JP6394317B2

JP6394317B2 - Light irradiation device

Info

Publication number: JP6394317B2
Application number: JP2014236622A
Authority: JP
Inventors: 純藤岡; 弘喜日野; 亮彦田内
Original assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Current assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date: 2014-11-21
Filing date: 2014-11-21
Publication date: 2018-09-26
Anticipated expiration: 2034-11-21
Also published as: JP2016099506A

Description

本発明の実施形態は、光照射装置に関する。 Embodiments of the present invention relates to an optical irradiation equipment.

従来、紫外線による光反応や硬化に使用される光照射装置である紫外線照射装置に関し、紫外線を検出する光センサとして、ケース内に電気回路や紫外線を受光する受光素子を内蔵したものが提供されている。このような光センサにおいては、受光素子の熱が電気回路に影響を与えることや、小型化が難しいこと等の課題があった。そのため、上述の課題を解決するための光センサが提供されている。 Conventionally, regarding an ultraviolet irradiation device which is a light irradiation device used for photoreaction and curing by ultraviolet rays, an optical sensor for detecting ultraviolet rays has been provided with a built-in electric circuit and a light receiving element for receiving ultraviolet rays in a case. Yes. Such an optical sensor has problems such as that the heat of the light receiving element affects the electric circuit and that it is difficult to reduce the size. Therefore, an optical sensor for solving the above-described problems is provided.

ところで、近年、可視光により光反応や硬化を行う光照射装置が提供されており、可視領域の光を検出するニーズが増加している。 By the way, in recent years, a light irradiation apparatus that performs photoreaction and curing with visible light has been provided, and the need to detect light in the visible region is increasing.

特開２００１−２１５１５３号公報JP 2001-215153 A 特開平１０−１６７７５５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-167755

しかしながら、上述のような光センサは紫外線のみを検出し、可視領域の光により光反応や硬化を行う場合には対応できないといった課題がある。 However, the optical sensor as described above has a problem that it can not cope with the case of detecting only ultraviolet rays and performing photoreaction or curing with light in the visible region.

本発明は、可視領域の光を検出する光照射装置を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide an optical irradiation equipment for detecting the light in the visible region.

本実施形態の光照射装置は、光源と、光センサとを具備する。光源は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。光センサは、受光部と、検出部とを具備する。受光部は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。検出部は、受光部から導光される第２の光を検出する。光センサは、光源からの光が照射される位置に設けられる。また、本実施形態の光照射装置は、液晶パネル製造に用いられる。 The light irradiation device of the present embodiment includes a light source and an optical sensor. The light source emits first light having a wavelength of at least 380 to 500 nm. The optical sensor includes a light receiving unit and a detection unit. The light receiving unit includes a phosphor that converts the first light having a wavelength of 380 to 500 nm into the second light having a wavelength of 500 to 600 nm. The detection unit detects the second light guided from the light receiving unit. The optical sensor is provided at a position where light from the light source is irradiated. Moreover, the light irradiation apparatus of this embodiment is used for liquid crystal panel manufacture.

本発明によれば、可視領域の光を検出する光照射装置及び光センサを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the light irradiation apparatus and optical sensor which detect the light of visible region can be provided.

図１は、実施形態に係る光照射装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light irradiation apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る蛍光体の分光感度特性を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating spectral sensitivity characteristics of the phosphor according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a fluorescence spectrum of the phosphor according to the embodiment. 図４は、実施形態に係る光源から放射された光のフィルタ透過後の分光分布を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a spectral distribution after the light transmitted from the light source according to the embodiment is transmitted through the filter. 図５は、実施形態に係る光センサの測定値と照度計の測定値との相関を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a correlation between the measurement value of the optical sensor according to the embodiment and the measurement value of the illuminometer. 図６は、実施形態に係る光照射装置のフィードバック制御のフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart of feedback control of the light irradiation apparatus according to the embodiment. 図７は、従来例に係る蛍光体の分光感度特性を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing spectral sensitivity characteristics of a phosphor according to a conventional example. 図８は、従来例に係る蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a fluorescence spectrum of a phosphor according to a conventional example. 図９は、実施形態の変形例に係る光照射装置の概略構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light irradiation apparatus according to a modification of the embodiment.

以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光源１２と、光センサ３０とを具備する。光源１２は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。光センサ３０は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部３１と、受光部３１から導光される第２の光を検出する検出部３３とを具備する。光センサ３０は、光源１２からの光が照射される位置に設けられる。光照射装置１は、液晶パネル製造に用いられる。 The light irradiation device 1 according to the embodiment described below and the light irradiation device 2 according to the modification include a light source 12 and a light sensor 30. The light source 12 emits first light having a wavelength of at least 380 to 500 nm. The optical sensor 30 detects a light receiving unit 31 including a phosphor that converts first light having a wavelength of 380 to 500 nm into second light having a wavelength of 500 to 600 nm, and second light guided from the light receiving unit 31. And a detecting unit 33. The optical sensor 30 is provided at a position where light from the light source 12 is irradiated. The light irradiation apparatus 1 is used for liquid crystal panel manufacture.

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０の測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する制御部４０をさらに具備する。 In addition, the light irradiation device 1 according to the embodiment described below and the light irradiation device 2 according to the modification control the power supplied to the light source 12 so that the measurement value of the optical sensor 30 becomes a predetermined value. The control unit 40 is further provided.

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置され紫外線を遮断するフィルタ２０をさらに具備する。 Moreover, the light irradiation apparatus 1 according to the embodiment described below and the light irradiation apparatus 2 according to the modification further include a filter 20 that is disposed at a position between the optical sensor 30 and the light source 12 and blocks ultraviolet rays.

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２における、蛍光体の厚みは、０．５〜２．０ｍｍである。 Moreover, the thickness of the fluorescent substance in the light irradiation apparatus 1 which concerns on embodiment described below, and the light irradiation apparatus 2 which concerns on a modification is 0.5-2.0 mm.

また、以下で説明する変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０から分岐して、受光部３１から導光された第２の光を検知する光検知部３５をさらに具備する。 In addition, the light irradiation device 2 according to the modification described below further includes a light detection unit 35 that detects the second light branched from the optical sensor 30 and guided from the light receiving unit 31.

また、以下で説明する実施形態及び変形例に係る光センサ３０は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部３１と、受光部３１から導光される第２の光を検出する検出部３３とを具備する。 In addition, the optical sensor 30 according to the embodiment and the modification described below includes a light receiving unit 31 including a phosphor that converts first light with a wavelength of 380 to 500 nm into second light with a wavelength of 500 to 600 nm, And a detection unit 33 that detects the second light guided from the unit 31.

［実施形態］
まず、本発明の実施形態に係る光照射装置１を図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係る光照射装置１の概略構成を示す図である。 [Embodiment]
First, the light irradiation apparatus 1 which concerns on embodiment of this invention is demonstrated based on drawing. FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light irradiation apparatus 1 according to the embodiment.

本実施形態に係る光照射装置１は、例えば液晶パネルなどの被照射物５０に可視領域の光を照射する。具体的には、光照射装置１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を被照射物５０に照射する光照射装置である。図１に示すように、光照射装置１は、照明器具１０と、フィルタ２０と、光センサ３０と、制御部４０とを有する。 The light irradiation apparatus 1 according to the present embodiment irradiates an object 50 such as a liquid crystal panel with light in the visible region. Specifically, the light irradiation apparatus 1 is a light irradiation apparatus that irradiates the irradiated object 50 with first light having a wavelength of 380 to 500 nm. As shown in FIG. 1, the light irradiation device 1 includes a lighting fixture 10, a filter 20, an optical sensor 30, and a control unit 40.

照明器具１０は、器具本体１１と、光源１２とを有する。照明器具１０に対して、照明器具１０から光が照射される位置に被照射物５０が配置される。図１に示す例において、被照射物５０は、照明器具１０の下方に配置される。器具本体１１には、光源１２が取り付けられる。また、器具本体１１は、例えば、光源１２を点灯させる点灯装置（図示省略）を収納する。 The lighting fixture 10 includes a fixture body 11 and a light source 12. The irradiated object 50 is arranged at a position where light is emitted from the lighting fixture 10 with respect to the lighting fixture 10. In the example illustrated in FIG. 1, the irradiated object 50 is disposed below the lighting fixture 10. A light source 12 is attached to the instrument body 11. Moreover, the instrument main body 11 accommodates the lighting device (illustration omitted) which lights the light source 12, for example.

光源１２は、器具本体１１に収納された点灯装置から供給される電力により点灯し、可視領域の光を放射する。図１に示す例において、光源１２は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。例えば、光源１２には、波長４００〜４２０ｎｍを主波長とするガリウムを主成分としたメタルハライドランプが用いられる。なお、光源１２は、ガリウムを主成分としたメタルハライドランプに限定されない。例えば、水銀を含む水銀ランプであってもよいし、ガリウムの代わりに鉄やタリウムを主成分としたメタルハライドランプであってもよい。要は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの可視領域の第１の光を放射する光源であれば、蛍光ランプやＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）等、どのような光源であってもよい。 The light source 12 is turned on by the power supplied from the lighting device housed in the instrument body 11 and emits light in the visible region. In the example shown in FIG. 1, the light source 12 emits first light having a wavelength of at least 380 to 500 nm. For example, the light source 12 is a metal halide lamp mainly composed of gallium having a wavelength of 400 to 420 nm. The light source 12 is not limited to a metal halide lamp mainly composed of gallium. For example, a mercury lamp containing mercury or a metal halide lamp mainly composed of iron or thallium instead of gallium may be used. In short, any light source such as a fluorescent lamp or an LED (Light Emitting Diode) may be used as long as the light source emits first light in the visible region having a wavelength of 380 to 500 nm.

フィルタ２０は、紫外線を遮断する。例えば、フィルタ２０は、波長３８０ｎｍ以下の光を遮断する。なお、フィルタ２０は、紫外線を反射する材料、例えば、酸化ケイ素や酸化チタンなどを含有してもよい。図１に示す例において、フィルタ２０は、照明器具１０と被照射物５０との間に配置される。具体的には、フィルタ２０は、光源１２から被照射物５０へ照射される光が通過する位置に配置される。これにより、光照射装置１は、被照射物５０へ紫外線が照射されることを抑制できる。例えば、被照射物５０が液晶パネルである場合、波長３８０ｎｍ以下の光が液晶パネルに照射されると配向膜が劣化するおそれがあるが、フィルタ２０が波長３８０ｎｍ以下の光を遮断することにより、液晶パネルの酸化膜の劣化を抑制することができる。なお、フィルタ２０は、酸化ケイ素や酸化チタンなどの紫外線を反射する材料に限定されず、紫外線を吸収する材料で構成されてもよい。 The filter 20 blocks ultraviolet rays. For example, the filter 20 blocks light having a wavelength of 380 nm or less. The filter 20 may contain a material that reflects ultraviolet rays, such as silicon oxide or titanium oxide. In the example illustrated in FIG. 1, the filter 20 is disposed between the lighting fixture 10 and the irradiation object 50. Specifically, the filter 20 is disposed at a position where light irradiated from the light source 12 to the irradiation object 50 passes. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can suppress that the irradiation object 50 is irradiated with ultraviolet rays. For example, when the irradiated object 50 is a liquid crystal panel, the alignment film may deteriorate when the liquid crystal panel is irradiated with light having a wavelength of 380 nm or less, but the filter 20 blocks light having a wavelength of 380 nm or less. Degradation of the oxide film of the liquid crystal panel can be suppressed. The filter 20 is not limited to a material that reflects ultraviolet rays, such as silicon oxide or titanium oxide, but may be made of a material that absorbs ultraviolet rays.

光センサ３０は、受光部３１と、ファイバ３２と、検出部３３と、アンプ３４とを有する。 The optical sensor 30 includes a light receiving unit 31, a fiber 32, a detection unit 33, and an amplifier 34.

受光部３１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。具体的には、受光部３１は、棒状に形成された透光性部材３１１と、透光性部材３１１の外表面に設けられた蛍光部材３１２とを有する。透光性部材３１１には、例えば、透明石英ガラスが用いられる。図１に示す例においては、石英ガラスで形成された透光性部材３１１の周りに、蛍光体とシリコーン樹脂を含む蛍光部材３１２が、厚み０．５〜２ｍｍで固めて取り付けられる。 The light receiving unit 31 includes a phosphor that converts the first light having a wavelength of 380 to 500 nm into the second light having a wavelength of 500 to 600 nm. Specifically, the light receiving unit 31 includes a translucent member 311 formed in a rod shape, and a fluorescent member 312 provided on the outer surface of the translucent member 311. For the translucent member 311, for example, transparent quartz glass is used. In the example shown in FIG. 1, a fluorescent member 312 containing a phosphor and a silicone resin is fixedly attached with a thickness of 0.5 to 2 mm around a translucent member 311 formed of quartz glass.

蛍光部材３１２は、透光性部材３１１の長手方向の一端部を含む外表面を覆うように設けられる。また、蛍光部材３１２は、例えば波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体とシリコーン樹脂とが混合され、成型されることにより形成される。蛍光体としては、例えば、ユーロピウム付活アルカリ土類金属シリケート（（Ｓｒ，Ｂａ）_２ＳｉＯ_４：Ｅｕ）やユーロピウム付活ストロンチウム・バリウム・オルソシリケート（(Ｓｒ，Ｂａ，Ｍｇ)_２ＳｉＯ_４：Ｅｕ，Ｍｎ）等を主成分とした蛍光体が用いられる。なお、蛍光体としては、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体であれば、どのような蛍光体であってもよい。また、シリコーン樹脂としては、シリコーン混合物などが用いられる。図１に示す例において、シリコーン樹脂には、例えば信越シリコーン製KER-2000や信越シリコーン製CAT-MEが用いられる。 The fluorescent member 312 is provided so as to cover the outer surface including one end of the translucent member 311 in the longitudinal direction. The fluorescent member 312 is formed, for example, by mixing and molding a phosphor that converts first light having a wavelength of 380 to 500 nm into second light having a wavelength of 500 to 600 nm and a silicone resin. Examples of the phosphor include europium-activated alkaline earth metal silicate ((Sr, Ba) ₂ SiO ₄ : Eu) and europium-activated strontium barium orthosilicate ((Sr, Ba, Mg) ₂ SiO ₄ : Eu. , Mn) or the like as a main component is used. The phosphor may be any phosphor as long as the phosphor converts the first light having a wavelength of 380 to 500 nm into the second light having a wavelength of 500 to 600 nm. Moreover, a silicone mixture etc. are used as a silicone resin. In the example shown in FIG. 1, for example, Shin-Etsu silicone KER-2000 or Shin-Etsu silicone CAT-ME is used as the silicone resin.

ここで、蛍光部材３１２の厚みは０．５〜２ｍｍであることが望ましい。蛍光部材３１２の厚みが０．５ｍｍ未満であると、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体が波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を効率よく波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させることができず、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光が直接アンプ３３に到達してしまい、アンプ３３が劣化するため、望ましくない。一方、蛍光部材３１２の厚みが２ｍｍよりも大きくなると、透光性部材３１１の外表面に蛍光部材３１２を設ける際に蛍光部材３１２を固める工程で時間がかかってしまうため、好ましくない。また、蛍光部材３１２の厚みが２ｍｍよりも大きくなると、蛍光部材３１２の厚みが増すことで、蛍光部材３１２により変換された波長５００〜６００ｎｍの第２の光が蛍光体自身により減衰してしまい、アンプ３３に到達するまでに所望の光強度を維持できなくなるため、好ましくない。よって、蛍光部材３１２の厚みは０．５〜２ｍｍであることが望ましい。 Here, the thickness of the fluorescent member 312 is desirably 0.5 to 2 mm. When the thickness of the fluorescent member 312 is less than 0.5 mm, the phosphor contained in the fluorescent member 312 can efficiently convert the first light having a wavelength of 380 to 500 nm into the second light having a wavelength of 500 to 600 nm. First, the first light having a wavelength of 380 to 500 nm directly reaches the amplifier 33 and the amplifier 33 deteriorates, which is not desirable. On the other hand, if the thickness of the fluorescent member 312 is greater than 2 mm, it is not preferable because it takes time to harden the fluorescent member 312 when the fluorescent member 312 is provided on the outer surface of the translucent member 311. In addition, when the thickness of the fluorescent member 312 is larger than 2 mm, the second light having a wavelength of 500 to 600 nm converted by the fluorescent member 312 is attenuated by the fluorescent substance 312 due to an increase in the thickness of the fluorescent member 312. Since the desired light intensity cannot be maintained before reaching the amplifier 33, it is not preferable. Therefore, the thickness of the fluorescent member 312 is desirably 0.5 to 2 mm.

受光部３１の透光性部材３１１において、蛍光部材３１２に覆われた一端部とは反対側の他端部には、細長い線状のファイバ３２の一端部が接続される。例えば、受光部３１の透光性部材３１１とファイバ３２とは、ヘッドユニット（図示省略）を介して接続される。ファイバ３２は、受光部３１により変換された波長５００〜６００ｎｍの第２の光を検出部３３へ導光する。ファイバ３２は、光透過率が高い材料、例えば、石英ガラスやプラスチック等で形成される。また、ファイバ３２の受光部３１と接続された一端部とは反対側の他端部は、検出部３３に接続される。ここに、受光部３１により受光された光源１２からの光は、蛍光部材３１２により波長変換された後、透光性部材３１１に接続されたファイバ３２へ入射する。ファイバ３２へ入射した光は、ファイバ３２内を通り、検出部３３まで到達する。なお、ファイバ３２は、光透過率が高い材料であれば、どのような材料を用いてもよい。 In the translucent member 311 of the light receiving unit 31, one end of an elongated linear fiber 32 is connected to the other end opposite to the one end covered with the fluorescent member 312. For example, the translucent member 311 of the light receiving unit 31 and the fiber 32 are connected via a head unit (not shown). The fiber 32 guides the second light having a wavelength of 500 to 600 nm converted by the light receiving unit 31 to the detection unit 33. The fiber 32 is made of a material having a high light transmittance, such as quartz glass or plastic. The other end of the fiber 32 opposite to the one end connected to the light receiving unit 31 is connected to the detection unit 33. Here, the light from the light source 12 received by the light receiving unit 31 undergoes wavelength conversion by the fluorescent member 312 and then enters the fiber 32 connected to the translucent member 311. Light incident on the fiber 32 passes through the fiber 32 and reaches the detection unit 33. The fiber 32 may be made of any material as long as it has a high light transmittance.

検出部３３は、受光部３１により受光された光を検出する。具体的には、検出部３３は、受光部３１により受光され、ファイバ３２を介して到達した光を検出する。検出部３３には、例えば、フォトダイオードなどの受光素子が用いられる。なお、図１に示す例において、検出部３３の感度波長は、例えば５５０ｎｍ周辺である。また、検出部３３には、ピーク感度が５００〜６００ｎｍ付近である受光素子を用いることが好ましい。これにより、検出部３３のピーク感度には、人間の比視感度曲線において最も感度よく光を感じる波長である５５０ｎｍが含まれる。このように、検出部３３のピーク感度を波長５５０ｎｍから±５０ｎｍ程度、具体的には５００〜６００ｎｍ付近とすることにより、人間の目で光の強弱を判断することができる。これにより、光フィードバック系に不具合が生じて光量が判定できない場合であっても、例えば人間の目で光の強弱と光センサ３０の測定値とを比較することにより、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。具体的には、光センサ３０のファイバ３２の他端部を検出部３３から取り外し、ファイバ３２の他端部を直接目視することにより、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。なお、検出部３３に波長が３８０ｎｍ以下の紫外線が到達しないように、検出部３３の前に紫外線をカットする紫外線カットフィルタを有していてもよい。 The detection unit 33 detects the light received by the light receiving unit 31. Specifically, the detection unit 33 detects light received by the light receiving unit 31 and reaching via the fiber 32. For the detection unit 33, for example, a light receiving element such as a photodiode is used. In the example shown in FIG. 1, the sensitivity wavelength of the detection unit 33 is, for example, around 550 nm. In addition, it is preferable to use a light receiving element having a peak sensitivity of about 500 to 600 nm for the detection unit 33. As a result, the peak sensitivity of the detection unit 33 includes 550 nm, which is the wavelength at which light is most sensitively sensed in the human relative visibility curve. Thus, by setting the peak sensitivity of the detection unit 33 to a wavelength of about 550 nm to about ± 50 nm, specifically around 500 to 600 nm, it is possible to determine the intensity of light with human eyes. As a result, even if a failure occurs in the optical feedback system and the amount of light cannot be determined, for example, by comparing the intensity of light with the measured value of the optical sensor 30 with the human eye, It can be determined whether or not the sensor 30 is used. Specifically, by removing the other end of the fiber 32 of the optical sensor 30 from the detection unit 33 and directly observing the other end of the fiber 32, it is determined whether or not the malfunction of the optical feedback system is due to the optical sensor 30. Can be determined. In addition, you may have the ultraviolet cut filter which cuts an ultraviolet-ray in front of the detection part 33 so that the ultraviolet-ray with a wavelength of 380 nm or less may not reach the detection part 33. FIG.

また、図１に示す例において、検出部３３は、アンプ３４内に設けられる。アンプ３４は、検出部３３で検出した光の測定値を増幅する。また、アンプ３４は、増幅した測定値を制御部４０へ送信する。 In the example illustrated in FIG. 1, the detection unit 33 is provided in the amplifier 34. The amplifier 34 amplifies the light measurement value detected by the detection unit 33. In addition, the amplifier 34 transmits the amplified measurement value to the control unit 40.

また、光センサ３０は、光源１２からの光が照射される位置に設けられる。具体的には、光センサ３０は、受光部３１に光源１２からの光が照射されるように配置される。図１に示す例において、光センサ３０の受光部３１は、フィルタ２０と被照射物５０との間に設置される。なお、光センサ３０は、光源１２からの光が受光部３１に照射される位置であればどのように配置されてもよい。例えば、図１に示す例において、光センサ３０の受光部３１は、光源１２の上方や側方に配置されてもよい。 Further, the optical sensor 30 is provided at a position where the light from the light source 12 is irradiated. Specifically, the optical sensor 30 is disposed so that the light receiving unit 31 is irradiated with light from the light source 12. In the example shown in FIG. 1, the light receiving unit 31 of the optical sensor 30 is installed between the filter 20 and the irradiated object 50. The optical sensor 30 may be arranged in any way as long as the light from the light source 12 is irradiated onto the light receiving unit 31. For example, in the example illustrated in FIG. 1, the light receiving unit 31 of the optical sensor 30 may be disposed above or on the side of the light source 12.

図１に示すように、光センサ３０の受光部３１と光源１２との間には、フィルタ２０が配置されることが好適である。言い換えると、フィルタ２０は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置されることが好適である。具体的には、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した光が、受光部３１の蛍光部材３１２に照射されるように、光センサ３０の受光部３１、光源１２、及びフィルタ２０を配置することが好適である。このように、光センサ３０の受光部３１、光源１２、及びフィルタ２０を配置することにより、波長３８０ｎｍ以下の光が受光部３１へ照射されることを抑制できる。これにより、波長３８０ｎｍ以下の光による受光部３１の劣化や光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。 As shown in FIG. 1, the filter 20 is preferably disposed between the light receiving unit 31 of the optical sensor 30 and the light source 12. In other words, the filter 20 is preferably disposed at a position between the optical sensor 30 and the light source 12. Specifically, the light receiving unit 31 of the optical sensor 30, the light source 12, and the filter 20 are arranged so that the light emitted from the light source 12 and transmitted through the filter 20 is irradiated to the fluorescent member 312 of the light receiving unit 31. Is preferred. As described above, by arranging the light receiving unit 31, the light source 12, and the filter 20 of the optical sensor 30, it is possible to suppress the light receiving unit 31 from being irradiated with light having a wavelength of 380 nm or less. Thereby, the influence which it has on the measured value of degradation of the light-receiving part 31 by the wavelength of 380 nm or less and the optical sensor 30 can be suppressed.

ここで、図２〜図４を用いて、光照射装置１に係る光の波長について説明する。図２は、受光部３１の蛍光部材３１２に含まれる蛍光体の分光感度特性を示す図である。図２に示すように、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長２５０〜５００ｎｍ付近が励起波長であり、波長４００〜４７０ｎｍ付近に感度のピークを有している。 Here, the wavelength of the light which concerns on the light irradiation apparatus 1 is demonstrated using FIGS. FIG. 2 is a diagram illustrating the spectral sensitivity characteristics of the phosphors included in the fluorescent member 312 of the light receiving unit 31. As shown in FIG. 2, the phosphor included in the fluorescent member 312 has an excitation wavelength near the wavelength of 250 to 500 nm, and has a sensitivity peak near the wavelength of 400 to 470 nm.

また、図３は、受光部３１の蛍光部材３１２に含まれる蛍光体により励起された光の蛍光スペクトルを示す図である。図３に示すように、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長５００〜７００ｎｍ付近の光を放射し、波長５００〜６００ｎｍ付近に高い強度を有する蛍光スペクトルを示す。つまり、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長４００〜４７０ｎｍ付近に高い感度を有し、波長２５０〜５００ｎｍ付近の光を波長５００〜７００ｎｍ付近の光に変換する。図１に示す例において、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した波長３８０〜５００ｎｍの光を、波長５００〜６００ｎｍを主波長とする波長５００〜７００ｎｍ付近の光に変換する。 FIG. 3 is a diagram illustrating a fluorescence spectrum of light excited by a phosphor included in the fluorescent member 312 of the light receiving unit 31. As shown in FIG. 3, the phosphor included in the fluorescent member 312 emits light having a wavelength in the vicinity of 500 to 700 nm and exhibits a fluorescence spectrum having high intensity in the vicinity of the wavelength of 500 to 600 nm. That is, the phosphor included in the fluorescent member 312 has high sensitivity in the vicinity of a wavelength of 400 to 470 nm, and converts light in the vicinity of a wavelength of 250 to 500 nm into light in the vicinity of a wavelength of 500 to 700 nm. In the example shown in FIG. 1, the phosphor included in the fluorescent member 312 has a wavelength of 380 to 500 nm emitted from the light source 12 and transmitted through the filter 20, and has a wavelength of about 500 to 700 nm with a wavelength of 500 to 600 nm as a main wavelength. Convert to light.

また、図４は、光源１２から放射された光のフィルタ２０透過後の分光分布を示す図である。図４に示すように、光源１２に例えば波長４００〜４２０ｎｍを主波長とするガリウムを主成分としたメタルハライドランプを用いた場合、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した光は、波長４００〜４５０ｎｍ付近の光であり、波長４２０ｎｍ付近で最も高い強度を有する。また、３８０ｎｍ以下の光は、フィルタ２０により遮断されるため、強度は略０となる。 FIG. 4 is a diagram showing the spectral distribution of the light emitted from the light source 12 after passing through the filter 20. As shown in FIG. 4, when a metal halide lamp mainly composed of gallium having a wavelength of 400 to 420 nm as a main wavelength is used as the light source 12, light emitted from the light source 12 and transmitted through the filter 20 has a wavelength of 400 to 450 nm. It is near light and has the highest intensity around a wavelength of 420 nm. In addition, since the light of 380 nm or less is blocked by the filter 20, the intensity is substantially zero.

ここに、光照射装置１において、図４に示すような波長４００〜４５０ｎｍ付近の光が、図２に示すような波長４００〜４７０ｎｍ付近に感度のピークを有する蛍光体に照射されることにより、図３に示すような波長５００〜７００ｎｍの光に変換される。つまり、光照射装置１は、波長４００〜４５０ｎｍ付近の可視光を、波長５００〜７００ｎｍの可視光に変換することにより、受光部３１により受光された光を感度波長が５５０ｎｍ周辺の受光素子である検出部３３を用いて検出する。これにより、光照射装置１は、可視領域の光を検出することができる。 Here, in the light irradiation device 1, light having a wavelength in the vicinity of a wavelength of 400 to 450 nm as shown in FIG. 4 is irradiated to a phosphor having a sensitivity peak in the vicinity of a wavelength of 400 to 470 nm as shown in FIG. It is converted into light having a wavelength of 500 to 700 nm as shown in FIG. That is, the light irradiation device 1 is a light receiving element having a sensitivity wavelength of around 550 nm for light received by the light receiving unit 31 by converting visible light having a wavelength of about 400 to 450 nm into visible light having a wavelength of 500 to 700 nm. Detection is performed using the detection unit 33. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can detect the light of a visible region.

ここで、図７及び図８を用いて、従来の光照射装置に係る光の波長について説明する。図７は、従来の光センサで用いられていた蛍光体の分光感度特性を示す図である。図７に示すように、従来の光センサで用いられていた蛍光体は、波長２５０〜３８０ｎｍが励起波長であり、波長２５０〜３２０ｎｍ付近に感度のピークを有している。また、図８は、従来の光センサで用いられていた蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。図８に示すように、従来の光センサで用いられていた蛍光体は、波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光を放射し、波長５５０ｎｍ付近に最も高い強度を有する蛍光スペクトルを示す。つまり、従来の光センサで用いられていた蛍光体では、波長２５０〜３８０ｎｍの光であれば波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光に変換する。一方で、従来の光センサで用いられていた蛍光体では、３８０ｎｍよりも長い波長の光、すなわち可視領域の光は、波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光に変換することができない。したがって、可視領域の光を放射する光源を用いた場合、従来の光センサでは正しく測定することはできない。このように、従来の光センサを用いた光照射装置では、光源から放射される光が可視領域の光である場合、光源から放射される光を正しく測定することはできない。 Here, the wavelength of light according to the conventional light irradiation apparatus will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a diagram showing the spectral sensitivity characteristics of a phosphor used in a conventional optical sensor. As shown in FIG. 7, the phosphor used in the conventional optical sensor has an excitation wavelength of 250 to 380 nm, and has a sensitivity peak in the vicinity of the wavelength of 250 to 320 nm. Moreover, FIG. 8 is a figure which shows the fluorescence spectrum of the fluorescent substance used with the conventional optical sensor. As shown in FIG. 8, the phosphor used in the conventional photosensor emits light having a wavelength of about 480 to 630 nm, and exhibits a fluorescence spectrum having the highest intensity near the wavelength of 550 nm. That is, in a phosphor used in a conventional optical sensor, light having a wavelength of 250 to 380 nm is converted into light having a wavelength of about 480 to 630 nm. On the other hand, in a phosphor used in a conventional optical sensor, light having a wavelength longer than 380 nm, that is, light in the visible region cannot be converted into light having a wavelength of about 480 to 630 nm. Therefore, when a light source that emits light in the visible region is used, the conventional optical sensor cannot measure correctly. Thus, in the light irradiation apparatus using the conventional optical sensor, when the light emitted from the light source is light in the visible region, the light emitted from the light source cannot be measured correctly.

図１の光照射装置１の説明に戻って、制御部４０は、光センサ３０の測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する。例えば、制御部４０は、光センサ３０の検出部３３が検出しアンプ３４により増幅された測定値に基づいて、光源１２に供給される電力を制御する。光照射装置１は、制御部４０により光源１２に供給される電力を制御することにより、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御する。つまり、光照射装置１は、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度が所望の値になるようにフィードバック制御を行う。 Returning to the description of the light irradiation device 1 in FIG. 1, the control unit 40 controls the power supplied to the light source 12 so that the measurement value of the optical sensor 30 becomes a predetermined value. For example, the control unit 40 controls the power supplied to the light source 12 based on the measurement value detected by the detection unit 33 of the optical sensor 30 and amplified by the amplifier 34. The light irradiation apparatus 1 controls the light supplied from the light source 12 to the irradiation object 50 to a desired intensity by controlling the power supplied to the light source 12 by the control unit 40. That is, the light irradiation apparatus 1 performs feedback control based on the measurement value obtained by the optical sensor 30 so that the illuminance of the irradiation object 50 becomes a desired value.

例えば、制御部４０は、アンプ３４から取得した値に基づいて、光センサ３０により測定される光量が所定の値（以下、「規定値」とする）と一致するように光源１２を調光制御する。具体的には、制御部４０は、照明器具１０に送信する調光信号が示す光源１２の調光レベルを、アンプ３４から取得した値に基づいて、光センサ３０により測定される光量が規定値と一致する調光レベルに設定する。例えば、器具本体１１に収納された点灯装置は、光源１２の調光レベルが、受信した調光信号が示す調光レベルとなるように光源１２を調光することで、光センサ３０により測定される光量が規定値と一致するようにフィードバック制御される。なお、規定値はどのような値に設定されてもよい。 For example, based on the value acquired from the amplifier 34, the control unit 40 performs dimming control on the light source 12 so that the amount of light measured by the optical sensor 30 matches a predetermined value (hereinafter referred to as “specified value”). To do. Specifically, the control unit 40 determines the light amount measured by the optical sensor 30 based on the value obtained from the amplifier 34 for the dimming level of the light source 12 indicated by the dimming signal transmitted to the luminaire 10. Set the dimming level to match. For example, the lighting device housed in the fixture body 11 is measured by the optical sensor 30 by dimming the light source 12 so that the dimming level of the light source 12 becomes the dimming level indicated by the received dimming signal. The feedback control is performed so that the amount of light to coincide with the specified value. The specified value may be set to any value.

ここで、図５を用いて、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度を所望の値にするフィードバック制御について説明する。図５は、光センサ３０の測定値と照度計の測定値との相関を示す図である。本実施形態では、測定を行う際に被照射物５０の光源１２に臨む一面に照度計を配置し、被照射物５０の光源１２に臨む一面における照度を測定した。なお、照度計は、測定を行う際にのみ被照射物５０の光源１２に臨む一面に配置され、例えば測定が終了した後に光照射装置１の使用する際等には配置されない。また、本実施形態における照度計としては、紫外線積算光量計ＵＩＴ−２５０（ウシオ電機製）と紫外線積算光量計用受光器ＵＶＤ−Ｓ４０５（ウシオ電機製）とを用いた。 Here, feedback control for setting the illuminance of the irradiated object 50 to a desired value based on the measurement value obtained by the optical sensor 30 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a diagram showing the correlation between the measured value of the optical sensor 30 and the measured value of the illuminometer. In this embodiment, when performing the measurement, an illuminance meter is disposed on the surface facing the light source 12 of the irradiation object 50, and the illuminance on the surface facing the light source 12 of the irradiation object 50 is measured. Note that the illuminance meter is disposed on one surface facing the light source 12 of the irradiation object 50 only when measurement is performed, and is not disposed, for example, when the light irradiation apparatus 1 is used after the measurement is completed. Further, as the illuminance meter in the present embodiment, an ultraviolet integrated light meter UIT-250 (manufactured by Ushio Inc.) and a UV integrated light meter receiver UVD-S405 (manufactured by Ushio Electric) were used.

図５に示すように、光センサ３０の測定値と照度計の測定値とには相関があるという結果が得られた。図５は、所定の電力、例えば最大供給電力の５０％が供給された光源１２から放射された光を光センサ３０及び照度計が測定した値（以下、「基準値」とする）を１００％とした場合を示す。また、図５は、光源１２に供給する電力を所定の電力から低下させた場合における光センサ３０及び照度計が測定した値の基準値に対する割合（％）を示す。例えば、照度計の測定値が６０％まで低下したとき、光センサ３０の測定値は５８％程度まで低下することを示す。このような、相関を示す光センサ３０の測定値と照度計の測定値とは、光センサ３０の測定値の割合をｙ軸、照度計の測定値の割合をｘ軸とした場合、以下の式（１）のような回帰式として示される。 As shown in FIG. 5, the result that there was a correlation between the measured value of the optical sensor 30 and the measured value of the illuminometer was obtained. FIG. 5 shows a value (hereinafter referred to as “reference value”) obtained by measuring the light emitted from the light source 12 supplied with predetermined power, for example, 50% of the maximum supply power, by the optical sensor 30 and the illuminometer. Shows the case. FIG. 5 shows the ratio (%) of the values measured by the optical sensor 30 and the illuminometer to the reference value when the power supplied to the light source 12 is reduced from the predetermined power. For example, when the measured value of the illuminometer is reduced to 60%, the measured value of the optical sensor 30 is reduced to about 58%. The measured value of the optical sensor 30 and the measured value of the illuminometer that indicate the correlation are as follows when the ratio of the measured value of the optical sensor 30 is the y axis and the ratio of the measured value of the illuminometer is the x axis: It is shown as a regression equation such as equation (1).

ｙ＝１．０５１８ｘ−４．９４３・・・（１） y = 1.0518x−4.943 (1)

また、図５に示す例において、相関係数Ｒを２乗したＲ^２（いわゆる、決定係数）の値は、０．９９９７となるという結果が得られた。つまり、図５に示す例においては、光センサ３０の測定値と照度計の測定値とには、強い相関があることが示された。そのため、制御部４０は、上記の式（１）に基づいて、光源１２へ供給する電力を制御することにより、被照射物５０へ照射される光の照度を制御する。例えば、制御部４０は、被照射物５０の照度を６０％まで低下させる場合、光センサ３０の測定値の基準値に対する割合が５８．１６５（＝１．０５１８×６０−４．９４３）％に低下するまで光源１２に供給する電力を低下させる。これにより、光照射装置１は、光センサ３０の測定値に基づいて、被照射物５０へ照射される光の照度を制御することができる。 Further, in the example shown in FIG. 5, the result that the value of R ² (so-called determination coefficient) obtained by squaring the correlation coefficient R is 0.9997 was obtained. That is, in the example shown in FIG. 5, it was shown that there is a strong correlation between the measured value of the optical sensor 30 and the measured value of the illuminometer. Therefore, the control part 40 controls the illumination intensity of the light irradiated to the to-be-irradiated object 50 by controlling the electric power supplied to the light source 12 based on said Formula (1). For example, when the control unit 40 reduces the illuminance of the irradiation object 50 to 60%, the ratio of the measurement value of the optical sensor 30 to the reference value is 58.165 (= 1.0518 × 60−4.943)%. The electric power supplied to the light source 12 is reduced until it decreases. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can control the illumination intensity of the light irradiated to the irradiated object 50 based on the measured value of the optical sensor 30.

次に、図６を用いて、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度を所望の値にするフィードバック制御のフローについて説明する。図６は、光照射装置１のフィードバック制御のフローチャートである。まず、光照射装置１の光センサ３０が、光源１２から照射される光の光量を測定する（ステップｓ１）。そして、光照射装置１の制御部４０は、光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達したかどうかを判定する（ステップｓ２）。光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達した場合（ステップｓ２：ＹＥＳ）、光照射装置１はフィードバック制御を終了する。 Next, a flow of feedback control for setting the illuminance of the irradiated object 50 to a desired value based on the measurement value by the optical sensor 30 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a flowchart of feedback control of the light irradiation apparatus 1. First, the optical sensor 30 of the light irradiation device 1 measures the amount of light emitted from the light source 12 (step s1). And the control part 40 of the light irradiation apparatus 1 determines whether the light quantity measured by the optical sensor 30 reached the regulation value (step s2). When the light quantity measured by the optical sensor 30 reaches the specified value (step s2: YES), the light irradiation device 1 ends the feedback control.

光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達していない場合（ステップｓ２：ＮＯ）、制御部４０は、例えば照明器具１０の点灯回路に調光信号を送信することにより電源を制御し、光源１２に供給する電力を増大させる（ステップｓ３）。そして、光照射装置１は、光センサ３０により測定された光量が規定値に到達するまで（ステップｓ２：ＹＥＳ）、ステップｓ１〜ｓ３を繰り返す。これにより、光照射装置１は、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御することができる。なお、光照射装置１は、光源１２に電力が供給されている間、常時フィードバック制御を行ってもよいし、所定の間隔でフィードバック制御を行ってもよい。 When the light quantity measured by the optical sensor 30 has not reached the specified value (step s2: NO), the control unit 40 controls the power source by transmitting a dimming signal to the lighting circuit of the lighting fixture 10, for example. The power supplied to the light source 12 is increased (step s3). And the light irradiation apparatus 1 repeats step s1-s3 until the light quantity measured by the optical sensor 30 reaches a regulation value (step s2: YES). Thereby, the light irradiation apparatus 1 can control the light irradiated from the light source 12 to the irradiated object 50 to a desired intensity. The light irradiation device 1 may perform feedback control at all times while power is supplied to the light source 12, or may perform feedback control at a predetermined interval.

（変形例）
実施形態の変形例に係る光照射装置２を図面に基いて説明する。図９は、変形例に係る光照射装置２の概略構成を示す図である。なお、実施形態と同様の構成については、実施形態と同じ符号を付し、説明を省略する。 (Modification)
The light irradiation apparatus 2 which concerns on the modification of embodiment is demonstrated based on drawing. FIG. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light irradiation device 2 according to a modification. In addition, about the structure similar to embodiment, the code | symbol same as embodiment is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

変形例に係る光照射装置２は、光検知部３５を有する。 The light irradiation device 2 according to the modification includes a light detection unit 35.

光検知部３５は、光センサ３０から分岐して、受光部３１から導光された第２の光を検出する。なおここでいう「検出」とは、「検知」とは異なり、例えば人間の目で光の強弱を判断することを指す。光検知部３５は、例えば光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別するために設けられる。光検知部３５は、例えば、ファイバ３２の導光経路を分岐させる枝形状の分岐部材により設けられる。光検知部３５は、第２の光を透過する石英ガラスやプラスチックなどの部材で構成される。なお、光検知部３５は上記に限定されず、例えば、ファイバ３２を予め複数設けておき、その内の一つを光検知部３５として設けてもよい。要は、光検知部３５を設ける手段は限定されない。 The light detection unit 35 detects the second light branched from the optical sensor 30 and guided from the light receiving unit 31. Note that “detection” here is different from “detection” and refers to, for example, determining the intensity of light with the human eye. The light detection unit 35 is provided, for example, for determining whether or not the malfunction of the optical feedback system is caused by the optical sensor 30. The light detection unit 35 is provided by, for example, a branch-shaped branch member that branches the light guide path of the fiber 32. The light detection unit 35 is configured by a member such as quartz glass or plastic that transmits the second light. Note that the light detection unit 35 is not limited to the above. For example, a plurality of fibers 32 may be provided in advance, and one of them may be provided as the light detection unit 35. In short, the means for providing the light detector 35 is not limited.

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する光源１２と、光センサ３０とを有する。また、光センサ３０は、光源１２からの第１の光が照射される位置に設けられる。これにより、光照射装置１は、光源１２から放射された可視領域の光を光センサ３０により検出することができる。 The light irradiation apparatus 1 according to the embodiment having the above-described configuration includes the light source 12 that emits the first light having a wavelength of 380 to 500 nm and the optical sensor 30. Further, the optical sensor 30 is provided at a position where the first light from the light source 12 is irradiated. Thereby, the light irradiation device 1 can detect the light in the visible region emitted from the light source 12 by the optical sensor 30.

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、光センサの測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する制御部４０を有する。これにより、光照射装置１は、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御することができる。 The light irradiation device 1 according to the embodiment having the above-described configuration and the light irradiation device 2 according to the modified example of the above-described configuration use power supplied to the light source 12 so that the measurement value of the optical sensor becomes a predetermined value. It has the control part 40 to control. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can control the light irradiated from the light source 12 to the irradiated object 50 to a desired intensity.

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、紫外線を遮断するフィルタ２０を有する。また、フィルタ２０は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置される。これにより、光照射装置１は、紫外線による光センサ３０の劣化や光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。 The light irradiation device 1 according to the embodiment having the above-described configuration and the light irradiation device 2 according to the modification of the above-described configuration include a filter 20 that blocks ultraviolet rays. Further, the filter 20 is disposed at a position between the optical sensor 30 and the light source 12. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can suppress the deterioration of the optical sensor 30 due to ultraviolet rays and the influence on the measurement value of the optical sensor 30.

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、蛍光体の厚みが、０．５〜２．０ｍｍである。これにより、光照射装置１は、蛍光体の厚みにより光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。 In the light irradiation device 1 according to the embodiment having the above-described configuration and the light irradiation device 2 according to the modified example having the above-described configuration, the phosphor has a thickness of 0.5 to 2.0 mm. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can suppress the influence which it has on the measured value of the optical sensor 30 by the thickness of the fluorescent substance.

前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、光検知部３５を有する。これにより、光照射装置１は、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。 The light irradiation device 2 according to the modified example of the configuration described above includes a light detection unit 35. Thereby, the light irradiation apparatus 1 can determine whether or not the malfunction of the optical feedback system is caused by the optical sensor 30.

前述した構成の実施形態及び変形例に係る光センサ３０の受光部３１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。また、光センサ３０の検出部３３は、受光部３１から導光された第２の光を検出する。これにより、光センサ３０は、可視領域の光を検出することができる。 The light receiving unit 31 of the optical sensor 30 according to the embodiment and the modification having the above-described configuration includes a phosphor that converts the first light having a wavelength of 380 to 500 nm into the second light having a wavelength of 500 to 600 nm. Further, the detection unit 33 of the optical sensor 30 detects the second light guided from the light receiving unit 31. Thereby, the optical sensor 30 can detect light in the visible region.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the invention described in the claims and equivalents thereof as well as included in the scope and gist of the invention.

１，２光照射装置
１０照明器具
１１器具本体
１２光源
２０フィルタ
３０光センサ

３１受光部
３１１透光性部材

３１２蛍光部材
３２ファイバ
３３検出部
３４アンプ
３５光検知部
４０制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 Light irradiation apparatus 10 Lighting fixture 11 Appliance main body 12 Light source 20 Filter 30 Optical sensor 31 Light-receiving part 311 Translucent member 312 Fluorescent member 32 Fiber 33 Detection part 34 Amplifier 35 Light detection part 40 Control part

Claims

A light source that emits first light having a wavelength of at least 380 to 500 nm;
A light receiving unit including a phosphor that converts first light having a wavelength of 380 to 500 nm into second light having a wavelength of 500 to 600 nm; and a detection unit that detects the second light guided from the light receiving unit; An optical sensor provided at a position irradiated with light from the light source;
A control unit that controls electric power supplied to the light source so that a measurement value of the optical sensor becomes a predetermined value;
Comprising
Light irradiation device used for liquid crystal panel manufacture.

Light irradiation apparatus according to claim 1, further comprising a filter for blocking UV arranged at positions sandwiching said light sensor and the light source.

The light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the phosphor has a thickness of 0.5 to 2.0 mm.

The light branched from the sensor, the light irradiation device according to any one of claims 1 to 3, further comprising a light detector for detecting the second light guided from said light-receiving portion.