JP6374013B2 - アルミニウム板 - Google Patents
アルミニウム板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6374013B2 JP6374013B2 JP2016551623A JP2016551623A JP6374013B2 JP 6374013 B2 JP6374013 B2 JP 6374013B2 JP 2016551623 A JP2016551623 A JP 2016551623A JP 2016551623 A JP2016551623 A JP 2016551623A JP 6374013 B2 JP6374013 B2 JP 6374013B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holes
- aluminum plate
- aluminum
- oxide film
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 178
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 174
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 18
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 59
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 46
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 42
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 40
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 32
- 239000002585 base Substances 0.000 description 29
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 25
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 25
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 22
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 18
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 16
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 16
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 15
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 14
- -1 hydrochloric acid compound Chemical class 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 7
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 7
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000007774 positive electrode material Substances 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 4
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 4
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001553 barium compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 3
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 3
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 3
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910014195 BM-400B Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000000703 Cerium Chemical class 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 2
- ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L barium acetate Chemical compound [Ba+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003123 carboxymethyl cellulose sodium Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 150000001845 chromium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000006258 conductive agent Substances 0.000 description 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910003002 lithium salt Inorganic materials 0.000 description 2
- 159000000002 lithium salts Chemical class 0.000 description 2
- 150000002681 magnesium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 159000000003 magnesium salts Chemical class 0.000 description 2
- 150000002697 manganese compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000007773 negative electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 2
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical group [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 2
- BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L zinc fluoride Chemical compound F[Zn]F BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- AEQDJSLRWYMAQI-UHFFFAOYSA-N 2,3,9,10-tetramethoxy-6,8,13,13a-tetrahydro-5H-isoquinolino[2,1-b]isoquinoline Chemical compound C1CN2CC(C(=C(OC)C=C3)OC)=C3CC2C2=C1C=C(OC)C(OC)=C2 AEQDJSLRWYMAQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWNEELMSUHJGO-UHFFFAOYSA-N 2-(4-bromophenyl)-4,5,6,7-tetrahydro-[1,3]oxazolo[4,5-c]pyridine Chemical compound C1=CC(Br)=CC=C1C(O1)=NC2=C1CCNC2 SIWNEELMSUHJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-(4-chlorophenyl)-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(CN)C1=CC=C(Cl)C=C1 JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000967 As alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N Diethyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OCC OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013870 LiPF 6 Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLCFGWHYROZGBI-JJKGCWMISA-M Potassium gluconate Chemical compound [K+].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O HLCFGWHYROZGBI-JJKGCWMISA-M 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910009361 YP-50F Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920005822 acrylic binder Polymers 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000288 alkali metal carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008041 alkali metal carbonates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M aluminum;oxygen(2-);hydroxide Chemical compound [OH-].[O-2].[Al+3] VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N aluminum;sodium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Na+].[Al+3] ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISFLYIRWQDJPDR-UHFFFAOYSA-L barium chlorate Chemical compound [Ba+2].[O-]Cl(=O)=O.[O-]Cl(=O)=O ISFLYIRWQDJPDR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L barium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ba+2] RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001863 barium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- SGUXGJPBTNFBAD-UHFFFAOYSA-L barium iodide Chemical compound [I-].[I-].[Ba+2] SGUXGJPBTNFBAD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940075444 barium iodide Drugs 0.000 description 1
- 229910001638 barium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- GXUARMXARIJAFV-UHFFFAOYSA-L barium oxalate Chemical compound [Ba+2].[O-]C(=O)C([O-])=O GXUARMXARIJAFV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940094800 barium oxalate Drugs 0.000 description 1
- OOULUYZFLXDWDQ-UHFFFAOYSA-L barium perchlorate Chemical compound [Ba+2].[O-]Cl(=O)(=O)=O.[O-]Cl(=O)(=O)=O OOULUYZFLXDWDQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ARSLNKYOPNUFFY-UHFFFAOYSA-L barium sulfite Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])=O ARSLNKYOPNUFFY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HLKMEIITONDPGG-UHFFFAOYSA-L barium(2+);2-hydroxypropanoate Chemical compound [Ba+2].CC(O)C([O-])=O.CC(O)C([O-])=O HLKMEIITONDPGG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AGXUVMPSUKZYDT-UHFFFAOYSA-L barium(2+);octadecanoate Chemical compound [Ba+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O AGXUVMPSUKZYDT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYLVYHXQOHJDJL-UHFFFAOYSA-K cerium trichloride Chemical compound Cl[Ce](Cl)Cl VYLVYHXQOHJDJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);trifluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[Ce+3] QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- JOPOVCBBYLSVDA-UHFFFAOYSA-N chromium(6+) Chemical compound [Cr+6] JOPOVCBBYLSVDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229940111685 dibasic potassium phosphate Drugs 0.000 description 1
- 229940061607 dibasic sodium phosphate Drugs 0.000 description 1
- ZPWVASYFFYYZEW-UHFFFAOYSA-L dipotassium hydrogen phosphate Chemical compound [K+].[K+].OP([O-])([O-])=O ZPWVASYFFYYZEW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L disodium hydrogen phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].OP([O-])([O-])=O BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 1
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZGJOORCILCWISV-UHFFFAOYSA-L magnesium difluoride pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[F-].[F-].[Mg++] ZGJOORCILCWISV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QENHCSSJTJWZAL-UHFFFAOYSA-N magnesium sulfide Chemical compound [Mg+2].[S-2] QENHCSSJTJWZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000005078 molybdenum compound Substances 0.000 description 1
- 150000002752 molybdenum compounds Chemical class 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229960003975 potassium Drugs 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- 239000004224 potassium gluconate Substances 0.000 description 1
- 235000013926 potassium gluconate Nutrition 0.000 description 1
- 229960003189 potassium gluconate Drugs 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- ZLIBICFPKPWGIZ-UHFFFAOYSA-N pyrimethanil Chemical compound CC1=CC(C)=NC(NC=2C=CC=CC=2)=N1 ZLIBICFPKPWGIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229940082569 selenite Drugs 0.000 description 1
- MCAHWIHFGHIESP-UHFFFAOYSA-L selenite(2-) Chemical compound [O-][Se]([O-])=O MCAHWIHFGHIESP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001388 sodium aluminate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000176 sodium gluconate Substances 0.000 description 1
- 235000012207 sodium gluconate Nutrition 0.000 description 1
- 229940005574 sodium gluconate Drugs 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011684 sodium molybdate Substances 0.000 description 1
- 235000015393 sodium molybdate Nutrition 0.000 description 1
- TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N sodium molybdate (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Mo]([O-])(=O)=O TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 description 1
- 235000019794 sodium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- RCYJPSGNXVLIBO-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenetitanium Chemical compound [S].[Ti] RCYJPSGNXVLIBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N triammonium citrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940001496 tribasic sodium phosphate Drugs 0.000 description 1
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 1
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003755 zirconium compounds Chemical class 0.000 description 1
- DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J zirconium tetrachloride Chemical compound Cl[Zr](Cl)(Cl)Cl DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- OMQSJNWFFJOIMO-UHFFFAOYSA-J zirconium tetrafluoride Chemical compound F[Zr](F)(F)F OMQSJNWFFJOIMO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
- C25F3/14—Etching locally
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
- C25D11/06—Anodisation of aluminium or alloys based thereon characterised by the electrolytes used
- C25D11/08—Anodisation of aluminium or alloys based thereon characterised by the electrolytes used containing inorganic acids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
- C25D11/18—After-treatment, e.g. pore-sealing
- C25D11/20—Electrolytic after-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
- C25D11/18—After-treatment, e.g. pore-sealing
- C25D11/24—Chemical after-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
- C25F3/04—Etching of light metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
- H01G11/04—Hybrid capacitors
- H01G11/06—Hybrid capacitors with one of the electrodes allowing ions to be reversibly doped thereinto, e.g. lithium ion capacitors [LIC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
- H01G11/66—Current collectors
- H01G11/70—Current collectors characterised by their structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/64—Carriers or collectors
- H01M4/66—Selection of materials
- H01M4/661—Metal or alloys, e.g. alloy coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/64—Carriers or collectors
- H01M4/66—Selection of materials
- H01M4/665—Composites
- H01M4/667—Composites in the form of layers, e.g. coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/64—Carriers or collectors
- H01M4/70—Carriers or collectors characterised by shape or form
- H01M4/72—Grids
- H01M4/74—Meshes or woven material; Expanded metal
- H01M4/742—Meshes or woven material; Expanded metal perforated material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
- C23C18/1646—Characteristics of the product obtained
- C23C18/165—Multilayered product
- C23C18/1653—Two or more layers with at least one layer obtained by electroless plating and one layer obtained by electroplating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
- C23C18/34—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron using reducing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/54—Contact plating, i.e. electroless electrochemical plating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/38—Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Cell Electrode Carriers And Collectors (AREA)
- Electric Double-Layer Capacitors Or The Like (AREA)
Description
また、特許文献2には、集電体として、アルミニウム貫通箔を用いることが記載されており、また、このアルミニウム貫通箔に活物質を塗布することが記載されている([請求項1][0036])。
また、特許文献3には、多孔性電極用芯材として、網目状の多孔体を用いることが記載されており、芯材に活物質を充填することが記載されている([要約][発明の開示])。
また、貫通孔の径が大きいと、塗布した活物質の表面に、集電体の貫通孔に対応した凹凸ができたり、裏抜けしたりして、活物質表面の均一性が損なわれて塗布性が低下してしまう。
例えば、特許文献1には、貫通孔の最小孔径を0.01mm〜0.19mmの範囲とすることで、貫通孔のパターンが活物質層の表面に反映するのを抑制して、活物質層の表面粗さを小さくすることが記載されている([0022])。
また、特許文献2には、貫通孔の内径を0.2μm〜5μmの範囲とすることが記載されている([0032])。
この点について、本発明者が詳細に検討したところ、隣接する貫通孔同士の孔間距離が大きい領域が存在すると、その領域ではリチウムイオンが到達しにくくなる、すなわち、リチウムイオンの拡散性が悪くなる。そのため、プレドープの完了までの時間が長くなり、プレドープを効率よく行うことができないことがわかった。
なお、以下の説明では、プレドープの効率を、「プレドープ特性」ともいう。
すなわち、以下の構成により上記目的を達成することができることを見出した。
貫通孔の平均開口径が1μm〜100μmであり、
貫通孔の密度が50個/mm2〜2000個/mm2であり、
隣接する貫通孔の孔間距離が300μm以下であるアルミニウム板。
[2] 隣接する貫通孔の孔間距離の平均が150μm以下である[1]に記載のアルミニウム板。
[3] 貫通孔の平均開口径が、5μm超、80μm以下である[1]または[2]に記載のアルミニウム板。
[4] 開口径が5μm以下の貫通孔の割合が50%以下である[1]〜[3]のいずれかに記載のアルミニウム板。
[5] 少なくとも貫通孔の内表面を覆う金属めっきからなる金属層を有する[1]〜[4]のいずれかに記載のアルミニウム板。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本発明のアルミニウム板は、厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有するアルミニウム板であって、貫通孔の平均開口径が1μm〜100μmであり、貫通孔の密度が50個/mm2〜2000個/mm2であり、隣接する貫通孔の孔間距離が300μm以下のアルミニウム板である。
次に、本発明のアルミニウム板の構成について、図1(A)〜図1(C)を用いて説明する。
図1(A)および図1(B)に示すように、アルミニウム板10は、アルミニウム基材3に、厚さ方向に貫通する貫通孔5を複数、形成してなるものである。
また、図1(C)に示す電極30は、図1(B)に示すアルミニウム板10の一方の主面に活物質層32が積層されてなるものである。
すなわち、貫通孔の開口部の形状は略円形状に限定はされないので、開口部の形状が非円形状の場合には、貫通孔部分の端部間の距離の最大値を開口径とする。従って、例えば、2以上の貫通孔が一体化したような形状の貫通孔の場合にも、これを1つの貫通孔とみなし、貫通孔部分の端部間の距離の最大値を開口径とする。
ここで、Voronoi処理とは、平面上にいくつかの点が配置されている場合に、その平面内を、どの点に最も近いかによって複数の領域に分割するものであり、領域を分割する線が境界線となる。すなわち、この境界線は、2つの最も近い点から等距離の点の集合からなる線である。また、領域は、各点に対応して形成される。
なお、本発明においては、2つの貫通孔の最も近い位置同士から等距離の線を、境界線とする。
隣接する2つの貫通孔について、各々の端面から境界線に直交する線を引き、この線分の長さが最も短くなるときの長さを孔間距離とする。
100mm×75mmの視野中の全ての孔間距離を測定する。10箇所の視野について、全ての孔間距離を測定し、その平均値を平均孔間距離として算出する。
また、このようなアルミニウム板は、活性炭などの活物質を塗布されて電極として用いられる。その際、活物質の塗布性を向上するために、貫通孔の径を小さくすることが考えられている。
しかしながら、本発明者が詳細に検討したところ、微細な貫通孔を多数形成しても、プレドープを効率よく行うことができない場合があることがわかった。
具体的には、隣接する貫通孔同士の孔間距離が大きい領域が存在すると、その領域の近傍ではリチウムイオンが到達しにくくなるため、プレドープの完了までの時間が長くなり、プレドープを効率よく行うことができないことがわかった。
すなわち、貫通孔の分布に偏りがあると、リチウムイオンの拡散性が悪くなり、プレドープ特性が悪くなることがわかった。
従って、貫通孔の平均開口径は、上記の塗布性、ならびに、活物質との密着性や、引張強度等の観点から、5μm超、80μm以下が好ましく、5μm超、40μm以下がより好ましく、10μm〜30μmが特に好ましい。
従って、貫通孔の密度は、上記のプレドープ特性、ならびに、密着性や引張強度等の観点から、100個/mm2〜2000個/mm2が好ましく、150個/mm2〜1500個/mm2がより好ましく、200個/mm2〜1000個/mm2が特に好ましい。
従って、孔間距離の最大値は、上記のプレドープ特性の観点から、250μm以下が好ましく、200μm以下がより好ましく、100μm以下が特に好ましい。
また、孔間距離の平均値が大きいほど、プレドープ特性が低下する。
従って、孔間距離の平均値は、上記プレドープ特性の観点から、150μm以下が好ましく、80μm以下がより好ましい。
なお、開口径5μm以下の貫通孔の割合は、上述の貫通孔の平均開口径の測定と同様の方法でSEM写真を撮影し、得られたSEM写真の10cm×10cmの範囲において、30mm×30mmの視野、5箇所で、全ての貫通孔の開口径を測定し、測定した全ての貫通孔の個数に対する、開口径5μm以下の貫通孔の個数の比率として算出する。
なお、粗面化の処理方法には特に限定はなく、公知の粗面化処理方法が適宜利用可能である。例えば、後述する電気化学的粗面化処理により、粗面化するのが好ましい。
図2は、本発明のアルミニウム板の他の一例を示す模式的な断面図である。
図2に示すアルミニウム板10は、貫通孔を有するアルミニウム基材3の表面および裏面ならびに貫通孔5の内表面(内壁)にアルミニウム以外の金属または合金からなる第1の金属層6および第2の金属層7を有する態様である。
このように、貫通孔の内表面に金属層を形成することで、貫通孔の平均開口径を1μm〜20μm程度の小さい範囲に好適に調整できる。
このような金属層は、後述する金属被覆工程により形成することができる。
なお、図示例においては、アルミニウム基材3の表面および裏面ならびに貫通孔5の内表面に金属層を形成する構成としたが、これに限定はされず、少なくとも、貫通孔5の内表面に金属層を形成すればよい。
なお、アルミニウム基材の主面の面積の80%以上の領域に、上記平均開口径、密度および孔間距離の範囲を満たす貫通孔が形成されるのが好ましく、90%以上がより好ましい。
また、少なくとも活物質が塗布される領域に貫通孔5が形成されるのが好ましい。複数の貫通孔5が形成される領域において、形成される貫通孔5が上記平均開口径、密度および孔間距離の範囲を満たせばよい。
上記アルミニウム基材は、特に限定はされず、例えば、JIS規格H4000に記載されている合金番号1085、1N30、3003等の公知のアルミニウム基材を用いることができる。なお、アルミニウム基材は、アルミニウムを主成分とし、微量の異元素を含む合金板である。
アルミニウム基材の厚みとしては、特に限定はないが、5μm〜1000μmが好ましく、10μm〜100μmがより好ましく、10μm〜30μmが特に好ましい。
活物質層としては特に限定はなく、従来の蓄電デバイスにおいて用いられる公知の活物質層が利用可能である。
具体的には、アルミニウム板を正極の集電体として用いる場合の、活物質および活物質層に含有していてもよい導電材、結着剤、溶媒等については、特開2012−216513号公報の[0077]〜[0088]段落に記載された材料を適宜採用することができ、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
また、アルミニウム板を負極の集電体として用いる場合の、活物質については、特開2012−216513号公報の[0089]段落に記載された材料を適宜採用することができ、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
本発明のアルミニウム板を集電体として利用する電極は、蓄電デバイスの正極あるいは負極として用いることができる。
ここで、蓄電デバイス(特に、二次電池)の具体的な構成や適用される用途については、特開2012−216513号公報の[0090]〜[0123]段落に記載された材料や用途を適宜採用することができ、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
次に、本発明のアルミニウム板の製造方法について説明する。
アルミニウム板の製造方法は、厚み方向に複数の貫通孔を有するアルミニウム基材を有するアルミニウム板の製造方法であって、アルミニウム基材の表面に酸化膜形成処理を施し、酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、酸化膜形成工程の後に電気化学的溶解処理(以下、「電解溶解処理」とも略す。)を施し、貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、アルミニウム板から酸化膜を除去する酸化膜除去工程とを有する、アルミニウム板の製造方法である。
アルミニウム板の製造方法は、図3(A)〜図3(E)および図4(A)〜図4(E)に示すように、アルミニウム基材1の表面(図4に示す態様においては表面および裏面)に対して酸化膜形成処理を施し、酸化膜2を形成する酸化膜形成工程(図3(A)および図3(B),図4(A)および図4(B))と、酸化膜形成工程の後に電解溶解処理を施して貫通孔5を形成し、貫通孔を有するアルミニウム基材3および貫通孔を有する酸化膜4を有するアルミニウム板を作製する貫通孔形成工程(図3(B)および図3(C),図4(B)および図4(C))と、貫通孔形成工程の後に、貫通孔を有する酸化膜4を除去し、貫通孔を有するアルミニウム基材3からなるアルミニウム板10を作製する酸化膜除去工程(図3(C)および図3(D),図4(C)および図4(D))と、を有する製造方法である。
また、アルミニウム板の製造方法は、酸化膜除去工程の後に、貫通孔を有するアルミニウム基材3に電気化学的粗面化処理を施し、表面を粗面化したアルミニウム板10を作製する粗面化処理工程(図3(D)および図3(E),図4(D)および図4(E))を有しているのが好ましい。
本発明において、アルミニウム板の製造方法が有する酸化膜形成工程は、アルミニウム基材の表面に酸化膜形成処理を施し、酸化膜を形成する工程である。
上記酸化膜形成処理は特に限定されず、例えば、従来公知の陽極酸化処理と同様の処理を施すことができる。
陽極酸化処理としては、例えば、特開2012−216513号公報の[0063]〜[0073]段落に記載された条件や装置を適宜採用することができる。
硫酸を含有する電解液中で陽極酸化処理を行う場合には、アルミニウム基材と対極との間に直流を印加してもよく、交流を印加してもよい。アルミニウム基材に直流を印加する場合においては、電流密度は、1〜60A/dm2であるのが好ましく、5〜40A/dm2であるのがより好ましい。連続的に陽極酸化処理を行う場合には、アルミニウム基材に、電解液を介して給電する液給電方式により行うのが好ましい。
貫通孔形成工程は、酸化膜形成工程の後に電解溶解処理を施し、貫通孔を形成する工程である。
上記電解溶解処理は特に限定されず、直流または交流を用い、酸性溶液を電解液に用いることができる。中でも、塩酸または硝酸を主体とする電解液を用いるのが好ましい。
また、塩酸または硝酸を主体とする水溶液には、鉄、銅、マンガン、ニッケル、チタン、マグネシウム、シリカ等のアルミニウム合金中に含まれる金属が溶解していてもよい。好ましくは、塩酸または硝酸の濃度0.5〜2質量%の水溶液にアルミニウムイオンが3〜50g/Lとなるように、塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム等を添加した液を用いることが好ましい。
本発明においては、硝酸を主体とする電解液を用いた電気化学的溶解処理(以下、「硝酸溶解処理」とも略す。)により、容易に、平均開口径が1μm〜100μmであり、平均開口率が1%〜40%となる貫通孔を形成することができる。
ここで、硝酸溶解処理は、貫通孔形成の溶解ポイントを制御しやすい理由から、直流電流を用い、平均電流密度を5A/dm2以上とし、かつ、電気量を50C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるであるのが好ましい。なお、平均電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は10000C/dm2以下であるのが好ましい。
また、硝酸電解における電解液の濃度や温度は特に限定されず、高濃度、例えば、硝酸濃度15〜35質量%の硝酸電解液を用いて30〜60℃で電解を行ったり、硝酸濃度0.7〜2質量%の硝酸電解液を用いて高温、例えば、80℃以上で電解を行ったりすることできる。
本発明においては、塩酸を主体とする電解液を用いた電気化学的溶解処理(以下、「塩酸溶解処理」とも略す。)によっても、容易に、平均開口径が1〜100μmであり、平均開口率が1〜40%となる貫通孔を形成することができる。
ここで、塩酸溶解処理は、貫通孔形成の溶解ポイントを制御しやすい理由から、直流電流を用い、平均電流密度を5A/dm2以上とし、かつ、電気量を50C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるであるのが好ましい。なお、平均電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は10000C/dm2以下であるのが好ましい。
また、塩酸電解における電解液の濃度や温度は特に限定されず、高濃度、例えば、塩酸濃度10〜35質量%の塩酸電解液を用いて30〜60℃で電解を行ったり、塩酸濃度0.7〜2質量%の塩酸電解液を用いて高温、例えば、80℃以上で電解を行ったりすることできる。
酸化膜除去工程は、酸化膜を除去する工程である。
上記酸化膜除去工程は、例えば、後述する酸エッチング処理やアルカリエッチング処理を施すことにより酸化膜を除去することができる。
上記溶解処理は、アルミニウムよりも酸化膜(酸化アルミニウム)を優先的に溶解させる溶液(以下、「アルミナ溶解液」という。)を用いて酸化膜を溶解させる処理である。
ジルコニウム系化合物としては、例えば、フッ化ジルコンアンモニウム、フッ化ジルコニウム、塩化ジルコニウムが挙げられる。
チタン化合物としては、例えば、酸化チタン、硫化チタンが挙げられる。
リチウム塩としては、例えば、フッ化リチウム、塩化リチウムが挙げられる。
セリウム塩としては、例えば、フッ化セリウム、塩化セリウムが挙げられる。
マグネシウム塩としては、例えば、硫化マグネシウムが挙げられる。
マンガン化合物としては、例えば、過マンガン酸ナトリウム、過マンガン酸カルシウムが挙げられる。
モリブデン化合物としては、例えば、モリブデン酸ナトリウムが挙げられる。
マグネシウム化合物としては、例えば、フッ化マグネシウム・五水和物が挙げられる。
バリウム化合物としては、例えば、酸化バリウム、酢酸バリウム、炭酸バリウム、塩素酸バリウム、塩化バリウム、フッ化バリウム、ヨウ化バリウム、乳酸バリウム、シュウ酸バリウム、過塩素酸バリウム、セレン酸バリウム、亜セレン酸バリウム、ステアリン酸バリウム、亜硫酸バリウム、チタン酸バリウム、水酸化バリウム、硝酸バリウム、あるいはこれらの水和物等が挙げられる。
上記バリウム化合物の中でも、酸化バリウム、酢酸バリウム、炭酸バリウムが好ましく、酸化バリウムが特に好ましい。
ハロゲン単体としては、例えば、塩素、フッ素、臭素が挙げられる。
酸濃度としては、0.01mol/L以上であるのが好ましく、0.05mol/L以上であるのがより好ましく、0.1mol/L以上であるのが更に好ましい。上限は特にないが、一般的には10mol/L以下であるのが好ましく、5mol/L以下であるのがより好ましい。
浸せき処理の時間は、10分以上であるのが好ましく、1時間以上であるのがより好ましく、3時間以上、5時間以上であるのが更に好ましい。
アルカリエッチング処理は、上記酸化膜をアルカリ溶液に接触させることにより、表層を溶解させる処理である。
本発明において、アルミニウム板の製造方法が有していてもよい任意の粗面化処理工程は、酸化膜を除去したアルミニウム基材に対して電気化学的粗面化処理(以下、「電解粗面化処理」とも略す。)を施し、アルミニウム基材の表面ないし裏面を粗面化する工程である。
前述のとおり、電解粗面化処理を施し、アルミニウム基材の表面を粗面化することにより、活物質を含む層との密着性が向上するとともに、表面積が増えることによって接触面積が増えるため、本発明の製造方法により得られるアルミニウム板(集電体)を用いた蓄電デバイスの容量維持率が高くなる。
上記電解粗面化処理としては、例えば、特開2012−216513号公報の[0041]〜[0050]段落に記載された条件や装置を適宜採用することができる。
本発明においては、硝酸を主体とする電解液を用いた電気化学的粗面化処理(以下、「硝酸電解」とも略す。)により、容易に平均開口径0.5μm〜3.0μmの凹部を10個/100μm2以上の密度で形成することができる。
ここで、硝酸電解は、均一で密度の高い凹部形成が可能となる理由から、交流電流を用い、ピーク電流密度を30A/dm2以上とし、平均電流密度を13A/dm2以上とし、かつ、電気量を150C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるであるのが好ましい。なお、ピーク電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、平均電流密度は40A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は400C/dm2以下であるのが好ましい。
また、硝酸電解における電解液の濃度や温度は特に限定されず、高濃度、例えば、硝酸濃度15〜35質量%の硝酸電解液を用いて30〜60℃で電解を行ったり、硝酸濃度0.7〜2質量%の硝酸電解液を用いて高温、例えば、80℃以上で電解を行ったりすることができる。
本発明においては、塩酸を主体とする電解液を用いた電気化学的粗面化処理(以下、「塩酸電解」とも略す。)によっても、平均開口径0.5μm〜3.0μmの凹部を10個/100μm2以上の密度で形成することができる。
ここで、塩酸電解においては、均一で密度の高い凹部形成が可能となる理由から、交流電流を用い、ピーク電流密度を30A/dm2以上とし、平均電流密度を13A/dm2以上とし、かつ、電気量を150C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるであるのが好ましい。なお、ピーク電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、平均電流密度は40A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は400C/dm2以下であるのが好ましい。
本発明において、アルミニウム板の製造方法は、上述した電解溶解処理により形成された貫通孔の平均開口径を1μm〜20μm程度の小さい範囲に調整できる理由から、上述した酸化膜除去工程の後に、少なくとも貫通孔の内壁を含むアルミニウム基材の表面の一部または全部をアルミニウム以外の金属で被覆する金属被覆工程を有しているのが好ましい。
ここで、「少なくとも貫通孔の内壁を含むアルミニウム基材の表面の一部または全部をアルミニウム以外の金属で被覆する」とは、貫通孔の内壁を含むアルミニウム基材の全表面のうち、少なくとも貫通孔の内壁については被覆されていることを意味しており、内壁以外の表面は、被覆されていなくてもよく、一部または全部が被覆されていてもよい。
以下に、図2を用いて、金属被覆工程を説明する。
上記置換処理は、少なくとも貫通孔の内壁を含むアルミニウム基材の表面の一部または全部に、亜鉛または亜鉛合金を置換めっきする処理である。
置換めっき液としては、例えば、水酸化ナトリウム120g/l、酸化亜鉛20g/l、結晶性塩化第二鉄2g/l、ロッセル塩50g/l、硝酸ナトリウム1g/lの混合溶液などが挙げられる。
また、市販のZnまたはZn合金めっき液を使用してもよく、例えば、奥野製薬工業株式会社製サブスターZn−1、Zn−2、Zn−3、Zn−8、Zn−10、Zn−111、Zn−222、Zn−291等を使用することができる。
このような置換めっき液へのアルミニウム基材の浸漬時間は15秒〜40秒であるのが好ましく、浸漬温度は15秒〜40秒であるのが好ましい。
上述した置換処理により、アルミニウム基材の表面に亜鉛または亜鉛合金を置換めっきして亜鉛皮膜を形成させた場合は、例えば、後述する無電解めっきにより亜鉛皮膜をニッケルに置換させた後、後述する電解めっきにより各種金属を析出させる、めっき処理を施すのが好ましい。
無電解めっき処理に用いるニッケルめっき液としては、市販品が幅広く使用でき、例えば、硫酸ニッケル30g/l、次亜リン酸ソーダ20g/l、クエン酸アンモニウム50g/lを含む水溶液などが挙げられる。
また、ニッケル合金めっき液としては、リン化合物が還元剤となるNi−P合金めっき液やホウ素化合物が還元剤となるNi−Bメッキ液などが挙げられる。
このようなニッケルめっき液やニッケル合金めっき液への浸漬時間は15秒〜10分であるのが好ましく、浸漬温度は30℃〜90℃であるのが好ましい。
電解めっき処理として、例えば、Cuを電気めっきする場合のめっき液は、例えば、硫酸Cu60〜110g/L、硫酸160〜200g/Lおよび塩酸0.1〜0.15mL/Lを純水に加え、さらに奥野製薬株式会社製トップルチナSFベースWR1z5〜5.0mL/L、トップルチナSF−B0.5〜2.0mL/L及びトップルチナSFレベラー3.0〜10mL/Lを添加剤として加えためっき液が挙げられる。
このような銅めっき液への浸漬時間は、Cu膜の厚さによるため特に限定されないが、例えば、2μmのCu膜をつける場合は、電流密度2A/dmで約5分間浸漬するのが好ましく、浸漬温度は20℃〜30℃であるのが好ましい。
本発明において、アルミニウム板の製造方法においては、上述した電解溶解処理により形成された貫通孔の平均開口径を1〜20μm程度の範囲で小さく調整できる理由から、上述した酸化膜除去工程の後であって更に陽極酸化処理を施して酸化膜を形成した後に、ベーマイト処理を施すのが好ましい。
ここで、ベーマイト処理は、アルミニウムが高温の水や過熱水蒸気と反応して擬ベーマイト質の水和酸化皮膜を生成する反応を用いたものであり、例えば、100〜400℃の水(例えば、純水、脱イオン水)をpH7〜12に調整し、アルミニウム基材を浸漬することによって水和酸化皮膜を生成することができる。
本発明においては、上述した各処理の工程終了後には水洗を行うのが好ましい。水洗には、純水、井水、水道水等を用いることができる。処理液の次工程への持ち込みを防ぐためにニップ装置を用いてもよい。
<集電体用アルミニウム板の作製>
平均厚さ20μm、大きさ200mm×300mmのアルミニウム基材(JIS H−4160、合金番号:1N30−H、アルミニウム純度:99.30%)の表面に、以下に示す処理を施し、集電体用アルミニウム板を作製した。
上記アルミニウム基材に硫酸濃度170g/Lで、アルミニウム濃度5%以下の溶液を用い、アルミニウム基材を陽極として、52℃の条件下で直流電流密度5A/dm2、直流電圧3Vを27秒間印加して、上記アルミニウム基材の片側の表面(片面)に酸化膜(皮膜量:0.6g/m2)を形成した。その後、スプレーによる水洗を行った。
次いで、50℃に保温した電解液(硝酸濃度:1%、アルミニウム濃度4.5g/L)を用いて、アルミニウム基材を陽極として、電流密度が60A/dm2、電気量総和が200C/dm2の条件下にて電解処理を施し、さらに、電流密度を10A/dm2、電気量総和が1200C/dm2の条件に変更して電解処理を施して、アルミニウム基材および酸化膜に貫通孔を形成させた。なお、電解処理は、直流電源波で行った。
その後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させた。
次いで、電解溶解処理後のアルミニウム基材を、カセイソーダ濃度5質量%、アルミニウムイオン濃度0.5質量%の水溶液(液温:35℃)中に3秒間浸漬させることにより、酸化膜を溶解し、除去した。
その後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させることにより、貫通孔を有するアルミニウム板を作製した。
(b1)の電解処理条件を、電流密度を10A/dm2、電気量総和が1800C/dm2に変更して、アルミニウム基材および酸化膜に貫通孔を形成させた。電解溶解処理の条件を変更した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
(b1)の電解処理条件を、電流密度を10A/dm2、電気量総和が2000C/dm2の条件に変更した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
上記(a1)に示す酸化膜形成処理に代えて、下記(a2)に示す酸化膜形成処理を施し、また、上記(b1)に示す電解溶解処理に代えて、下記(b2)に示す電解溶解処理を施した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
直流電流密度25A/dm2、直流電圧15Vを16秒間印加して、上記アルミニウム基材の片側の表面(片面)に酸化膜(皮膜量:2.4g/m2)を形成した以外は、(a1)酸化膜形成処理と同様とした。
電解処理条件を、電流密度を10A/dm2、電気量総和を1500C/dm2の条件に変更した以外は、上記(b1)に示す電解溶解処理と同様とした。
上記(a1)に示す酸化膜形成処理に代えて、上記(a2)に示す酸化膜形成処理を施し、また、上記(b1)に示す電解溶解処理に代えて、下記(b3)に示す電解溶解処理を施した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
電解処理条件を、電流密度を10A/dm2、電気量総和が2400C/dm2の条件に変更した以外は、(b1)電解溶解処理と同様とした。
平均厚さ20μm、幅200mmのアルミニウム基材(JIS H−4160、合金番号:1N30−H、アルミニウム純度:99.30%)の両面に、表1に示した貫通孔を作製するための所定のパターンを有するレジスト膜を、グラビアロールを用いて形成した。レジストインキの主成分はアクリル系樹脂からなり、少量の顔料が配合されており、トルエンでレジストインキの粘度を調整した。次に塩化第二鉄からなるエッチング液を用いて温度40℃で約10秒間のエッチング処理を施すことにより、表1に示した貫通孔をアルミニウム箔に形成した。その後、レジストインキを苛性ソーダにより溶解除去しアルミニウム板を作製した。
Fe:18質量ppm、Si:20質量ppm、Cu:25質量ppm、残部:Al及び不可避不純物からなる組成を有する溶湯を調製した後、溶湯を凝固させることにより鋳塊を得た。次いで、この鋳塊を500℃で10時間の均質化処理を施した。その後、鋳塊に対して熱間圧延(温度400℃)及び冷間圧延を施すことによって厚さ65μmまで圧延した。250℃で8時間の中間焼鈍を施した後、さらに冷間圧延を施すことによって厚さ50μmの箔を得た。
有機溶剤系洗浄剤(イソプロピレン)で洗浄した後、アルゴンガス中で500℃で10時間焼鈍した。次いで、塩酸5質量%を含む水溶液を電解液として用い、液温70℃及び電流密度0.3A/cm2で直流エッチングを行うことにより、貫通孔を複数有するアルミニウム板を作製した。
アルミニウム基材として、平均厚さ20μm、幅200mmのアルミニウム基材(アルミニウム純度:99.99%)を用い、上記(a1)に示す酸化膜形成処理に代えて、上記(a2)に示す酸化膜形成処理を施し、上記(b1)に示す電解溶解処理に代えて、下記(b4)に示す電解溶解処理を施した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
電解処理条件を、電流密度を5A/dm2、電気量総和を1000C/dm2の条件に変更した以外は、上記(b1)に示す電解溶解処理と同様とした。
アルミニウム基材として、平均厚さ20μm、幅200mmのアルミニウム基材(アルミニウム純度:99.99%)を用い、上記(a1)に示す酸化膜形成処理に代えて、上記(a2)に示す酸化膜形成処理を施し、上記(b1)に示す電解溶解処理に代えて、下記(b5)に示す電解溶解処理を施した以外は、実施例1と同様にしてアルミニウム板を作製した。
電解処理条件を、電流密度を10A/dm2、電気量総和を1000C/dm2の条件に変更した以外は、上記(b1)に示す電解溶解処理と同様とした。
平均開口径は、高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてアルミニウム板の表面を真上から倍率100倍で撮影し、得られたSEM写真において、周囲が環状に連なっている貫通孔を少なくとも20個抽出し、その開口径を読み取って、これらの平均値を平均開口径として算出した。
まず、アルミニウム板の一方の面側に平行光光学ユニット(シーシーエス株式会社製 MFU-34X30-BL)を設置し、平行光を透過させて、アルミニウム板の他方の面から、光学顕微鏡を用いてアルミニウム板の表面を倍率100倍、1392×1040ピクセルで撮影し、得られた光学顕微鏡写真において、100mm×75mmの視野、10箇所について、貫通孔の個数を計測し、mm2あたりの個数に換算し、各視野(10箇所)における値の平均値を貫通孔の密度として算出した。
次に、この画像中において、隣接する2つの貫通孔同士の孔間距離を全て読み取って、最大値を求めると共に、孔間距離の平均値を算出した。
<塗布性>
作製したアルミニウム板の両面に活物質層を形成して、活物質層の表面の凹凸の有無により塗布性を評価した。
まず、活物質として、比表面積が1950m2/gの活性炭粉末100質量部と、アセチレンブラック10質量部と、アクリル系バインダ7質量部と、カルボキシメチルセルロース4質量部とを、水に添加して分散することにより、スラリーを調整した。
次に、調整したスラリーを、貫通孔が形成されたアルミニウム板の両面に、ダイコータによって合計200μmの厚みになるように塗工し、120℃で30分間乾燥し、アルミニウム板の表面に活物質層を形成した。
形成した活物質層の表面に、凹凸が見られるかを目視評価し、直径40μm以上の凹凸が無い場合をA、直径40μm〜100μmの凹凸が見られる場合をB、直径100μm以上の凹凸が見られる場合をCとした。
作製したアルミニウム板を集電体として用いる電極を正極とするプレドープ速度評価ユニットを作製して、プレドープ特性を以下の方法で評価した。
作製したアルミニウム板の両面に、導電性塗料(日本黒鉛工業株式会社製 バニーハイトT-602)を塗布厚み10μmで塗工した後、200℃で24時間の条件で減圧乾燥して、アルミニウム板の両面に導電層を形成した。
次いで、形成した導電層上に、下記の組成比で調製した正極活物質層形成用スラリーをダイコータによって両面の総厚み90μmとして、14mm×20mmの面積で塗工した後、200℃で24時間の条件で減圧乾燥させた後、プレス加工することにより、両面の導電層上に正極活物質層を形成した。得られた正極活物質層の厚み(総厚み)は72μmであった。
水系分散体バインダ「SBR BM-400B」(日本ゼオン株式会社製) 3質量%
CMC(カルボキシメチルセルロース)ナトリウム塩 2200(ダイセル株式会社製) 3質量%
活性炭「YP-50F」(クラレケミカル株式会社製) 86質量%
導電剤「デンカブラック 電池グレード粒状」(電気化学工業株式会社製) 8質量%
負極集電体(気孔率57%、厚さ32μmの銅製エキスパンドメタル(日本金属工業株式会社製))の両面に、下記の組成比で調製した負極活物質層形成用スラリーをダイコータによって両面の総厚み80μmとして、14mm×20mmの面積で塗工した後、200℃で24時間の条件で減圧乾燥させた後、プレス加工することにより、両面の導電層上に正極活物質層を形成した。得られた負極活物質層の厚み(総厚み)は56μmであった。
水系分散体バインダ「SBR BM-400B」(日本ゼオン株式会社製) 2質量%
CMC(カルボキシメチルセルロース)ナトリウム塩 2200 (ダイセル株式会社製) 4質量%
黒鉛「MAG−E」(日立化成株式会社製) 89質量%
導電剤「デンカブラック 電池グレード粒状」(電気化学工業株式会社製) 5質量%
それぞれの塗工部が重なるように、負極/セルロース系セパレータ/正極/セルロース系セパレータを重ねたものを1ユニットとし、負極を下にして10ユニット積層し、積重体の4辺をテープにより固定することにより、電極積層ユニットを作製した。
なお、電極積層ユニットの一番上には、参照極・リチウムイオン供給源として厚み100μmのリチウム金属箔を設置した。
なお、セルロース系セパレータとしては、市販の厚さ10μmセルロース径セパレータを用いた。
同様に、負極集電体の各々の未塗工部およびリチウム金属箔に、負極用電源タブを溶接した。なお、負極用電源タブは、幅50mm、長さ50mm、厚さ0.2mmの銅製のシートをシーラントフィルムで被覆して作製した。
一方、エチレンカーボネート、ジエチルカーボネート、メチルエチルカーボネート(体積比で3:3:4)の混合溶媒を用い、濃度1.0mol/LのLiPF6を含む電解液を調製した。
次いで、電解液注入口から上記電解液を注入した後、電解液注入口を熱融着しプレドープ速度評価ユニットを作製した。
<プレドープ特性>
30℃、常圧下において、上記のプレドープ速度評価ユニットにおける負極とリチウム金属箔を短絡させ、各負極の電位を測定した。
全ての負極の電位が0V付近で安定するまでの時間を測定し、プレドープ完了時間とした。
評価結果を表1に示す。
また、実施例1〜4の対比から、孔間距離の最大値および平均値が小さいほどプレドープの速度が速くなり、プレドープ特性が向上することがわかる。
また、実施例1と実施例5との対比から、密度が大きいほどプレドープ特性が向上すること、および、平均開口径が小さいほど塗布性が向上することがわかる。
また、比較例1から平均開口径が100μm超だと塗布性が低下することがわかる。
また、比較例1、3、4から、密度が50個/mm2未満だとプレドープ特性が低下することがわかる。
また、比較例2、3から、孔間距離の最大値が300μm超だとプレドープ特性が低下することがわかる。
以上より本発明の効果は明らかである。
2 酸化膜
3 貫通孔を有するアルミニウム基材
4 貫通孔を有する酸化膜
5 貫通孔
6 第1の金属層
7 第2の金属層
10 アルミニウム板
30 電極
32 活物質層
Claims (5)
- 厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有するアルミニウム板において、
前記貫通孔の平均開口径が1μm〜100μmであり、
前記貫通孔の密度が50個/mm2〜2000個/mm2であり、
隣接する前記貫通孔の孔間距離の最大値が300μm以下であり、
前記孔間距離の平均値と最大値とが異なるアルミニウム板。 - 隣接する前記貫通孔の前記孔間距離の平均が150μm以下である請求項1に記載のアルミニウム板。
- 前記貫通孔の平均開口径が、5μm超、80μm以下である請求項1または2に記載のアルミニウム板。
- 開口径が5μm以下の前記貫通孔の割合が50%以下である請求項1〜3のいずれか1項に記載のアルミニウム板。
- 少なくとも前記貫通孔の内表面を覆う金属めっきからなる金属層を有する請求項1〜4のいずれか1項に記載のアルミニウム板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014200514 | 2014-09-30 | ||
JP2014200514 | 2014-09-30 | ||
PCT/JP2015/073146 WO2016051976A1 (ja) | 2014-09-30 | 2015-08-18 | アルミニウム板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016051976A1 JPWO2016051976A1 (ja) | 2017-07-27 |
JP6374013B2 true JP6374013B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=55630022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016551623A Active JP6374013B2 (ja) | 2014-09-30 | 2015-08-18 | アルミニウム板 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170200568A1 (ja) |
EP (1) | EP3202957B1 (ja) |
JP (1) | JP6374013B2 (ja) |
KR (1) | KR101915483B1 (ja) |
CN (2) | CN107075714A (ja) |
TW (1) | TWI663050B (ja) |
WO (1) | WO2016051976A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106795646B (zh) * | 2014-10-14 | 2018-12-18 | 富士胶片株式会社 | 铝板和铝板的制造方法 |
EP3330412A4 (en) * | 2015-07-30 | 2018-07-18 | Fujifilm Corporation | Aluminum plate and method for producing aluminum plate |
US9990707B2 (en) * | 2016-05-11 | 2018-06-05 | International Business Machines Corporation | Image analysis methods for plated through hole reliability |
WO2018062046A1 (ja) | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 電極用アルミニウム部材および電極用アルミニウム部材の製造方法 |
US10851461B2 (en) | 2017-03-31 | 2020-12-01 | Hamilton Sunstrand Corporation | Treated anodized metal article and method of making |
WO2019026974A1 (ja) * | 2017-08-01 | 2019-02-07 | 日立化成株式会社 | アルミニウム箔、及び蓄電デバイス |
CN111163931A (zh) * | 2017-09-29 | 2020-05-15 | 富士胶片株式会社 | 层叠体 |
CN111225997B (zh) * | 2017-10-16 | 2022-06-07 | 富士胶片株式会社 | 铝箔及电极用铝部件 |
CN109841420A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-06-04 | 谢春艳 | 新型超级电容器碳纳米洋葱导电剂浆料及其超级电容器 |
WO2021132406A1 (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電極および電池 |
CN113089069B (zh) * | 2020-01-09 | 2022-05-20 | 山西沃特海默新材料科技股份有限公司 | 一种微孔箔材的制备方法 |
CN111599717B (zh) | 2020-05-09 | 2024-03-26 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种半导体反应腔室及原子层等离子体刻蚀机 |
JPWO2022185778A1 (ja) * | 2021-03-02 | 2022-09-09 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005129924A (ja) * | 2003-10-02 | 2005-05-19 | Showa Denko Kk | 電気二重層コンデンサ用金属製集電体およびそれを用いた分極性電極並びに電気二重層コンデンサ |
US7949103B2 (en) * | 2006-06-20 | 2011-05-24 | Vontoo, Llc | System and method for providing voice messaging with dynamic content |
CN101266931B (zh) * | 2008-04-28 | 2010-06-02 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 具有高深宽比镀通孔的装置的制造方法 |
US9331339B2 (en) * | 2009-09-30 | 2016-05-03 | Toyo Aluminium Kabushiki Kaisha | Perforated aluminium foil and manufacturing method thereof |
JP2011222672A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Daiso Co Ltd | 孔あき導電箔及びその製造方法 |
JP2011249150A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Mitsubishi Alum Co Ltd | 蓄電デバイス集電体用アルミニウム箔及び蓄電デバイス集電体 |
EP3101159B1 (en) * | 2014-01-31 | 2019-05-15 | FUJIFILM Corporation | Method for manufacturing aluminum plate, aluminum plate, current collector for electric storage device, and electric storage device |
-
2015
- 2015-08-18 JP JP2016551623A patent/JP6374013B2/ja active Active
- 2015-08-18 EP EP15846428.9A patent/EP3202957B1/en active Active
- 2015-08-18 WO PCT/JP2015/073146 patent/WO2016051976A1/ja active Application Filing
- 2015-08-18 CN CN201580052128.5A patent/CN107075714A/zh active Pending
- 2015-08-18 KR KR1020177007703A patent/KR101915483B1/ko active IP Right Grant
- 2015-08-18 CN CN201910905628.9A patent/CN110453204B/zh active Active
- 2015-08-28 TW TW104128359A patent/TWI663050B/zh active
-
2017
- 2017-03-29 US US15/473,075 patent/US20170200568A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101915483B1 (ko) | 2018-11-06 |
EP3202957B1 (en) | 2020-07-29 |
KR20170044698A (ko) | 2017-04-25 |
WO2016051976A1 (ja) | 2016-04-07 |
EP3202957A1 (en) | 2017-08-09 |
JPWO2016051976A1 (ja) | 2017-07-27 |
CN110453204A (zh) | 2019-11-15 |
CN110453204B (zh) | 2022-02-11 |
US20170200568A1 (en) | 2017-07-13 |
CN107075714A (zh) | 2017-08-18 |
EP3202957A4 (en) | 2017-09-27 |
TWI663050B (zh) | 2019-06-21 |
TW201612006A (en) | 2016-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6374013B2 (ja) | アルミニウム板 | |
JP6199416B2 (ja) | アルミニウム板の製造方法、アルミニウム板、蓄電デバイス用集電体、蓄電デバイス、防音・吸音材、電磁波シールドおよび建築用材料 | |
WO2016017380A1 (ja) | アルミニウム板 | |
JP6328785B2 (ja) | アルミニウム板およびアルミニウム板の製造方法 | |
WO2017018462A1 (ja) | アルミニウム板およびアルミニウム板の製造方法 | |
WO2017163913A1 (ja) | アルミニウム板の製造方法、及び、アルミニウム板の製造装置 | |
TW201639975A (zh) | 鋁板和蓄電裝置用集電體 | |
US11527760B2 (en) | Aluminum member for electrodes and method of producing aluminum member for electrodes | |
CN111225997B (zh) | 铝箔及电极用铝部件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180710 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180718 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6374013 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |