JP6348790B2 - リング型蒸着源 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施形態1に係るリング型蒸着源を示す図で、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A’線断面図、(c)は(a)のB−B’線断面図である。
また図3は本発明の実施形態2による蒸着源を説明するための概略図である。図3において、図1と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。
図3において、5は蒸着に使用するホスト材料の蒸気を発生させるホスト蒸気発生部(坩堝及びヒーターなどを備えている)、6は蒸着に使用するドーパント材料の蒸気を発生させるドーパント蒸気発生部(坩堝及びヒーターなどを備えている)、7は前記ホスト蒸気発生部5からの蒸気と前記ドーパント蒸気発生部6からの蒸気とを一定の比率で混合させる混合部、8は前記ホスト蒸気発生部5からの蒸気を前記混合部7に供給する供給管、8aは前記供給管8による流路の途中に配置された前記ホスト蒸気の供給量を調整するバルブ、9は前記ドーパント蒸気発生部6からの蒸気を前記混合部7に供給する供給管、9aは前記供給管9による流路の途中に配置された前記ドーパント蒸気の供給量を調整するバルブである。
次に図4は本発明の実施形態3に係るリング型蒸着源を示す図で、(a)は平面図、(b)及び(c)はその断面図である。図4において、11は断面(基板面と直交する方向の断面)が略円形のパイプにより構成され平面(基板側から見た平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のホスト蒸気放出部、11aは前記ホスト蒸気放出部11の内部にある平面(基板側から見た平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のリング状空洞部、12は前記ホスト蒸気放出部11の被処理基板(図示省略)と対向する側に形成された複数の放出口、13は前記断面が略円形のパイプにより構成された前記平面が略円形リング状又は略ドーナツ状のドーパント蒸気放出部、13aは前記ドーパント蒸気放出部13の内部にある前記平面が略円形リング状又は略ドーナツ状のリング状空洞部、14は前記ドーパント蒸気放出部13の被処理基板(図示省略)と対向する側に形成された複数の放出口、15はホスト材料を加熱して蒸気を発生させるホスト蒸気発生部、16は前記ホスト蒸気発生部15で発生したホスト蒸気を前記リング状空洞部11a内に供給する供給管、17はドーパント材料を加熱して蒸気を発生させるドーパント蒸気発生部、18は前記ドーパント蒸気発生部17で発生したドーパント蒸気を前記リング状空洞部13a内に供給する供給管である。
次に図5は本発明の実施形態4に係るリング型蒸着源を構成する蒸気放出部を示す断面図である。図5において、21は平面(基板側と平行な平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のホスト蒸気放出部、21aは前記ホスト蒸気放出部21の内部にある平面(基板の成膜面と平行な平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のリング状空洞部、22は前記ホスト蒸気放出部21の被処理基板(図示省略)と対向する側に形成された複数の放出口、23は平面(基板の成膜面と平行な平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のドーパント蒸気放出部、23aは前記ドーパント蒸気放出部23の内部にある平面(基板の成膜面と平行な平面)が略円形リング状又は略ドーナツ状のリング状空洞部、24は前記ドーパント蒸気放出部23の被処理基板(図示省略)と対向する側に形成された複数の放出口、である。
次に本発明の実施形態5について説明する。本実施形態5は前記実施形態1と基本的構成は同一であるので、以下では異なる部分についてのみ説明する。図6は本発明の実施形態5に係る蒸着源を構成する蒸気放出部31の一部を示す断面図である。図6において、33は、リング状空洞部31a内の蒸気を放出する放出口32の一部を形成するために、前記蒸気放出部31の外周面に設けられた放出口形成部である。本実施形態5においては、前記蒸気放出部31の基板30と対向する部分に形成される複数の各放出口32の基板30側の一部が、それぞれ、前記蒸気放出部31の外周面に設けられた、図6に示すような断面形状を有する放出口形成部33により形成されている。
次に本発明の実施形態6について説明する。本実施形態6は前記実施形態1と基本的構成は同一であるので、以下では異なる部分についてのみ説明する。図7は本発明の実施形態6に係る蒸着源を構成する蒸気放出部41の一部を示す断面図である。図7において、43は、リング状空洞部41a内の蒸気を放出する放出口42の一部を形成するために、前記蒸気放出部41の外周面に設けられた放出口形成部である。すなわち、本実施形態6においては、前記蒸気放出部41の基板40と対向する部分に形成される複数の各放出口42の基板40側の一部が、それぞれ、前記蒸気放出部41の外周面に設けられた、図7に示すような断面形状を有する放出口形成部43により形成されている。
次に本発明の実施形態7に係るリング型蒸着源を説明する。本実施形態7は前記実施形態1と基本的構成は同一であるので、以下では異なる部分についてのみ説明する。
1a,11a,13a,21a,23a,31a,41a リング状空洞部
2,12,14,32,42 放出口
3 蒸気発生部
4,16,18 供給管
5,15 ホスト蒸気発生部
6,17 ドーパント蒸気発生部
7 混合部
8a,9a,15a,17a バルブ
11,21 ホスト蒸気放出部
13,23 ドーパント蒸気放出部
30,40 基板
33,43 放出口形成部
51 ヒーター
52,53,54 リフレクター
52a,53a,54a リフレクターの内周壁面
Claims (3)
- 坩堝及び加熱手段を備えており前記坩堝内に収容された蒸着材料を加熱し蒸発又は昇華させて蒸気を発生させ当該蒸気を前記蒸気放出部内に供給する蒸気発生部と、前記蒸気発生部と気密に接続されており前記蒸気発生部からの蒸気を前記基板に向けて放出する蒸気放出部とを備えたリング型蒸着源であって、
前記蒸気放出部は、それぞれ基板面と平行な平面が略円形のリング状又はドーナツ状に形成され、且つそれぞれ互いに連通しないように形成された複数のリング状空洞部を備えており、
前記複数のリング状空洞部には、それぞれ、前記各リング状空洞部内の蒸気を前記基板に向けて放出する複数の放出口が、前記リング状空洞部の基板と対向する側に、前記リング状空洞部の周方向に沿って、配置されており、
前記複数のリング状空洞部には、それぞれ互いに異なる材料の蒸気が供給されるようになっており、且つ、前記複数のリング状空洞部にそれぞれ形成された各放出口は、それらの各中心が、前記複数のリング状空洞部の全体に渡り、基板側から見て同じ1つの円周上に沿って並ぶように、形成されていることを特徴とするリング型蒸着源。 - ホスト蒸気放出用のリング状空洞部に形成された複数の放出口と、ドーパント蒸気放出用のリング状空洞部に形成された複数の放出口とは、それらの各中心が、それらの全体に渡り、基板側から見て同じ1つの円周上に沿って並ぶように形成されている、請求項1に記載のリング型蒸着源。
- 坩堝及び加熱手段を備えており前記坩堝内に収容された蒸着材料を加熱し蒸発又は昇華させて蒸気を発生させ当該蒸気を前記蒸気放出部内に供給する蒸気発生部と、前記蒸気発生部と気密に接続されており前記蒸気発生部からの蒸気を前記基板に向けて放出する蒸気放出部とを備えたリング型蒸着源であって、
前記蒸気放出部の外周側に、前記蒸気放出部の外側面に対向又は接触するように配置されたヒーターと、
前記ヒーターの外周側に、前記ヒーターの外周側の略全体を覆うように配置された第1リフレクターと、
前記第1リフレクターの外周側に、前記第1リフレクターの外周側の略全体を覆うように配置され、前記ヒーターの外周側を、前記第1リフレクターと共に前記第1リフレクターの外周側から多重的又は多層的に覆うように、配置された第2リフレクターと
が備えられていることを特徴とするリング型蒸着源。
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