JP6358798B2 - Adhesive tape - Google Patents
Adhesive tape Download PDFInfo
- Publication number
- JP6358798B2 JP6358798B2 JP2013269986A JP2013269986A JP6358798B2 JP 6358798 B2 JP6358798 B2 JP 6358798B2 JP 2013269986 A JP2013269986 A JP 2013269986A JP 2013269986 A JP2013269986 A JP 2013269986A JP 6358798 B2 JP6358798 B2 JP 6358798B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- pressure
- meth
- sensitive adhesive
- adhesive tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
本発明は、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープに関する。 The present invention relates to an adhesive tape that can be easily peeled off from an adherend while reducing adhesive residue.
半導体ウエハの加工（例えば、裏面研削、ダイシング等）は一般に半導体ウエハに粘着テープを貼り合わせた状態で行われ、加工後に粘着テープが剥離される。
特許文献１及び２には、ダイシング用粘着テープに用いる紫外線硬化型アクリル粘着剤が開示されている。これらの紫外線硬化型アクリル粘着剤は、主鎖の末端又は側鎖に紫外線硬化が可能な不飽和結合を有しており、紫外線の照射により架橋反応を起こして硬化し、粘着力が低下する。特許文献１及び２では、半導体ウエハを加工している間は強力な粘着力でダイシング用粘着テープにより半導体ウエハを固定し、加工後に紫外線を照射してダイシング用粘着テープを剥離し、加工された半導体ウエハ又は半導体チップを得ている。
Processing of a semiconductor wafer (for example, back grinding, dicing, etc.) is generally performed in a state where an adhesive tape is bonded to the semiconductor wafer, and the adhesive tape is peeled off after processing.
Patent Documents 1 and 2 disclose ultraviolet curable acrylic pressure-sensitive adhesives used for dicing pressure-sensitive adhesive tapes. These ultraviolet curable acrylic pressure-sensitive adhesives have an unsaturated bond capable of ultraviolet curing at the end or side chain of the main chain, and are cured by causing a crosslinking reaction upon irradiation with ultraviolet rays, resulting in a decrease in adhesive strength. In Patent Documents 1 and 2, while processing a semiconductor wafer, the semiconductor wafer was fixed with a dicing adhesive tape with a strong adhesive force, and after processing, the dicing adhesive tape was peeled off by irradiation with ultraviolet rays. A semiconductor wafer or semiconductor chip is obtained.
しかしながら、半導体ウエハは壊れやすく、近年では微細な加工や極めて薄い薄膜が表面に形成された半導体ウエハが登場している。このような壊れやすい半導体ウエハからであっても加工後に容易に剥離することができる粘着テープが望まれているが、従来の紫外線硬化型アクリル粘着剤では、半導体ウエハから剥離するときに粘着力が充分に低下せず、糊残りが生じてしまうという問題点があった。 However, semiconductor wafers are fragile, and in recent years, semiconductor wafers on which fine processing or extremely thin thin films are formed have appeared. There is a demand for an adhesive tape that can be easily peeled after processing even from such a fragile semiconductor wafer, but conventional UV-curable acrylic pressure-sensitive adhesives have an adhesive force when peeled from a semiconductor wafer. There is a problem in that the adhesive residue does not decrease sufficiently and adhesive residue is generated.
本発明は、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the adhesive tape which can peel easily from a to-be-adhered body, reducing adhesive residue.
本発明は、粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５〜２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有する粘着テープである。
以下、本発明を詳述する。
The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer, and the pressure-sensitive adhesive layer is a polymer capable of UV curing on a side chain of a living radical polymerization polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5. It is an adhesive tape containing a (meth) acrylic polymer into which a functional group has been introduced.
The present invention is described in detail below.
粘着剤層には、一般に（メタ）アクリルモノマー等のラジカル重合性モノマーを「フリーラジカル重合」により重合させて得られたポリマーが用いられている。特許文献１及び２に記載されているような紫外線の照射により架橋反応を起こして硬化し、粘着力が低下する粘着剤層にも、一般にフリーラジカル重合により得られたポリマー（本明細書中「フリーラジカル重合ポリマー」ともいう）に紫外線硬化が可能な重合性基を導入したポリマーが用いられている。
しかしながら、フリーラジカル重合は、分子量及び分子量分布、共重合体組成等を充分に制御できず、低分子量成分が生成したり、共重合の場合であってもホモポリマーが生成したりするという欠点がある。本発明者らは、このような低分子量成分又はホモポリマーが糊残りの原因となっていると考えた。また、本発明者らは、フリーラジカル重合ポリマーにおいては、紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる官能基を有する（メタ）アクリルモノマーが、各ポリマー分子に均一に共重合されていないために、粘着剤層の紫外線硬化性が阻害され、糊残りが発生することを見出した。そこで、本発明者らは、フリーラジカル重合ではなく「リビングラジカル重合」により得られたポリマー（本明細書中「リビングラジカル重合ポリマー」ともいう）を用いることを検討した。
In general, a polymer obtained by polymerizing a radical polymerizable monomer such as a (meth) acryl monomer by “free radical polymerization” is used for the pressure-sensitive adhesive layer. Polymers obtained by free radical polymerization are generally used for pressure-sensitive adhesive layers which are cured by causing a crosslinking reaction by irradiation with ultraviolet rays as described in Patent Documents 1 and 2, and the adhesive strength is reduced (in the present specification, “ Polymers in which polymerizable groups capable of ultraviolet curing are introduced into “free radical polymerization polymers”) are used.
However, free radical polymerization cannot sufficiently control the molecular weight, molecular weight distribution, copolymer composition, etc., and has the disadvantage that a low molecular weight component is produced or a homopolymer is produced even in the case of copolymerization. is there. The present inventors considered that such low molecular weight components or homopolymers are responsible for adhesive residue. In addition, in the free radical polymerized polymer, the present inventors have found that a (meth) acrylic monomer having a functional group serving as a reaction point for introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing can be uniformly incorporated into each polymer molecule. It has been found that since it is not polymerized, the ultraviolet curable property of the pressure-sensitive adhesive layer is inhibited, and adhesive residue is generated. Therefore, the present inventors examined using a polymer obtained by “living radical polymerization” instead of free radical polymerization (also referred to as “living radical polymerization polymer” in this specification).
リビングラジカル重合は、重合反応が停止反応又は連鎖移動反応等の副反応で妨げられることなく分子鎖が生長していく重合であるため、分子量及び分子量分布、共重合体組成等を制御しやすく、例えばフリーラジカル重合等と比較してより均一な分子量及び組成を有するポリマーを得ることができる。
本発明者らは、特定範囲の分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを用いることにより、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープが得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。糊残りを低減できる理由としては、リビングラジカル重合によれば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、上記官能基を反応点として紫外線硬化が可能な重合性基を均一に導入することができるため、粘着剤層の紫外線硬化性を高め、被着体から剥離するときに粘着力を充分に低下させることができる点が挙げられる。
Living radical polymerization is a polymerization in which a molecular chain grows without being hindered by a side reaction such as a termination reaction or a chain transfer reaction, so that it is easy to control the molecular weight and molecular weight distribution, copolymer composition, etc. For example, a polymer having a more uniform molecular weight and composition than that of free radical polymerization or the like can be obtained.
The present inventors reduced adhesive residue by using a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of ultraviolet curing is introduced into the side chain of a living radical polymerization polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) in a specific range. However, the inventors have found that an adhesive tape that can be easily peeled off from the adherend is obtained, and have completed the present invention. As the reason why the adhesive residue can be reduced, according to living radical polymerization, by copolymerizing a (meth) acrylic monomer having a functional group such as carboxyl group, hydroxyl group, epoxy group, amino group, isocyanate group, amide group, These monomers can be uniformly copolymerized with each polymer molecule, and a polymerizable group capable of ultraviolet curing can be introduced uniformly with the above functional group as a reaction point. The adhesive strength can be sufficiently lowered when peeling from the adherend.
本発明の粘着テープは、粘着剤層を有する粘着テープである。上記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５〜２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有する。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is a pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer. The pressure-sensitive adhesive layer contains a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of ultraviolet curing is introduced into a side chain of a living radical polymerization polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5.
上記リビングラジカル重合ポリマーは、リビングラジカル重合、好ましくは有機テルル重合開始剤を用いたリビングラジカル重合により得られたポリマーである。
上記粘着剤層が上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有することにより、本発明の粘着テープは、被着体から剥離するときに紫外線照射されるまでは、剥がれにくいものとなる。一方、本発明の粘着テープは、被着体から剥離するときには紫外線の照射により上記粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに架橋反応を起こして硬化し、粘着力が大きく低下し、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる。糊残りを低減できる理由としては、リビングラジカル重合によれば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、上記官能基を反応点として紫外線硬化が可能な重合性基を均一に導入することができるため、粘着剤層の紫外線硬化性を高め、被着体から剥離するときに粘着力を充分に低下させることができる点が挙げられる。
The living radical polymerization polymer is a polymer obtained by living radical polymerization, preferably living radical polymerization using an organic tellurium polymerization initiator.
When the pressure-sensitive adhesive layer contains a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of ultraviolet curing is introduced into the side chain of the living radical polymerization polymer, the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is peeled off from the adherend. Until it is irradiated with ultraviolet rays, it is difficult to peel off. On the other hand, when the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is peeled off from the adherend, the entire pressure-sensitive adhesive layer is cured uniformly and rapidly by UV irradiation, the adhesive strength is greatly reduced, and the adhesive residue is reduced. While being reduced, it can be easily peeled off from the adherend. As the reason why the adhesive residue can be reduced, according to living radical polymerization, by copolymerizing a (meth) acrylic monomer having a functional group such as carboxyl group, hydroxyl group, epoxy group, amino group, isocyanate group, amide group, These monomers can be uniformly copolymerized with each polymer molecule, and a polymerizable group capable of ultraviolet curing can be introduced uniformly with the above functional group as a reaction point. The adhesive strength can be sufficiently lowered when peeling from the adherend.
なかでも、有機テルル重合開始剤を用いたリビングラジカル重合は、他のリビングラジカル重合とは異なり、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する（メタ）アクリルモノマーをいずれも保護することなく、同一の開始剤で重合して均一な分子量及び組成を有するポリマーを得ることができる。このため、このような官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを容易に共重合することができる。 In particular, living radical polymerization using an organic tellurium polymerization initiator has a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group, and an amide group, unlike other living radical polymerizations (meth). Without protecting any acrylic monomer, a polymer having a uniform molecular weight and composition can be obtained by polymerization with the same initiator. For this reason, the (meth) acryl monomer which has such a functional group can be copolymerized easily.
上記有機テルル重合開始剤は、リビングラジカル重合に一般的に用いられるものであれば特に限定されず、例えば、有機テルル化合物、有機テルリド化合物等が挙げられる。
上記有機テルル化合物として、例えば、（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−クロロ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−ヒドロキシ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−メトキシ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−アミノ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−ニトロ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−シアノ−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−メチルカルボニル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−フェニルカルボニル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−メトキシカルボニル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−フェノキシカルボニル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−スルホニル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−トリフルオロメチル−４−（メチルテラニル−メチル）ベンゼン、１−クロロ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−ヒドロキシ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−メトキシ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−アミノ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−ニトロ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−シアノ−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−メチルカルボニル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−フェニルカルボニル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−メトキシカルボニル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−フェノキシカルボニル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−スルホニル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−トリフルオロメチル−４−（１−メチルテラニル−エチル）ベンゼン、１−クロロ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−ヒドロキシ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−メトキシ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−アミノ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−ニトロ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−シアノ−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−メチルカルボニル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−フェニルカルボニル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−メトキシカルボニル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−フェノキシカルボニル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−スルホニル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、１−トリフルオロメチル−４−（２−メチルテラニル−プロピル）ベンゼン、２−（メチルテラニル−メチル）ピリジン、２−（１−メチルテラニル−エチル）ピリジン、２−（２−メチルテラニル−プロピル）ピリジン、２−メチルテラニル−エタン酸メチル、２−メチルテラニル−プロピオン酸メチル、２−メチルテラニル−２−メチルプロピオン酸メチル、２−メチルテラニル−エタン酸エチル、２−メチルテラニル−プロピオン酸エチル、２−メチルテラニル−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メチルテラニルアセトニトリル、２−メチルテラニルプロピオニトリル、２−メチル−２−メチルテラニルプロピオニトリル等が挙げられる。これらの有機テルル化合物中のメチルテラニル基は、エチルテラニル基、ｎ−プロピルテラニル基、イソプロピルテラニル基、ｎ−ブチルテラニル基、イソブチルテラニル基、ｔ−ブチルテラニル基、フェニルテラニル基等であってもよく、また、これらの有機テルル化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
The organic tellurium polymerization initiator is not particularly limited as long as it is generally used for living radical polymerization, and examples thereof include organic tellurium compounds and organic telluride compounds.
Examples of the organic tellurium compound include (methylterranyl-methyl) benzene, (1-methylterranyl-ethyl) benzene, (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-chloro-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-hydroxy- 4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-methoxy-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-amino-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-nitro-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1- Cyano-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-methylcarbonyl-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-phenylcarbonyl-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-methoxycarbonyl-4- (methylterranyl-methyl) ) Benzene, 1- Enoxycarbonyl-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-sulfonyl-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-trifluoromethyl-4- (methylterranyl-methyl) benzene, 1-chloro-4- (1 -Methyl terranyl-ethyl) benzene, 1-hydroxy-4- (1-methyl terranyl-ethyl) benzene, 1-methoxy-4- (1-methyl teranyl-ethyl) benzene, 1-amino-4- (1-methyl terranyl-ethyl) Benzene, 1-nitro-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-cyano-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-methylcarbonyl-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1- Phenylcarbonyl-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-meth Sicarbonyl-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-phenoxycarbonyl-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-sulfonyl-4- (1-methylterranyl-ethyl) benzene, 1-trifluoromethyl -4- (1-methylteranyl-ethyl) benzene, 1-chloro-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-hydroxy-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-methoxy-4- (2 -Methyl teranyl-propyl) benzene, 1-amino-4- (2-methyl teranyl-propyl) benzene, 1-nitro-4- (2-methyl teranyl-propyl) benzene, 1-cyano-4- (2-methyl teranyl-propyl) Benzene, 1-methylcarbonyl-4- (2-methylterranyl-propyl ) Benzene, 1-phenylcarbonyl-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-methoxycarbonyl-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-phenoxycarbonyl-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene 1-sulfonyl-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 1-trifluoromethyl-4- (2-methylterranyl-propyl) benzene, 2- (methylterranyl-methyl) pyridine, 2- (1-methylterranyl-ethyl) ) Pyridine, 2- (2-methylterranyl-propyl) pyridine, 2-methylterranyl-methyl ethanoate, methyl 2-methylterranyl-propionate, methyl 2-methylterranyl-2-methylpropionate, 2-methylterranyl-ethyl ethanoate, 2 -Methylterranil Ethyl propionate, 2-Mechiruteraniru -2-methylpropionic acid ethyl, 2-methyl-Terra alkylsulfonyl acetonitrile, 2-methyl-Terra sulfonyl propionitrile, 2-methyl-2-methyl-Terra sulfonyl propionitrile, and the like. The methyl terranyl group in these organic tellurium compounds may be an ethyl terranyl group, n-propyl terranyl group, isopropyl terranyl group, n-butyl terranyl group, isobutyl terranyl group, t-butyl terranyl group, phenyl terranyl group, etc. These organic tellurium compounds may be used alone or in combination of two or more.
上記有機テルリド化合物として、例えば、ジメチルジテルリド、ジエチルジテルリド、ジ−ｎ−プロピルジテルリド、ジイソプロピルジテルリド、ジシクロプロピルジテルリド、ジ−ｎ−ブチルジテルリド、ジ−ｓｅｃ−ブチルジテルリド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルジテルリド、ジシクロブチルジテルリド、ジフェニルジテルリド、ビス−（ｐ−メトキシフェニル）ジテルリド、ビス−（ｐ−アミノフェニル）ジテルリド、ビス−（ｐ−ニトロフェニル）ジテルリド、ビス−（ｐ−シアノフェニル）ジテルリド、ビス−（ｐ−スルホニルフェニル）ジテルリド、ジナフチルジテルリド、ジピリジルジテルリド等が挙げられる。これらの有機テルリド化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも、ジメチルジテルリド、ジエチルジテルリド、ジ−ｎ−プロピルジテルリド、ジ−ｎ−ブチルジテルリド、ジフェニルジテルリドが好ましい。 Examples of the organic telluride compound include dimethyl ditelluride, diethyl ditelluride, di-n-propyl ditelluride, diisopropyl ditelluride, dicyclopropyl ditelluride, di-n-butyl ditelluride, di-sec-butyl ditelluride. , Di-tert-butyl ditelluride, dicyclobutyl ditelluride, diphenyl ditelluride, bis- (p-methoxyphenyl) ditelluride, bis- (p-aminophenyl) ditelluride, bis- (p-nitrophenyl) ditelluride, bis -(P-cyanophenyl) ditelluride, bis- (p-sulfonylphenyl) ditelluride, dinaphthyl ditelluride, dipyridyl ditelluride and the like can be mentioned. These organic telluride compounds may be used alone or in combination of two or more. Of these, dimethyl ditelluride, diethyl ditelluride, di-n-propyl ditelluride, di-n-butyl ditelluride and diphenyl ditelluride are preferable.
なお、本発明の効果を損なわない範囲内で、上記有機テルル重合開始剤に加えて、重合速度の促進を目的として重合開始剤としてアゾ化合物を用いてもよい。
上記アゾ化合物は、ラジカル重合に一般的に用いられるものであれば特に限定されず、例えば、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、１，１−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、１−［（１−シアノ−１−メチルエチル）アゾ］ホルムアミド、４，４’−アゾビス（４−シアノバレリアン酸）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル−１，１’−アゾビス（１−シクロヘキサンカルボキシレート）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１’−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］二塩酸塩、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン−２−イル］プロパン｝二塩酸塩、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−アミジノプロパン）二塩酸塩、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシエチル）−２−メチルプロピオンアミジン］四水和物、２，２’−アゾビス（１−イミノ−１−ピロリジノ−２−メチルプロパン）二塩酸塩、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
In addition, within the range which does not impair the effect of this invention, in addition to the said organic tellurium polymerization initiator, you may use an azo compound as a polymerization initiator for the purpose of acceleration | stimulation of a polymerization rate.
The azo compound is not particularly limited as long as it is generally used for radical polymerization. For example, 2,2′-azobis (isobutyronitrile), 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) ), 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 1,1-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) ), 1-[(1-cyano-1-methylethyl) azo] formamide, 4,4′-azobis (4-cyanovaleric acid), dimethyl-2,2′-azobis (2-methylpropionate), Dimethyl-1,1′-azobis (1-cyclohexanecarboxylate), 2,2′-azobis {2-methyl-N- [1,1′-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl Propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [2- (2-imidazoline-2 -Yl) propane] dihydrochloride, 2,2'-azobis {2- [1- (2-hydroxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propane} dihydrochloride, 2,2'-azobis [2 -(2-imidazolin-2-yl) propane], 2,2'-azobis (2-amidinopropane) dihydrochloride, 2,2'-azobis [N- (2-carboxyethyl) -2-methylpropionami Tetrahydrate, 2,2′-azobis (1-imino-1-pyrrolidino-2-methylpropane) dihydrochloride, 2,2′-azobis (2,4,4-trimethylpentane) and the like. It is done. These azo compounds may be used alone or in combination of two or more.
上記リビングラジカル重合においては、分散安定剤を用いてもよい。上記分散安定剤として、例えば、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、エチルセルロース、ポリ（メタ）アクリル酸、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、ポリエチレングリコール等が挙げられる。
上記リビングラジカル重合の方法として、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合（沸点重合又は定温重合）、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等が挙げられる。
上記リビングラジカル重合において重合溶媒を用いる場合、該重合溶媒は特に限定されず、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン、トルエン、キシレン等の非極性溶媒や、水、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等の高極性溶媒を用いることができる。これらの重合溶媒は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
また、重合温度は、重合速度の観点から０〜１１０℃が好ましい。
In the living radical polymerization, a dispersion stabilizer may be used. Examples of the dispersion stabilizer include polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, methyl cellulose, ethyl cellulose, poly (meth) acrylic acid, poly (meth) acrylic acid ester, and polyethylene glycol.
As the living radical polymerization method, conventionally known methods are used, and examples thereof include solution polymerization (boiling point polymerization or constant temperature polymerization), emulsion polymerization, suspension polymerization, bulk polymerization and the like.
When a polymerization solvent is used in the living radical polymerization, the polymerization solvent is not particularly limited. For example, a nonpolar solvent such as hexane, cyclohexane, octane, toluene, xylene, water, methanol, ethanol, propanol, butanol, acetone, Highly polar solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, tetrahydrofuran, dioxane, N, N-dimethylformamide can be used. These polymerization solvents may be used alone or in combination of two or more.
The polymerization temperature is preferably 0 to 110 ° C. from the viewpoint of the polymerization rate.
上記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたポリマーであることが好ましい。有機テルル重合開始剤を用いることで、このような官能基を有する（メタ）アクリルモノマーであってもいずれも保護することなく用いることができる。上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーとしては、例えば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーが好ましい。
なお、上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの官能基は、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる部分である。
The living radical polymerization polymer is preferably a polymer obtained by copolymerizing a monomer mixture containing a (meth) acrylic monomer having a functional group. By using an organic tellurium polymerization initiator, any (meth) acrylic monomer having such a functional group can be used without protection. As the (meth) acryl monomer having the functional group, for example, a (meth) acryl monomer having a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group is preferable.
In addition, the functional group of the (meth) acryl monomer having the above functional group is a portion that becomes a reaction point for introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of the living radical polymerization polymer.
上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーとしては、具体的には例えば、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリルモノマー；Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド等のアミド基を有する（メタ）アクリルモノマー；（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロぺニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート等のイソシアネート基を有する（メタ）アクリルモノマー；グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有する（メタ）アクリルモノマー；（メタ）アクリル酸等のカルボキシル基を有する（メタ）アクリルモノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル等のアミノ基を有する（メタ）アクリルモノマー等が挙げられる。これらの官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。 Specific examples of the (meth) acrylic monomer having the functional group include 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 1,6-hexanediol (meth) acrylate, and hydroxyethyl (meth) ) (Meth) acrylic monomers having a hydroxyl group such as acrylate and polypropylene glycol mono (meth) acrylate; (meth) acrylic monomers having an amide group such as N-methyl (meth) acrylamide; (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, meta- (Meth) acrylic monomers having isocyanate groups such as isopropenyl-α, α-dimethylbenzyl isocyanate, (meth) acryloyl isocyanate, allyl isocyanate; epoxy groups such as glycidyl (meth) acrylate (Meth) acrylic monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid; (meth) acrylic monomers having an amino group such as aminoethyl (meth) acrylate; and the like. These (meth) acrylic monomers having these functional groups may be used alone or in combination of two or more.
上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量は、上記モノマー混合物中の好ましい下限が１重量％、好ましい上限が３５重量％である。上記含有量が１重量％未満であると、紫外線硬化が可能な重合性基を充分に導入することができず、上記粘着剤層の紫外線硬化性が低下し、被着体から剥離するときに粘着力が充分に低下しないことがある。上記含有量が３５重量％を超えると、ガラス転移温度の上昇により、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は２重量％、より好ましい上限は３０重量％であり、更に好ましい下限は３重量％、更に好ましい上限は２５重量％である。 As for the content of the (meth) acrylic monomer having the functional group, a preferable lower limit in the monomer mixture is 1% by weight, and a preferable upper limit is 35% by weight. When the content is less than 1% by weight, a polymerizable group capable of ultraviolet curing cannot be sufficiently introduced, and the ultraviolet curing property of the pressure-sensitive adhesive layer is lowered and peeled off from the adherend. The adhesive strength may not be sufficiently reduced. When the content exceeds 35% by weight, the pressure-sensitive adhesive tape may be easily peeled off before being irradiated with ultraviolet rays due to an increase in the glass transition temperature. The more preferable lower limit of the content is 2% by weight, the more preferable upper limit is 30% by weight, the still more preferable lower limit is 3% by weight, and the still more preferable upper limit is 25% by weight.
また、上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの官能基は、上述した通り、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる部分であるが、反応点の全てを反応させないことが好ましく、反応点の２％未満を反応させずに残しておくことがより好ましい。このように反応点を反応させずに残すことにより、最終的に得られる粘着テープの粘着力又は凝集力を向上させることができる。 Moreover, the functional group of the (meth) acryl monomer having the above functional group is a portion serving as a reaction point for introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of the living radical polymerization polymer as described above. However, it is preferable not to react all of the reaction points, and it is more preferable to leave less than 2% of the reaction points unreacted. By leaving the reaction points without reacting in this way, the adhesive force or cohesive force of the finally obtained adhesive tape can be improved.
上記モノマー混合物は、上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーに加えて、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソミリスチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルや、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート等を含有していてもよい。これらのモノマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。 In addition to the (meth) acrylic monomer having the functional group, the monomer mixture includes, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, and tert-butyl. (Meth) such as (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, isomyristyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, etc. Acrylic acid alkyl ester, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-butoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate Tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate may contain. These monomers may be used independently and may use 2 or more types together.
上記モノマー混合物は、更に、ビニル化合物を含有していてもよい。
上記ビニル化合物は特に限定されず、例えば、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−アクリロイルモルフォリン、アクリロニトリル、スチレン、酢酸ビニル等が挙げられる。これらのビニル化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
The monomer mixture may further contain a vinyl compound.
The vinyl compound is not particularly limited, and examples thereof include N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, N-acryloylmorpholine, acrylonitrile, styrene, vinyl acetate and the like. These vinyl compounds may be used alone or in combination of two or more.
上記リビングラジカル重合ポリマーは、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０５〜２．５である。上記分子量分布が２．５を超えると、上記リビングラジカル重合において生成した低分子量成分等が増えるため、粘着テープが剥がれやすくなる。上記分子量分布の好ましい上限は２．０であり、より好ましい上限は１．８である。 The living radical polymerization polymer has a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5. When the molecular weight distribution exceeds 2.5, the low molecular weight components and the like generated in the living radical polymerization increase, so that the adhesive tape is easily peeled off. A preferable upper limit of the molecular weight distribution is 2.0, and a more preferable upper limit is 1.8.
上記リビングラジカル重合ポリマーは、重量平均分子量（Ｍｗ）の好ましい下限が１０万、好ましい上限が２００万である。上記重量平均分子量が１０万未満であると、上記粘着剤層が柔らかくなりすぎて、使用状況によっては糊残りすることがあり、耐熱性が低下することがある。上記重量平均分子量が２００万を超えると、塗工時の粘度が高すぎて塗工し難くなり、上記粘着剤層の厚みムラを発生させてしまうことがある。上記重量平均分子量のより好ましい下限は２０万である。 The living radical polymerization polymer has a preferable lower limit of 100,000 and a preferable upper limit of 2,000,000 for the weight average molecular weight (Mw). If the weight average molecular weight is less than 100,000, the pressure-sensitive adhesive layer becomes too soft, and adhesive residue may remain depending on the usage conditions, resulting in a decrease in heat resistance. If the weight average molecular weight exceeds 2,000,000, the viscosity at the time of coating becomes too high to be applied, which may cause uneven thickness of the pressure-sensitive adhesive layer. The more preferable lower limit of the weight average molecular weight is 200,000.
なお、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は、重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）との比である。
重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）法によりポリスチレン換算分子量として測定される。具体的には、重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、リビングラジカル重合ポリマーをテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）によって５０倍希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液を用いてＧＰＣ法によりポリスチレン換算分子量として測定される。ＧＰＣ法では、例えば、２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ（Ｗａｔｅｒｓ社製）等を使用できる。
The molecular weight distribution (Mw / Mn) is a ratio between the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn).
A weight average molecular weight (Mw) and a number average molecular weight (Mn) are measured as a polystyrene conversion molecular weight by the gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) were obtained by filtering a diluted solution obtained by diluting a living radical polymerization polymer 50 times with tetrahydrofuran (THF) with a filter, and obtaining the filtrate. Is measured as a polystyrene-equivalent molecular weight by the GPC method. In the GPC method, for example, 2690 Separations Model (manufactured by Waters) or the like can be used.
上記（メタ）アクリルポリマーは、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入したものである。
上記紫外線硬化が可能な重合性基としては、例えば、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基等の炭素−炭素二重結合を有する基が挙げられる。上記紫外線硬化が可能な重合性基は、炭素−炭素三重結合を有する基であってもよい。
The (meth) acrylic polymer is obtained by introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of the living radical polymerization polymer.
Examples of the polymerizable group capable of ultraviolet curing include groups having a carbon-carbon double bond such as a vinyl group, an acryloyl group, and a methacryloyl group. The polymerizable group capable of ultraviolet curing may be a group having a carbon-carbon triple bond.
上記（メタ）アクリルポリマーは、例えば、次の方法により得ることが好ましい。
上記リビングラジカル重合により上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、得られたリビングラジカル重合ポリマーは側鎖に上記官能基を有するものとなる。このようなリビングラジカル重合ポリマーに、上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させることで、側鎖に重合性基を結合させる。
即ち、上記（メタ）アクリルポリマーは、上記リビングラジカル重合ポリマーに、上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものであることが好ましい。
The (meth) acrylic polymer is preferably obtained, for example, by the following method.
By copolymerizing the (meth) acrylic monomer having the functional group by the living radical polymerization, these monomers can be uniformly copolymerized with each polymer molecule, and the resulting living radical polymerized polymer is in the side chain. It has the functional group. By reacting such a living radical polymerized polymer with a compound having a polymerizable group capable of reacting with the functional group and capable of ultraviolet curing, the polymerizable group is bonded to the side chain.
That is, the (meth) acrylic polymer is obtained by reacting the living radical polymerization polymer with a compound having a polymerizable group capable of reacting with the functional group and capable of ultraviolet curing. Is preferred.
上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物としては、例えば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有し、かつ、（メタ）アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。具体的には例えば、次の（１）〜（４）の場合が挙げられる。
（１）側鎖に水酸基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、アミド基、イソシアネート基、エポキシ基及びカルボキシル基からなる群より選択される少なくとも１つを有し、かつ、（メタ）アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
（２）側鎖にカルボキシル基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、エポキシ基又はイソシアネート基を有し、かつ、（メタ）アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
（３）側鎖にエポキシ基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、カルボキシル基又はアミド基を有し、かつ、（メタ）アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
（４）側鎖にアミノ基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、エポキシ基を有し、かつ、（メタ）アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
Examples of the compound having a polymerizable group capable of reacting with the functional group and capable of ultraviolet curing include a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group, and an amide group. And a compound having a (meth) acryloyl group. Specifically, the following cases (1) to (4) are exemplified.
(1) For a living radical polymerization polymer having a hydroxyl group in the side chain, it has at least one selected from the group consisting of an amide group, an isocyanate group, an epoxy group and a carboxyl group, and a (meth) acryloyl group What is necessary is just to make the compound which has this react.
(2) The living radical polymerization polymer having a carboxyl group in the side chain may be reacted with a compound having an epoxy group or an isocyanate group and having a (meth) acryloyl group.
(3) The living radical polymerization polymer having an epoxy group in the side chain may be reacted with a compound having a carboxyl group or an amide group and having a (meth) acryloyl group.
(4) The living radical polymerization polymer having an amino group in the side chain may be reacted with a compound having an epoxy group and a (meth) acryloyl group.
上記粘着剤層は、光重合開始剤を含有してもよい。
上記光重合開始剤は、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a photopolymerization initiator.
Examples of the photopolymerization initiator include those activated by irradiation with light having a wavelength of 250 to 800 nm. Examples of such a photopolymerization initiator include acetophenone derivative compounds such as methoxyacetophenone, Benzoin ether compounds such as benzoin propyl ether and benzoin isobutyl ether, ketal derivative compounds such as benzyldimethyl ketal and acetophenone diethyl ketal, phosphine oxide derivative compounds, bis (η5-cyclopentadienyl) titanocene derivative compounds, Benzophenone, Michler's ketone, chlorothioxanthone, todecylthioxanthone, dimethylthioxanthone, diethylthioxanthone, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxymethylphenyl group Examples include photo radical polymerization initiators such as lopan. These photoinitiators may be used independently and may use 2 or more types together.
上記粘着剤層は、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有してもよい。
上記粘着剤層が上記気体発生剤を含有することにより、被着体から剥離するとき、上記粘着剤層の粘着力が大きく低下することに加えて上記気体発生剤から気体が発生し、これにより、上記粘着剤層の剥離応力が発生するか、又は、被着体との接着面積が減少して、強く引き剥がさずとも剥離できる。
上記気体発生剤としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、テトラゾール化合物又はその塩、ビステトラゾール化合物等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a gas generating agent that generates gas by ultraviolet rays.
When the pressure-sensitive adhesive layer contains the gas generating agent, gas is generated from the gas generating agent in addition to greatly reducing the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer when peeled from the adherend. Further, the peeling stress of the pressure-sensitive adhesive layer is generated, or the adhesion area with the adherend is decreased, so that the peeling can be performed without strongly peeling.
Examples of the gas generating agent include azo compounds, azide compounds, tetrazole compounds or salts thereof, and bistetrazole compounds.
上記気体発生剤の含有量は、上記（メタ）アクリルポリマー１００重量部に対する好ましい下限が５重量部、好ましい上限が５０重量部である。上記含有量がこの範囲内であると、被着体から剥離するときには充分な気体が発生して上記粘着剤層の剥離を行うことができ、かつ、上記接着剤層の粘着力を損なうこともない。上記含有量のより好ましい下限は１０重量部、より好ましい上限は３０重量部である。 As for the content of the gas generating agent, a preferable lower limit with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer is 5 parts by weight, and a preferable upper limit is 50 parts by weight. When the content is within this range, when peeling from the adherend, sufficient gas is generated to peel off the pressure-sensitive adhesive layer, and the adhesive strength of the adhesive layer may be impaired. Absent. A more preferable lower limit of the content is 10 parts by weight, and a more preferable upper limit is 30 parts by weight.
上記粘着剤層は、更に、光増感剤を含有してもよい。
上記光増感剤は、上記気体発生剤への光による刺激を増幅する効果を有することから、より少ない光の照射により気体を放出させることができる。また、より広い波長領域の光により気体を放出させることができる。
上記光増感剤としては、例えば、アミノ系化合物、ニトロ化合物、キノン系化合物、キサントン系化合物、アンスロン化合物、ケトン系化合物等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may further contain a photosensitizer.
Since the photosensitizer has an effect of amplifying stimulation by light on the gas generating agent, gas can be released by irradiation with less light. In addition, gas can be emitted by light in a wider wavelength region.
Examples of the photosensitizer include amino compounds, nitro compounds, quinone compounds, xanthone compounds, anthrone compounds, and ketone compounds.
上記光増感剤は特に限定されず、例えば、アルコキシ基を少なくとも１つ以上有する多環芳香族化合物が挙げられる。なかでも、一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物が好ましい。このような化合物は、耐昇華性が高く、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されることにより、上記粘着剤層への溶解性が高まり、ブリードアウトを防止することができる。
上記多環芳香族化合物は、アントラセン誘導体が好ましい。上記アルコキシ基は、炭素数１〜１８のものが好ましく、炭素数１〜８のものがより好ましい。
The photosensitizer is not particularly limited, and examples thereof include a polycyclic aromatic compound having at least one alkoxy group. Among these, a substituted alkoxy polycyclic aromatic compound having an alkoxy group partially substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group is preferable. Such a compound has high resistance to sublimation and can be used at a high temperature. Moreover, when a part of alkoxy group is substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group, the solubility to the said adhesive layer increases and bleed-out can be prevented.
The polycyclic aromatic compound is preferably an anthracene derivative. The alkoxy group preferably has 1 to 18 carbon atoms, and more preferably has 1 to 8 carbon atoms.
上記アルコキシ基を少なくとも１つ以上有する多環芳香族化合物は、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９−メトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９−エトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、９−イソプロポキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、９−ベンジルオキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、９−（α−メチルベンジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−カルボキシエトキシ）アントラセン等のアントラセン誘導体等が挙げられる。 Examples of the polycyclic aromatic compound having at least one alkoxy group include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 2-tbutyl-9,10-dimethoxyanthracene, 2, 3-dimethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9-methoxy-10-methylanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, 2-tbutyl-9,10-di Ethoxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-diethoxyanthracene, 9-ethoxy-10-methylanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dipropoxyanthracene, 2-tbutyl -9,10-dipropoxyanthracene, 2,3-dimethyl-9, 0-dipropoxyanthracene, 9-isopropoxy-10-methylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dibenzyloxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dibenzyloxyanthracene, 2-tbutyl -9,10-dibenzyloxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-dibenzyloxyanthracene, 9-benzyloxy-10-methylanthracene, 9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2- Ethyl-9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2-tbutyl-9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di-α-methylbenzyloxy Anthracene, 9- (α-methylbenzyloxy) -10-methylanthracase , 9,10-di (2-hydroxyethoxy) anthracene, and the like anthracene derivative such as 2-ethyl-9,10-di (2-carboxyethoxy) anthracene.
上記一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物は、例えば、９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、９−（グリシジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、９−（２−ビニルオキシエトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、９−（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシブトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−ブトキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−（２−エチルヘキシルオキシ）プロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−アリロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）アントラセン等が挙げられる。 The substituted alkoxy polycyclic aromatic compound having an alkoxy group partially substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group is, for example, 9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (glycidyloxy). ) Anthracene, 2-tbutyl-9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 9- (glycidyloxy) -10-methylanthracene, 9, 10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2-tbutyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2 , 3-Dimethyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 9- (2-vinyloxy) Ethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 2-t Butyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 9- (3-methyl -3-oxetanylmemethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2-tbutyl- 9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (p-ethylene) Xylphenylmethoxy) anthracene, 9- (p-epoxyphenylmethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) ) Anthracene, 2-tbutyl-9,1-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 9- (p-vinylphenylmethoxy) ) -10-methylanthracene, 9,10-di (2-hydroxyethoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxybutoxy) anthracene, 9,10- Di (2-hydroxy-3-butoxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-Hydroxy-3- (2-ethylhexyloxy) propoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxy-3-allyloxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxy-3-phenoxypropoxy) Anthracene, 9,10-di (2,3-dihydroxypropoxy) anthracene, etc. are mentioned.
上記光増感剤の含有量は、上記（メタ）アクリルポリマー１００重量部に対する好ましい下限が０．０５重量部、好ましい上限が１０重量部である。上記含有量が０．０５重量部未満であると、充分な増感効果が得られないことがある。上記含有量が１０重量部を超えると、光増感剤に由来する残存物が増え、充分な剥離を行えなくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は０．１重量部、より好ましい上限は５重量部である。 The content of the photosensitizer is preferably 0.05 parts by weight and preferably 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer. When the content is less than 0.05 parts by weight, a sufficient sensitizing effect may not be obtained. When the content exceeds 10 parts by weight, the residue derived from the photosensitizer increases, and sufficient peeling may not be performed. The more preferable lower limit of the content is 0.1 parts by weight, and the more preferable upper limit is 5 parts by weight.
上記粘着剤層は、更に、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有してもよい。上記粘着剤層がラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有することにより、上記粘着剤層の紫外線硬化性が向上する。
上記多官能オリゴマー又はモノマーは、分子量が１万以下であるものが好ましく、紫外線の照射による上記粘着剤層の硬化が効率よくなされるように、その分子量が５０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のものがより好ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer may further contain a radical polymerizable polyfunctional oligomer or monomer. When the pressure-sensitive adhesive layer contains a radical polymerizable polyfunctional oligomer or monomer, the ultraviolet curable property of the pressure-sensitive adhesive layer is improved.
The polyfunctional oligomer or monomer preferably has a molecular weight of 10,000 or less, and has a molecular weight of 5,000 or less and an intramolecular radical polymerizability so that the pressure-sensitive adhesive layer is efficiently cured by irradiation with ultraviolet rays. Those having 2 to 20 unsaturated bonds are more preferred.
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。また、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。 As the polyfunctional oligomer or monomer, for example, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate or the same as above And methacrylates. Further, 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, commercially available oligoester acrylate, methacrylates similar to the above, and the like can be mentioned. These polyfunctional oligomers or monomers may be used alone or in combination of two or more.
上記粘着剤層は、粘着付与樹脂を含有してもよい。上記粘着剤層が粘着付与樹脂を含有することにより、粘着テープは、被着体から剥離するときに紫外線照射されるまでは、剥がれにくいものとなる。
上記粘着付与樹脂としては、例えば、ロジン樹脂、不均化ロジン樹脂、重合ロジン樹脂、水添ロジン樹脂、ロジン変性フェノール樹脂、ロジンエステル樹脂、不均化ロジンエステル樹脂、重合ロジンエステル樹脂、水添ロジンエステル樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、クマロンインデン樹脂、石油系樹脂等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a tackifier resin. When the pressure-sensitive adhesive layer contains a tackifier resin, the pressure-sensitive adhesive tape is hardly peeled off before being irradiated with ultraviolet rays when peeled from the adherend.
Examples of the tackifying resin include a rosin resin, a disproportionated rosin resin, a polymerized rosin resin, a hydrogenated rosin resin, a rosin-modified phenol resin, a rosin ester resin, a disproportionated rosin ester resin, a polymerized rosin ester resin, and a hydrogenated resin. Examples thereof include rosin ester resins, terpene resins, terpene phenol resins, coumarone indene resins, and petroleum resins.
上記粘着付与樹脂の含有量は、上記（メタ）アクリルポリマー１００重量部に対する好ましい下限が５重量部、好ましい上限が４０重量部である。上記含有量が５重量部未満であると、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなり、上記含有量が４０重量部を超えると、ガラス転移温度の上昇により、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は１０重量部、より好ましい上限は３０重量部である。 The content of the tackifier resin is preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer, and 40 parts by weight with a preferred upper limit. When the content is less than 5 parts by weight, the pressure-sensitive adhesive tape is easily peeled off before being irradiated with ultraviolet rays, and when the content exceeds 40 parts by weight, the glass transition temperature is increased so that the adhesive tape is exposed before being irradiated with ultraviolet rays. The tape may be easily peeled off. A more preferable lower limit of the content is 10 parts by weight, and a more preferable upper limit is 30 parts by weight.
上記粘着剤層は、必要に応じて、可塑剤、乳化剤、軟化剤、微粒子、充填剤、顔料、染料、シランカップリング剤、酸化防止剤、界面活性剤、ワックス、充填剤等の公知の添加剤を含有してもよい。 The pressure-sensitive adhesive layer may be added with known additives such as plasticizers, emulsifiers, softeners, fine particles, fillers, pigments, dyes, silane coupling agents, antioxidants, surfactants, waxes, fillers, etc. An agent may be contained.
上記粘着剤層は、ゲル分率の好ましい下限が１重量％、好ましい上限が７０重量％である。上記ゲル分率が１重量％未満であると、上記粘着剤層が柔らかくなりすぎて、耐熱性が低下することがある。上記ゲル分率が７０重量％を超えると、粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記ゲル分率のより好ましい下限は５重量％、より好ましい上限は６０重量％である。
なお、ゲル分率は、次のようにして測定される。まず、粘着テープを５０ｍｍ×１００ｍｍの平面長方形状に裁断して試験片を作製し、試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させる。乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式（１）を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片には、粘着剤層を保護するための離型フィルムは積層されていないものとする。
ゲル分率（重量％）＝１００×（Ｗ２−Ｗ０）／（Ｗ１−Ｗ０） （１）
（Ｗ０：基材の重量、Ｗ１：浸漬前の試験片の重量、Ｗ２：浸漬、乾燥後の試験片の重量）
The pressure-sensitive adhesive layer has a preferred lower limit of the gel fraction of 1% by weight and a preferred upper limit of 70% by weight. When the gel fraction is less than 1% by weight, the pressure-sensitive adhesive layer becomes too soft and heat resistance may be lowered. When the said gel fraction exceeds 70 weight%, an adhesive tape may peel easily. A more preferable lower limit of the gel fraction is 5% by weight, and a more preferable upper limit is 60% by weight.
The gel fraction is measured as follows. First, the adhesive tape was cut into a flat rectangular shape of 50 mm × 100 mm to prepare a test piece. After the test piece was immersed in ethyl acetate at 23 ° C. for 24 hours, the test piece was taken out from ethyl acetate and subjected to a condition of 110 ° C. For 1 hour. The weight of the test piece after drying is measured, and the gel fraction is calculated using the following formula (1). In addition, the release film for protecting an adhesive layer shall not be laminated | stacked on the test piece.
Gel fraction (% by weight) = 100 × (W2-W0) / (W1-W0) (1)
(W0: weight of substrate, W1: weight of test piece before immersion, W2: weight of test piece after immersion and drying)
上記範囲のゲル分率の粘着剤層を得る方法としては、架橋剤を添加して上記粘着剤層を構成する樹脂の主鎖間に架橋構造を形成する方法が好ましい。上記架橋剤の種類又は量を適宜調整することによって、上記粘着剤層のゲル分率を上記範囲に調整しやすくなる。 As a method for obtaining a pressure-sensitive adhesive layer having a gel fraction in the above range, a method of adding a crosslinking agent to form a crosslinked structure between the main chains of the resin constituting the pressure-sensitive adhesive layer is preferable. By appropriately adjusting the type or amount of the crosslinking agent, the gel fraction of the pressure-sensitive adhesive layer can be easily adjusted to the above range.
上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤等が挙げられる。なかでも、基材に対する密着安定性に優れるため、イソシアネート系架橋剤が好ましい。上記イソシアネート系架橋剤として、例えば、コロネートＨＸ（日本ポリウレタン工業社製）、コロネートＬ（日本ポリウレタン工業社製）、マイテックＮＹ２６０Ａ（三菱化学社製）等が挙げられる。
上記架橋剤の配合量は、上記（メタ）アクリルポリマー１００重量部に対して０．０１〜５重量部が好ましく、０．１〜３重量部がより好ましい。
The said crosslinking agent is not specifically limited, For example, an isocyanate type crosslinking agent, an aziridine type crosslinking agent, an epoxy-type crosslinking agent, a metal chelate type crosslinking agent etc. are mentioned. Especially, since it is excellent in the adhesive stability with respect to a base material, an isocyanate type crosslinking agent is preferable. Examples of the isocyanate-based crosslinking agent include Coronate HX (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), Coronate L (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), and Mytec NY260A (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).
0.01-5 weight part is preferable with respect to 100 weight part of said (meth) acrylic polymers, and, as for the compounding quantity of the said crosslinking agent, 0.1-3 weight part is more preferable.
上記粘着剤層の厚みは用途によって設定されるので特に限定されないが、好ましい下限が１μｍ、好ましい上限が１００μｍである。上記厚みが１μｍ未満であると、粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記厚みが１００μｍを超えると、薄い粘着テープが得られないことがある。上記厚みのより好ましい下限は２５μｍ、より好ましい上限は７５μｍである。 The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited because it is set depending on the application, but a preferred lower limit is 1 μm and a preferred upper limit is 100 μm. If the thickness is less than 1 μm, the adhesive tape may be easily peeled off. When the said thickness exceeds 100 micrometers, a thin adhesive tape may not be obtained. The more preferable lower limit of the thickness is 25 μm, and the more preferable upper limit is 75 μm.
本発明の粘着テープは、基材を有するサポートタイプであってもよいし、基材を有さないノンサポートタイプであってもよい。サポートタイプの場合には、基材の片面に上記粘着剤層が形成されていてもよいし、両面に上記粘着剤層が形成されていてもよい。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be a support type having a base material or a non-support type having no base material. In the case of the support type, the pressure-sensitive adhesive layer may be formed on one side of the substrate, or the pressure-sensitive adhesive layer may be formed on both sides.
上記基材は特に限定されないが、樹脂フィルム、樹脂発泡体、紙、不織布、ヤーンクロス布等が挙げられる。
上記樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系樹脂フィルムや、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム等のポリエステル系樹脂フィルムや、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体等の変性オレフィン系樹脂フィルムや、ポリ塩化ビニル系樹脂フィルム、ポリウレタン系樹脂フィルム、シクロオレフィンポリマー樹脂フィルム、アクリル樹脂フィルム、ポリカーボネートフィルム、ＡＢＳ（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン）樹脂フィルム、ポリアミドフィルム、ポリウレタンフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。
上記樹脂発泡体としては、例えば、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、アクリルフォーム、ウレタンフォーム、エチレンプロピレンゴムフォーム等が挙げられる。上記ヤーンクロス布としては、例えば、ポリエチレンフラットヤーンを織ったものや、その表面に樹脂フィルムをラミネートしたもの等が挙げられる。
上記基材は、透明な樹脂からなる基材であってもよく、網目状の構造を有する基材であってもよく、孔が開けられた基材であってもよい。
Although the said base material is not specifically limited, A resin film, a resin foam, paper, a nonwoven fabric, a yarn cloth cloth etc. are mentioned.
Examples of the resin film include polyolefin resin films such as polyethylene films and polypropylene films, polyester resin films such as polyethylene terephthalate (PET) films and polyethylene naphthalate (PEN) films, and ethylene-vinyl acetate copolymers. , Modified olefin resin films such as ethylene-acrylic acid ester copolymers, polyvinyl chloride resin films, polyurethane resin films, cycloolefin polymer resin films, acrylic resin films, polycarbonate films, ABS (acrylonitrile-butadiene-styrene) ) Resin film, polyamide film, polyurethane film, polyimide film and the like.
Examples of the resin foam include polyethylene foam, polypropylene foam, acrylic foam, urethane foam, and ethylene propylene rubber foam. Examples of the yarn cloth cloth include a woven polyethylene flat yarn and a laminate of a resin film on the surface thereof.
The substrate may be a substrate made of a transparent resin, a substrate having a network structure, or a substrate having holes.
上記基材の厚みは用途によって設定されるので特に限定されないが、例えばフィルム基材の場合には１〜１００μｍが好ましく、５〜７５μｍがより好ましい。上記基材の厚みが１μｍ未満であると、粘着テープの機械的強度が低下することがある。上記基材の厚みが１００μｍを超えると、粘着テープの腰が強くなりすぎて、被着体の形状に沿って密着させて貼り合わせることが困難になることがある。 The thickness of the substrate is not particularly limited because it is set depending on the application, but for example, in the case of a film substrate, 1 to 100 μm is preferable, and 5 to 75 μm is more preferable. When the thickness of the substrate is less than 1 μm, the mechanical strength of the adhesive tape may be lowered. If the thickness of the base material exceeds 100 μm, the adhesive tape may become too stiff and it may be difficult to adhere and adhere together along the shape of the adherend.
本発明の粘着テープの製造方法は特に限定されず、例えば、上記（メタ）アクリルポリマーを、必要に応じて上記光重合開始剤、上記気体発生剤、上記光増感剤、上記粘着付与樹脂、上記架橋剤等のその他の配合成分と共に混合し、攪拌して粘着剤溶液を調製し、続いて、この粘着剤溶液を離型処理したＰＥＴフィルムに塗工乾燥させて粘着剤層を形成し、得られた粘着剤層を基材の片面又は両面に転着させる方法、基材に直接塗工乾燥させる方法等が挙げられる。粘着剤溶液を離型処理したＰＥＴフィルムに塗工乾燥させて形成した粘着剤層を、基材なしでそのままノンサポートタイプの粘着テープとしてもよい。 The production method of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is not particularly limited. For example, the (meth) acrylic polymer may be mixed with the photopolymerization initiator, the gas generating agent, the photosensitizer, the tackifying resin, if necessary. Mixing with other compounding ingredients such as the above-mentioned crosslinking agent, stirring to prepare a pressure-sensitive adhesive solution, followed by coating and drying this pressure-sensitive adhesive solution on a release-treated PET film to form a pressure-sensitive adhesive layer, Examples thereof include a method of transferring the obtained pressure-sensitive adhesive layer to one side or both sides of the substrate, a method of directly coating and drying the substrate, and the like. The pressure-sensitive adhesive layer formed by coating and drying the PET film obtained by releasing the pressure-sensitive adhesive solution may be used as a non-support type pressure-sensitive adhesive tape without a substrate.
本発明の粘着テープの用途は特に限定されないが、例えば、半導体ウエハを加工する際のバックグラインドテープ又はダイシング用粘着テープや、反り易い部材（例えば、極薄ガラス基板等の脆弱部材、プラスチックスフィルム、コアレスＦＰＣ基板等）の支持用テープ等に好適に用いることができる。
また、本発明の粘着テープは、例えば、半導体ウエハに薬液処理、加熱処理又は発熱を伴う処理を施す際、或いは、半導体ウエハに電極を有する貫通孔を形成させる際に、半導体ウエハを保護する目的で支持板を貼り合わせる際に用いることができる。これらの処理を終えた後には、光を照射することにより容易に半導体ウエハから支持板を剥離することができる。
The use of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is not particularly limited. For example, a back-grind tape or a dicing pressure-sensitive adhesive tape when processing a semiconductor wafer, a member that easily warps (for example, a fragile member such as an ultrathin glass substrate, a plastic film, etc. , A coreless FPC substrate, etc.) and the like can be suitably used.
The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention protects a semiconductor wafer when, for example, the semiconductor wafer is subjected to a chemical treatment, a heat treatment or a process involving heat generation, or when a through-hole having electrodes is formed in the semiconductor wafer. Can be used when the support plate is bonded together. After these processes are completed, the support plate can be easily peeled from the semiconductor wafer by irradiating light.
本発明によれば、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive tape which can be easily peeled from a to-be-adhered body is provided, reducing adhesive residue.
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
（合成１）
（リビングラジカル重合ポリマーの合成）
Ｔｅｌｌｕｒｉｕｍ（４０メッシュ、金属テルル、アルドリッチ社製）６．３８ｇ（５０ｍｍｏｌ）をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）５０ｍＬに懸濁させ、これに１．６ｍｏｌ／Ｌのｎ−ブチルリチウム／ヘキサン溶液（アルドリッチ社製）３４．４ｍＬ（５５ｍｍｏｌ）を、室温でゆっくり滴下した。この反応溶液を金属テルルが完全に消失するまで攪拌した。この反応溶液に、エチル−２−ブロモ−イソブチレート１０．７ｇ（５５ｍｍｏｌ）を室温で加え、２時間攪拌した。反応終了後、減圧下で溶媒を濃縮し、続いて減圧蒸留して、黄色油状物の２−メチル−２−ｎ−ブチルテラニル−プロピオン酸エチルを得た。
(Synthesis 1)
(Synthesis of living radical polymerization polymer)
Tellurium (40 mesh, metal tellurium, manufactured by Aldrich) 6.38 g (50 mmol) was suspended in tetrahydrofuran (THF) 50 mL, and 1.6 mol / L n-butyllithium / hexane solution (Aldrich) 34 was added thereto. 4 mL (55 mmol) was slowly added dropwise at room temperature. The reaction solution was stirred until the metal tellurium disappeared completely. To this reaction solution, 10.7 g (55 mmol) of ethyl-2-bromo-isobutyrate was added at room temperature and stirred for 2 hours. After completion of the reaction, the solvent was concentrated under reduced pressure, followed by distillation under reduced pressure to obtain a yellow oily ethyl 2-methyl-2-n-butylteranyl-propionate.
アルゴン置換したグローブボックス内で、反応容器中に、上記で得られた２−メチル−２−ｎ−ブチルテラニル−プロピオン酸エチル３８μＬ、Ｖ−６０（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製）２．８ｍｇ、酢酸エチル１ｍＬを投入した後、反応容器を密閉し、反応容器をグローブボックスから取り出した。続いて、反応容器にアルゴンガスを流入しながら、反応容器内に、表１に示すモノマー（２ＥＨＡ：２−エチルヘキシルアクリレート、Ｍａｃ：メタクリル酸、ＨＥＡ：ヒドロキシエチルアクリレート）の合計１００ｇ、重合溶媒として酢酸エチル６６．５ｇを投入し、６０℃で２０時間重合反応を行い、リビングラジカル重合ポリマー含有溶液を得た。
得られたリビングラジカル重合ポリマーをテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）によって５０倍希釈して得られた希釈液をフィルター（材質：ポリテトラフルオロエチレン、ポア径：０．２μｍ）で濾過し、得られた濾液をゲルパミエーションクロマトグラフ（Ｗａｔｅｒｓ社製、２６９０ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎｓ Ｍｏｄｅｌ）に供給して、サンプル流量１ミリリットル／ｍｉｎ、カラム温度４０℃の条件でＧＰＣ測定を行い、ポリマーのポリスチレン換算分子量を測定して、重量平均分子量（Ｍｗ）及び分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）を求めた。カラムとしてはＧＰＣ ＫＦ−８０６Ｌ（昭和電工社製）を用い、検出器としては示差屈折計を用いた。
In a glove box substituted with argon, 38 μL of ethyl 2-methyl-2-n-butylterranyl-propionate obtained above, V-60 (2,2′-azobisisobutyronitrile, 2.8 mg (manufactured by Kosei Pharmaceutical Co., Ltd.) and 1 mL of ethyl acetate were added, the reaction vessel was sealed, and the reaction vessel was taken out of the glove box. Subsequently, while flowing argon gas into the reaction vessel, a total of 100 g of monomers (2EHA: 2-ethylhexyl acrylate, Mac: methacrylic acid, HEA: hydroxyethyl acrylate) shown in Table 1 and acetic acid as a polymerization solvent were introduced into the reaction vessel. 66.5 g of ethyl was added, and a polymerization reaction was performed at 60 ° C. for 20 hours to obtain a living radical polymerization polymer-containing solution.
The obtained living radical polymerization polymer was diluted 50 times with tetrahydrofuran (THF), and the resulting diluted solution was filtered with a filter (material: polytetrafluoroethylene, pore size: 0.2 μm), and the resulting filtrate was gelled. Supply to a permeation chromatograph (manufactured by Waters, 2690 Separations Model), perform GPC measurement under the conditions of a sample flow rate of 1 ml / min and a column temperature of 40 ° C., measure the polystyrene equivalent molecular weight of the polymer, and determine the weight average molecular weight. (Mw) and molecular weight distribution (Mw / Mn) were determined. GPC KF-806L (Showa Denko) was used as the column, and a differential refractometer was used as the detector.
（合成２）
（フリーラジカル重合ポリマーの合成）
反応容器内に、重合溶媒として酢酸エチル５０ｇを加え、窒素でバブリングした後、窒素を流入しながら反応容器を加熱して還流を開始した。続いて、重合開始剤としてＶ−６０（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製）０．１５ｇを酢酸エチルで１０倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に投入し、表１に示すモノマーの合計１００ｇを２時間かけて滴下添加した。滴下終了後、重合開始剤としてＶ−６０（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製）０．１５ｇを酢酸エチルで１０倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に再度投入し、４時間重合反応を行い、フリーラジカル重合ポリマー含有溶液を得た。合成１と同様にして、重量平均分子量（Ｍｗ）及び分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）を求めた。
(Synthesis 2)
(Synthesis of free radical polymerization polymer)
50 g of ethyl acetate was added as a polymerization solvent in the reaction vessel, and after bubbling with nitrogen, the reaction vessel was heated while flowing nitrogen and refluxing was started. Subsequently, a polymerization initiator solution in which 0.15 g of V-60 (2,2′-azobisisobutyronitrile, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) as a polymerization initiator was diluted 10-fold with ethyl acetate was placed in the reaction vessel. A total of 100 g of the monomers shown in Table 1 was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, a polymerization initiator solution in which 0.15 g of V-60 (2,2′-azobisisobutyronitrile, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) as a polymerization initiator was diluted 10 times with ethyl acetate was added to the reaction vessel. The polymerization reaction was carried out for 4 hours to obtain a free radical polymerization polymer-containing solution. In the same manner as in Synthesis 1, the weight average molecular weight (Mw) and the molecular weight distribution (Mw / Mn) were determined.
（実施例１〜６、比較例１〜３）
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応容器を用意し、この反応容器内に、合成１又は２で得た固形分換算で１００重量部のラジカル重合ポリマー含有溶液に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、ラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマー１又は２を含有する酢酸エチル溶液を得た。
更に、（メタ）アクリルポリマー１又は２を含有する酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、表２、表３に示す所定量の光重合開始剤（イルガキュア６５１、ＢＡＳＦ社製）、架橋剤（ＩＰＤＩ：イソホロンジイソシアネート）を添加して攪拌し、不揮発分３０重量％の粘着剤溶液を得た。このとき、実施例４〜６では、表３に示す所定量の気体発生剤（アゾジカルボンアミド）、光増感剤（９，１０−ジグリシジルオキシアントラセン）を添加した。
厚み５０μｍの離型処理したＰＥＴフィルムに、得られた粘着剤溶液を、乾燥後の粘着剤層の厚みが５０μｍとなるように塗工した後、７０℃で１０分間乾燥させ、粘着テープを得た。なお、粘着剤層を保護するために粘着剤層のもう一方の面にも厚み５０μｍの離型処理したＰＥＴフィルムを積層した。
(Examples 1-6, Comparative Examples 1-3)
A reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, and a cooling tube was prepared, and in this reaction vessel, 2-isocyanato was added to 100 parts by weight of the radical polymerization polymer-containing solution in terms of solid content obtained in Synthesis 1 or 2. An ethyl acetate solution containing (meth) acrylic polymer 1 or 2 in which a polymerizable group capable of ultraviolet curing was introduced into the side chain of the radical polymerization polymer was obtained by adding 3.5 parts by weight of ethyl methacrylate.
Furthermore, with respect to 100 parts by weight of the resin solid content of the ethyl acetate solution containing the (meth) acrylic polymer 1 or 2, a predetermined amount of a photopolymerization initiator (Irgacure 651, manufactured by BASF) shown in Tables 2 and 3, A crosslinking agent (IPDI: isophorone diisocyanate) was added and stirred to obtain a pressure-sensitive adhesive solution having a nonvolatile content of 30% by weight. At this time, in Examples 4 to 6, a predetermined amount of gas generating agent (azodicarbonamide) and photosensitizer (9,10-diglycidyloxyanthracene) shown in Table 3 were added.
The obtained adhesive solution was applied to a 50 μm-thick release PET film so that the thickness of the adhesive layer after drying was 50 μm, and then dried at 70 ° C. for 10 minutes to obtain an adhesive tape. It was. In order to protect the pressure-sensitive adhesive layer, a 50 μm-thick release PET film was laminated on the other surface of the pressure-sensitive adhesive layer.
得られた粘着テープを５０ｍｍ×１００ｍｍの平面長方形状に裁断して試験片を作製し、離型フィルムを剥離除去した。試験片を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させた。乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式（１）を用いてゲル分率を算出した。
ゲル分率（重量％）＝１００×（Ｗ２−Ｗ０）／（Ｗ１−Ｗ０） （１）
（Ｗ０：基材の重量、Ｗ１：浸漬前の試験片の重量、Ｗ２：浸漬、乾燥後の試験片の重量）
The obtained adhesive tape was cut into a flat rectangular shape of 50 mm × 100 mm to prepare a test piece, and the release film was peeled off. The test piece was immersed in ethyl acetate at 23 ° C. for 24 hours, then taken out from the ethyl acetate and dried at 110 ° C. for 1 hour. The weight of the test piece after drying was measured, and the gel fraction was calculated using the following formula (1).
Gel fraction (% by weight) = 100 × (W2-W0) / (W1-W0) (1)
(W0: weight of substrate, W1: weight of test piece before immersion, W2: weight of test piece after immersion and drying)
＜評価＞
実施例、比較例で得られた粘着テープについて、下記の評価を行った。結果を表２、表３に示した。
<Evaluation>
The following evaluation was performed about the adhesive tape obtained by the Example and the comparative example. The results are shown in Tables 2 and 3.
（１）鋼板（ＳＵＳ板）に対する糊残りの有無の観察
幅２０ｍｍ×５０ｍｍに切り出した粘着テープの片面の離型処理したＰＥＴフィルムを剥がし、コロナ処理した厚み５０μｍのＰＥＴフィルムで裏打ちした。この粘着テープのもう一方の離型処理したＰＥＴフィルムを剥がし、鋼板（ＳＵＳ板）に貼り、２３℃５０％湿度で一晩養生した後、超高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２となるよう照度を調節して１０秒間照射した。その後、粘着テープを２３℃で９０°の方向に引き剥がした。
◎：糊残りがまったく見られない
○：粘着テープを剥がした面にわずかに曇りが見られる
×：糊残りあり
(1) Observation of presence or absence of adhesive residue on steel plate (SUS plate) The PET film on one side of the adhesive tape cut out to a width of 20 mm x 50 mm was peeled off and backed with a corona-treated PET film having a thickness of 50 µm. The other release-treated PET film of this adhesive tape is peeled off, attached to a steel plate (SUS plate), cured at 23 ° C. and 50% humidity overnight, and then irradiated with ultraviolet light of 365 nm using an ultrahigh pressure mercury lamp with an irradiation intensity of 40 mW. Irradiation was adjusted to be / cm 2 and irradiation was performed for 10 seconds. Thereafter, the adhesive tape was peeled off at 23 ° C. in the direction of 90 °.
A: No adhesive residue is seen
○: Slight cloudiness is observed on the surface from which the adhesive tape has been peeled.
本発明によれば、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive tape which can be easily peeled from a to-be-adhered body is provided, reducing adhesive residue.
Claims (3)
前記（メタ）アクリルポリマーは、有機テルル重合開始剤を用いたリビングラジカル重合により、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５〜２．５のリビングラジカル重合ポリマーを得る重合工程と、前記重合工程により得られたリビングラジカル重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させる重合性基導入工程とからなる方法により得られたものである
ことを特徴とする粘着テープ。 A pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer, wherein the pressure-sensitive adhesive layer introduces a polymerizable group capable of ultraviolet curing into a side chain of a living radical polymerization polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5. the (meth) containing acrylic polymer, the gel fraction of the pressure-sensitive adhesive layer is 1 wt% or more state, and are 70 wt% or less,
The (meth) acrylic polymer is obtained by copolymerizing a monomer mixture containing a (meth) acrylic monomer having a functional group by living radical polymerization using an organic tellurium polymerization initiator to obtain a molecular weight distribution (Mw / Mn). A polymerization step for obtaining a living radical polymerization polymer of 05 to 2.5, and a living radical polymerization polymer obtained by the polymerization step have a polymerizable group capable of reacting with the functional group and capable of ultraviolet curing. A pressure-sensitive adhesive tape obtained by a method comprising a polymerizable group-introducing step of reacting a compound .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013269986A JP6358798B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Adhesive tape |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013269986A JP6358798B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Adhesive tape |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018115570A Division JP6539383B2 (en) | 2018-06-18 | 2018-06-18 | Adhesive tape |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015124300A JP2015124300A (en) | 2015-07-06 |
| JP6358798B2 true JP6358798B2 (en) | 2018-07-18 |
Family
ID=53535256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013269986A Active JP6358798B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Adhesive tape |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6358798B2 (en) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7137315B2 (en) * | 2018-02-20 | 2022-09-14 | 大塚化学株式会社 | Radiation-curable adhesive composition and adhesive tape |
| WO2020121715A1 (en) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 日東電工株式会社 | Pressure-sensitive adhesive composition and pressure-sensitive adhesive sheet |
| JP2021024990A (en) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 日東電工株式会社 | Detachment method of adherend and adhesive composition |
| JP2020097718A (en) * | 2018-12-13 | 2020-06-25 | 日東電工株式会社 | Adhesive composition and pressure sensitive adhesive sheet |
| JP2021024991A (en) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 日東電工株式会社 | Detachment method of adherend and adhesive composition |
| CN110408351A (en) * | 2019-06-28 | 2019-11-05 | 昆山博益鑫成高分子材料有限公司 | A kind of UV visbreaking adhesive resistant to high temperature and protection membrane preparation method |
| WO2022202160A1 (en) * | 2021-03-26 | 2022-09-29 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive adhesive and method for processing workpiece |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2601956B2 (en) * | 1991-07-31 | 1997-04-23 | リンテック株式会社 | Removable adhesive polymer |
| JP2002371262A (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Nitto Denko Corp | Self-adhesive for wafer-processing self-adhesive sheet and wafer-processing self-adhesive sheet |
| JP2004026911A (en) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Nitto Denko Corp | Pressure-sensitive adhesive composition and its manufacturing method |
| JP4606010B2 (en) * | 2003-04-30 | 2011-01-05 | 日東電工株式会社 | Radiation-curable re-peelable water-dispersible acrylic pressure-sensitive adhesive composition and radiation-cured re-peelable acrylic pressure-sensitive adhesive sheet |
| JP4367769B2 (en) * | 2004-04-13 | 2009-11-18 | 日東電工株式会社 | Adhesive sheet for holding and protecting semiconductor wafer and method for grinding back surface of semiconductor wafer |
| JP2006202926A (en) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Sekisui Chem Co Ltd | Dicing tape |
| WO2007119884A1 (en) * | 2006-04-14 | 2007-10-25 | Otsuka Chemical Co., Ltd. | Resin composition and heat-resistant adhesive |
| JP2011184678A (en) * | 2009-09-17 | 2011-09-22 | Kaneka Corp | Active energy ray-curable composition |
| JP5975621B2 (en) * | 2011-11-02 | 2016-08-23 | リンテック株式会社 | Dicing sheet and semiconductor chip manufacturing method |
| WO2013081145A1 (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-06 | シャープ株式会社 | Laminate |
-
2013
- 2013-12-26 JP JP2013269986A patent/JP6358798B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015124300A (en) | 2015-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6358798B2 (en) | Adhesive tape | |
| JP6539383B2 (en) | Adhesive tape | |
| JP6251566B2 (en) | Adhesive tape | |
| JP5779696B2 (en) | Adhesive tape | |
| CN105008481A (en) | Adhesive sheet, and production method for processed device-related members | |
| JP5639438B2 (en) | Temperature sensitive adhesive | |
| WO2017110839A1 (en) | Adhesive composition and adhesive tape | |
| JP2023155293A (en) | Adhesive tape | |
| CN113165352A (en) | Optical laminated film with adhesive layer and image display device | |
| JP6352219B2 (en) | Adhesive tape | |
| CN109852267B (en) | Adhesive sheet | |
| JP6427251B2 (en) | Adhesive tape | |
| JP2016008296A (en) | Surface protection film for optical members | |
| JP2021091892A (en) | Adhesive tape | |
| JP6234824B2 (en) | Electronic component / glass substrate processing adhesive composition, electronic component / glass substrate processing adhesive tape, and electronic component / glass substrate manufacturing method | |
| KR20210036295A (en) | Adhesive tape | |
| JPWO2019044623A1 (en) | Adhesive composition, adhesive tape and method for protecting semiconductor device | |
| JP2021091891A (en) | Adhesive tape, and method for producing semiconductor wafer | |
| JP2007051293A (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
| JP6511115B2 (en) | Pressure-sensitive adhesive composition for processing electronic components and glass substrates, pressure-sensitive adhesive tape for processing electronic components and glass substrates, and method for producing electronic components and glass substrates | |
| JP6799186B1 (en) | Curable Adhesive Composition, Adhesive Tape, Semiconductor Wafer Processing Method, and Semiconductor Device Manufacturing Method | |
| JP6568373B2 (en) | Adhesive composition and adhesive tape | |
| JP6174993B2 (en) | Double-sided adhesive tape for graphite sheets | |
| JP6856799B1 (en) | Silicone-based graft copolymers, adhesive compositions and adhesive tapes | |
| JP2018002999A (en) | Adhesive tape and double-sided adhesive tape for fixing abrasive material |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160901 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170516 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170712 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171218 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180522 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180619 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6358798 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |