JP6381390B2 - 音・振動検出センサ - Google Patents
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Description
静電型マイクロフォンには、各種の構造の物が実用に知られている(例えば、特許文献1(図1)参照。)。
したがって、以上のような背景から胎動記録法に供することができるような高感度のセンサが望まれる。
音と振動の少なくとも一方を静電容量の変化に基づいて検出する音・振動検出センサであって、
前記電極には、貫通穴が設けられており、
この貫通穴は、0.01mm〜2.0mmの穴径で、単位面積当たりの前記貫通穴の開口面積の総和を前記単位面積で除して得られる開口率が20%を超えないように穴数が決められており、
前記エレクトレット膜は、膜厚が1.0μm〜20μmであって、前記貫通穴の一端を塞ぐように且つ周縁部のみが前記電極に接着固定されていることを特徴とする。
音と振動の少なくとも一方を静電容量の変化に基づいて検出する音・振動検出センサであって、
前記電極には、貫通穴が設けられており、
この貫通穴は、0.01mm〜2.0mmの穴径で、単位面積当たりの前記貫通穴の開口面積の総和を前記単位面積で除して得られる開口率が20%を超えないように穴数が決められており、
前記エレクトレット膜は、膜厚が1.0μm〜20μmであって、前記貫通穴の一端を塞ぐように且つ前記貫通穴を除く部位にて前記電極に接着固定されていることを特徴とする。
さらに、筐体11の一端が振動膜15で塞がれ、好ましくはこの振動膜15に質量増加のための錘16が付設されている。その上で、振動膜15等を覆う保護キャップ17が筐体11に取付けられている。
錘16は、タングステンが好適である。タングステンの比重は19.3であり、鉛の比重が11.4であるから、タングステンは十分に重く、質量増加材料として適している。その他、高価ではあるが比重が19.3である金や、比重が21.5である白金も使用可能である。
図4は拡大図であり、貫通穴27などが10倍に拡大されている。
図4に示すように、貫通穴27の穴径がdであり、貫通穴27と隣の貫通穴27のピッチがPであり、縦の長さがaで横の長さがaであるエリア29に、n個の貫通穴27が設けられている。
例えば、n=9個、d=1mm、P=3.1mm、a=9.3mmであれば、100×(9×π×12)/9.32=8.2の計算により、開口率は約8%となる。
貫通穴27の径dにしても、1.0mm程度としているため、穴径が過大であるとは言えない。
本発明者らの検討では、開口率は30%まで高めることが可能である。しかし、安全若しくは余裕を見込んで、開口率は20%を上限とすることにした。
図5に示すような検証装置40を作製した。検証装置40は、1/3オクターブトーンバーストジェネレータ41と、パワーアンプ42と、スピーカ43と、マイクロフォン44と、ヘッドアンプ45と、レベルレコーダ46とからなる。すなわち、スピーカ43で発生した音をマイクロフォン44で受ける。
試料47は、図4に示すように、1.0mmの貫通穴27が配置され、開口率が8%であって1.0mm厚さのアルミニウム板である。そして、周波数を変えながら音圧レベル(dB)を調べた。結果、図6に示す「試料有り」の曲線を得た。
しかし、図6によれば、試料の有無による差はごく僅かであり、音が遮断されることなく、マイクロフォン44に到達したことになる。この現象は、上記の常識を逸脱するものであり、更なる検証が必要である。
微細な穴は、レーザ加工や放電加工で開けることができる。ただし、加工コストの面から0.1mmを下限とすることが推奨される。そこで、開口率を8%(一定)とし、貫通穴27の径dが0.1mm、0.2mm、0.5mm、2.0mm、5mm、10mmの試料47を作製し、図5に示す検証装置40に掛けた。なお、最小穴径は、0.01mmであっても差し支えない。
貫通穴27の径が1.0〜2.0mmの範囲では、音響透過率が50〜90%となり、音響透過率は良好であった。
一方、貫通穴27の径が2.0〜10mmの範囲では、音響透過率が50%未満となり、音響透過率は不良であった。
よって、図7に基づき、開口率が10%以下であれば、貫通穴の穴径は0.01〜2.0mm、好ましくは0.1〜1.0mmの範囲に設定することが推奨される。
図8(a)は、図1で説明した音・振動検出センサ10の原理図である。すなわち、音・振動検出センサ10は、底板51で塞がれた筒形の筐体11と、この筐体11の内壁から延びる電気絶縁材12と、この電気絶縁材12で支持される電極20と、この電極20に取付けられたエレクトレット膜14と、このエレクトレット膜14と底板51との間に配置するようにして筐体11に渡した振動膜15とからなる。
空気音と固体音との合成音でエレクトレット膜14が振動するが、空気音より固体音の方が大きい。そして、固体音による振動は振動膜15の有無に影響されない。
結果、音・振動検出センサ10Cで胎動などを検出することができる。胎動の検出に、図8(a)、(b)に示す音・振動検出センサ10、10Bを採用できることは言うまでもない。
図10(a)は変更例を示し、音・振動検出センサ10Dは、電極20の構造を変更したものである。その他は、図8(a)と同じであるため、符号を流用して、詳細な説明を省略する。すなわち、電極20は、柱部21と、傘部22とからなるが、傘部22は平板である。平板であれば、二等辺三角形断面のものより、造り易く、安価となる。
図10(c)は変更例を示し、音・振動検出センサ10Fは、電極20の構造を変更したものである。その他は、図8(c)と同じであるため、符号を流用して、詳細な説明を省略する。
図1では、振動膜15に平板状の錘16を付設し、エレクトレット膜の振動と練成して出力増幅効果を加速することを意図したものである。
図11に示すように、錘16は、点状や島状や円錐状であってもよい。円錐状の錘16を振動膜15の中央に載せる。
したがって、錘16の形態は任意であるが、振動膜の曲げ剛性(スティフネス)を増大させ振動が拘束されることなく振動膜系全体の共鳴周波数fcを低下させることを意図したものである。因みに、純粋に共鳴周波数だけを1オクターブ下げることができれば、感度、すなわち出力は約12dB上昇する、とされている。
なお、錘16は質量が大きいが、付着する膜部分の質量の1000倍を超えないようにする。
図12は分解図であり、接着層28は、薄膜55に小穴56を設けたものである。
傘部22に接着層28を載せ、この接着層28にエレクトレット膜14を重ねる。
接着層28は塗布してもよいが、この場合は、塗布後に貫通穴27に合わせて小穴56を設ける。そして、エレクトレット膜14を重ねそのすぐ背後が貫通穴に接するようにする。
図14に示すように、穴径がdである貫通穴27に、厚さがtであるエレクトレット膜14が被せられる。dは、例えば1000μm(1.0mm)であり、tは、例えば1.0μmである。厚さtに対して穴径dは十分に大きい。結果、エレクトレット膜14は上下に大きく振れる。すなわち、エレクトレット膜14は、貫通穴27を除く部位にて電極(傘部22の上面)に接着固定されている。
よって、図13の構造よりは、図2の構造の方が感度向上が見込めることになる。
逆に、腰が弱いエレクトレット膜14のほぼ全面を受ける構造である図13の構造の方が、図2の構造より、製造が容易で構造的にも安定する。
すなわち、性能重視であれば図2の構造を採用し、コスト重視であれば図13の構造を採用すればよい。因みに、周辺に加え中心部の数点を固定するそれらの中間的な形態も本請求の範囲であることは言を待たない.
Claims (4)
- 筐体と、この筐体の内壁から延びる電気絶縁材と、この電気絶縁材で支持される電極と、この電極に取付けられたエレクトレット膜とを備え、
音と振動の少なくとも一方を静電容量の変化に基づいて検出する音・振動検出センサであって、
前記電極には、貫通穴が設けられており、
この貫通穴は、0.01mm〜2.0mmの穴径で、単位面積当たりの前記貫通穴の開口面積の総和を前記単位面積で除して得られる開口率が20%を超えないように穴数が決められており、
前記エレクトレット膜は、膜厚が1.0μm〜20μmであって、前記貫通穴の一端を塞ぐように且つ周縁部のみが前記電極に接着固定されていることを特徴とする音・振動検出センサ。 - 筐体と、この筐体の内壁から延びる電気絶縁材と、この電気絶縁材で支持される電極と、この電極に取付けられたエレクトレット膜とを備え、
音と振動の少なくとも一方を静電容量の変化に基づいて検出する音・振動検出センサであって、
前記電極には、貫通穴が設けられており、
この貫通穴は、0.01mm〜2.0mmの穴径で、単位面積当たりの前記貫通穴の開口面積の総和を前記単位面積で除して得られる開口率が20%を超えないように穴数が決められており、
前記エレクトレット膜は、膜厚が1.0μm〜20μmであって、前記貫通穴の一端を塞ぐように且つ前記貫通穴を除く部位にて前記電極に接着固定されていることを特徴とする音・振動検出センサ。 - 前記エレクトレット膜に平行に配置する振動膜を備え、この振動膜の中心付近に点状又は島状の錘を備えていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の音・振動検出センサ。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の音・振動検出センサは、妊婦の腹部に当てて胎動を検出する振動センサであることを特徴とする音・振動検出センサ。
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