JP6395793B2 - 半導体装置レシピ管理システム - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置レシピ管理システムに関する。
光学欠陥検査（例えば、半導体検証プロセス）では、システムは、光学検査対象（例えば、半導体素子）の様々な構造コンポーネントの設計仕様（例えば、レジストレーションマーク間の閾値距離）に関する情報を含むデータベースを含み得る。例えば、特定の光学検査対象に対して、システムは、その光学検査対象を作成するために組み込まれているコンポーネントデータベースから選択された複数の構造コンポーネントの組合せを反映するレシピ（ｒｅｃｉｐｅ）データを保持し得る。レシピは、光学検査対象に関して、検査を実行するため、または欠陥を分類するために必要な全ての情報を含み得る。
例えば、検査の質を向上させるために、適切な光学対象設計に関連する高解像度画像データが、データが検査中の光学対象に関連する検査データと比較され得るように、保持され得る。各光学対象構造は、それに関連する複数の画像を持ち得る。そのため、かかる検査プロセスに関与するデータの量は、莫大となり得る。
米国特許第７６０１２４０号明細書
単一のコンポーネントライブラリにアクセスする複数の検査ツールを含む分散光学欠陥検査システムの場合、かかる大容量ファイルの移動に関連するデータ転送オーバーヘッドが禁止され得る。そのため、光学検査対象レシピの転送および管理のためのレシピ配信システム（ＲＤＳ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）を提供することが望ましい。
本発明は、外部レシピコンポーネント配信のためのシステムであって、第１の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第１の光学検査ノードと、第２の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第２の光学検査ノードと、前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントに関連する少なくとも１つの光学検査対象レシピを保持するデータストアを含むレシピ配信サーバーとを備える。
本発明の１つの実施形態では、前記レシピ配信サーバーが、前記第１の光学検査ノードから前記光学検査対象レシピを採用する光学検査対象の検査を実行する要求を受信し、かつ、前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの前記転送を開始するように構成される。
本発明の他の実施形態では、前記少なくとも１つの光学検査対象レシピが、前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントのうちの少なくとも１つに関連する少なくとも１つのプロキシコンポーネントを含む。
本発明のさらに他の実施形態では、前記レシピ配信サーバーが、前記第２の外部レシピコンポーネントに関連する前記プロキシコンポーネントに従って、前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの前記転送を開始するように構成される。
前述の概要および以下の詳細な説明は共に例示的かつ説明のために過ぎず、必ずしも請求のように本発明を限定するものではないことを理解されたい。明細書に組み込まれ、その一部を構成する添付の図は、本発明の実施形態を示し、概要と共に、本発明の本質の説明に役立つ。
本開示の多数の利点は、添付の図を参照することにより、当業者によってより良く理解され得る。
外部レシピコンポーネントの格納および配信のためのシステムを示す。 光学検査対象レシピのプロキシコンポーネントと関連する外部レシピコンポーネントの格納場所の間のマッピングを示す。 レシピ配信システムのデータベースを示す。 分散された外部レシピコンポーネントを管理するためのプロセスを示す。 分散された外部レシピコンポーネントを管理するためのプロセスを示す。 分散された外部レシピコンポーネントを管理するためのプロセスを示す。 外部レシピコンポーネント配信のためのプロセスを示す。 外部レシピコンポーネント配信のためのプロセスを示す。 外部レシピコンポーネント配信のためのプロセスを示す。 外部レシピコンポーネント配信のためのプロセスを示す。
例示的な実施形態の以下の詳細な説明では、その一部を形成する、添付の図に対する参照が行われる。いくつかの図では、同様の参照番号は同様の要素を識別する。詳細な説明および図は、例示的な実施形態を示す。本明細書で提示される主題の精神または範囲から逸脱することなく、他の実施形態が利用され得、他の変更が行われ得る。以下の詳細な説明は、それ故、限定する意味で理解されるのではなく、請求される主題の範囲は添付の特許請求の範囲によって定義される。
大容量の光学対象コンポーネントデータファイルの転送を最小限にするため、かかるファイルは、中央処理装置の外部のデータストア内で保持され得、中央処理装置の指示で、ピアツーピアネットワークを通じてオンデマンド方式で転送され得る。
これから、添付の図に示されている、開示する主題に対する詳細な参照が行われる。
図１を参照すると、光学検査対象レシピ配信システム（ＲＤＳ）１００が示されている。ＲＤＳ １００は、少なくとも検査ツールノード１０１Ａ、検査ツールノード１０１Ｂ、検査ツールノード１０１Ｃおよび検査ツールノード１０１Ｄを含み得る。本説明は、検査ツールノードの追加または削除を通じて、任意の数の検査ツールノード１０１に及び得ることが理解されるであろう。検査ツールノード１０１は、少なくとも１つの検査ツール１０２（例えば、光波散乱計測装置、明視野顕微鏡、暗視野顕微鏡、電子ビーム装置および同様のもの）を含み得る。検査ツールノード１０１は、様々な検査操作（例えば、パターンまたはベアウエハマイクロ欠陥検査、パターンまたはベアウエハマクロ欠陥検査、レチクル欠陥検査、高解像度ウエハレビュー、膜厚測定、太陽電池欠陥検査、ＬＥＤ欠陥検査、および同様のもの）を実行するように構成され得る。
検査ツールノード１０１は、様々な対象構造（例えば、半導体ウエハサンプル）の検査を実行するためにレシピを利用し得る。レシピは、特定の対象および／または検査ツール１０２に関連する特定の操作のための設定パラメータを定義し得る。ホストシステムは、特定のレシピを利用する検査を実行するために、コマンドを検査ツールノード１０１に送信し得る。レシピは、様々な設定パラメータ（例えば、検査ツール１０２パラメータ、プロセス設定パラメータ、光学パラメータ、感度調整、画像処理アルゴリズムパラメータ、結果分析設定および同様のもの）を定義し得る。検査ツールノード１０１は、レシピの最新バージョンをＲＤＳ １００から要求し得、そのレシピは（以下で詳述するように）検査ツールノード１０１に提供され得る。所与のレシピを受信すると、検査ツールノード１０１は、レシピを解析し得、所望の検査操作に関連する設定パラメータを取得して、それらのパラメータを検査ツール１０２にロードし得る。設定に続いて、検査ツール１０２は、提供されたレシピパラメータに従って、初期化を実行し、ルーチンを実行して、レシピパラメータに従って検査操作を実行し得る。配置、検出および他のアルゴリズムは、検査プロセス中に、それらのタスクを実行するために、入力としてパラメータを使用する。
検査ツールノード１０１Ａおよび検査ツールノード１０１Ｂは、外部レシピコンポーネント（ＥＲＣ）データストア１０３を含み得る。ＥＲＣデータストア１０３は、光学対象の様々な構造コンポーネントに関するデータを格納し得る。ＥＲＣデータストア１０３は、光学対象形成するそれらの構造コンポーネントの組合せを詳述するレシピデータ（例えば、レシピ１．ｘ、レシピ２．ｘ）をのみならず、様々な構造コンポーネントのためのＥＲＣデータ（例えば、ＥＲＣ１．ｘ、ＥＲＣ２．ｘ、ＥＲＣ３．ｘ、ＥＲＣ４．ｘ）を含み得る。ＥＲＣデータは、複数のウエハ帯画像を含み得る。これらのＥＲＣのサイズは、記録される総ウエハ領域および記録する画素サイズによって、数ＧＢ〜数ＴＢの範囲であり得る。検査ツールノードは、様々な光学対象の検査を指示するための、手動（例えば、人間のユーザーから）または自動（例えば、制御システムから）入力を受信するように構成されたインタフェース１０４をさらに含み得る。
ＥＲＣは、そのＥＲＣ内に含まれているデータの容量のために、中央サーバーデータベースに保存できないことがあり得る。代わりに、大容量データを参照する小さいプロキシコンポーネントが組み込まれ得る。このプロキシコンポーネントは、そのＥＲＣを記述するメタデータを含むＸＭＬファイルを含み得る。特定のＥＲＣに関連するレシピは、そのプロキシへの参照を含み得る。図２を参照すると、光学対象レシピ（例えば、レシピ１．２）は、小さいプロキシコンポーネント（例えば、プロキシ１．２、プロキシ３．０）への参照を含み得る。例えば、各プロキシコンポーネントは、特定の大容量ＥＲＣへのマッピングを提供し得る。例えば、レシピ１．２は、２つの光学対象コンポーネントＥＲＣ１．ｘおよびＥＲＣ３．ｘを利用し得る。ＥＲＣ１．ｘおよびＥＲＣ３．ｘの必要なバージョン（例えば、ＥＲＣ１．２およびＥＲＣ３．０）は、別個の検査ツールノード１０１（例えば、検査ツールノード１０１Ａおよび検査ツールノード１０１Ｂ）に関連するストレージ上で保持されていることがあり得る。
プロキシコンポーネント（例えば、プロキシ１．２）は、その関連するＥＲＣ（例えば、ＥＲＣ１．２）の格納場所へマッピングする別個の識別子を含み得る。例えば、レシピの各バージョンおよびそれらに関連するＥＲＣ、ＲＤＳ １００は、ＥＲＣの特定のバージョン（例えば、ＥＲＣ１．０、ＥＲＣ１．１、ＥＲＣ１．２）に一意に割り当てられたグローバル一意識別子（ＧＵＩＤ）（例えば、ＧＵＩＤ１、ＧＵＩＤ２およびＧＵＩＤ３）を保持し得る。同様に、ＧＵＩＤ（例えば、ＧＵＩＤ４、ＧＵＩＤ５およびＧＵＩＤ５）は、レシピの特定のバージョン（例えば、レシピ１．０、レシピ１．１およびレシピ１．２）に一意に割り当てられ得る。
検査ツールが、そのローカルのデータストアに含まれていない１つまたは複数のＥＲＣを必要とするレシピを利用しようとする状況では、それらのＥＲＣをその検査ツールに提供する必要があり得る。再度図１を参照すると、検査ツールノード１０１間でのＥＲＣの転送を容易にするため、ＲＤＳ １００は、レシピのデータベースおよびそれらのレシピのＥＲＣに関連するプロキシコンポーネントを保持することにより、様々なＥＲＣの場所をモニタリングすることによって検査ツールノード１０１間でのレシピおよびＥＲＣの配信を管理するように構成されたＲＤＳサーバー１０５を含み得る。
図１および図３を参照すると、ＲＤＳサーバー１０５は、検査ツールノード１０１によって使用されるレシピのコピー、ならびにそれらのレシピによって採用されるＥＲＣに関連する基礎となるプロキシコンポーネントを格納するためのＲＤＳデータストア１０６を含み得る。ＲＤＳデータストア１０６は、レシピの様々なバージョン（例えば、レシピ１．ｘ、レシピ２．ｘ）のコピーを含むレシピデータベース（例えば、レシピデータベース１０７）を含み得る。レシピの各バージョン（例えば、レシピ１．ｘのバージョンのレシピ１．０、レシピ１．１およびレシピ１．２）は、それらが採用するプロキシのバージョン（例えば、レシピ１．２はプロキシ１．２（すなわち、ＥＲＣ１．ｘの第３のバージョンに関連するプロキシ）およびプロキシ２．０（すなわち、ＥＲＣ２．ｘの第１のバージョンに関連するプロキシ）を使用する）への参照を保持し得る。さらに、ＲＤＳデータストア１０６は、ＥＲＣのバージョンに関連する各プロキシのコピーを含むプロキシデータベース１０８を含み得る。例えば、プロキシデータベース１０８は、プロキシ１．ｘの様々なバージョン（例えば、アーカイブストレージ１０９で格納されたＥＲＣ１．ｘの第１のバージョンに関連するプロキシ１．０、検査ツールノード１０１Ｂで格納されたＥＲＣ１．ｘの第２のバージョンに関連するプロキシ１．１および検査ツールノード１０１Ａで格納されたＥＲＣ１．ｘの第３のバージョンに関連するプロキシ１．２）を保持し得る。
様々なＥＲＣの場所のＲＤＳ １００によるかかる認識は、ＲＤＳ １００が、設定のためにＥＲＣが必要とされる検査ツールノード１０１間でのＥＲＣの転送を管理し、光学対象検査に関連する操作を実行およびレビューできるようにし得る。
図４〜図１０を参照すると、プロセスの実施態様を示す一連の図が示されている。理解を容易にするため、ある図は、初期説明が大局的見地から実施態様を提示するように構成され、それ以後、以降の説明が初期説明の代替の実施態様および／または展開を、１つまたは複数の初期に提示された説明の上に構築されたサブステップまたは追加のステップとして提示する。本明細書で利用するこの提示スタイル（例えば、大局的見地を示す図の提示で始まり、その後、以降の図で追加および／またはさらなる詳細を提供する）は、通常、様々なプロセス実施態様の迅速かつ容易な理解を可能にする。
図４および以降の図では、検査ツールノード１０１間でのＥＲＣの配信および管理のための様々な例示的方法を示す。操作フロー、議論および説明は、図１〜図３の前述した例に関して、ならびに／または他の例およびコンテキストに関して提供され得る。しかし、操作フローは、いくつかの他の環境およびコンテキストで、ならびに／または図１〜図３の変更されたバージョンで実行され得ることが理解されるべきである。さらに、様々な操作フローが例示された順序で提示されているが、その様々な操作は、例示された以外の順序および組合せで実行され得ることが理解されるべきである。例えば、操作ステップは、任意の順序で、任意の他の操作ステップと組み合わされ得る。
配信されたレシピおよびそれらの関連するＥＲＣのネットワークを確立するため、ＲＤＳ １００は様々な管理操作を実行し得る。
図４を参照すると、外部レシピコンポーネント管理のための方法４００が示されている。操作４１０は、少なくとも１つの外部レシピコンポーネントを検査ツールノードで格納することを示す。図１〜図３に示すように、ＥＲＣのパラメータ（例えば、検査装置パラメータ、プロセス設定パラメータ、光学パラメータ、感度調整、画像処理アルゴリズムパラメータ、結果分析設定および同様のもの）を定義し、かつ／または１つもしくは複数のデータレコード（例えば、画像装置からのウエハ帯画像、ＥＲＣ ＩＤ、ＥＲＣバージョンＩＤ、メタデータ、チェックサム、格納場所参照、修正日付／タイムスタンプ、レシピサイズおよび同様のもの）をＥＲＣと関連付けるために、インタフェース（例えば、インタフェース１０４）がユーザー（例えば、人間のユーザーまたは周辺システム）によってアクセスされ得る。ＥＲＣは、検査ツールノード１０１ＢのＥＲＣデータストア１０３に新規に作成されたＥＲＣ１．０として保存され得る。
操作４２０は、少なくとも１つのプロキシコンポーネントを少なくとも１つの外部レシピコンポーネントと関連付けることを示す。例えば、図１〜図３に示すように、ＥＲＣファイルは、そのＥＲＣ内に含まれているデータの容量のために、中央サーバーデータベースに保存できないことがあり得る。かかる状況では、プロキシコンポーネント要素（例えば、プロキシ１．２およびプロキシ３．０）は、対応するＥＲＣ（例えば、ＥＲＣ１．２およびＥＲＣ３．０）の格納場所と関連付けられ得る。例えば、検査ツールノード（例えば、検査ツールノード１０１Ａ）は、特定のＥＲＣの格納場所（例えば、ネットワークアドレス）を参照するメタデータならびにそのＥＲＣの他の特性（例えば、チェックサム値）を含むプロキシコンポーネントファイルを作成し得る。
操作４３０は、少なくとも１つの外部レシピコンポーネントを少なくとも１つの光学検査対象レシピと関連付けることを示す。ＥＲＣの作成後、ＥＲＣは、１つまたは複数の光学検査対象レシピと関連付けられ得る。例えば、図１〜図３に示すように、１つまたは複数のＥＲＣ（例えば、ＥＲＣ１．１およびＥＲＣ３．０）によって定義された様々なコンポーネント構造を組み合わせるレシピ（例えば、レシピ１．１）を定義するために、インタフェース（例えば、インタフェース１０４）がユーザー（例えば、人間のユーザーまたは周辺システム）によってアクセスされ得る。
操作４４０は、少なくとも１つのプロキシコンポーネントを含む少なくとも１つの光学検査対象レシピをレシピ配信サーバーに格納することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、１つまたは複数のプロキシコンポーネントをそれらの対応するＥＲＣと関連付けた後、それらのＥＲＣに関連するレシピが、集中型レシピサーバーに提供され得る。例えば、検査ツールノード１０１Ａで定義され、任意の必要なＥＲＣに関連するプロキシコンポーネントを含むレシピが、ＥＲＣデータストア１０３のレシピデータベース１０７への格納のため、ＲＤＳサーバー１０５に送信され得る。
図５を参照すると、図４の方法４００は、１つまたは複数の追加の操作を含み得る。方法４００は、操作５１０および／または操作５２０を含み得る。
操作５１０は、少なくとも１つの外部レシピコンポーネントを変更することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、ユーザー（例えば、人間のユーザーまたは周辺システム）が検査ツールノード１０１Ｂのインタフェース１０４をアクセスし得、ＥＲＣ１．０をＥＲＣデータストア１０３からロードし得る。ＥＲＣ１．０の特性が変更され得、ＥＲＣの新しいバージョン（例えば、ＥＲＣ１．１）が検査ツールノード１０１ＢのＥＲＣデータストア１０３に保存され得る。
操作５２０は、少なくとも１つの変更された外部レシピコンポーネントに関連する少なくとも１つのプロキシコンポーネントを更新することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、ＥＲＣの変更（例えば、ＥＲＣ１．０が検査ツールノード１０１ＢによってＥＲＣ１．１に変更される）の後、そのＥＲＣに関連するプロキシコンポーネントが、その変更されたＥＲＣに対応するように更新され得る（例えば、新しいバージョンＥＲＣ１．１を参照するプロキシ１．１が作成され得る）。更新されたプロキシコンポーネントは、ＲＤＳサーバー１０５に提供され得、そこで、更新されたＥＲＣ（例えば、ＥＲＣ１．１）を参照する新しいプロキシコンポーネント（例えば、プロキシ１．１）を含む、ＥＲＣ１．ｘを利用する１つまたは複数のレシピの更新されたバージョン（例えば、レシピ１．１）が作成され得る。更新されたプロキシコンポーネントは、ＥＲＣ１．ｘまたはそのサブセットを利用する全てのレシピに組み込まれ得る。
各ＥＲＣのバージョン（例えば、ＥＲＣ１．ｘ）、レシピのバージョン（例えば、レシピ１．ｘ）またはプロキシコンポーネントのバージョン（例えば、プロキシ１．ｘ）は、ＲＤＳ １００内に保存されている各要素を一意に識別するためのＧＵＩＤを含み得る。また、各ＥＲＣのバージョン（例えば、ＥＲＣ１．ｘ）、レシピのバージョン（例えば、レシピ１．ｘ）またはプロキシコンポーネントのバージョン（例えば、プロキシ１．ｘ）は、ＥＲＣが破損しているか否かを判断するため、ＲＤＳ １００に保存されているＥＲＣの妥当性を検証するためのチェックサム機構を含み得る。ＲＤＳ １００がそのＧＵＩＤに従って特定のＥＲＣ、レシピまたはプロキシコンポーネントを見つけると、ＲＤＳ １００は、ＥＲＣ、レシピまたはプロキシコンポーネントが変わっているか否かを判断するために、チェックサムを使用し得る。これは、重複するバージョンの回避を可能にし得、異なるツール／データストア上に存在する同一のコンポーネントの識別を可能にし得る。
図６を参照すると、図４の方法４００は、１つまたは複数の追加の操作を含み得る。方法４００は、操作６１０を含み得る。
操作６１０は、格納スペースを少なくとも１つの検査ツールノード上に再割り当てすることを示す。例えば、図１〜図３に示すように、複数のＥＲＣの作成および／またはＥＲＣの新しく作成されたバージョンの結果としてそれらのＥＲＣに対する変更の後、検査ツールノード１０１に関連するＥＲＣデータストア１０３がその記憶容量に達し得ることがあり得る。この時点で、ＲＤＳ １００は、あるＥＲＣに関連する格納スペースを再割り当て（例えば、削除またはアーカイブ）し得る。かかる操作を容易にするため、ＲＤＳ １００はＥＲＣの使用を追跡し得る。ＲＤＳ １００は、ＥＲＣに対する格納測定基準（ｓｔｏｒａｇｅ ｍｅｔｒｉｃｓ）を追跡し得、それは、最も使用されていないＥＲＣ，最後に使用されたタイムスタンプ、所与のＥＲＣに関連するレシピのリスト、関連付けられていない（ｏｒｐｈａｎｅｄ）ＥＲＣおよび／またはＥＲＣの単一バージョンのコピー数を含む。ＲＤＳ １００は、ＥＲＣデータストア１０３がその容量に近づくと、ユーザーに（例えば、インタフェース１０４、ＲＤＳサーバーダッシュボードおよび／または電子メール通知を介して）通知を提供し得る。
この時点で、特定の検査ツールノード１０１に関連するＥＲＣデータストア１０３に対するＥＲＣが、ユーザーによって手動で削除されるか、または、ＲＤＳサーバー１０５に関連するアーカイブストレージ１０９にアーカイブされ得る。代替として、ＲＤＳ サーバー１０５は、ＥＲＣに関連する様々な格納測定基準に従って必要とされる場合に、ＥＲＣを自動的にアーカイブまたはパージするために、ＥＲＣ保持規則を実行するように構成され得る。このようにして、格納スペースが、個々の検査ツールノード１０１に関してよりも、ＲＤＳ １００全体で調整され得る。検査ツールノード１０１ＡのためのＥＲＣデータストア１０３がほぼ満杯の場合、検査ツールノード１０１Ａは、特定のＥＲＣバージョンがＥＲＣデータストア１０３から削除され得るか否かを判断するために、ＲＤＳサーバー１０５に問い合わせを行い得る。ＲＤＳサーバー１０５は、レシピおよびＲＤＳデータストア１０６の関連するプロキシコンポーネントを分析して、ＥＲＣの削除／アーカイブのための優先順位を確立し得る。例えば、ＲＤＳ １００内に複数のコピーが存在する（例えば、重複する）ＥＲＣが、ＲＤＳ １００内に１つのコピーのみが存在するＥＲＣよりも高い削除／アーカイブの優先順位を割り当てられ得る。同様に、検査ツールノードによって現在使用されているどのレシピによっても参照されていない（例えば、関連付けられていない）ＥＲＣが、より高い削除／アーカイブの優先順位を割り当てられ得る。検査ツールノード１０１で追加の格納スペースが必要な場合、ＲＤＳサーバー１０５は、その優先順位に従って１つまたは複数のＥＲＣを自動的に削除／アーカイブし得るか、またはユーザーによる削除／アーカイブの判断を容易にするため、優先順位情報を検査ツールノード１０１に提供し得る。
アーカイブの後、ＲＤＳサーバー１０５は、たとえ、レシピおよび／またはＥＲＣが、将来、そのレシピおよび／またはＥＲＣの検査ツールノード１０１への復元が容易になるように、以前にアーカイブされていても、レシピ（例えば、レシピ１．０）および／または関連するＥＲＣ（例えば、ＥＲＣ１．０）間の関連を保持し得る。
ＲＤＳサーバー１０５は、ＥＲＣ管理を容易にする追加の機能を提供し得る。例えば、ＲＤＳサーバー１０５は、ＲＤＳ １００上に存在する全てのＥＲＣのリストを提供し得る。そのリストは、検査ツールノード（例えば、どのＥＲＣが特定のノード上に存在しているか）、ＥＲＣ（例えば、どのレシピが特定のＥＲＣにリンクしているか、このＥＲＣのいくつのコピーがこのネットワーク上に存在しているか、どの検査ツールノードがこのＥＲＣのコピーを含んでいるか）によって、または各レシピ（例えば、ＥＲＣの数がリンクされているレシピ、検査ツールノード１０１がそのレシピのコピーを含む）によって分類され得る。さらに、ＲＤＳサーバー１０５は、ＥＲＣに関するメタデータ情報（例えば、ＥＲＣの内容を検証するために使用されるレシピパラメータ、ＥＲＣの使用情報、そのＥＲＣにリンクされたレシピ、ＲＤＳ １００上のＥＲＣの場所、および／または主題のＥＲＣにリンクされたＥＲＣのリスト）を提供し得る。さらにまた、ＲＤＳサーバー１０５は、ＲＤＳデータストア１０６内で保持されているプロキシコンポーネントおよびレシピデータを検査ツールノード１０１のＥＲＣデータストア１０３の現在の状態と同期させるために、定期的に、または要求に応じて、検査ツールノード１０１と通信し得る。
検査ツールが、そのローカルのデータストア内に含まれていない１つまたは複数のＥＲＣを必要とするレシピを利用しようとする場合、それらのＥＲＣをその検査ツールに配信する必要があり得る。
図７を参照すると、光学検査対象コンポーネントレシピ配信のための方法７００が示されている。操作７１０は、第１の検査ツールノードで検査される光学検査対象に関連する少なくとも１つのレシピの選択を受信することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、ユーザーまたは自動化エージェント（例えば、検査処理スケジューリングシステム）が、特定の光学検査対象が検査されることを決定し得る。検査ツールノードに入力（例えば、検査ツールノード１０１Ａのインタフェース１０４を介したユーザー入力）が提供されて、所望の光学検査対象を参照する。最初は、光学検査ツールは、レシピおよびそのレシピのプロキシコンポーネントに関連するＥＲＣをそのローカルのキャッシュからフェッチして検査操作を開始しようとし得る。しかし、必要なレシピおよび／またはそのＥＲＣコンポーネントの１つがキャッシュに存在しないことがあり得る。かかる場合、検査ツールノード１０１Ａは、ＲＤＳサーバー１０５に問い合わせをして、検査ツールノード１０１Ａがレシピ（例えば、レシピ１．１）の使用を必要とすることを示し得る。
操作７２０は、そのレシピに関連する１つまたは複数の外部レシピコンポーネントが、第１の検査ツールノードおよび第２のノードのうちの少なくとも１つに格納されているか否かを判断することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、検査ツールが、それが要求されたレシピを保有していないと判断し、ＲＤＳサーバー１０５に問い合わせをしている場合、ＲＤＳサーバー１０５は、要求されたレシピ（例えば、レシピ１．１）を求めて、そのＲＤＳデータストア１０６をアクセスし得る。レシピ（例えば、レシピ１．１）は、１つまたは複数のＥＲＣ（例えば、検査ツールノード１０１ＡのＥＲＣデータストア１０３に存在するＥＲＣ１．１および検査ツールノード１０１ＢのＥＲＣデータストア１０３に存在するＥＲＣ３．０）を利用し得る。レシピを返す前に、ＲＤＳサーバー１０５は、そのレシピのＥＲＣが要求している検査ツールノード（例えば、検査ツールノード１０１Ａ）にローカルか、またはリモートの検査ツールノード（例えば、検査ツールノード１０１Ｂ）上に格納されているかを判断し得る。主題のレシピの全ての必要なＥＲＣが要求している検査ツールノードに存在していると判断されると、ＲＤＳサーバー１０５は、そのレシピをさらなる処理のために検査ツールノード１０１Ａに送信し得る。１つまたは複数のＥＲＣがリモートの検査ツールノードに存在すると判断されると、ＲＤＳサーバー１０５は、システム構成に従って、ＥＲＣフェッチ操作を開始し得るか、または要求している検査ツールノードに「レシピ取得」エラーコードを返し得る。
図８を参照すると、図７の方法７００は、１つまたは複数の追加の操作を含み得る。操作７２０は、操作８１０を含み得る。
操作８１０は、１つまたは複数の外部レシピコンポーネントの１つまたは複数の場所を定義する１つまたは複数のプロキシコンポーネントに従って、１つまたは複数の外部レシピコンポーネントの場所を判断することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、レシピ（例えば、レシピ１．１）に関する問い合わせを検査ツールノード１０１Ａから受信すると、特定のＥＲＣが要求している検査ツールノード上にあるか否かを判断するため、ＲＤＳサーバー１０５は、そのレシピに関連するプロキシコンポーネント（例えば、プロキシ１．１およびプロキシ３．０）を検索し得る。ＲＤＳサーバー１０５は、必要なＥＲＣの全てが検査ツールノード１０１Ａに存在するか否か、またはある必要なＥＲＣがリモートの検査ツールノード１０１（例えば、検査ツールノード１０１Ｂ）に格納されているか否かを確認するため、レシピのプロキシコンポーネントによって参照されるＥＲＣの場所を判断し得る。
前述のように、１つまたは複数のＥＲＣが、要求している検査ツールノードにリモートの検査ツールノード上に存在すると判断されると、ＲＤＳサーバー１０５は、その要求されたＥＲＣを提供するために、ＥＲＣフェッチ操作を開始し得る。図９を参照すると、図７の方法７００は、１つまたは複数の追加の操作を含み得る。方法７００は、操作９１０、および／または操作９２０を含み得る。
操作９１０は、１つまたは複数のプロキシコンポーネントに従って、１つまたは複数の外部レシピコンポーネントの少なくとも一部を第１の検査ツールノードへ第２のノードから提供することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、特定のレシピに対するＥＲＣが、レシピのプロキシコンポーネントから判断されるように、リモートの検査ツールノード（例えば、検査ツールノード１０１Ｂ）上に存在すると判断されるならば、ＲＤＳサーバー１０５は、そのＥＲＣの、そのレシピを要求している検査ツールノードへの転送を開始し得る。例えば、ＲＤＳサーバー１０５の処理装置１１０は、転送元の検査ツールノード１０１Ｂに問い合わせをして、要求されたＥＲＣがそのＥＲＣデータストア１０３内で見つかり得ることを確認し得る。ＲＤＳサーバー１０５は、転送先の検査ツールノード１０１Ａに問い合わせをして、十分な格納スペースがそのＥＲＣデータストア１０３内で利用可能であることを確認し得る。ＲＤＳサーバー１０５は、ＥＲＣの転送を開始するために、コマンドを検査ツールノード１０１Ａ（例えば、「プル（ｐｕｌｌ）」モデルにおけるように）および検査ツールノード１０１Ｂ（例えば、「プッシュ（ｐｕｓｈ）」モデルにおけるように）のうちの少なくとも１つに送信し得る。ＥＲＣは、複数の検査ツールノード１０１を接続するネットワーク１１１を介して送信され得る。検査ツールノード１０１は、ユーザーがＥＲＣ配信を手動でスケジューリングできるようにするインタフェースを提供し得る。ＲＤＳサーバー１０５は、ユーザーが、１つまたは複数の対象の検査ツールノード１０１に配信されるＥＲＣのリストを指定できるようにし得る。ユーザーは、ウェブインタフェース１１２を介して、システム全体でのＥＲＣ配信の進捗を任意の時点でモニタリングすることが可能であり得る。
さらに、複数の検査ツールノード１０１が、要求している検査ツールノードへのＥＲＣのそれぞれの部分の並列転送のために使用され得る。操作９２０は、１つまたは複数のプロキシコンポーネントに従って、１つまたは複数の外部レシピコンポーネントの少なくとも一部を、第１の検査ツールノードへ少なくとも第３のノードから提供することを示す。例えば、図１〜図３に示すように、複数の検査ツールノード１０１がＥＲＣの特定のバージョン（例えば、検査ツールノード１０１Ｂおよび検査ツールノード１０１Ｃが共にＥＲＣ３．０のコピーを保持し得る）のコピーを有することがあり得る。この場合、ＲＤＳサーバー１０５は、検査ツールノード１０１Ａによって使用されるレシピに対応するＥＲＣの一部（例えば、レシピ１．１で使用されるＥＲＣ３．０）を各々転送するために、コマンドを検査ツールノード１０１Ｂおよび検査ツールノード１０１Ｃの両方に送信し得る。ＥＲＣのそれぞれの部分の並列転送は、要求している検査ツールノードが要求されたＥＲＣを取得するために必要な時間を削減するのに役立ち得る。
並列転送は、様々な検査ツールノード１０１の可用性に従って、任意の時に開始され得る。例えば、第１の転送元の検査ツールノードからのＥＲＣの転送が進行中であって、かつＥＲＣを含む第２の転送元の検査ツールノードが利用可能になる場合、ＲＤＳサーバー１０５は、ＥＲＣのどの部分がまだ転送先の検査ツールノードに提供されていないかを判断し得、ＲＤＳサーバー１０５は、それらの部分の第２の検査ツールノードからの転送を開始し得る。
前述のように、１つまたは複数のＥＲＣが、要求している検査ツールノードにリモートの検査ツールノード上に存在していると判断されると、ＲＤＳサーバー１０５は、要求されたＥＲＣを提供するために、ＥＲＣフェッチ操作を開始し得る。図１０を参照すると、図９の方法７００は、１つまたは複数の追加の操作を含み得る。操作９１０は操作１０１０を含み得る。
操作１０１０は、１つまたは複数の外部レシピコンポーネントを、第１の検査ツールノードへ第２のノードからコピーを行うこと、および１つまたは複数の外部レシピコンポーネントを、第１の検査ツールノードへ第２のノードから転送することのうちの少なくとも１つを示す。例えば、図１〜図３に示すように、ＲＤＳサーバー１０５からのコマンドに応答して、検査ツールノード１０１Ｂは、レシピ１．１に関連するＥＲＣ３．０を検査ツールノード１０１Ａに提供し得る。一例では、ＥＲＣ３．０が、検査ツールノード１０１ＡのＥＲＣデータストア１０３にコピーされ得、ＥＲＣ３．０のコピーが、検査ツールノード１０１ＢのＥＲＣデータストア１０３上に保持され得る。別の例では、ＥＲＣ３．０が、検査ツールノード１０１ＡのＥＲＣデータストア１０３にコピーされ得、ＥＲＣ３．０のコピーが、検査ツールノード１０１ＢのＥＲＣデータストア１０３から削除され得る。ＥＲＣが検査ツールノード１０１間でコピーされるか、または転送されるかの判断は、ＲＤＳサーバー１０５によって保持されているＥＲＣ使用データに基づきＲＤＳサーバー１０５によって行われ得る。例えば、検査ツールノードで保持されている特定のＥＲＣが現在のところ、その検査ツールノードで格納されているいずれかのレシピと関連付けられていない場合、そのＥＲＣは、要求している検査ツールノードに転送され得、そのＥＲＣがローカルの検査ツールノードから削除され得る。代替として、検査ツールノードで保持されているＥＲＣが、その検査ツールノードで格納されているレシピと関連付けられている場合、そのＥＲＣが、要求している検査ツールに転送され得、ＥＲＣのコピーがローカルの検査ツールノードで保持され得る。
前述の説明は光学検査レシピの配信および管理に関して提供されているが、かかるシステムおよび操作は光学検査に関連する任意の数のデータ処理活動に適用され得ることが認識されるであろう。例えば、特定の検査実行の後、検査ツールノードは、その検査に関するデータを生成し得る。前述のＥＲＣと同様に、これら多くの結果は、それらを生成した検査ツールノード上に保持され得る。多くの結果データは、ＥＲＣと同じ方法でプロキシコンポーネントと関連付けられ得る。これらのプロキシコンポーネントは、多くの識別子、レシピ識別子、タイムスタンプ、および同様のものを含み得る。その多くの結果に関連するプロキシコンポーネントの使用は、多くの結果データの識別および配置を容易にして、分析のために、ＲＤＳサーバー１０５によって他の検査ツールノードにルーティングされ得るようにする。
前述の詳細な説明は、ブロック図、流れ図および／または例の使用を通じて、装置および／またはプロセスの様々な実施形態を説明している。かかるブロック図、流れ図および／または例が１つまたは複数の機能および／または操作を含む限りにおいて、かかるブロック図、流れ図または例内の各機能および／または操作は、様々なハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたは実質的にそれらの任意の組合せによって、個別におよび／または全体として、実施できることが当業者によって理解されるであろう。一実施形態では、本明細書に記載される主題のいくつかの部分が、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、または他の統合形式を用いて実施され得る。しかし、当業者は、本明細書で開示される実施形態のいくつかの態様は、全体または一部において、１つまたは複数のコンピュータ上で実行する１つまたは複数のコンピュータプログラムとして（例えば、１つまたは複数のコンピュータシステム上で実行する１つまたは複数のプログラムとして）、１つまたは複数のプロセッサ上で実行する１つまたは複数のプログラムとして（例えば、１つまたは複数のマイクロプロセッサ上で実行する１つまたは複数のプログラムとして）、ファームウェアとして、または実質的にそれらの任意の組合せとして集積回路内で同等に実装できること、ならびに回路の設計および／またはソフトウェアおよびまたはファームウェアに対するコードの記述は、本開示の観点から十分に当業者の技術の範囲内であることを認識するであろう。さらに、当業者は、本明細書に記載される主題の機構が、様々な形式のプログラム製品として配信されることが可能であること、および実際に配信を実行するために使用される媒体を有する特定タイプの信号にかかわらず、本明細書に記載される主題の例示的な実施形態が適用されることを理解されよう。媒体を有する信号の例は、以下を含むがそれらに限定されない：すなわち、フロッピィディスク、ハードディスクドライブ、コンパクトディスク（ＣＤ）、デジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、デジタルテープ、コンピュータメモリなどの記録可能なタイプの媒体；ならびにデジタルおよび／またはアナログ通信媒体（例えば、光ファイバーケーブル、導波管、有線通信リンク、無線通信リンク（例えば、送信器、受信器、送信ロジック、受信ロジックなど）など）などの伝送タイプの媒体。
一般的な意味では、様々なハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、またなそれらの任意の組合せによって、個別におよび／または全体として、実施できる、本明細書に記載される様々な態様は、様々なタイプの「電気回路」から構成されていると見なすことができることを当業者は認識するであろう。それ故に、本明細書では「電気回路」は、少なくとも１つの離散（ｄｉｓｃｒｅｔｅ）電気回路を有する電気回路、少なくとも１つ集積回路を有する電気回路、少なくとも１つの特定用途向け集積回路を有する電気回路、コンピュータプログラムによって構成される汎用コンピューティング装置を形成する電気回路（例えば、本明細書に記載されるプロセスおよび／もしくは装置の少なくとも一部を実行するコンピュータプログラムによって構成される汎用コンピュータ、または本明細書に記載されるプロセスおよび／もしくは装置の少なくとも一部を実行するコンピュータプログラムによって構成されるマイクロプロセッサ）、メモリ装置を形成する電気回路（例えば、ランダムアクセスメモリの形式）、ならびに／または通信装置を形成する電気回路（例えば、モデム、通信スイッチ、または光学電気機器）を含むが、それらに限定されない。当業者は、本明細書に記載される主題は、アナログもしくはデジタル形式またはそれらの何らかの組合せで実施され得ることを認識するであろう。
本明細書に記載される主題は、時々、異なる他のコンポーネント内に含まれているか、またはそれらに接続されている異なるコンポーネントを説明する。かかる示されたアーキテクチャは、例示にすぎないこと、および実際には、同じ機能性を達成する多くの他のアーキテクチャが実施され得ることが理解される。概念的な意味において、所望の機能性が達成されるように、同じ機能性を達成するためのコンポーネントの任意の配置が有効に「結合（ａｓｓｏｃｉａｔｅｄ）」される。従って、特定の機能性を達成するために本明細書において結合された任意の２つのコンポーネントは、アーキテクチャまたは中間コンポーネントにかかわらず、所望の機能性が達成されるように、互いに「関連付けられている」と見なすことができる。同様に、そのように結合された任意の２つのコンポーネントは、所望の機能性を達成するために、互いに「稼働可能に接続されている」、または「稼働可能に結合されている」とも見なすことができ、かつ、そのように結合されることが可能な任意の２つのコンポーネントは、所望の機能性を達成するために、互いに「稼働可能に結合可能」であるとも見なすことができる。稼働可能に結合可能な特定例は、物理的に係合可能な（ｍａｔｅｂｌｅ）および／もしくは物理的に通信するコンポーネント、ならびに／または無線で通信可能なおよび／もしくは無線で通信するコンポーネント、ならびに／または論理的に通信する、および／もしくは論理的に通信可能なコンポーネントを含むが、それらに限定されない。
いくつかの場合には、１つまたは複数のコンポーネントは、本明細書では「〜するように構成された（ｃｏｎｆｉｇｕｒｅｄ ｔｏ）」、「〜するように構成可能な（ｃｏｎｆｉｇｕｒａｂｌｅ ｔｏ）」、「〜するように稼働可能な／稼働する（ｏｐｅｒａｂｌｅ／ｏｐｅｒａｔｉｖｅ ｔｏ）」、「適合された／適合可能な（ａｄａｐｔｅｄ／ａｄａｐｔａｂｌｅ）」、「〜することができる（ａｂｌｅ ｔｏ）」、「〜するために適合可能な／適合された（ｃｏｎｆｏｒｍａｂｌｅ／ｃｏｎｆｏｒｍｅｄ ｔｏ）」などと参照され得る。当業者は、「〜するように構成された」は、コンテキストで別に要求していない限り、通常、アクティブ状態のコンポーネントおよび／または非アクティブ状態のコンポーネントおよび／またはスタンバイ状態のコンポーネントを包含できることを認識するであろう。本明細書に記載される本主題の特定の態様を示しかつ説明してきたが、本明細書の教示に基づいて、本明細書に記載される主題およびそのより広い態様から逸脱することなく、変更および修正が行われ得、従って、添付の特許請求の範囲は、本明細書に記載される主題の本当の精神および範囲内にあるような、かかる変更および修正の全てをそれらの範囲内に包含することが当業者には明らかであろう。一般に、本明細書で使用される用語は、特に添付の特許請求の範囲（例えば、添付の請求項の本文）では、通常、「開いている（ｏｐｅｎ）」用語（例えば、「〜を含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」という用語は、「含むがそれに限定されない（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ ｂｕｔ ｎｏｔ ｌｉｍｉｔｅｄ ｔｏ）」と解釈されるべきであり、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」という用語は、「少なくとも有する（ｈａｖｉｎｇ ａｔ ｌｅａｓｔ）」と解釈されるべきであり、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」という用語は、「含むがそれに限定されない（ｉｎｃｌｕｄｅｓ ｂｕｔ ｉｓ ｎｏｔ ｌｉｍｉｔｅｄ ｔｏ）」と解釈されるべきである、など）として意図されることが当業者によって理解されるであろう。導入された請求項記載の特定数が意図される場合、かかる意図はその請求項に明示的に記載され、かかる記載がなければ、かかる意図は存在しないことが当業者によってさらに理解されるであろう。例えば、理解の補助として、以下の添付の特許請求の範囲は、請求項記載を導入するために、「少なくとも１つの」および「１つまたは複数の」という導入句の使用を含み得る。しかし、かかる句の使用は、不定冠詞「１つの（ａ）」または「１つの（ａｎ）」による請求項記載の導入が、同じ請求項が「１つまたは複数の」または「少なくとも１つの」という導入句および「１つの（ａ）」または「１つの（ａｎ）」などの不定冠詞を含む（例えば、「１つの（ａ）」および／または「１つの（ａｎ）」は、通常、「少なくとも１つの」または「１つまたは複数の」を意味すると解釈されるべきである）場合でさえ、かかる導入された請求項記載を含む任意の特定の請求項を、ただ一つのかかる記載を含む請求項に制限することを意味すると解釈されるべきでなく；請求項記載を導入するために使用された定冠詞の使用についても同じことが言える。さらに、たとえ導入された請求項記載の特定数が明示的に記載されている場合でさえ、当業者は、かかる記載は、通常、少なくとも記載された数を意味する（例えば、「２つの記載」の最小限の記載は、他の修飾語句なしで、通常、少なくとも２つの記載、または２つ以上の記載を意味する）と解釈されるべきであることを認識するであろう。さらに、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つ、など」に類似した記法が使用される状況では、一般に、当業者がその記法を理解するであろう（例えば、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、Ａだけ、Ｂだけ、Ｃだけ、ＡとＢを共に、ＡとＣを共に、ＢとＣを共に、ならびに／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に、などを含むがそれらに限定されないであろう）という意味においてかかる構造が意図される。「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つ、など」に類似した記法が使用される状況では、一般に、当業者がその記法を理解するであろう（例えば、「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、Ａだけ、Ｂだけ、Ｃだけ、ＡとＢを共に、ＡとＣを共に、ＢとＣを共に、ならびに／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に、などを含むがそれらに限定されないであろう）という意味においてかかる構造が意図される。通常、２つ以上の択一的用語を示す離接語および／または離接句は、説明、特許請求の範囲、または図のどこにあっても、用語の１つ、用語のいずれか、または両方の用語を含む可能性を検討するように理解されるべきことが当業者によってさらに理解されるであろう。例えば、「ＡまたはＢ」という句は、通常、「Ａ」または「Ｂ」または「ＡおよびＢ」の可能性を含むと理解されるであろう。
添付の特許請求の範囲に関して、当業者は、本明細書に記載されている操作は一般に任意の順序で実行され得ることが理解されるであろう。また、様々な操作の流れが順番に提示されているが、様々な操作は、示されている以外の順序で実行され得るか、または同時に実行され得ることが理解されるべきである。かかる代替順序付けの例は、コンテキストが別に指示していない限り、重複した、交互の、中断した、再順序付けの、増加した、予備の、補足の、同時の、逆転した、または他の異なる順序付けを含み得る。コンテキストに関して、「〜に応答して（ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ ｔｏ）」、「〜に関連して（ｒｅｌａｔｅｄ ｔｏ）」または他の過去時制の形容詞のような用語さえ、コンテキストが別に指示していない限り、通常、かかる変形を除外することを意図していない。
特許請求の範囲では特定の依存が識別されているが、特許請求の範囲の特徴のすべての可能な組合せが、本出願において予測され、それ故、特許請求の範囲が全ての可能な複数の依存を含むと解釈されることに留意されたい。本開示およびその付随の利点の多くは、前述の説明によって理解されるであろうと考えられ、開示された主題から逸脱することなく、またはその材料の優位性の全てを犠牲にすることなく、様々な変更が、コンポーネントの形式、構成、および配置において行われ得ることが明らかであろう。説明された形式は例示に過ぎず、以下の特許請求の範囲がかかる変更を包含し、含むことが意図される。本開示には、以下の事項が含まれることを付言する。
（１）外部レシピコンポーネント配信のためのシステムであって、
第１の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第１の光学検査ノードと、
第２の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第２の光学検査ノードと、
前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントに関連する少なくとも１つの光学検査対象レシピを保持するデータストアを含むレシピ配信サーバーと、
を備えるシステム。
（２）前記レシピ配信サーバーが、
前記第１の光学検査ノードから前記光学検査対象レシピを採用する光学検査対象の検査を実行する要求を受信し、かつ
前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの前記転送を開始するように構成された、
前記（１）に記載のシステム。
（３）前記少なくとも１つの光学検査対象レシピが、
前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントのうちの少なくとも１つに関連する少なくとも１つのプロキシコンポーネントを含む、
前記（１）に記載のシステム。
（４）前記レシピ配信サーバーが、
前記第２の外部レシピコンポーネントに関連する前記プロキシコンポーネントに従って、前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの前記転送を開始するように構成された、
前記（２）に記載のシステム。

Claims (3)

  1. 外部レシピコンポーネント配信のためのシステムであって、
    第１の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第１の光学検査ノードと、
    第２の外部レシピコンポーネントを保持するデータストアを含む第２の光学検査ノードと、
    前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントに関連する少なくとも１つの光学検査対象レシピを保持するデータストアを含むレシピ配信サーバーと、
    を備え、
    前記レシピ配信サーバーが、
    前記第１の光学検査ノードから前記光学検査対象レシピを採用する光学検査対象の検査を実行する要求を受信し、前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの転送を開始するように構成された、システム。
  2. 前記少なくとも１つの光学検査対象レシピが、
    前記第１の外部レシピコンポーネントおよび前記第２の外部レシピコンポーネントのうちの少なくとも１つに関連する少なくとも１つのプロキシコンポーネントを含む、
    請求項１に記載のシステム。
  3. 前記レシピ配信サーバーが、
    前記第２の外部レシピコンポーネントに関連するプロキシコンポーネントに従って、前記第２の光学検査ノードから前記第１の光学検査ノードへの前記第２の外部レシピコンポーネントの転送を開始するように構成された、
    請求項１に記載のシステム。
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