JP6344122B2 - 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法 - Google Patents
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
110 正極用の位置補正/搬送ステージ装置
111 正極用アライメントステージ(ステージ)
112 正極用カメラ(撮像手段)
114 正極用下側照明装置(照明手段)
114a 光源
118 透明板
118a 吸引経路(吸引溝)
119 透過板
119a 吸引孔
130 積層ステージ
140 アーム部
150 アライメントマーク
N 電極箔(負極の極板)
P 電極箔(正極の極板)
S セパレータ
P’ 個装セパレータ
Claims (5)
- 熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを吸引保持しながら、前記個装セパレータの位置の補正及び搬送を行うステージを有する位置補正/搬送ステージ装置であって、
前記ステージの下部に、X軸方向及びY軸方向の移動、かつXY平面内での回転により、前記個装セパレータの位置を補正する駆動装置を有し、
前記ステージの上部に、前記個装セパレータの全面を吸着する吸引溝が設けられた透明板と、
前記透明板に積層されるとともに複数の吸引孔が設けられた、光を拡散する拡散板として機能する半透明の透過板と、
前記透過板の下方から光を照射する照明手段と、
光が照射された状態で前記ステージの上側から前記個装セパレータを撮像する撮像手段と、
撮像された画像に基づいて、前記個装セパレータの位置ずれ量を算出する制御手段と
を備え、
前記個装セパレータの位置ずれ量に基づいて、前記駆動装置により前記個装セパレータの位置を補正することを特徴とする位置補正/搬送ステージ装置。 - 前記透過板に複数のアライメントマークを付与することを特徴とする請求項1に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
- 前記制御手段は、前記電極箔の位置及び前記熱シールの位置を認識し、電極箔の位置ずれ量、及び電極箔と熱シールとの位置関係を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
- 前記制御手段は、前記熱シールの状態の品質検査をすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
- 前記透過板と同一の形状であって、上面には熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを固定することが可能な粘着面を有するオフセット量算出用透過板を積層ステージ上に仮固定し、前記個装セパレータを搭載する工程と、
前記オフセット量算出用透過板を、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の位置補正/搬送ステージ装置の前記透過板と交換する工程と、
撮像手段を用いて、前記オフセット量算出用透過板上に搭載された個装セパレータを撮像し、オフセット量を算出することを特徴とする位置補正/搬送ステージ装置の補正方法。
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