KR102051684B1 - Deterioration detection device and method for ultraviolet ray discharge lamp - Google Patents

Deterioration detection device and method for ultraviolet ray discharge lamp Download PDF

Info

Publication number
KR102051684B1
KR102051684B1 KR1020130139898A KR20130139898A KR102051684B1 KR 102051684 B1 KR102051684 B1 KR 102051684B1 KR 1020130139898 A KR1020130139898 A KR 1020130139898A KR 20130139898 A KR20130139898 A KR 20130139898A KR 102051684 B1 KR102051684 B1 KR 102051684B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
visible light
ultraviolet
lamp
rare gas
ultraviolet lamp
Prior art date
Application number
KR1020130139898A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140065341A (en
Inventor
가요 고이즈미
유지 야마코시
Original Assignee
가부시키가이샤 니혼포토사이언스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 니혼포토사이언스 filed Critical 가부시키가이샤 니혼포토사이언스
Publication of KR20140065341A publication Critical patent/KR20140065341A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102051684B1 publication Critical patent/KR102051684B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/44—Testing lamps
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties

Abstract

가시광선의 광강도를 검출하는 가시광선영역용의 광검출기를 구비하고, 수은 및 희가스를 봉입하여 이루어지는 자외선 램프로부터 자외선과 함께 방사되는 가시광선을 이 광검출기에 의해서 수광하며, 그 광강도를 검출한다. 램프의 열화에 의해서 수은량이 감소하면, 희가스의 에너지가 가시광선의 발광을 위해서, 보다 많이 비 되게 되어, 가시광선의 발광강도가 증가한다. 따라서, 예를 들면 검출한 가시광선의 강도가 소정 문턱값을 넘는지 여부를 판정하는 것에 의해, 자외선 램프의 열화를 검출할 수 있다. 이것에 의해, 고가의 자외선 센서를 사용하지 않고, 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 가시광선의 증가를, 염가의 가시광선센서를 사용해 검출하는 것에 의해, 자외선 램프의 열화를 적절히 검출할 수 있고, 또한, 자외선 방사량의 저하에 따른 램프 교환의 필요성의 통지를 적절히 행할 수 있게 된다.A photodetector for the visible light region for detecting the light intensity of the visible light is provided, and the visible light emitted together with the ultraviolet rays from the ultraviolet lamp formed by enclosing mercury and rare gas is received by the photodetector to detect the light intensity. . When the amount of mercury decreases due to deterioration of the lamp, the energy of the rare gas becomes more rainy for light emission of visible light, and the emission intensity of visible light increases. Therefore, for example, it is possible to detect deterioration of the ultraviolet lamp by determining whether the detected intensity of visible light exceeds a predetermined threshold. Thus, by using an inexpensive visible light sensor to detect an increase in visible light accompanied by a decrease in the amount of effective mercury in the lamp without using an expensive ultraviolet sensor, deterioration of the ultraviolet light lamp can be properly detected. In addition, it is possible to appropriately notify the necessity of lamp replacement due to the decrease in the amount of ultraviolet radiation.

Description

자외선 램프의 열화검출장치 및 방법 {DETERIORATION DETECTION DEVICE AND METHOD FOR ULTRAVIOLET RAY DISCHARGE LAMP}Degradation detection device and method of UV lamp {DETERIORATION DETECTION DEVICE AND METHOD FOR ULTRAVIOLET RAY DISCHARGE LAMP}

본 발명은 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장의 자외선을 방사(放射)하는 자외선 램프의 열화(劣化)를 검출하는 열화검출장치 및 방법에 관한 것이다. 특히, 자외선 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하를 검지하고, 이것에 근거하여 자외선 램프의 교환을 제시하는 기술에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deterioration detecting apparatus and method for detecting degradation of an ultraviolet lamp that emits ultraviolet rays of a wavelength effective for organic decomposition or sterilization. In particular, it is related with the technique which detects the fall of the ultraviolet radiation quantity accompanying the reduction of the amount of effective mercury in an ultraviolet lamp, and proposes replacement | exchange of an ultraviolet lamp based on this.

종래부터, 유기물 분해나 살균 등을 행하기 위해서 자외선 램프가 이용되고 있다. 자외선 램프는 주로 유기물 분해에 유효한 185㎚ 파장이나 살균에 유효한 254㎚ 파장을 포함하는 자외선을 방사하는 예를 들면 저압 수은등(소위 UV-C자외선 램프) 등이다. 자외선 램프에는 수은(보다 구체적으로는 수은 알갱이나 수은 아말감(amalgam) 등) 외에 불활성 가스로서 아르곤 등의 희(希)가스가 봉입(封入)되어 있다.Conventionally, an ultraviolet lamp is used to perform organic substance decomposition, sterilization, or the like. Ultraviolet lamps are, for example, low-pressure mercury lamps (so-called UV-C ultraviolet lamps) that emit ultraviolet rays containing mainly 185 nm wavelength effective for organic matter decomposition and 254 nm wavelength effective for sterilization. In addition to mercury (more specifically, mercury grains, mercury amalgam, etc.), an ultraviolet lamp contains a rare gas such as argon as an inert gas.

자외선 램프(이하, 간단히 「램프」라고도 기재함)에서는, 공지와 같이 자외선의 방사에 수반해 램프 내에 봉입되어 있는 수은이 소비된다. 이 때문에, 램프 내의 유효 수은량은 램프의 점등 시간이 증가함에 따라서 점차 감소한다. 램프 내의 유효 수은량이 감소함에 따라서, 예를 들면 산화수은 등으로 변화한 무효 수은은 램프관 내벽에 부착하고, 이것에 따라 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장 185㎚나 254㎚를 포함하는 자외선의 방사량(이하, 「발광강도」라고도 기재함)은 서서히 저하한다. 그리고, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선 방사량이 현저하게 저하해 버리면, 유기물 분해나 살균 등이 유효하게 행해지지 않게 된다. 이 때문에, 램프 내의 유효 수은이 고갈해 버리기 전에, 램프 자체를 새로운 것으로 교환할 필요가 있다.In an ultraviolet lamp (hereinafter also referred to simply as a "lamp"), mercury enclosed in the lamp is consumed with the radiation of ultraviolet rays as known. Because of this, the amount of effective mercury in the lamp gradually decreases as the lighting time of the lamp increases. As the amount of effective mercury in the lamp decreases, for example, reactive mercury, which has been changed into mercury oxide, etc., adheres to the inner wall of the lamp tube, and accordingly, the radiation amount of ultraviolet rays including wavelength 185 nm or 254 nm effective for organic matter decomposition or sterilization (hereinafter, , Also referred to as "luminescence intensity" gradually decreases. And if the amount of ultraviolet radiation including the wavelength effective for organic substance decomposition or sterilization falls remarkably, organic substance decomposition, sterilization, etc. will not be performed effectively. For this reason, it is necessary to replace the lamp itself with a new one before the effective mercury in the lamp runs out.

그래서, 종래에는 자외선 방사량을 측정 가능한 자외선 센서 등의 자외영역용의 광검출기를 이용하여, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선 방사량이 소정의 규정값까지 저하한 것을 검출했을 때에, 램프의 교환을 제시하도록 하고 있다.Therefore, conventionally, when using a photodetector for an ultraviolet region such as an ultraviolet sensor capable of measuring the amount of ultraviolet radiation, when the amount of ultraviolet radiation including a wavelength effective for organic decomposition or sterilization is lowered to a predetermined value, It is supposed to present an exchange.

예를 들면 하기(下記)에 나타내는 특허문헌 1에는 200㎚ ~ 400㎚ 파장 대역의 자외선 방사량을 측정 가능한 탄소 규소(SiC) 포토 다이오드에 300㎚를 넘는 파장의 자외선을 차단하는 광학필터를 조합하여, 살균에 유효한 254㎚ 파장을 포함하는 200㎚ ~ 300㎚ 파장 대역의 자외선 방사량을 측정하도록 한 장치가 나타내어져 있다. 즉, 살균에 유효한 254㎚ 파장을 포함하는 자외선의 방사량 그 자체를 자외영역용의 광검출기에 의해 직접 감시해 두고, 당해 자외선 방사량이 소정의 문턱값을 하회(下回)한 경우에 램프의 교환을 제시할 수 있도록 하고 있다.For example, Patent Document 1, shown below, combines a carbon silicon (SiC) photodiode capable of measuring ultraviolet radiation in a wavelength range of 200 nm to 400 nm with an optical filter that blocks ultraviolet rays of more than 300 nm. The apparatus which measured the ultraviolet-ray radiation amount of the 200 nm-300 nm wavelength band containing the 254 nm wavelength effective for sterilization is shown. That is, the radiation amount of ultraviolet rays including the 254 nm wavelength effective for sterilization is directly monitored by a photodetector for the ultraviolet region, and the lamp is replaced when the amount of ultraviolet radiation falls below a predetermined threshold. To be presented.

[특허문헌 1] 일본국 특개2004-317512호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-317512

그렇지만, 상술한 바와 같은 살균에 유효한 파장을 포함하는 자외선 방사량 그 자체를 검출할 수 있는 자외영역용의 광검출기는 가시광선만을 수광(受光)하여 가시광선의 발광강도를 검출할 수 있는 가시영역용의 일반적인 것에 비하면 고가이고 비용이 든다. 또, 살균성의 파장을 선택하는 복잡하고 고가의 광학필터를 이용하지 않는 것에는, 자외선 스펙트럼의 낮은 쪽의 끝단의 영역에서 충분한 감도를 가지지 않다는 문제도 있었다.However, the photodetector for the ultraviolet region capable of detecting the ultraviolet radiation amount itself including the wavelength effective for sterilization as described above is for the visible region capable of detecting the light emission intensity of the visible light by receiving only visible light. It is expensive and expensive compared to the general one. In addition, the use of a complicated and expensive optical filter for selecting a bactericidal wavelength also has a problem of not having sufficient sensitivity in the region at the lower end of the ultraviolet spectrum.

본 발명은 상술의 점을 감안하여 이루어진 것으로, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선의 방사량(발광강도) 그 자체를 직접적으로 검지하지 않고, 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 상기 자외선 방사량의 저하에 따라 램프 교환의 제시를 행할 수 있도록 한, 자외선 램프의 열화검출장치 및 방법을 제공하고자 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned point, and does not directly detect the radiation amount (luminescence intensity) of ultraviolet rays including wavelengths effective for organic matter decomposition or sterilization, but the ultraviolet rays accompanying the reduction of the amount of effective mercury in the lamp. It is an object of the present invention to provide a deterioration detection apparatus and method for an ultraviolet lamp that enables the lamp replacement to be presented in accordance with the decrease in the radiation dose.

본 발명에 관한 자외선 램프의 열화검출장치는, 가시광선의 광강도를 검출하는 가시광선영역용의 광검출기로서, 수은 및 희(希)가스를 봉입(封入)하여 이루어지는 자외선 램프로부터 자외선과 함께 방사(放射)되는, 희가스에 의해 발생되는 가시광선의 수광(受光)에 따라서, 이 수광한 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 광강도를 검출하는 광검출기와, 광검출기에 의해 검출한 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 광강도가 소정의 문턱값을 상회하는 것에 근거하여, 자외선 램프를 교환해야 한다는 취지를 통지하는 제어기를 구비한다.The deterioration detection apparatus of the ultraviolet lamp which concerns on this invention is a photodetector for visible light region which detects the light intensity of visible light, and radiates together with an ultraviolet-ray from the ultraviolet lamp formed by enclosing mercury and a rare gas. The photodetector detects the light intensity of the visible light generated by the received rare gas according to the received light emitted by the rare gas, and the visible light generated by the rare gas detected by the photodetector. And a controller for notifying that the ultraviolet lamp should be replaced based on the light intensity exceeding a predetermined threshold.

본 발명에 의하면, 가시광선영역용의 광검출기를 이용하여 자외선 램프로부터 방사되는 가시광선의 광강도에 근거하여 상기 자외선 램프의 열화를 검출한다. 수은 및 희가스를 봉입하여 이루어지는 자외선 램프에서는 자외선과 함께 가시광선이 방사되지만, 가시영역용의 광검출기는 가시광선만을 검출 가능하기 때문에, 자외선 램프로부터 방사되는 가시광선만을 수광하여, 이 수광한 가시광선의 발광강도를 검출한다.According to the present invention, the deterioration of the ultraviolet lamp is detected based on the light intensity of the visible light emitted from the ultraviolet lamp using the photodetector for the visible light region. In an ultraviolet lamp formed by enclosing mercury and a rare gas, visible light is emitted together with ultraviolet light. However, since the photodetector for the visible region can detect only visible light, only the visible light emitted from the ultraviolet lamp is received and the visible light is emitted. The emission intensity is detected.

램프 내에 봉입되어 있는 유효 수은이 극단적으로 소비되면, 수은에 의한 자외선의 발광에 많은 에너지를 소비하는 것이 없어져 자외선 방사량이 저하한다. 이것에 수반하여, 램프 내에 봉입되어 있는 희가스에 의한 발광 에너지가 가시광선의 발광을 위해서, 보다 많이 사용되게 되어, 희가스에 의한 가시광선의 발광강도가 증가한다(희가스에 의한 가시광선에 소비되는 에너지량이 증가한다).When the effective mercury encapsulated in the lamp is extremely consumed, a large amount of energy is not consumed to emit ultraviolet light by mercury, and the amount of ultraviolet radiation is lowered. In connection with this, the luminous energy of the rare gas enclosed in the lamp is used more for the emission of visible light, and the luminous intensity of the visible light by the rare gas increases (the amount of energy consumed by the visible light by the rare gas increases). do).

본 발명자들은 이러한 램프 내의 수은량의 변화(감소)에 따라 희가스에 의한 가시광선에 소비되는 에너지량이 변화(증가)하는 점에 착안하여, 자외선 램프로부터 방사되는 가시광선의 발광강도만을 검출하는 것으로도, 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하를 검지할 수 있다고 하는 것을 상도(想到)하기에 이르렀다. 그래서, 가시광선영역용의 광검출을 이용하여 가시광선의 발광강도를 검출하고, 이것에 근거하여 자외선 램프의 열화를 검출하며, 이 자외선 램프의 교환의 필요와 불필요를 판정할 수 있도록 했다. 이것에 의해, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선의 방사량 그 자체를 직접적으로 검지하지 않고, 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하에 따른 램프 교환의 필요와 불필요를 판정하고 그리고 교환해야 할 취지의 통지를 행하는 것이 용이하고 또한 싼 비용으로 할 수 있게 된다.The present inventors pay attention to the fact that the amount of energy consumed in visible light due to the rare gas changes (increases) in accordance with the change (decrease) in the amount of mercury in the lamp, and only the emission intensity of the visible light emitted from the ultraviolet lamp is detected. It came to image that it is possible to detect the fall of the ultraviolet radiation amount accompanying the reduction of the amount of effective mercury in a lamp. Therefore, the light emission intensity of the visible light is detected using the light detection for the visible light region, the degradation of the ultraviolet lamp is detected based on this, and it is possible to determine the necessity and the necessity of replacement of the ultraviolet lamp. As a result, the necessity and necessity of lamp replacement due to the decrease in the amount of ultraviolet radiation accompanied with the reduction of the amount of effective mercury in the lamp is determined without directly detecting the radiation amount of ultraviolet rays including wavelengths effective for organic decomposition or sterilization. And it is easy and inexpensive to give notice of the need to exchange.

본 발명은 장치의 발명으로서 구성하고, 실시할 수 있을 뿐만 아니라, 방법의 발명으로서 구성하여 실시할 수 있다.The present invention can be configured and practiced as the invention of the apparatus, as well as the invention of the method.

본 발명에 의하면, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선의 방사량 그 자체를 직접적으로 검지하지 않고, 램프 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하에 따른 램프 교환의 필요와 불필요를 판정하고 그리고 교환해야 할 취지의 통지를 행하는 것이 용이하고 또한 싼 비용으로 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is not necessary to directly detect the radiation amount of ultraviolet rays including wavelengths effective for organic matter decomposition or sterilization, but the necessity and the necessity of lamp replacement due to the reduction of the ultraviolet radiation amount accompanied with the reduction of the effective amount of mercury in the lamp. It is easy and inexpensive to make a decision and to notify that it needs to be exchanged.

도 1은 본 발명에 관한 열화검출장치를 적용한 액체처리장치의 일실시예를 나타내는 개략도로서, (a)는 측면도, (b)는 정면도이다.
도 2는 도 1의 (b)에 나타낸 가시광선 검출부를 A-A' 화살표로 본 단면도이다.1 is a schematic view showing an embodiment of a liquid processing apparatus to which the deterioration detecting apparatus according to the present invention is applied, wherein (a) is a side view and (b) is a front view.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the visible light detector shown in FIG.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail with reference to an accompanying drawing.

도 1은 본 발명에 관한 열화검출장치를 적용한 액체처리장치(1)의 일실시예를 나타내는 개략도이다. 이 실시형태에서는, 본 발명에 관한 열화검출장치를 적용하는 장치로서, 예를 들면 원통 형상의 밀폐용기(E)(이하, 「원통용기」라고 기재함) 내에 자외선을 투과하는 석영유리로 형성된 보호외관(3)을 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이 하여 이 용기(E)의 중심축을 기점(起点)으로 하는 동심원 모양으로 복수 배치해서 이루어지고(이 예에서는 6개), 이 용기(E)와 보호외관(3)과의 사이에 처리액체(P)를 통과시켜, 이들 보호외관(3) 각각에 수납된 자외선 램프(2)로부터 발(發)하게 되는 자외선이 보호외관(3)을 투과하여 이 용기(E) 내를 빠져나가는 처리액체(P)에 조사되는 액체처리장치(1)를 나타냈다. 또한, 원통용기(E)는 처리액체(P)에 의해서 녹슬지 않는 재질로 형성되어 있다. 구체적으로는, 스테인리스 등이다.1 is a schematic view showing an embodiment of a liquid processing apparatus 1 to which a deterioration detecting apparatus according to the present invention is applied. In this embodiment, as an apparatus to which the deterioration detection apparatus which concerns on this invention is applied, the protection formed by the quartz glass which permeate | transmits an ultraviolet-ray in the cylindrical sealed container E (henceforth a "cylindrical container"), for example. As shown in Fig. 1 (b), the external appearance 3 is formed by plural arrangements of concentric circles having the central axis of the container E as a starting point (six in this example). ) Passes through the processing liquid (P) between the protective casing (3) and the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet lamp (2) stored in each of the protective casings (3). The liquid processing apparatus 1 which irradiated to the processing liquid P which permeate | transmits and exits this container E is shown. In addition, the cylindrical container E is formed of the material which does not rust by the process liquid P. FIG. Specifically, it is stainless steel etc.

도 1에 나타내는 액체처리장치(1)에 있어서, 원통용기(E)는 한쪽의 단부(端部)(도시의 예에서는 좌단부)가 씰부(F)에 의해서, 다른 쪽의 단부(도시의 예에서는 우단부)가 엔드 플레이트(end plate)(G)에 의해서 액밀(液密)하게 밀폐되도록 되어 있고, 이 용기 측면으로 마련된 한쪽의 액체입구(Ea)로부터 취입(取入)한 처리액체(P)를 이간(離間)한 이 용기 측면에 마련된 다른 쪽의 액체출구(Eb)로부터 배출하는 관로를 구성한다.In the liquid processing apparatus 1 shown in FIG. 1, the cylindrical container E has one end portion (the left end portion in the example shown in the drawing) with the seal portion F, and the other end portion (the example in the illustration). In the present invention, the right end part is sealed to be sealed by an end plate G, and the treatment liquid P blown in from one liquid inlet Ea provided on the side of the container. ), The pipe is discharged from the other liquid outlet (Eb) provided on the side of this container.

자외선 램프(2)는 보호외관(3) 내에 삽입된 상태에서 원통용기(E) 내에 배치된다. 이 자외선 램프(2)는 수은(보다 구체적으로는 수은 알갱이나 수은 아말감) 및 희가스를 봉입하여 이루어지는 수은 방전관으로서, 예를 들면 260㎚ 이하, 전형적으로는 185㎚나 254㎚의 파장의 자외선을 발하는 것에 의해, 상기한 관로를 통과하는 처리액체(P)의 살균 및 처리액체(P) 중의 유기물을 분해하는 기능을 발휘하는 것이다. 자외선의 파장이 254㎚ 전후이면 살균 효과가, 185㎚ 전후이면 유기물 분해 효과가 각각 현저하게 나타나는 것은 종래 알려져 있는 바와 같다. 희가스로서는, 제논(xenon), 크립톤(krypton), 아르곤, 네온 등이 사용되며, 이들 중 어느 1종류의 희가스 또는 이들 여러 종류의 희가스를 조합하여 이루어지는 혼합가스를 자외선 램프(2) 내에 수은과 함께 봉입하는 것에 의해서, 램프의 발광 효율, 아크 안정성, 아크 집중화의 향상 등을 도모할 수 있도록 되어 있다.The ultraviolet lamp 2 is disposed in the cylindrical container E while being inserted into the protective envelope 3. The ultraviolet lamp 2 is a mercury discharge tube formed by enclosing mercury (more specifically, mercury grains or mercury amalgam) and rare gases. For example, the ultraviolet lamp 2 emits ultraviolet rays having a wavelength of 260 nm or less, typically 185 nm or 254 nm. As a result, the sterilization of the processing liquid P passing through the aforementioned pipe line and the decomposition of organic matter in the processing liquid P can be performed. If the wavelength of ultraviolet rays is about 254 nm, the bactericidal effect is remarkable when the organic substance decomposition effect appears remarkably when it is about 185 nm. As the rare gas, xenon, krypton, argon, neon and the like are used, and any one of these rare gases or a mixed gas obtained by combining these rare gases together with mercury in the ultraviolet lamp 2 is used. By encapsulation, improvement of the luminous efficiency, arc stability, arc concentration, etc. of a lamp can be aimed at.

이 실시형태에서는, 원통용기(E)의 어느 한쪽의 단부에 배치되는 엔드 플레이트(G)의 중앙부에 장치구멍(Ga)이 마련되고, 이 엔드 플레이트(G)의 장치구멍(Ga)을 통하여 가시광선 검출부(4)를 원통용기(E)에 대해서 착탈 가능하게 장착할 수 있도록 되어 있다. 도 2는 도 1의 (b)에 나타낸 가시광선 검출부(4)를 A-A' 화살표로 본 단면도이다. 도 2에 나타내는 가시광선 검출부(4)는, 예를 들면 스테인리스 등의 재질로 이루어지는 원통 형상의 케이싱(H) 내에서의 광로상에 가시광선센서(5), 밴드-패스 필터(band-pass filter)(6) 및 (자외선 흡수용) 가시광선 투과유리(7) 등이 배치되어 있다.In this embodiment, the device hole Ga is provided in the center part of the end plate G arrange | positioned at either end of the cylindrical container E, and is visible through the device hole Ga of this end plate G. The light detector 4 can be detachably attached to the cylindrical container E. FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the visible light detector 4 shown in FIG. 1B as viewed by the arrow A-A '. The visible light detector 4 shown in Fig. 2 is a visible light sensor 5 and a band-pass filter on an optical path in a cylindrical casing H made of a material such as stainless steel, for example. 6) and visible light transmitting glass 7 (for ultraviolet absorption) are arranged.

가시광선센서(5)(광검출기)는 수은의 주된 휘선(輝線)(파장이 200㎚ ~ 400㎚ 정도의 자외선 스펙트럼)과 다른 희가스의 발광 스펙트럼에 따라서, 가시광선(일례로서 파장이 580㎚ ~ 700㎚ 정도의 가시광선)의 발광강도를 검출하는 것이다(검출수단에 상당). 이 가시광선센서(5)는, 예를 들면 실리콘, 갈륨·비소·인(GaAsP), 산화 아연(ZnO2), 질화 알루미늄(AlN), 질화 알루미늄·갈륨(AlGaN), 질화 갈륨(GaN), 질화 알루미늄·인디움·갈륨(AlInGaN) 및 질화 인디움·갈륨(InGaN), 또 탄소 규소(SiC) 등의 어느 재료로 이루어지는 포토 다이오드라도 된다. 단, 이 실시형태에서 이용하는 가시광선센서(5)는, 종래에 있어서 이용되고 있는 자외선을 수광하여 자외선의 발광강도를 측정 가능한 자외영역용의 센서(소위 자외선 센서)가 아니고, 종래와는 달리 가시광선만을 수광하여 가시광선의 발광강도를 검출할 수 있는 가시영역용의 센서이다. 또한, 가시광선센서(5)는 포토 다이오드에 한정하지 않고, 광전자 증배관(增倍管)이라도 되고 분광기(分光器)라도 된다.The visible light sensor 5 (photodetector) is a visible light (e.g., a wavelength of 580 nm ~) according to mercury's main bright line (ultraviolet spectrum having a wavelength of about 200 nm to 400 nm) and an emission spectrum of another rare gas. The emission intensity of visible light of about 700 nm is detected (corresponding to detection means). The visible light sensor 5 includes, for example, silicon, gallium arsenide, phosphorus (GaAsP), zinc oxide (ZnO 2 ), aluminum nitride (AlN), aluminum nitride gallium (AlGaN), gallium nitride (GaN), The photodiode may be made of any material such as aluminum nitride, gallium nitride (AlInGaN), indium gallium nitride (InGaN), and carbon silicon (SiC). However, the visible light sensor 5 used in this embodiment is not a sensor for the ultraviolet region (so-called ultraviolet sensor) capable of receiving the ultraviolet rays used in the prior art and measuring the emission intensity of the ultraviolet rays. It is a sensor for the visible region that can receive only the light beam and detect the light emission intensity of the visible light. The visible light sensor 5 is not limited to the photodiode, but may be a photomultiplier tube or a spectrometer.

가시광선센서(5)의 배치 측과 반대 측의 케이싱(H)의 선단부에는 석영으로 이루어지는 측정창(Ha)이 형성되어 있고, 이 측정창(Ha)을 통해 자외선 램프(2)로부터 발하게 된 자외선 및 가시광선이 케이싱(H) 내로 입사되도록 되어 있다. 즉, 측정창(Ha)으로부터는 수은에 의해 발생한 자외선도 입사하고, 희가스에 의해 발생한 가시광선도 입사한다. 또한, 측정창(Ha)으로부터 입사된 가시광선이 반사하기 쉽도록, 케이싱(H)의 내면을 경면(鏡面) 모양으로 형성하거나 혹은 반사재로 덮는 등 하면 좋다. 또, 측정창(Ha)는 석영으로 형성되는 것에 한정하지 않고, 처리액체(P)나 자외선 등에 의해서 열화하지 않는 재질이면 어떠한 것으로 형성되어 있어도 된다.The measurement window Ha made of quartz is formed in the front end of the casing H on the opposite side to the arrangement side of the visible light sensor 5, and the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet lamp 2 through this measurement window Ha. And visible light is made to enter the casing H. That is, ultraviolet rays generated by mercury also enter from the measurement window Ha, and visible rays generated by the rare gas also enter. In addition, the inner surface of the casing H may be formed into a mirror surface shape or covered with a reflector so that visible light incident from the measuring window Ha is easily reflected. The measurement window Ha is not limited to being formed of quartz, and may be formed of any material as long as it is a material that does not deteriorate due to the processing liquid P, ultraviolet rays or the like.

측정창(Ha)과 가시광선센서(5)와의 사이에는, 측정창(Ha) 측으로부터 순서대로 (자외선 흡수용) 가시광선 투과유리(7), 밴드-패스 필터(6)가 배치된다. 가시광선 투과유리(7)(차단수단에 상당)는 측정창(Ha)으로부터 입사된 자외선을 가시광선센서(5) 및 밴드-패스 필터(6) 측으로 통과시키지 않는 것이다(도면 중에서 이점사선(二点斜線)으로 기재한 화살표 참조). 가시광선센서(5) 및 밴드-패스 필터(6)를 자외선에 의한 열화로부터 보호할 수도 있다.Between the measurement window Ha and the visible light sensor 5, the visible light transmitting glass 7 (for ultraviolet absorption) and the band-pass filter 6 are arranged in order from the measurement window Ha side. The visible light transmitting glass 7 (corresponding to the blocking means) does not allow ultraviolet light incident from the measuring window Ha to pass to the visible light sensor 5 and the band-pass filter 6. Arrow). The visible light sensor 5 and the band-pass filter 6 may be protected from deterioration by ultraviolet rays.

밴드-패스 필터(6)(제한수단에 상당)는 희가스에 의해 발생한 가시광선 중 일부의 파장 대역만을 선택적으로 취출(取出)하는 것이 가능한 협대역(狹帶域) 폭 특성을 가지는 것이다. 밴드-패스 필터(6)에 의해서 측정창(Ha)으로부터 입사된 가시광선 중 특정의 파장 대역에 포함되는 파장의 가시광선만을 가시광선센서(5) 측으로 통과시키는 것에 의해서(도면 중에서 실선 및 일점사선(一点斜線)으로 기재한 화살표 참조), 가시광선센서(5)를 희가스에 의해 발생한 가시광선 중 임의의 대역에만 응답시키는 것이 가능하게 된다. 이와 같은 선택적 대역 통과 필터는 자외선 램프(2) 내에 봉입되어 있는 희가스의 종류에 맞추어 미리 파장 대역을 결정할 수 있다. 예를 들면, 희가스로서 네온을 포함하는 경우에는, 파장 640㎚ 전후에 중심을 가지는 580㎚ ~ 700㎚ 파장을 포함하는 파장 대역으로 결정하는 것이 바람직하다. 640㎚의 스펙트럼선은, 네온으로부터 발하게 되는 강한 스펙트럼선이다. 또한, 밴드-패스 필터(6)는 가시광선의 장파장 측을 커트(cut)하는 필터와 가시광선의 단파장 측을 커트하는 필터를 조합하여 구성해도 된다. 그 경우, 가시광선센서(5)의 감도에 의해서 장파장 측을 커트하는 필터를 사용하는지 여부를 결정해도 된다.The band-pass filter 6 (corresponding to the limiting means) has a narrow band width characteristic capable of selectively extracting only a portion of wavelength bands of visible light generated by the rare gas. By passing only visible light having a wavelength included in a specific wavelength band among visible light incident from the measurement window Ha by the band-pass filter 6 toward the visible light sensor 5 (solid line and single-dotted line in the figure). (See the arrow shown in Fig. 1)), the visible light sensor 5 can be made to respond only to an arbitrary band of the visible light generated by the rare gas. Such a selective band pass filter can determine the wavelength band in advance according to the kind of the rare gas enclosed in the ultraviolet lamp (2). For example, when neon is included as a rare gas, it is preferable to determine by the wavelength band containing the wavelength of 580 nm-700 nm which centers around wavelength 640 nm. The 640 nm spectral line is a strong spectral line emitted from neon. The band-pass filter 6 may be configured by combining a filter that cuts the long wavelength side of visible light and a filter that cuts the short wavelength side of visible light. In that case, you may decide whether to use the filter which cuts a long wavelength side by the sensitivity of the visible light sensor 5.

가시광선센서(5)는 측정창(Ha)으로부터 케이싱(H) 내에 입사되고, 밴드-패스 필터(6)에 의해서 파장이 제한된 가시광선을 수광하는 것에 따라서, 이 수광한 가시광선의 발광강도의 측정을 행한다. 가시광선센서(5)는 가시광선의 발광강도를 측정하면, 그 측정결과를 컴퓨터 등의 제어부(10)에 송신한다. 제어부(10)에서는 미리 설정된 문턱값과 가시광선센서(5)로부터 송신되는 가시광선의 발광강도를 비교하고, 이 비교에 근거하여 가시광선의 발광강도가 소정의 문턱값을 상회(上回)한 경우에, 자외선 램프(2)가 교환되는 것이 당연하다고 판정하며, 이 판정에 따라서, 자외선 램프(2)를 교환하는 취지 혹은 자외선 램프(2)의 교환시기 등을 유저에 대해서 제시한다. 또한, 자외선 램프(2)의 교환의 필요와 불필요를 제시하기 위한 수단으로서는, 가시광선센서(5)의 출력신호가 나타내는 가시광선 강도가 소정의 문턱값을 넘었을 때, 경고 발광에 의해서 자외선 램프의 교환을 장려하는 발광체를 사용해도 되고, 혹은, 수치 또는 문자 표시에 의해서 자외선 램프의 교환을 장려하는 표시기를 사용해도 된다. 혹은, 가시광선센서(5) 그 자체가 발광하고, 문턱값 이상의 수광강도에 따라 발광 변화하는 것이라도 된다. 혹은, 음성 또는 인쇄 출력에 의해서 교환해야 할 취지 또는 교환시기 도래의 통지를 행하도록 해도 된다.The visible light sensor 5 enters the casing H from the measurement window Ha and receives the visible light whose wavelength is limited by the band-pass filter 6, thereby measuring the emission intensity of the received visible light. Is done. When the visible light sensor 5 measures the light emission intensity of the visible light, the visible light sensor 5 transmits the measurement result to the control unit 10 such as a computer. The controller 10 compares the light emission intensity of the visible light transmitted from the visible light sensor 5 with a preset threshold value, and when the light emission intensity of the visible light exceeds a predetermined threshold based on the comparison. As a matter of course, it is determined that the ultraviolet lamp 2 is to be replaced, and according to this determination, the purpose of replacing the ultraviolet lamp 2 or the replacement timing of the ultraviolet lamp 2 is presented to the user. In addition, as a means for suggesting the necessity or unnecessary replacement of the ultraviolet lamp 2, when the visible light intensity indicated by the output signal of the visible light sensor 5 exceeds a predetermined threshold value, the ultraviolet light lamp causes a warning light emission. A luminous body may be used to encourage the exchange of or an indicator may be used to encourage the replacement of the ultraviolet lamp by numerical or character display. Alternatively, the visible light sensor 5 itself may emit light and change light emission according to the light receiving intensity of the threshold value or more. Alternatively, notification may be given by the voice or printout to indicate that the message should be exchanged or the time of exchange is reached.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 수은 및 희가스를 봉입하여 이루어지는 자외선 램프(2)로부터 방사되는 자외선 및 가시광선 가운데, 밴드-패스 필터(6) 등에 의해 소정의 파장 대역에 따라서 희가스에 의해 발광되는 가시광선만을 취출하고, 이 취출한 가시광선의 발광강도를 가시영역용의 가시광선센서(5)에 의해 검출한다. 그리고, 이 검출한 가시광선의 발광강도에 근거하여 자외선 램프(2)를 교환해야 할지 여부의 정보를 제시하도록 했다. 이와 같이 하여, 가시영역용의 가시광선센서(5)를 이용하여 가시광선의 발광강도를 검출하고, 이것에 근거하여 자외선 램프(2)의 교환의 필요와 불필요를 제시시키는 것에 따르면, 유기물 분해나 살균 등에 유효한 파장을 포함하는 자외선의 방사량 그 자체를 직접적으로 검지하지 않고, 램프 내의 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하에 따른 램프 교환의 제시를 행하는 것이 용이하고 또한 싼 비용으로 할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, among the ultraviolet rays and visible rays emitted from the ultraviolet lamp 2 formed by enclosing mercury and the rare gas, the band-pass filter 6 or the like emits light by the rare gas in accordance with a predetermined wavelength band. Only visible light is extracted and the light emission intensity of the extracted visible light is detected by the visible light sensor 5 for the visible region. Then, based on the detected light emission intensity of the visible light, information on whether or not to replace the ultraviolet lamp 2 was presented. In this way, the emission intensity of the visible light is detected using the visible light sensor 5 for the visible region, and based on this, the need for and replacement of the ultraviolet lamp 2 is presented, thereby decomposing or disinfecting organic matter. It is possible to easily and inexpensively present the lamp replacement according to the decrease in the amount of ultraviolet radiation accompanied by the reduction of the amount of mercury in the lamp without directly detecting the radiation amount of ultraviolet rays including the effective wavelengths. .

본 발명은 가시광선의 발광강도는 램프(2) 내의 유효 수은량에 의해서 변화하는 것에 근거하고 있다. 즉, 램프(2) 내의 유효 수은량이 충분한 경우에는, 에너지의 대부분이 수은에 의한 자외선의 발광에 소비되므로, 자외선의 발광강도(방사량)가 희가스에 의한 가시광선의 발광강도에 우수하다(희가스에 의한 가시광선의 발광에 소비되는 에너지량은 상대적으로 작다). 한편, 장시간의 점등에 수반하여 램프(2) 내에 봉입되어 있는 수은이 극단적으로 소비되면, 수은에 의한 자외선의 발광에 많은 에너지를 소비하는 것이 없어져 자외선 방사량이 저하한다. 이것에 맞추어, 희가스에 의한 가시광선의 발광강도가 수은에 의한 자외선의 발광강도보다 우수하게 된다(희가스에 의한 가시광선에 소비되는 에너지량이 상대적으로 커진다). 즉, 이러한 램프(2) 내의 유효 수은량의 변화에 따라 희가스에 의한 가시광선에 소비되는 에너지량이 상대적으로 변화하기 때문에, 램프(2)로부터 방사되는 가시광선의 발광강도만을 검출하는 것으로도, 램프(2) 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 방사량의 저하를 검지할 수 있게 된다.The present invention is based on the fact that the light emission intensity of visible light varies with the amount of effective mercury in the lamp 2. That is, when the amount of effective mercury in the lamp 2 is sufficient, since most of the energy is consumed for the emission of ultraviolet rays by mercury, the emission intensity (emission amount) of the ultraviolet rays is excellent in the emission intensity of visible light due to the rare gas (by the rare gas). The amount of energy consumed to emit visible light is relatively small). On the other hand, when mercury encapsulated in the lamp 2 is extremely consumed with prolonged lighting, the amount of ultraviolet radiation decreases because much energy is not consumed to emit ultraviolet light by mercury. In accordance with this, the light emission intensity of the visible light by the rare gas is superior to the light emission intensity of the ultraviolet light by the mercury (the amount of energy consumed by the visible light by the rare gas is relatively large). That is, since the amount of energy consumed by the visible light due to the rare gas changes relatively with the change of the amount of effective mercury in the lamp 2, the lamp (only by detecting the light emission intensity of the visible light emitted from the lamp 2) is also used. It becomes possible to detect the fall of the amount of ultraviolet radiation accompanying the reduction of the amount of effective mercury in 2).

또, 특히 185㎚ 파장의 자외선은 공기 중이나 액체 내를 전파할 때에, 램프(2)로부터 측정 위치까지의 거리에 따라 그 발광강도가 지수적(指數的)으로 감쇠하므로, 램프(2)로부터 이간하여 종래에 배치되어 있던 자외선 센서에 의해서는, 185㎚ 파장의 발광강도를 올바르게 검지하는 것이 곤란했다. 이것에 대해, 가시광선에 대해서는 램프(2)로부터 측정 위치까지의 거리에 따라 그 강도가 지수적으로 감쇠하지 않기 때문에, 램프(2)로부터 이간하여 배치되는 가시광선센서(5)를 이용하여 가시광선의 발광강도를 올바르게 측정할 수 있다. 그래서, 본 발명에서는 직접적으로 파장 185㎚를 포함하는 자외선의 방사량을 측정하는 것이 아니라, 가시광선센서(5)에 의해서 가시광선의 발광강도를 측정하는 것에 의해서 램프(2) 내의 유효 수은량의 감소를 검지하도록 했기 때문에, 가시광선센서(5)가 램프(2)로부터 이간하여 배치되어 있어도, 램프(2) 내의 유효 수은량의 감소에 수반하는 자외선 조사량의 저하를 검지할 수 있게 된다는 이점이 있다.Moreover, especially when the ultraviolet ray of 185 nm wavelength propagates in air or a liquid, since the light emission intensity declines exponentially with the distance from the lamp 2 to a measurement position, it is separated from the lamp 2 Therefore, it was difficult to correctly detect the luminescence intensity of 185 nm wavelength by the ultraviolet sensor arrange | positioned conventionally. On the other hand, since the intensity does not decay exponentially with the distance from the lamp 2 to the measurement position with respect to the visible light, the visible light using the visible light sensor 5 which is arranged apart from the lamp 2 is visible. The emission intensity of the line can be measured correctly. Therefore, in the present invention, the amount of effective mercury in the lamp 2 is reduced by measuring the emission intensity of the visible light by the visible light sensor 5 instead of directly measuring the radiation amount of the ultraviolet light including the wavelength of 185 nm. Since it is made to detect, even if the visible light sensor 5 is arrange | positioned apart from the lamp 2, there exists an advantage that the fall of the amount of ultraviolet irradiation accompanying the reduction of the amount of effective mercury in the lamp 2 can be detected.

이상, 도면에 근거하여 실시형태의 일례를 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니고, 여러 가지 실시형태가 가능하다는 것은 말할 필요도 없다. 예를 들면, 상술한 실시예에서는, 원통용기(E) 내에 복수의 자외선 램프(2)를 동심원 모양으로 배치한 예를 나타냈지만 이것에 한정하지 않고, 원통용기(E) 내에 배치되는 자외선 램프(2)는 1 내지 복수라도 되고 또 그 배치는 임의라도 된다.As mentioned above, although an example of embodiment was described based on drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this and various embodiments are possible. For example, in the above-described embodiment, an example in which the plurality of ultraviolet lamps 2 are arranged concentrically in the cylindrical container E is shown. However, the present invention is not limited thereto, and the ultraviolet lamps disposed in the cylindrical container E ( 2) may be one or more, and the arrangement may be arbitrary.

또한, 상술한 실시예에서는, 원통용기(E)의 단부에 배치되는 엔드 플레이트(G)의 장치구멍(Ga)을 통하여 원통용기(E)에 착탈 가능하게 가시광선 검출부(4)를 장착할 수 있는 것을 나타냈지만 이것에 한정하지 않고, 엔드 플레이트(G)와 가시광선 검출부(4)와는 일체적으로 형성되어 있어도 된다. 또, 가시광선 검출부(4)를 엔드 플레이트(G)에 장착할 수 있는 것에 한정하지 않고, 원통용기(E)의 측면에 배치된 측정용 지관(枝管) 등에 장착할 수 있도록 해도 된다.In addition, in the above-described embodiment, the visible light detection unit 4 can be attached to and detached from the cylindrical container E via the device hole Ga of the end plate G disposed at the end of the cylindrical container E. FIG. Although it was shown that it is present, it is not limited to this, The end plate G and the visible light detection part 4 may be formed integrally. In addition, the visible light detection unit 4 may be attached to the measuring paper pipe or the like disposed on the side surface of the cylindrical container E, without being limited to the one that can be attached to the end plate G.

또한, 원통용기(E)나 가시광선 검출부(4)는 단면이 도시한 것 같은 원형 모양에 한정되지 않고, 타원 형상이나 다각 형상 등 어떠한 형상이라도 된다.In addition, the cylindrical container E and the visible light detection part 4 are not limited to the circular shape as shown in the cross section, and may be any shape, such as an ellipse shape and a polygonal shape.

또한, 상술한 실시예에서는 가시광선 검출부(4)를 1개만 마련한 예를 나타냈지만 이것에 한정하지 않고, 가시광선 검출부(4)는 복수 개 마련해도 된다. 그 경우, 예를 들면 1개의 가시광선 검출부(4)를 1개의 보호외관(3)(혹은 자외선 램프(2))에 대응되도록 하여 장착하고, 각각의 가시광선 검출부(4)가 대응된 각 램프로부터의 가시광선량을 개별적으로 검출할 수 있도록 해도 된다. 혹은, 1개의 가시광선 검출부(4)를 2 이상의 복수의 보호외관(3)(혹은 자외선 램프(2))에 대응되도록 하여 장착해도 된다.In addition, although the example which provided only one visible light detection part 4 was shown in the above-mentioned embodiment, it is not limited to this, You may provide a plurality of visible light detection parts 4. In this case, for example, one visible light detection unit 4 is mounted so as to correspond to one protective exterior 3 (or ultraviolet lamp 2), and each lamp to which each visible light detection unit 4 corresponds. The amount of visible light from can be detected individually. Alternatively, one visible light detection unit 4 may be mounted so as to correspond to two or more protective appearances 3 (or ultraviolet lamps 2).

또한, 밴드-패스 필터(6)는 케이싱(H)에 대해 외부로부터 교환 가능하게 하면 된다. 이렇게 하면, 자외선 램프(2)에 봉입되어 있는 희가스의 종류에 대응하는 임의의 대역의 밴드-패스 필터(6)로 교체하는 것만으로, 램프 교환의 제시를 적절히 행할 수 있게 되므로 유리하다.In addition, the band-pass filter 6 may be replaced with the casing H from the outside. This is advantageous because the replacement of the lamp can be performed properly by simply replacing the band-pass filter 6 in any band corresponding to the kind of the rare gas enclosed in the ultraviolet lamp 2.

또한, 본 발명에 관한 열화검출장치를 적용하는 장치는 액체처리장치(1)에 한정하지 않고, 예를 들면 자외선 조사장치 등의 수은 및 희가스(단, 가시광선을 발하는 것)가 봉입된 자외선 램프(2)를 이용한 장치이면 어떠한 장치라도 된다.In addition, the apparatus to which the deterioration detection apparatus which concerns on this invention is applied is not limited to the liquid processing apparatus 1, For example, the ultraviolet lamp in which mercury and rare gases (but emitting visible light), such as an ultraviolet irradiation device, were enclosed. Any device may be used as long as it is a device using (2).

Claims (7)

가시광선의 광강도를 검출하는 가시광선영역용의 광검출기로서, 수은 및 희(希)가스를 봉입(封入)하여 이루어지는 자외선 램프로부터 자외선과 함께 방사(放射)되는, 상기 희가스에 의해 발생되는 가시광선의 수광(受光)에 따라서, 이 수광한 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 광강도를 검출하는 상기 광검출기와,
상기 광검출기에 의해 검출한 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 광강도가 소정의 문턱값을 상회하는 것에 근거하여, 상기 자외선 램프를 교환해야 한다는 취지를 통지하는 제어기를 구비하는 자외선 램프의 열화검출장치.A photodetector for the visible light region for detecting the light intensity of visible light, the visible light generated by the rare gas emitted from the ultraviolet lamp formed by enclosing mercury and rare gas together with ultraviolet light. The photodetector for detecting the light intensity of visible light generated by the rare gas received by the received light,
A deterioration detecting device for an ultraviolet lamp having a controller for notifying that the ultraviolet lamp should be replaced based on the light intensity of visible light generated by the rare gas detected by the photodetector exceeding a predetermined threshold value . 청구항 1에 있어서,
상기 자외선 램프로부터 방사되는 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선으로부터 특정 파장 대역의 가시광선을 취출(取出)하는 제한수단을 더 구비하여 이루어지고, 이 제한수단은 상기 자외선 램프에 봉입되어 있는 희가스의 종류에 따라 미리 결정되어 있는 파장 대역에 따라서 당해의 가시광선을 취출하는 것을 특징으로 하는 자외선 램프의 열화검출장치.The method according to claim 1,
Limiting means for taking out visible light of a specific wavelength band from the visible light generated by the rare gas emitted from the ultraviolet lamp is further provided, the limiting means is a kind of rare gas enclosed in the ultraviolet lamp Degradation detection apparatus for an ultraviolet lamp, characterized in that the visible light is taken out according to a predetermined wavelength band. 청구항 2에 있어서,
상기 광검출기와 상기 제한수단을 수용하는 케이싱을 구비하여 이루어지고, 당해 케이싱은 적어도 상기 제한수단을 교환 가능하게 수용하는 것을 특징으로 하는 자외선 램프의 열화검출장치.The method according to claim 2,
And a casing for accommodating the photodetector and the restriction means, wherein the casing accommodates at least the restriction means so as to be replaceable. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 자외선 램프로부터 방사되는 자외선 및 가시광선 가운데, 상기 자외선을 차단하는 차단수단을 더 구비하는 자외선 램프의 열화검출장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
Deterioration detection apparatus of the ultraviolet lamp further comprises a blocking means for blocking the ultraviolet light among the ultraviolet rays and visible light emitted from the ultraviolet lamp. 수은 및 희가스를 봉입하여 이루어지는 자외선 램프로부터 방사되는 자외선 및 가시광선 중 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선만을 수광하는 광검출기를 이용하여, 이 수광한 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 발광강도를 검출하는 스텝과,
상기 검출한 상기 희가스에 의해서 발생되는 가시광선의 광강도가 소정의 문턱값을 상회하는 것에 근거하여, 상기 자외선 램프를 교환해야 한다는 취지를 통지하는 스텝으로 이루어지는 자외선 램프의 열화검출방법.A photodetector for receiving only visible light generated by the rare gas among ultraviolet and visible light emitted from an ultraviolet lamp formed by enclosing mercury and rare gas is used to detect the emission intensity of visible light generated by the received rare gas. Steps,
And a step of notifying that the ultraviolet lamp should be replaced on the basis of the light intensity of the visible light generated by the detected rare gas exceeding a predetermined threshold value. 삭제delete 삭제delete
KR1020130139898A 2012-11-21 2013-11-18 Deterioration detection device and method for ultraviolet ray discharge lamp KR102051684B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012255175A JP5981834B2 (en) 2012-11-21 2012-11-21 Apparatus and method for detecting deterioration of ultraviolet lamp
JPJP-P-2012-255175 2012-11-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140065341A KR20140065341A (en) 2014-05-29
KR102051684B1 true KR102051684B1 (en) 2019-12-03

Family

ID=50800954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130139898A KR102051684B1 (en) 2012-11-21 2013-11-18 Deterioration detection device and method for ultraviolet ray discharge lamp

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5981834B2 (en)
KR (1) KR102051684B1 (en)
CN (1) CN103837231B (en)
TW (1) TWI604181B (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5649703B1 (en) * 2013-09-12 2015-01-07 株式会社東芝 UV irradiation equipment
US9971233B2 (en) * 2015-03-17 2018-05-15 Seiko Epson Corporation Projector and method of controlling projector
CN105572605B (en) * 2015-12-16 2018-04-06 浙江凯耀照明股份有限公司 Infrared induction light fixture detection device and detection method
WO2019127549A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-04 深圳前海小有技术有限公司 Sterilization head having light source monitoring function and sterilization device
JP6814826B2 (en) * 2019-01-22 2021-01-20 日機装株式会社 Fluid sterilizer
JP7210305B2 (en) * 2019-01-31 2023-01-23 日機装株式会社 Fluid sterilizer
CN116068455A (en) * 2023-01-28 2023-05-05 宝邑(深圳)照明科技有限公司 Lamp life prediction method, system, electronic equipment and medium

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010251142A (en) * 2009-04-16 2010-11-04 Nikon Corp Light irradiation apparatus and inspection device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4201916A (en) * 1978-03-20 1980-05-06 Sidney Ellner Ultraviolet radiation sensor for use in liquid purification system
JPH0352686A (en) * 1989-07-19 1991-03-06 Matsushita Electric Works Ltd Uv-sterilization water purifier
JP3120554B2 (en) * 1992-03-30 2000-12-25 大日本印刷株式会社 Registration method and apparatus for printing
JPH0843250A (en) * 1994-07-29 1996-02-16 Matsushita Electric Works Ltd Device for forced deterioration testing of phosphor for fluorescent lamp
DE19803071C2 (en) * 1998-01-28 2001-01-04 Hansa Metallwerke Ag Device for sterilizing water that flows through a sanitary facility
JP2004088602A (en) * 2002-08-28 2004-03-18 Fuji Photo Film Co Ltd Method and apparatus for determining fluorescent lamp light source
JP3940685B2 (en) * 2002-09-30 2007-07-04 宏 林 Ultraviolet sterilization and purification device with detection / determination function such as ultraviolet rays and cracks
US20040200975A1 (en) 2003-04-14 2004-10-14 Brown Dale Marius Ultraviolet sensors for monitoring energy in the germicidal wavelengths
US7906071B2 (en) * 2005-01-12 2011-03-15 Agilent Technologies, Inc. Flame photometric detector having improved sensitivity

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010251142A (en) * 2009-04-16 2010-11-04 Nikon Corp Light irradiation apparatus and inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014102190A (en) 2014-06-05
CN103837231A (en) 2014-06-04
TWI604181B (en) 2017-11-01
JP5981834B2 (en) 2016-08-31
KR20140065341A (en) 2014-05-29
CN103837231B (en) 2017-05-17
TW201423076A (en) 2014-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102051684B1 (en) Deterioration detection device and method for ultraviolet ray discharge lamp
US10351443B2 (en) Monitoring and controlling a water-disinfecting system with a broadband UV emitter and separated UV sensors arranged in a water channel
US6407383B1 (en) Method and device for determining the oil concentration in liquids by means of fluorescence excitation with an excimer lamp
CN100520318C (en) Ultraviolet sensor for monitoring energy in germicidal wavelengths
US20110063115A1 (en) Light emitting device, illumination device, and photo sensor
US20130015362A1 (en) Fluid purification and sensor system
EP1324029A3 (en) Fluorescent transilluminator
US20150346077A1 (en) Viable particle counting system and viable particle counting method
KR100822099B1 (en) Method and apparatus for measuring nitrogen in a gas
KR100931764B1 (en) Ultraviolet irradiation device
RU2013123138A (en) LUMINESCENT MATERIAL AND LIGHT-RADIATING DEVICE CONTAINING SUCH LUMINESCENT MATERIAL
Heidner III et al. Kinetic study of electronically excited oxygen atoms, O (21D2), by time-resolved atomic absorption spectroscopy in the vacuum ultra-violet (λ= 115.2 nm, O (31D02← 21D2))
JP4758345B2 (en) Vacuum ultraviolet radiation detection apparatus and method
JP5670717B2 (en) Ozone gas supply device
JP4311266B2 (en) Excimer lamp and UV irradiation device
JP2012173273A (en) Ozone concentration measurement device
JP2006300706A (en) Life decision method for ultraviolet light source, ultraviolet light source device, and ultraviolet irradiation device
US5357171A (en) Gas discharge lamp system with automatic shutoff means
JPH1040436A (en) Fluorescent pattern detector
JPH0896769A (en) Dielectric barrier discharge lamp device
KR101288636B1 (en) Illumination measuring apparatus for excimer lamp
JP2005274523A (en) Spectrophotometer
JP2018141651A (en) Functional water concentration sensor
US11366088B2 (en) System and method for ozone concentration measurement in ice
JP2000121556A (en) Device for detecting substance dissolved in water and measuring device using the same

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant