JP6369552B2 - インクジェットヘッドおよびその製造方法、ならびにインクジェットプリンタ - Google Patents
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Description
(a)圧力室に供給されるインク導入時に、圧力室内に気泡が残留している。
(b)圧力室へのインク導入時に、圧力室内に気泡が残留している。
(c)ノズル孔からインクを射出した後、圧力室内が負圧状態になるため、キャビテーション(空洞現象)により、インクに気泡が発生する。
(d)ヘッドの内部に、加工時や組み立て時に発生した異物が存在している。
(e)圧力室に供給されるインク自体に異物が含まれている。
(f)インクに色材として分散されている顔料が沈降して凝集物となる。特に、高粘度インクや、UVインクなどにおいて発生しやすい。
(インクジェットプリンタ1)
図1を参照して、実施の形態1におけるインクジェットプリンタ1について説明する。インクジェットプリンタ1は、インクジェットヘッド部2、繰り出しロール3、巻き取りロール4、バックロール5a,5b、中間タンク6、送液ポンプ7、貯留タンク8、定着装置9、インクジェットヘッド10、および配管ライン6T,7Tを備える。
図2〜図7を参照して、本実施の形態におけるインクジェットヘッド10の詳細について説明する。図2は、インクジェットヘッド10に形成されたチャネル10C1,10C2(インク射出部)を示す平面図である。図3は、図2中のIII−III線に沿った矢視断面図である。図4は、インクジェットヘッド10の機能ブロックを示す図である。インクジェットヘッド10は、2つの10C1,10C2(圧力室16a,16d)を備えるが、これらの数は2以上の複数であっても構わない。
図5(A)は、インクジェットヘッド10がインクを射出する際に駆動制御部15pが駆動用圧電素子15a,15cに印加する駆動電圧L1の時間的な変化を示す図である。図5(B)は、駆動電圧L1が印加された際に振動する振動層11fの変位L2の時間的な変化を示す図である。
図6(A)〜図6(C)および図7を参照して、本実施の形態における制御装置15m(図4参照)は、複数の圧力室の内部の状態を検出し、インクジェットヘッド10が正常にインクを吐出できる状態であるかそうでないかを判断し、必要に応じてその結果を報知する。たとえば、制御装置15mは、非印刷時(用紙間、装置立上時、メンテモード時などの適当なタイミング)に検出動作を行なう。
図8〜図18を参照して、インクジェットヘッド10の製造方法について説明する。図8を参照して、まず基板11の材料を準備する。この材料は、酸化膜を介して2枚のシリコンが接合されたSOI構造を有しており、後工程を経ることによってボディ部11cを構成する部位と、後工程を経ることによって従動板11dを構成する部位とを含んでいる。この部材の厚みは、規格等で決められており、6inサイズの場合には厚みは600um程度である。
上述の通り、本実施の形態のインクジェットヘッド10においては、駆動用圧電素子15a,15c(図2)および検出用圧電素子15b(図2)が同一の基板11(振動層11f)上に設けられているため、構成が簡素であり、小型化が図れ、容易に製造することができると言える。本実施の形態の製造方法によれば、駆動用圧電素子15a,15c(図2)および検出用圧電素子15b(図2)が同一工程にて形成されるため、製造が容易であり、製造費用の低減を図ることも可能である。
図19および図20を参照して、実施の形態2におけるインクジェットヘッド10Aについて説明する。ここでは、実施の形態1との相違点について説明する。インクジェットヘッド10Aにおいては、各圧力室16a,16dに連通するインク流路16c(図2参照)が形成されていない。インク供給口17aおよび連通路16bを通して圧力室16aにインクが供給され、インク供給口17bおよび連通路16eを通して圧力室16dにインクが供給される。検出用圧電素子15bは、連通路16b,16eにまたがるように形成されている。当該構成によっても、上記の実施の形態1と同様の作用および効果を得ることができる。
図21および図22を参照して、実施の形態3におけるインクジェットヘッド10Bについて説明する。ここでは、実施の形態1,2との相違点について説明する。インクジェットヘッド10Bにおいては、インク供給口17aから供給されたインクは連通路16bを通して圧力室16aに供給され、インク供給口17bから供給されたインクは連通路16eを通して圧力室16dに供給される。インク供給口17a,17bを上流側と定義し、ノズル孔18hを下流側と定義した場合には、本実施の形態においては、圧力室16aのさらに下流側に連通路16fが形成され、圧力室16dのさらに下流側に連通路16gが形成されている。
図25および図26を参照して、実施の形態4におけるインクジェットヘッド10Cについて説明する。ここでは、実施の形態1〜3との相違点について説明する。本実施の形態では、2つの検出用圧電素子15b,15dが用いられる。すなわち、上述の実施の形態1〜3においては、1つの検出用圧電素子15bが、複数の(2つの)圧力室16a,16dに対して一対複数の対応関係となるように設けられている。本実施の形態においては、2つの検出用圧電素子15b,15dが、複数の(2つの)圧力室16a,16dに対して一対一の対応関係となるように設けられている。当該構成によれば、どの圧力室で異常が発生しているかを特定しやすくなる。これらの構成に限られず、複数の圧力室を二次元に配置した場合には、行ごと、列ごとに一つのセンサを備える構成を採用してもよい。圧力室と検出用圧電素子との間の距離を適切に(略同一に)設定することによって、信号感度の均一化を図ることもできる。
Claims (7)
- インクを貯留する複数の圧力室を内部に形成し、複数の前記圧力室にまたがるように延在する振動層を含む基板と、
複数の前記圧力室と一対一の対応関係となるように前記基板の前記振動層上に設けられ、伸縮して前記振動層を部分的に振動させることによって対応する前記圧力室を加圧してインクを射出させる複数の駆動用圧電素子と、
複数の前記駆動用圧電素子とは別に前記基板の前記振動層上に設けられ、前記駆動用圧電素子が伸縮している際に、伸縮している前記駆動用圧電素子に対応する前記圧力室内の液圧の変化を前記振動層の振動を介して検出する検出用圧電素子と、
前記検出用圧電素子が検出した前記圧力室内の液圧の変化に基づいて前記圧力室が正常にインクを吐出できる状態であるかそうでないかを判断する制御装置と、を備え、
前記基板には、複数の前記圧力室に連通するインク流路が形成されており、
前記検出用圧電素子は、前記インク流路内の液圧の変化を検出し、
前記インク流路は、前記圧力室に形成されたノズル孔に対して、前記圧力室にインクを供給するインク供給口の反対側に位置している、
インクジェットヘッド。 - 前記検出用圧電素子は、複数の前記圧力室に対して一対複数の対応関係となるように前記基板の前記振動層上に設けられている、
請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記検出用圧電素子は、複数の前記圧力室に対して一対一の対応関係となるように前記基板の前記振動層上に複数設けられている、
請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記制御装置は、複数の前記駆動用圧電素子を順に駆動した際に、前記検出用圧電素子が検出した前記圧力室内の液圧の変化に基づいて前記圧力室内の状態が正常にインクを吐出できる状態であるかそうでないかを判断する、
請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 - 前記圧力室からのインク非吐出時に、前記検出用圧電素子を駆動して前記インク流路内の圧力を変化させることにより、前記圧力室および前記インク流路内のインクを循環ないし撹拌させる、
請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドを備え、
前記インクジェットヘッドから記録媒体に向けてインクを射出させることで印刷を行う、
インクジェットプリンタ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
振動層を含む基板を準備する工程と、
複数の前記駆動用圧電素子および前記検出用圧電素子を、前記基板の前記振動層上に同時に形成する工程と、を備える、
インクジェットヘッドの製造方法。
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