WO2017018592A1 - Hybrid alignment - Google Patents

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moving
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axis
guide rails
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신정욱
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주식회사 재원
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Definitions

  • the present invention relates to a positioning device, and more particularly to a positioning device used for display panel processing equipment, semiconductor processing equipment and the like.
  • a positioning device used in display panel processing equipment, semiconductor processing equipment, and the like has a structure in which a short distance is linearly moved in order to precisely determine the location of semiconductor devices for manufacturing or inspecting semiconductor devices.
  • the overall height and size of the positioning device and the position of the positioning device are reduced due to the structural stability and mechanical stiffness deterioration problem due to the compactness and thickness.
  • the present invention has been made on the basis of the technical background as described above, to provide a lighter and thinner positioning device.
  • the base plate A first moving plate disposed on the base plate to be movable in a first axis; A second moving plate disposed on the first moving plate so as to be movable in a second axial direction perpendicular to the first axis and parallel to the first moving plate; A rotating plate disposed on the second moving plate to be rotatable about a rotation axis that is orthogonal to the first axis and the second axis at the same time;
  • a first driving unit including a first driving unit body fixed to the base plate, and a first moving bracket movable to the first axis with respect to the first driving unit body and connected to the first moving plate; A second driving unit body fixed to the first moving plate and a second moving bracket movable in the second axial direction with respect to the second driving unit body and connected to the second moving plate; unit; And a third driving unit body fixed to the second moving plate, a third moving bracket movable in the first axis or the second axis direction,
  • the base plate may further include a base plate body formed in a plate shape, and a pair of first guide rails disposed on an upper surface of the base plate body and extending in the first axis and spaced apart from each other.
  • the first moving plate may include a first moving plate body formed in a plate shape, and a lower surface of the first moving plate body and extending in the first axis and disposed between the first guide rails to form the first guide rail. And a pair of second guide rails that engage with the field.
  • the first moving plate may further include a pair of third guide rails disposed on an upper surface of the first moving plate body and extending in the second axial direction and spaced apart from each other.
  • the second moving plate body formed in the plate shape, and disposed on the lower surface of the second moving plate and is formed extending in the second axial direction and spaced apart from the third guide rails and the third guide rails and It may include a pair of fourth guide rails each engaged.
  • first guide rails each include a first guide rail body extending in the first axis, the first guide rail body is formed along the longitudinal direction of the first guide rail, the second guide rail And a second guide rail body each extending from the first axis and having a second recessed groove facing the first recessed groove along a longitudinal direction of the second guide rail, wherein the third guide rail And a third guide rail body extending in the second axial direction and having a third recessed groove formed along a length direction of the third guide rail, wherein the fourth guide rails are formed in the second shaft.
  • the first moving plate may extend from one side of the first moving plate body to the first axis, and may include an extension part at which a part of the second driving unit body is seated and fixed.
  • the base plate may further include a pair of base plate fixing parts formed at one side and the other side of the base plate body and having a plurality of through holes formed therein.
  • the base plate, the first moving plate, the second moving plate, and the rotating plate may have circular first alignment holes, second alignment holes, third alignment holes, and fourth alignment holes, respectively.
  • the rotation axis may pass through the first alignment hole, the second alignment hole, the third alignment hole, and the fourth alignment hole.
  • first alignment hole and the second alignment hole are formed in a first size
  • the third alignment hole and the fourth alignment hole is formed in a second size
  • the first size is larger than the second size Large crabs can be formed.
  • the first moving plate and the second moving plate may not interfere with the rotating shaft while the first moving plate or the second moving plate is moved with respect to the base plate or the first moving plate, respectively. have.
  • the second driving unit and the third driving unit may be disposed in parallel with each other with the rotation plate interposed therebetween, and the first driving unit may be disposed at one side of the second driving unit and the third driving unit. Can be.
  • the positioning device can be installed in a difficult installation conditions.
  • the driving units of the plate are arranged so that they do not overlap each other, so that installation is possible without limiting the shape or size of the driving motors, and a through hole is formed to use an optical device together.
  • FIG. 2 is a plan view showing the positioning device of FIG.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of FIG. 4 viewed in the V direction;
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing the configuration of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG.
  • the positioning device described in the present description may mean a hybrid alignment capable of position movement along a plurality of axes.
  • the positioning device 1 has a linear configuration part in the direction of the second axis D2 orthogonal to the first axis D1 and the first axis D1.
  • a worktable or positioning device which is moved and whose other part is rotatably formed along the rotational axis R which is simultaneously orthogonal to the first axis D1 and the second axis D2, and is coupled with the positioning device 1 It is possible to precisely adjust the working position of the work object seated in (1), for example, a semiconductor wafer.
  • the base plate 100 may be seated or fixed at a predetermined position, and may provide a basis for positioning the positioning device 1.
  • the first moving plate 200 is disposed on the base plate 100 so as to be movable in the direction of the first axis D1, and the second moving plate 300 is disposed on the first moving plate 200. It is arrange
  • the rotating plate 400 is rotatably disposed about the rotation axis R on the second moving plate 300.
  • the second driving unit 600 is fixed to the first moving plate 200, and some components of the second driving unit 600 which are movable in the direction of the second axis D2 are connected to the second moving plate 300. . Therefore, the second driving unit 600 allows the second moving plate 300 to move in the direction of the second axis D2 with respect to the first moving plate 200.
  • the base plate 100, the first moving plate 200, the second moving plate 300, the rotating plate 400, the first driving unit 500, and the second driving unit 600 will be described. And the detailed configuration of the third drive unit 700 will be described in detail.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the positioning device of FIG. 1
  • FIG. 4 is a perspective view of the exploded perspective view of FIG. 3 viewed from IV direction
  • the base plate 100 includes a base plate body 101, first guide rails 104, first support frames 103, and plate fixing portions 105. .
  • the base plate body 101 is formed in a plate shape, a circular first alignment hole 102 is formed in the center of the base plate body 101.
  • the first driving unit 500 is fixed to the base plate body 101.
  • the first guide rails 104 are disposed on the upper surface of the base plate body 101 and extend in the direction of the first axis D1.
  • the first guide rails 104 are spaced apart from each other.
  • the first support frames 103 protrude upward from the upper surface of the base plate body 101 and are spaced apart from each other with the first guide rails 104 at the center.
  • the first support frame 103 is in contact with the rear surfaces of the first guide rails 104 to support the first guide rails 104 from the rear side.
  • the base plate fixing part 105 is formed at one side edge and the other side edge of the base plate body 101, and a plurality of through holes are formed.
  • the base plate fixing part 105 may be disposed on one side and the other side of the base plate body 101 with the first support frames 103 interposed therebetween.
  • the base plate fixing part 105 may be fixed to the work holder (not shown) by a fastening member (not shown) penetrating the through hole to provide a fixed position of the positioning device 1.
  • the first moving plate 200 includes a first moving plate body 201, second guide rails 204, third guide rails 205, a second support frame 203, and a third And a support frame 206 and an extension 207.
  • the first moving plate body 201 is formed in a plate shape, the center of the first moving plate body 201 is a circular second alignment hole (aligned with the first alignment hole 102 of the base plate body 101) 208 is formed. At this time, the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208 of the positioning device 1 according to the present embodiment may be formed to the same size.
  • the second guide rails 204 are disposed on the lower surface of the first moving plate body 201 and extend in the direction of the first axis D1.
  • the second guide rails 204 are disposed between the first guide rails 104 and mesh with the first guide rails 104, respectively, to the base plate 100 formed in the direction of the first axis D1. The movement of the first moving plate 200 may be guided.
  • the second support frame 203 protrudes downward from the lower surface of the first moving plate body 201 and is disposed between the pair of second guide rails 204.
  • the second support frame 203 is in contact with the rear surface of the second guide rail 204 to support the second guide rails 204 from the rear.
  • the third guide rails 205 are disposed on an upper surface of the first moving plate body 201 and extend in a second axis D2 direction, which is a direction orthogonal to the second guide rails 204.
  • the third supporting frame 206 is formed to protrude upward from the upper surface of the first moving plate body 201 and is disposed between the pair of third guide rails 205.
  • the third support frame 206 is in contact with the rear surface of the third guide rail 205 to support the third guide rails 205 from the rear.
  • the second moving plate 300 includes a second moving plate body 301, fourth guide rails 303, fourth supporting frames 302, and a rotating member 304.
  • the rotating member 304 is rotatably connected with respect to the second moving plate body 301, and is formed in a circular shape in which a third alignment hole 305 is formed at the center thereof, and a plurality of agents are formed on an upper surface of the rotating member 304. 1 coupling hole 306 is formed.
  • the third alignment hole 305 is aligned with the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208, and may be formed to have a diameter smaller than that of the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208. have.
  • the fourth guide rails 303 are disposed on the lower surface of the second moving plate body 301 and extend in the direction of the second axis D2.
  • the fourth guide rails 303 are spaced apart from each other with the third guide rails 205 interposed therebetween, and engaged with the third guide rails 205, respectively, to form the first moving plate 200 in the second axis D2 direction. It may guide the movement of the second moving plate 300 relative to).
  • the fourth supporting frames 302 are bent downward from one side and the other edge of the second moving plate body 301, and support the fourth guide rails 303 from the rear side.
  • the rotating plate 400 is rotatably connected about the rotation axis R with respect to the second moving plate 300 and includes a rotating plate body 401 formed in a circular shape.
  • a circular fourth alignment hole 402 which is aligned with the first alignment hole 102, the second alignment hole 208 and the third alignment hole 305, the fourth The alignment hole 402 may be formed to have the same diameter as the third alignment hole 305.
  • Second coupling holes 403 are formed around the fourth alignment hole 402 to be aligned with the first coupling holes 306.
  • the rotation plate 400 is centered on the rotation axis R with respect to the second moving plate 300. It can be rotatably connected.
  • the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 of the positioning device 1 according to the present embodiment are aligned with each other.
  • the rotation axis R is the first alignment hole 102 and the second alignment hole. 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 may pass through at the same time.
  • the first moving plate 200 or the second moving plate 300 In addition, in the process of moving the first moving plate 200 or the second moving plate 300 with respect to the base plate 100 or the first moving plate 200, respectively, the first moving plate 200 or the second moving plate Since the movement of the plates 300 is fine, the first moving plate 200 and the second moving plate 300 do not interfere with the rotation axis R.
  • an optical device can be installed under the base plate 100 and used if necessary.
  • the first driving unit 500 is movable in the direction of the first axis D1 with respect to the first driving unit body 510 and the first driving unit body 510 fixed to the base plate 100. 1 from the first moving bracket 520 connected to the moving plate 200, the first driving motor 530 providing a driving force for moving the first moving bracket 520, and the first driving motor 530.
  • the first driving shaft 550 is provided on the outer circumferential surface to receive the rotational force so that the first moving bracket 520 is movable in the direction of the first axis D1.
  • the first moving bracket 520 connected to the first moving plate 200 by the external signal in the direction of the first axis D1.
  • movement of the first moving plate 200, the second moving plate 300, and the rotation plate 400 in the X-axis direction may be controlled.
  • a thread (not shown) may be formed on an outer circumferential surface of the first driving shaft 550.
  • the other side of the first moving bracket 520 is engaged with the screw thread of the first driving shaft 550 while one side of the first moving bracket 520 is fixed to the first moving plate 200, thereby driving the first drive.
  • the first moving bracket 520 may move in the direction of the first moving plate 200 and the first axis D1 by the rotational force of the motor 530.
  • the second drive unit 600 has a second shaft (2) relative to the second drive unit body 610 and the second drive unit body 610 that are seated and fixed to the extension 207 of the first moving plate 200.
  • a second moving bracket 620 movable in the direction D2) and connected to the second moving plate 300, a second driving motor 630 providing a driving force for moving the second moving bracket 620;
  • the second driving shaft 650 receives the rotational force from the second drive motor 630 and is disposed on the outer circumferential surface so as to be movable along the direction of the second axis D2, and the thread is formed on the outer circumferential surface. It includes.
  • the second driving unit 600 moves the second moving bracket 620 connected to the second moving plate 300 by an external signal in the direction of the second axis D2.
  • the configuration of the first drive unit 500 Since it is the same as, detailed description thereof will be omitted.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing the configuration of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG. 1, and FIG. 7 is a view showing the operation of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG. 6.
  • the third drive unit 700 includes a third drive unit body 710, a third moving bracket 720, a third drive motor 730, and a pivot bracket 740. ), A third drive shaft 750, a bracket fixing member 760, and a third elastic member 770.
  • the third driving unit body 710 may include a frame part 711 fixed to the second moving plate 300, and a cover part covering the frame part 711 and forming an internal space therebetween. 712).
  • the frame part 711 is fixed to one fourth support frame 302 of the fourth support frames 302 of the second moving plate 300.
  • the third driving motor 730 provides a rotational force and is provided at one side of the third driving unit body 710.
  • the third drive shaft 750 extends in the direction of the second axis D2 and receives rotational force from the third drive motor 730.
  • the third drive shaft 750 is rotatably connected to the frame portion 711, and a thread is formed on an outer circumferential surface of the third drive shaft 750.
  • the third moving bracket 720 is engaged with the screw thread with one side penetrated by the third drive shaft 750 to be movable in the direction of the second axis D2 by the rotation of the third drive shaft 750. Is formed.
  • the third moving bracket 720 may be formed in a hexahedral shape, and a first fastening hole 721 is formed on an upper surface of the third moving bracket 720.
  • the bracket fixing member 760 has a head portion 761 formed in a circular shape, a neck portion 762 protruding from a lower surface of the head portion 761, and having a diameter smaller than that of the head portion 761, and the head portion 761.
  • a second fastening hole 763 is formed through the upper surface of the second fastening hole 721 is aligned with the first fastening hole 721 of the third moving bracket (720).
  • the bracket fixing member 760 may be fixed to the third moving bracket 720 by a fastening member such as a screw that is fixed to the first fastening hole 721 by passing through the second fastening hole 763. .
  • the pivot bracket 740 may be formed in a plate shape, for example.
  • pivot bracket 740 is formed with a round portion 742 formed with a curvature corresponding to the outer circumference of the neck portion 762 of the bracket fixing member 760.
  • one side of the pivot bracket 740 is rotatably connected with respect to the third moving bracket 720, and the other side of the pivot bracket 740 is fixed to the rotating plate 400.
  • An elastic member 760 surrounding the third driving shaft 750 may be provided between the third moving bracket 720 and the frame part 711 to provide a restoring force to the third moving bracket 720.
  • the pivot bracket 740 may be defined as a reference position in which the pivot bracket 740 is perpendicular to the linear movement path of the third moving bracket 720, that is, the second axis D2.
  • the rotational displacement of the rotating plate 400 may be adjusted.
  • the third moving bracket 720 connected to the third drive shaft 750 is the second shaft It moves along (D2).
  • the pivot bracket 740 connected to one side of the third moving bracket 720 to be rotatable linearly moves the third moving bracket 720. Pushed in the direction. Accordingly, the pivot bracket 740 may be rotated about the rotation shaft R together with the rotation plate 400.
  • the linear movement direction of the third moving bracket 720 may be the same as the tangential direction of the circumference around the rotation axis (R).
  • the moving center P1 of the third moving bracket 720 and the moving center P2 of the pivot bracket 740 may coincide with each other.
  • the third moving bracket 720 can be moved relative to the open end of the round portion 742 of the pivot bracket 740, the center of movement P2 and the center of movement of the round portion 742 of the pivot bracket 740 are made. 3 Even if the linear movement paths of the moving centers P1 of the moving bracket 720 are different, the pivot bracket 740 and the third moving bracket 720 can be smoothly rotated and linearly moved without interfering with each other.
  • the second drive unit 600 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 according to the present embodiment are parallel to each other in the direction of the second axis D2 with the rotating plate 400 interposed therebetween.
  • the second driving unit 600 is disposed at one side of the first driving unit 500 and the third driving unit 700 in the second axis D2.
  • first drive unit 500 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 face each other with the rotation plate 400 interposed therebetween in the direction of the first axis D1.
  • the first driving unit 500 may be disposed in the direction of the first axis D1 on one side of the second driving unit 600 and the third driving unit 700.
  • the third moving bracket 720 of the third driving unit 700 is provided to be movable on the first axis D1.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a first guide rail and a second guide rail of the positioning device of FIG. 1.
  • the second guide rail 204 of the first moving plate 200 includes a second guide rail body 211 extending along the first axis D1, and the second guide rail body 211 is provided with a second guide rail body 211.
  • the second recessed groove 212 is formed in the longitudinal direction of the second guide rail body 211.
  • the first guide rail 104 and the second guide rail 204 are disposed so that the first recessed groove 112 and the second recessed groove 212 face each other, and the first recessed groove 112 and the second recessed groove ( A roller member 800 that is simultaneously fitted to the first recessed groove 112 and the second recessed groove 212 is provided between the 212.
  • recessed grooves facing each other are formed in the third guide rail 205 of the first moving plate 200 and the fourth guide rail 303 of the second moving plate 300, respectively.
  • a roller member to be fitted may be provided to smoothly move the second moving plate 300 with respect to the first moving plate 200.
  • the driving units of the plate are arranged so that they do not overlap each other, so that installation is possible without limiting the shape or size of the driving motors, and a through hole is formed to use an optical device together.
  • the present invention relates to a positioning device, which can be applied to various industrial equipments, has repeatability, and is industrially applicable.

Abstract

A positioning apparatus of the present disclosure comprises: a base plate; a first moving plate which is disposed on the base plate so as to be movable to a first axis; a second moving plate which is disposed on the first moving plate so as to be movable in the direction of a second axis which is orthogonal to the first axis and is parallel with the first moving plate; a rotation plate which is disposed on the second moving plate so as to be rotatable about a rotation axis which is simultaneously orthogonal to the first axis and the second axis; a first driving unit body which is fixed to the base plate; a first driving unit including a first moving bracket which is movable to the first axis with respect to the first driving unit body and is connected to the first moving plate; a second driving unit body which is fixed to the first moving plate; a second driving unit including a second moving bracket which is movable in the direction of the second axis with respect to the second driving unit body and is connected to the second moving plate; a third driving unit body which is fixed to the second moving plate; a third moving bracket which is movable to the first axis or in the direction of the second axis; and a third driving unit including a pivot bracket of which one side is rotatably connected to the third moving bracket and the other side is fixed to the rotation plate.

Description

하이브리드 얼라인먼트Hybrid alignment
본 발명은 위치 결정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널 공정 장비 또는 반도체 공정 장비 등에 사용되는 위치 결정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a positioning device, and more particularly to a positioning device used for display panel processing equipment, semiconductor processing equipment and the like.
일반적으로 디스플레이 패널 공정 장비, 반도체 공정 장비 등에서 사용되는 위치 결정 장치는 반도체 소자 등의 제조나 검사 등을 위해 정밀하게 반도체 소자 등의 위치를 결정하기 위하여 짧은 거리를 직선 운동하는 구조가 많이 사용되고 있다.In general, a positioning device used in display panel processing equipment, semiconductor processing equipment, and the like has a structure in which a short distance is linearly moved in order to precisely determine the location of semiconductor devices for manufacturing or inspecting semiconductor devices.
특히, 최근 디스플레이 패널 공정 장비, 반도체 공정 장비 등이 소형화 및 정밀화되는 경향에 따라, 이에 생산 부하물과 직접적 관련이 있는 위치 결정 장치 또한 협소한 공간에서 구동이 용이하고 정밀하게 위치 결정이 이루어질 수 있도록 지속적으로 소형 및 박형화되고 있는 추세이다.In particular, as display panel processing equipment and semiconductor processing equipment have recently been miniaturized and refined, positioning devices directly related to production loads can be easily driven and precisely positioned in a narrow space. The trend is to continue to be smaller and thinner.
하지만, 정밀하게 위치 결정을 하기 위해서는 위치 결정 장치에 의한 직선 이동시 흔들림 및 충격이 없어야 하기 때문에 소형 및 박형화됨에 따른 구조적 안정성 및 기계적 강성 저하 문제로 인해 위치 결정 장치의 전체 높이 및 크기, 위치 결정 장치의 각 구성요소의 두께를 줄이는데 기술적 한계가 있다. However, in order to precisely position, there should be no shaking and impact when moving linearly by the positioning device. Therefore, the overall height and size of the positioning device and the position of the positioning device are reduced due to the structural stability and mechanical stiffness deterioration problem due to the compactness and thickness. There are technical limitations to reducing the thickness of each component.
관련 선행기술로는 한국특허공개 제10-2010-0012940호(발명의 명칭; 정밀 구동 스테이지, 공개일자; 2010년 02월 09일)가 있다.Related prior arts include Korean Patent Publication No. 10-2010-0012940 (name of the invention; precision drive stage, publication date; February 09, 2010).
본 발명은 상기한 바와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공하고자 한다.The present invention has been made on the basis of the technical background as described above, to provide a lighter and thinner positioning device.
본 발명의 일 측면에 따른 위치 결정 장치는, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에, 제1 축으로 이동 가능하게 배치되는 제1 무빙 플레이트; 상기 제1 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축에 대하여 직교하며 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 평행한 제2 축 방향으로 이동 가능하게 배치되는 제2 무빙 플레이트; 상기 제2 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 대하여 동시에 직교하는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 회전 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체, 및 상기 제1 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제1 축으로 이동 가능하며 상기 제1 무빙 플레이트와 연결되는 제1 무빙 브래킷을 포함하는 제1 구동 유닛; 상기 제1 무빙 플레이트에 고정되는 제2 구동 유닛 몸체, 및 상기 제2 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하며 상기 제2 무빙 플레이트와 연결되는 제2 무빙 브래킷을 포함하는 제2 구동 유닛; 및 상기 제2 무빙 플레이트에 고정되는 제3 구동 유닛 몸체, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제3 무빙 브래킷, 및 일측은 상기 제3 무빙 브래킷에 회전 가능하게 연결되며 타측은 상기 회전 플레이트에 고정되는 피벗 브래킷을 포함하는 제3 구동 유닛;을 포함한다.Positioning device according to an aspect of the present invention, the base plate; A first moving plate disposed on the base plate to be movable in a first axis; A second moving plate disposed on the first moving plate so as to be movable in a second axial direction perpendicular to the first axis and parallel to the first moving plate; A rotating plate disposed on the second moving plate to be rotatable about a rotation axis that is orthogonal to the first axis and the second axis at the same time; A first driving unit including a first driving unit body fixed to the base plate, and a first moving bracket movable to the first axis with respect to the first driving unit body and connected to the first moving plate; A second driving unit body fixed to the first moving plate and a second moving bracket movable in the second axial direction with respect to the second driving unit body and connected to the second moving plate; unit; And a third driving unit body fixed to the second moving plate, a third moving bracket movable in the first axis or the second axis direction, and one side of which is rotatably connected to the third moving bracket and the other side of the third driving unit body. And a third drive unit including a pivot bracket fixed to the rotating plate.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 판상으로 형성되는 베이스 플레이트 몸체, 및 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 포함하고, 상기 제1 무빙 플레이트는, 판상으로 형성되는 제1 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제1 가이드 레일 사이들에 배치되어 상기 제1 가이드 레일들과 맞물리는 한 쌍의 제2 가이드 레일들을 포함할 수 있다.The base plate may further include a base plate body formed in a plate shape, and a pair of first guide rails disposed on an upper surface of the base plate body and extending in the first axis and spaced apart from each other. The first moving plate may include a first moving plate body formed in a plate shape, and a lower surface of the first moving plate body and extending in the first axis and disposed between the first guide rails to form the first guide rail. And a pair of second guide rails that engage with the field.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제3 가이드 레일들을 더 포함하고, 상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 판상으로 형성되는 제2 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제2 무빙 플레이트의 하면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상기 제3 가이드 레일들을 사이두고 이격되어 상기 제3 가이드 레일들과 각각 맞물리는 한 쌍의 제4 가이드 레일을 포함할 수 있다.The first moving plate may further include a pair of third guide rails disposed on an upper surface of the first moving plate body and extending in the second axial direction and spaced apart from each other. The second moving plate body formed in the plate shape, and disposed on the lower surface of the second moving plate and is formed extending in the second axial direction and spaced apart from the third guide rails and the third guide rails and It may include a pair of fourth guide rails each engaged.
또한, 상기 제1 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고, 상기 제1 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제1 함몰홈이 형성되는 제1 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고, 상기 제2 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제2 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제1 함몰홈과 마주보는 제2 함몰홈이 형성되는 제2 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며, 상기 제3 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제3 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제3 함몰홈이 형성되는 제3 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고, 상기 제4 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제4 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제3 함몰홈과 마주보는 제4 함몰홈이 형성되는 제4 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며, 상기 제1 가이드 레일 몸체 및 상기 제2 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어, 상기 제1 함몰홈 및 상기 제2 함몰홈에 끼워지는 원형의 제1 롤러 부재; 및 상기 제3 가이드 레일 몸체 및 상기 제4 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어 상기 제3 함몰홈 및 상기 제4 함몰홈에 끼워지는 원형의 제2 롤러 부재;를 더 포함할 수 있다.In addition, the first guide rails each include a first guide rail body extending in the first axis, the first guide rail body is formed along the longitudinal direction of the first guide rail, the second guide rail And a second guide rail body each extending from the first axis and having a second recessed groove facing the first recessed groove along a longitudinal direction of the second guide rail, wherein the third guide rail And a third guide rail body extending in the second axial direction and having a third recessed groove formed along a length direction of the third guide rail, wherein the fourth guide rails are formed in the second shaft. A fourth guide rail body extending in a direction and having a fourth recessed groove facing the third recessed groove along a length direction of the fourth guide rail, respectively; A circular first roller member disposed between the guide rail body and the second guide rail body and fitted into the first recessed groove and the second recessed groove; And a circular second roller member disposed between the third guide rail body and the fourth guide rail body to be fitted into the third recessed groove and the fourth recessed groove.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 상기 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 중심에 두고 상호 간에 이격되고, 상기 제1 가이드 레일들이 지지되는 한 쌍의 제1 지지 프레임을 더 포함하고, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제2 가이드 레일들의 사이에 배치되고 상기 제2 가이드 레일들이 지지되는 제2 지지 프레임, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제3 가이드 레일 사이들에 배치되고 상기 제3 가이드 레일들이 지지되는 제3 지지 프레임을 더 포함하고, 상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 제2 무빙 플레이트 몸체의 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며 상기 제4 가이드 레일들이 지지되는 제4 지지 프레임을 더 포함할 수 있다.The base plate may protrude upward from an upper surface of the base plate body, and may be spaced apart from each other with the pair of first guide rails at the center thereof and the first guide rails supported. And a first supporting frame, wherein the first moving plate protrudes downward from a lower surface of the first moving plate body and is disposed between the pair of second guide rails and supports the second guide rails. And a second support frame protruding upward from an upper surface of the first moving plate body and disposed between the pair of third guide rails and supported by the third guide rails. The second moving plate may be bent downward from an edge of the second moving plate body and may be formed of the second moving plate. It may further include a fourth support frame on which the four guide rails are supported.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 일측으로부터 상기 제1 축으로 연장 형성되며, 상기 제2 구동 유닛 몸체의 적어도 일부가 안착 및 고정되는 연장부를 포함할 수 있다.In addition, the first moving plate may extend from one side of the first moving plate body to the first axis, and may include an extension part at which a part of the second driving unit body is seated and fixed.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 일측 및 타측에 형성되고, 복수의 관통홀들이 형성되는 한 쌍의 베이스 플레이트 고정부들을 더 포함할 수 있다.The base plate may further include a pair of base plate fixing parts formed at one side and the other side of the base plate body and having a plurality of through holes formed therein.
또한, 상기 베이스 플레이트, 상기 제1 무빙 플레이트, 상기 제2 무빙 플레이트, 및 상기 회전 플레이트에는 각각 원형의 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀이 형성되고, 상기 회전축은 상기 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀을 지나갈 수 있다.The base plate, the first moving plate, the second moving plate, and the rotating plate may have circular first alignment holes, second alignment holes, third alignment holes, and fourth alignment holes, respectively. The rotation axis may pass through the first alignment hole, the second alignment hole, the third alignment hole, and the fourth alignment hole.
또한, 상기 제1 정렬홀 및 상기 제2 정렬홀은 제1 크기로 형성되며, 상기 제3 정렬홀 및 상기 제4 정렬홀은 제2 크기로 형성되고, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 큰 게 형성될 수 있다.In addition, the first alignment hole and the second alignment hole are formed in a first size, the third alignment hole and the fourth alignment hole is formed in a second size, the first size is larger than the second size Large crabs can be formed.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트 또는 상기 제2 무빙 플레이트가 각각 상기 베이스 플레이트 또는 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 이동되는 과정에서, 상기 제1 무빙 플레이트 및 상기 제2 무빙 플레이트는 상기 회전축과 간섭되지 않을 수 있다.The first moving plate and the second moving plate may not interfere with the rotating shaft while the first moving plate or the second moving plate is moved with respect to the base plate or the first moving plate, respectively. have.
또한, 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛은, 상기 회전 플레이트를 사이에 두고 상호 간에 나란하게 배치되며, 상기 제1 구동 유닛은 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛의 일측에 배치될 수 있다.The second driving unit and the third driving unit may be disposed in parallel with each other with the rotation plate interposed therebetween, and the first driving unit may be disposed at one side of the second driving unit and the third driving unit. Can be.
상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공할 수 있어, 설치 조건이 까다로운 위치에 상기 위치 결정 장치를 설치할 수 있는 장점이 있다.According to the embodiment of the present invention as described above, it is possible to provide a lighter and thinner positioning device, there is an advantage that the positioning device can be installed in a difficult installation conditions.
또한, 플레이트의 구동 유닛들이 상호 간에 중첩되지 않게 배치되어 구동 모터들의 형상 또는 사이즈의 제한 없이 설치가 가능해지고, 관통홀이 형성되어 광학 장치를 함께 이용할 수 있게 되는 장점이 있다.In addition, the driving units of the plate are arranged so that they do not overlap each other, so that installation is possible without limiting the shape or size of the driving motors, and a through hole is formed to use an optical device together.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 위치 결정 장치를 보여주는 사시도1 is a perspective view showing a positioning device according to an embodiment of the present invention
도 2는 도 1의 위치 결정 장치를 보여주는 평면도2 is a plan view showing the positioning device of FIG.
도 3은 도 1의 위치 결정 장치의 분해 사시도3 is an exploded perspective view of the positioning device of FIG.
도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 도면4 is an exploded perspective view of FIG. 3 viewed from IV direction;
도 5는 도 4의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 도면5 is an exploded perspective view of FIG. 4 viewed in the V direction; FIG.
도 6은 도 1의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 구성을 보여주는 분해 사시도6 is an exploded perspective view showing the configuration of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG.
도 7은 도 6의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 작동을 보여주는 도면7 shows the operation of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG. 6.
도 8은 도 1의 위치 결정 장치의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 보여주는 단면도8 is a cross-sectional view showing a first guide rail and a second guide rail of the positioning device of FIG.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like elements throughout the specification. In addition, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated.
본 발명에 있어서 "~상에"라 함은 대상부재의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력방향을 기준으로 상부에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다. 또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present invention, "on" means to be located above or below the target member, and does not necessarily mean to be located above the gravity direction. In addition, throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it may further include other components, without excluding the other components unless otherwise stated.
또한, 본 기재에서 설명하고 있는 위치 결정 장치는 복수의 축에 따라서 위치 이동이 가능한 하이브리드 얼라인먼트를 의미할 수 있다.In addition, the positioning device described in the present description may mean a hybrid alignment capable of position movement along a plurality of axes.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 위치 결정 장치를 상세히 설명한다.Hereinafter, a positioning device according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 위치 결정 장치를 보여주는 사시도이며, 도 2는 도 1의 위치 결정 장치를 보여주는 평면도이다.1 is a perspective view showing a positioning device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view showing the positioning device of FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)는 제1 축(D1) 및 제1 축(D1)에 대하여 직교하는 제2 축(D2) 방향으로 구성 일부가 선형 이동되며, 다른 일부가 제1 축(D1) 및 제2 축(D2)에 대하여 동시에 직교하는 회전축(R)을 따라서 회전 가능하게 형성되어, 위치 결정 장치(1)와 결합된 작업대 또는 위치 결정 장치(1)에 안착되는 작업 대상물, 예시적으로 반도체 웨이퍼 등의 작업 위치에 대한 정밀한 조정이 가능하도록 한다.1 and 2, the positioning device 1 according to the present embodiment has a linear configuration part in the direction of the second axis D2 orthogonal to the first axis D1 and the first axis D1. A worktable or positioning device, which is moved and whose other part is rotatably formed along the rotational axis R which is simultaneously orthogonal to the first axis D1 and the second axis D2, and is coupled with the positioning device 1 It is possible to precisely adjust the working position of the work object seated in (1), for example, a semiconductor wafer.
위치 결정 장치(1)는, 베이스 플레이트(100)와, 제1 무빙 플레이트(200)와, 제2 무빙 플레이트(300)와, 회전 플레이트(400)와, 제1 구동 유닛(500)과, 제2 구동유닛(600)과, 제3 구동 유닛(700)을 포함한다.The positioning device 1 includes a base plate 100, a first moving plate 200, a second moving plate 300, a rotating plate 400, a first drive unit 500, and a first And a second drive unit 600 and a third drive unit 700.
베이스 플레이트(100)는, 기설정된 위치에 안착 또는 고정될 수 있으며, 위치 결정 장치(1)의 위치 설정에 대한 기반을 제공할 수 있다.The base plate 100 may be seated or fixed at a predetermined position, and may provide a basis for positioning the positioning device 1.
제1 무빙 플레이트(200)는 베이스 플레이트(100) 상에 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능하게 배치되며, 제2 무빙 플레이트(300)는 제1 무빙 플레이트(200) 상에 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 평행한 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능하게 배치된다.The first moving plate 200 is disposed on the base plate 100 so as to be movable in the direction of the first axis D1, and the second moving plate 300 is disposed on the first moving plate 200. It is arrange | positioned so that a movement to the 2nd axis D2 direction parallel to (200) is possible.
회전 플레이트(400)는 제2 무빙 플레이트(300) 상에 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 배치된다.The rotating plate 400 is rotatably disposed about the rotation axis R on the second moving plate 300.
제1 구동 유닛(500)은 베이스 플레이트(100)에 고정되며, 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능한 제1 구동 유닛(500)의 일부 구성이 제1 무빙 플레이트(200)와 연결된다. 따라서, 제1 구동 유닛(500)은, 제1 무빙 플레이트(200)가 베이스 플레이트(100)에 대하여 제1 축(D1) 방향으로 움직일 수 있도록 한다.The first driving unit 500 is fixed to the base plate 100, and some components of the first driving unit 500 which are movable in the direction of the first axis D1 are connected to the first moving plate 200. Therefore, the first driving unit 500 allows the first moving plate 200 to move in the direction of the first axis D1 with respect to the base plate 100.
제2 구동 유닛(600)은 제1 무빙 플레이트(200)에 고정되며, 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능한 제2 구동 유닛(600)의 일부 구성이 제2 무빙 플레이트(300)와 연결된다. 따라서, 제2 구동 유닛(600)은, 제2 무빙 플레이트(300)가 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 제2 축(D2) 방향으로 움직일 수 있도록 한다.The second driving unit 600 is fixed to the first moving plate 200, and some components of the second driving unit 600 which are movable in the direction of the second axis D2 are connected to the second moving plate 300. . Therefore, the second driving unit 600 allows the second moving plate 300 to move in the direction of the second axis D2 with respect to the first moving plate 200.
마찬가지로, 제3 구동 유닛(700)은 제2 무빙 플레이트(300)에 고정되며, 회전축(R)을 중심으로 이동 가능한 일부 구성이 회전 플레이트(400)와 연결된다. 따라서, 제3 구동 유닛(700)은, 회전 플레이트(400)가 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전될 수 있도록 한다.Similarly, the third driving unit 700 is fixed to the second moving plate 300, and some components movable around the rotating shaft R are connected to the rotating plate 400. Therefore, the third driving unit 700 allows the rotation plate 400 to be rotated about the rotation axis R with respect to the second moving plate 300.
이하에서는 베이스 플레이트(100)와, 제1 무빙 플레이트(200)와, 제2 무빙 플레이트(300)와, 회전 플레이트(400)와, 제1 구동 유닛(500)과, 제2 구동유닛(600)과, 제3 구동 유닛(700)의 세부 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the base plate 100, the first moving plate 200, the second moving plate 300, the rotating plate 400, the first driving unit 500, and the second driving unit 600 will be described. And the detailed configuration of the third drive unit 700 will be described in detail.
도 3은 도 1의 위치 결정 장치의 분해 사시도이며, 도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 도면이고, 도 5는 도 4의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 도면이다.3 is an exploded perspective view of the positioning device of FIG. 1, FIG. 4 is a perspective view of the exploded perspective view of FIG. 3 viewed from IV direction, and FIG.
도 3을 참조하면, 베이스 플레이트(100)는, 베이스 플레이트 몸체(101)와, 제1 가이드 레일(104)들과, 제1 지지 프레임(103)들과, 플레이트 고정부(105)들을 포함한다.Referring to FIG. 3, the base plate 100 includes a base plate body 101, first guide rails 104, first support frames 103, and plate fixing portions 105. .
베이스 플레이트 몸체(101)는 판상으로 형성되며, 베이스 플레이트 몸체(101)의 중앙에는 원형의 제1 정렬홀(102)이 형성된다. 베이스 플레이트 몸체(101)에는 제1 구동 유닛(500)이 고정된다.The base plate body 101 is formed in a plate shape, a circular first alignment hole 102 is formed in the center of the base plate body 101. The first driving unit 500 is fixed to the base plate body 101.
제1 가이드 레일(104)들은 베이스 플레이트 몸체(101)의 상면에 배치되며, 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성된다. 그리고 제1 가이드 레일(104)들은 상호 간에 이격되어 배치된다.The first guide rails 104 are disposed on the upper surface of the base plate body 101 and extend in the direction of the first axis D1. The first guide rails 104 are spaced apart from each other.
제1 지지 프레임(103)들은, 베이스 플레이트 몸체(101)의 상면에서 상방을 향하여 돌출되며, 제1 가이드 레일(104)들을 중심에 두고 상호 간에 이격된다. 그리고 제1 지지 프레임(103)은 제1 가이드 레일(104)들의 후면과 접촉되어, 제1 가이드 레일(104)을 후방에서 지지한다.The first support frames 103 protrude upward from the upper surface of the base plate body 101 and are spaced apart from each other with the first guide rails 104 at the center. The first support frame 103 is in contact with the rear surfaces of the first guide rails 104 to support the first guide rails 104 from the rear side.
베이스 플레이트 고정부(105)는 베이스 플레이트 몸체(101)의 일측 테두리 및 타측 테두리에 형성되며, 복수의 관통홀들이 형성된다. 본 실시예에서, 베이스 플레이트 고정부(105)는 제1 지지 프레임(103)들을 사이에 두고, 베이스 플레이트 몸체(101)의 일측 및 타측에 배치될 수 있다.The base plate fixing part 105 is formed at one side edge and the other side edge of the base plate body 101, and a plurality of through holes are formed. In the present embodiment, the base plate fixing part 105 may be disposed on one side and the other side of the base plate body 101 with the first support frames 103 interposed therebetween.
베이스 플레이트 고정부(105)는 상기 관통홀을 관통하는 체결부재(미도시)에 의하여 작업 고정대(미도시)에 고정되어 위치 결정 장치(1)의 고정 위치를 제공할 수 있다.The base plate fixing part 105 may be fixed to the work holder (not shown) by a fastening member (not shown) penetrating the through hole to provide a fixed position of the positioning device 1.
제1 무빙 플레이트(200)는, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)와, 제2 가이드 레일(204)들과, 제3 가이드 레일(205)들과, 제2 지지 프레임(203)과, 제3 지지 프레임(206)과, 연장부(207)를 포함한다.The first moving plate 200 includes a first moving plate body 201, second guide rails 204, third guide rails 205, a second support frame 203, and a third And a support frame 206 and an extension 207.
제1 무빙 플레이트 몸체(201)는, 판상으로 형성되며, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 중앙에는 베이스 플레이트 몸체(101)의 제1 정렬홀(102)과 정렬되는 원형의 제2 정렬홀(208)이 형성된다. 이때, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208)은 서로 동일한 크기로 형성될 수 있다.The first moving plate body 201 is formed in a plate shape, the center of the first moving plate body 201 is a circular second alignment hole (aligned with the first alignment hole 102 of the base plate body 101) 208 is formed. At this time, the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208 of the positioning device 1 according to the present embodiment may be formed to the same size.
제2 가이드 레일(204)들은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 하면에 배치되며 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성된다. 제2 가이드 레일(204)들은 제1 가이드 레일(104)들 사이에 배치되어, 제1 가이드 레일(104)들과 각각 맞물려, 제1 축(D1) 방향으로 형성되는 베이스 플레이트(100)에 대한 제1 무빙 플레이트(200)의 움직임을 가이드할 수 있다.The second guide rails 204 are disposed on the lower surface of the first moving plate body 201 and extend in the direction of the first axis D1. The second guide rails 204 are disposed between the first guide rails 104 and mesh with the first guide rails 104, respectively, to the base plate 100 formed in the direction of the first axis D1. The movement of the first moving plate 200 may be guided.
제2 지지 프레임(203)은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며, 한 쌍의 제2 가이드 레일(204)들 사이에 배치된다. 제2 지지 프레임(203)은 제2 가이드 레일(204)의 후면과 접촉되어, 제2 가이드 레일(204)들을 후방에서 지지한다.The second support frame 203 protrudes downward from the lower surface of the first moving plate body 201 and is disposed between the pair of second guide rails 204. The second support frame 203 is in contact with the rear surface of the second guide rail 204 to support the second guide rails 204 from the rear.
제3 가이드 레일(205)들은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 상면에 배치되며, 제2 가이드 레일(204)들과 직교하는 방향인 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성된다. The third guide rails 205 are disposed on an upper surface of the first moving plate body 201 and extend in a second axis D2 direction, which is a direction orthogonal to the second guide rails 204.
제3 지지 프레임(206)은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 한 쌍의 제3 가이드 레일(205)들 사이에 배치된다. 제3 지지 프레임(206)은 제3 가이드 레일(205)의 후면과 접촉되어, 제3 가이드 레일(205)들을 후방에서 지지한다.The third supporting frame 206 is formed to protrude upward from the upper surface of the first moving plate body 201 and is disposed between the pair of third guide rails 205. The third support frame 206 is in contact with the rear surface of the third guide rail 205 to support the third guide rails 205 from the rear.
연장부(207)는, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 일측으로부터 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성되며, 제2 구동 유닛(600)이 고정된다.The extension part 207 extends from one side of the first moving plate body 201 in the direction of the first axis D1, and the second driving unit 600 is fixed.
제2 무빙 플레이트(300)는, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)와, 제4 가이드 레일(303)들과, 제4 지지 프레임(302)들과, 회전 부재(304)를 포함한다.The second moving plate 300 includes a second moving plate body 301, fourth guide rails 303, fourth supporting frames 302, and a rotating member 304.
제2 무빙 플레이트 몸체(301)는, 판상으로 형성되며, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 중앙부 측에는, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)가 형성하는 평면에 대하여 수직한 방향으로 형성되는 회전축(R)을 중심으로 회전 가능한 회전 부재(304)가 배치된다. The second moving plate body 301 is formed in a plate shape, and a rotation shaft R formed in a direction perpendicular to a plane formed by the second moving plate body 301 on the center portion side of the second moving plate body 301. Rotatable member 304 that is rotatable about is disposed.
회전 부재(304)는 제2 무빙 플레이트 몸체(301)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 중앙에 제3 정렬홀(305)이 형성되는 원형으로 형성되며, 회전 부재(304)의 상면에는 복수의 제1 결합홀(306)이 형성된다.The rotating member 304 is rotatably connected with respect to the second moving plate body 301, and is formed in a circular shape in which a third alignment hole 305 is formed at the center thereof, and a plurality of agents are formed on an upper surface of the rotating member 304. 1 coupling hole 306 is formed.
제3 정렬홀(305)은 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208)과 정렬되며, 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208) 보다 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있다.The third alignment hole 305 is aligned with the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208, and may be formed to have a diameter smaller than that of the first alignment hole 102 and the second alignment hole 208. have.
제4 가이드 레일(303)들은, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 하면에 배치되며 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성된다. 제4 가이드 레일(303)들은 제3 가이드 레일(205)들을 사이에 두고 이격되고, 제3 가이드 레일(205)들과 각각 맞물려, 제2 축(D2) 방향으로 형성되는 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 제2 무빙 플레이트(300)의 움직임을 가이드할 수 있다.The fourth guide rails 303 are disposed on the lower surface of the second moving plate body 301 and extend in the direction of the second axis D2. The fourth guide rails 303 are spaced apart from each other with the third guide rails 205 interposed therebetween, and engaged with the third guide rails 205, respectively, to form the first moving plate 200 in the second axis D2 direction. It may guide the movement of the second moving plate 300 relative to).
제4 지지 프레임(302)들은, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 일측 및 타측 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며, 제4 가이드 레일(303)들을 후방에서 지지한다.The fourth supporting frames 302 are bent downward from one side and the other edge of the second moving plate body 301, and support the fourth guide rails 303 from the rear side.
회전 플레이트(400)는, 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 연결되며, 원형으로 형성되는 회전 플레이트 몸체(401)를 포함한다.The rotating plate 400 is rotatably connected about the rotation axis R with respect to the second moving plate 300 and includes a rotating plate body 401 formed in a circular shape.
회전 플레이트 몸체(401)의 테두리의 일 지점에는 회전 플레이트 몸체(401)의 중심을 향하여 함몰되는 브래킷 삽입홈(405)이 형성되고, 회전 플레이트 몸체(410)의 상면에는 회전 플레이트 몸체(401)의 상면에서 브래킷 삽입홈(405)과 연통되는 브래킷 고정홀(406)이 형성된다.At one point of the edge of the rotating plate body 401, a bracket insertion groove 405 is formed to be recessed toward the center of the rotating plate body 401, the upper surface of the rotating plate body 410 of the rotating plate body 401 A bracket fixing hole 406 is formed in communication with the bracket insertion groove 405 in the upper surface.
회전 플레이트 몸체(401)의 중앙에는 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208) 및 제3 정렬홀(305)과 정렬되는 원형의 제4 정렬홀(402)이 형성되며, 제4 정렬홀(402)은 제3 정렬홀(305)과 동일한 직경을 갖도록 형성될 수 있다.In the center of the rotating plate body 401 is formed a circular fourth alignment hole 402 which is aligned with the first alignment hole 102, the second alignment hole 208 and the third alignment hole 305, the fourth The alignment hole 402 may be formed to have the same diameter as the third alignment hole 305.
제4 정렬홀(402)의 주변에는 제1 결합홀(306)들과 정렬되는 제2 결합홀(403)들이 형성된다. 상호 간에 정렬된 제1 결합홀(306) 및 제2 결합홀(403)을 동시에 관통하는 체결 부재에 의하여, 회전 플레이트(400)는 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 연결될 수 있다.Second coupling holes 403 are formed around the fourth alignment hole 402 to be aligned with the first coupling holes 306. By the fastening member penetrating the first coupling hole 306 and the second coupling hole 403 which are aligned with each other, the rotation plate 400 is centered on the rotation axis R with respect to the second moving plate 300. It can be rotatably connected.
본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)은 상호 간에 정렬되며, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)된 상태에서 회전축(R)은 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)을 동시에 관통할 수 있다.The first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 of the positioning device 1 according to the present embodiment are aligned with each other. In the state where the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 are aligned, the rotation axis R is the first alignment hole 102 and the second alignment hole. 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole 402 may pass through at the same time.
또한, 제1 무빙 플레이트(200) 또는 제2 무빙 플레이트(300)가 각각 베이스 플레이트(100) 또는 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 이동되는 과정에서, 제1 무빙 플레이트(200) 또는 제2 무빙 플레이트(300)들의 움직임이 미세하게 이루어져, 제1 무빙 플레이트(200) 및 제2 무빙 플레이트(300)는 회전축(R)과 간섭되지 않는다. In addition, in the process of moving the first moving plate 200 or the second moving plate 300 with respect to the base plate 100 or the first moving plate 200, respectively, the first moving plate 200 or the second moving plate Since the movement of the plates 300 is fine, the first moving plate 200 and the second moving plate 300 do not interfere with the rotation axis R.
즉, 제1 무빙 플레이트(200) 및 제2 무빙 플레이트(300)가 이동하더라도, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)의 관통 상태가 유지되기 때문에, 필요한 경우, 광학 장치를 베이스 플레이트(100)의 하부에 설치하여 사용할 수 있다. That is, even if the first moving plate 200 and the second moving plate 300 move, the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, the third alignment hole 305, and the fourth alignment hole ( Since the penetrating state of 402 is maintained, an optical device can be installed under the base plate 100 and used if necessary.
한편, 제1 구동 유닛(500)은, 베이스 플레이트(100)에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체(510), 제1 구동 유닛 몸체(510)에 대하여 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능하며 제1 무빙 플레이트(200)와 연결되는 제1 무빙 브래킷(520)과, 제1 무빙 브래킷(520)을 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 제1 구동 모터(530)와, 제1 구동 모터(530)로부터 회전력을 전달받으며 외주면에 제1 무빙 브래킷(520)이 제1 축(D1)방향으로 이동 가능하게 마련되는 제1 구동 샤프트(550)를 포함한다.Meanwhile, the first driving unit 500 is movable in the direction of the first axis D1 with respect to the first driving unit body 510 and the first driving unit body 510 fixed to the base plate 100. 1 from the first moving bracket 520 connected to the moving plate 200, the first driving motor 530 providing a driving force for moving the first moving bracket 520, and the first driving motor 530. The first driving shaft 550 is provided on the outer circumferential surface to receive the rotational force so that the first moving bracket 520 is movable in the direction of the first axis D1.
즉, 제1 구동 유닛(500)은 베이스 플레이트(100)에 고정된 상태에서, 외부 신호에 의하여 제1 무빙 플레이트(200)와 연결된 제1 무빙 브래킷(520)을 제1 축 (D1) 방향으로 이동시켜, 일례로 X 축 방향에 대한 제1 무빙 플레이트(200), 제2 무빙 플레이트(300) 및 회전 플레이트(400)의 움직임을 제어할 수 있다. That is, in the state in which the first driving unit 500 is fixed to the base plate 100, the first moving bracket 520 connected to the first moving plate 200 by the external signal in the direction of the first axis D1. By moving, for example, movement of the first moving plate 200, the second moving plate 300, and the rotation plate 400 in the X-axis direction may be controlled.
이때, 제1 구동 샤프트(550)의 외주면에는 나사산(미도시)이 형성될 수 있다. 그리고, 제1 무빙 브래킷(520)의 일측이 제1 무빙 플레이트(200)에 고정된 상태에서 제1 무빙 브래킷(520)의 타측이 제1 구동 샤프트(550)의 상기 나사산과 맞물려, 제1 구동 모터(530)의 회전력에 의하여 제1 무빙 브래킷(520)이 제1 무빙 플레이트(200)와 제1 축(D1) 방향으로 움직일 수 있다.In this case, a thread (not shown) may be formed on an outer circumferential surface of the first driving shaft 550. The other side of the first moving bracket 520 is engaged with the screw thread of the first driving shaft 550 while one side of the first moving bracket 520 is fixed to the first moving plate 200, thereby driving the first drive. The first moving bracket 520 may move in the direction of the first moving plate 200 and the first axis D1 by the rotational force of the motor 530.
제2 구동 유닛(600)은, 제1 무빙 플레이트(200)의 연장부(207)에 안착되어 고정되는 제2 구동 유닛 몸체(610), 제2 구동 유닛 몸체(610)에 대하여 제2 축(D2)방향으로 이동 가능하며 제2 무빙 플레이트(300)와 연결되는 제2 무빙 브래킷(620)과, 제2 무빙 브래킷(620)을 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 제2 구동 모터(630)와, 제2 구동 모터(630)로부터 회전력을 전달받으며 외주면에 제2 무빙 브래킷(620)이 제2 축(D2) 방향을 따라서 이동 가능하게 배치되며, 외주면에 나사산이 형성되는 제2 구동 샤프트(650)를 포함한다.The second drive unit 600 has a second shaft (2) relative to the second drive unit body 610 and the second drive unit body 610 that are seated and fixed to the extension 207 of the first moving plate 200. A second moving bracket 620 movable in the direction D2) and connected to the second moving plate 300, a second driving motor 630 providing a driving force for moving the second moving bracket 620; The second driving shaft 650 receives the rotational force from the second drive motor 630 and is disposed on the outer circumferential surface so as to be movable along the direction of the second axis D2, and the thread is formed on the outer circumferential surface. It includes.
제2 구동 유닛(600)은, 제1 무빙 플레이트(200)에 고정된 상태에서, 외부 신호에 의하여 제2 무빙 플레이트(300)와 연결된 제2 무빙 브래킷(620)을 제2 축(D2) 방향으로 이동시켜, 일례로 Y 축 방향에 대한 제2 무빙 플레이트(300) 및 회전 플레이트(400)의 움직임을 제어하는 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 제1 구동 유닛(500)의 구성과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.In the state in which the second driving unit 600 is fixed to the first moving plate 200, the second driving unit 600 moves the second moving bracket 620 connected to the second moving plate 300 by an external signal in the direction of the second axis D2. , There is a difference in the configuration of controlling the movement of the second moving plate 300 and the rotation plate 400 in the Y axis direction, for example, and in other configurations, the configuration of the first drive unit 500. Since it is the same as, detailed description thereof will be omitted.
이하에서는 제3 구동 유닛(700)의 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration of the third drive unit 700 will be described in detail.
도 6은 도 1의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 구성을 보여주는 분해 사시도이며, 도 7은 도 6의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 작동을 보여주는 도면이다.FIG. 6 is an exploded perspective view showing the configuration of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG. 1, and FIG. 7 is a view showing the operation of the third drive unit and the rotating plate of the positioning device of FIG. 6.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제3 구동 유닛(700)은, 제3 구동 유닛 몸체(710)와, 제3 무빙 브래킷(720)과, 제3 구동 모터(730)와, 피벗 브래킷(740)과, 제3 구동 샤프트(750)과, 브래킷 고정부재(760)와, 제3 탄성 부재(770)를 포함한다.6 and 7, the third drive unit 700 includes a third drive unit body 710, a third moving bracket 720, a third drive motor 730, and a pivot bracket 740. ), A third drive shaft 750, a bracket fixing member 760, and a third elastic member 770.
제3 구동 유닛 몸체(710)는 제2 무빙 플레이트(300)와 고정되는 프레임부(711)와, 프레임부(711)를 덮으며 프레임부(711)와의 사이에 내부 공간을 형성하는 커버부(712)를 포함한다. 프레임부(711)는 제2 무빙 플레이트(300)의 제4 지지 프레임(302)들 중 하나의 제4 지지 프레임(302)에 고정된다.The third driving unit body 710 may include a frame part 711 fixed to the second moving plate 300, and a cover part covering the frame part 711 and forming an internal space therebetween. 712). The frame part 711 is fixed to one fourth support frame 302 of the fourth support frames 302 of the second moving plate 300.
제3 구동 모터(730)는 회전력을 제공하며, 제3 구동 유닛 몸체(710)의 일측에 마련된다.The third driving motor 730 provides a rotational force and is provided at one side of the third driving unit body 710.
제3 구동 샤프트(750)는 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성되며, 제3 구동 모터(730)로부터 회전력을 전달받는다. 제3 구동 샤프트(750)는 프레임부(711)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 제3 구동 샤프트(750)의 외주면에는 나사산이 형성된다.The third drive shaft 750 extends in the direction of the second axis D2 and receives rotational force from the third drive motor 730. The third drive shaft 750 is rotatably connected to the frame portion 711, and a thread is formed on an outer circumferential surface of the third drive shaft 750.
제3 무빙 브래킷(720)은, 일측이 제3 구동 샤프트(750)에 관통된 상태에서 상기 나사산과 맞물려, 제3 구동 샤프트(750)의 회전에 의하여 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능하게 형성된다.The third moving bracket 720 is engaged with the screw thread with one side penetrated by the third drive shaft 750 to be movable in the direction of the second axis D2 by the rotation of the third drive shaft 750. Is formed.
제3 무빙 브래킷(720)은 육면체 형상으로 형성될 수 있으며, 제3 무빙 브래킷(720)의 상면에는 제1 체결홀(721)이 형성된다.The third moving bracket 720 may be formed in a hexahedral shape, and a first fastening hole 721 is formed on an upper surface of the third moving bracket 720.
브래킷 고정부재(760)는 원형으로 형성되는 헤드부(761)과, 헤드부(761)의 하면에 돌출 형성되며 헤드부(761)보다 작은 직경을 갖는 넥부(762)와, 헤드부(761)의 상면에 관통 형성되며 제3 무빙 브래킷(720)의 제1 체결홀(721)과 정렬되는 제2 체결홀(763)을 포함한다.The bracket fixing member 760 has a head portion 761 formed in a circular shape, a neck portion 762 protruding from a lower surface of the head portion 761, and having a diameter smaller than that of the head portion 761, and the head portion 761. A second fastening hole 763 is formed through the upper surface of the second fastening hole 721 is aligned with the first fastening hole 721 of the third moving bracket (720).
브래킷 고정부재(760)는, 제2 체결홀(763)을 관통하여 제1 체결홀(721)에 고정되는 일례로 나사와 같은 체결 부재에 의하여, 제3 무빙 브래킷(720)에 고정될 수 있다.The bracket fixing member 760 may be fixed to the third moving bracket 720 by a fastening member such as a screw that is fixed to the first fastening hole 721 by passing through the second fastening hole 763. .
피벗 브래킷(740)은, 일례로 판상으로 형성될 수 있다. The pivot bracket 740 may be formed in a plate shape, for example.
피벗 브래킷(740)의 일측에는 브래킷 고정부재(760)의 넥부(762)의 외주에 대응되는 곡률로 형성되는 라운드부(742)가 형성된다. One side of the pivot bracket 740 is formed with a round portion 742 formed with a curvature corresponding to the outer circumference of the neck portion 762 of the bracket fixing member 760.
피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)는 제3 무빙 브래킷(720)에 고정된 브래킷고정부재(760)의 넥부(762)에 끼워져, 피벗 브래킷(740)을 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 회전 가능하게 한다.The round portion 742 of the pivot bracket 740 is fitted to the neck portion 762 of the bracket fixing member 760 fixed to the third moving bracket 720, and the pivot bracket 740 is attached to the third moving bracket 720. Rotate with respect to
피벗 브래킷(740)의 타측은 회전 플레이트(400)의 브래킷 삽입홈(405)에 삽입되며, 피벗 브래킷(740)의 타측에는 회전 플레이트(400)의 브래킷 고정홀(406)과 정렬되는 고정홀(741)이 형성된다. 피벗 브래킷(740)은, 브래킷 고정홀(406) 및 고정홀(742)을 관통하는 체결 부재에 의하여, 회전 플레이트(400)에 고정될 수 있다.The other side of the pivot bracket 740 is inserted into the bracket insertion groove 405 of the rotating plate 400, the other side of the pivot bracket 740 is fixed hole aligned with the bracket fixing hole 406 of the rotating plate 400 ( 741 is formed. The pivot bracket 740 may be fixed to the rotating plate 400 by a fastening member penetrating the bracket fixing hole 406 and the fixing hole 742.
즉, 피벗 브래킷(740)의 일측은 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 피벗 브래킷(740)의 타측은 회전 플레이트(400)에 고정된다.That is, one side of the pivot bracket 740 is rotatably connected with respect to the third moving bracket 720, and the other side of the pivot bracket 740 is fixed to the rotating plate 400.
제3 무빙 브래킷(720) 및 프레임부(711) 사이에는, 제3 구동 샤프트(750)를 감싸는 탄성부재(760)가 마련되어, 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 복원력을 제공할 수 있다.An elastic member 760 surrounding the third driving shaft 750 may be provided between the third moving bracket 720 and the frame part 711 to provide a restoring force to the third moving bracket 720.
이하에서는 본 실시예에 다른 위치 결정 장치(1)의 제3 구동 유닛(700)이 회전 플레이트(400)를 회전 시키기는 과정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, a process of rotating the rotating plate 400 by the third driving unit 700 of the positioning device 1 according to the present embodiment will be described in detail.
도 8에 도시된 바와 같이 피벗 브래킷(740)이 제3 무빙 브래킷(720)의 직선이동경로, 즉 제2 축(D2)에 대하여 수직한 상태를 기준위치로 정할 수 있다.As shown in FIG. 8, the pivot bracket 740 may be defined as a reference position in which the pivot bracket 740 is perpendicular to the linear movement path of the third moving bracket 720, that is, the second axis D2.
이처럼 기준위치상태에서 제3 구동 모터(730)가 구동되면, 회전 플레이트(400)의 회전 변위가 조정될 수 있다.As such, when the third driving motor 730 is driven in the reference position state, the rotational displacement of the rotating plate 400 may be adjusted.
즉, 제3 구동 모터(730)의 회전력에 의하여, 제3 구동 샤프트(750)과 일방향 또는 타방향으로 회전되면, 제3 구동 샤프트(750)에 연결된 제3 무빙 브래킷(720)은 제2 축(D2)을 따라서 움직이게 된다.That is, when rotated in one direction or the other direction with the third drive shaft 750 by the rotational force of the third drive motor 730, the third moving bracket 720 connected to the third drive shaft 750 is the second shaft It moves along (D2).
제3 무빙 브래킷(720)이 제2 축(D2)을 따라서 직선 이동되면, 제3 무빙 브래킷(720)과 일측이 회전 가능하게 연결된 피벗 브래킷(740)이 제3 무빙 브래킷(720)의 직선이동방향으로 밀리게 된다. 이에 따라 피벗 브래킷(740)은 회전 플레이트(400)와 함께, 회전축(R)을 중심으로 회전될 수 있다.When the third moving bracket 720 is linearly moved along the second axis D2, the pivot bracket 740 connected to one side of the third moving bracket 720 to be rotatable linearly moves the third moving bracket 720. Pushed in the direction. Accordingly, the pivot bracket 740 may be rotated about the rotation shaft R together with the rotation plate 400.
이때, 제3 무빙 브래킷(720)의 직선 이동방향은 회전축(R)을 중심으로 하는 원주의 접선 방향과 동일할 수 있다.At this time, the linear movement direction of the third moving bracket 720 may be the same as the tangential direction of the circumference around the rotation axis (R).
한편, 상기 기준 위치에서는 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)과 피벗 브래킷(740)의 이동중심(P2)이 일치될 수 있다.Meanwhile, at the reference position, the moving center P1 of the third moving bracket 720 and the moving center P2 of the pivot bracket 740 may coincide with each other.
상기 기준 위치로부터 기설정된 각도로 회전 플레이트(400)가 회전되면, 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)에 대하여 피벗 브래킷(740)의 이동중심(P2)이 회전 플레이트(400)의 중심을 향하여 이동하게 된다.When the rotation plate 400 is rotated at a predetermined angle from the reference position, the movement center P2 of the pivot bracket 740 is moved relative to the movement center P1 of the third moving bracket 720. It moves towards the center.
제3 무빙 브래킷(720)이 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)의 개방된 단부쪽으로 상대 이동될 수 있기 때문에, 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)의 이동중심(P2)와 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)의 직선이동경로가 상이하더라도 피벗 브래킷(740)과 제3 무빙 브래킷(720)이 서로를 진로 방해하지 않고 원활하게 각각 회전 및 직선 이동될 수 있다. Since the third moving bracket 720 can be moved relative to the open end of the round portion 742 of the pivot bracket 740, the center of movement P2 and the center of movement of the round portion 742 of the pivot bracket 740 are made. 3 Even if the linear movement paths of the moving centers P1 of the moving bracket 720 are different, the pivot bracket 740 and the third moving bracket 720 can be smoothly rotated and linearly moved without interfering with each other.
따라서, 회전 플레이트(400)의 회전변위가 원활하게 정밀 제어될 수 있다.Therefore, the rotational displacement of the rotation plate 400 can be smoothly precisely controlled.
이때, 회전 플레이트(400)의 회전변위 조정범위는 360도 전 범위를 대상으로 하는 것이 아니라, 정밀 조정을 목적으로 예시적으로 ±10도 범위이기 때문에 상기 기준위치로부터 회전 플레이트(400)이 회전되더라도, 제3 무빙 브래킷(720)이 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)으로부터 완전히 이탈되지 않고, 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)에 그 일부가 걸쳐질 수 있다.At this time, the rotational displacement adjustment range of the rotation plate 400 is not intended to cover the entire 360 degree range, but for example, the rotation plate 400 is rotated from the reference position because it is, for example, a ± 10 degree range for the purpose of precise adjustment. The third moving bracket 720 may not be completely separated from the round part 742 of the pivot bracket 740, and a part of the third moving bracket 720 may be extended to the round part 742 of the pivot bracket 740.
한편, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)은 회전 플레이트(400)를 사이에 두고 상호 간에 제2 축(D2) 방향으로 나란하게 배치되며, 제2 구동 유닛(600)이 제1 구동 유닛(500) 및 제3 구동 유닛(700)의 일측에 제2 축(D2)으로 배치된다.On the other hand, the second drive unit 600 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 according to the present embodiment are parallel to each other in the direction of the second axis D2 with the rotating plate 400 interposed therebetween. The second driving unit 600 is disposed at one side of the first driving unit 500 and the third driving unit 700 in the second axis D2.
즉, 제1 구동 유닛(500), 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)은, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)을 중심으로 상호 간에 간섭되지 않게 배치될 수 있다. 따라서, 제1 구동 유닛(500), 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)의 구동 모터들의 형상 또는 사이즈에 관계 없이, 위치 결정 장치(1)에 설치될 수 있다. That is, the first driving unit 500, the second driving unit 600, and the third driving unit 700 may include the first alignment hole 102, the second alignment hole 208, and the third alignment hole 305. And the fourth alignment hole 402 so as not to interfere with each other. Therefore, regardless of the shape or size of the drive motors of the first drive unit 500, the second drive unit 600, and the third drive unit 700, the positioning device 1 may be installed.
다만, 이는 예시적인 배치일 뿐, 위치 결정 장치(1)의 제1 구동 유닛(500) 및 제3 구동 유닛(700)이 회전 플레이트(400)를 사이에 두고 상호 간에 제1 축(D1) 방향으로 나란하게 배치되며, 제1 구동 유닛(500)은 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)의 일측에 제1 축(D1) 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 경우, 제3 구동 유닛(700)의 제3 무빙 브래킷(720)은 제1 축(D1)으로 이동 가능하게 마련된다.However, this is merely an exemplary arrangement, in which the first drive unit 500 and the third drive unit 700 of the positioning device 1 face each other with the rotation plate 400 interposed therebetween in the direction of the first axis D1. The first driving unit 500 may be disposed in the direction of the first axis D1 on one side of the second driving unit 600 and the third driving unit 700. In this case, the third moving bracket 720 of the third driving unit 700 is provided to be movable on the first axis D1.
본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)는 가이드 레일들 사이에 배치되는 롤러 부재들을 더 포함할 수 있다.The positioning device 1 according to the present embodiment may further include roller members disposed between the guide rails.
이하에서는 상기 롤러 부재들의 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration of the roller members will be described in detail.
도 8은 도 1의 위치 결정 장치의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 보여주는 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a first guide rail and a second guide rail of the positioning device of FIG. 1.
도 8을 참조하면, 베이스 플레이트(100)의 제1 가이드 레일(104)은, 제1 축(D1)으로 연장 형성되는 제1 가이드 레일 몸체(111)를 포함하고, 제1 가이드 레일 몸체(111)에는, 제1 가이드 레일 몸체(111)의 길이 방향으로 제1 함몰홈(112)이 형성된다.Referring to FIG. 8, the first guide rail 104 of the base plate 100 includes a first guide rail body 111 extending along the first axis D1, and the first guide rail body 111. ), A first recessed groove 112 is formed in the longitudinal direction of the first guide rail body 111.
제1 무빙 플레이트(200)의 제2 가이드 레일(204)는, 제1 축(D1)으로 연장 형성되는 제2 가이드 레일 몸체(211)를 포함하고, 제2 가이드 레일 몸체(211)에는, 제2 가이드 레일 몸체(211)의 길이 방향으로 제2 함몰홈(212)이 형성된다.The second guide rail 204 of the first moving plate 200 includes a second guide rail body 211 extending along the first axis D1, and the second guide rail body 211 is provided with a second guide rail body 211. The second recessed groove 212 is formed in the longitudinal direction of the second guide rail body 211.
제1 가이드 레일(104) 및 제2 가이드 레일(204)는 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212)이 마주보도록 배치되며, 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212) 사이에는 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212)에 동시에 끼워지는 롤러 부재(800)가 마련된다.The first guide rail 104 and the second guide rail 204 are disposed so that the first recessed groove 112 and the second recessed groove 212 face each other, and the first recessed groove 112 and the second recessed groove ( A roller member 800 that is simultaneously fitted to the first recessed groove 112 and the second recessed groove 212 is provided between the 212.
롤러 부재(800)는 일례로 볼 베어링(Ball bearing)일 수 있으며, 베이스 플레이트(100)에 대한 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 움직임이 원활하게 이루어지도록 한다.The roller member 800 may be, for example, a ball bearing, so that the movement of the first moving plate 200 with respect to the base plate 100 may be smoothly performed.
한편, 제1 무빙 플레이트(200)의 제3 가이드 레일(205)와, 제2 무빙 플레이트(300)의 제4 가이드 레일(303)에도 각각 상호 간에 마주보는 함몰홈이 형성되며, 상기 함몰홈에 끼워지는 롤러 부재가 마련되어, 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 제2 무빙 플레이트(300)의 움직임이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.Meanwhile, recessed grooves facing each other are formed in the third guide rail 205 of the first moving plate 200 and the fourth guide rail 303 of the second moving plate 300, respectively. A roller member to be fitted may be provided to smoothly move the second moving plate 300 with respect to the first moving plate 200.
제안되는 실시예에 의하면, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공할 수 있어, 설치 조건이 까다로운 위치에 상기 위치 결정 장치를 설치할 수 있는 장점이 있다.According to the proposed embodiment, it is possible to provide a lighter and thinner positioning device, which has the advantage that the positioning device can be installed in a difficult installation condition.
또한, 플레이트의 구동 유닛들이 상호 간에 중첩되지 않게 배치되어 구동 모터들의 형상 또는 사이즈의 제한 없이 설치가 가능해지고, 관통홀이 형성되어 광학 장치를 함께 이용할 수 있게 되는 장점이 있다.In addition, the driving units of the plate are arranged so that they do not overlap each other, so that installation is possible without limiting the shape or size of the driving motors, and a through hole is formed to use an optical device together.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허 청구 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.
발명의 실시를 위한 형태는 위의 발명의 실시를 위한 최선의 형태에서 함께 기술되었다.Embodiments for carrying out the invention have been described together in the best mode for carrying out the above invention.
본 발명은 위치 결정 장치에 관한 것으로, 각종 산업 장비에 적용 가능하고, 반복 가능성이 있어 산업상 이용가능성이 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a positioning device, which can be applied to various industrial equipments, has repeatability, and is industrially applicable.

Claims (11)

  1. 베이스 플레이트;Base plate;
    상기 베이스 플레이트 상에, 제1 축으로 이동 가능하게 배치되는 제1 무빙 플레이트;A first moving plate disposed on the base plate to be movable in a first axis;
    상기 제1 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축에 대하여 직교하며 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 평행한 제2 축 방향으로 이동 가능하게 배치되는 제2 무빙 플레이트;A second moving plate disposed on the first moving plate so as to be movable in a second axial direction perpendicular to the first axis and parallel to the first moving plate;
    상기 제2 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 대하여 동시에 직교하는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 회전 플레이트;A rotating plate disposed on the second moving plate to be rotatable about a rotation axis that is orthogonal to the first axis and the second axis at the same time;
    상기 베이스 플레이트에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체, 및 상기 제1 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제1 축으로 이동 가능하며 상기 제1 무빙 플레이트와 연결되는 제1 무빙 브래킷을 포함하는 제1 구동 유닛;A first driving unit including a first driving unit body fixed to the base plate, and a first moving bracket movable to the first axis with respect to the first driving unit body and connected to the first moving plate;
    상기 제1 무빙 플레이트에 고정되는 제2 구동 유닛 몸체, 및 상기 제2 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하며 상기 제2 무빙 플레이트와 연결되는 제2 무빙 브래킷을 포함하는 제2 구동 유닛; 및A second driving unit body fixed to the first moving plate and a second moving bracket movable in the second axial direction with respect to the second driving unit body and connected to the second moving plate; unit; And
    상기 제2 무빙 플레이트에 고정되는 제3 구동 유닛 몸체, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제3 무빙 브래킷, 및 일측은 상기 제3 무빙 브래킷에 회전 가능하게 연결되며 타측은 상기 회전 플레이트에 고정되는 피벗 브래킷을 포함하는 제3 구동 유닛;을 포함하는 위치 결정 장치.A third driving unit body fixed to the second moving plate, a third moving bracket movable in the first axis or the second axial direction, and one side thereof is rotatably connected to the third moving bracket, and the other side is rotated; And a third drive unit including a pivot bracket fixed to the plate.
  2. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 베이스 플레이트는, 판상으로 형성되는 베이스 플레이트 몸체, 및 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 포함하고,The base plate includes a base plate body formed in a plate shape, and a pair of first guide rails disposed on an upper surface of the base plate body and extending in the first axis and spaced apart from each other,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 판상으로 형성되는 제1 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제1 가이드 레일 사이들에 배치되어 상기 제1 가이드 레일들과 맞물리는 한 쌍의 제2 가이드 레일들을 포함하는 위치 결정 장치.The first moving plate may include a first moving plate body formed in a plate shape, and a lower surface of the first moving plate body and extending in the first axis and disposed between the first guide rails to form the first moving plate body. A positioning device comprising a pair of second guide rails engaged with the guide rails.
  3. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제3 가이드 레일들을 더 포함하고,The first moving plate further includes a pair of third guide rails disposed on an upper surface of the first moving plate body and extending in the second axial direction and spaced apart from each other,
    상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 판상으로 형성되는 제2 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제2 무빙 플레이트의 하면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상기 제3 가이드 레일들을 사이두고 이격되어 상기 제3 가이드 레일들과 각각 맞물리는 한 쌍의 제4 가이드 레일을 포함하는 위치 결정 장치.The second moving plate may include a second moving plate body formed in the plate shape and a lower surface of the second moving plate and extending in the second axial direction and spaced apart from the third guide rails. 3 Positioning device comprising a pair of fourth guide rails respectively engaged with the guide rails.
  4. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein
    상기 제1 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고, 상기 제1 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제1 함몰홈이 형성되는 제1 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고,The first guide rails each include a first guide rail body extending in the first axis, the first guide rail body is formed along the longitudinal direction of the first guide rail,
    상기 제2 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제2 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제1 함몰홈과 마주보는 제2 함몰홈이 형성되는 제2 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며,The second guide rails each include a second guide rail body extending in the first axis and having a second recessed groove facing the first recessed groove along a length direction of the second guide rail.
    상기 제3 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제3 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제3 함몰홈이 형성되는 제3 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고,The third guide rails each include a third guide rail body extending in the second axial direction and having a third recessed groove formed along a length direction of the third guide rail.
    상기 제4 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제4 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제3 함몰홈과 마주보는 제4 함몰홈이 형성되는 제4 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며,The fourth guide rails each include a fourth guide rail body extending in the second axial direction and having a fourth recessed groove facing the third recessed groove along a length direction of the fourth guide rail. ,
    상기 제1 가이드 레일 몸체 및 상기 제2 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어, 상기 제1 함몰홈 및 상기 제2 함몰홈에 끼워지는 원형의 제1 롤러 부재; 및 상기 제3 가이드 레일 몸체 및 상기 제4 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어 상기 제3 함몰홈 및 상기 제4 함몰홈에 끼워지는 원형의 제2 롤러 부재;를 더 포함하는 위치 결정 장치.A circular first roller member disposed between the first guide rail body and the second guide rail body and fitted into the first recessed groove and the second recessed groove; And a circular second roller member disposed between the third guide rail body and the fourth guide rail body and fitted into the third recessed groove and the fourth recessed groove.
  5. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein
    상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 상기 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 중심에 두고 상호 간에 이격되고, 상기 제1 가이드 레일들이 지지되는 한 쌍의 제1 지지 프레임을 더 포함하고,The base plate protrudes upward from an upper surface of the base plate body, is spaced apart from each other with the pair of first guide rails centered thereon, and a pair of first supports for supporting the first guide rails. Further includes a frame,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제2 가이드 레일들의 사이에 배치되고 상기 제2 가이드 레일들이 지지되는 제2 지지 프레임, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제3 가이드 레일 사이들에 배치되고 상기 제3 가이드 레일들이 지지되는 제3 지지 프레임을 더 포함하고,The first moving plate may include a second support frame protruding downward from a lower surface of the first moving plate body and disposed between the pair of second guide rails and supporting the second guide rails, and A third support frame protruding upward from an upper surface of a first moving plate body and disposed between the pair of third guide rails and supported by the third guide rails,
    상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 제2 무빙 플레이트 몸체의 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며 상기 제4 가이드 레일들이 지지되는 제4 지지 프레임을 더 포함하는 위치 결정 장치.The second moving plate further includes a fourth supporting frame which is bent downward from the edge of the second moving plate body and supports the fourth guide rails.
  6. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 제1 무빙 플레이트는,The first moving plate,
    상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 일측으로부터 상기 제1 축으로 연장 형성되며, 상기 제2 구동 유닛 몸체의 적어도 일부가 안착 및 고정되는 연장부를 포함하는 위치 결정 장치.And an extension part extending from one side of the first moving plate body to the first axis, wherein at least a portion of the second driving unit body is seated and fixed.
  7. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 일측 및 타측에 형성되고, 복수의 관통홀들이 형성되는 한 쌍의 베이스 플레이트 고정부들을 더 포함하는 위치 결정 장치.The base plate, the positioning device further comprises a pair of base plate fixing parts which are formed on one side and the other side of the base plate body, a plurality of through holes are formed.
  8. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 베이스 플레이트, 상기 제1 무빙 플레이트, 상기 제2 무빙 플레이트, 및 상기 회전 플레이트에는 각각 원형의 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀이 형성되고, 상기 회전축은 상기 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀을 지나가는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.The base plate, the first moving plate, the second moving plate, and the rotating plate may have circular first alignment holes, second alignment holes, third alignment holes, and fourth alignment holes, respectively. And pass through the first alignment hole, the second alignment hole, the third alignment hole, and the fourth alignment hole.
  9. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8,
    상기 제1 정렬홀 및 상기 제2 정렬홀은 제1 크기로 형성되며, 상기 제3 정렬홀 및 상기 제4 정렬홀은 제2 크기로 형성되고, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.The first alignment hole and the second alignment hole are formed in a first size, the third alignment hole and the fourth alignment hole is formed in a second size, the first size is larger than the second size Positioning device characterized in that.
  10. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8,
    상기 제1 무빙 플레이트 또는 상기 제2 무빙 플레이트가 각각 상기 베이스 플레이트 또는 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 이동되는 과정에서, 상기 제1 무빙 플레이트 및 상기 제2 무빙 플레이트는 상기 회전축과 간섭되지 않는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.In the process of moving the first moving plate or the second moving plate with respect to the base plate or the first moving plate, respectively, the first moving plate and the second moving plate is characterized in that it does not interfere with the rotation axis Positioning device.
  11. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛은, 상기 회전 플레이트를 사이에 두고 상호 간에 나란하게 배치되며,The second driving unit and the third driving unit are arranged side by side with each other with the rotating plate therebetween,
    상기 제1 구동 유닛은 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛의 일측에 배치되는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치. And the first driving unit is disposed on one side of the second driving unit and the third driving unit.
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