)とターゲット面(40)の間の光路に配置され、該レンズは、該アレイを該ターゲット面の上に結像することを特徴とする、照明系。 - 前記制御デバイス(34)は、前記光学要素(32)を該光学要素のうちの少なくとも1つの前記切換位置が2又は3以上の連続光パルス中に同一であるように駆動するように設計されることを特徴とする請求項1に記載の照明系。
- 前記制御デバイス(34)は、マスク(14)の照明中に前記切換位置が同一である間の光パルスの個数が、異なる光学要素(32)の場合に異なるように該光学要素(32)を駆動するように設計されることを特徴とする請求項2に記載の照明系。
- 前記光学要素は、前記切換位置の間で移動し、
前記制御デバイスは、前記切換位置が前記2又は3以上の連続光パルス間で2・n、n=1,2,3,...回変化するように前記光学要素を駆動するように設計される、
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の照明系。 - 更に別の光パルスを発生させるように設計された更に別の光源(LS2)を含み、
前記更に別の光パルス(52−1,52−2)は、前記光源の前記光パルス(42−1,42−2,42−3)に対して時間的にオフセットされる方式で発生され、
前記アレイ(28)は、前記光学要素(32)の第1の切換位置で前記光源の光パルス及び該光学要素の第2の切換位置で前記更に別の光源の光パルスを照明系(12)の共通ビーム経路内に結合するように設計される、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の照明系。 - マイクロリソグラフィ投影露光装置(10)の照明系(12)を作動させる方法であって、
a)2つの切換位置の間でデジタル式に切換可能である光学要素(32)のアレイ(28)を与える段階と、
b)レンズ(38)を用いてターゲット面(40)の上に前記アレイ(28)を結像する段階と、
c)光パルスのシーケンス(42−1,42−2,42−3,52−1,52−2)を発生させる段階と、
d)前記光学要素の前記切換位置を前記光パルス中ではなく2つの連続光パルス間でだけ変化させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記光学要素(32)のうちの少なくとも1つの前記切換位置は、2又は3以上の連続光パルス中は同一であることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- マスク(14)の照明中に前記切換位置が同一である間の光パルスの個数が、異なる光学要素(32)の場合に異なることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記光学要素は、前記切換位置の間で移動し、
前記切換位置は、前記2又は3以上の連続光パルス間で2・n、n=1,2,3,...回変化する、
ことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の方法。 - 前記アレイ(28)は、前記光学要素(32)の第1の切換位置で前記光源(LS1)の光パルス(42−1,42−2,42−3)及び該光学要素(32)の第2の切換位置で更に別の光源(LS2)の光パルス(52−1,52−2)を共通ビーム経路内に結合することを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の方法。
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