JP6401438B2 - Defect inspection apparatus and optical display device production system - Google Patents

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本発明は、欠陥検査装置及び光学表示デバイスの生産システムに関する。   The present invention relates to a defect inspection apparatus and an optical display device production system.

従来、液晶ディスプレイなどの光学表示デバイスを生産する生産システムとして、特許文献1に記載の生産システムが知られている。光学表示デバイスは、液晶パネルなどの光学表示部品に偏光板などの光学部材を貼合してなるものである。光学表示部品と光学部材を貼合する貼合装置の上流側には、光学部材の欠陥検査を行う欠陥検査装置が設けられている。   Conventionally, as a production system for producing an optical display device such as a liquid crystal display, a production system described in Patent Document 1 is known. The optical display device is formed by bonding an optical member such as a polarizing plate to an optical display component such as a liquid crystal panel. On the upstream side of the bonding apparatus that bonds the optical display component and the optical member, a defect inspection apparatus that performs defect inspection of the optical member is provided.

ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置として、光学部材の一方面側に配置された照明装置と、光学部材の他方面側に配置された撮像装置と、を備えたものが知られている。照明装置としては、光源と、光源からの光を伝送する光ファイバーケーブルと、光ファイバーケーブルによって伝送された光源からの光を導光して光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を備えたものがある。   As a defect inspection device for an optical member conveyed on a line, a device including an illumination device arranged on one side of an optical member and an imaging device arranged on the other side of the optical member is known. Yes. As an illuminating device, a light source, a fiber optic cable that transmits light from the light source, a light guide member that guides light from the light source transmitted by the optical fiber cable and emits the light toward one surface of the optical member, and There is something with.

特許第4307510号公報Japanese Patent No. 4307510

ところで、光学部材の高速検査を実現する上では、光学部材を高速搬送することが重要である。しかし、光学部材を高速搬送すると、撮像装置に入射する光の光量が低下してしまい、欠陥の検出感度が低下してしまう。そのため、多くの光を照射することができる照明装置が要求されている。
このような要求に対応するための手段としては、既存の照明装置に替えて、より多くの光を射出可能な照明装置(例えば高出力レーザー光源を有するもの)を用いることが考えられる。しかし、照明装置を単に高出力のものに交換したのでは、照明装置の分光分布特性が、既存の特性に対して大きくずれてしまう。そうすると、撮像装置の分光感度特性に対して照明装置の分光分布特性が大きくずれてしまう。その結果、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことが困難となるという課題があった。
By the way, in order to realize high-speed inspection of an optical member, it is important to convey the optical member at high speed. However, when the optical member is transported at a high speed, the amount of light incident on the imaging device is decreased, and the defect detection sensitivity is decreased. Therefore, an illumination device that can irradiate a lot of light is required.
As a means for meeting such a demand, it is conceivable to use an illumination device (for example, one having a high-power laser light source) capable of emitting more light in place of the existing illumination device. However, if the illuminating device is simply replaced with one having a high output, the spectral distribution characteristics of the illuminating device will deviate greatly from the existing characteristics. As a result, the spectral distribution characteristic of the illumination device is greatly deviated from the spectral sensitivity characteristic of the imaging device. As a result, there has been a problem that it is difficult to accurately inspect the optical member for defects.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、光学部材を高速搬送しても検出感度が低下することを抑制することが可能な欠陥検査装置、光学表示デバイスの生産システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, can perform defect inspection of an optical member with high accuracy, and suppress a decrease in detection sensitivity even when the optical member is conveyed at high speed. An object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus and an optical display device production system.

上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
(1)すなわち、本発明の第一の態様に係る欠陥検査装置は、ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、前記光学部材の一方側に配置された照明装置と、前記光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、前記照明装置は、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、前記複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された前記光源からの光を1本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、前記複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された前記複数の光源からの光を導光して前記光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、前記撮像装置は、前記導光部材から射出されて前記光学部材を透過した光の画像を撮像し、前記導光部材は、前記光学部材の一方側の面と平行に配置され且つ前記光学部材の搬送方向と直交する方向に長手方向を有して延在しており、前記導光部材の長手方向の一方の端部および他方の端部に前記複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルが1つずつ接続され、前記撮像装置は、前記分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following means.
(1) That is, the defect inspection apparatus according to the first aspect of the present invention is a defect inspection apparatus for an optical member conveyed on a line, and the illumination apparatus disposed on one side of the optical member; An imaging device disposed on the other side of the optical member, wherein the illumination device includes a plurality of light sources having the same spectral distribution characteristics, and branch portions corresponding to each of the plurality of light sources. A plurality of branch optical fiber cables that collectively transmit the light from the light sources connected to the unit, and one of the optical members that guides the light from the plurality of light sources transmitted by the plurality of branch optical fiber cables. A light guide member that emits light toward the side surface, wherein the imaging device captures an image of light that is emitted from the light guide member and transmitted through the optical member, and the light guide member includes the optical member. One side of member A plurality of branched optical fibers arranged in parallel and extending in a direction perpendicular to the transport direction of the optical member and having one longitudinal end and the other end in the longitudinal direction of the light guide member A bifurcated optical fiber cable is connected as a cable one by one, and the imaging device has a spectral sensitivity characteristic that maximizes the spectral sensitivity at a wavelength that matches the peak wavelength at which the relative light output of the spectral distribution characteristic is maximum. Features.

(2)本発明の第一の態様に係る光学表示デバイスの生産システムは、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、前記光学部材を搬送するための搬送装置と、前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する上記(1)に記載の欠陥検査装置と、を含むことを特徴とする。
(2) The optical display device production system according to the first aspect of the present invention is an optical display device production system in which an optical member is bonded to an optical display component for transporting the optical member. A bonding apparatus that bonds the optical member conveyed by the conveying apparatus to the optical display component to produce the optical display device, and the optical member that is conveyed from the conveying apparatus to the bonding apparatus. And the defect inspection apparatus according to the above (1) for inspecting the presence or absence of defects.

本発明によれば、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、光学部材を高速搬送しても検出感度が低下することを抑制することが可能な欠陥検査装置、光学表示デバイスの生産システムを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the defect inspection of the optical member which can perform the defect inspection of an optical member with high precision, and can suppress that a detection sensitivity falls even if an optical member is conveyed at high speed. A production system can be provided.

本発明の一実施形態のフィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。It is a side view which shows the apparatus structure of the film bonding system of one Embodiment of this invention. フィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。It is a side view which shows the apparatus structure of a film bonding system. 液晶パネルの平面図である。It is a top view of a liquid crystal panel. 偏光フィルムシートの断面図である。It is sectional drawing of a polarizing film sheet. 本発明の一実施形態の欠陥検査装置を示す側面図である。It is a side view which shows the defect inspection apparatus of one Embodiment of this invention. 欠陥検査装置の平面図である。It is a top view of a defect inspection apparatus. 二分岐光ファイバーケーブルの模式図である。It is a schematic diagram of a bifurcated optical fiber cable. 光源の分光分布特性と撮像装置の分光感度特性との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the spectral distribution characteristic of a light source, and the spectral sensitivity characteristic of an imaging device. 検査対象を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a test object. 検査対象の検査領域を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the test | inspection area | region of a test object. 座標と光量濃度値との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a coordinate and a light quantity density value. 比較例1及び2についてX画素数、Y画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値を比較した図である。It is the figure which compared the number of X pixels, the number of Y pixels, the number of defective pixels, the maximum density value, and the density | concentration integrated value about the comparative examples 1 and 2. 検査対象を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a test object. 比較例及び実施例について各サンプルにおけるX画素数を比較した図である。It is the figure which compared the X pixel number in each sample about a comparative example and an Example. 比較例及び実施例について各サンプルにおけるY画素数を比較した図である。It is the figure which compared the number of Y pixels in each sample about a comparative example and an Example. 比較例及び実施例について各サンプルにおける最大濃度値を比較した図である。It is the figure which compared the maximum density value in each sample about a comparative example and an Example. 比較例及び実施例について各サンプルにおける欠陥画素数を比較した図である。It is the figure which compared the number of defective pixels in each sample about a comparative example and an Example. 比較例及び実施例についてX画素数、Y画素数、最大濃度値、欠陥画素数を比較した図である。It is the figure which compared the number of X pixels, the number of Y pixels, the maximum density value, and the number of defective pixels about the comparative example and the Example.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments.

尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   In all the drawings below, the dimensions and ratios of the respective constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see. In the following description and drawings, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

以下の説明においては、必要に応じてXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、光学表示部品である液晶パネルの搬送方向をX方向としており、液晶パネルの面内においてX方向に直交する方向(液晶パネルの幅方向)をY方向、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向としている。   In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set as necessary, and the positional relationship of each member will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. In the present embodiment, the transport direction of the liquid crystal panel, which is an optical display component, is the X direction, and the direction orthogonal to the X direction (the width direction of the liquid crystal panel) in the plane of the liquid crystal panel is the Y direction, X direction, and Y direction. The direction orthogonal to the Z direction is taken as the Z direction.

以下、本発明の一実施形態の光学表示デバイスの生産システムとして、その一部を構成するフィルム貼合システムについて説明する。
図1及び図2は、本実施形態のフィルム貼合システム1の装置構成を示す側面図である。
フィルム貼合システム1は、例えば液晶パネルや有機ELパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合するものである。
Hereinafter, as an optical display device production system according to an embodiment of the present invention, a film bonding system constituting a part thereof will be described.
FIG.1 and FIG.2 is a side view which shows the apparatus structure of the film bonding system 1 of this embodiment.
The film bonding system 1 bonds a film-shaped optical member such as a polarizing film, an antireflection film, and a light diffusion film to a panel-shaped optical display component such as a liquid crystal panel or an organic EL panel.

なお、本実施形態では、光学表示部品として液晶パネルPを例示し、光学部材貼合体として、液晶パネルPの表裏両面に貼合シートF5を貼合してなる両面貼合パネルを例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。   In addition, in this embodiment, liquid crystal panel P is illustrated as an optical display component, and the double-sided bonding panel formed by bonding the bonding sheet | seat F5 on the front and back both surfaces of liquid crystal panel P is illustrated as an optical member bonding body. However, the present invention is not limited to this.

図1及び図2に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム1は液晶パネルPの製造ラインの一工程として設けられている。フィルム貼合システム1の各部は、電子制御装置としての制御部2により統括制御される。   As shown in FIG.1 and FIG.2, the film bonding system 1 of this embodiment is provided as one process of the manufacturing line of liquid crystal panel P. As shown in FIG. Each part of the film bonding system 1 is comprehensively controlled by the control part 2 as an electronic control apparatus.

本実施形態のフィルム貼合システム1は、液晶パネルPの搬送方向に対して、液晶パネルPの姿勢を途中で90°反転する。フィルム貼合システム1は、液晶パネルPの表裏面に、互いに偏光軸を直交する方向に向けた偏光フィルムF1を貼り合わせる。   The film bonding system 1 of the present embodiment reverses the orientation of the liquid crystal panel P by 90 ° in the middle with respect to the transport direction of the liquid crystal panel P. The film bonding system 1 bonds the polarizing film F1 on the front and back surfaces of the liquid crystal panel P so that the polarization axes are orthogonal to each other.

図3は、液晶パネルPをその液晶層P3の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルPは、平面視で長方形状をなす第1基板P1と、第1基板P1に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第2基板P2と、第1基板P1と第2基板P2との間に封入された液晶層P3とを備える。液晶パネルPは、平面視で第1基板P1の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層P3の外周の内側に収まる領域を表示領域P4とする。   FIG. 3 is a plan view of the liquid crystal panel P as viewed from the thickness direction of the liquid crystal layer P3. The liquid crystal panel P includes a first substrate P1 that has a rectangular shape in plan view, a second substrate P2 that has a relatively small rectangular shape that is disposed to face the first substrate P1, a first substrate P1, and a second substrate. And a liquid crystal layer P3 sealed between the substrate P2. The liquid crystal panel P has a rectangular shape that follows the outer shape of the first substrate P1 in a plan view, and a region that fits inside the outer periphery of the liquid crystal layer P3 in a plan view is a display region P4.

図4は、液晶パネルPに貼合する光学部材F1を含む光学シートFの断面図である。尚、図4においては、便宜上、断面図の各層のハッチングを省略している。
図4に示すように、光学シートFは、フィルム状の光学部材F1と、光学部材F1の一方の面(図では上面)に設けられた粘着層F2と、粘着層F2を介して光学部材F1の一方の面に分離可能に積層されたセパレータF3と、光学部材F1の他方の面(図では下面)に積層された表面保護フィルムF4とを有する。光学部材F1は偏光板として機能し、液晶パネルPの表示領域P4の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical sheet F including the optical member F1 bonded to the liquid crystal panel P. In FIG. 4, hatching of each layer in the cross-sectional view is omitted for convenience.
As shown in FIG. 4, the optical sheet F includes a film-like optical member F1, an adhesive layer F2 provided on one surface (upper surface in the drawing) of the optical member F1, and the optical member F1 via the adhesive layer F2. The separator F3 is detachably stacked on one surface of the optical member F1, and the surface protective film F4 is stacked on the other surface (lower surface in the drawing) of the optical member F1. The optical member F1 functions as a polarizing plate, and is bonded over the entire display area P4 of the liquid crystal panel P and its peripheral area.

光学部材F1は、その一方の面に粘着層F2を残しつつセパレータF3を分離した状態で、液晶パネルPに粘着層F2を介して貼合される。以下、光学シートFからセパレータF3を除いた部分を貼合シートF5という。   The optical member F1 is bonded to the liquid crystal panel P via the adhesive layer F2 in a state where the separator F3 is separated while leaving the adhesive layer F2 on one surface thereof. Hereinafter, the part remove | excluding the separator F3 from the optical sheet F is called the bonding sheet | seat F5.

セパレータF3は、粘着層F2から分離されるまでの間に粘着層F2及び光学部材F1を保護する。表面保護フィルムF4は、光学部材F1とともに液晶パネルPに貼合される。表面保護フィルムF4は、光学部材F1に対して液晶パネルPと反対側に配置されて光学部材F1を保護すると共に、所定のタイミングで光学部材F1から分離される。尚、光学シートFが表面保護フィルムF4を含まない構成であったり、表面保護フィルムF4が光学部材F1から分離されない構成であったりしてもよい。   The separator F3 protects the adhesive layer F2 and the optical member F1 until it is separated from the adhesive layer F2. The surface protective film F4 is bonded to the liquid crystal panel P together with the optical member F1. The surface protective film F4 is disposed on the side opposite to the liquid crystal panel P with respect to the optical member F1, protects the optical member F1, and is separated from the optical member F1 at a predetermined timing. The optical sheet F may be configured not to include the surface protective film F4, or the surface protective film F4 may be configured not to be separated from the optical member F1.

光学部材F1は、シート状の偏光子F6と、偏光子F6の一方の面に接着剤等で接合される第1フィルムF7と、偏光子F6の他方の面に接着剤等で接合される第2フィルムF8とを有する。第1フィルムF7及び第2フィルムF8は、例えば偏光子F6を保護する保護フィルムである。   The optical member F1 includes a sheet-like polarizer F6, a first film F7 bonded to one surface of the polarizer F6 with an adhesive or the like, and a first film F7 bonded to the other surface of the polarizer F6 with an adhesive or the like. 2 film F8. The first film F7 and the second film F8 are protective films that protect the polarizer F6, for example.

尚、光学部材F1は、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。前記光学層は、偏光子F6の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等でもよい。第1フィルムF7と第2フィルムF8の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材F1は、第1フィルムF7と第2フィルムF8の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第1フィルムF7を省略した場合、セパレータF3を光学部材F1の一方の面に粘着層F2を介して貼り合わせてもよい。   The optical member F1 may have a single-layer structure including a single optical layer, or may have a stacked structure in which a plurality of optical layers are stacked on each other. In addition to the polarizer F6, the optical layer may be a retardation film, a brightness enhancement film, or the like. At least one of the first film F7 and the second film F8 may be subjected to a surface treatment capable of obtaining an effect such as a hard coat treatment for protecting the outermost surface of the liquid crystal display element or an antiglare treatment. The optical member F1 may not include at least one of the first film F7 and the second film F8. For example, when the first film F7 is omitted, the separator F3 may be bonded to one surface of the optical member F1 via the adhesive layer F2.

次に、本実施形態のフィルム貼合システム1について、詳しく説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム1は、図中右側の液晶パネルPの搬送方向上流側(+X方向側)から図中左側の液晶パネルPの搬送方向下流側(−X方向側)に至り、液晶パネルPを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア3を備えている。
Next, the film bonding system 1 of this embodiment is demonstrated in detail.
As shown in FIG.1 and FIG.2, the film bonding system 1 of this embodiment is the conveyance direction downstream of the liquid crystal panel P of the left side in a figure from the conveyance direction upstream (+ X direction side) of the liquid crystal panel P of the right side in the figure. A driving roller conveyor 3 is provided which reaches the side (−X direction side) and conveys the liquid crystal panel P in a horizontal state.

ローラコンベア3は、反転装置(図示略)を境に、上流側コンベアと下流側コンベアとに分かれる。上流側コンベアでは、液晶パネルPは表示領域P4の長辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。一方、下流側コンベアでは、液晶パネルPは表示領域P4の短辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。この液晶パネルPの表裏面に対して、帯状の光学シートFから所定長さに切り出した貼合シートF5が貼合される。   The roller conveyor 3 is divided into an upstream conveyor and a downstream conveyor with a reversing device (not shown) as a boundary. In the upstream conveyor, the liquid crystal panel P is transported so that the long side of the display area P4 is along the transport direction. On the other hand, on the downstream conveyor, the liquid crystal panel P is transported so that the short side of the display area P4 is along the transport direction. A bonding sheet F5 cut out to a predetermined length from the belt-shaped optical sheet F is bonded to the front and back surfaces of the liquid crystal panel P.

本実施形態のフィルム貼合システム1は、第1供給装置7、第1貼合装置11、反転装置、第2供給装置、第2貼合装置、検査装置、制御部2を備えている。尚、反転装置、第2供給装置、第2貼合装置及び検査装置については、便宜上、その図示を省略する。   The film bonding system 1 of the present embodiment includes a first supply device 7, a first bonding device 11, a reversing device, a second supply device, a second bonding device, an inspection device, and a control unit 2. In addition, about the inversion apparatus, the 2nd supply apparatus, the 2nd bonding apparatus, and the test | inspection apparatus, the illustration is abbreviate | omitted for convenience.

図1では、フィルム貼合システム1の装置構成として、第1供給装置及び第2供給装置のうち第1供給装置7を挙げて説明する。第2供給装置は、第1供給装置7と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。   In FIG. 1, the 1st supply apparatus 7 is mentioned and demonstrated as an apparatus structure of the film bonding system 1 among a 1st supply apparatus and a 2nd supply apparatus. Since the second supply device has the same configuration as that of the first supply device 7, detailed description thereof is omitted.

図1に示すように、第1供給装置7は、帯状の光学シートFを巻回した原反ロールR1から光学シートFを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第1供給装置7は、第1搬送装置8、検査前剥離装置18、第1欠陥検査装置9、検査後貼合装置19、第1切断装置10を備えている。   As shown in FIG. 1, the 1st supply apparatus 7 draws out the optical sheet F from the original fabric roll R1 which wound the strip | belt-shaped optical sheet F, and supplies it after cut | disconnecting to predetermined size. The first supply device 7 includes a first transport device 8, a pre-inspection peeling device 18, a first defect inspection device 9, a post-inspection bonding device 19, and a first cutting device 10.

第1搬送装置8は、光学シートFをその長手方向に沿って搬送する搬送機構である。第1搬送装置8は、ロール保持部8aと、ニップローラ8bと、ガイドローラ8cと、アキュムレータ8dと、巻き取り部8e(図2参照)と、を有する。   The first transport device 8 is a transport mechanism that transports the optical sheet F along its longitudinal direction. The 1st conveying apparatus 8 has the roll holding | maintenance part 8a, the nip roller 8b, the guide roller 8c, the accumulator 8d, and the winding-up part 8e (refer FIG. 2).

ロール保持部8aは、帯状の光学シートFを巻回した原反ロールR1を保持すると共に光学シートFをその長手方向に沿って繰り出す。   The roll holding unit 8a holds the original roll R1 around which the belt-shaped optical sheet F is wound, and feeds the optical sheet F along its longitudinal direction.

ニップローラ8bは、原反ロールR1から巻き出した光学シートFを所定の搬送経路に沿って案内するべく光学シートFを挟みこむ。   The nip roller 8b sandwiches the optical sheet F so as to guide the optical sheet F unwound from the original roll R1 along a predetermined conveyance path.

ガイドローラ8cは、搬送中の光学シートFの進行方向を搬送経路に沿って変化させる。複数のガイドローラ8cのうち少なくとも一つは、テンションローラとして機能する。つまり、搬送中の光学シートFのテンションを調整するべく可動する。   The guide roller 8c changes the traveling direction of the optical sheet F being conveyed along the conveyance path. At least one of the plurality of guide rollers 8c functions as a tension roller. That is, it moves to adjust the tension of the optical sheet F being conveyed.

アキュムレータ8dは、光学シートFが第1切断装置10で切断される間に、ロール保持部8aから搬送される光学シートFの繰り出し量を吸収する。   The accumulator 8d absorbs the feeding amount of the optical sheet F conveyed from the roll holding unit 8a while the optical sheet F is cut by the first cutting device 10.

第1搬送装置8の始点に位置するロール保持部8aと第1搬送装置8の終点に位置する巻き取り部8e(図2参照)とは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部8aが光学シートFをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部8eが第1貼合装置11を経たセパレータF3を巻き取る。以下、第1搬送装置8における光学シートF(セパレータF3)の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。   The roll holding unit 8a positioned at the start point of the first transport device 8 and the winding unit 8e (see FIG. 2) positioned at the end point of the first transport device 8 are driven in synchronization with each other, for example. Thereby, the winding part 8e winds up the separator F3 which passed through the 1st bonding apparatus 11, while the roll holding | maintenance part 8a pays out the optical sheet F to the conveyance direction. Hereinafter, the upstream side in the transport direction of the optical sheet F (separator F3) in the first transport device 8 is referred to as a sheet transport upstream side, and the downstream side in the transport direction is referred to as a sheet transport downstream side.

検査前剥離装置18は、シート搬送上流側から搬送されてきた光学シートFから第1セパレータH1(セパレータF3に相当)を剥離し、ロールに巻き取る構成である。検査前剥離装置18は、ナイフエッジ18aと、巻き取り部18bと、を有する。   The pre-inspection peeling device 18 has a configuration in which the first separator H1 (corresponding to the separator F3) is peeled from the optical sheet F conveyed from the upstream side of the sheet conveyance and wound on a roll. The pre-inspection peeling device 18 includes a knife edge 18a and a winding portion 18b.

ナイフエッジ18aは、光学シートFの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ18aは、原反ロールR1から巻き出した光学シートFの第1セパレータH1側に摺接するようにこれを巻きかける。ナイフエッジ18aは、その先端部に光学シートFを鋭角に巻きかける。ナイフエッジ18aは、その先端部で光学シートFを鋭角に折り返す際、第1セパレータH1から貼合シートF5を分離させる。ナイフエッジ18aは、この貼合シートF5を第1欠陥検査装置9に供給する。   The knife edge 18a extends at least over its entire width in the width direction of the optical sheet F. The knife edge 18a is wound so as to be in sliding contact with the first separator H1 side of the optical sheet F unwound from the raw roll R1. The knife edge 18a winds the optical sheet F at an acute angle at its tip. The knife edge 18a separates the bonding sheet F5 from the first separator H1 when the optical sheet F is folded back at an acute angle at the tip portion. The knife edge 18a supplies the bonding sheet F5 to the first defect inspection apparatus 9.

巻き取り部18bは、ナイフエッジ18aを経て単独となった第1セパレータH1を巻き取り、第1セパレータロールR2として保持する。   The winding unit 18b winds up the first separator H1 that has become independent through the knife edge 18a and holds it as a first separator roll R2.

第1欠陥検査装置9は、第1セパレータH1の剥離後の光学シートF、すなわち貼合シートF5の欠陥検査を行う。第1欠陥検査装置9は、CCDカメラで撮像された画像データを解析して欠陥の有無を検査し、欠陥がある場合には、その位置座標を算出する。この欠陥の位置座標は、第1切断装置10によるスキップカットに提供される。尚、第1欠陥検査装置9の詳細については後述する。   The 1st defect inspection apparatus 9 performs the defect inspection of the optical sheet F after peeling of the 1st separator H1, ie, the bonding sheet | seat F5. The first defect inspection device 9 analyzes the image data picked up by the CCD camera to inspect for the presence or absence of a defect, and if there is a defect, calculates the position coordinates. The position coordinates of this defect are provided for the skip cut by the first cutting device 10. Details of the first defect inspection apparatus 9 will be described later.

検査後貼合装置19は、欠陥検査後の貼合シートF5に、第2セパレータH2(セパレータF3に相当)を、粘着層F2を介して貼り合わせる。検査後貼合装置19は、ロール保持部19aと、挟圧ロール19bと、を有する。   The post-inspection bonding apparatus 19 bonds the second separator H2 (corresponding to the separator F3) to the bonding sheet F5 after the defect inspection through the adhesive layer F2. The post-inspection bonding apparatus 19 includes a roll holding unit 19a and a pinching roll 19b.

ロール保持部19aは、帯状の第2セパレータH2を巻回した第2セパレータロールR3を保持すると共に第2セパレータH2をその長手方向に沿って繰り出す。   The roll holding portion 19a holds the second separator roll R3 around which the band-shaped second separator H2 is wound and feeds the second separator H2 along the longitudinal direction thereof.

挟圧ロール19bは、第2セパレータロールR3から巻き出した第2セパレータH2をシート搬送上流側から搬送される欠陥検査後の貼合シートF5の下面(粘着層F2側の面)に貼合する。挟圧ロール19bは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する(上の貼合ローラは上下する)。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が検査後貼合装置19の貼合位置となる。前記間隙内には、貼合シートF5及び第2セパレータH2が重なり合って導入される。これら貼合シートF5及び貼合シートF5が、挟圧ロール19bに挟圧されつつシート搬送下流側に送り出される。これにより、欠陥検査後の貼合シートF5の下面に第2セパレータH2が貼合され、光学シートFが形成される。   The pinching roll 19b bonds the second separator H2 unwound from the second separator roll R3 to the lower surface (surface on the adhesive layer F2 side) of the bonding sheet F5 after defect inspection conveyed from the sheet conveying upstream side. . The pinching roll 19b has a pair of bonding rollers arranged in parallel with each other in the axial direction (the upper bonding roller moves up and down). A predetermined gap is formed between the pair of bonding rollers, and the inside of this gap is the bonding position of the post-inspection bonding apparatus 19. In the gap, the bonding sheet F5 and the second separator H2 are overlapped and introduced. The bonding sheet F5 and the bonding sheet F5 are sent out to the downstream side of the sheet conveyance while being pressed by the pressing roll 19b. Thereby, the 2nd separator H2 is bonded by the lower surface of the bonding sheet | seat F5 after a defect test | inspection, and the optical sheet F is formed.

第1切断装置10は、光学シートFが所定長さ繰り出された際、光学シートFの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートFの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。   The first cutting device 10 performs a half cut for cutting a part in the thickness direction of the optical sheet F over the entire width in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the optical sheet F when the optical sheet F is fed out a predetermined length. Do.

第1切断装置10は、光学シートFの搬送中に働くテンションによって光学シートF(セパレータF3)が破断しないように(所定の厚さがセパレータF3に残るように)、切断刃の進退位置を調整し、粘着層F2とセパレータF3との界面の近傍までハーフカットを施す。尚、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。   The first cutting device 10 adjusts the advancing / retreating position of the cutting blade so that the optical sheet F (separator F3) is not broken by the tension acting during the conveyance of the optical sheet F (so that a predetermined thickness remains in the separator F3). Then, half-cutting is performed to the vicinity of the interface between the adhesive layer F2 and the separator F3. In addition, you may use the laser apparatus replaced with a cutting blade.

ハーフカット後の光学シートFには、その厚さ方向で光学部材F1及び表面保護フィルムF4が切断されることにより、光学シートFの幅方向の全幅にわたる切込線が形成される。切込線は、帯状の光学シートFの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルPを搬送する貼合工程の場合、複数の切り込み線は光学シートFの長手方向で等間隔に形成される。光学シートFは、前記複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートFにおける長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートF5における一つのシート片とされる。   In the optical sheet F after half-cutting, the optical member F1 and the surface protection film F4 are cut in the thickness direction, whereby a cut line extending over the entire width in the width direction of the optical sheet F is formed. A plurality of cutting lines are formed so as to be arranged in the longitudinal direction of the belt-shaped optical sheet F. For example, in the case of the bonding process which conveys liquid crystal panel P of the same size, a plurality of score lines are formed at equal intervals in the longitudinal direction of optical sheet F. The optical sheet F is divided into a plurality of sections in the longitudinal direction by the plurality of cut lines. Each section sandwiched between a pair of cut lines adjacent in the longitudinal direction in the optical sheet F is a sheet piece in the bonding sheet F5.

第1切断装置10は、第1欠陥検査装置9で算出された欠陥の位置座標に基づいて、欠陥部分を避けるように所定サイズに切断する(スキップカット)。欠陥部分を含む切断品は、不良品として後工程で排除される。尚、第1切断装置10は、欠陥部分を無視して、光学シートFを連続的に所定サイズに切断してもよい。この場合、貼合シートF5と液晶パネルPとの貼合工程において、欠陥部分を含む切断品を液晶パネルPに貼り合わせずに除去することができる。   Based on the position coordinates of the defect calculated by the first defect inspection apparatus 9, the first cutting apparatus 10 cuts to a predetermined size so as to avoid a defective portion (skip cut). A cut product including a defective portion is excluded as a defective product in a subsequent process. Note that the first cutting apparatus 10 may continuously cut the optical sheet F into a predetermined size while ignoring the defective portion. In this case, in the bonding step between the bonding sheet F5 and the liquid crystal panel P, the cut product including the defective portion can be removed without bonding to the liquid crystal panel P.

図2では、フィルム貼合システム1の装置構成として、第1貼合装置及び第2貼合装置のうち第1貼合装置11を挙げて説明する。第2貼合装置は、第1貼合装置11と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。   In FIG. 2, the 1st bonding apparatus 11 is mentioned and demonstrated as a apparatus structure of the film bonding system 1 among a 1st bonding apparatus and a 2nd bonding apparatus. Since the 2nd bonding apparatus is the structure similar to the 1st bonding apparatus 11, the detailed description is abbreviate | omitted.

図2に示すように、第1貼合装置11は、貼合位置に導入された液晶パネルPの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第1貼合装置11は、ナイフエッジ11aと、挟圧ロール11bと、を有する。   As shown in FIG. 2, the 1st bonding apparatus 11 bonds the bonding sheet | seat F5 cut into the predetermined size with respect to the upper surface of liquid crystal panel P introduced into the bonding position. The 1st bonding apparatus 11 has the knife edge 11a and the pinching roll 11b.

ナイフエッジ11aは、ハーフカットを施した光学シートFを鋭角に巻きかけてセパレータF3から貼合シートF5を分離させつつこの貼合シートF5を貼合位置に供給する。   The knife edge 11a supplies the bonding sheet F5 to the bonding position while winding the optical sheet F subjected to a half cut at an acute angle to separate the bonding sheet F5 from the separator F3.

挟圧ロール11bは、ナイフエッジ11aが光学シートFから分離させた所定長さの貼合シートF5を上流側コンベアにより搬送される液晶パネルPの上面に貼合する。挟圧ロール11bは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第1貼合装置11の貼合位置となる。前記間隙内には、液晶パネルP及び貼合シートF5が重なり合って導入される。これら液晶パネルP及び貼合シートF5が、挟圧ロール11bに挟圧されつつ上流側コンベアのパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルPの上面に貼合シートF5が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを片面貼合パネルP11という。   The pinching roll 11b bonds the bonding sheet F5 having a predetermined length separated from the optical sheet F by the knife edge 11a to the upper surface of the liquid crystal panel P conveyed by the upstream conveyor. The pinching roll 11b has a pair of laminating rollers that are arranged with their axial directions parallel to each other. A predetermined gap is formed between the pair of bonding rollers, and the inside of this gap is the bonding position of the first bonding apparatus 11. The liquid crystal panel P and the bonding sheet F5 are overlapped and introduced into the gap. These liquid crystal panel P and the bonding sheet | seat F5 are sent out to the panel conveyance downstream of an upstream conveyor, being pinched by the pinching roll 11b. Thereby, the bonding sheet | seat F5 is bonded integrally on the upper surface of liquid crystal panel P. FIG. Hereinafter, the panel after this bonding is called single-sided bonding panel P11.

巻き取り部8eは、ナイフエッジ11aを経て単独となった第2セパレータH2を巻き取り、第2セパレータロールR4として保持する。   The winding unit 8e winds up the second separator H2 that has become independent through the knife edge 11a, and holds it as a second separator roll R4.

反転装置(図示略)は、第1貼合装置11よりもパネル搬送下流側に設けられて上流側コンベアの終着位置に達した液晶パネルPを下流側コンベアの始発位置まで搬送する。   The reversing device (not shown) conveys the liquid crystal panel P, which is provided downstream of the first bonding device 11 and reaches the end position of the upstream conveyor, to the start position of the downstream conveyor.

反転装置は、第1貼合装置11を経て上流側コンベアの終着位置に達した片面貼合パネルP11を吸着や挟持等により保持する。反転装置は、片面貼合パネルP11の表裏を反転させる。反転装置は、例えば前記表示領域P4の長辺と平行に搬送されていた片面貼合パネルP11を表示領域P4の短辺と平行に搬送されるように方向転換させる。   The reversing device holds the single-sided bonding panel P11 that has reached the end position of the upstream conveyor via the first bonding device 11 by suction or clamping. The reversing device reverses the front and back of the single-sided bonding panel P11. The reversing device changes the direction so that, for example, the single-sided bonding panel P11 that has been transported in parallel with the long side of the display region P4 is transported in parallel with the short side of the display region P4.

前記反転は、液晶パネルPの表裏面に貼合する各光学部材F1が偏光軸方向を互いに直角に配置するような場合になされる。   The inversion is performed when the optical members F1 bonded to the front and back surfaces of the liquid crystal panel P are arranged so that the directions of the polarization axes are perpendicular to each other.

尚、単に液晶パネルPの表裏を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。この場合、第1供給装置7のシート搬送方向と第2供給装置のシート搬送方向とを平面視で互いに直角にして配置すれば、液晶パネルPの表裏面に互いに偏光軸方向を直角にした光学部材F1を貼合できる。   In the case of simply reversing the front and back of the liquid crystal panel P, for example, a reversing device having a reversing arm having a rotation axis parallel to the transport direction may be used. In this case, if the sheet conveyance direction of the first supply device 7 and the sheet conveyance direction of the second supply device are arranged so as to be perpendicular to each other in a plan view, the optical axes having the polarization axis directions perpendicular to each other on the front and back surfaces of the liquid crystal panel P The member F1 can be bonded.

第2供給装置は、第1供給装置7と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。第2供給装置は、帯状の光学シートFを巻回した原反ロールから光学シートFを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第2供給装置は、図示はしないが、第2搬送装置、検査前剥離装置、第2欠陥検査装置、検査後貼合装置、第2切断装置を備えている。   Since the second supply device has the same configuration as that of the first supply device 7, detailed description thereof is omitted. The second supply device draws the optical sheet F from the raw roll around which the belt-shaped optical sheet F is wound, and supplies the optical sheet F after cutting it into a predetermined size. Although not shown, the second supply device includes a second transport device, a pre-inspection peeling device, a second defect inspection device, a post-inspection bonding device, and a second cutting device.

第2貼合装置は、貼合位置に導入された液晶パネルPの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第2貼合装置は、第1貼合装置11と同様のナイフエッジと、挟圧ロールと、を有する。   A 2nd bonding apparatus bonds the bonding sheet | seat F5 cut into predetermined size with respect to the upper surface of liquid crystal panel P introduce | transduced into the bonding position. The 2nd bonding apparatus has the same knife edge as the 1st bonding apparatus 11, and a pinching roll.

挟圧ロールの一対の貼合ローラ間の間隙内(第2貼合装置の貼合位置)には、片面貼合パネルP11及び貼合シートF5が重なり合った状態で導入され、片面貼合パネルP11の上面に貼合シートF5が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを両面貼合パネル(光学部材貼合体)という。   The single-sided bonding panel P11 and the bonding sheet F5 are introduced into the gap between the pair of bonding rollers of the pinching roll (the bonding position of the second bonding apparatus), and the single-sided bonding panel P11. A bonding sheet F5 is integrally bonded to the upper surface of the sheet. Hereinafter, this panel after bonding is referred to as a double-sided bonding panel (optical member bonding body).

検査装置は、第2貼合装置よりもパネル搬送下流側に設けられている。検査装置は、両面貼合パネルの欠陥(貼合不良等)の有無を検査する。検査対象となる欠陥としては、液晶パネルと貼合シートとを貼合する際の異物や気泡のかみ込み、貼合シートの表面の傷、液晶パネルに内在する配向不良などの欠陥などが挙げられる。   The inspection device is provided on the downstream side of the panel conveyance from the second bonding device. The inspection device inspects for the presence or absence of defects (such as poor bonding) on the double-sided bonded panel. Examples of defects to be inspected include defects such as bites of foreign substances and bubbles when bonding the liquid crystal panel and the bonding sheet, scratches on the surface of the bonding sheet, and alignment defects inherent in the liquid crystal panel. .

尚、本実施形態においてフィルム貼合システム1の各部を統括制御する電子制御装置としての制御部2は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、CPU等の演算処理部と、メモリやハードディスク等の記憶部とを備える。本実施形態の制御部2は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御部2には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御部2は、フィルム貼合システム1の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。   In addition, in this embodiment, the control part 2 as an electronic control apparatus which performs overall control of each part of the film bonding system 1 is comprised including the computer system. This computer system includes an arithmetic processing unit such as a CPU and a storage unit such as a memory and a hard disk. The control unit 2 of the present embodiment includes an interface that can execute communication with an external device of the computer system. An input device that can input an input signal may be connected to the control unit 2. The input device includes an input device such as a keyboard and a mouse, or a communication device that can input data from a device external to the computer system. The control unit 2 may include a display device such as a liquid crystal display that indicates the operation status of each unit of the film bonding system 1 or may be connected to the display device.

制御部2の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム(OS)がインストールされている。制御部2の記憶部には、演算処理部にフィルム貼合システム1の各部を制御させることによって、フィルム貼合システム1の各部に光学シートFを精度よく搬送させるための処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御部2の演算処理部が読み取り可能である。制御部2は、フィルム貼合システム1の各部の制御に要する各種処理を実行するASIC等の論理回路を含んでいてもよい。   An operating system (OS) that controls the computer system is installed in the storage unit of the control unit 2. The storage unit of the control unit 2 includes a program for causing the arithmetic processing unit to control each unit of the film bonding system 1 to execute processing for causing each unit of the film bonding system 1 to accurately convey the optical sheet F. It is recorded. Various types of information including programs recorded in the storage unit can be read by the arithmetic processing unit of the control unit 2. The control unit 2 may include a logic circuit such as an ASIC that performs various processes required for controlling each unit of the film bonding system 1.

記憶部は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)などといった半導体メモリや、ハードディスク、CD−ROM読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念である。記憶部は、機能的には、第1供給装置7、第1貼合装置11、反転装置、第2供給装置、第2貼合装置、検査装置の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、その他各種の記憶領域が設定される。   The storage unit is a concept including a semiconductor memory such as a RAM (Random Access Memory) and a ROM (Read Only Memory), an external storage device such as a hard disk, a CD-ROM reader, and a disk-type storage medium. Functionally, the storage unit includes program software in which the control procedure of the operation of the first supply device 7, the first bonding device 11, the reversing device, the second supply device, the second bonding device, and the inspection device is described. A storage area to be stored and various other storage areas are set.

(欠陥検査装置)
次に、本実施形態の欠陥検査装置について詳細に説明する。
(Defect inspection equipment)
Next, the defect inspection apparatus of this embodiment will be described in detail.

図5は、本実施形態の欠陥検査装置を示す側面図である。図2では、欠陥検査装置として、第1欠陥検査装置9、第2欠陥検査装置14のうち第1欠陥検査装置9を挙げて説明する。第2欠陥検査装置14は、第1欠陥検査装置9と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。図5において、符号Sf1は貼合シートF5の下面(光学部材の一方側の面)であり、粘着層F2側の面である。符号Sf2は貼合シートF5の上面(光学部材の他方側の面)であり、表面保護フィルムF4側の面である。   FIG. 5 is a side view showing the defect inspection apparatus of the present embodiment. In FIG. 2, the first defect inspection apparatus 9 among the first defect inspection apparatus 9 and the second defect inspection apparatus 14 will be described as a defect inspection apparatus. Since the second defect inspection device 14 has the same configuration as the first defect inspection device 9, detailed description thereof is omitted. In FIG. 5, the code | symbol Sf1 is the lower surface (surface of the one side of an optical member) of the bonding sheet | seat F5, and is the surface by the side of the adhesion layer F2. The code | symbol Sf2 is the upper surface (surface of the other side of an optical member) of the bonding sheet | seat F5, and is a surface by the side of the surface protection film F4.

図5に示すように、本実施形態の第1欠陥検査装置9は、貼合シートF5の下面Sf1の側に配置された照明装置20と、貼合シートF5の上面Sf2の側に配置された撮像装置24と、備えている。   As shown in FIG. 5, the 1st defect inspection apparatus 9 of this embodiment was arrange | positioned at the illuminating device 20 arrange | positioned at the lower surface Sf1 side of the bonding sheet | seat F5, and the upper surface Sf2 side of the bonding sheet | seat F5. And an imaging device 24.

照明装置20は、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源(例えば本実施形態では、第1光源21a、第2光源21b、第3光源21c及び第4光源21d)と、2本の複数分岐光ファイバーケーブル(例えば本実施形態では、第1の二分岐光ファイバーケーブル22a及び第2の二分岐光ファイバーケーブル22b)と、導光部材23と、を備えている。以下の説明においては、第1光源21a、第2光源21b、第3光源21c及び第4光源21dを総称して「光源21」と称することがある。第1の二分岐光ファイバーケーブル22a及び第2の二分岐光ファイバーケーブル22bを総称して「二分岐光ファイバーケーブル22」と称することがある。   The illuminating device 20 includes a plurality of light sources having the same spectral distribution characteristics (for example, the first light source 21a, the second light source 21b, the third light source 21c, and the fourth light source 21d in this embodiment) and two multi-branch optical fibers. A cable (for example, in the present embodiment, a first two-branch optical fiber cable 22a and a second two-branch optical fiber cable 22b) and a light guide member 23 are provided. In the following description, the first light source 21a, the second light source 21b, the third light source 21c, and the fourth light source 21d may be collectively referred to as “light source 21”. The first two-branch optical fiber cable 22a and the second two-branch optical fiber cable 22b may be collectively referred to as “two-branch optical fiber cable 22”.

尚、本実施形態では、複数の光源として4つの光源を例示して説明するが、これに限らず、5つ以上の複数の光源を用いてもよい。また、複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルを例示して説明するが、これに限らず、三分岐以上の複数分岐光ファイバーケーブルを用いてもよい。   In the present embodiment, four light sources are exemplified as the plurality of light sources. However, the present invention is not limited to this, and five or more light sources may be used. In addition, although a two-branch optical fiber cable is described as an example of the multi-branch optical fiber cable, the present invention is not limited to this, and a multi-branch optical fiber cable having three or more branches may be used.

各光源21は、各二分岐光ファイバーケーブル22の分岐部に接続されている。例えば、光源21としては、メタルハライドランプを用いることができる。例えば、1つの光源21の出力は180Wである。尚、1つの光源の出力はこれに限らず、必要に応じて適宜設定可能である。   Each light source 21 is connected to a branch portion of each bifurcated optical fiber cable 22. For example, a metal halide lamp can be used as the light source 21. For example, the output of one light source 21 is 180W. Note that the output of one light source is not limited to this, and can be appropriately set as necessary.

撮像装置24は、複数のカメラ(例えば本実施形態では、第1カメラ24a、第2カメラ24b、第3カメラ24c、第4カメラ24d、第5カメラ24e、第6カメラ24f、第7カメラ24g、第8カメラ24h及び第9カメラ24i)を備えている。以下の説明においては、第1カメラ24a、第2カメラ24b、第3カメラ24c、第4カメラ24d、第5カメラ24e、第6カメラ24f、第7カメラ24g、第8カメラ24h及び第9カメラ24iを総称して「カメラ24x」と称することがある。   The imaging device 24 includes a plurality of cameras (for example, in the present embodiment, a first camera 24a, a second camera 24b, a third camera 24c, a fourth camera 24d, a fifth camera 24e, a sixth camera 24f, a seventh camera 24g, An eighth camera 24h and a ninth camera 24i) are provided. In the following description, the first camera 24a, the second camera 24b, the third camera 24c, the fourth camera 24d, the fifth camera 24e, the sixth camera 24f, the seventh camera 24g, the eighth camera 24h, and the ninth camera 24i. May be collectively referred to as “camera 24x”.

尚、本実施形態では、複数のカメラとして9つのカメラを例示して説明するが、これに限らず、8以下又は10以上の複数のカメラを用いてもよい。   In the present embodiment, nine cameras are exemplified and described as the plurality of cameras. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of cameras of 8 or less or 10 or more may be used.

複数のカメラ24xは、Y方向に沿ってライン状に配置されている。カメラ24xの受光面は、貼合シートF5を挟んで、照明装置20の光射出面20a(導光部材23の貼合シートF5側の面)と対向している。カメラ24xは、導光部材23から射出され貼合シートF5を真っ直ぐ透過した光の透過光像を撮像する。   The plurality of cameras 24x are arranged in a line along the Y direction. The light receiving surface of the camera 24x faces the light exit surface 20a of the lighting device 20 (the surface of the light guide member 23 on the bonding sheet F5 side) with the bonding sheet F5 interposed therebetween. The camera 24x captures a transmitted light image of light emitted from the light guide member 23 and transmitted straight through the bonding sheet F5.

図6は、第1欠陥検査装置9の平面図である。図6では、便宜上、貼合シートF5を図示している。   FIG. 6 is a plan view of the first defect inspection apparatus 9. In FIG. 6, the bonding sheet | seat F5 is illustrated for convenience.

図6に示すように、導光部材23は、長方形であり、Y方向に沿って長手を有している。導光部材23は、貼合シートF5の下面Sf1と平行に配置され、且つ、貼合シートF5の搬送方向と直交する幅方向に長手方向を有して延在している。導光部材23は、貼合シートF5に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、導光部材23としては、石英ロッドを用いることができる。   As shown in FIG. 6, the light guide member 23 is rectangular and has a length along the Y direction. The light guide member 23 is arranged in parallel with the lower surface Sf1 of the bonding sheet F5 and extends in the width direction perpendicular to the conveyance direction of the bonding sheet F5. The light guide member 23 is formed across the width direction with respect to the bonding sheet F5. For example, a quartz rod can be used as the light guide member 23.

本実施形態では、導光部材23の長手方向の一方の端部(−Y方向側の端部)に第1の二分岐光ファイバーケーブル22aが接続されており、導光部材23の長手方向の他方の端部(+Y方向側の端部)に第2の二分岐光ファイバーケーブル22bが接続されている。   In the present embodiment, the first bifurcated optical fiber cable 22a is connected to one end portion (end portion on the −Y direction side) in the longitudinal direction of the light guide member 23, and the other in the longitudinal direction of the light guide member 23. The second bifurcated optical fiber cable 22b is connected to the end (the end on the + Y direction side).

尚、本実施形態では、導光部材23の長手方向の一方の端部及び他方の端部に二分岐光ファイバーケーブル22が1つずつ接続されているが、これに限らない。例えば、導光部材23の長手方向の一方の端部のみに二分岐光ファイバーケーブル22が1つ接続されていてもよい。但し、導光部材23に対してより多くの光を伝送する観点からは、導光部材23の長手方向の一方の端部及び他方の端部の両端部に二分岐光ファイバーケーブル22が1つずつ接続されていることが好ましい。   In the present embodiment, the two-branch optical fiber cable 22 is connected to one end and the other end in the longitudinal direction of the light guide member 23 one by one, but the present invention is not limited to this. For example, one bifurcated optical fiber cable 22 may be connected to only one end of the light guide member 23 in the longitudinal direction. However, from the viewpoint of transmitting more light to the light guide member 23, one bifurcated optical fiber cable 22 is provided at each end of one end and the other end of the light guide member 23 in the longitudinal direction. It is preferable that they are connected.

撮像装置24も、導光部材23と同様に、Y方向に沿って長手を有している。例えば、撮像装置24としては、ラインカメラを用いることができる。撮像装置24は、+Y方向側から、第1カメラ24a、第2カメラ24b、第3カメラ24c、第4カメラ24d、第5カメラ24e、第6カメラ24f、第7カメラ24g、第8カメラ24h及び第9カメラ24iがこの順に配置されて構成されている。カメラ24xは、平面視において導光部材23と重なる位置に配置されている。各カメラ24xは、Y方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。   Similarly to the light guide member 23, the imaging device 24 also has a length along the Y direction. For example, a line camera can be used as the imaging device 24. The imaging device 24 includes a first camera 24a, a second camera 24b, a third camera 24c, a fourth camera 24d, a fifth camera 24e, a sixth camera 24f, a seventh camera 24g, an eighth camera 24h and the like from the + Y direction side. The ninth camera 24i is arranged in this order. The camera 24x is disposed at a position overlapping the light guide member 23 in plan view. Each camera 24x is arranged at a predetermined interval along the Y direction.

図7は、二分岐光ファイバーケーブル22の模式図である。図7では、二分岐光ファイバーケーブル22として、第1の二分岐光ファイバーケーブル22a、第2の二分岐光ファイバーケーブル22bのうち第1の二分岐光ファイバーケーブル22aを挙げて説明する。第2の二分岐光ファイバーケーブル22bは、第1の二分岐光ファイバーケーブル22aと同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。   FIG. 7 is a schematic diagram of the two-branch optical fiber cable 22. In FIG. 7, as the two-branch optical fiber cable 22, the first two-branch optical fiber cable 22a among the first two-branch optical fiber cable 22a and the second two-branch optical fiber cable 22b will be described. Since the second two-branch optical fiber cable 22b has the same configuration as the first two-branch optical fiber cable 22a, detailed description thereof is omitted.

図7に示すように、第1の二分岐光ファイバーケーブル22aは、2つの光源21の各々に対応した分岐部22D(第1分岐部22D1及び第2分岐部22D2)と、分岐部22Dの基端に一端が接続された本体部22Mと、を有する。第1分岐部22D1の先端部には、第1光源21a(図5参照)が接続される。第2分岐部22D2の先端部には、第2光源21b(図5参照)接続される。本体部22Mの他端部には、導光部材23(図5参照)の一方の端部が接続される。   As shown in FIG. 7, the first two-branch optical fiber cable 22a includes a branch part 22D (first branch part 22D1 and second branch part 22D2) corresponding to each of the two light sources 21, and a base end of the branch part 22D. And a main body 22M having one end connected to the main body 22M. The 1st light source 21a (refer FIG. 5) is connected to the front-end | tip part of 1st branch part 22D1. A second light source 21b (see FIG. 5) is connected to the tip of the second branch portion 22D2. One end of the light guide member 23 (see FIG. 5) is connected to the other end of the main body 22M.

第1の二分岐光ファイバーケーブル22aは、第1分岐部22D1に接続された第1光源21a(図5参照)からの光と第2分岐部22D2に接続された第2光源21b(図5参照)からの光とを本体部22Mにおいて一本にまとめて伝送する。第1の二分岐光ファイバーケーブル22aによって伝送された第1光源21a及び第2光源21bからの光は、導光部材23によって導光されて、貼合シートF5の下面Sf1に向けて射出される(図5参照)。   The first two-branch optical fiber cable 22a includes the light from the first light source 21a (see FIG. 5) connected to the first branch part 22D1 and the second light source 21b (see FIG. 5) connected to the second branch part 22D2. Are transmitted together in the main body 22M. The light from the first light source 21a and the second light source 21b transmitted by the first two-branch optical fiber cable 22a is guided by the light guide member 23 and emitted toward the lower surface Sf1 of the bonding sheet F5 ( (See FIG. 5).

図6に戻り、本実施形態では、2つの二分岐光ファイバーケーブル22を用い、各二分岐光ファイバーケーブル22に2つの光源21が設けられているため、導光部材23に対しては合計4つの光源21から射出された光が集約される。   Returning to FIG. 6, in the present embodiment, since two two-branch optical fiber cables 22 are used and two light sources 21 are provided in each two-branch optical fiber cable 22, a total of four light sources are provided for the light guide member 23. The light emitted from 21 is collected.

このような構成により、第1欠陥検査装置9は、貼合シートF5に対して、下面Sf1側から光を当て、貼合シートF5を透過した光を撮像装置24で撮像し、この撮像データに基づいて貼合シートF5の欠陥の有無を検査する。   With such a configuration, the first defect inspection device 9 applies light from the lower surface Sf1 side to the bonding sheet F5, images the light transmitted through the bonding sheet F5 with the imaging device 24, and uses this imaging data. Based on this, the presence or absence of a defect in the bonding sheet F5 is inspected.

図8は、光源21の分光分布特性と撮像装置24の分光感度特性との関係を説明するための図である。
分光分布特性の測定装置は、ウシオ電機株式会社製の光源装置「LA−180Me」、型式「スペクトロラディオメータ USR−30D」を用いる。分光分布特性の測定方法は、光源装置内ランプの最大定格負荷の時、ライトガイドLGB1−8L500を使用し、投光端より100mmの位置で測定する。
FIG. 8 is a diagram for explaining the relationship between the spectral distribution characteristic of the light source 21 and the spectral sensitivity characteristic of the imaging device 24.
As a spectral distribution characteristic measuring device, a light source device “LA-180Me” manufactured by Ushio Electric Co., Ltd. and a model “Spectroradiometer USR-30D” are used. As a method for measuring the spectral distribution characteristic, the light guide LGB1-8L500 is used at the maximum rated load of the lamp in the light source device, and measurement is performed at a position 100 mm from the light projection end.

図8(a)は光源21の分光分布特性を示す図である。図8(a)は、複数の光源21の分光分布特性の平均特性を示している。図8(a)において、横軸は波長[nm]、縦軸は相対光出力[%]である。   FIG. 8A shows the spectral distribution characteristics of the light source 21. FIG. 8A shows the average characteristic of the spectral distribution characteristics of the plurality of light sources 21. In FIG. 8A, the horizontal axis represents wavelength [nm], and the vertical axis represents relative light output [%].

図8(a)に示すように、光源21は、波長545nmにおいて、分光分布特性の相対光出力が最大(相対光出力が100%)となるピーク波長を有する。   As shown in FIG. 8A, the light source 21 has a peak wavelength at which the relative light output of the spectral distribution characteristic is maximum (relative light output is 100%) at a wavelength of 545 nm.

本実施形態では、複数の光源21は互いに等しい分光分布特性を有する。尚、各光源21における分光分布特性は、互いに完全に一致していることに限らず、概ね一致していてもよい。   In the present embodiment, the plurality of light sources 21 have the same spectral distribution characteristics. Note that the spectral distribution characteristics of the light sources 21 are not limited to being completely coincident with each other, but may be substantially coincident with each other.

ここで、「概ね一致している」とは、各光源21の分光分布特性の間で大きなずれが生じない範囲で、各光源21の分光分布特性が若干異なっていてもよいことを意味する。例えば、第1光源における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を第1のピーク波長V1とし、第2光源における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を第2のピーク波長V2としたとき、第1のピーク波長V1と第2のピーク波長V2との比V1/V2が0.99以上1.01以下の範囲であれば、第1のピーク波長V1と第2のピーク波長V2とは概ね一致しているといえる。このような範囲であれば、第1光源の分光分布特性と第2光源の分光分布特性との間のずれを十分に抑制することができる。   Here, “substantially match” means that the spectral distribution characteristics of the light sources 21 may be slightly different within a range in which a large deviation does not occur between the spectral distribution characteristics of the light sources 21. For example, when the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic in the first light source is the first peak wavelength V1, and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic in the second light source is the second peak wavelength V2, If the ratio V1 / V2 between the first peak wavelength V1 and the second peak wavelength V2 is in the range of 0.99 to 1.01, the first peak wavelength V1 and the second peak wavelength V2 are approximately It can be said that they are in agreement. If it is such a range, the shift | offset | difference between the spectral distribution characteristic of a 1st light source and the spectral distribution characteristic of a 2nd light source can fully be suppressed.

図8(b)は撮像装置24の分光感度特性を示す図である。図8(b)は、撮像装置24を構成する複数のカメラ24xの分光感度特性の平均特性を示している。また、撮像装置24への供給電源電圧を12V、測定周辺環境温度を25℃としたときの代表的特性を示している。図8(b)において、横軸は波長[nm]、縦軸は相対分光感度である。   FIG. 8B is a diagram showing the spectral sensitivity characteristics of the imaging device 24. FIG. 8B shows the average characteristic of the spectral sensitivity characteristics of the plurality of cameras 24 x constituting the imaging device 24. In addition, typical characteristics when the power supply voltage to the imaging device 24 is 12 V and the measurement ambient environment temperature is 25 ° C. are shown. In FIG. 8B, the horizontal axis represents wavelength [nm] and the vertical axis represents relative spectral sensitivity.

図8(b)に示すように、撮像装置24は、波長545nmにおいて、分光感度特性の相対分光感度が最大となるピーク波長を有する。   As shown in FIG. 8B, the imaging device 24 has a peak wavelength at which the relative spectral sensitivity of the spectral sensitivity characteristic is maximum at a wavelength of 545 nm.

図8(a)及び図8(b)に示すように、撮像装置24は、光源21の分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長(545nm)において分光感度が最大(相対分光感度が1.0)となる分光感度特性を有する。尚、撮像装置24における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源21における分光分布特性の相対光出力のピーク波長とは、完全に一致していることに限らず、概ね一致していてもよい。   As shown in FIGS. 8A and 8B, the imaging device 24 has a maximum spectral sensitivity (relative spectral sensitivity is at a peak wavelength (545 nm) at which the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21 is maximum. 1.0). Note that the peak wavelength of the relative distribution sensitivity of the spectral sensitivity characteristic in the imaging device 24 and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21 are not necessarily completely matched, but may be substantially matched. Good.

ここで、「概ね一致している」とは、撮像装置24における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源21における分光分布特性の相対光出力のピーク波長との間で大きなずれが生じない範囲で、撮像装置24における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源21における分光分布特性の相対光出力のピーク波長とが若干異なっていてもよいことを意味する。例えば、撮像装置24における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長を分光感度ピーク波長Vpとし、光源21における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を分光分布ピーク波長Vqとしたとき、分光感度ピーク波長Vpと分光分布ピーク波長Vqとの比Vp/Vqが0.9以上1.1以下の範囲であれば、分光感度ピーク波長Vpと分光分布ピーク波長Vqとは概ね一致しているといえる。このような範囲であれば、撮像装置24における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源21における分光分布特性の相対光出力のピーク波長との間のずれを十分に抑制することができる。   Here, “substantially match” does not cause a large difference between the peak wavelength of the relative distribution sensitivity of the spectral sensitivity characteristic in the imaging device 24 and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21. This means that the peak wavelength of the relative distribution sensitivity of the spectral sensitivity characteristic in the imaging device 24 and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21 may be slightly different. For example, when the peak wavelength of the relative distribution sensitivity of the spectral sensitivity characteristic in the imaging device 24 is the spectral sensitivity peak wavelength Vp and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21 is the spectral distribution peak wavelength Vq, the spectral sensitivity peak. If the ratio Vp / Vq between the wavelength Vp and the spectral distribution peak wavelength Vq is in the range of 0.9 to 1.1, it can be said that the spectral sensitivity peak wavelength Vp and the spectral distribution peak wavelength Vq are almost the same. Within such a range, the shift between the peak wavelength of the relative distribution sensitivity of the spectral sensitivity characteristic in the imaging device 24 and the peak wavelength of the relative light output of the spectral distribution characteristic of the light source 21 can be sufficiently suppressed.

以上説明したように、本実施形態の第1欠陥検査装置9によれば、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源21から射出された光が二分岐光ファイバーケーブル22によって集約されて導光部材23に伝送され、導光部材23からは集約された光が貼合シートF5の下面Sf1に向けて射出される。よって、光源21の分光分布特性を維持しつつ貼合シートF5に多くの光を照射することができる。従って、本実施形態によれば、貼合シートF5の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、貼合シートF5を高速搬送しても、検出感度が低下することを抑制することができる。   As described above, according to the first defect inspection apparatus 9 of the present embodiment, the light emitted from the plurality of light sources 21 having the same spectral distribution characteristics is collected by the two-branch optical fiber cable 22 and is guided to the light guide member 23. The light gathered from the light guide member 23 is emitted toward the lower surface Sf1 of the bonding sheet F5. Therefore, much light can be irradiated to the bonding sheet | seat F5, maintaining the spectral distribution characteristic of the light source 21. FIG. Therefore, according to this embodiment, the defect inspection of the bonding sheet | seat F5 can be performed with high precision, and even if the bonding sheet | seat F5 is conveyed at high speed, it can suppress that a detection sensitivity falls.

また、導光部材23の長手方向の一方の端部及び他方の端部に二分岐光ファイバーケーブル22が1つずつ接続されているため、導光部材23の長手方向の一方の端部のみに二分岐光ファイバーケーブル22が1つ接続されている場合に比べて、より多くの光が導光部材23に伝送され、導光部材23からはより多くの光が貼合シートF5の下面Sf1に向けて射出される。よって、貼合シートF5の欠陥検査をより精度良く行うことができ、且つ、貼合シートF5を高速搬送しても、検出感度が低下することを確実に抑制することができる。   In addition, since one bifurcated optical fiber cable 22 is connected to one end and the other end in the longitudinal direction of the light guide member 23, only one end in the longitudinal direction of the light guide member 23 is connected to the two ends. Compared with the case where one branch optical fiber cable 22 is connected, more light is transmitted to the light guide member 23, and more light is transmitted from the light guide member 23 toward the lower surface Sf1 of the bonding sheet F5. It is injected. Therefore, the defect inspection of the bonding sheet F5 can be performed with higher accuracy, and even when the bonding sheet F5 is conveyed at high speed, it is possible to reliably suppress the detection sensitivity from being lowered.

仮に、撮像装置の分光感度特性に対して照明装置の分光分布特性が大きくずれると、貼合シートの欠陥検査を精度良く行うことが困難となる。これに対し、本実施形態によれば、撮像装置24が、分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有するため、貼合シートF5の欠陥検査を精度良く行うことが容易となる。   If the spectral distribution characteristic of the illumination device is greatly deviated from the spectral sensitivity characteristic of the imaging device, it becomes difficult to accurately inspect the bonding sheet for defects. On the other hand, according to the present embodiment, the imaging device 24 has the spectral sensitivity characteristic that maximizes the spectral sensitivity at the wavelength that matches the peak wavelength that maximizes the relative light output of the spectral distribution characteristic. It becomes easy to accurately perform the defect inspection of F5.

以上、添付図面を参照しながら本実施形態に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   As mentioned above, although the suitable embodiment example which concerns on this embodiment was demonstrated referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

以下、本発明の実施例を示すが、本発明はこれらによって限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.

(検査対象)
図9は、検査対象を説明するための図である。
図9に示すように、検査対象(欠陥検査装置を構成するカメラ24xの検査対象)としては、原反ロールから搬送される貼合シートF5に対し、擬似欠陥として小さな傷を付けたものを用いた。貼合シートのグレードは、SRW842EP8GR6−FS/82−LS(F)(1250)とした。貼合シートの全長は、142mとした。
(Inspection target)
FIG. 9 is a diagram for explaining an inspection object.
As shown in FIG. 9, as an inspection object (inspection object of the camera 24x constituting the defect inspection apparatus), a sheet having a small scratch as a pseudo defect is used for the bonding sheet F5 conveyed from the raw roll. It was. The grade of the bonding sheet was SRW842EP8GR6-FS / 82-LS (F) (1250). The total length of the bonding sheet was 142 m.

(比較例の条件)
比較例の条件を表1に示す。
(Conditions for comparative example)
Table 1 shows the conditions of the comparative example.

Figure 0006401438
Figure 0006401438

表1の「条件」の欄において、「速度」は、貼合シートF5の搬送速度である。「閾値」は、欠陥検出を判定するためのパラメータである。例えば、光量設定値が130の場合の閾値+50は、180となる。「光量」は、カメラが受光する光量濃度値を0〜255階調で表した値である。「サイクル数」は、カメラのシャッター速度に相当する。
比較例(比較例1及び2)は、二分岐光ファイバーケーブルを使用していない。
In the column of “Condition” in Table 1, “Speed” is the conveyance speed of the bonding sheet F5. The “threshold value” is a parameter for determining defect detection. For example, when the light amount setting value is 130, the threshold value +50 is 180. The “light quantity” is a value representing the light quantity density value received by the camera in 0 to 255 gradations. “Number of cycles” corresponds to the shutter speed of the camera.
The comparative examples (Comparative Examples 1 and 2) do not use a bifurcated optical fiber cable.

図10は、検査対象の検査領域を説明するための図である。
図10においては、貼合シートF5の搬送方向をY方向とし、貼合シートF5の搬送方向と直交する幅方向をX方向としている。図10の上段は、検査対象の検査領域における座標と光量濃度値との関係を示している。座標Y1、Y2、Y3、Y4、Y5、Y6、Y7、Y8及びY9は、検査対象のY座標をシート搬送上流側(−Y方向側)から示したものである。座標X3、X4、X5、X6は検査対象のX座標をシート幅方向−X方向側から示したものである。ここでは、検査対象のシート幅方向の端部については検査していないため、座標X1、X2及び座標X7以降は省略している。図10の下段は、検査対象のうち欠陥領域を示している。
FIG. 10 is a diagram for explaining an inspection region to be inspected.
In FIG. 10, the conveyance direction of the bonding sheet | seat F5 is made into the Y direction, and the width direction orthogonal to the conveyance direction of the bonding sheet | seat F5 is made into the X direction. The upper part of FIG. 10 shows the relationship between the coordinates in the inspection region to be inspected and the light amount density value. The coordinates Y1, Y2, Y3, Y4, Y5, Y6, Y7, Y8, and Y9 indicate the Y coordinate to be inspected from the upstream side of the sheet conveyance (the −Y direction side). Coordinates X3, X4, X5, and X6 indicate the X coordinates of the inspection target from the sheet width direction-X direction side. Here, since the end portion in the sheet width direction to be inspected is not inspected, the coordinates X1, X2 and the coordinates X7 and subsequent are omitted. The lower part of FIG. 10 shows a defect area in the inspection object.

図10の上段に示すように、閾値を175に設定した場合、欠陥として検出される画素数(以下、検出画素数と称することがある)は、Y方向で3画素、X方向で2画素、重複画素が1画素の合計4画素となる。   As shown in the upper part of FIG. 10, when the threshold is set to 175, the number of pixels detected as a defect (hereinafter sometimes referred to as the number of detected pixels) is 3 pixels in the Y direction, 2 pixels in the X direction, There are a total of four overlapping pixels, one pixel.

これにより、図10の下段に示すように、4画素の欠陥画素数を含む領域が欠陥領域として判定される。   Thereby, as shown in the lower part of FIG. 10, an area including the number of defective pixels of 4 pixels is determined as a defective area.

図11は、座標と光量濃度値との関係を示す図である。図11において、横軸は座標(Y座標又はX座標)、縦軸は光量濃度値である。図11では、光量設定値を128とし、閾値を175としている。   FIG. 11 is a diagram illustrating the relationship between the coordinates and the light amount density value. In FIG. 11, the horizontal axis is coordinates (Y coordinate or X coordinate), and the vertical axis is a light amount density value. In FIG. 11, the light amount setting value is 128, and the threshold value is 175.

図11に示すように、Y方向では、Y3、Y4及びY5の3つの座標で閾値を超えている。X方向では、X4及びX5の2つの座標で閾値を超えている。閾値を超えた部分(Y方向で3画素、X方向で2画素、重複画素が1画素の合計4画素)が欠陥領域として判定される。   As shown in FIG. 11, in the Y direction, the threshold is exceeded at three coordinates Y3, Y4, and Y5. In the X direction, the threshold is exceeded at two coordinates, X4 and X5. A portion exceeding the threshold value (3 pixels in the Y direction, 2 pixels in the X direction, and a total of 4 overlapping pixels) is determined as a defective area.

表1に戻り、各比較例について説明する。
(比較例1)
比較例1において、貼合シートF5の搬送速度は、12m/minとした。閾値は、光量設定値に対して+50とした。光量は、128とした。サイクル数は、24000とした。
(比較例2)
比較例2において、貼合シートF5の搬送速度は、16m/minとした。閾値は、光量設定値に対して+50とした。光量は、128とした。サイクル数は、18000とした。すなわち、比較例2は、比較例1に対して、貼合シートF5の搬送速度を速くし、サイクル数を変更したものである。
Returning to Table 1, each comparative example will be described.
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, the conveyance speed of the bonding sheet F5 was 12 m / min. The threshold value was set to +50 with respect to the light amount setting value. The amount of light was 128. The number of cycles was 24000.
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, the conveyance speed of the bonding sheet F5 was 16 m / min. The threshold value was set to +50 with respect to the light amount setting value. The amount of light was 128. The number of cycles was 18000. That is, the comparative example 2 is the thing which made the conveyance speed of the bonding sheet | seat F5 quicker with respect to the comparative example 1, and changed the cycle number.

(欠陥の検出感度の評価)
比較例1及び2のそれぞれについて、欠陥の検出感度の評価をした。レビューソフトを用いて、X画素数、Y画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「SCANTEC」を用いた。
ここで、「X画素数」は、X方向において検出された欠陥の画素数である。「Y画素数」は、Y方向において検出された欠陥の画素数である。「欠陥画素数」は、閾値を超えした欠陥の画素数である。「最大濃度値」は、欠陥領域の中での最大の濃度値である。「濃度積算値」は、一定範囲(同一画素数)内の濃度を合計した値である。
(Evaluation of defect detection sensitivity)
For each of Comparative Examples 1 and 2, the defect detection sensitivity was evaluated. Using review software, the number of X pixels, the number of Y pixels, the number of defective pixels, the maximum density value, and the density integrated value were measured. As review software, “SCANTEC” manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd. was used.
Here, the “number of X pixels” is the number of defective pixels detected in the X direction. “Number of Y pixels” is the number of defective pixels detected in the Y direction. The “number of defective pixels” is the number of defective pixels exceeding the threshold. The “maximum density value” is the maximum density value in the defect area. The “density integrated value” is a value obtained by summing the densities within a certain range (the same number of pixels).

上記評価について、結果を図12及び表2に示す。図12は、比較例1及び2についてX画素数、Y画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値の測定結果を示す図である。図12においては、比較例1を基準としている(比較例1=100[%])。   The results are shown in FIG. FIG. 12 is a diagram illustrating measurement results of the number of X pixels, the number of Y pixels, the number of defective pixels, the maximum density value, and the density integrated value for Comparative Examples 1 and 2. In FIG. 12, Comparative Example 1 is used as a reference (Comparative Example 1 = 100 [%]).

Figure 0006401438
Figure 0006401438

評価の結果、比較例2では比較例1よりも画素数や濃度値が低下することが確認された。すなわち、単に貼合シートF5の搬送速度を速くしただけでは、検出感度が低下することが分かった。   As a result of the evaluation, it was confirmed that the number of pixels and the density value were lower in Comparative Example 2 than in Comparative Example 1. That is, it was found that the detection sensitivity was lowered simply by increasing the conveying speed of the bonding sheet F5.

本発明者は、二分岐光ファイバーケーブルを使用することによって検出感度の低下を抑制できることを以下の評価により確認した。   The inventor has confirmed by the following evaluation that a decrease in detection sensitivity can be suppressed by using a two-branch optical fiber cable.

(検査対象)
図13は、検査対象を説明するための図である。
図13に示すように、検査対象としては、原反ロールから搬送される貼合シートF5を用いた。貼合シートF5のグレードは、TRN041APS1−S/82−SSC(1250)とした。貼合シートF5の全長は、153mとした。貼合シートF5の搬送方向は、順方向U1及び逆方向U2の双方向とした。
(Inspection target)
FIG. 13 is a diagram for explaining an inspection target.
As shown in FIG. 13, the bonding sheet F5 conveyed from the raw fabric roll was used as the inspection target. The grade of the bonding sheet | seat F5 was set to TRN041APS1-S / 82-SSC (1250). The total length of the bonding sheet F5 was 153 m. The conveyance direction of the bonding sheet | seat F5 was made into the bidirectional | two-way of the forward direction U1 and the reverse direction U2.

(比較例及び実施例の条件)
比較例及び実施例の条件を表3に示す。
(Conditions for Comparative Examples and Examples)
Table 3 shows the conditions of the comparative example and the example.

Figure 0006401438
Figure 0006401438

表3において、「速度」は、貼合シートF5の搬送速度である。「サイクル数」は、カメラのシャッター速度に相当する。「分解能(X)」はシート搬送方向F5と直交するシート幅方向の分解能であり、「分解能(Y)」はシート搬送方向の分解能である。「閾値(黒)」は、黒欠陥(透過光を遮断する欠陥)を判定するためのパラメータである。「閾値(白)」は、白欠陥(光抜け欠陥)を判定するためのパラメータである。「欠陥サイズ(S)」は、130μm以上170μm未満の欠陥サイズを検出することである。「欠陥サイズ(M)」は、170μm以上200μm未満の欠陥サイズを検出することである。「欠陥サイズ(L)」は、200μm以上の欠陥サイズを検出することである。
比較例及び実施例のそれぞれにおいて、クロスニコル透過検査をした。比較例及び実施例のそれぞれにおいて、分解能(X*Y)、閾値(黒、白)、欠陥サイズ(S、M、L)及びカメラフィルタ(偏光フィルタ)を同じ条件とした。
In Table 3, “speed” is the conveyance speed of the bonding sheet F5. “Number of cycles” corresponds to the shutter speed of the camera. “Resolution (X)” is the resolution in the sheet width direction orthogonal to the sheet conveyance direction F5, and “Resolution (Y)” is the resolution in the sheet conveyance direction. The “threshold value (black)” is a parameter for determining a black defect (a defect that blocks transmitted light). The “threshold value (white)” is a parameter for determining a white defect (light-out defect). “Defect size (S)” is to detect a defect size of 130 μm or more and less than 170 μm. “Defect size (M)” is to detect a defect size of 170 μm or more and less than 200 μm. “Defect size (L)” is to detect a defect size of 200 μm or more.
In each of the comparative example and the example, a crossed Nicol permeation test was performed. In each of the comparative example and the example, the resolution (X * Y), threshold value (black, white), defect size (S, M, L), and camera filter (polarization filter) were set to the same conditions.

(比較例)
比較例において、貼合シートF5の搬送速度は、16m/minとした。サイクル数は、24000とした。比較例は、二分岐光ファイバーケーブルを使用していない。
(実施例)
実施例において、貼合シートF5の搬送速度は、20m/minとした。サイクル数は、14400とした。二分岐光ファイバーケーブルを使用した。二分岐光ファイバーケーブルは、導光部材の長手方向の一方の端部及び他方の端部に1つずつ接続した。
(Comparative example)
In the comparative example, the conveyance speed of the bonding sheet F5 was 16 m / min. The number of cycles was 24000. The comparative example does not use a bifurcated optical fiber cable.
(Example)
In an Example, the conveyance speed of the bonding sheet | seat F5 was 20 m / min. The number of cycles was 14400. A bifurcated optical fiber cable was used. Two branched optical fiber cables were connected to one end and the other end in the longitudinal direction of the light guide member one by one.

比較例及び実施例のそれぞれについて、クロスニコル透過検査前のカメラ受光光量の実測値を表4に示す。   Table 4 shows measured values of the amount of light received by the camera before the crossed Nicols transmission test for each of the comparative example and the example.

Figure 0006401438
Figure 0006401438

表4において、カメラNo.(1)〜(9)は、シート幅方向に沿ってライン状に配置された複数のカメラの各々に対応し、上述した複数のカメラ(第1カメラ24a、第2カメラ24b、第3カメラ24c、第4カメラ24d、第5カメラ24e、第6カメラ24f、第7カメラ24g、第8カメラ24h及び第9カメラ24i)に相当する。   In Table 4, the camera No. (1) to (9) correspond to each of the plurality of cameras arranged in a line along the sheet width direction, and the plurality of cameras (the first camera 24a, the second camera 24b, and the third camera 24c described above). , A fourth camera 24d, a fifth camera 24e, a sixth camera 24f, a seventh camera 24g, an eighth camera 24h, and a ninth camera 24i).

表4に示すように、比較例と実施例との間で、クロスニコル透過検査前のカメラ受光光量の実測値に大きな差は確認されなかった。   As shown in Table 4, there was no significant difference in the measured value of the received light amount of the camera before the crossed Nicol transmission inspection between the comparative example and the example.

(欠陥の検出個数の評価)
比較例及び実施例のそれぞれについて、欠陥の検出個数の評価をした。レビューソフトを用いて、黒欠陥個数、黒欠陥率、白欠陥個数、白欠陥率を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「SCANTEC」を用いた。
ここで、「欠陥個数(S)」は、欠陥サイズが130μm以上170μm未満の欠陥の検出個数である。「欠陥個数(M)」は、欠陥サイズが170μm以上200μm未満の欠陥の検出個数である。「欠陥個数(L)」は、欠陥サイズが200μm以上の欠陥の検出個数である。
(Evaluation of the number of detected defects)
The number of detected defects was evaluated for each of the comparative example and the example. Using the review software, the number of black defects, the black defect rate, the number of white defects, and the white defect rate were measured. As review software, “SCANTEC” manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd. was used.
Here, the “number of defects (S)” is the number of detected defects having a defect size of 130 μm or more and less than 170 μm. “Defect number (M)” is the number of defects detected with a defect size of 170 μm or more and less than 200 μm. “Defect number (L)” is the number of detected defects having a defect size of 200 μm or more.

上記評価について、結果を表5に示す。表5の上段はシート搬送順方向(図13に示す順方向U1)の結果であり、表5の下段はシート搬送逆方向(図13に示す逆方向U2)の結果である。   The results are shown in Table 5 for the above evaluation. The upper part of Table 5 is the result in the sheet conveyance forward direction (forward direction U1 shown in FIG. 13), and the lower part of Table 5 is the result in the sheet conveyance reverse direction (reverse direction U2 shown in FIG. 13).

Figure 0006401438
Figure 0006401438

評価の結果、比較例と実施例との間では、シート搬送方向順方向U1、逆方向U2の各々において、欠陥の検出個数に大きな差は確認されなかった。これにより、二分岐光ファイバーケーブルを使用することにより、貼合シートの搬送速度を速くしても、検出感度の低下を抑制できることが分かった。   As a result of the evaluation, a large difference in the number of detected defects was not confirmed between the comparative example and the example in each of the forward direction U1 and the reverse direction U2. Thereby, even if the conveyance speed of the bonding sheet | seat was made quick by using a 2 branch optical fiber cable, it turned out that the fall of a detection sensitivity can be suppressed.

(欠陥の検出感度の評価)
比較例及び実施例のそれぞれについて、欠陥の検出感度の評価をした。レビューソフトを用いて、X欠陥サイズ、X画素数、Y欠陥サイズ、Y画素数、最大濃度値、最小濃度値、欠陥画素数を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「SCANTEC」を用いた。
また、X画素数、Y画素数、最大濃度値、欠陥画素数については、比較例の結果D1に対する実施例の結果D2の変化率((D2/D1)×100)[%]を求めた。
ここで、「X欠陥サイズ」は、X方向において検出された欠陥のサイズである。「X画素数」は、X方向において検出された欠陥の画素数である。「Y欠陥サイズ」は、Y方向において検出された欠陥のサイズである。「Y画素数」は。Y方向において検出された欠陥の画素数である。「最大濃度値」は、欠陥領域の中での最大の濃度値である。「最小濃度値」は、欠陥領域の中での最小の濃度値である。「欠陥画素数」は、閾値を超えした欠陥の画素数である。
(Evaluation of defect detection sensitivity)
The defect detection sensitivity was evaluated for each of the comparative example and the example. Using the review software, the X defect size, the number of X pixels, the Y defect size, the number of Y pixels, the maximum density value, the minimum density value, and the number of defective pixels were measured. As review software, “SCANTEC” manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd. was used.
For the number of X pixels, the number of Y pixels, the maximum density value, and the number of defective pixels, the change rate ((D2 / D1) × 100) [%] of the result D2 of the example with respect to the result D1 of the comparative example was obtained.
Here, the “X defect size” is the size of the defect detected in the X direction. The “number of X pixels” is the number of defective pixels detected in the X direction. “Y defect size” is the size of a defect detected in the Y direction. “Y pixel count”. This is the number of defective pixels detected in the Y direction. The “maximum density value” is the maximum density value in the defect area. The “minimum density value” is the minimum density value in the defect area. The “number of defective pixels” is the number of defective pixels exceeding the threshold.

評価対象としては、サンプルA〜Gを用いた。サンプルA〜Gは、疑似欠陥として主にフィルム表面に付けたキズである。   Samples A to G were used as evaluation targets. Samples A to G are scratches mainly attached to the film surface as pseudo defects.

上記評価について、結果を図14〜図18及び表6に示す。
図14は、比較例及び実施例について各サンプルにおけるX画素数を比較した図である。
図15は、比較例及び実施例について各サンプルにおけるY画素数を比較した図である。
図16は、比較例及び実施例について各サンプルにおける最大濃度値を比較した図である。
図17は、比較例及び実施例について各サンプルにおける欠陥画素数を比較した図である。
図18は、比較例及び実施例についてX画素数、Y画素数、最大濃度値、欠陥画素数を比較した図である。
図14〜図17において、横軸はサンプルの種類である。図14、図15及び図17において、縦軸は画素数である。図16において、縦軸は濃度値である。図18においては、比較例を基準としている(比較例=100[%])。
About the said evaluation, a result is shown in FIGS.
FIG. 14 is a diagram comparing the number of X pixels in each sample for the comparative example and the example.
FIG. 15 is a diagram comparing the number of Y pixels in each sample for the comparative example and the example.
FIG. 16 is a diagram comparing the maximum density values in the respective samples for the comparative example and the example.
FIG. 17 is a diagram comparing the number of defective pixels in each sample for the comparative example and the example.
FIG. 18 is a diagram comparing the number of X pixels, the number of Y pixels, the maximum density value, and the number of defective pixels in the comparative example and the example.
14 to 17, the horizontal axis represents the type of sample. In FIGS. 14, 15 and 17, the vertical axis represents the number of pixels. In FIG. 16, the vertical axis represents the density value. In FIG. 18, a comparative example is used as a reference (comparative example = 100 [%]).

Figure 0006401438
Figure 0006401438

評価の結果、比較例と実施例との間では、X画素数、Y画素数、最大濃度値、欠陥画素数のそれぞれにおいて大きな差は確認されなかった。これにより、二分岐光ファイバーケーブルを使用することにより、貼合シートの搬送速度を速くしても、検出感度の低下を抑制できることが分かった。   As a result of the evaluation, no significant difference was confirmed in each of the number of X pixels, the number of Y pixels, the maximum density value, and the number of defective pixels between the comparative example and the example. Thereby, even if the conveyance speed of the bonding sheet | seat was made quick by using a 2 branch optical fiber cable, it turned out that the fall of a detection sensitivity can be suppressed.

1…フィルム貼合システム(光学表示デバイスの生産システム)、8…第1搬送装置(搬送装置)、9…第1欠陥検査装置(欠陥検査装置)、11…第1貼合装置(貼合装置)、20…照明装置、21…光源、22…二分岐光ファイバーケーブル(複数分岐光ファイバーケーブル)、23…導光部材、24…撮像装置、P…液晶パネル(光学表示部品)、F1…光学部材、Sf1…下面(光学部材の一方側の面)、Sf2…上面(光学部材の他方側の面) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Film bonding system (production system of an optical display device), 8 ... 1st conveying apparatus (conveying apparatus), 9 ... 1st defect inspection apparatus (defect inspection apparatus), 11 ... 1st bonding apparatus (bonding apparatus) ), 20 illuminating device, 21 light source, 22 bifurcated optical fiber cable (multiple branched optical fiber cable), 23 light guide member, 24 imaging device, P liquid crystal panel (optical display component), F1 optical member, Sf1... Lower surface (surface on one side of optical member), Sf2... Upper surface (surface on the other side of optical member)

Claims (2)

ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、
前記光学部材の一方側に配置された照明装置と、
前記光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、
前記照明装置は、
互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、
前記複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された前記光源からの光を1本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、
前記複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された前記複数の光源からの光を導光して前記光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、
前記撮像装置は、前記導光部材から射出されて前記光学部材を透過した光の画像を撮像し、
前記導光部材は、前記光学部材の一方側の面と平行に配置され且つ前記光学部材の搬送方向と直交する方向に長手方向を有して延在しており、
前記導光部材の長手方向の一方の端部および他方の端部に前記複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルが1つずつ接続され
前記撮像装置は、前記分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有する欠陥検査装置。
A defect inspection apparatus for optical members conveyed on a line,
A lighting device disposed on one side of the optical member;
An imaging device disposed on the other side of the optical member,
The lighting device includes:
A plurality of light sources having equal spectral distribution characteristics;
A multi-branch optical fiber cable having a branching unit corresponding to each of the plurality of light sources, and transmitting the light from the light sources connected to each branching unit in one,
A light guide member that guides light from the plurality of light sources transmitted by the plurality of branched optical fiber cables and emits the light toward one surface of the optical member, and
The imaging device captures an image of light emitted from the light guide member and transmitted through the optical member,
The light guide member is disposed in parallel with a surface on one side of the optical member and extends in a direction perpendicular to the transport direction of the optical member, and extends.
Two branch optical fiber cables are connected one by one as the multi-branch optical fiber cable to one end and the other end in the longitudinal direction of the light guide member ,
The imaging apparatus is a defect inspection apparatus having a spectral sensitivity characteristic that maximizes spectral sensitivity at a wavelength that matches a peak wavelength at which a relative light output of the spectral distribution characteristic is maximized .
光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、
前記光学部材を搬送するための搬送装置と、
前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、
前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する請求項に記載の欠陥検査装置と、
を含む光学表示デバイスの生産システム。
An optical display device production system in which an optical member is bonded to an optical display component,
A transport device for transporting the optical member;
A bonding apparatus for manufacturing the optical display device by bonding the optical member conveyed by the conveyance apparatus to the optical display component;
The defect inspection device according to claim 1 , wherein the presence or absence of a defect of the optical member conveyed from the conveyance device to the bonding device is inspected.
Optical display device production system including.
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