CN113089069B - 一种微孔箔材的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种微孔箔材的制备方法。本发明包括:步骤一、确定箔材的修正系数k1;步骤二、在腐蚀槽内放置极板并加入成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中;步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加电流电压,控制电流I、腐蚀槽内温度T和移动速度V等参数,根据式一和式二所示的公式调节参数,获得预定孔径大小Ф和预定孔径密度Ψ的通孔。本发明提供了一种通过参数调节进而有效控制箔材上成孔的孔径大小和孔径密度的方法,通过将该方法应用在电化学腐蚀箔材的工艺中,可有效获得预定孔径大小和预定孔径密度的通孔,进而达到箔材上孔径大小和孔径密度控制的目的。
Description
技术领域
本发明涉及电化学腐蚀领域,具体涉及一种微孔箔材的制备方法。
背景技术
箔材为极薄的金属片或带材。大多数金属以及它们的合金都能制成箔材,如:金、银、铜、铁、锡、锌、铅、镍、铝、钨、钼、钽、铌、钛以及钢和不锈钢等。不同国家对不同品种箔材的厚度极限有不同的规定,如中国规定铝箔的最大厚度为0.20mm,铜镍铅锌钢等箔材的最大厚度为0.05mm;美国规定铝箔的最大厚度为0.051mm,钢及精密合金箔的最大厚度为0.127mm。针对不同需求,箔材的厚度需求不同。
现有技术中要在最大厚度也仅仅只达到微米级的箔材上制孔,且成孔密度和孔径大小要能够控制,最常规的做法是直接采用机械打孔,但该方式只能制备毫米级孔径大小的通孔,想要获得微米级孔径大小的通孔,则需要极高的机械精度,导致机械成本显著提高。
为了获得微米级孔径大小的通孔,现有技术中公开了采用化学腐蚀的方式进行成孔操作的工艺。如中国文献CN107017383A中公开的三维多孔铝箔加工方法,该工艺中,通过将铝箔进行活化、微化学腐蚀、电化学腐蚀、化学扩孔等步骤后制成分布均匀且孔径在20μm大小的孔。该工艺中虽然公开有可以制成微米级的孔,但由于化学腐蚀的不可控性,孔径大小和密度分布与工艺中各个参数之间的关联性,以及参数与参数之间的相互影响,导致孔径大小和密度分布与各个参数之间的关系错中复杂,本领域技术人员无法在电化学腐蚀箔材的工艺中通过参数的控制有效获得预定孔径大小和密度的通孔。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于:现有技术中并没有公开如何能够有效通过调节电化学腐蚀箔材的工艺参数获得预定孔径大小和预定孔径密度的通孔的问题;本发明提供了一种可有效获得预定孔径大小和预定孔径密度的通孔的微孔箔材的制备方法。
一种微孔箔材的制备方法,包括:
步骤一、确定箔材的修正系数k1;
h为箔材实测平均厚度,单位为μm,该h的计算方式为:在箔材的各个点上测量该点位置处的真实厚度,将各个点上测量的真实厚度进行平均即可获得箔材实测平均厚度h,
hmax为箔材最大厚度,单位为μm,
hmin为箔材最小厚度,单位为μm,
ρ标为箔材真密度,单位为g/cm3,
ρ实为箔材实测密度,单位为g/cm3;
步骤二、在腐蚀槽内放置长度L为100~2400cm的极板并加入氯离子浓度C为0.5~6mol/L的成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中,箔材与极板之间的距离d为3~7cm,控制浸入到腐蚀槽内的箔材面积与极板面积之比S为0.8~1.2;
步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加6~128V的电压U,控制电流I为30~250A、腐蚀槽内温度T为20~60℃,腐蚀时,使箔材在腐蚀槽内移动,控制箔材相对于极板的移动速度V为3.3~50cm/s,通过式一和式二所示的关系式获得预定孔径密度Ψ和预定孔径大小Ф的通孔;其中,
上述h的单位换算成cm后代入式一和式二中进行计算,Ψ单位为个/cm2,Ф单位为μm。
当箔材为钢箔时,I为30~80A,U为64~128V,T为20~60℃,C为0.6~5mol/L,h为18~22μm,d为3~7cm。
当箔材为钢箔时,所述成孔液中包括:0.5~1.5mol/L的HCl,0.1~0.3mol/L的HNO3,0.1~0.5mol/L的NH4Cl,5~10g/L的FeCl3,其余为H2O。
当箔材为铜箔时,I为150~250A,U为6~96V,T为45±2℃,C为0.9~5mol/L,h为6~10μm,d为4~7cm。
当箔材为铜箔时,所述成孔液中包括:0.5~1.5mol/L的HCl,0.5~2mol/L的C2H2O4,0.1~0.5mol/L的NH4Cl,0.1~1mol/L的FeCl3,其余为H2O。
当箔材为铝箔时,I为30~150A,U为6~48V,T为20~60℃,C为0.5~6mol/L,h为10~25μm,d为3~7cm。
当箔材为铝箔时,所述成孔液中包括:0.1~0.8mol/L的CuCl2,0.1~1mol/L的FeCl3。
当箔材为铝箔时,所述成孔液中还包括:0.5~1.5mol/L的NaCl,0.1~0.3mol/L的BaCl2,0.1~0.5mol/L的CaCl2,0.1~0.5mol/L的NH4Cl。
所述ρ实使用十万分之一天平称量,ρ实使用十万分之一天平称量,ρ实精确到小数点后第4位;所述hmax、hmin精确到小数点后至少1位。
本发明技术方案,具有如下优点:
1.本发明为电化学腐蚀箔材工艺提供了一种通过参数调节进而有效控制箔材上成孔的孔径大小和孔径密度的方法,该方法中包括有公式一和公式二;其中,公式一为参数与预预定孔径密度之间的关联关系式,公式二为参数与预定孔径大小之间的关联关系式;通过将包括有上述关系式的方法应用在电化学腐蚀箔材的工艺中,可有效获得预定孔径大小和预定孔径密度的通孔,进而达到箔材上孔径大小和孔径密度控制的目的。本发明的发明人通过从电化学腐蚀箔材工艺的若干参数中筛选出对孔径和密度具有影响的关键性参数,并通过大量的实验和逻辑分析(包括参数与最终制成的通孔的孔径大小和密度之间的相互关系,参数与参数之间相互联合作用对最终制成的通孔的孔径大小和密度之间的相互关系)并结合修正系数k1的修正,进而获得可应用于不同箔材的且能够清晰表示各个参数与密度和孔径大小之间关联性的关系式,本发明通过将包含该关系式的方法应用在电化学腐蚀箔材工艺中并结合该方法中参数的调节即可有效控制通孔的预定孔径密度和预定大小,实现电化学腐蚀方法中通过参数调节控制孔径大小和孔径密度的目的。通过检测得知,通过公式二获得的预定孔径大小与实际制备获得的孔径大小的误差范围为±0.5μm,通过公式一获得的预定孔径密度与实际制备获得的孔径密度之间的误差范围为±30个/㎝2,控制准确度高。
2.本发明中进一步优化了箔材的种类和相应箔材种类所对应的修正系数,通过修正系数的修正,可以使预设值和实际值之间的误差控制在更小的范围内,更加精确地控制箔材上通孔的孔径大小和孔径密度。
3.本发明中根据箔材种类,通过优化相应箔材所对应的成孔液组成和工艺参数,使通孔的孔径大小和孔径密度控制更加精准。如箔材为钢箔时,电流I控制在30~80A范围内,电压U控制在64~128V范围内,箔材在成孔液中的速度范围为3~9cm/s等;又如箔材为铜箔时,电流I控制在150~250A范围内,电压U控制在6~96V范围内,箔材在成孔液中的速度范围为10~17cm/s等;再如箔材为铝箔时,电流I控制在30~150A范围内,电压U控制在6~48V范围内,箔材在成孔液中的速度范围为12~50cm/s等。通过上述参数范围的限制,能够获得在相应孔径密度和孔径大小范围内的参数关系式;如钢箔可以获得孔径大小为1~15μm、孔径密度为500~15000个/㎝2的通孔,铜箔可以获得孔径大小为1~20μm、孔径密度为500~12000个/㎝2的通孔,铝箔可以获得孔径大小为1~20μm、孔径密度为300~8000个/㎝2的通孔。
附图说明
为了更清楚地显示本发明的产品结构,本发明还提供以下附图。
图1为本发明中用于腐蚀的箔材的槽内结构示意图。
附图标记说明:
1-腐蚀槽,2-极板,3-箔材,4-传输滚轴。
具体实施方式
提供下述实施例是为了更好地进一步理解本发明,并不局限于所述最佳实施方式,不对本发明的内容和保护范围构成限制,任何人在本发明的启示下或是将本发明与其他现有技术的特征进行组合而得出的任何与本发明相同或相近似的产品,均落在本发明的保护范围之内。
实施例1
一种微孔钢箔孔径的控制方法,包括:
步骤一、确定箔材的修正系数k1,h为箔材实测平均厚度,单位为μm;hmax为箔材最大厚度,单位为μm;hmin为箔材最小厚度,单位为μm;ρ标为箔材真密度,单位为g/cm3;ρ实为箔材实测密度,单位为g/cm3;
步骤二、在腐蚀槽内放置长度L为100~2400cm的极板并加入氯离子浓度C为0.5~5mol/L的成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中,箔材与极板之间的距离d为3~7cm,控制浸入到腐蚀槽内的箔材面积与极板面积之比S为0.8~1.2;
步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加64~128V电压U,控制电流I的范围为30~80A,腐蚀槽内温度T为20~60℃,腐蚀时,使箔材在腐蚀槽内移动,控制箔材相对于极板的移动速度V为3.3~50cm/s,通过式一和式二所示的关系式获得预定孔径大小Ф和预定孔径密度Ψ的通孔;
其中,Ψ与V、U和I等参数的关系式如式一所示,Ф与V、U和I等参数的关系式如式二所示;
上述h的单位换算成cm后代入式一和式二中进行计算,Ψ单位为个/cm2,Ф单位为μm。
本实施例中成孔液中包括:0.5mol/L的HCl,0.3mol/L的HNO3,0.1mol/L的NH4Cl,0.033mol/L的FeCl3,其余为H2O。
本实施例的箔材以钢箔为例,采用太原钢铁集团股份有限公司生产的手撕钢不锈钢箔。该不锈钢箔的h为20μm,hmax为20.3μm,hmin为19.6μm,ρ标为7.8g/cm3,ρ实为7.7984g/cm3;k1=139285.7;在本实施例的式一和式二中,Cl-浓度C为0.7mol/L,S为1.1,d为4cm,L为1000cm,t为117s,V为8.5cm/s,T为60℃,I为60A,U为64V,本实施例中在将上述参数代入式一和式二时,将h换算成0.002cm进行计算。
通过上述参数的设置,获得预定孔径大小为7.98μm、预定孔径密度为4626个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的不锈钢箔进行检测,测量出不锈钢箔的平均孔径为8μm,通孔密度为4630个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.5%。因此,本发明的方法可以有效控制钢箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例2
本实施例与实施例1的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:1.5mol/L的HCl,0.1mol/L的HNO3,0.1mol/L的NH4Cl,0.04mol/L的FeCl3,其余为H2O。C为1.72mol/L,S为0.9,d为6cm,h为0.002cm,L为2000cm,t为308s,V为6.5cm/s,T为50℃,I为40A,U为128V。
通过上述参数设置能够获得通孔的预定孔径大小为13.16μm,通孔的预定孔径密度为11446个/cm2。将上述工艺参数下获得的不锈钢箔进行检测,测量出不锈钢箔的平均孔径为13.2μm,密度为11450个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.3%。因此,本发明的方法可以有效控制钢箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例3
本实施例与实施例1的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:1mol/L的HCl,0.2mol/L的HNO3,0.5mol/L的NH4Cl,0.06mol/L的FeCl3,其余为H2O。C为1.68mol/L,S为1,d为6cm,h为0.002cm,L为1500cm,t为300s,V为5cm/s,I为80A,U为84V,T为43℃。
通过上述参数设置能够获得通孔的预定孔径大小为12.88μm,通孔的预定孔径密度为11204个/cm2。将上述工艺参数下获得的不锈钢箔进行检测,测量出不锈钢箔的平均孔径为13μm,密度为11200个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于1%。因此,本发明的方法可以有效控制钢箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例4
一种微孔铜箔孔径的控制方法,包括:
步骤二、在腐蚀槽内放置长度L为100~2400cm的极板并加入氯离子浓度C为0.5~5mol/L的成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中,箔材与极板之间的距离d为4~7cm,控制浸入到腐蚀槽内的箔材面积与极板面积之比S为0.8~1.2;
步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加6~96V的电压U,控制电流I的范围为150~250A、腐蚀槽内温度T为45±2℃,腐蚀时,使箔材在腐蚀槽内移动,控制箔材相对于极板的移动速度V为10~17cm/s,通过式一和式二所示的关系式获得预定孔径大小Ф和预定孔径密度Ψ的通孔;
其中,Ψ与V、U和I等参数的关系式如式一所示,Ф与V、U和I等参数的关系式如式二所示;
上述h的单位换算成cm后代入式一和式二中进行计算,Ψ单位为个/cm2,Ф单位为μm。
本实施例中成孔液中包括:0.5mol/L的HCl,1mol/L的C2H2O4,0.3mol/L的NH4Cl,0.5mol/L的FeCl3,其余为H2O。
本实施例的箔材以T10180铜箔为例。本实施例中;h为10μm,hmax为10.2μm,hmin为9.8μm,ρ标为8.9g/cm3,ρ实为8.8998g/cm3;k1=1112500;在本实施例的式一和式二中,Cl-浓度C为2.3mol/L,S为1.1,d为4cm,L为2000cm,t为200s,V为10cm/s,T为45℃,I为150A,U为24V,本实施例中在将上述参数代入式一和式二时,将h换算成0.001cm进行计算。
通过上述参数的设置,进而获得预定孔径大小为4.33μm、预定孔径密度为2510个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铜箔进行检测,测量出的平均孔径为4.3μm,通孔密度为2500个/cm2。因此,本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.7%。因此,本发明的方法可以有效控制铜箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例5
本实施例与实施例4的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:
1mol/L的HCl,1mol/L的C2H2O4,0.3mol/L的NH4Cl,0.5mol/L的FeCl3,其余为H2O。本实施例中Cl-浓度C为2.8mol/L,S为1,d为5cm,h为0.001cm,L为2000cm,t为200s,V为10cm/s,T为47℃,I为200A,U为48V。
获得预定孔径大小为7.49μm、预定孔径密度为5429个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铜箔进行检测,测量出的平均孔径为7.5μm,通孔密度为5430个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.2%。因此,本发明的方法可以有效控制铜箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例6
本实施例与实施例4的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:
1.5mol/L的HCl,1mol/L的C2H2O4,0.3mol/L的NH4Cl,0.5mol/L的FeCl3,其余为H2O。本实施例中Cl-浓度C为3.3mol/L,S为1,d为6cm,h为0.001cm,L为2400cm,t为240s,V为10cm/s,T为43℃,I为250A,U为96V。
获得预定孔径大小为12.91μm、预定孔径密度为11234个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铜箔进行检测,测量出的平均孔径为13μm,通孔密度为11230个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.7%。因此,本发明的方法可以有效控制铜箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例7
一种微孔铝箔孔径的控制方法,包括:
步骤二、在腐蚀槽内放置长度L为100~2400cm的极板并加入氯离子浓度C为0.5~6mol/L的成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中,箔材与极板之间的距离d为3~7cm,控制浸入到腐蚀槽内的箔材面积与极板面积之比S为0.8~1.2;
步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加6~48V电压U,控制电流I的范围为30~150A、腐蚀槽内温度T为20~60℃,腐蚀时,使箔材在腐蚀槽内移动,控制箔材相对于极板的移动速度V为12~50cm/s,通过式一和式二所示的关系式获得预定孔径大小Ф和预定孔径密度Ψ的通孔;
其中,Ψ与V、U和I等参数的关系式如式一所示,Ф与V、U和I等参数的关系式如式二所示;
上述h的单位换算成cm后代入式一和式二中进行计算,Ψ单位为个/cm2,Ф单位为μm。
本实施例中成孔液中包括:0.1mol/L的CuCl2,0.2mol/L的FeCl3,0.5mol/L的NaCl,0.1mol/L的BaCl2,0.1mol/L的CaCl2,0.3mol/L的NH4Cl。
本实施例的箔材以1070-H18铝箔为例。本实施例中h为10μm,hmax为10.25μm,hmin为9.75μm,ρ标为2.7g/cm3,ρ实为2.6999g/cm3;k1=540000;在本实施例的式一和式二中,Cl-浓度C为2mol/L,S为1,d为4cm,L为2000cm,t为167s,V为12cm/s,T为48℃,I为50A,U为24V,本实施例中在将上述参数代入式一和式二时,将h换算成0.001cm进行计算。
通过上述参数的设置,进而获得预定孔径大小为2.71μm,预定孔径密度,1571个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铝箔进行检测,测量出的孔径为2.7μm,通孔密度为1560个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.7%。因此,本发明的方法可以有效控制铝箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例8
本实施例与实施例7的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:
0.4mol/L的CuCl2,0.5mol/L的FeCl3,0.5mol/L的NaCl,0.1mol/L的BaCl2,0.1mol/L的CaCl2,0.3mol/L的NH4Cl。本实施例中Cl-浓度C为3.5mol/L,S为1,d为5cm,h为0.001cm,L为2400cm,t为120s,V为20cm/s,T为60℃,I为100A,U为24V。
获得预定孔径大小为3.3μm、预定孔径密度为2395个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铝箔进行检测,测量出的平均孔径为3.5μm,通孔密度为2400个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于6%。因此,本发明的方法可以有效控制铜箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
实施例9
本实施例与实施例7的区别在于,采用的箔材相同,参数不同,具体如下:
本实施例中成孔液中包括:
0.8mol/L的CuCl2,1mol/L的FeCl3,0.5mol/L的NaCl,0.1mol/L的BaCl2,0.1mol/L的CaCl2,0.3mol/L的NH4Cl。本实施例中Cl-浓度C为5.8mol/L,S为1,d为4cm,h为0.001cm,L为2400cm,t为80s,V为30cm/s,T为60℃,I为100A,U为48V。
获得预定孔径大小为11.07μm、预定孔径密度为6422个/cm2的通孔。将上述工艺参数下获得的铝箔进行检测,测量出的平均孔径为11μm,通孔密度为6410个/cm2。本发明的预定孔径大小和预定孔径密度与实际孔径大小和实际孔径密度差异均小于0.7%。因此,本发明的方法可以有效控制铝箔上通孔的孔径大小和孔径密度。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种微孔箔材的制备方法,其特征在于,包括:
步骤一、确定箔材的修正系数k1;
h为箔材实测平均厚度,单位为μm,
hmax为箔材最大厚度,单位为μm,
hmin为箔材最小厚度,单位为μm,
ρ标为箔材真密度,单位为g/cm3,
ρ实为箔材实测密度,单位为g/cm3;
步骤二、在腐蚀槽内放置长度L为100~2400cm的极板并加入氯离子浓度C为0.5~6mol/L的成孔液,将箔材浸入到腐蚀槽内的成孔液中,箔材与极板之间的距离d为3~7 cm,控制浸入到腐蚀槽内的箔材面积与极板面积之比S为0.8~1.2;
步骤三、以极板为阴极,箔材为阳极,给极板外加6~128V的电压U,控制电流I为30~250A、腐蚀槽内温度T为20~60℃,腐蚀时,使箔材在腐蚀槽内移动,控制箔材相对于极板的移动速度V为3.3~50cm/s,通过式一和式二所示的关系式获得预定孔径密度Ψ和预定孔径大小Ф的通孔;其中,
上述h的单位换算成cm后代入式一和式二中进行计算,Ψ单位为个/cm2,Ф单位为μm。
3.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为钢箔时,I为30~80A,U为64~128V,T为20~60℃,C为0.6~5mol/L,h为18~22μm,d为3~7 cm。
4.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为钢箔时,所述成孔液中包括:0.5~1.5mol/L的HCl,0.1~0.3mol/L的HNO3,0.1~0.5mol/L的NH4Cl,5~10g/L的FeCl3,其余为H2O。
5.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为铜箔时,I为150~250A,U为6~96V,T为45±2℃,C为0.9~5mol/L,h为6~10μm ,d为4~7cm。
6.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为铜箔时,所述成孔液中包括:0.5~1.5mol/L的HCl,0.5~2mol/L的C2H2O4,0.1~0.5mol/L的NH4Cl,0.1~1mol/L的FeCl3,其余为H2O。
7.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为铝箔时,I为30~150A,U为6~48V,T为20~60℃,C为0.5~6mol/L,h为10~25μm,d为3~7cm。
8.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,当箔材为铝箔时,所述成孔液中包括:0.1~0.8mol/L的CuCl2,0.1~1mol/L的FeCl3。
9.根据权利要求8所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,所述成孔液中还包括:0.5~1.5mol/L的NaCl,0.1~0.3mol/L的BaCl2,0.1~0.5mol/L的CaCl2,0.1~0.5mol/L的NH4Cl。
10.根据权利要求1或2所述的微孔箔材的制备方法,其特征在于,所述ρ实使用十万分之一天平称量,ρ实精确到小数点后第4位;所述hmax、hmin精确到小数点后至少1位。
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