JP6404792B2 - 薬液タンク - Google Patents
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Description
前記容器に収納された薬液に超音波を照射して、薬液の液面から反射された反射波が受信されるまでの時間により、液面の高さを計測するセンサと、
前記容器内の前記超音波の照射位置を含む液面の一部領域に向けて気体を噴出する気体噴出部と、を備える薬液タンクが提供される。
Claims (5)
- 薬液を収納する容器と、
前記容器に収納された薬液に超音波を照射して、薬液の液面から反射された反射波が受信されるまでの時間により、液面の高さを計測するセンサと、
前記容器内の前記超音波の照射位置を含む液面の一部領域に向けて気体を噴出する気体噴出部と、
前記容器の外壁面よりも内側に設けられ、前記容器内で発生した泡を待避させるガイド部材と、を備える薬液タンク。 - 前記容器の外壁面は、円筒形状であり、
前記ガイド部材は、前記外壁面から間隔を隔てて内側に配置された円筒形状の内壁面を有し、
前記内壁面は、上端部から下端部まで延在する所定の幅の切欠部を有する請求項1に記載の薬液タンク。 - 前記気体噴出部は、前記容器内の前記一部領域の泡が前記切欠部に向かうように気体を噴出する請求項2に記載の薬液タンク。
- 前記ガイド部材は、前記気体に押されて前記切欠部に到達した泡を、前記内壁面に沿って案内する請求項3に記載の薬液タンク。
- 前記気体噴出部から噴出される気体は、窒素、空気および不活性ガスのいずれかである請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薬液タンク。
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