JP6396038B2 - 高スループットのサンプル作製のためのナノマニピュレータに対する複数のサンプルの付着 - Google Patents
高スループットのサンプル作製のためのナノマニピュレータに対する複数のサンプルの付着 Download PDFInfo
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Description
101 マイクロマニピュレータ
110 TEMサンプルホルダ
120 付着スポット
150 プローブ先端
Claims (16)
- 基板から複数の薄片を抜き取る方法であって、
抜き取る少なくとも2つの薄片を準備するステップと、
第1の薄片と接触するようにマニピュレータを移動させて、前記第1の薄片を前記マニピュレータに付着させるステップと、
前記第1の薄片が第2の薄片と接触するように前記マニピュレータを移動させて、前記第2の薄片を前記第1の薄片に付着させるステップと、
前記マニピュレータで、前記第1の薄片および前記第2の薄片を抜き取るステップと
を含む方法。 - 前記マニピュレータに対する前記薄片の前記付着が、FIBデポジションによって達成される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の薄片に対する前記第2の薄片の前記付着が、FIBデポジションによって達成される、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片および第2の薄片と一緒にTEMサンプルホルダまで移動させて、前記第2の薄片が、前記TEMサンプルホルダ上のある位置と接触するようにするステップであり、静電力が、前記TEMサンプルホルダ上の前記位置に前記第2の薄片を付着させ、前記第2の薄片を前記第1の薄片から分離するステップと、
前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片と一緒に、前記TEMサンプルホルダ上の別の位置まで移動させ、前記第1の薄片を、前記TEMサンプルホルダ上の第2の位置と接触させて、前記第1の薄片が、前記TEMサンプルホルダ上の前記第2の位置に付着し、前記マニピュレータとの接続を断つようにするステップと
をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片および第2の薄片と一緒にTEMサンプルホルダまで移動させて、前記第2の薄片が、前記TEMサンプルホルダ上のある位置と接触するようにするステップであり、FIBデポジションを使用して、前記TEMサンプルホルダ上の前記位置に前記第2の薄片を結合し、前記FIBデポジションが、前記第2の薄片を前記第1の薄片から分離するステップと、
前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片と一緒に、前記TEMサンプルホルダ上の別の位置まで移動させ、前記第1の薄片を、前記TEMサンプルホルダ上の第2の位置と接触させるステップであり、FIBデポジションを使用して、前記TEMサンプルホルダ上の前記第2の位置に前記第1の薄片を付着させ、それによって、前記第1の薄片を前記マニピュレータから分離するステップと
をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記第2の薄片が前記TEMサンプルホルダに付着しているときに、前記第2の薄片と前記第1の薄片の間の接続を断ち切ることによって、前記第2の薄片が前記第1の薄片から分離される、請求項5に記載の方法。
- 前記マニピュレータがナノマニピュレータである、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 付着した前記第1および第2の薄片と一緒に前記マニピュレータを第3の薄片に移動させ、前記第2の薄片を前記第3の薄片に接触させて、前記第2の薄片が前記第3の薄片に付着するようにするステップをさらに含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マニピュレータを、付着した前記第1、第2および第3の薄片と一緒に前記TEMサンプルホルダ上の第1の位置まで移動させて、前記第3の薄片が、前記TEMサンプルホルダの前記第1の位置と接触するようにするステップと、
前記第3の薄片を前記第1の位置に付着させ、前記第3の薄片を前記第2の薄片から分離するステップと、
前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片および第2の薄片と一緒に前記TEMサンプルホルダ上の第2の位置まで移動させ、前記第2の薄片を、前記TEMサンプルホルダの前記第2の位置と接触させるステップと、
前記第2の薄片を、前記TEMサンプルホルダの前記第2の位置に付着させ、前記第2の薄片を前記第1の薄片から分離するステップと、
前記マニピュレータを、付着した前記第1の薄片と一緒に前記TEMサンプルホルダ上の第3の位置まで移動させ、前記第1の薄片を、前記TEMサンプルホルダの前記第3の位置と接触させるステップと、
前記第1の薄片を、前記TEMサンプルホルダの前記第3の位置に付着させるステップと
をさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 前記TEMサンプルホルダがTEMグリッドである、請求項4〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 基板から複数の薄片を抜き取る方法であって、
抜き取る複数の薄片を準備するステップと、
第1の薄片と接触するようにナノマニピュレータを移動させて、前記第1の薄片を前記ナノマニピュレータに付着させるステップと、
前記ナノマニピュレータを、それまでに付着した薄片が付着したままの状態で、次の複数の薄片のうちのそれぞれの薄片まで移動させて、後続のそれぞれの薄片が最後に付着させた薄片に付着して薄片のスタックを形成するようにするステップと、
前記ナノマニピュレータを、薄片の前記スタックと一緒にTEMサンプルホルダまで移動させるステップと、
薄片の前記スタック上の最後の薄片が前記TEMサンプルホルダ上のある位置と接触するように前記ナノマニピュレータを移動させて、最後の薄片が前記位置に付着するようにするステップと、
前記ナノマニピュレータを前記TEMサンプルホルダ上の別の位置に移動させて、前記ナノマニピュレータに付着させた順番とは逆の順番で前記薄片を一つずつ移すステップと
を含む方法。 - 前記TEMサンプルホルダがTEMグリッドである、請求項11に記載の方法。
- 前記複数の薄片の前記付着が静電力による、請求項11または請求項12に記載の方法。
- 前記複数の薄片の前記付着がFIBデポジションによる、請求項11に記載の方法。
- 前記TEMサンプルホルダに対する前記薄片の前記付着が、FIBデポジションによって達成される、請求項11に記載の方法。
- 前記TEMサンプルホルダに対する前記薄片の前記付着の結果、前記薄片と直前の薄片との接続を物理的に断ち切ることによって、前記薄片が前記直前の薄片から分離する、請求項11〜14のいずれか一項に記載の方法。
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