JP6382729B2 - Method for producing cylindrical pattern film, method for producing pattern roll, and peeling apparatus - Google Patents

Method for producing cylindrical pattern film, method for producing pattern roll, and peeling apparatus Download PDF

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Description

本発明は、表面に微細な凹凸パターンを有する筒型パターン膜の作製方法、および筒型パターン膜を備えたパターンロールの作製方法に関するものである。また、本発明は、筒状膜をロール状支持体から剥離するための剥離装置に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a cylindrical pattern film having a fine concavo-convex pattern on the surface, and a method for producing a pattern roll provided with the cylindrical pattern film. Moreover, this invention relates to the peeling apparatus for peeling a cylindrical film | membrane from a roll-shaped support body.

近年、ロール・トゥ・ロール等のウェブハンドリング技術を応用したナノインプリントが提案されている。例えばこのようなナノインプリントは、加工対象となるシート(例えば樹脂製フィルムや無機基板等)を繰り出す繰出装置とそのシートを巻き取る巻取装置との間の搬送路上に、微細な凹凸パターンを表面に有するパターンロール(ロール金型、モールドロール或いはスタンパロールとも呼ばれる)を備え、パターンロールをシートの加工面に接触させながらシートを繰出装置から巻取装置へと搬送するものである。これにより、連続的に効率よく、樹脂製フィルムにエンボス加工を施したり、シート上に塗布されたレジストにパターンを形成したりすることが可能となる。   In recent years, nanoimprints using web handling technologies such as roll-to-roll have been proposed. For example, such a nanoimprint has a fine uneven pattern on the surface of a conveyance path between a feeding device that feeds out a sheet to be processed (for example, a resin film or an inorganic substrate) and a winding device that winds up the sheet. A pattern roll (also called a roll mold, a mold roll, or a stamper roll) is provided, and the sheet is conveyed from the feeding device to the winding device while the pattern roll is in contact with the processing surface of the sheet. Thereby, it becomes possible to emboss the resin film continuously and efficiently and to form a pattern on the resist applied on the sheet.

パターンロールを得るために、ロール表面に、ミクロン〜サブミクロンオーダーの凹凸パターンを、シームレスで(繋ぎ目なく)形成する技術はすでに知られている。具体的な例として、ロール表面にレジストを塗布し、レーザ露光によってパターニングする技術がある。しかし、レジスト材料は、剛性や耐久性が十分でないことから、連続インプリント用のパターンロールとしてパターンシート製造に適用するには不適な場合が多い。このため、表面にレジストによる凹凸パターンを有するロールを原版ロールとして、転写技術ならびに電鋳技術を利用して、金属からなる円筒状のパターンロールを複製品として作製する技術が開発されている(特許文献1など)。   In order to obtain a pattern roll, a technique for seamlessly forming a concave-convex pattern of micron to sub-micron order on the roll surface (seamlessly) is already known. As a specific example, there is a technique in which a resist is applied to the roll surface and patterned by laser exposure. However, since the resist material has insufficient rigidity and durability, it is often unsuitable for application to pattern sheet production as a pattern roll for continuous imprinting. For this reason, a technology has been developed in which a roll having a concavo-convex pattern of resist on the surface is used as a master roll, and a cylindrical pattern roll made of metal is produced as a replica using transfer technology and electroforming technology (patent) Reference 1).

他方、特許文献2には、外周面に凹凸パターンを有する原版ロール(母型)の外周面にシリコーン樹脂層を形成することにより、転写凹凸パターンを内面に有する円筒状のシリコーン樹脂層を形成し、原版ロールから円筒状のシリコーン樹脂層を剥離し、外周側から保持した状態で、内面の転写凹凸パターン表面に金属層を形成して、凹凸パターンを有する円筒状の金属層からなるパターンロールを得ることが開示されている。
特許文献2には、円筒状のシリコーン樹脂層を原版ロールから剥離する方法として、(1)予めシリコーン樹脂層の表面に接着剤を塗布してから、シリコーン樹脂層の外形よりも大きい内径を有する中空状の円筒状ホルダーをその周辺に設置した上で、ホルダーの内壁にシリコーン樹脂層の一部を圧接し、順次、全面を圧接することにより剥離する方法、(2)シリコーン樹脂層とホルダーの一方の端部を接着してから他方の端部からその間隙に存在する空気を脱気することで剥離する方法、(3)同様に一方の端部を接着してから、原版ロールとシリコーン樹脂層との間に圧縮空気を送り込み、その圧力で剥離する方法などが挙げられている。
On the other hand, in Patent Document 2, a cylindrical silicone resin layer having a transfer concavo-convex pattern on its inner surface is formed by forming a silicone resin layer on the outer peripheral surface of a master roll (matrix) having an concavo-convex pattern on the outer peripheral surface. In the state where the cylindrical silicone resin layer is peeled from the original roll and held from the outer peripheral side, a metal layer is formed on the surface of the transfer uneven pattern on the inner surface, and a pattern roll comprising a cylindrical metal layer having an uneven pattern It is disclosed to obtain.
In Patent Document 2, as a method of peeling a cylindrical silicone resin layer from an original roll, (1) an adhesive is previously applied to the surface of the silicone resin layer, and then the inner diameter is larger than the outer shape of the silicone resin layer. A method in which a hollow cylindrical holder is installed in the periphery, and a part of the silicone resin layer is pressure-contacted to the inner wall of the holder, and then the entire surface is pressure-contacted and peeled off sequentially. (2) The silicone resin layer and the holder A method in which one end is bonded and then degassed by degassing the air existing in the gap from the other end. (3) Similarly, after bonding one end, the original roll and the silicone resin Examples include a method in which compressed air is fed between the layers and peeling is performed with the pressure.

特開2005−199642号公報JP 2005-199642 A 特開2007−290274号公報JP 2007-290274 A

しかしながら、特許文献1に記載の方法では、原版ロールから、金属の複製ロールを製作する場合、転写剥離の際、原版ロールのレジストを溶解する必要があることから、原版ロールから、金属複製ロールが1本しか製作できない。すなわち、1本の金属複製ロールを作製する毎に、原版ロールを新規製作する必要がある。例えば連続インプリントでパターンシートを製造する場合、複製ロール型を数日で交換する必要が生じる場合もある。原版ロール製作は、時間とコストがかかることから、金属複製ロールを何本も作製する場合は極めてコスト高となる。したがって、原版ロールを破壊することなく複数回複製可能として低コストで複製ロールを得る方法が求められている。   However, in the method described in Patent Document 1, when producing a metal replication roll from an original roll, it is necessary to dissolve the resist of the original roll at the time of transfer peeling. Only one can be produced. That is, every time one metal replica roll is manufactured, it is necessary to newly manufacture an original roll. For example, when a pattern sheet is manufactured by continuous imprinting, it may be necessary to replace the replication roll mold within a few days. Since the production of the master roll takes time and cost, it is extremely expensive to produce many metal replica rolls. Therefore, there is a need for a method for obtaining a duplicate roll at a low cost so that the master roll can be duplicated a plurality of times without destroying the master roll.

特許文献2には、原版ロールからシリコーン樹脂層を剥離する方法が述べられているが、十分に具体的な方法が開示されているとは言えず、より具体的かつ現実的な剥離方法が求められている。
また、特許文献2では、円筒状のシリコーン樹脂層の内面に円筒電鋳膜を形成した後、円筒電鋳膜からシリコーン樹脂層を剥離する方法としては、シリコーン樹脂層の一部を切断し展開して剥離する方法が開示されており、転写凹凸パターンを有するシリコーン樹脂層を複数回使用することは想定されていない。すなわち、原版ロールから複数の樹脂製の複製ロールを作製することはできるが、樹脂製の複製ロール自体は1回しか用いることができない。樹脂製の複製ロール自体も複数回使用可能とすればさらなる低コスト化を図ることができると考えられる。
Patent Document 2 describes a method of peeling a silicone resin layer from an original roll, but it cannot be said that a sufficiently specific method is disclosed, and a more specific and realistic peeling method is desired. It has been.
In Patent Document 2, after forming a cylindrical electroformed film on the inner surface of a cylindrical silicone resin layer, as a method of peeling the silicone resin layer from the cylindrical electroformed film, a part of the silicone resin layer is cut and expanded. Thus, a method of peeling is disclosed, and it is not assumed that a silicone resin layer having a transferred uneven pattern is used a plurality of times. That is, a plurality of resin duplication rolls can be produced from the original roll, but the resin duplication roll itself can be used only once. It is considered that further cost reduction can be achieved if the resin-made duplication roll itself can be used a plurality of times.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、低コストで実現でき、かつ原版ロールから樹脂製の筒型パターン膜を剥離する具体的手法を含む筒型パターン膜の作製方法およびその筒型パターン膜を用いたパターンロールの作製方法を提供することを目的とする。また、本発明は、原版ロールから筒型パターン膜を剥離するための剥離装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and can be realized at a low cost, and includes a method for producing a cylindrical pattern film including a specific method for peeling a resin cylindrical pattern film from an original roll, and the cylinder thereof. It aims at providing the preparation method of the pattern roll using a type | mold pattern film | membrane. Another object of the present invention is to provide a peeling apparatus for peeling a cylindrical pattern film from an original roll.

本発明の第1の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンが外面に形成されてなる原版ロールの外面に、弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、その被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる、弾性材からなる筒型パターン膜を形成し、
筒型パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの内側面を筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの内側面に筒型パターン膜の外面を吸着させ、
吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、筒型パターン膜を原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法である。
In the first method for producing a cylindrical pattern film of the present invention, a raw material liquid of an elastic material is applied to the outer surface of an original plate roll having an uneven pattern formed on the outer surface to form a film, and the film is cured. By forming a cylindrical pattern film made of an elastic material, to which the concavo-convex pattern is transferred,
Three or more blocks having an inner surface with an arc-shaped cross section along the outer surface of the cylindrical pattern film, and the inner surface of each block are arranged to face each other at different positions in the circumferential direction of the outer surface of the cylindrical pattern film, Adsorb the outer surface of the cylindrical pattern film to the inner surface of the block,
In this method, the cylindrical pattern film is peeled off from the original roll by moving each block outward in the normal direction relative to the outer surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state.

本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンが内面に形成されてなる円筒状の原版ロールの内面に、弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、その被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる、弾性材からなる筒型パターン膜を形成し、
筒型パターン膜の内面に沿った、断面が円弧状の外側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの外側面を筒型パターン膜の内面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの外側面に筒型パターン膜の内面を吸着させ、
吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の内面に対する法線方向内向きへ移動させることにより、筒型パターン膜を原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法である。
The second method for producing a cylindrical pattern film of the present invention is to apply a raw material liquid of an elastic material to the inner surface of a cylindrical master roll having a concavo-convex pattern formed on the inner surface to form a coating film. By forming a cylindrical pattern film made of an elastic material, the uneven pattern is transferred by curing,
Three or more blocks having an outer surface with an arc-shaped cross section along the inner surface of the cylindrical pattern film, and the outer surface of each block are arranged opposite to each other in the circumferential direction of the inner surface of the cylindrical pattern film, Adhere the inner surface of the cylindrical pattern film to the outer surface of the block,
This is a method for producing a cylindrical pattern film in which each block is moved inwardly in the normal direction with respect to the inner surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state, thereby peeling the cylindrical pattern film from the original roll.

上記において、「弾性材の原料液」とは、硬化することにより弾性材となる液状組成物であり、原料液を硬化して得られる弾性材が熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂であるとき、それぞれ未硬化の流動状態にある状態のものをいい、原料液を硬化して得られる弾性材が熱可塑性樹脂であるとき、溶剤に熱可塑性樹脂を溶解させたものをいう。   In the above, the “raw material liquid of elastic material” is a liquid composition that becomes an elastic material when cured, and the elastic material obtained by curing the raw material liquid is a thermosetting resin or a photocurable resin. , Which are in an uncured fluid state, and when an elastic material obtained by curing a raw material liquid is a thermoplastic resin, it means a material in which a thermoplastic resin is dissolved in a solvent.

本発明の第1および第2の筒型パターン膜の作製方法においては、筒型パターン膜を原版ロールから剥離する際に、ブロックを、筒型パターン膜のうちブロックに密着した部分が円筒体から剥離する距離だけ移動させ、その後、ブロックを停止させた状態で、筒型パターン膜の弾性力を用いてブロックに密着していない部分を原版ロールから剥離させてもよい。   In the first and second cylindrical pattern film manufacturing methods of the present invention, when the cylindrical pattern film is peeled from the original roll, the portion of the cylindrical pattern film that is in close contact with the block is removed from the cylindrical body. The portion that is not in close contact with the block may be peeled off from the original roll using the elastic force of the cylindrical pattern film while the block is moved by the distance to be peeled and then the block is stopped.

本発明の第1および第2の筒型パターン膜の作製方法においては、ブロックを移動する際、ブロックの長さ方向の一端を、他端よりも先に原版ロールから離間させるようにブロックを傾けて移動させてもよい。   In the first and second cylindrical pattern film manufacturing methods of the present invention, when moving the block, the block is tilted so that one end in the length direction of the block is separated from the original roll before the other end. May be moved.

なお、ブロックの筒型パターン膜と吸着する面と筒型パターン膜との間に多孔質シートを介在させて吸着させることが好ましい。
ここで、ブロックの筒型パターン膜と吸着する面とは、第1の筒型パターン膜の作製方法におけるブロックの場合は内側面であり、第2の筒型パターン膜の作製方法におけるブロックの場合は外側面である。
In addition, it is preferable to adsorb | suck by interposing a porous sheet between the cylindrical pattern film of a block, the surface to adsorb | suck, and a cylindrical pattern film.
Here, the cylindrical pattern film of the block and the adsorbing surface are inner surfaces in the case of the block in the first method for producing the cylindrical pattern film, and in the case of the block in the method for producing the second cylindrical pattern film. Is the outer surface.

本発明のパターンロールの作製方法は、上記本発明の筒型パターン膜の作製方法を用い、
外面に原版ロールの凹凸パターンに応じた凹凸パターンを有するパターンロールを作製するパターンロールの作製方法である。
ここで、原版ロールの凹凸パターンに応じた凹凸パターンとは、原版ロールからの奇数回の転写を経て形成されたパターンロールにおいては原版ロールの凹凸パターンの反転凹凸パターンであり、原版ロールからの偶数回の転写を経て形成されたパターンロールにおいては原版ロールの凹凸パターンと凹凸関係が等しい凹凸パターンである。
The production method of the pattern roll of the present invention uses the production method of the cylindrical pattern film of the present invention,
This is a pattern roll production method for producing a pattern roll having an uneven pattern corresponding to the uneven pattern of the original roll on the outer surface.
Here, the concavo-convex pattern corresponding to the concavo-convex pattern of the original roll is a reverse concavo-convex pattern of the concavo-convex pattern of the original roll in the pattern roll formed through an odd number of transfers from the original roll, and an even number from the original roll. In the pattern roll formed through the transfer of times, the concavo-convex pattern is the same as the concavo-convex pattern of the original roll.

本発明のパターンロールの作製方法は、筒型パターン膜の作製方法により得られた筒型パターン膜が内面に凹凸パターンを有するものであるとき、筒型パターン膜の内面に電鋳により筒型電鋳膜を形成し、筒型電鋳膜から筒型パターン膜を剥離して筒型電鋳膜に筒型電鋳膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込む、あるいは、筒型電鋳膜に筒型電鋳膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込んで筒型電鋳膜から筒型パターン膜を剥離することにより、パターンロールを得てもよい。   The pattern roll manufacturing method of the present invention is such that when the cylindrical pattern film obtained by the cylindrical pattern film manufacturing method has an uneven pattern on the inner surface, the inner surface of the cylindrical pattern film is electroformed on the inner surface by electroforming. Form a cast film, peel the cylindrical pattern film from the cylindrical electroformed film, and fit the cylindrical core that matches the inner circumference of the cylindrical electroformed film into the cylindrical electroformed film, or the cylindrical electroformed film A pattern roll may be obtained by fitting a cylindrical core that coincides with the inner periphery of the cylindrical electroformed film into the cylinder and peeling the cylindrical pattern film from the cylindrical electroformed film.

ここで、筒型電鋳膜から筒形パターン膜を剥離する際には、筒形パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの内側面を筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの内側面に筒型パターン膜の外面を吸着させ、吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、筒型パターン膜を筒形電鋳膜から剥離することが好ましい。   Here, when peeling the cylindrical pattern film from the cylindrical electroformed film, three or more blocks having an arcuate inner surface along the outer surface of the cylindrical pattern film, the inner surface of each block Are arranged opposite to each other in the circumferential direction on the outer surface of the cylindrical pattern film so that the outer surface of the cylindrical pattern film is adsorbed on the inner surface of each block, and each block is attached to the outer surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state It is preferable to peel the cylindrical pattern film from the cylindrical electroformed film by moving outward in the normal direction.

本発明のパターンロールの作製方法においては、筒型パターン膜の作製方法により得られた筒型パターン膜が外面に凹凸パターンを有するものであるとき、筒型パターン膜にその内周と一致する円柱芯を嵌め込むことによりパターンロールを得てもよい。   In the pattern roll manufacturing method of the present invention, when the cylindrical pattern film obtained by the cylindrical pattern film manufacturing method has a concavo-convex pattern on the outer surface, the cylindrical pattern film coincides with its inner periphery. A pattern roll may be obtained by fitting a core.

本発明のパターンロールの作製方法においては、筒型パターン膜の成形方法により得られた筒型パターン膜が内面に凹凸パターンを有するものであるとき、筒型パターン膜を裏返すことによって、外面に凹凸パターンを有するものとし、外面に凹凸パターンを有する筒型パターン膜にその内周と一致する円柱芯を嵌め込むことにより、パターンロールを得てもよい。   In the method for producing the pattern roll of the present invention, when the cylindrical pattern film obtained by the cylindrical pattern film forming method has an uneven pattern on the inner surface, the cylindrical pattern film is turned upside down so that the outer surface is uneven. A pattern roll may be obtained by fitting a cylindrical core that coincides with the inner periphery of a cylindrical pattern film having a pattern and having an uneven pattern on the outer surface.

上記筒型パターン膜を裏返す際には、筒型パターン膜を、円筒形状を維持した状態で外面から支持し、筒型パターン膜の長さ方向の一端を把持してその一端を円筒内側から他端側に向けて引っ張って裏返すことが好ましい。
また、このときには、筒型パターン膜を把持した一端からエアチューブに嵌め込むように、円筒形状を維持しつつ裏返すことが好ましい。
When turning the cylindrical pattern film upside down, the cylindrical pattern film is supported from the outside while maintaining the cylindrical shape, and one end in the length direction of the cylindrical pattern film is gripped and the other end is moved from the inside of the cylinder. It is preferable to pull it toward the end side and turn it over.
Further, at this time, it is preferable that the cylindrical pattern film is turned over while maintaining the cylindrical shape so as to be fitted into the air tube from one end where the cylindrical pattern film is gripped.

本発明のパターンロールの作製方法は、筒型パターン膜に円柱芯を嵌め込む際に、筒型パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの内側面を筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの内側面に筒型パターン膜の外面を吸着させ、
吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、筒型パターン膜の中空部を拡げ、拡げられた中空部に円柱芯を挿入した後、各ブロックによる吸着を解除することにより、筒型パターン膜に円柱芯を嵌め込みパターンロールを得てもよい。
The method for producing a pattern roll according to the present invention comprises three or more blocks each having an inner surface with an arc-shaped cross section along the outer surface of the cylindrical pattern film when the cylindrical core is fitted into the cylindrical pattern film. The inner surface of the cylindrical pattern film is arranged opposite to the outer surface of the cylindrical pattern film at different positions in the circumferential direction, and the outer surface of the cylindrical pattern film is adsorbed on the inner side surface of each block,
By moving each block in the normal direction outward with respect to the outer surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state, the hollow part of the cylindrical pattern film is expanded, and after inserting the cylindrical core into the expanded hollow part, By releasing the adsorption by the block, the cylindrical core may be fitted into the cylindrical pattern film to obtain a pattern roll.

本発明の第1の剥離装置は、ロール状支持体の外面に密着した弾性材からなる筒状膜を、ロール状支持体から剥離するための剥離装置であって、
断面が円弧状の内側面と、その内側面に設けられた複数の孔と、その孔に連通する吸引路とを備え、円周上に配置された3つ以上のブロックと、
吸引路に接続された吸引部と、
ブロックを径方向に移動させる移動制御部と、
吸引部の作動を制御する吸引制御部とを備えた剥離装置である。
The first peeling apparatus of the present invention is a peeling apparatus for peeling a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the outer surface of a roll-shaped support from the roll-shaped support,
Three or more blocks disposed on the circumference, each having an arcuate inner surface, a plurality of holes provided in the inner surface, and a suction path communicating with the holes;
A suction part connected to the suction path;
A movement control unit for moving the block in the radial direction;
It is a peeling apparatus provided with the suction control part which controls the action | operation of a suction part.

本発明の第2の剥離装置は、筒状のロール状支持体の内面に密着した弾性材からなる筒状膜を、ロール状支持体から剥離するための剥離装置であって、
断面が円弧状の外側面と、その外側面に設けられた複数の孔と、その孔に連通する吸引路とを備え、円周上に配置された3つ以上のブロックと、
吸引路に接続された吸引部と、
ブロックを径方向に移動させる移動制御部と、
吸引部の作動を制御する吸引制御部とを備えた剥離装置である。
The second peeling apparatus of the present invention is a peeling apparatus for peeling a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the inner surface of a cylindrical roll-shaped support from the roll-shaped support,
Three or more blocks disposed on the circumference, each having an outer surface having a circular cross section, a plurality of holes provided in the outer surface, and suction paths communicating with the holes;
A suction part connected to the suction path;
A movement control unit for moving the block in the radial direction;
It is a peeling apparatus provided with the suction control part which controls the action | operation of a suction part.

本発明の第1の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンを外面に備えた原版ロールの外面に形成された弾性材からなる筒型パターン膜を、筒型パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの内側面を筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの内側面に筒型パターン膜の外面を吸着させ、吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、筒型パターン膜を原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法である。かかる方法によれば、筒型パターン膜および原版ロールの双方を破壊することなく、筒型パターン膜を原版ロールから剥離することができるので、筒型パターン膜および原版ロールを繰り返し用いることができ、筒型パターン膜を安価に作製することができる。また、この方法を用いれば、パターンロールを安価に提供することが可能となる。   In the first method for producing a cylindrical pattern film of the present invention, a cylindrical pattern film made of an elastic material formed on the outer surface of an original plate roll provided with an uneven pattern on the outer surface is formed along the outer surface of the cylindrical pattern film. Three or more blocks having an arc-shaped inner surface in cross section, and the inner surface of each block are arranged opposite to each other in the circumferential direction on the outer surface of the cylindrical pattern film, and the cylindrical pattern film is formed on the inner surface of each block. A method for producing a cylindrical pattern film in which a cylindrical pattern film is peeled off from an original roll by moving each block outward in the normal direction with respect to the outer surface of the cylindrical pattern film while adsorbing the outer surface. . According to such a method, the cylindrical pattern film can be peeled from the original roll without destroying both the cylindrical pattern film and the original roll, so that the cylindrical pattern film and the original roll can be used repeatedly. A cylindrical pattern film can be produced at low cost. Moreover, if this method is used, a pattern roll can be provided at low cost.

本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンを内面に備えた原版ロールの内面に形成された弾性材からなる筒型パターン膜を、筒型パターン膜の内面に沿った、断面が円弧状の外側面を有するブロックを3つ以上、各ブロックの外側面を筒型パターン膜の内面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロックの外面に筒型パターン膜の内面を吸着させ、吸着させた状態で各ブロックを筒型パターン膜の内面に対する法線方向内向きへ移動させることにより、筒型パターン膜を原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法である。かかる方法によれば、筒型パターン膜および原版ロールの双方を破壊することなく、筒型パターン膜を原版ロールから剥離することができるので、筒型パターン膜および原版ロールを繰り返し用いることができ、筒型パターン膜を安価に作製することができる。また、この方法を用いれば、パターンロールを安価に提供することが可能となる。   In the second cylindrical pattern film production method of the present invention, a cylindrical pattern film made of an elastic material formed on the inner surface of an original plate roll provided with an uneven pattern on the inner surface, along the inner surface of the cylindrical pattern film, Three or more blocks having an outer surface with an arcuate cross section, and the outer surface of each block are arranged opposite to each other in the circumferential direction of the inner surface of the cylindrical pattern film, and the inner surface of the cylindrical pattern film is placed on the outer surface of each block The cylindrical pattern film is peeled off from the original roll by moving each block inwardly in the normal direction with respect to the inner surface of the cylindrical pattern film in a state of being adsorbed. According to such a method, the cylindrical pattern film can be peeled from the original roll without destroying both the cylindrical pattern film and the original roll, so that the cylindrical pattern film and the original roll can be used repeatedly. A cylindrical pattern film can be produced at low cost. Moreover, if this method is used, a pattern roll can be provided at low cost.

本発明の第1の筒型パターン膜の作製工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the preparation process of the 1st cylindrical pattern film | membrane of this invention. 筒型パターン膜の戻り力を利用した剥離工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the peeling process using the return force of a cylindrical pattern film | membrane. 本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法の工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the process of the manufacturing method of the 2nd cylindrical pattern film | membrane of this invention. 第1の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the preparation process of the pattern roll of 1st Embodiment. 筒型パターン膜を外周側から円筒枠で支持させ、電鋳を行う工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the process of making a cylindrical pattern film | membrane support from the outer peripheral side with a cylindrical frame, and performing electroforming. 第2の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the preparation process of the pattern roll of 2nd Embodiment. 図6の工程において、内側に凹凸パターンを有する筒型パターン膜を裏返す工程を模式的に示す図である。In the process of FIG. 6, it is a figure which shows typically the process of turning over the cylindrical pattern film | membrane which has an uneven | corrugated pattern inside. 図6の工程において筒型パターン膜の中空部に円柱芯を挿入する工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the process of inserting a cylindrical core in the hollow part of a cylindrical pattern film | membrane in the process of FIG. 第3の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the preparation process of the pattern roll of 3rd Embodiment. 図9の工程において、筒型パターン膜の中空部に円柱芯を挿入する工程を模式的に示す図である。In the process of FIG. 9, it is a figure which shows typically the process of inserting a cylindrical core in the hollow part of a cylindrical pattern film | membrane. 複製型原版ロールの作製工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the preparation process of a replication type | mold original plate roll. パターンロールを用いた連続インプリントを実施するための装置の一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of apparatus for implementing the continuous imprint using a pattern roll. 第1の剥離装置の構成を模式的に示す、装置の長軸方向に垂直な面で切断した切断部端面図Aと長軸方向に平行な面で切断した断面図Bである。It is sectional drawing B cut | disconnected by the surface parallel to a long-axis direction, and the cutting part end view A cut | disconnected by the surface perpendicular | vertical to the major-axis direction of the apparatus which shows the structure of a 1st peeling apparatus typically. 図13の剥離装置のブロックを模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the block of the peeling apparatus of FIG. 13 typically. ブロックを傾けて剥離する際の剥離方法を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the peeling method at the time of inclining and peeling a block. 第2の剥離装置の構成を模式的に示す、装置の長軸方向に垂直な面で切断した切断部端面図Aと長軸方向に平行な面で切断した断面図Bである。It is sectional drawing B cut | disconnected by the surface parallel to a long-axis direction, and the cutting part end view A cut | disconnected by the surface perpendicular | vertical to the major axis direction of the apparatus which shows the structure of a 2nd peeling apparatus schematically. 図16の剥離装置のブロックを模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the block of the peeling apparatus of FIG. 16 typically.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明するが、本発明はこれに限られるものではない。なお、視認しやすくするため、図面中の各構成要素の縮尺等は実際のものとは適宜変えている。   Hereinafter, although an embodiment of the present invention is described using a drawing, the present invention is not limited to this. In addition, in order to make it easy to visually recognize, the scale of each component in the drawings is appropriately changed from the actual one.

[筒型パターン膜の作製方法]
まず、本発明の第1および第2の筒型パターン膜の作製方法について順に説明する。筒型パターン膜は、凹凸パターン表面を有する原版ロールを用いて作製されるが、本発明の第1の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンを外面に有する原版ロールを用いる場合に関し、本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法は、凹凸パターンを円筒内面に有する原版ロールを用いる場合に関する。なお、本明細書において原版ロールとは、ロール表面(内面もしくは外面)に凹凸パターンを直接加工したものをいい、ロール表面に凹凸パターンシートを巻き付けたものを含まない。
[Method for producing cylindrical pattern film]
First, the first and second cylindrical pattern film manufacturing methods of the present invention will be described in order. The cylindrical pattern film is produced using an original roll having a concavo-convex pattern surface. The first method for producing a cylindrical pattern film of the present invention relates to the case of using an original roll having an concavo-convex pattern on the outer surface. The manufacturing method of the 2nd cylindrical pattern film | membrane of invention relates to the case of using the negative | original plate roll which has an uneven | corrugated pattern in a cylindrical inner surface. In the present specification, the original roll refers to a roll surface (inner surface or outer surface) directly processed with a concavo-convex pattern, and does not include a concavo-convex pattern sheet wound around the roll surface.

(本発明の第1の筒型パターン膜の作製方法の実施形態)
本発明の第1の筒型パターン膜の作製方法の実施形態を説明する。図1は、本実施形態の作製工程を模式的に示す図である。
なお、図1は円筒の一端側から見た平面図であるが、図1中の部材を区別するために一部ハッチングを付している。後述の図2〜6および図8〜図11においても同様とする。
(Embodiment of the 1st cylindrical pattern film | membrane manufacturing method of this invention)
An embodiment of the first method for producing a cylindrical pattern film of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram schematically showing a manufacturing process of this embodiment.
FIG. 1 is a plan view seen from one end of the cylinder, but is partially hatched to distinguish the members in FIG. The same applies to FIGS. 2 to 6 and FIGS.

本実施形態の筒形パターン膜の作製方法は次の通りである。
図1に示すように、凹凸パターンが外面に形成されてなる原版ロール10を用意し(S11)、原版ロール10を一方向に回転させつつ、原版ロール10の外面、すなわち凹凸パターン表面にノズル15から弾性材の原料液20aを吐出させることにより、その原版ロール10の凹凸パターン表面に弾性材の原料液20aを塗布して被膜を形成する(S12)。そして、必要に応じてブレード16等を用いて被膜(原料液20a)の膜厚を均一化する(S13)。このとき、原版ロール10を回転中にブレード位置を制御して膜厚を調整することができる。被膜の膜厚は1〜5mm程度とすることが好ましい。
The manufacturing method of the cylindrical pattern film of this embodiment is as follows.
As shown in FIG. 1, a master roll 10 having a concavo-convex pattern formed on the outer surface is prepared (S11), and a nozzle 15 is formed on the outer surface of the master roll 10, that is, the concavo-convex pattern surface while rotating the master roll 10 in one direction. By discharging the elastic material liquid 20a from the elastic material raw material liquid 20a, the elastic material raw material liquid 20a is applied to the surface of the concavo-convex pattern of the original roll 10 to form a coating (S12). Then, if necessary, the film thickness of the coating (raw material liquid 20a) is made uniform using the blade 16 or the like (S13). At this time, the film thickness can be adjusted by controlling the blade position while the master roll 10 is rotating. The film thickness is preferably about 1 to 5 mm.

その後、原版ロール10を回転させながら原料液20aからなる被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる弾性材からなる筒型パターン膜20を形成し、筒型パターン膜20の外面に沿った、断面が円弧状の内側面115を有する4つのブロック110を、それらの内側面115が筒型パターン膜20の外面の、周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロック110の内側面115に筒型パターン膜20の外面を吸着させる(S14)。   Then, the cylindrical pattern film 20 made of an elastic material having the concavo-convex pattern transferred thereon is formed by curing the film made of the raw material liquid 20 a while rotating the original roll 10, and along the outer surface of the cylindrical pattern film 20. In addition, four blocks 110 each having an arc-shaped inner side surface 115 are arranged so that the inner side surfaces 115 face each other at different positions in the circumferential direction on the outer surface of the cylindrical pattern film 20. The outer surface of the cylindrical pattern film 20 is attracted to 115 (S14).

そして、吸着させた状態で各ブロック110を筒型パターン膜20の外面に対する法線方向外向きへ移動させる(S15)ことにより、筒型パターン膜20の内径を拡げて筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離する(S16)。さらに、筒型パターン膜20の内径を拡げた状態で原版ロール10を引き抜き、最後にブロック110による筒型パターン膜20の吸着を解除することにより筒型パターン膜20を得る(S17)。   Then, each block 110 is moved outward in the normal direction with respect to the outer surface of the cylindrical pattern film 20 in the adsorbed state (S15), thereby expanding the inner diameter of the cylindrical pattern film 20 and making the cylindrical pattern film 20 the original plate. It peels from the roll 10 (S16). Further, the master roll 10 is pulled out in a state where the inner diameter of the cylindrical pattern film 20 is expanded, and finally the adsorption of the cylindrical pattern film 20 by the block 110 is released to obtain the cylindrical pattern film 20 (S17).

原版ロール10としては、円柱部材(ロール)11の表面に凹凸パターン層12が形成されていればよく、公知の方法で得られたものを適宜用いることができる。例えば、円柱部材11の表面に光感光性樹脂からなるレジストをディップコート法などの塗布法により塗布し、レーザ光照射により、例えばミクロンオーダーのラインパターンを描画し、未硬化部を洗い流すことで、レジストの凹凸パターンを形成したもの、あるいは、さらにレジストの凹凸パターン上に必要に応じてスパッタによる金属被膜などの表面処理を行ったものを原版ロール10として用いることができる。   As the master roll 10, it is only necessary that the concavo-convex pattern layer 12 is formed on the surface of the cylindrical member (roll) 11, and those obtained by a known method can be appropriately used. For example, a resist made of a photosensitive resin is applied to the surface of the cylindrical member 11 by a coating method such as a dip coating method, and, for example, a micron-order line pattern is drawn by laser light irradiation, and uncured portions are washed away. The master roll 10 can be formed by forming a concavo-convex pattern of a resist, or by subjecting the concavo-convex pattern of the resist to surface treatment such as a metal coating by sputtering as necessary.

ロール寸法としては、例えば、長さ300〜1500mm、直径(内径)100〜500mm程度とする。
凹凸パターンとしては、たとえば、ライン・アンド・スペースパターンが挙げられるが、特に限定されるものではない。また、凹凸パターンの凸部幅、凹部幅、凸部と凹部との差(凸部の高さ)はいずれも数10nm〜数100μm程度までの範囲で用途に応じて任意に形成されたものを用いることができる。
The roll dimensions are, for example, a length of 300 to 1500 mm and a diameter (inner diameter) of about 100 to 500 mm.
Examples of the concavo-convex pattern include a line and space pattern, but are not particularly limited. In addition, the convex part width of the concave and convex pattern, the concave part width, and the difference between the convex part and the concave part (height of the convex part) are all arbitrarily formed in accordance with the application within a range from several tens nm to several hundreds μm. Can be used.

ブロック110に関し、断面が円弧状の内側面115はシリンドリカルな凹面であり、内側面115が「筒型パターン膜の外面に沿った」とは、筒型パターン膜の外面に密着可能な曲率を有していることを意味する。   Regarding the block 110, the inner side surface 115 having an arc-shaped cross section is a cylindrical concave surface, and “the inner side surface 115 is along the outer surface of the cylindrical pattern film” has a curvature capable of being in close contact with the outer surface of the cylindrical pattern film. Means that

本例において、筒型パターン膜の剥離にはブロック110を4つ用いるものとしているが、ブロックの数は3つ以上であれば、特に制限はない。ブロックの数は少なくとも4つ以上が好ましい。ロール径が大きいほど、ブロック数が多い方が望ましく、例えば、ロール径が100〜200mmであれば、ブロック数は4〜6個程度、ロール径が300〜500mmであれば、ブロック数は6〜10個程度が適当と考えられる。複数のブロックは同等の形状として、均等に配置されていることが望ましいが、必ずしもブロックの形状は同一でなくてもよい。筒型パターン膜の外面と密着するすべてのブロックの内側面の総面積は、筒型パターン膜の外面の7割以上、好ましくは8割以上を覆う大きさであることが好ましい。1つのブロックによる密着面積が大きいと大きな剥離力が必要となるので、1つのブロックは小さくブロック数を多くする方が好ましい。   In this example, four blocks 110 are used for peeling the cylindrical pattern film, but there is no particular limitation as long as the number of blocks is three or more. The number of blocks is preferably at least 4 or more. The larger the roll diameter, the larger the number of blocks is desirable. For example, if the roll diameter is 100 to 200 mm, the number of blocks is about 4 to 6, and if the roll diameter is 300 to 500 mm, the number of blocks is 6 to 6. About 10 is considered appropriate. Although it is desirable that the plurality of blocks are equally arranged as an equivalent shape, the shapes of the blocks are not necessarily the same. The total area of the inner side surfaces of all the blocks in close contact with the outer surface of the cylindrical pattern film is preferably large enough to cover 70% or more, preferably 80% or more of the outer surface of the cylindrical pattern film. When the adhesion area by one block is large, a large peeling force is required. Therefore, it is preferable that one block is small and the number of blocks is increased.

ブロックに筒型パターン膜を吸着させる方法としては、ブロック内部を空洞化し、ブロックの筒型パターン膜に接する面に多数の吸引孔を設けて減圧吸引する方法が特に好ましい。なお、ブロックの筒型パターン膜に接する面と筒型パターン膜との間に、多孔質シートを介在させた状態でブロックに筒型パターン膜を吸着させるようにしてもよい。
また、ブロックに筒型パターン膜を吸着させて剥離する際に、超音波振動を与えてもよい。具体例としては、超音波発生器を、剥離する部分のロール表面もしくは内面に当て、剥離方向と平行に振動が加わるように、超音波振動を与えることが好ましい。どうしても取り付ける場所がない場合は、ロール側面から振動を与えてもよい。なお、超音波発生器は、特に限定するものではないが、超音波発生器の出力は、例えば300〜3000W程度の範囲が好ましい。
As a method for adsorbing the cylindrical pattern film on the block, a method in which the inside of the block is hollowed out and a number of suction holes are provided on the surface of the block in contact with the cylindrical pattern film to perform vacuum suction is particularly preferable. In addition, you may make it adsorb | suck a cylindrical pattern film to a block in the state which interposed the porous sheet between the surface which contact | connects the cylindrical pattern film of a block, and a cylindrical pattern film.
Further, ultrasonic vibration may be applied when the cylindrical pattern film is adsorbed to the block and peeled off. As a specific example, it is preferable to apply ultrasonic vibration so that the ultrasonic generator is applied to the roll surface or the inner surface of the part to be peeled and vibration is applied parallel to the peeling direction. If there is absolutely no place to attach, vibration may be applied from the side of the roll. In addition, although an ultrasonic generator is not specifically limited, The output of an ultrasonic generator has the preferable range of about 300-3000W, for example.

また、筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離する際に、図2に示すように、筒型パターン膜20をブロック110に吸着させた状態(S31)から、筒型パターン膜20のうちブロック110に密着した部分を原版ロール10からわずかに剥離する分だけ移動させ(S32)、その後、ブロック110を停止させた状態で、筒型パターン膜20の弾性力(戻り力)を利用してブロック110に密着していない部分を原版ロール10から剥離させる(S33)ようにしてもよい。   Further, when the cylindrical pattern film 20 is peeled from the original roll 10, as shown in FIG. 2, the cylindrical pattern film 20 is blocked from the state in which the cylindrical pattern film 20 is adsorbed to the block 110 (S31). The portion that is in close contact with 110 is moved by a slight amount to be peeled off from the original roll 10 (S32), and then the block 110 is stopped and the block using the elastic force (return force) of the cylindrical pattern film 20 is used. A portion that is not in close contact with 110 may be peeled off from the original roll 10 (S33).

また、筒型パターン膜20をブロック110に吸着させた状態で、ブロック110を移動する際、ブロック110の長さ方向の一端を、他端よりも先に原版ロールから離間させるようにブロックを傾けて移動させることにより、筒型パターン膜20の一端のみ先に原版ロール10から剥離させ、その後、全体を剥離するようにしてもよい。   Further, when the block 110 is moved in a state where the cylindrical pattern film 20 is adsorbed to the block 110, the block is inclined so that one end in the length direction of the block 110 is separated from the original roll before the other end. By moving the cylindrical pattern film 20, only one end of the cylindrical pattern film 20 may be peeled first from the original roll 10, and then the whole may be peeled.

弾性材とは、ゴムのように、応力を与えることで伸縮し、ヤング率では10〜100MPa程度の特性を有する材料を指す。本発明において用いられる弾性材の具体例としては、シリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂、ウレタン系などの光硬化性樹脂、ゴム弾性のある熱可塑性樹脂(エラストマー、エチレン酢酸ビニルコポリマー(EVA)など)が挙げられる。なお、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂の筒型パターン膜を形成する場合には、それぞれ未硬化の流動状態にある状態のものを弾性材の原料液として用い、塗布後に熱エネルギーまたは光エネルギーを与えて硬化させればよい。熱可塑性樹脂の筒型パターン膜を形成する場合には、溶剤に熱可塑性樹脂を溶解させたものを弾性材の原料液として用い、塗布後に溶剤を蒸発させることにより硬化させればよい。   The elastic material refers to a material such as rubber that expands and contracts by applying stress and has a characteristic of about 10 to 100 MPa in Young's modulus. Specific examples of the elastic material used in the present invention include a thermosetting resin such as a silicone resin, a photo-curable resin such as urethane, and a thermoplastic resin having rubber elasticity (elastomer, ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), etc.). Is mentioned. When forming a cylindrical pattern film of a thermosetting resin or a photocurable resin, use an uncured fluidized state as the raw material liquid for the elastic material, and heat energy or light energy after application. Is sufficient to cure. In the case of forming a cylindrical pattern film of a thermoplastic resin, a material obtained by dissolving a thermoplastic resin in a solvent may be used as a raw material liquid for an elastic material, and the solvent may be cured by evaporating after application.

以上のように、本実施形態の筒型パターン膜20の作製方法によれば、筒型パターン膜20および原版ロール10を破壊することなく、筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離することができるので、双方を繰り返し用いることができ、低コストに筒型パターン膜20を製造することが可能となる。   As described above, according to the manufacturing method of the cylindrical pattern film 20 of the present embodiment, the cylindrical pattern film 20 can be peeled from the original roll 10 without destroying the cylindrical pattern film 20 and the original roll 10. Therefore, both can be used repeatedly, and the cylindrical pattern film 20 can be manufactured at low cost.

(本発明の第2の筒形パターン膜の作製方法の実施形態)
本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法の実施形態を説明する。図3は、本実施形態の作製工程を模式的に示す図である。
(Embodiment of the manufacturing method of the 2nd cylindrical pattern film of this invention)
An embodiment of a method for producing a second cylindrical pattern film of the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram schematically showing a manufacturing process of the present embodiment.

本実施形態の筒形パターン膜の作製方法は次の通りである。
図3に示すように、凹凸パターンが内面に形成されてなる円筒状の原版ロール30を用意し(S21)、原版ロール30を一方向に回転させつつ、原版ロール30の内面、すなわち凹凸パターン表面にノズル15から弾性材の原料液40aを吐出させることにより、その原版ロール30の凹凸パターン表面に弾性材の原料液40aを塗布して被膜を形成する(S22)。そして、必要に応じてブレード16等で被膜(原料液40a)の膜厚を均一化する(S23)。このとき、原版ロール30を回転中にブレード位置を制御して膜厚を調整することができる。被膜の膜厚は1〜5mm程度とすることが好ましい。
The manufacturing method of the cylindrical pattern film of this embodiment is as follows.
As shown in FIG. 3, a cylindrical original roll 30 having an uneven pattern formed on the inner surface is prepared (S21), and the inner surface of the original roll 30, that is, the uneven pattern surface is rotated while the original roll 30 is rotated in one direction. Then, the elastic material solution 40a is discharged from the nozzle 15 to apply the elastic material solution 40a to the surface of the concavo-convex pattern of the original roll 30 to form a coating (S22). Then, if necessary, the film thickness of the coating (raw material liquid 40a) is made uniform with the blade 16 or the like (S23). At this time, the film thickness can be adjusted by controlling the blade position while the master roll 30 is rotating. The film thickness is preferably about 1 to 5 mm.

その後、原版ロール30を回転させながら原料液40aからなる被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる弾性材からなる筒型パターン膜40を形成し、筒型パターン膜40の内面に沿った、断面が円弧状の外側面139を有する4つのブロック130を、それらの外側面139が筒型パターン膜40の内面の周方向の異なる位置に対向配置して、各ブロック130の外側面139に筒型パターン膜40の内面を吸着させる(S24)。   Then, the cylindrical pattern film 40 made of an elastic material to which the uneven pattern is transferred is formed by curing the film made of the raw material liquid 40a while rotating the original roll 30, and along the inner surface of the cylindrical pattern film 40 In addition, the four blocks 130 having the outer surface 139 having an arcuate cross section are arranged so that the outer surfaces 139 face each other at different positions in the circumferential direction of the inner surface of the cylindrical pattern film 40, so Next, the inner surface of the cylindrical pattern film 40 is adsorbed (S24).

そして、吸着させた状態で各ブロック130を筒型パターン膜40の内面に対する法線方向内向きへ移動させることにより、筒型パターン膜40の外径を縮めて筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離する(S25)。さらに、筒型パターン膜40の外径を縮めた状態で原版ロール30から筒型パターン膜40を抜き出し(S26)、最後にブロック130による筒型パターン膜40の吸着を解除することにより筒型パターン膜40を得る(S27)。   Then, each block 130 is moved inward in the normal direction with respect to the inner surface of the cylindrical pattern film 40 in the adsorbed state, so that the outer diameter of the cylindrical pattern film 40 is reduced and the cylindrical pattern film 40 is made to be the original roll 30. (S25). Further, the cylindrical pattern film 40 is extracted from the original roll 30 with the outer diameter of the cylindrical pattern film 40 being reduced (S26), and finally the adsorption of the cylindrical pattern film 40 by the block 130 is released to remove the cylindrical pattern film 40. The film 40 is obtained (S27).

原版ロール30としては、円筒部材31の内面に凹凸パターン層32が形成されているものであればよく、公知の方法で得られたものを適宜用いることができる。例えば、円筒部材31として光透過性の材料からなるものを用い、その内面に光感光性樹脂からなるレジストを塗布し、円筒部材31の外面からレーザ光を照射してミクロンオーダーのラインパターンを描画し、未硬化部を洗い流すことで、レジストの凹凸パターンを形成したもの、あるいは、さらにレジストの凹凸パターン上に必要に応じてスパッタによる金属被膜などの表面処理を行ったものを原版ロール30として用いることができる。   The master roll 30 may be any as long as the concave / convex pattern layer 32 is formed on the inner surface of the cylindrical member 31, and those obtained by a known method can be used as appropriate. For example, a cylindrical member 31 made of a light transmissive material is used, a resist made of a photosensitive resin is applied to the inner surface, and a laser beam is irradiated from the outer surface of the cylindrical member 31 to draw a micron-order line pattern. Then, the resist roll concavo-convex pattern formed by washing away the uncured portion, or the resist concavo-convex pattern subjected to surface treatment such as a metal coating by sputtering as necessary is used as the original roll 30. be able to.

ロール寸法としては、例えば、長さ300〜1500mm、直径(内径)100〜500mm程度とする。
凹凸パターンとしては、たとえば、ライン・アンド・スペースパターンが挙げられるが、特に限定されるものではない。また、凹凸パターンの凸部幅、凹部幅、凸部と凹部との差(凸部の高さ)はいずれも数10nm〜数100μm程度までの範囲で用途に応じて任意に形成されたものを用いることができる。
The roll dimensions are, for example, a length of 300 to 1500 mm and a diameter (inner diameter) of about 100 to 500 mm.
Examples of the concavo-convex pattern include a line and space pattern, but are not particularly limited. In addition, the convex part width of the concave and convex pattern, the concave part width, and the difference between the convex part and the concave part (height of the convex part) are all arbitrarily formed in accordance with the application within a range from several tens nm to several hundreds μm. Can be used.

ブロック130に関し、断面が円弧状の外側面139はシリンドリカルな凸面であり、外側面139が「筒型パターン膜の内面に沿った」とは、筒型パターン膜の内面に密着可能な曲率を有していることを意味する。   Regarding the block 130, the outer side surface 139 having an arcuate cross section is a cylindrical convex surface, and the outer side surface 139 is “along the inner surface of the cylindrical pattern film” has a curvature that allows close contact with the inner surface of the cylindrical pattern film. Means that

本例において、筒型パターン膜の剥離にはブロック130を4つ用いるものとしているが、ブロックの数は3つ以上であれば、特に制限はない。ブロックの数は少なくとも4つ以上が好ましい。ロール径が大きいほど、ブロック数が多い方が望ましく、例えば、ロール径が100〜200mmであれば、ブロック数は4〜6個程度、ロール径が300〜500mmであれば、ブロック数は6〜10個程度が適当と考えられる。複数のブロックは同等の形状として、均等に配置されていることが望ましいが、必ずしもブロックの形状は同一でなくてもよい。筒型パターン膜の内面と密着するすべてのブロックの外側面の総面積は、筒型パターン膜の内面の7割以上、好ましくは8割以上を覆う大きさであることが好ましい。1つのブロックによる密着面積が大きいと大きな剥離力が必要となるので、1つのブロックは小さくブロック数を多くする方が好ましい。   In this example, four blocks 130 are used for peeling the cylindrical pattern film, but there is no particular limitation as long as the number of blocks is three or more. The number of blocks is preferably at least 4 or more. The larger the roll diameter, the larger the number of blocks is desirable. For example, if the roll diameter is 100 to 200 mm, the number of blocks is about 4 to 6, and if the roll diameter is 300 to 500 mm, the number of blocks is 6 to 6. About 10 is considered appropriate. Although it is desirable that the plurality of blocks are equally arranged as an equivalent shape, the shapes of the blocks are not necessarily the same. The total area of the outer surfaces of all the blocks in close contact with the inner surface of the cylindrical pattern film is preferably large enough to cover 70% or more, preferably 80% or more of the inner surface of the cylindrical pattern film. When the adhesion area by one block is large, a large peeling force is required. Therefore, it is preferable that one block is small and the number of blocks is increased.

ブロックを筒型パターン膜に吸着させる方法や、ブロックを筒型パターン膜に吸着させた状態で筒型パターン膜を原版ロールから剥離する際の超音波振動を与える方法などについて、第1の筒型パターン膜の作製方法の実施形態の場合と同様の方法を採用することができる。
また、弾性材の材料についても第1の筒型パターン膜の作製方法の実施形態の場合と同様のものを用いることができる。なお、凹凸パターンが内面に形成されてなる円筒状の原版ロール30の内面への弾性材の原料液の塗布には、特許文献2の図3に記載のレジスト塗布装置を用いてもよい。
The first cylindrical mold is used for a method of adsorbing the block to the cylindrical pattern film, a method of applying ultrasonic vibration when the cylindrical pattern film is peeled from the original roll while the block is adsorbed to the cylindrical pattern film, etc. A method similar to that in the embodiment of the method for producing the pattern film can be employed.
Also, the elastic material can be the same as in the first embodiment of the method for producing the cylindrical pattern film. In addition, you may use the resist coating device of FIG. 3 of patent document 2 for the application | coating of the raw material liquid of an elastic material to the inner surface of the cylindrical negative | original plate roll 30 in which an uneven | corrugated pattern is formed in an inner surface.

以上のように、本実施形態の筒型パターン膜40の作製方法によれば、筒型パターン膜40および原版ロール30を破壊することなく、筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離することができるので、双方を繰り返し用いることができ、低コストに筒型パターン膜40を製造することが可能となる。   As described above, according to the manufacturing method of the cylindrical pattern film 40 of the present embodiment, the cylindrical pattern film 40 can be peeled from the original roll 30 without destroying the cylindrical pattern film 40 and the original roll 30. Therefore, both can be used repeatedly, and the cylindrical pattern film 40 can be manufactured at low cost.

[パターンロールの作製方法]
本発明のパターンロールの作製方法は、本発明の第1または第2の筒型パターン膜の作製方法を用いた、外面に原版ロールの凹凸パターンに応じた凹凸パターンを有するパターンロールを作製する方法である。
[Pattern roll manufacturing method]
The method for producing the pattern roll of the present invention is a method for producing a pattern roll having a concavo-convex pattern corresponding to the concavo-convex pattern of the original roll on the outer surface using the first or second cylindrical pattern film production method of the present invention. It is.

(第1の実施形態のパターンロールの作製方法)
図4は、本発明の第1の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。図4に沿って、本実施形態のパターンロールの作製方法を説明する。
まず、凹凸パターンが外面に形成されてなる原版ロール10を用意し(S41)、原版ロール10の凹凸パターン表面に弾性材の原料液を塗布し被膜を形成し、被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる弾性材からなる筒型パターン膜20を作製し(S42)、筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離する(S43)。この工程S41−S43には、上述の第1の実施形態の筒型パターン膜20の作製方法(図1における工程S11−S17)を用いることができる。
(Production Method of Pattern Roll of First Embodiment)
FIG. 4 is a diagram schematically showing a pattern roll manufacturing process according to the first embodiment of the present invention. A method for producing the pattern roll of this embodiment will be described with reference to FIG.
First, a master roll 10 having a concavo-convex pattern formed on the outer surface is prepared (S41), an elastic material solution is applied to the surface of the concavo-convex pattern of the master roll 10 to form a film, and the film is cured, thereby forming a concavo-convex pattern. The cylindrical pattern film 20 made of an elastic material to which the pattern is transferred is produced (S42), and the cylindrical pattern film 20 is peeled from the original roll 10 (S43). In the steps S41 to S43, the method for producing the cylindrical pattern film 20 of the first embodiment described above (steps S11 to S17 in FIG. 1) can be used.

その後、内面に凹凸パターンを有する筒型パターン膜20の内面にスパッタ等によりNi等からなる導電層を形成し、続いて電鋳槽に筒型パターン膜20を浸漬させてNi膜等の筒型電鋳膜22を形成する(S44)。電鋳方法は公知の方法を採用することができる。
そして、筒型電鋳膜22の中空部に円柱芯23を嵌め込み(S45)、筒型電鋳膜22から筒型パターン膜20を剥離することによりパターンロール50を得ることができる(S46)。なお、円柱芯23は、筒型電鋳膜22と筒型パターン膜20を剥離した後に筒型電鋳膜22の中空部に嵌め込むようにしてもよい。
Thereafter, a conductive layer made of Ni or the like is formed on the inner surface of the cylindrical pattern film 20 having an uneven pattern on the inner surface by sputtering or the like, and then the cylindrical pattern film 20 is immersed in an electroforming tank to form a cylindrical shape such as a Ni film. The electroformed film 22 is formed (S44). A known method can be adopted as the electroforming method.
Then, the cylindrical roll 23 is fitted into the hollow portion of the cylindrical electroformed film 22 (S45), and the pattern roll 50 can be obtained by peeling the cylindrical pattern film 20 from the cylindrical electroformed film 22 (S46). The cylindrical core 23 may be fitted into the hollow portion of the cylindrical electroformed film 22 after peeling the cylindrical electroformed film 22 and the cylindrical pattern film 20.

上記作製方法において、筒型パターン膜20の凹凸パターン面への導電層の形成および電鋳膜の形成は、筒型パターン膜20を外周側から円筒枠により保持させた状態で行うことが好ましい。図5に筒型パターン膜20を外周側から円筒枠で支持させ、電鋳を行う工程を模式的に示す。図4の原版ロール10の表面に筒型パターン膜20を形成した工程S42から、筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離する図1に示した工程S14、S15を経て、工程S16の筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離した状態で、筒型パターン膜20から原版ロール10を引き抜き、その原版ロール10を引き抜いた筒型パターン膜20の内側にエアチューブ25を挿入する(S51)、その後ブロック110による吸引を解除してブロックをはずし(S52)、剛体の円筒枠26の中にエアチューブ25ごとパターン膜20を挿入し、エアチューブ25内の圧力を上げて、筒型パターン膜20を円筒枠26に密着させる(S53)。このとき、円筒枠26の内面に接着剤を塗布しておいて、筒型パターン膜20を円筒枠26に接着させてもよいし、円筒枠26の内面にクッション層となるシートを貼り付けておいてもよい。このシートとしては、タック性を有する材料からなるものであればよく、シリコンゴムシートや、一面に粘着剤が塗布された粘着シートなどを用いることができる。   In the production method described above, the formation of the conductive layer and the electroformed film on the concave / convex pattern surface of the cylindrical pattern film 20 is preferably performed in a state where the cylindrical pattern film 20 is held by the cylindrical frame from the outer peripheral side. FIG. 5 schematically shows a process of performing electroforming by supporting the cylindrical pattern film 20 from the outer peripheral side with a cylindrical frame. From the step S42 in which the cylindrical pattern film 20 is formed on the surface of the original roll 10 in FIG. 4, the cylindrical pattern film 20 is peeled from the original roll 10 through the steps S14 and S15 shown in FIG. With the pattern film 20 peeled from the original roll 10, the original roll 10 is pulled out from the cylindrical pattern film 20, and the air tube 25 is inserted inside the cylindrical pattern film 20 from which the original roll 10 has been pulled out (S51). Thereafter, the suction by the block 110 is released and the block is removed (S52), the pattern film 20 is inserted into the rigid cylindrical frame 26 together with the air tube 25, the pressure in the air tube 25 is increased, and the cylindrical pattern film 20 Is brought into close contact with the cylindrical frame 26 (S53). At this time, an adhesive may be applied to the inner surface of the cylindrical frame 26, and the cylindrical pattern film 20 may be adhered to the cylindrical frame 26, or a sheet serving as a cushion layer may be attached to the inner surface of the cylindrical frame 26. It may be left. The sheet may be made of a material having tackiness, and a silicon rubber sheet or a pressure-sensitive adhesive sheet coated with a pressure-sensitive adhesive on one surface can be used.

その後、エアチューブ25内の圧力を下げることによりエアチューブ25を縮めて筒型パターン膜20内から抜き取り、円筒枠26に筒型パターン膜20が保持された状態とする(S54)。次いで、既述の通り、パターン膜20の内面に導電層を形成し、円筒枠26ごと筒型パターン膜20を電鋳槽に浸漬させて、筒型パターン膜20内面に筒型電鋳膜22を電鋳形成する(S55)。
円筒枠26を取り外すことにより、図4の工程S44に示す筒型パターン膜20中に筒型電鋳膜22が形成されたものが得られる。例えば、円筒枠26を加熱して(円筒枠が金属製であれば100℃〜150℃くらいに加熱して)内径を拡げることにより、筒型パターン膜20中に筒型電鋳膜22が形成されたものを円筒枠26から外すことができる。また、円筒枠を分割できるような構造としておけば、円筒枠の取り外しは自在となる。なお、筒型パターン膜20を溶剤などで溶解させて筒型電鋳膜22を取り外す方法も考えられる。
Thereafter, the pressure in the air tube 25 is lowered to shrink the air tube 25 and remove it from the cylindrical pattern film 20 to bring the cylindrical pattern film 20 into the state of being held in the cylindrical frame 26 (S54). Next, as described above, a conductive layer is formed on the inner surface of the pattern film 20, the cylindrical pattern film 20 is immersed in the electroforming tank together with the cylindrical frame 26, and the cylindrical electroformed film 22 is formed on the inner surface of the cylindrical pattern film 20. Is formed by electroforming (S55).
By removing the cylindrical frame 26, the cylindrical pattern film 20 shown in step S44 of FIG. 4 in which the cylindrical electroformed film 22 is formed is obtained. For example, the cylindrical electroformed film 22 is formed in the cylindrical pattern film 20 by heating the cylindrical frame 26 (by heating to about 100 ° C. to 150 ° C. if the cylindrical frame is made of metal) and expanding the inner diameter. Can be removed from the cylindrical frame 26. Further, if the structure is such that the cylindrical frame can be divided, the cylindrical frame can be removed freely. A method of removing the cylindrical electroformed film 22 by dissolving the cylindrical pattern film 20 with a solvent or the like is also conceivable.

筒型電鋳膜22への円柱芯23の嵌め込み(S44−S45)は、例えば、筒型電鋳膜22を加熱して円筒の径をやや拡げ、その中に冷却した円柱芯23を挿入し、常温に戻す方法により達成することができる。このとき、加熱により筒型パターン膜20も伸びるので、筒型電鋳膜22を破壊しないように注意する必要がある。
筒型パターン膜20の筒型電鋳膜22からの剥離(S45−S46)は、筒型パターン膜20の作製方法において使用したブロック110による剥離方法(図1の工程S14−16)を適用することができる。
For fitting the cylindrical core 23 into the cylindrical electroformed film 22 (S44-S45), for example, the cylindrical electroformed film 22 is heated to slightly expand the diameter of the cylinder, and the cooled cylindrical core 23 is inserted therein. It can be achieved by a method of returning to room temperature. At this time, the cylindrical pattern film 20 is also stretched by heating, so care must be taken not to break the cylindrical electroformed film 22.
For the peeling of the cylindrical pattern film 20 from the cylindrical electroformed film 22 (S45-S46), the peeling method (step S14-16 in FIG. 1) using the block 110 used in the method for producing the cylindrical pattern film 20 is applied. be able to.

なお、円柱芯23の表面に筒型電鋳膜22を備えたパターンロール50を、上記パターンロールの作製方法における原版ロール10として用い、上記の作製方法に従って複数ロールを繰り返して作製することもできる。また、筒型パターン膜20は、傷んでいない限り用いることができ、図4における工程S44−S46を繰り返すことにより、複数のパターンロールを作製することができる。   In addition, the pattern roll 50 provided with the cylindrical electroformed film 22 on the surface of the cylindrical core 23 can be used as the original roll 10 in the pattern roll manufacturing method, and a plurality of rolls can be repeatedly manufactured according to the manufacturing method described above. . Moreover, the cylindrical pattern film | membrane 20 can be used as long as it is not damaged, A several pattern roll can be produced by repeating process S44-S46 in FIG.

(第2の実施形態のパターンロールの作製方法)
図6は、本発明の第2の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。図6に沿って、本実施形態のパターンロールの作製方法を説明する。
本実施形態のパターンロールの作製方法は、第1の実施形態のパターンロールの作製工程を一部変更したものであり、原版ロール10から筒型パターン膜20を作製する工程S41−S42は、第1の実施形態のパターンロールの作製工程と同一である。
作製された筒型パターン膜20に対して導電層の形成、電鋳処理をすることなく、内面側に凹凸パターンを有する筒型パターン膜20を裏返すことにより外面側に凹凸パターンを有するものとし(S48)、外面側に凹凸パターンを有する筒型パターン膜20の内側の中空部に円柱芯24を嵌め込むことによりパターンロール51を得ることができる(S49)。
(Method for Producing Pattern Roll of Second Embodiment)
FIG. 6 is a diagram schematically showing a pattern roll manufacturing process according to the second embodiment of the present invention. A method for producing the pattern roll of this embodiment will be described with reference to FIG.
The pattern roll manufacturing method of the present embodiment is a partial modification of the pattern roll manufacturing process of the first embodiment, and steps S41 to S42 for manufacturing the cylindrical pattern film 20 from the original roll 10 It is the same as the manufacturing process of the pattern roll of 1 embodiment.
A cylindrical pattern film 20 having a concavo-convex pattern on the inner surface side is turned upside down without forming a conductive layer and electroforming the produced cylindrical pattern film 20, and the rugged pattern is formed on the outer surface side ( (S48) The pattern roll 51 can be obtained by fitting the cylindrical core 24 into the hollow portion inside the cylindrical pattern film 20 having the concave-convex pattern on the outer surface side (S49).

図7は、内面側に凹凸パターンを有する筒型パターン膜20を裏返す具体的な方法を模式的に示す断面図である。
筒型パターン膜20をブロック110により吸着させて原版ロール10から剥離して、筒型パターン膜20の内部から原版ロール10を引き抜き、筒型パターン膜20がブロック110に吸着固定されている状態から、掴み治具27により筒型パターン膜20の一端の数か所もしくは円周全体を掴み(S61)、掴み治具27と一体とされたエアチューブ(円柱状の風船)28を筒型パターン膜20の内側に挿入し、筒型パターン膜20をエアチューブ28に巻きつけるようにして円筒内側から筒型パターン膜の他端側に向けて引っ張ってブロック110から剥がしつつ裏返す(S62)。
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a specific method for turning over the cylindrical pattern film 20 having an uneven pattern on the inner surface side.
From the state in which the cylindrical pattern film 20 is adsorbed by the block 110 and peeled off from the original roll 10, the original roll 10 is pulled out from the inside of the cylindrical pattern film 20, and the cylindrical pattern film 20 is adsorbed and fixed to the block 110. The gripping jig 27 grips some or one end of the cylindrical pattern film 20 (S61), and an air tube (cylindrical balloon) 28 integrated with the gripping jig 27 is used as the cylindrical pattern film. It is inserted inside 20 and pulled up from the inside of the cylinder toward the other end side of the cylindrical pattern film so that the cylindrical pattern film 20 is wound around the air tube 28, and is turned over while being peeled off from the block 110 (S62).

この操作S61−S62の間、ブロック110による筒型パターン膜20の吸引力を筒型パターン膜20が剥がれる程度に制御しておく。エアチューブ28に対しては図7中の工程S61における矢印方向からエアの供給が可能となっており、筒型パターン膜20をブロック110から剥がす際にエアチューブ28の内圧を制御して、筒型パターン膜20が撓んだり、折れたりしないように、また、表面の凹凸パターンを傷めないように、ゆっくりと全体を動かすことが好ましい。   During this operation S61-S62, the suction force of the cylindrical pattern film 20 by the block 110 is controlled to such an extent that the cylindrical pattern film 20 is peeled off. Air can be supplied to the air tube 28 from the direction of the arrow in step S61 in FIG. 7, and the internal pressure of the air tube 28 is controlled when the cylindrical pattern film 20 is peeled off from the block 110. It is preferable to slowly move the whole so that the mold pattern film 20 does not bend or bend, and the surface uneven pattern is not damaged.

裏返して外面に凹凸パターンを有する筒型パターン膜20の中空部に円柱芯24を嵌め込む工程の具体的な態様について図8を参照して説明する。
筒型パターン膜20の外側に図1において剥離操作に用いたブロック110を配置して、ブロック110により筒型パターン膜20の外面を吸引吸着させる(S63)。そして、ブロック110を外向きに移動させることにより筒型パターン膜20の内周を拡げた状態で、円柱芯24を挿入する(S64)。その後、ブロック110による筒型パターン膜20の吸引を解除することにより、円柱芯24が筒型パターン膜20の内側に嵌め込まれたパターンロール51(図6のS49参照)を得ることができる。
A specific aspect of the process of fitting the cylindrical core 24 into the hollow portion of the cylindrical pattern film 20 that is turned over and has an uneven pattern on the outer surface will be described with reference to FIG.
The block 110 used for the peeling operation in FIG. 1 is arranged outside the cylindrical pattern film 20, and the outer surface of the cylindrical pattern film 20 is sucked and adsorbed by the block 110 (S63). And the cylindrical core 24 is inserted in the state which expanded the inner periphery of the cylindrical pattern film | membrane 20 by moving the block 110 outward (S64). Thereafter, by releasing suction of the cylindrical pattern film 20 by the block 110, a pattern roll 51 (see S49 in FIG. 6) in which the cylindrical core 24 is fitted inside the cylindrical pattern film 20 can be obtained.

本実施形態のパターンロール51の作製方法は、第1の実施形態のパターンロール50の作製方法と比較して、筒型パターン膜20の内側面への電鋳工程が不要になるため大幅な工程簡略化が実現できる。また、1つの原版ロールを用いて複数の筒型パターン膜40を得、複数のパターンロールを作製することができるのでパターンロール作製コストを抑制することができる。一方で樹脂等からなる弾性材からなる筒型パターン膜20をパターンロール表面に用いているため、耐久性はパターンロール50と比較するとやや低下する。そこで、パターンロール51の筒型パターン膜20表面にスパッタ等による金属膜を形成して、凹凸パターン表面の硬度を上げることにより、耐久性を向上させたものをパターンロールとして用いることも好ましい。   The manufacturing method of the pattern roll 51 of the present embodiment is a significant process because the electroforming process on the inner surface of the cylindrical pattern film 20 is not required compared to the manufacturing method of the pattern roll 50 of the first embodiment. Simplification can be realized. Moreover, since the some cylindrical pattern film | membrane 40 can be obtained using one original roll, and a some pattern roll can be produced, a pattern roll production cost can be suppressed. On the other hand, since the cylindrical pattern film 20 made of an elastic material made of resin or the like is used on the surface of the pattern roll, the durability is slightly lowered as compared with the pattern roll 50. Therefore, it is also preferable to use a pattern roll that has improved durability by forming a metal film by sputtering or the like on the surface of the cylindrical pattern film 20 of the pattern roll 51 to increase the hardness of the surface of the concavo-convex pattern.

(第3の実施形態のパターンロールの作製方法)
図9は、本発明の第3の実施形態のパターンロールの作製工程を模式的に示す図である。図9に沿って、本実施形態のパターンロールの作製方法を説明する。
まず、凹凸パターンが内面に形成されてなる原版ロール30を用意し(S71)、原版ロール30の凹凸パターン表面に弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる弾性材からなる筒型パターン膜40を形成し(S72)、筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離する(S73)。この工程S71−S73には、上述の第2の実施形態の筒型パターン膜40の作製方法(図3におけるS21−S27)を用いることができる。
(Method for Producing Pattern Roll of Third Embodiment)
FIG. 9 is a diagram schematically showing a pattern roll manufacturing process according to the third embodiment of the present invention. A method for producing the pattern roll of this embodiment will be described with reference to FIG.
First, an original roll 30 having an uneven pattern formed on the inner surface is prepared (S71), an elastic material solution is applied to the uneven pattern surface of the original roll 30 to form a film, and the film is cured, A cylindrical pattern film 40 made of an elastic material to which the concave / convex pattern is transferred is formed (S72), and the cylindrical pattern film 40 is peeled from the original roll 30 (S73). In steps S71 to S73, the method for producing the cylindrical pattern film 40 of the second embodiment described above (S21 to S27 in FIG. 3) can be used.

その後、外面に凹凸パターンを有する筒型パターン膜40の中空部に円柱芯46を嵌め込むことにより(S74)、パターンロール52を得ることができる。また、筒型パターン膜40の表面にスパッタ等により金属層48を形成することにより、表面が金属層48からなるパターンロール53を作製してもよい。パターンロール52は、樹脂製の筒型パターン膜40をパターンロール表面に用いているため、耐久性にやや劣る。一方、パターンロール53は、表面に金属層48を備えているため、樹脂製の表面と比較して耐久性が高い。   Then, the pattern roll 52 can be obtained by fitting the cylindrical core 46 in the hollow part of the cylindrical pattern film | membrane 40 which has an uneven | corrugated pattern on an outer surface (S74). Alternatively, the metal layer 48 may be formed on the surface of the cylindrical pattern film 40 by sputtering or the like to produce the pattern roll 53 having the surface made of the metal layer 48. Since the pattern roll 52 uses the resin cylindrical pattern film 40 on the surface of the pattern roll, the pattern roll 52 is slightly inferior in durability. On the other hand, since the pattern roll 53 includes the metal layer 48 on the surface, the durability is higher than that of the resin surface.

上記作製方法において、筒型パターン膜40の中空部に円柱芯46を挿入する方法について図10を参照して説明する。
筒型パターン膜40の内側にブロック130を配置してブロック130に筒型パターン膜40を吸着させ、原版ロール30から筒型パターン膜40を剥離し、原版ロール30から筒型パターン膜40を取り外した状態(S81)から、筒型パターン膜40の外周に4つのブロック110を内側に配置した4つのブロック130に1対1となるように対向配置し、ブロック110により筒型パターン膜40の外面を吸着させる(S82)。その後、内側のブロック130による吸着を解除してブロック130を筒型パターン膜40の内部から引き抜き、ブロック110を外側に移動させて筒型パターン膜40の内径を拡げ(S83)、筒型パターン膜40の中空部に円柱芯46を挿入する(S84)。その後、ブロック110による吸引を解除することにより、円柱芯46が筒型パターン膜40の内側に嵌め込まれたパターンロール52(S85)を得ることができる。
A method for inserting the cylindrical core 46 into the hollow portion of the cylindrical pattern film 40 in the above manufacturing method will be described with reference to FIG.
The block 130 is disposed inside the cylindrical pattern film 40, the cylindrical pattern film 40 is adsorbed to the block 130, the cylindrical pattern film 40 is peeled from the original roll 30, and the cylindrical pattern film 40 is removed from the original roll 30. From the closed state (S81), the four blocks 110 are arranged on the outer periphery of the cylindrical pattern film 40 so as to be opposed to each other in a one-to-one relationship with the four blocks 130. Is adsorbed (S82). Thereafter, the suction by the inner block 130 is released, the block 130 is pulled out from the inside of the cylindrical pattern film 40, the block 110 is moved to the outer side to increase the inner diameter of the cylindrical pattern film 40 (S83), and the cylindrical pattern film The cylindrical core 46 is inserted into the hollow portion 40 (S84). Thereafter, the pattern roll 52 (S85) in which the columnar core 46 is fitted inside the cylindrical pattern film 40 can be obtained by releasing the suction by the block 110.

[筒型パターン膜の作製方法を用いた複製型原版ロールの作製方法]
本発明の第2の筒型パターン膜の作製方法は、筒型パターン膜作製用の複製型原版ロールの作製に利用することができる。図11は、複製型原版ロールの作製工程を模式的に示す図である。図11に沿って複製型原版ロールの作製方法を説明する。
[Production method of replication type master roll using production method of cylindrical pattern film]
The second method for producing a cylindrical pattern film of the present invention can be used for producing a replica type original roll for producing a cylindrical pattern film. FIG. 11 is a diagram schematically showing a production process of a replication type master roll. A method for producing a replica master roll will be described with reference to FIG.

まず、凹凸パターンが内面に形成されてなる原版ロール30を用意し(S91)、原版ロール30の凹凸パターン表面に弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、被膜を硬化させることにより、凹凸パターンが転写されてなる弾性材からなる筒型パターン膜40を形成し(S92)、筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離する(S93)。この工程S91−S93には、上述の第2の実施形態の筒型パターン膜40の作製方法(図3におけるS21−S27)を用いることができる。   First, by preparing an original roll 30 having an uneven pattern formed on the inner surface (S91), applying a raw material liquid of an elastic material on the uneven pattern surface of the original roll 30 to form a film, and curing the film, A cylindrical pattern film 40 made of an elastic material to which the concave / convex pattern is transferred is formed (S92), and the cylindrical pattern film 40 is peeled from the original roll 30 (S93). In this step S91-S93, the method for producing the cylindrical pattern film 40 of the above-described second embodiment (S21-S27 in FIG. 3) can be used.

凹凸パターンを有する筒型パターン膜40の外面にスパッタ等によりNi等からなる導電層を形成し、続いて電鋳槽に筒型パターン膜40を浸漬させてNi膜等の筒型電鋳膜42を形成する(S94)。
そして、筒型電鋳膜42の外側に外枠44を嵌め(S95)、筒型電鋳膜42の内側の筒型パターン膜40を剥離することにより複製型原版ロール55を得ることができる(S96)。
A conductive layer made of Ni or the like is formed by sputtering or the like on the outer surface of the cylindrical pattern film 40 having an uneven pattern, and then the cylindrical pattern film 40 is immersed in an electroforming tank to form a cylindrical electroformed film 42 such as a Ni film. Is formed (S94).
Then, the outer frame 44 is fitted on the outer side of the cylindrical electroformed film 42 (S95), and the cylindrical pattern film 40 on the inner side of the cylindrical electroformed film 42 is peeled off, thereby obtaining a duplicate master roll 55 (see FIG. S96).

筒型電鋳膜42の外側に外枠44を嵌める方法としては、例えば、外枠44を加熱することにより外枠44の内径を拡げておき、外枠44内に筒型電鋳膜42を嵌めた後、常温に戻す方法を用いればよい。
筒型電鋳膜42の内側の筒型パターン膜40を剥離する工程(S95−S96)には、先に説明した内側に挿入するブロック130による剥離方法を適用することができる。
As a method of fitting the outer frame 44 outside the cylindrical electroformed film 42, for example, the inner diameter of the outer frame 44 is expanded by heating the outer frame 44, and the cylindrical electroformed film 42 is placed in the outer frame 44. After fitting, a method of returning to normal temperature may be used.
In the step (S95-S96) of peeling the cylindrical pattern film 40 inside the cylindrical electroformed film 42, the peeling method using the block 130 inserted inside can be applied.

この複製型原版ロール55は、内面に凹凸パターンを有する原版ロールとして、図3を参照して説明した第2の筒型パターン膜の作製方法および図9を参照して説明した第3の実施形態のパターンロールの作製方法、並びに本複製型原版ロール55の作製方法に用いられる原版ロール30に代えて、各作製方法に用いることができる。   The duplicated master roll 55 is a master roll having a concave-convex pattern on the inner surface, and the third embodiment described with reference to FIG. 9 and the second cylindrical pattern film manufacturing method described with reference to FIG. It can replace with the original roll 30 used for the preparation method of this pattern roll, and the preparation method of this replication type | formula original form roll 55, It can use for each preparation method.

「パターンロールを用いたパターンシートの製造方法」
上述の実施形態の作製方法により得られたパターンロール50〜52を用いた連続インプリントによるパターンシートの製造方法について簡単に説明する。以下ではパターンロール50を例に挙げて説明するが、いずれのパターンロールも同様に用いることができる。
"Pattern sheet manufacturing method using pattern roll"
A method for producing a pattern sheet by continuous imprinting using the pattern rolls 50 to 52 obtained by the production method of the above-described embodiment will be briefly described. Hereinafter, the pattern roll 50 will be described as an example, but any pattern roll can be used similarly.

図12はロール・トゥ・ロール方式によるインプリント法を実施するための装置の一部を示す断面図である。
装置には、パターンロール50の両脇に、搬送ロール71a、71bが配置されており、パターンロール50の下方に紫外線照射光源72が配置されている。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a part of an apparatus for performing an imprint method by a roll-to-roll method.
In the apparatus, conveyance rolls 71 a and 71 b are arranged on both sides of the pattern roll 50, and an ultraviolet irradiation light source 72 is arranged below the pattern roll 50.

パターンロール50は矢印の方向に回転され、それと同期してフィルム60が搬送される。
パターンロール50の回転に伴って、レジスト液62aを備えたフィルム60が搬送ロール71aにより搬送されて、パターンロール50の表面がレジスト液62aに圧接され、さらに、紫外線照射光源72による紫外線照射領域に搬送され、紫外線の照射を受けてレジスト液62aが硬化されてパターンロール50の凹凸パターンが転写された樹脂層62が形成される。搬送ロール71bにおいて支持フィルム61上に樹脂層62が形成されてなるパターンシート65が、パターンロール50から剥離されて巻取装置へと搬送される。
なお、ここでは紫外線の照射により硬化する光硬化型のレジストを用いるために紫外線照射光源72を備えるものとしているが、熱硬化型のレジストを用いる場合には、紫外線照射光源に代えてヒーターを備えるものとすればよい。
The pattern roll 50 is rotated in the direction of the arrow, and the film 60 is conveyed in synchronization therewith.
Along with the rotation of the pattern roll 50, the film 60 provided with the resist liquid 62a is transported by the transport roll 71a, and the surface of the pattern roll 50 is pressed against the resist liquid 62a. The resist liquid 62a is cured by being conveyed and irradiated with ultraviolet rays, and the resin layer 62 to which the concavo-convex pattern of the pattern roll 50 is transferred is formed. The pattern sheet 65 in which the resin layer 62 is formed on the support film 61 in the transport roll 71b is peeled from the pattern roll 50 and transported to the winding device.
In this case, an ultraviolet irradiation light source 72 is provided in order to use a photo-curing resist that is cured by irradiation with ultraviolet rays. However, when a thermosetting resist is used, a heater is provided instead of the ultraviolet irradiation light source. It should be.

以上のようにして、本発明の作製方法により得られたパターンロールを用いて効率よくパターンシートを作製することができる。本発明の作製方法によれば、パターンロールを安価に得ることできるので、パターンシートの作製も低コスト化することが可能となる。   As described above, a pattern sheet can be efficiently produced using the pattern roll obtained by the production method of the present invention. According to the production method of the present invention, since the pattern roll can be obtained at a low cost, the production of the pattern sheet can be reduced.

[剥離装置]
以下、原版ロールから樹脂製の筒型パターン膜の剥離を実施するための剥離装置について説明する。
[Peeling device]
Hereinafter, a peeling apparatus for carrying out the peeling of the resin cylindrical pattern film from the original roll will be described.

(本発明の第1の剥離装置の実施形態)
図13は本実施形態の剥離装置100の概略構成を示す、装置の長軸方向に垂直な面で切断した切断部端面図Aと長軸方向に平行な面で切断した断面図Bである。本実施形態の剥離装置100は、原版ロール10の外面に形成された筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離する場合に限るものではなく、広くロール状の支持体(ロール支持体)の外面に密着した弾性材からなる筒状の膜(筒状膜)を、ロール支持体から剥離するために使用可能である。但しここでは、ロール支持体の外面に密着した弾性材からなる筒状膜として、原版ロール10の外面に形成された弾性材からなる筒型パターン膜20を剥離する場合を例として説明する。
(Embodiment of the 1st peeling apparatus of this invention)
FIG. 13 is a cross-sectional view B cut along a plane parallel to the long axis direction and a cut portion end view A cut along a plane perpendicular to the long axis direction of the apparatus, showing a schematic configuration of the peeling apparatus 100 of the present embodiment. The peeling apparatus 100 according to the present embodiment is not limited to the case where the cylindrical pattern film 20 formed on the outer surface of the original roll 10 is peeled from the original roll 10, and the outer surface of a widely roll-shaped support (roll support). A cylindrical film (cylindrical film) made of an elastic material in close contact with the film can be used for peeling from the roll support. However, here, a case where the cylindrical pattern film 20 made of an elastic material formed on the outer surface of the original roll 10 is peeled as an example of a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the outer surface of the roll support will be described.

剥離装置100は、支持台101上に支持された円筒状の剥離部本体102と、剥離部本体102内に外面に筒型パターン膜20が形成された原版ロール10を挿入出させ、かつ内部で支持する受け板103と、受け板103の両端を剥離部本体102の外部で支持固定する固定台104と、断面が円弧状の内側面115、その内側面115に設けられた複数の孔116およびその孔116に連通する吸引路117を備え、円周上に配置された4つのブロック110A、110B、110C、110Dと、これらのブロック110A〜110Dをそれらが配置されている円周の径方向に移動させる移動制御部105と、吸引路117に接続された吸引部106と、および吸引部106の作動を制御する吸引制御部107とを備えている。なお、図13において、円周上の異なる位置に配置されているブロックにそれぞれ110A〜110Dの符号を付しているが、全て同一構成のものであり、以下において特に必要がない場合には単にブロック110と表記する。   The peeling apparatus 100 inserts and removes a cylindrical peeling portion main body 102 supported on a support base 101 and an original plate roll 10 having a cylindrical pattern film 20 formed on the outer surface in the peeling portion main body 102. A receiving plate 103 to be supported, a fixing base 104 for supporting and fixing both ends of the receiving plate 103 outside the peeling portion main body 102, an inner surface 115 having an arcuate cross section, a plurality of holes 116 provided in the inner surface 115, and A suction passage 117 communicating with the hole 116 is provided, and four blocks 110A, 110B, 110C, and 110D arranged on the circumference, and these blocks 110A to 110D are arranged in the radial direction of the circumference where they are arranged. A movement control unit 105 to be moved, a suction unit 106 connected to the suction path 117, and a suction control unit 107 that controls the operation of the suction unit 106 are provided. In FIG. 13, the blocks 110A to 110D are assigned to the blocks arranged at different positions on the circumference, respectively, but all have the same configuration. Indicated as block 110.

移動制御部105は、剥離部本体102の円筒内壁とブロック110とに接続された伸縮自在な伸縮シャフト108と、その伸縮シャフト108を駆動する駆動制御部109とを備えている。図13の断面図Bにおいて、長軸方向に異なる位置に設けられている伸縮シャフトにそれぞれ108a〜108eの符号を付しているが、いずれも同一構成のものであり、特に区別する必要がない場合には単に伸縮シャフト108と表記する。   The movement control unit 105 includes a telescopic telescopic shaft 108 connected to the cylindrical inner wall of the peeling unit main body 102 and the block 110, and a drive control unit 109 that drives the telescopic shaft 108. In the cross-sectional view B of FIG. 13, the reference numerals 108a to 108e are respectively attached to the telescopic shafts provided at different positions in the long axis direction, but all have the same configuration and need not be particularly distinguished. In this case, it is simply expressed as the telescopic shaft 108.

図14にブロック110の斜視図を示す。ブロック110は、図13の切断部端面図Aにおいて、円弧状の内側面115を備えている。図14に示すように、内側面115は、剥離対象である筒型パターン膜20の外面に沿った円筒面の一部を構成する面であり、その内面115には、多数の吸引用の孔116が設けられている。図13の切断部端面図Aにおいて示されているようにブロック110の内部は空洞となっており、吸引用の孔116と連通する吸引路117を構成している。そして、吸引路117はブロック110の一部(本例では一端)に設けられた吸引口118から吸引部106である吸引ポンプに接続されている。ブロック110の外側面119は、ここでは、内側面115と同心円状の円筒の一部を構成する面であるが、伸縮シャフト108を取り付け可能な面であればよく円筒面である必要はない。   FIG. 14 shows a perspective view of the block 110. The block 110 includes an arcuate inner surface 115 in the cut end view A of FIG. As shown in FIG. 14, the inner surface 115 is a surface constituting a part of a cylindrical surface along the outer surface of the cylindrical pattern film 20 to be peeled, and the inner surface 115 has a number of suction holes. 116 is provided. As shown in the cut end view A of FIG. 13, the interior of the block 110 is hollow and constitutes a suction path 117 that communicates with the suction hole 116. The suction path 117 is connected to a suction pump which is the suction unit 106 from a suction port 118 provided at a part (one end in this example) of the block 110. Here, the outer surface 119 of the block 110 is a surface that constitutes a part of a cylinder concentric with the inner surface 115, but may be a surface to which the telescopic shaft 108 can be attached, and need not be a cylindrical surface.

なお、筒型パターン膜20に対する吸着性を高めるために、ブロック110の内側面115にゴム等からなるクッション材となるシートを貼り付けてもよい。   In addition, in order to improve the adsorptivity with respect to the cylindrical pattern film | membrane 20, you may affix the sheet | seat used as a cushion material which consists of rubber | gum etc. on the inner surface 115 of the block 110. FIG.

伸縮シャフト108は、エアシリンダもしくはボールネジの作動により伸縮するものであり、その伸縮に伴ってブロック110を変位させる。本例では、1つのブロック110に対して、ブロックの長さ方向の異なる5箇所に3本ずつの計15本の伸縮シャフトを装着しているが、シャフト数はブロックの大きさにより任意に設定可能である。筒状膜2を取り囲む4つのブロック110A〜110Dの、長さ方向に同一箇所のシャフトは、同じタイミングで同じ量均等に動かすことが好ましい。なお、1つのブロック110において、長さ方向の同一箇所に並ぶ複数のシャフトのうちの1本のみあるいは2本を駆動シャフトとしてもよい。例えば、図13の切断部端面図Aに示すように、3本のシャフト108が並んで配置されているのに代えて、中央部の1本のみ駆動用の伸縮シャフトとして、両端の2本はバネ等としてもよい。   The telescopic shaft 108 expands and contracts by the operation of an air cylinder or a ball screw, and displaces the block 110 along with the expansion and contraction. In this example, a total of 15 telescopic shafts, 3 in each, are installed in 5 different locations in the block length direction for one block 110, but the number of shafts is arbitrarily set according to the size of the block. Is possible. It is preferable that the shafts at the same position in the length direction of the four blocks 110 </ b> A to 110 </ b> D surrounding the cylindrical membrane 2 are moved equally by the same amount at the same timing. In one block 110, only one or two of a plurality of shafts arranged in the same position in the length direction may be used as a drive shaft. For example, as shown in the cut end view A of FIG. 13, instead of the three shafts 108 being arranged side by side, only one central portion is used as an expansion shaft for driving, and the two at both ends are It may be a spring or the like.

本実施形態の剥離装置100による剥離方法を説明する。
まず、外面に弾性材からなる筒型パターン膜20が形成された原版ロール10を、受け板103に通して剥離部本体102内に挿入し、受け板103の両端を固定台104に載せてセットする。好ましくは、受け板103として、原版ロール10のロール長の2倍以上の長さのものを用意し、受け板103をあらかじめ剥離部本体102の中に通した後、受け板103の剥離部本体102の外部に出ている部分に筒型パターン膜20付原版ロール10を差し込んで載せ、受け板103の両端をクレーンで吊ってクレーンを動かすことにより剥離部本体102中に原版ロール10を挿入する。
The peeling method by the peeling apparatus 100 of this embodiment is demonstrated.
First, the original roll 10 having the cylindrical pattern film 20 made of an elastic material formed on the outer surface is inserted into the peeling portion main body 102 through the receiving plate 103, and both ends of the receiving plate 103 are set on the fixed base 104. To do. Preferably, a receiving plate 103 having a length twice or more the roll length of the original roll 10 is prepared, and the receiving plate 103 is passed through the peeling portion main body 102 in advance, and then the peeling portion main body of the receiving plate 103 is prepared. The original plate roll 10 with the cylindrical pattern film 20 is inserted and placed on the part that is exposed to the outside, and the original plate roll 10 is inserted into the peeling portion main body 102 by moving the crane with both ends of the receiving plate 103 suspended by a crane. .

次に、伸縮シャフト108を伸ばしてブロック110を筒型パターン膜20の外面に接触するように内側方向へ動かし、吸引制御部107により吸引部106を作動させてブロック110の内側面115に筒型パターン膜20の外面を吸着させる。   Next, the telescopic shaft 108 is extended to move the block 110 inward so as to come into contact with the outer surface of the cylindrical pattern film 20, and the suction controller 106 is operated by the suction control unit 107 to form a cylindrical shape on the inner side surface 115 of the block 110. The outer surface of the pattern film 20 is adsorbed.

ブロック110の内側面115に筒型パターン膜20の外面を吸着させた状態で、伸縮シャフト108を縮ませてブロック110をゆっくりと外側方向に動かすことにより、筒型パターン膜20を原版ロール10から剥離させる。このとき、伸縮シャフトを縮ませる速度としては、10〜30mm/min程度が好適である。   In a state where the outer surface of the cylindrical pattern film 20 is adsorbed on the inner side surface 115 of the block 110, the telescopic shaft 108 is contracted to move the block 110 slowly outward, so that the cylindrical pattern film 20 is removed from the original roll 10. Remove. At this time, the speed at which the telescopic shaft is contracted is preferably about 10 to 30 mm / min.

なお、すべての伸縮シャフトの伸縮を同じように制御して剥離するのが困難な場合、図15に示すように、ブロック110の長さ方向の一端を他端よりも先に原版ロールから離間させるようにブロック110を傾けて移動させてもよい。   If it is difficult to control the expansion and contraction of all of the telescopic shafts in the same manner, as shown in FIG. 15, one end in the length direction of the block 110 is separated from the original roll before the other end. In this manner, the block 110 may be moved while being tilted.

具体的には、ブロック110を筒型パターン膜20に吸着させた状態(S101)から、伸縮シャフト108aを4mm、伸縮シャフト108bを3mm、伸縮シャフト108cを2mm、伸縮シャフト108dを1mm縮めるように、伸縮シャフト108a側から順に動かすことにより、伸縮シャフト108a側の、端部のみ剥離させる(S102)。
その後、逆に伸縮シャフト108eを4mm、伸縮シャフト108dを3mm、伸縮シャフト108cを2mm、伸縮シャフト108を1mmと、この順に縮めて全シャフト108a〜108eがそれぞれ計4mm移動した平行な状態とする(S103)。なお、シャフト108の全長は20〜100mm、可動距離は10〜40mm程度である。
Specifically, from the state where the block 110 is adsorbed to the cylindrical pattern film 20 (S101), the telescopic shaft 108a is contracted by 4 mm, the telescopic shaft 108b is 3 mm, the telescopic shaft 108c is 2 mm, and the telescopic shaft 108d is contracted by 1 mm. By moving in order from the telescopic shaft 108a side, only the end on the telescopic shaft 108a side is peeled off (S102).
After that, conversely, the telescopic shaft 108e is 4 mm, the telescopic shaft 108d is 3 mm, the telescopic shaft 108c is 2 mm, and the telescopic shaft 108 is contracted in this order, so that all the shafts 108a to 108e are moved in parallel by a total of 4 mm. S103). The overall length of the shaft 108 is 20 to 100 mm, and the movable distance is about 10 to 40 mm.

以上の操作でも完全に剥離できていない場合は、全ブロック110A〜110Dをさらに外側に動かして剥離させる。
原版ロール10から筒型パターン膜20が完全に剥離した後、原版ロール10を外す。原版ロール10を外す手順は、挿入時と逆の操作によって行うことができる。
If it is not completely peeled off by the above operation, all the blocks 110A to 110D are moved further outward to be peeled off.
After the cylindrical pattern film 20 is completely peeled from the original roll 10, the original roll 10 is removed. The procedure of removing the original roll 10 can be performed by the reverse operation to that at the time of insertion.

以上のように、本実施形態の剥離装置100を用いれば、原版ロール10から弾性材からなる筒型パターン膜20を、両者に損傷を与えることなく容易に剥離することができ、本発明の筒型パターン膜の作製方法、パターンロールの作製方法において適宜利用することができる。   As described above, by using the peeling apparatus 100 of the present embodiment, the cylindrical pattern film 20 made of an elastic material can be easily peeled from the original roll 10 without damaging both, and the cylinder of the present invention. It can be suitably used in a method for producing a mold pattern film and a method for producing a pattern roll.

(本発明の第2の剥離装置の実施形態)
図16は本実施形態の剥離装置120の概略構成を示す、装置の長軸方向に垂直な面で切断した切断部端面図Aと長軸方向に平行な面で切断した断面図Bである。本実施形態の剥離装置100は、原版ロール30の内面に形成された筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離する場合に限るものではなく、広くロール状の支持体(ロール支持体)の内面に密着した弾性材からなる筒状の膜(筒状膜)を、ロール支持体から剥離するために使用可能である。但しここでは、ロール支持体の内面に密着した弾性材からなる筒状膜として、原版ロール30の内面に形成された弾性材からなる筒型パターン膜40を剥離する場合を例として説明する。
(Embodiment of the 2nd peeling apparatus of this invention)
FIG. 16 is a cross-sectional view B cut along a plane parallel to the long axis direction and a cut-part end view A cut along a plane perpendicular to the long axis direction of the apparatus, showing a schematic configuration of the peeling apparatus 120 of this embodiment. The peeling apparatus 100 of the present embodiment is not limited to the case where the cylindrical pattern film 40 formed on the inner surface of the original roll 30 is peeled from the original roll 30, and the inner surface of a widely roll-shaped support (roll support). A cylindrical film (cylindrical film) made of an elastic material in close contact with the film can be used for peeling from the roll support. However, here, a case where the cylindrical pattern film 40 made of an elastic material formed on the inner surface of the original roll 30 is peeled as an example of a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the inner surface of the roll support will be described.

剥離装置120は、剥離部中心軸123と、この中心軸を支持する固定台124と、断面が円弧状の外側面139、その外側面139に設けられた複数の孔136およびその孔136に連通する吸引路137を備え、円周上に配置された4つのブロック130A、130B、130C、130Dと、これらのブロック130A〜130Dをそれらが配置されている円周の径方向に移動させる移動制御部125と、吸引路137に接続された吸引部126と、および吸引部126作動を制御する吸引制御部127とを備えている。なお、図16において、円周上の異なる位置に配置されているブロックにそれぞれ130A〜130Dの符号を付しているが、全て同一構成のものであり、以下において特に必要がない場合には単にブロック130と表記する。   The peeling device 120 communicates with the peeling portion central axis 123, the fixing base 124 that supports the central axis, the outer surface 139 having an arcuate cross section, a plurality of holes 136 provided in the outer surface 139, and the holes 136. Four blocks 130A, 130B, 130C, and 130D that are arranged on the circumference, and a movement control unit that moves these blocks 130A to 130D in the radial direction of the circumference in which they are arranged 125, a suction unit 126 connected to the suction path 137, and a suction control unit 127 that controls the operation of the suction unit 126. In FIG. 16, the blocks 130 </ b> A to 130 </ b> D are assigned to blocks arranged at different positions on the circumference, but all have the same configuration. This is expressed as a block 130.

移動制御部125は、剥離部中心軸123の表面とブロック130とに接続された伸縮自在な伸縮シャフト128と、その伸縮シャフト128を駆動する駆動制御部129とを備えている。図16の断面図Bにおいて、長軸方向に異なる位置に設けられている伸縮シャフトにそれぞれ128a〜128eの符号を付しているが、いずれも同一構成のものであり、特に区別する必要がない場合には単に伸縮シャフト128と表記する。   The movement controller 125 includes a telescopic telescopic shaft 128 connected to the surface of the peeling portion central axis 123 and the block 130, and a drive controller 129 that drives the telescopic shaft 128. In the cross-sectional view B of FIG. 16, the telescopic shafts provided at different positions in the long axis direction are denoted by reference numerals 128a to 128e, respectively, but all have the same configuration and need not be particularly distinguished. In this case, it is simply expressed as the telescopic shaft 128.

図17にブロック130の斜視図を示す。ブロック130は、図16の切断部端面図Aにおいて、円弧状の外側面139を備えている。図17に示すように、外側面139は、剥離対象である筒型パターン膜40の内面に沿った円筒面の一部を構成する面であり、その外側面139には、多数の吸引用の孔136が設けられている。図16の切断部端面図Aにおいて示されているようにブロック130の内部は空洞となっており、吸引用の孔136と連通する吸引路137を構成している。そして、吸引路137はブロック130の一部(本例では一端)に設けられた吸引口138から吸引部126である吸引ポンプに接続されている。ブロック130の内側面135は、ここでは、外側面139と同心円状の円筒の一部を構成する面であるが、伸縮シャフト128を取り付け可能な面であればよく円筒面である必要はない。   FIG. 17 shows a perspective view of the block 130. The block 130 includes an arcuate outer surface 139 in the cut end view A of FIG. As shown in FIG. 17, the outer surface 139 is a surface constituting a part of a cylindrical surface along the inner surface of the cylindrical pattern film 40 to be peeled, and the outer surface 139 has a large number of suction surfaces. A hole 136 is provided. As shown in the cut end view A of FIG. 16, the inside of the block 130 is hollow and forms a suction path 137 communicating with the suction hole 136. The suction path 137 is connected to a suction pump which is a suction unit 126 from a suction port 138 provided in a part (one end in this example) of the block 130. Here, the inner side surface 135 of the block 130 is a surface that constitutes a part of a cylinder concentric with the outer side surface 139, but may be a surface to which the telescopic shaft 128 can be attached, and need not be a cylindrical surface.

なお、筒型パターン膜40に対する吸着性を高めるために、ブロック130の外側面139にゴム等からなるクッション材となるシートを貼り付けてもよい。   In addition, in order to improve the adsorptivity with respect to the cylindrical pattern film | membrane 40, you may affix the sheet | seat used as a cushion material which consists of rubber | gum etc. on the outer surface 139 of the block 130. FIG.

伸縮シャフト128は、先に説明した第1の剥離装置100の伸縮シャフト108と同様のものが適用できる。   As the telescopic shaft 128, the same one as the telescopic shaft 108 of the first peeling apparatus 100 described above can be applied.

本実施形態の剥離装置120による剥離方法を説明する。
まず、伸縮シャフト128を十分に縮めた状態で、内面に弾性材からなるパターン膜40が形成された原版ロール30を、ブロック130外側にセットする。
次に、伸縮シャフト128を伸ばして4つのブロック130を筒型パターン膜40の内面に接触するように外側方向へ動かし、吸引制御部127により吸引部126を作動させてブロック130の外側面139に筒型パターン膜20内面を吸着させる。
The peeling method by the peeling apparatus 120 of this embodiment is demonstrated.
First, the master roll 30 having the pattern film 40 made of an elastic material formed on the inner surface is set outside the block 130 with the telescopic shaft 128 sufficiently contracted.
Next, the telescopic shaft 128 is extended to move the four blocks 130 outward so as to come into contact with the inner surface of the cylindrical pattern film 40, and the suction controller 126 is operated by the suction controller 127 so as to move to the outer surface 139 of the block 130. The inner surface of the cylindrical pattern film 20 is adsorbed.

ブロック130の外側面139に筒型パターン膜40の内面を吸着させた状態で、伸縮シャフト128を縮ませてブロック130をゆっくりと内側方向に動かすことにより、筒型パターン膜40を原版ロール30から剥離させる。このときの伸縮シャフトを縮ませる速度としては、10〜30mm/min程度が好適である。   With the inner surface of the cylindrical pattern film 40 adsorbed to the outer surface 139 of the block 130, the telescopic shaft 128 is contracted and the block 130 is moved slowly inward to remove the cylindrical pattern film 40 from the original roll 30. Remove. The speed at which the telescopic shaft is contracted at this time is preferably about 10 to 30 mm / min.

なお、すべての伸縮シャフトの伸縮を同じように制御して剥離するのが困難な場合、第1の剥離装置と同様に、ブロック130の長さ方向の一端を他端よりも先に原版ロールから離間させるようにブロック130を傾けて移動させてもよい。
原版ロール30から筒型パターン膜40が完全に剥離した後、原版ロール30を外す。
If it is difficult to peel the expansion and contraction of all of the telescopic shafts in the same manner, one end in the length direction of the block 130 is removed from the original roll before the other end in the same manner as the first peeling device. The block 130 may be tilted and moved so as to be separated.
After the cylindrical pattern film 40 is completely peeled from the original roll 30, the original roll 30 is removed.

以上のように、本実施形態の剥離装置120を用いれば、原版ロール30から弾性材からなる筒型パターン膜40を、両者に損傷を与えることなく容易に剥離することができ、本発明の筒型パターン膜の作製方法、パターンロールの作製方法において適宜利用することができる。   As described above, by using the peeling apparatus 120 of the present embodiment, the cylindrical pattern film 40 made of an elastic material can be easily peeled from the original roll 30 without damaging both, and the cylinder of the present invention. It can be suitably used in a method for producing a mold pattern film and a method for producing a pattern roll.

10、30 原版ロール
11 円柱部材
12、32 凹凸パターン層
20 筒型パターン膜
20a 弾性材の原料液
22 筒型電鋳膜
23、24 円柱芯
25 エアチューブ
26 円筒枠
31 円筒部材
32 凹凸パターン層
40 筒型パターン膜
40a 弾性材の原料液
42 筒型電鋳膜
44 外枠
46 円柱芯
48 金属層
50、51、52、53 パターンロール
55 複製型原版ロール
100、120 剥離装置
105、125 移動制御部
106、126 吸引部
107、127 吸引制御部
108、128 伸縮シャフト
109、129 駆動制御部
110、130 ブロック
115、135 内側面
116、136 孔
117、137 吸引路
118、138 吸引口
119、139 外側面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 30 Master roll 11 Cylindrical member 12, 32 Uneven pattern layer 20 Tubular pattern film 20a Raw material liquid 22 of elastic material Cylindrical electroformed films 23, 24 Column core 25 Air tube 26 Cylindrical frame 31 Cylindrical member 32 Uneven pattern layer 40 Cylindrical pattern film 40a Elastic material liquid 42 Cylindrical electroformed film 44 Outer frame 46 Cylindrical core 48 Metal layers 50, 51, 52, 53 Pattern roll 55 Replica master roll 100, 120 Peeling device 105, 125 Movement control unit 106, 126 Suction unit 107, 127 Suction control unit 108, 128 Telescopic shaft 109, 129 Drive control unit 110, 130 Block 115, 135 Inner side surface 116, 136 Hole 117, 137 Suction passage 118, 138 Suction port 119, 139 Outer side surface

Claims (15)

凹凸パターンが外面に形成されてなる原版ロールの前記外面に、弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、該被膜を硬化させることにより、前記凹凸パターンが転写されてなる、前記弾性材からなる筒型パターン膜を形成し、
前記筒型パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、該各ブロックの前記内側面を前記筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、前記各ブロックの前記内側面に前記筒型パターン膜の外面を吸着させ、
前記吸着させた状態で前記各ブロックを前記筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、前記筒型パターン膜を前記原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法。
The elastic material is formed by applying a raw material liquid of an elastic material to the outer surface of an original roll having an uneven pattern formed on the outer surface to form a film, and curing the film to transfer the uneven pattern. A cylindrical pattern film made of
Three or more blocks having an inner surface with an arc-shaped cross section along the outer surface of the cylindrical pattern film, and the inner surface of each block are arranged opposite to each other in the circumferential direction of the outer surface of the cylindrical pattern film Then, the outer surface of the cylindrical pattern film is adsorbed on the inner side surface of each block,
A method for producing a cylindrical pattern film in which each of the blocks is moved outward in a normal direction with respect to the outer surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state, thereby peeling the cylindrical pattern film from the original roll.
凹凸パターンが内面に形成されてなる円筒状の原版ロールの前記内面に、弾性材の原料液を塗布して被膜を形成し、該被膜を硬化させることにより、前記凹凸パターンが転写されてなる、前記弾性材からなる筒型パターン膜を形成し、
前記筒型パターン膜の内面に沿った、断面が円弧状の外側面を有するブロックを3つ以上、該各ブロックの前記外側面を前記筒型パターン膜の内面の周方向の異なる位置に対向配置して、前記各ブロックの前記外側面に前記筒型パターン膜の内面を吸着させ、
前記吸着させた状態で前記各ブロックを前記筒型パターン膜の内面に対する法線方向内向きへ移動させることにより、前記筒型パターン膜を前記原版ロールから剥離する筒型パターン膜の作製方法。
The concave / convex pattern is transferred to the inner surface of a cylindrical master roll formed with a concave / convex pattern by applying a raw material liquid of an elastic material to form a coating and curing the coating. Forming a cylindrical pattern film made of the elastic material;
Three or more blocks having an outer surface with an arcuate cross section along the inner surface of the cylindrical pattern film, and the outer surfaces of the blocks are arranged opposite to each other in the circumferential direction of the inner surface of the cylindrical pattern film Then, the inner surface of the cylindrical pattern film is adsorbed to the outer surface of each block,
A method for producing a cylindrical pattern film in which each of the blocks is moved inward in a normal direction with respect to the inner surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state to peel the cylindrical pattern film from the original roll.
前記筒型パターン膜を前記原版ロールから剥離する際に、前記ブロックを、前記筒型パターン膜のうち該ブロックに密着した部分が前記原版ロールから剥離する分だけ移動させ、その後、前記ブロックを停止させた状態で、前記筒型パターン膜の弾性力を用いて前記ブロックに密着した部分以外の部分を前記原版ロールから剥離させる請求項1または2に記載の筒型パターン膜の作製方法。 When the cylindrical pattern film is peeled from the original roll, the block is moved by the amount of the cylindrical pattern film that is in close contact with the block is peeled off from the original roll , and then the block is stopped. 3. The method for producing a cylindrical pattern film according to claim 1, wherein a portion other than the portion in close contact with the block is peeled off from the original roll using the elastic force of the cylindrical pattern film. 前記ブロックを移動する際、該ブロックの長さ方向の一端を、他端よりも先に前記原版ロールから離間させるように前記ブロックを傾ける請求項1または2に記載の筒型パターン膜の作製方法。   3. The method for producing a cylindrical pattern film according to claim 1, wherein, when the block is moved, the block is inclined so that one end in the length direction of the block is separated from the original roll before the other end. 4. . 前記ブロックの前記筒型パターン膜と吸着する面と前記筒型パターン膜との間に多孔質シートを介在させて吸着させる請求項1から4いずれか1項に記載の筒型パターン膜の作製方法。   The method for producing a cylindrical pattern film according to any one of claims 1 to 4, wherein a porous sheet is interposed between the cylindrical pattern film and a surface of the block that adsorbs the cylindrical pattern film and the cylindrical pattern film. . 請求項1から5いずれか1項記載の筒型パターン膜の作製方法を用い、
外面に前記原版ロールの前記凹凸パターンに応じた凹凸パターンを有するパターンロールを作製するパターンロールの作製方法。
Using the method for producing a cylindrical pattern film according to any one of claims 1 to 5,
A pattern roll production method for producing a pattern roll having an uneven pattern corresponding to the uneven pattern of the original roll on the outer surface.
前記筒型パターン膜の作製方法により得られた前記筒型パターン膜が内面に凹凸パターンを有するものであるとき、
前記筒型パターン膜の内面に電鋳により筒型電鋳膜を形成し、
前記筒型電鋳膜から前記筒型パターン膜を剥離して前記筒型電鋳膜に該筒型電鋳膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込む、あるいは、前記筒型電鋳膜に該筒型電鋳膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込んで前記筒型電鋳膜から前記筒型パターン膜を剥離することにより、前記パターンロールを得る請求項6に記載のパターンロールの作製方法。
When the cylindrical pattern film obtained by the method for producing the cylindrical pattern film has an uneven pattern on the inner surface,
A cylindrical electroformed film is formed by electroforming on the inner surface of the cylindrical pattern film,
The cylindrical pattern film is peeled off from the cylindrical electroformed film, and a cylindrical core coinciding with the inner periphery of the cylindrical electroformed film is fitted into the cylindrical electroformed film, or the cylindrical electroformed film is inserted into the cylindrical electroformed film. The pattern roll according to claim 6, wherein the pattern roll is obtained by fitting a cylindrical core that coincides with the inner periphery of the cylindrical electroformed film and peeling the cylindrical pattern film from the cylindrical electroformed film. Manufacturing method.
前記筒型電鋳膜から前記筒パターン膜を剥離する際に、
前記筒パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、該各ブロックの前記内側面を前記筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、前記各ブロックの前記内側面に前記筒型パターン膜の外面を吸着させ、
前記吸着させた状態で前記各ブロックを前記筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、前記筒型パターン膜を前記筒電鋳膜から剥離する請求項7記載のパターンロールの作製方法。
Upon the release of the tubular pattern film from said tubular electroformed film,
Along the outer surface of the tubular pattern film, cross-sectional blocks of three or more having an arcuate inner surface, facing the inner surface of each of the block in different positions in the circumferential direction of the outer surface of the tubular pattern film Then, the outer surface of the cylindrical pattern film is adsorbed on the inner side surface of each block,
By moving the blocks in a state where the adsorbed normal direction outwardly relative to the outer surface of the tubular pattern film pattern according to claim 7, wherein the peeling the tubular pattern film from said tubular electroformed film A method for producing a roll.
前記筒型パターン膜の作製方法により得られた前記筒型パターン膜が外面に凹凸パターンを有するものであるとき、
前記筒型パターン膜に該筒型パターン膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込むことにより前記パターンロールを得る請求項7に記載のパターンロールの作製方法。
When the cylindrical pattern film obtained by the method for producing the cylindrical pattern film has an uneven pattern on the outer surface,
The method for producing a pattern roll according to claim 7, wherein the pattern roll is obtained by fitting a cylindrical core that matches the inner periphery of the cylindrical pattern film into the cylindrical pattern film.
前記筒型パターン膜の成形方法により得られた前記筒型パターン膜が内面に凹凸パターンを有するものであるとき、
前記筒型パターン膜を裏返すことによって、外面に前記凹凸パターンを有するものとし、
該外面に前記凹凸パターンを有する前記筒型パターン膜に該筒型パターン膜の内周と一致する円柱芯を嵌め込むことにより、前記パターンロールを得る請求項7に記載のパターンロールの作製方法。
When the cylindrical pattern film obtained by the molding method of the cylindrical pattern film has an uneven pattern on the inner surface,
By flipping the cylindrical pattern film, it has the uneven pattern on the outer surface,
The method for producing a pattern roll according to claim 7, wherein the pattern roll is obtained by fitting a cylindrical core that coincides with the inner periphery of the cylindrical pattern film into the cylindrical pattern film having the uneven pattern on the outer surface.
前記筒型パターン膜を裏返す際に、
前記筒型パターン膜を、円筒形状を維持した状態で外面から支持し、
前記筒型パターン膜の長さ方向の一端を把持して該一端を円筒内側から他端側に向けて引っ張って裏返す請求項10に記載のパターンロールの作製方法。
When flipping the cylindrical pattern film,
The cylindrical pattern film is supported from the outer surface while maintaining a cylindrical shape,
The method for producing a pattern roll according to claim 10, wherein one end of the cylindrical pattern film in the length direction is gripped, and the one end is pulled from the inside of the cylinder toward the other end to turn it over.
前記筒型パターン膜を裏返す際に、前記一端からエアチューブに嵌め込むように、円筒形状を維持しつつ裏返す請求項11記載のパターンロールの作製方法。   The method for producing a pattern roll according to claim 11, wherein when the cylindrical pattern film is turned over, the cylindrical pattern film is turned upside down while maintaining a cylindrical shape so as to be fitted into an air tube from the one end. 前記筒型パターン膜に前記円柱芯を嵌め込む際に、
前記筒型パターン膜の外面に沿った、断面が円弧状の内側面を有するブロックを3つ以上、該各ブロックの前記内側面を前記筒型パターン膜の外面の周方向の異なる位置に対向配置して、前記各ブロックの前記内側面に前記筒型パターン膜の外面を吸着させ、
前記吸着させた状態で前記各ブロックを前記筒型パターン膜の外面に対する法線方向外向きへ移動させることにより、前記筒型パターン膜の中空部を拡げ、
拡げられた前記中空部に前記円柱芯を挿入した後、前記各ブロックによる前記吸着を解除することにより、前記筒型パターン膜に前記円柱芯を嵌め込む請求項9から12いずれか1項に記載のパターンロールの作製方法。
When fitting the cylindrical core into the cylindrical pattern film,
Three or more blocks having an inner surface with an arc-shaped cross section along the outer surface of the cylindrical pattern film, and the inner surface of each block are arranged opposite to each other in the circumferential direction of the outer surface of the cylindrical pattern film Then, the outer surface of the cylindrical pattern film is adsorbed on the inner side surface of each block,
By moving the respective blocks outward in the normal direction with respect to the outer surface of the cylindrical pattern film in the adsorbed state, the hollow portion of the cylindrical pattern film is expanded,
13. The cylindrical core is inserted into the cylindrical pattern film by releasing the adsorption by the blocks after the cylindrical core is inserted into the expanded hollow portion. A method for producing a pattern roll.
ロール状支持体の外面に密着した弾性材からなる筒状膜を、前記ロール状支持体から剥離するための剥離装置であって、
断面が円弧状の内側面と、該内側面に設けられた複数の孔と、該孔に連通する吸引路とを備え、円周上に配置された3つ以上のブロックと、
前記吸引路に接続された吸引部と、
前記ブロックを径方向に移動させる移動制御部と、
前記吸引部の作動を制御する吸引制御部とを備えた剥離装置。
A peeling device for peeling a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the outer surface of a roll-shaped support from the roll-shaped support,
Three or more blocks disposed on the circumference, each having an arcuate inner surface, a plurality of holes provided in the inner surface, and suction passages communicating with the holes;
A suction part connected to the suction path;
A movement control unit for moving the block in the radial direction;
A peeling apparatus comprising: a suction control unit that controls the operation of the suction unit.
筒状のロール状支持体の内面に密着した弾性材からなる筒状膜を、前記ロール状支持体から剥離するための剥離装置であって、
断面が円弧状の外側面と、該外側面に設けられた複数の孔と、該孔に連通する吸引路とを備え、円周上に配置された3つ以上のブロックと、
前記吸引路に接続された吸引部と、
前記ブロックを径方向に移動させる移動制御部と、
前記吸引部の作動を制御する吸引制御部とを備えた剥離装置。
A peeling device for peeling a cylindrical film made of an elastic material in close contact with the inner surface of a cylindrical roll-shaped support, from the roll-shaped support,
Three or more blocks disposed on the circumference, each having an outer surface having a circular cross section, a plurality of holes provided in the outer surface, and suction paths communicating with the holes;
A suction part connected to the suction path;
A movement control unit for moving the block in the radial direction;
A peeling apparatus comprising: a suction control unit that controls the operation of the suction unit.
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