JP6401299B2 - Hybrid alignment - Google Patents

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Description

本発明は、位置決め装置に関し、さらに詳細には、ディスプレイパネル工程装備又は半導体工程装備等に用いられる位置決め装置に関する。   The present invention relates to a positioning device, and more particularly to a positioning device used for display panel process equipment or semiconductor process equipment.

一般的に、ディスプレイパネル工程装備、半導体工程装備等に用いられる位置決め装置は、半導体素子等の製造や検査などのために精密に半導体素子などの位置を決定するために短い距離を直線運動する構造が多く用いられている。   Generally, a positioning device used for display panel process equipment, semiconductor process equipment, etc. has a structure that linearly moves over a short distance in order to precisely determine the position of the semiconductor element for manufacturing or inspection of the semiconductor element etc. Is often used.

特に、最近ディスプレイパネル工程装備、半導体工程装備等が小型化及び精密化される傾向により、これに生産負荷物と直接関連のある位置決め装置も狭い空間で駆動が容易であり、精密に位置決めがなされるように持続的に小型化及び薄型化されている趨勢にある。   In particular, due to the recent trend toward miniaturization and refinement of display panel process equipment, semiconductor process equipment, etc., positioning devices that are directly related to production loads are easy to drive in a narrow space, and are precisely positioned. Thus, there is a trend of continuously downsizing and thinning.

しかし、精密に位置決めをするためには、位置決め装置による直線移動時に揺れ及び衝撃があってはならないため、小型化及び薄型化されることに伴う構造的安定性及び機械的剛性の低下の問題により、位置決め装置の全体の高さ及び大きさ、位置決め装置の各構成要素の厚さを減らすのに技術的限界がある。   However, for precise positioning, there must be no shaking or impact during linear movement by the positioning device. This is due to the problem of structural stability and mechanical rigidity reduction associated with downsizing and thinning. There are technical limitations in reducing the overall height and size of the positioning device and the thickness of each component of the positioning device.

大韓民国公開特許公報第１０−２０１０−００１２９４０号Korean Published Patent Publication No. 10-2010-0012940

本発明は、前記のような技術的背景をもとに案出されたもので、軽量化及び薄膜化された位置決め装置を提供しようとする。   The present invention has been devised based on the technical background as described above, and intends to provide a positioning device that is reduced in weight and thickness.

本発明の一側面による位置決め装置は、ベースプレート；前記ベースプレート上に、第１軸に移動可能に配置される第１ムービングプレート；前記第１ムービングプレート上に、前記第１軸に対して直交し、前記第１ムービングプレートに対して平行な第２軸方向に移動可能に配置される第２ムービングプレート；前記第２ムービングプレート上に、前記第１軸及び前記第２軸に対して同時に直交する回転軸を中心に回転可能に配置される回転プレート；前記ベースプレートに固定される第１駆動ユニット本体、及び前記第１駆動ユニット本体に対して前記第１軸に移動可能であり、前記第１ムービングプレートと連結される第１ムービングブラケットを含む第１駆動ユニット；前記第１ムービングプレートに固定される第２駆動ユニット本体、及び前記第２駆動ユニット本体に対して前記第２軸方向に移動可能であり、前記第２ムービングプレートと連結される第２ムービングブラケットを含む第２駆動ユニット；及び前記第２ムービングプレートに固定される第３駆動ユニット本体、前記第１軸又は前記第２軸方向に移動可能な第３ムービングブラケット、及び一側は前記第３ムービングブラケットに回転可能に連結され、他側は前記回転プレートに固定されるピボットブラケットを含む第３駆動ユニット；を含む。   A positioning device according to one aspect of the present invention includes: a base plate; a first moving plate disposed on the base plate so as to be movable on a first axis; on the first moving plate; perpendicular to the first axis; A second moving plate disposed so as to be movable in a second axis direction parallel to the first moving plate; on the second moving plate, simultaneously rotating perpendicularly to the first axis and the second axis A rotating plate arranged to be rotatable about an axis; a first drive unit main body fixed to the base plate; and the first moving plate movable to the first axis relative to the first drive unit main body A first drive unit including a first moving bracket coupled to the second drive unit book fixed to the first moving plate And a second drive unit that is movable in the second axial direction with respect to the second drive unit main body and includes a second moving bracket connected to the second moving plate; and fixed to the second moving plate; A third driving unit main body, a third moving bracket movable in the direction of the first shaft or the second shaft, and one side rotatably connected to the third moving bracket, and the other side to the rotating plate A third drive unit including a pivot bracket to be fixed.

また、前記ベースプレートは、板状に形成されるベースプレート本体、及び前記ベースプレート本体の上面に配置され、前記第１軸に延設され相互に離間される一対の第１ガイドレールを含み、前記第１ムービングプレートは、板状に形成される第１ムービングプレート本体、及び前記第１ムービングプレート本体の下面に配置され、前記第１軸に延設され、前記第１ガイドレールの間に配置されて前記第１ガイドレールとかみ合う一対の第２ガイドレールを含むことができる。   The base plate includes a base plate body formed in a plate shape, and a pair of first guide rails disposed on an upper surface of the base plate body and extending from the first shaft and spaced apart from each other. The moving plate is disposed in a plate-shaped first moving plate main body and a lower surface of the first moving plate main body, extends to the first shaft, and is disposed between the first guide rails and the A pair of second guide rails may be included that mesh with the first guide rails.

また、前記第１ムービングプレートは、前記第１ムービングプレート本体の上面に配置され、前記第２軸方向に延設され、相互に離間される一対の第３ガイドレールをさらに含み、前記第２ムービングプレートは、前記板状に形成される第２ムービングプレート本体、及び前記第２ムービングプレートの下面に配置され、前記第２軸方向に延設され、前記第３ガイドレールを挟んで離間され前記第３ガイドレールと、それぞれかみ合う一対の第４ガイドレールを含むことができる。   The first moving plate further includes a pair of third guide rails disposed on an upper surface of the first moving plate main body, extending in the second axial direction, and spaced apart from each other. The plate is disposed on the second moving plate main body formed in the plate shape and the lower surface of the second moving plate, extends in the second axial direction, is spaced apart with the third guide rail interposed therebetween, and Three guide rails and a pair of fourth guide rails that mesh with each other can be included.

また、前記第１ガイドレールは、前記第１軸に延設され、前記第１ガイドレールの長さ方向に沿って、第１凹溝が形成される第１ガイドレール本体をそれぞれ含み、前記第２ガイドレールは、前記第１軸に延設され、前記第２ガイドレールの長さ方向に沿って前記第１凹溝と向かい合う第２凹溝が形成される第２ガイドレール本体をそれぞれ含み、前記第３ガイドレールは、前記第２軸方向に延設され、前記第３ガイドレールの長さ方向に沿って第３凹溝が形成される第３ガイドレール本体をそれぞれ含み、前記第４ガイドレールは、前記第２軸方向に延設され、前記第４ガイドレールの長さ方向に沿って前記第３凹溝と向かい合う第４凹溝が形成される第４ガイドレール本体をそれぞれ含み、前記第１ガイドレール本体及び前記第２ガイドレール本体の間に配置され、前記第１凹溝及び前記第２凹溝に挟まれる円形の第１ローラ部材；及び前記第３ガイドレール本体及び前記第４ガイドレール本体の間に配置され前記第３凹溝及び前記第４凹溝に挟まれる円形の第２ローラ部；をさらに含むことができる。   Each of the first guide rails includes a first guide rail body that extends from the first shaft and has a first groove formed along a length direction of the first guide rail. Each of the two guide rails includes a second guide rail body that extends from the first shaft and has a second groove facing the first groove along a length direction of the second guide rail; Each of the third guide rails includes a third guide rail body that extends in the second axial direction and has a third groove formed along a length direction of the third guide rail. Each of the rails includes a fourth guide rail body that extends in the second axial direction and is formed with a fourth groove that faces the third groove along the length direction of the fourth guide rail. The first guide rail body and the second guide A circular first roller member disposed between the first concave groove and the second concave groove; and between the third guide rail main body and the fourth guide rail main body. A circular second roller portion sandwiched between the third concave groove and the fourth concave groove.

また、前記ベースプレートは、前記ベースプレート本体の上面から上方に向かって突設され、前記一対の第１ガイドレールを挟んで相互に離間され、前記第１ガイドレールが支持される一対の第１支持フレームをさらに含み、前記第１ムービングプレートは、前記第１ムービングプレート本体の下面から下方に向かって突設され前記一対の第２ガイドレールの間に配置され、前記第２ガイドレールが支持される第２支持フレーム、及び前記第１ムービングプレート本体の上面から上方に向かって突設され前記一対の第３ガイドレールの間に配置され、前記第３ガイドレールが支持される第３支持フレームをさらに含み、前記第２ムービングプレートは、前記第２ムービングプレート本体の縁から下方に向かって折曲形成され、前記第４ガイドレールが支持される第４支持フレームをさらに含むことができる。   The base plate protrudes upward from the upper surface of the base plate body, is spaced apart from the pair of first guide rails, and a pair of first support frames that support the first guide rails The first moving plate is protruded downward from the lower surface of the first moving plate main body, is disposed between the pair of second guide rails, and is supported by the second guide rail. A second support frame, and a third support frame that protrudes upward from the upper surface of the first moving plate body and is disposed between the pair of third guide rails and that supports the third guide rails. The second moving plate is bent downward from an edge of the second moving plate body, and the fourth guide It may further include a fourth support frame Lumpur is supported.

また、前記第１ムービングプレートは、前記第１ムービングプレート本体の一側から前記第１軸に延設され、前記第２駆動ユニット本体の少なくとも一部が安着及び固定される延長部を含むことができる。   The first moving plate may include an extension that extends from one side of the first moving plate body to the first shaft, and at least a part of the second drive unit body is seated and fixed. Can do.

また、前記ベースプレートは、前記ベースプレート本体の一側及び他側に形成され、複数の貫通ホールが形成される一対のベースプレート固定部をさらに含むことができる。   The base plate may further include a pair of base plate fixing portions formed on one side and the other side of the base plate main body and formed with a plurality of through holes.

また、前記ベースプレート、前記第１ムービングプレート、前記第２ムービングプレート、及び前記回転プレートには、それぞれ円形の第１整列ホール、第２整列ホール、第３整列ホール及び第４整列ホールが形成され、前記回転軸は、前記第１整列ホール、第２整列ホール、第３整列ホール及び第４整列ホールを通ることができる。   The base plate, the first moving plate, the second moving plate, and the rotating plate have a circular first alignment hole, a second alignment hole, a third alignment hole, and a fourth alignment hole, respectively. The rotation axis may pass through the first alignment hole, the second alignment hole, the third alignment hole, and the fourth alignment hole.

また、前記第１整列ホール及び前記第２整列ホールは、第１のサイズに形成され、前記第３整列ホール及び前記第４整列ホールは、第２のサイズに形成され、前記第１のサイズは前記第２のサイズよりも大きく形成されうる。   The first alignment hole and the second alignment hole are formed in a first size, the third alignment hole and the fourth alignment hole are formed in a second size, and the first size is It may be formed larger than the second size.

また、前記第１ムービングプレート又は前記第２ムービングプレートがそれぞれ前記ベースプレート又は前記第１ムービングプレートに対して移動される過程において、前記第１ムービングプレート及び前記第２ムービングプレートは、前記回転軸と干渉しなくてもよい。   In addition, the first moving plate and the second moving plate interfere with the rotation shaft in a process in which the first moving plate or the second moving plate is moved with respect to the base plate or the first moving plate, respectively. You don't have to.

また、前記第２駆動ユニット及び前記第３駆動ユニットは、前記回転プレートを挟んで相互に並んで配置され、前記第１駆動ユニットは、前記第２駆動ユニット及び前記第３駆動ユニットの一側に配置することができる。   The second drive unit and the third drive unit are arranged side by side with the rotation plate in between, and the first drive unit is located on one side of the second drive unit and the third drive unit. Can be arranged.

前記のような本発明の実施例によれば、軽量化及び薄膜化された位置決め装置を提供することができ、設置条件が厳しい位置に前記位置決め装置を設けることができるという利点がある。   According to the embodiment of the present invention as described above, a positioning device reduced in weight and thickness can be provided, and there is an advantage that the positioning device can be provided at a position where installation conditions are severe.

また、プレートの駆動ユニットが相互に重ならないように配置されて駆動モータの形状又はサイズの制限なく設置が可能となり、貫通ホールが形成されて光学装置をともに用いることができるようになる利点がある。   Further, the drive units of the plates are arranged so as not to overlap each other, and can be installed without any limitation on the shape or size of the drive motor, and there is an advantage that a through hole is formed so that the optical device can be used together. .

本発明の実施形態に係る位置決め装置を示す斜視図The perspective view which shows the positioning device which concerns on embodiment of this invention 図１の位置決め装置を示す平面図The top view which shows the positioning device of FIG. 図１の位置決め装置の分解斜視図1 is an exploded perspective view of the positioning device of FIG. 図３の分解斜視図をＩＶ方向から見た図The exploded perspective view of FIG. 3 seen from the IV direction 図４の分解斜視図をＶ方向から見た図The exploded perspective view of FIG. 4 seen from the V direction 図１の位置決め装置の第３駆動ユニットと回転プレートの構成を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of the 3rd drive unit and rotation plate of the positioning device of FIG. 図６の位置決め装置の第３駆動ユニットと回転プレートの動作を示す説明図Explanatory drawing which shows operation | movement of the 3rd drive unit and rotary plate of the positioning device of FIG. 図１の位置決め装置の第１ガイドレール及び第２ガイドレールを示す断面図Sectional drawing which shows the 1st guide rail and the 2nd guide rail of the positioning device of FIG.

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the embodiments of the present invention.

本発明は、様々な異なる形態で具現されることができ、ここで説明する実施例に限定されない。図面で本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、明細書全体を通じて同一又は類似する構成要素については同一の参照符号を付けた。また、図面で示された各構成のサイズ及び厚さは、説明の便宜のために任意で示されたものであるから、本発明が必ずしも図示されたところに限定されるものではない。   The present invention can be embodied in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly describe the present invention in the drawings, portions not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification. Further, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and the present invention is not necessarily limited to the illustrated case.

本発明において、「〜上に」とは、対象部材の上又は下に位置することを意味するものであり、必ずしも重力方向を基準として上部に位置することを意味するわけではない。また、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というとき、これは特に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含みうることを意味する。   In the present invention, “to up” means to be located above or below the target member, and does not necessarily mean to be located at the top with respect to the direction of gravity. In addition, in the entire specification, when a part includes a component, it means that it does not exclude other components but may include other components unless otherwise stated to the contrary. Means.

また、本記載で説明している位置決め装置は、複数の軸に沿って位置移動が可能なハイブリッドアライメントを意味しうる。   In addition, the positioning device described in the present description may mean hybrid alignment that allows position movement along a plurality of axes.

以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る位置決め装置を詳細に説明する。   Hereinafter, a positioning device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は、本発明の実施形態に係る位置決め装置を示す斜視図であり、図２は、図１の位置決め装置を示す平面図である。   FIG. 1 is a perspective view showing a positioning device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing the positioning device of FIG.

図１及び図２を参照すると、本実施形態に係る位置決め装置１は、第１軸Ｄ１及び第１軸Ｄ１に対して直交する第２軸Ｄ２方向に構成の一部が線形移動され、他の一部が第１軸Ｄ１及び第２軸Ｄ２に対して同時に直交する回転軸Ｒに沿って回転可能に形成され、位置決め装置１と結合された作業台又は位置決め装置１に安着される作業対象物、例示的に、半導体ウエハ等の作業位置に対する精密な調整ができるようにする。   Referring to FIGS. 1 and 2, the positioning device 1 according to the present embodiment is configured such that a part of the configuration is linearly moved in the direction of the first axis D1 and the second axis D2 orthogonal to the first axis D1. A work part partially formed so as to be rotatable along a rotation axis R that is orthogonal to the first axis D1 and the second axis D2 at the same time, and to be seated on the work table coupled to the positioning device 1 or the positioning device 1. The object, for example, a semiconductor wafer or the like can be precisely adjusted with respect to the working position.

位置決め装置１は、ベースプレート１００と、第１ムービングプレート２００と、第２ムービングプレート３００と、回転プレート４００と、第１駆動ユニット５００と、第２駆動ユニット６００と、第３駆動ユニット７００と、を含む。   The positioning device 1 includes a base plate 100, a first moving plate 200, a second moving plate 300, a rotating plate 400, a first drive unit 500, a second drive unit 600, and a third drive unit 700. Including.

ベースプレート１００は、所定の位置に安着又は固定することができ、位置決め装置１の位置の設定に対する基盤を提供することができる。   The base plate 100 can be seated or fixed at a predetermined position, and can provide a foundation for setting the position of the positioning device 1.

第１ムービングプレート２００は、ベースプレート１００上に第１軸Ｄ１方向に移動可能に配置され、第２ムービングプレート３００は、第１ムービングプレート２００上に第１ムービングプレート２００に対して平行な第２軸Ｄ２方向に移動可能に配置される。   The first moving plate 200 is disposed on the base plate 100 so as to be movable in the direction of the first axis D1, and the second moving plate 300 is a second axis parallel to the first moving plate 200 on the first moving plate 200. It is arranged to be movable in the direction D2.

回転プレート４００は、第２ムービングプレート３００上に回転軸Ｒを中心に回転可能に配置される。   The rotating plate 400 is disposed on the second moving plate 300 so as to be rotatable about the rotation axis R.

第１駆動ユニット５００は、ベースプレート１００に固定され、第１軸Ｄ１方向に移動可能な第１駆動ユニット５００の一部構成が、第１ムービングプレート２００と連結される。したがって、第１駆動ユニット５００は、第１ムービングプレート２００がベースプレート１００に対して第１軸Ｄ１方向に動くことができるようにする。   The first drive unit 500 is fixed to the base plate 100, and a part of the first drive unit 500 that can move in the direction of the first axis D <b> 1 is connected to the first moving plate 200. Accordingly, the first drive unit 500 allows the first moving plate 200 to move in the direction of the first axis D1 with respect to the base plate 100.

第２駆動ユニット６００は、第１ムービングプレート２００に固定され、第２軸Ｄ２方向に移動可能な第２駆動ユニット６００の一部構成が、第２ムービングプレート３００と連結される。したがって、第２駆動ユニット６００は、第２ムービングプレート３００が第１ムービングプレート２００に対して第２軸Ｄ２の方向に動くことができるようにする。   The second drive unit 600 is fixed to the first moving plate 200, and a part of the second drive unit 600 that can move in the direction of the second axis D <b> 2 is connected to the second moving plate 300. Accordingly, the second drive unit 600 allows the second moving plate 300 to move in the direction of the second axis D2 with respect to the first moving plate 200.

同様に、第３駆動ユニット７００は、第２ムービングプレート３００に固定され、回転軸Ｒを中心に移動可能な一部構成が回転プレート４００と連結される。したがって、第３駆動ユニット７００は、回転プレート４００が第２ムービングプレート３００に対して回転軸Ｒを中心に回転することができるようにする。   Similarly, the third drive unit 700 is fixed to the second moving plate 300, and a part of the configuration that can move around the rotation axis R is connected to the rotation plate 400. Accordingly, the third drive unit 700 allows the rotation plate 400 to rotate about the rotation axis R with respect to the second moving plate 300.

以下においては、ベースプレート１００と、第１ムービングプレート２００と、第２ムービングプレート３００と、回転プレート４００と、第１駆動ユニット５００と、第２駆動ユニット６００と、第３駆動ユニット７００の細部構成を詳細に説明する。   In the following, detailed configurations of the base plate 100, the first moving plate 200, the second moving plate 300, the rotating plate 400, the first drive unit 500, the second drive unit 600, and the third drive unit 700 will be described. This will be described in detail.

図３は、図１の位置決め装置の分解斜視図であり、図４は、図３の分解斜視図をＩＶ方向から見た図であり、図５は、図４の分解斜視図をＶ方向から見た図である。   3 is an exploded perspective view of the positioning device of FIG. 1, FIG. 4 is a diagram of the exploded perspective view of FIG. 3 viewed from the IV direction, and FIG. 5 is a diagram of the exploded perspective view of FIG. FIG.

図３を参照すると、ベースプレート１００は、ベースプレート本体１０１と、第１ガイドレール１０４と、第１支持フレーム１０３と、プレート固定部１０５と、含む。   Referring to FIG. 3, the base plate 100 includes a base plate main body 101, a first guide rail 104, a first support frame 103, and a plate fixing part 105.

ベースプレート本体１０１は板状に形成され、ベースプレート本体１０１の中央には円形の第１整列ホール１０２が形成される。ベースプレート本体１０１には第１駆動ユニット５００が固定される。   The base plate body 101 is formed in a plate shape, and a circular first alignment hole 102 is formed in the center of the base plate body 101. The first drive unit 500 is fixed to the base plate body 101.

第１ガイドレール１０４は、ベースプレート本体１０１の上面に配置され、第１軸Ｄ１方向に延設される。そして、第１ガイドレール１０４は、相互に離間されて配置される。   The first guide rail 104 is disposed on the upper surface of the base plate main body 101 and extends in the direction of the first axis D1. The first guide rails 104 are spaced apart from each other.

第１支持フレーム１０３は、ベースプレート本体１０１の上面から上方に向かって突出し、第１ガイドレール１０４を挟んで相互に離間される。そして、第１支持フレーム１０３は、第１ガイドレール１０４の後面と接触して、第１ガイドレール１０４を後方から支持する。   The first support frames 103 protrude upward from the upper surface of the base plate body 101 and are separated from each other with the first guide rail 104 interposed therebetween. The first support frame 103 is in contact with the rear surface of the first guide rail 104 and supports the first guide rail 104 from the rear.

ベースプレート固定部１０５は、ベースプレート本体１０１の一側の縁及び他側の縁に形成され、複数の貫通ホールが形成される。本実施形態において、ベースプレート固定部１０５は、第１支持フレーム１０３を挟んで、ベースプレート本体１０１の一側及び他側に配置することができる。   The base plate fixing part 105 is formed at one edge and the other edge of the base plate body 101, and a plurality of through holes are formed. In the present embodiment, the base plate fixing portion 105 can be disposed on one side and the other side of the base plate main body 101 with the first support frame 103 interposed therebetween.

ベースプレート固定部１０５は、前記貫通ホールを貫通する締結部材（図示せず）によって固定台（図示せず）に固定されて位置決め装置１の固定位置を提供することができる。   The base plate fixing part 105 can be fixed to a fixing base (not shown) by a fastening member (not shown) penetrating the through hole to provide a fixing position of the positioning device 1.

第１ムービングプレート２００は、第１ムービングプレート本体２０１と、第２ガイドレール２０４と、第３ガイドレール２０５と、第２支持フレーム２０３と、第３支持フレーム２０６と、延長部２０７と、を含む。   The first moving plate 200 includes a first moving plate main body 201, a second guide rail 204, a third guide rail 205, a second support frame 203, a third support frame 206, and an extension portion 207. .

第１ムービングプレート本体２０１は、板状に形成され、第１ムービングプレート本体２０１の中央には、ベースプレート本体１０１の第１整列ホール１０２と整列される円形の第２整列ホール２０８が形成される。このとき、本実施形態に係る位置決め装置１の第１整列ホール１０２及び第２整列ホール２０８は、互いに同じ大きさに形成することができる。   The first moving plate body 201 is formed in a plate shape, and a circular second alignment hole 208 that is aligned with the first alignment hole 102 of the base plate body 101 is formed in the center of the first moving plate body 201. At this time, the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208 of the positioning device 1 according to the present embodiment can be formed to have the same size.

第２ガイドレール２０４は、第１ムービングプレート本体２０１の下面に配置され、第１軸Ｄ１方向に延設される。第２ガイドレール２０４は、第１ガイドレール１０４の間に配置され、第１ガイドレール１０４とそれぞれかみ合って、第１軸Ｄ１方向に形成されるベースプレート１００に対する第１ムービングプレート２００の動きをガイドすることができる。   The second guide rail 204 is disposed on the lower surface of the first moving plate main body 201 and extends in the direction of the first axis D1. The second guide rails 204 are disposed between the first guide rails 104 and mesh with the first guide rails 104 to guide the movement of the first moving plate 200 relative to the base plate 100 formed in the direction of the first axis D1. be able to.

第２支持フレーム２０３は、第１ムービングプレート本体２０１の下面から下方に向かって突設され、一対の第２ガイドレール２０４の間に配置される。第２支持フレーム２０３は、第２ガイドレール２０４の後面と接触して、第２ガイドレール２０４を後方から支持する。   The second support frame 203 protrudes downward from the lower surface of the first moving plate body 201 and is disposed between the pair of second guide rails 204. The 2nd support frame 203 contacts the rear surface of the 2nd guide rail 204, and supports the 2nd guide rail 204 from back.

第３ガイドレール２０５は、第１ムービングプレート本体２０１の上面に配置され、第２ガイドレール２０４と直交する方向である第２軸Ｄ２方向に延設される。   The third guide rail 205 is disposed on the upper surface of the first moving plate body 201 and extends in the direction of the second axis D <b> 2, which is a direction orthogonal to the second guide rail 204.

第３支持フレーム２０６は、第１ムービングプレート本体２０１の上面から上方に向かって突設され、一対の第３ガイドレール２０５の間に配置される。第３支持フレーム２０６は、第３ガイドレール２０５の後面と接触して、第３ガイドレール２０５を後方から支持する。   The third support frame 206 protrudes upward from the upper surface of the first moving plate main body 201 and is disposed between the pair of third guide rails 205. The third support frame 206 is in contact with the rear surface of the third guide rail 205 and supports the third guide rail 205 from the rear.

延長部２０７は、第１ムービングプレート本体２０１の一側から第１軸Ｄ１方向に延設され、第２駆動ユニット６００が固定される。   The extension part 207 extends from one side of the first moving plate main body 201 in the first axis D1 direction, and the second drive unit 600 is fixed.

第２ムービングプレート３００は、第２ムービングプレート本体３０１と、第４ガイドレール３０３と、第４支持フレーム３０２と、回転部材３０４と、を含む。   The second moving plate 300 includes a second moving plate main body 301, a fourth guide rail 303, a fourth support frame 302, and a rotating member 304.

第２ムービングプレート本体３０１は、板状に形成され、第２ムービングプレート本体３０１の中央部側には、第２ムービングプレート本体３０１が形成する平面に対して垂直な方向に形成される回転軸Ｒを中心に回転可能な回転部材３０４が配置される。   The second moving plate main body 301 is formed in a plate shape, and a rotation axis R formed in a direction perpendicular to a plane formed by the second moving plate main body 301 is formed on the center side of the second moving plate main body 301. A rotating member 304 that can rotate around the center is disposed.

回転部材３０４は、第２ムービングプレート本体３０１に対して回転可能に連結され、中央に第３整列ホール３０５が形成される円形に形成され、回転部材３０４の上面には、複数の第１結合ホール３０６が形成される。   The rotating member 304 is rotatably connected to the second moving plate main body 301 and is formed in a circular shape with a third alignment hole 305 formed at the center. A plurality of first coupling holes are formed on the upper surface of the rotating member 304. 306 is formed.

第３整列ホール３０５は、第１整列ホール１０２及び第２整列ホール２０８と整列され、第１整列ホール１０２及び第２整列ホール２０８よりも小さい直径を有するように形成することができる。   The third alignment hole 305 may be formed to be aligned with the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208 and to have a smaller diameter than the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208.

第４ガイドレール３０３は、第２ムービングプレート本体３０１の下面に配置され、第２軸Ｄ２方向に延設される。第４ガイドレール３０３は、第３ガイドレール２０５を挟んで離間され、第３ガイドレール２０５とそれぞれかみ合って、第２軸Ｄ２方向に形成される第１ムービングプレート２００に対する第２ムービングプレート３００の動きをガイドすることができる。   The fourth guide rail 303 is disposed on the lower surface of the second moving plate body 301 and extends in the direction of the second axis D2. The fourth guide rail 303 is spaced apart with the third guide rail 205 interposed therebetween, and meshes with the third guide rail 205 to move the second moving plate 300 with respect to the first moving plate 200 formed in the second axis D2 direction. Can be guided.

第４支持フレーム３０２は、第２ムービングプレート本体３０１の一側及び他側の縁から下方に向かって折曲形成され、第４ガイドレール３０３を後方から支持する。   The fourth support frame 302 is bent downward from the edge of one side and the other side of the second moving plate main body 301 to support the fourth guide rail 303 from the rear.

回転プレート４００は、第２ムービングプレート３００に対して回転軸Ｒを中心に回転可能に連結され、円形に形成される回転プレート本体４０１を含む。   The rotating plate 400 includes a rotating plate body 401 that is connected to the second moving plate 300 so as to be rotatable about the rotation axis R and is formed in a circular shape.

回転プレート本体４０１の縁の一箇所には、回転プレート本体４０１の中心に向かって凹むブラケット挿入溝４０５が形成され、回転プレート本体４０１の上面には、回転プレート本体４０１の上面からブラケット挿入溝４０５と連通されるブラケット固定ホール４０６が形成される。   A bracket insertion groove 405 that is recessed toward the center of the rotation plate body 401 is formed at one edge of the rotation plate body 401, and the bracket insertion groove 405 is formed on the upper surface of the rotation plate body 401 from the upper surface of the rotation plate body 401. A bracket fixing hole 406 is formed in communication with the bracket.

回転プレート本体４０１の中央には、第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８及び第３整列ホール３０５と整列される円形の第４整列ホール４０２が形成され、第４整列ホール４０２は、第３整列ホール３０５と同じ直径を有するように形成することができる。   A circular fourth alignment hole 402 that is aligned with the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, and the third alignment hole 305 is formed at the center of the rotating plate body 401. It can be formed to have the same diameter as the alignment holes 305.

第４整列ホール４０２の周辺には、第１結合ホール３０６と整列される第２結合ホール４０３が形成される。相互に整列された第１結合ホール３０６及び第２結合ホール４０３をともに貫通する締結部材によって、回転プレート４００は、第２ムービングプレート３００に対して回転軸Ｒを中心に回転可能に連結することができる。   A second coupling hole 403 that is aligned with the first coupling hole 306 is formed around the fourth alignment hole 402. The rotating plate 400 may be rotatably connected to the second moving plate 300 about the rotation axis R by a fastening member that passes through the first and second coupling holes 306 and 403 aligned with each other. it can.

本実施形態に係る位置決め装置１の第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８、第３整列ホール３０５及び第４整列ホール４０２は、相互に整列され、第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８、第３整列ホール３０５及び第４整列ホール４０２となった状態で、回転軸Ｒは、第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８、第３整列ホール３０５及び第４整列ホール４０２をともに貫通することができる。   The first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 of the positioning device 1 according to the present embodiment are aligned with each other, and the first alignment hole 102, the second alignment hole 208 are aligned. , The rotation axis R passes through the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 together with the third alignment hole 305 and the fourth alignment hole 402. be able to.

また、第１ムービングプレート２００又は第２ムービングプレート３００がそれぞれベースプレート１００又は第１ムービングプレート２００に対して移動される過程において、第１ムービングプレート２００又は第２ムービングプレート３００の動きが細かくなされ、第１ムービングプレート２００及び第２ムービングプレート３００は、回転軸Ｒと干渉しない。   In addition, in the process in which the first moving plate 200 or the second moving plate 300 is moved with respect to the base plate 100 or the first moving plate 200, respectively, the first moving plate 200 or the second moving plate 300 moves finely, The first moving plate 200 and the second moving plate 300 do not interfere with the rotation axis R.

つまり、第１ムービングプレート２００及び第２ムービングプレート３００が移動しても、第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８、第３整列ホール３０５及び第４整列ホール４０２の貫通状態が維持されるので、必要な場合、光学装置をベースプレート１００の下部に設けて使用することができる。   That is, even if the first moving plate 200 and the second moving plate 300 move, the penetrating state of the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 is maintained. If necessary, an optical device can be provided under the base plate 100 for use.

一方、第１駆動ユニット５００は、ベースプレート１００に固定される第１駆動ユニット本体５１０と、第１駆動ユニット本体５１０に対して第１軸Ｄ１方向に移動可能であり、第１ムービングプレート２００と連結される第１ムービングブラケット５２０と、第１ムービングブラケット５２０を移動させるための駆動力を提供する第１駆動モータ５３０と、第１駆動モータ５３０から回転力を伝達され外周面に第１ムービングブラケット５２０が第１軸Ｄ１方向に移動可能に設けられる第１駆動シャフト５５０と、を含む。   On the other hand, the first driving unit 500 is movable in the first axis D1 direction with respect to the first driving unit main body 510 fixed to the base plate 100 and the first driving unit main body 510, and is connected to the first moving plate 200. First moving bracket 520, a first driving motor 530 that provides a driving force for moving the first moving bracket 520, a rotational force transmitted from the first driving motor 530, and the first moving bracket 520 to the outer peripheral surface. Includes a first drive shaft 550 provided to be movable in the direction of the first axis D1.

すなわち、第１駆動ユニット５００は、ベースプレート１００に固定された状態で、外部信号によって第１ムービングプレート２００と連結された第１ムービングブラケット５２０を第１軸Ｄ１方向に移動させ、一例として、Ｘ軸方向に対する第１ムービングプレート２００、第２ムービングプレート３００及び回転プレート４００の動きを制御することができる。   That is, the first drive unit 500 is fixed to the base plate 100 and moves the first moving bracket 520 connected to the first moving plate 200 in the direction of the first axis D1 by an external signal. The movement of the first moving plate 200, the second moving plate 300, and the rotating plate 400 with respect to the direction can be controlled.

このとき、第１駆動シャフト５５０の外周面には、ねじ山（図示せず）が形成されうる。そして、第１ムービングブラケット５２０の一側が第１ムービングプレート２００に固定された状態で、第１ムービングブラケット５２０の他側が第１駆動シャフト５５０の前記ねじ山とかみ合って、第１駆動モータ５３０の回転力により、第１ムービングブラケット５２０が第１ムービングプレート２００と、第１軸Ｄ１方向に動くことができる。   At this time, a screw thread (not shown) may be formed on the outer peripheral surface of the first drive shaft 550. Then, with one side of the first moving bracket 520 fixed to the first moving plate 200, the other side of the first moving bracket 520 meshes with the thread of the first drive shaft 550, and the rotation of the first drive motor 530 is performed. By the force, the first moving bracket 520 can move in the direction of the first moving plate 200 and the first axis D1.

第２駆動ユニット６００は、第１ムービングプレート２００の延長部２０７に安着されて固定される第２駆動ユニット本体６１０と、第２駆動ユニット本体６１０に対して第２軸Ｄ２方向に移動可能であり、第２ムービングプレート３００と連結される第２ムービングブラケット６２０と、第２ムービングブラケット６２０を移動させるための駆動力を提供する第２駆動モータ６３０と、第２駆動モータ６３０から回転力を伝達され外周面に第２ムービングブラケット６２０が第２軸Ｄ２方向に沿って移動可能に配置され、外周面にねじ山が形成される第２駆動シャフト６５０とを含む。   The second drive unit 600 is seated and fixed to the extension 207 of the first moving plate 200, and is movable in the second axis D2 direction with respect to the second drive unit body 610. A second moving bracket 620 coupled to the second moving plate 300; a second driving motor 630 that provides a driving force for moving the second moving bracket 620; and a rotational force transmitted from the second driving motor 630. The second moving bracket 620 is disposed on the outer peripheral surface so as to be movable along the direction of the second axis D2, and includes a second drive shaft 650 having a thread formed on the outer peripheral surface.

第２駆動ユニット６００は、第１ムービングプレート２００に固定された状態で、外部信号により第２ムービングプレート３００と連結された第２ムービングブラケット６２０を第２軸Ｄ２方向に移動させて、一例として、Ｙ軸方向に対する第２ムービングプレート３００及び回転プレート４００の動きを制御する構成において差があるだけであって、他の構成においては、第１駆動ユニット５００の構成と同様であるため、これに対する詳細な説明は省略する。   As an example, the second drive unit 600 moves the second moving bracket 620 connected to the second moving plate 300 in the direction of the second axis D2 by an external signal while being fixed to the first moving plate 200. There is only a difference in the configuration for controlling the movement of the second moving plate 300 and the rotating plate 400 in the Y-axis direction, and the other configurations are the same as the configuration of the first drive unit 500. The detailed explanation is omitted.

以下においては、第３駆動ユニット７００の構成を詳細に説明する。   Hereinafter, the configuration of the third drive unit 700 will be described in detail.

図６は、図１の位置決め装置の第３駆動ユニットと回転プレートの構成を示す分解斜視図であり、図７は、図６の位置決め装置の第３駆動ユニットと回転プレートの動作を示す図である。   6 is an exploded perspective view showing the configuration of the third drive unit and the rotary plate of the positioning device of FIG. 1, and FIG. 7 is a diagram showing the operation of the third drive unit and the rotary plate of the positioning device of FIG. is there.

図６及び図７を参照すると、第３駆動ユニット７００は、第３駆動ユニット本体７１０と、第３ムービングブラケット７２０と、第３駆動モータ７３０と、ピボットブラケット７４０と、第３駆動シャフト７５０と、ブラケット固定部材７６０と、第３弾性部材７７０と、を含む。   6 and 7, the third drive unit 700 includes a third drive unit main body 710, a third moving bracket 720, a third drive motor 730, a pivot bracket 740, a third drive shaft 750, A bracket fixing member 760 and a third elastic member 770 are included.

第３駆動ユニット本体７１０は、第２ムービングプレート３００と固定されるフレーム部７１１と、フレーム部７１１を覆いフレーム部７１１との間に内部空間を形成するカバー部７１２と、を含む。フレーム部７１１は、第２ムービングプレート３００の第４支持フレーム３０２のいずれかの第４支持フレーム３０２に固定される。   The third drive unit main body 710 includes a frame part 711 fixed to the second moving plate 300 and a cover part 712 that covers the frame part 711 and forms an internal space between the frame part 711. The frame portion 711 is fixed to any one of the fourth support frames 302 of the fourth support frame 302 of the second moving plate 300.

第３駆動モータ７３０は回転力を提供し、第３駆動ユニット本体７１０の一側に設けられる。   The third drive motor 730 provides rotational force and is provided on one side of the third drive unit body 710.

第３駆動シャフト７５０は、第２軸Ｄ２方向に延設され、第３駆動モータ７３０から回転力を伝達される。第３駆動シャフト７５０は、フレーム部７１１に対して回転可能に連結され、第３駆動シャフト７５０の外周面にはねじ山が形成される。   The third drive shaft 750 extends in the direction of the second axis D <b> 2 and receives rotational force from the third drive motor 730. The third drive shaft 750 is rotatably connected to the frame portion 711, and a thread is formed on the outer peripheral surface of the third drive shaft 750.

第３ムービングブラケット７２０は、一側が第３駆動シャフト７５０に貫通された状態で前記ねじ山とかみ合って、第３駆動シャフト７５０の回転によって第２軸Ｄ２方向に移動可能に形成される。   The third moving bracket 720 is formed so as to be movable in the direction of the second axis D <b> 2 by the rotation of the third drive shaft 750 while meshing with the screw thread in a state where one side penetrates the third drive shaft 750.

第３ムービングブラケット７２０は、六面体形状に形成することができ、第３ムービングブラケット７２０の上面には、第１締結ホール７２１が形成される。   The third moving bracket 720 can be formed in a hexahedral shape, and a first fastening hole 721 is formed on the upper surface of the third moving bracket 720.

ブラケット固定部材７６０は、円形に形成されるヘッド部７６１と、ヘッド部７６１の下面に突設され、ヘッド部７６１よりも小さい直径を有するネック部７６２と、ヘッド部７６１の上面に貫通形成され、第３ムービングブラケット７２０の第１締結ホール７２１と整列される第２締結ホール７６３と、を含む。   The bracket fixing member 760 is formed to have a circular head portion 761, a neck portion 762 having a smaller diameter than the head portion 761, protruding from the lower surface of the head portion 761, and penetratingly formed on the upper surface of the head portion 761. A second fastening hole 763 aligned with the first fastening hole 721 of the third moving bracket 720.

ブラケット固定部材７６０は、第２締結ホール７６３を貫通して第１締結ホール７２１に固定される一例として、ねじのような締結部材によって、第３ムービングブラケット７２０に固定することができる。   The bracket fixing member 760 can be fixed to the third moving bracket 720 by a fastening member such as a screw as an example of being fixed to the first fastening hole 721 through the second fastening hole 763.

ピボットブラケット７４０は、一例として板状に形成することができる。   The pivot bracket 740 can be formed in a plate shape as an example.

ピボットブラケット７４０の一側には、ブラケット固定部材７６０のネック部７６２の外周に対応する曲率に形成されるラウンド部７４２が形成される。   A round portion 742 is formed on one side of the pivot bracket 740 and has a curvature corresponding to the outer periphery of the neck portion 762 of the bracket fixing member 760.

ピボットブラケット７４０のラウンド部７４２は、第３ムービングブラケット７２０に固定されたブラケット固定部材７６０のネック部７６２に嵌められて、ピボットブラケット７４０を第３ムービングブラケット７２０に対して回転可能にする。   The round part 742 of the pivot bracket 740 is fitted to the neck part 762 of the bracket fixing member 760 fixed to the third moving bracket 720 so that the pivot bracket 740 can rotate with respect to the third moving bracket 720.

ピボットブラケット７４０の他側は、回転プレート４００のブラケット挿入溝４０５に挿入され、ピボットブラケット７４０の他側には回転プレート４００のブラケット固定ホール４０６と整列される固定ホール７４１が形成される。ピボットブラケット７４０は、ブラケット固定ホール４０６及び固定ホール７４２を貫通する締結部材によって、回転プレート４００に固定することができる。   The other side of the pivot bracket 740 is inserted into the bracket insertion groove 405 of the rotating plate 400, and a fixing hole 741 aligned with the bracket fixing hole 406 of the rotating plate 400 is formed on the other side of the pivot bracket 740. The pivot bracket 740 can be fixed to the rotating plate 400 by a fastening member that passes through the bracket fixing hole 406 and the fixing hole 742.

すなわち、ピボットブラケット７４０の一側は、第３ムービングブラケット７２０に対して回転可能に連結され、ピボットブラケット７４０の他側は、回転プレート４００に固定される。   That is, one side of the pivot bracket 740 is rotatably connected to the third moving bracket 720, and the other side of the pivot bracket 740 is fixed to the rotating plate 400.

第３ムービングブラケット７２０及びフレーム部７１１の間には、第３駆動シャフト７５０を包み込む弾性部材７７０が設けられ、第３ムービングブラケット７２０に対して復元力を提供することができる。   An elastic member 770 that encloses the third drive shaft 750 is provided between the third moving bracket 720 and the frame portion 711, and a restoring force can be provided to the third moving bracket 720.

以下においては、本実施形態に係る位置決め装置１の第３駆動ユニット７００が回転プレート４００を回転させる過程を詳細に説明する。   Below, the process in which the 3rd drive unit 700 of the positioning device 1 which concerns on this embodiment rotates the rotating plate 400 is demonstrated in detail.

図８に示すように、ピボットブラケット７４０が第３ムービングブラケット７２０の直線移動経路、すなわち第２軸Ｄ２に対して垂直な状態を基準位置に定めることができる。   As shown in FIG. 8, the pivot bracket 740 can determine the linear movement path of the third moving bracket 720, that is, a state perpendicular to the second axis D <b> 2 as the reference position.

このように、基準位置の状態で、第３駆動モータ７３０が駆動されると、回転プレート４００の回転変位を調整することができる。   Thus, when the third drive motor 730 is driven in the state of the reference position, the rotational displacement of the rotary plate 400 can be adjusted.

すなわち、第３駆動モータ７３０の回転力によって、第３駆動シャフト７５０と一方向又は他の方向に回転されると、第３駆動シャフト７５０に連結された第３ムービングブラケット７２０は、第２軸Ｄ２に沿って動くようになる。   In other words, when the third drive motor 730 is rotated in one direction or the other direction by the rotational force of the third drive motor 730, the third moving bracket 720 connected to the third drive shaft 750 has the second axis D2. Will move along.

第３ムービングブラケット７２０が第２軸Ｄ２に沿って直線移動されると、第３ムービングブラケット７２０と一側が回転可能に連結されたピボットブラケット７４０が第３ムービングブラケット７２０の直線移動方向に押されるようになる。これにより、ピボットブラケット７４０は、回転プレート４００とともに、回転軸Ｒを中心に回転することができる。   When the third moving bracket 720 is linearly moved along the second axis D2, the pivot bracket 740 having one side rotatably connected to the third moving bracket 720 is pushed in the linear movement direction of the third moving bracket 720. become. Thereby, the pivot bracket 740 can rotate around the rotation axis R together with the rotation plate 400.

このとき、第３ムービングブラケット７２０の直線移動方向は、回転軸Ｒを中心とする円周の接線方向と同じでありうる。   At this time, the linear movement direction of the third moving bracket 720 may be the same as the tangential direction of the circumference around the rotation axis R.

一方、前記基準位置では、第３ムービングブラケット７２０の移動中心Ｐ１とピボットブラケット７４０の移動中心Ｐ２が一致されうる。   Meanwhile, at the reference position, the movement center P1 of the third moving bracket 720 and the movement center P2 of the pivot bracket 740 may coincide.

前記基準位置から所定の角度で回転プレート４００が回転すると、第３ムービングブラケット７２０の移動中心Ｐ１に対して、ピボットブラケット７４０の移動中心Ｐ２が回転プレート４００の中心に向かって移動するようになる。   When the rotating plate 400 rotates at a predetermined angle from the reference position, the moving center P2 of the pivot bracket 740 moves toward the center of the rotating plate 400 with respect to the moving center P1 of the third moving bracket 720.

第３ムービングブラケット７２０がピボットブラケット７４０のラウンド部７４２の開放された端部側に相対移動されうるため、ピボットブラケット７４０のラウンド部７４２の移動中心Ｐ２と第３ムービングブラケット７２０の移動中心Ｐ１の直線移動経路が相違しても、ピボットブラケット７４０と第３ムービングブラケット７２０が相互の進路を妨害せず、スムーズにそれぞれ回転及び直線移動することができる。   Since the third moving bracket 720 can be relatively moved toward the open end side of the round portion 742 of the pivot bracket 740, the straight line between the movement center P2 of the round portion 742 of the pivot bracket 740 and the movement center P1 of the third moving bracket 720. Even if the movement paths are different, the pivot bracket 740 and the third moving bracket 720 can smoothly rotate and linearly move without interfering with each other.

したがって、回転プレート４００の回転変位がスムーズに精密制御されうる。   Therefore, the rotational displacement of the rotating plate 400 can be smoothly and precisely controlled.

このとき、回転プレート４００の回転変位調整範囲は３６０度全範囲を対象にするのではなく、精密調整を目的にして例示的に±１０度の範囲であるため、前記基準位置から回転プレート４００が回転しても、第３ムービングブラケット７２０がピボットブラケット７４０のラウンド部７４２から完全に離脱されず、ピボットブラケット７４０のラウンド部７４２に、その一部がまたがってもよい。   At this time, the rotational displacement adjustment range of the rotary plate 400 is not limited to the entire 360 ° range, but is exemplarily a range of ± 10 ° for the purpose of precise adjustment. Even if it rotates, the third moving bracket 720 may not completely separate from the round part 742 of the pivot bracket 740, and a part of the third moving bracket 720 may straddle the round part 742 of the pivot bracket 740.

一方、本実施形態に係る位置決め装置１の第２駆動ユニット６００及び第３駆動ユニット７００は、回転プレート４００を挟んで相互に第２軸Ｄ２方向に並んで配置され、第２駆動ユニット６００が第１駆動ユニット５００及び第３駆動ユニット７００の一側に第２軸Ｄ２として配置される。   On the other hand, the second drive unit 600 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 according to the present embodiment are arranged side by side in the second axis D2 direction with the rotation plate 400 interposed therebetween, and the second drive unit 600 is the first drive unit 600. One side of the first drive unit 500 and the third drive unit 700 is disposed as the second axis D2.

すなわち、第１駆動ユニット５００、第２駆動ユニット６００及び第３駆動ユニット７００は、第１整列ホール１０２、第２整列ホール２０８、第３整列ホール３０５及び第４整列ホール４０２を中心に相互に干渉しないように配置することができる。したがって、第１駆動ユニット５００、第２駆動ユニット６００及び第３駆動ユニット７００の駆動モータの形状又はサイズに関係なく、位置決め装置１に設けることができる。   That is, the first driving unit 500, the second driving unit 600, and the third driving unit 700 interfere with each other around the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402. Can be arranged to not. Accordingly, the positioning device 1 can be provided regardless of the shape or size of the drive motors of the first drive unit 500, the second drive unit 600, and the third drive unit 700.

ただし、これは例示的な配置であるだけであって、位置決め装置１の第１駆動ユニット５００及び第３駆動ユニット７００が回転プレート４００を挟んで相互に第１軸Ｄ１方向に並んで配置され、第１駆動ユニット５００は、第２駆動ユニット６００及び第３駆動ユニット７００の一側に第１軸Ｄ１方向に配置することができる。このような場合、第３駆動ユニット７００の第３ムービングブラケット７２０は、第１軸Ｄ１に移動可能に設けられる。   However, this is only an exemplary arrangement, and the first drive unit 500 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 are arranged side by side in the first axis D1 direction with the rotation plate 400 interposed therebetween. The first drive unit 500 may be disposed on one side of the second drive unit 600 and the third drive unit 700 in the first axis D1 direction. In such a case, the third moving bracket 720 of the third drive unit 700 is provided to be movable on the first axis D1.

本実施形態に係る位置決め装置１は、ガイドレールの間に配置されるローラ部材をさらに含むことができる。   The positioning device 1 according to the present embodiment can further include a roller member disposed between the guide rails.

以下においては、前記ローラ部材の構成を詳細に説明する。   Hereinafter, the configuration of the roller member will be described in detail.

図８は、図１の位置決め装置の第１ガイドレール及び第２ガイドレールを示す断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing the first guide rail and the second guide rail of the positioning device of FIG.

図８を参照すると、ベースプレート１００の第１ガイドレール１０４は、第１軸Ｄ１に延設される第１ガイドレール本体１１１を含み、第１ガイドレール本体１１１には、第１ガイドレール本体１１１の長さ方向に第１凹溝１１２が形成される。   Referring to FIG. 8, the first guide rail 104 of the base plate 100 includes a first guide rail main body 111 extending on the first axis D <b> 1, and the first guide rail main body 111 includes the first guide rail main body 111. A first concave groove 112 is formed in the length direction.

第１ムービングプレート２００の第２ガイドレール２０４は、第１軸Ｄ１に延設される第２ガイドレール本体２１１を含み、第２ガイドレール本体２１１には、第２ガイドレール本体２１１の長さ方向に第２凹溝２１２が形成される。   The second guide rail 204 of the first moving plate 200 includes a second guide rail body 211 extending on the first axis D1, and the second guide rail body 211 has a length direction of the second guide rail body 211. The second concave groove 212 is formed.

第１ガイドレール１０４及び第２ガイドレール２０４は、第１凹溝１１２及び第２凹溝２１２が向き合うように配置され、第１凹溝１１２及び第２凹溝２１２の間には、第１凹溝１１２及び第２凹溝２１２に一緒に挿入されるローラ部材８００が設けられる。   The first guide rail 104 and the second guide rail 204 are disposed so that the first concave groove 112 and the second concave groove 212 face each other, and the first concave groove 112 and the second concave groove 212 are disposed between the first concave groove 112 and the second concave groove 212. A roller member 800 that is inserted into the groove 112 and the second concave groove 212 is provided.

ローラ部材８００は、一例として、ボールベアリング（Ｂａｌｌ ｂｅａｒｉｎｇ）でもよく、ベースプレート１００に対する第１ムービングプレート２００に対する動きがスムーズに行われるようにする。   The roller member 800 may be, for example, a ball bearing, so that the movement of the base plate 100 with respect to the first moving plate 200 is performed smoothly.

一方、第１ムービングプレート２００の第３ガイドレール２０５と、第２ムービングプレート３００の第４ガイドレール３０３にもそれぞれ相互に向かい合う凹溝が形成され、前記凹溝に挿入されるローラ部材が設けられ、第１ムービングプレート２００に対する第２ムービングプレート３００の動きがスムーズに行われるようにすることができる。   On the other hand, the third guide rail 205 of the first moving plate 200 and the fourth guide rail 303 of the second moving plate 300 are also formed with concave grooves facing each other, and roller members inserted into the concave grooves are provided. The movement of the second moving plate 300 with respect to the first moving plate 200 can be performed smoothly.

提案された実施例によれば、軽量化及び薄膜化された位置決め装置を提供することができ、設置条件が厳しい位置に前記位置決め装置を設けることができる利点がある。   According to the proposed embodiment, a positioning device reduced in weight and thickness can be provided, and there is an advantage that the positioning device can be provided at a position where installation conditions are severe.

また、プレートの駆動ユニットが相互に重ならないように配置されて駆動モータの形状又はサイズの制限なく設置が可能となり、貫通ホールが形成されて光学装置をともに用いることができるようになる利点がある。   Further, the drive units of the plates are arranged so as not to overlap each other, and can be installed without any limitation on the shape or size of the drive motor, and there is an advantage that a through hole is formed so that the optical device can be used together. .

前記においては、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で様々に変形して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属する。   In the above, preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the attached drawings. Which also falls within the scope of the present invention.

発明を実施するための形態は、前記の発明を実施するための最良の形態で記述した。   The mode for carrying out the invention has been described in the best mode for carrying out the invention.

本発明は、位置決め装置に関するもので、各種産業装備に適用可能であり、反復可能性があり、産業上の利用可能性がある。   The present invention relates to a positioning device, can be applied to various industrial equipments, has repeatability, and has industrial applicability.

Claims (8)

ベースプレートと、
前記ベースプレート上に、第１軸に移動可能に配置される第１ムービングプレートと、
前記第１ムービングプレート上に、前記第１軸に対して直交し、前記第１ムービングプレートに対して平行な第２軸方向に移動可能に配置される第２ムービングプレートと、
前記第２ムービングプレート上に、前記第１軸及び前記第２軸に対してともに直交する回転軸を中心に回転可能に配置される回転プレートと、
前記ベースプレートに固定される第１駆動ユニット本体、及び前記第１駆動ユニット本体に対して前記第１軸に移動可能であり、前記第１ムービングプレートと連結される第１ムービングブラケットを含む第１駆動ユニットと、
前記第１ムービングプレートに固定される第２駆動ユニット本体、及び前記第２駆動ユニット本体に対して前記第２軸方向に移動可能であり、前記第２ムービングプレートと連結される第２ムービングブラケットを含む第２駆動ユニットと、
前記第２ムービングプレートに固定される第３駆動ユニット本体、前記第１軸又は前記第２軸方向に移動可能な第３ムービングブラケット、及び一側は前記第３ムービングブラケットに回転可能に連結され、他側は前記回転プレートに固定されるピボットブラケットを含む第３駆動ユニットと、を含み、
前記ベースプレートは、板状に形成されるベースプレート本体、及び前記ベースプレート本体の上面に配置され、前記第１軸に延設され、相互に離間される一対の第１ガイドレールを含み、前記第１ムービングプレートは、板状に形成される第１ムービングプレート本体、及び前記第１ムービングプレート本体の下面に配置され、前記第１軸に延設され、前記第１ガイドレールの間に配置されて前記第１ガイドレールとかみ合う一対の第２ガイドレールを含み、
前記第１ムービングプレートは、前記第１ムービングプレート本体の上面に配置され、前記第２軸方向に延設され、相互に離間される一対の第３ガイドレールを含み、
前記第２ムービングプレートは、前記板状に形成される第２ムービングプレート本体、及び前記第２ムービングプレートの下面に配置され、前記第２軸方向に延設され、前記第３ガイドレールを挟んで離間され、前記第３ガイドレールとそれぞれかみ合う一対の第４ガイドレールを含み、
前記ベースプレートは、前記ベースプレート本体の上面から上方に向かって突設され、前記一対の第１ガイドレールを挟んで相互に離間され、前記第１ガイドレールが支持される一対の第１支持フレームを含み、
前記第１ムービングプレートは、前記第１ムービングプレート本体の下面から下方に向かって突設されて前記一対の第２ガイドレールの間に配置され、前記第２ガイドレールが支持される第２支持フレームと、前記第１ムービングプレート本体の上面から上方に向かって突設され、前記一対の第３ガイドレールの間に配置され、前記第３ガイドレールが支持される第３支持フレームと、を含み、
前記第２ムービングプレートは、前記第２ムービングプレート本体の縁から下方に向かって折曲形成され、前記第４ガイドレールが支持される第４支持フレームを含む
ことを特徴とする位置決め装置。 A base plate;
A first moving plate disposed on the base plate so as to be movable on a first axis;
A second moving plate disposed on the first moving plate so as to be movable in a second axis direction orthogonal to the first axis and parallel to the first moving plate;
A rotating plate disposed on the second moving plate so as to be rotatable around a rotation axis orthogonal to both the first axis and the second axis;
A first drive unit body fixed to the base plate, and a first drive including a first moving bracket that is movable with respect to the first shaft relative to the first drive unit body and coupled to the first moving plate; Unit,
A second drive unit main body fixed to the first moving plate, and a second moving bracket which is movable in the second axial direction with respect to the second drive unit main body and connected to the second moving plate; A second drive unit including:
A third drive unit main body fixed to the second moving plate, a third moving bracket movable in the first axis or the second axis direction, and one side rotatably connected to the third moving bracket; other side looking contains a third driving unit including a pivot bracket fixed to the rotary plate,
The base plate includes a base plate body formed in a plate shape, a pair of first guide rails disposed on an upper surface of the base plate body, extending to the first shaft and spaced apart from each other, and the first moving The plate is disposed on a first moving plate body formed in a plate shape and a lower surface of the first moving plate body, extends on the first shaft, and is disposed between the first guide rails and the first guide rail. Including a pair of second guide rails that mesh with one guide rail;
The first moving plate includes a pair of third guide rails disposed on an upper surface of the first moving plate body, extending in the second axial direction, and spaced apart from each other.
The second moving plate is disposed on a lower surface of the second moving plate main body formed in the plate shape and the second moving plate, extends in the second axial direction, and sandwiches the third guide rail. A pair of fourth guide rails that are spaced apart and engage with the third guide rails,
The base plate includes a pair of first support frames that protrude upward from the upper surface of the base plate body, are spaced apart from each other with the pair of first guide rails therebetween, and support the first guide rails. ,
The first moving plate protrudes downward from the lower surface of the first moving plate body and is disposed between the pair of second guide rails, and the second support frame is supported by the second guide rails. And a third support frame that protrudes upward from the upper surface of the first moving plate body, is disposed between the pair of third guide rails, and supports the third guide rails,
The positioning apparatus, wherein the second moving plate includes a fourth support frame that is bent downward from an edge of the second moving plate main body and that supports the fourth guide rail . 前記第１ガイドレールは、前記第１軸に延設され、前記第１ガイドレールの長さ方向に沿って、第１凹溝が形成される第１ガイドレール本体をそれぞれ含み、
前記第２ガイドレールは、前記第１軸に延設され、前記第２ガイドレールの長さ方向に沿って前記第１凹溝と向き合う第２凹溝が形成される第２ガイドレール本体をそれぞれ含み、
前記第３ガイドレールは、前記第２軸方向に延設され、前記第３ガイドレールの長さ方向に沿って第３凹溝が形成される第３ガイドレール本体をそれぞれ含み、
前記第４ガイドレールは、前記第２軸方向に延設され、前記第４ガイドレールの長さ方向に沿って前記第３凹溝と向き合う第４凹溝が形成される第４ガイドレール本体をそれぞれ含み、
前記第１ガイドレール本体及び前記第２ガイドレール本体の間に配置され、前記第１凹溝及び前記第２凹溝に挿入される円形の第１ローラ部材と、前記第３ガイドレール本体及び前記第４ガイドレール本体の間に配置され、前記第３凹溝及び前記第４凹溝に挿入される円形の第２ローラ部材と、を含む
請求項１に記載の位置決め装置。 Each of the first guide rails includes a first guide rail body that extends from the first shaft and has a first groove formed along a length direction of the first guide rail.
The second guide rail includes a second guide rail body that extends from the first shaft and has second concave grooves facing the first concave grooves along the length direction of the second guide rail. Including
Each of the third guide rails includes a third guide rail body extending in the second axial direction and having a third groove formed along a length direction of the third guide rail;
The fourth guide rail includes a fourth guide rail body that extends in the second axial direction and has a fourth concave groove facing the third concave groove along the length direction of the fourth guide rail. Including each
A circular first roller member disposed between the first guide rail body and the second guide rail body and inserted into the first groove and the second groove, the third guide rail body, and the A circular second roller member disposed between the fourth guide rail body and inserted into the third concave groove and the fourth concave groove.
The positioning device according to claim 1 . 前記第１ムービングプレートは、
前記第１ムービングプレート本体の一側から前記第１軸に延設され、前記第２駆動ユニット本体の少なくとも一部が安着及び固定される延長部を含む
請求項１に記載の位置決め装置。 The first moving plate is
An extension portion extending from one side of the first moving plate body to the first shaft and at least a part of the second drive unit body being seated and fixed;
The positioning device according to claim 1 . 前記ベースプレートは、前記ベースプレート本体の一側及び他側に形成され、複数の貫通ホールが形成される一対のベースプレート固定部を含む
請求項１に記載の位置決め装置。 The base plate includes a pair of base plate fixing portions formed on one side and the other side of the base plate main body, and having a plurality of through holes.
The positioning device according to claim 1 . 前記ベースプレート、前記第１ムービングプレート、前記第２ムービングプレート、及び前記回転プレートにはそれぞれ円形の第１整列ホール、第２整列ホール、第３整列ホール及び第４整列ホールが形成され、前記回転軸は、前記第１整列ホール、第２整列ホール、第３整列ホール及び第４整列ホールを通る
請求項１に記載の位置決め装置。 The base plate, the first moving plate, the second moving plate, and the rotating plate are each formed with a circular first alignment hole, a second alignment hole, a third alignment hole, and a fourth alignment hole, and the rotation shaft. The positioning device according to claim 1, wherein the positioning device passes through the first alignment hole, the second alignment hole, the third alignment hole, and the fourth alignment hole. 前記第１整列ホール及び前記第２整列ホールは、第１のサイズに形成され、前記第３整列ホール及び前記第４整列ホールは、第２のサイズに形成され、前記第１のサイズは、前記第２のサイズよりも大きい
請求項５に記載の位置決め装置。 The first alignment hole and the second alignment hole are formed in a first size, the third alignment hole and the fourth alignment hole are formed in a second size, and the first size is Larger than the second size
The positioning device according to claim 5 . 前記第１ムービングプレート又は前記第２ムービングプレートがそれぞれ前記ベースプレート又は前記第１ムービングプレートに対して移動される過程において、前記第１ムービングプレート及び前記第２ムービングプレートは、前記回転軸と干渉しない
請求項５に記載の位置決め装置。 In the process in which the first moving plate or the second moving plate is moved with respect to the base plate or the first moving plate, respectively, the first moving plate and the second moving plate do not interfere with the rotation shaft.
The positioning device according to claim 5 . 前記第２駆動ユニット及び前記第３駆動ユニットは、前記回転プレートを挟んで相互に並んで配置され、
前記第１駆動ユニットは、前記第２駆動ユニット及び前記第３駆動ユニットの一側に配置される
請求項１に記載の位置決め装置。 The second drive unit and the third drive unit are arranged side by side across the rotation plate,
The positioning device according to claim 1, wherein the first drive unit is disposed on one side of the second drive unit and the third drive unit.
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