JP6344122B2 - 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法 - Google Patents

位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6344122B2
JP6344122B2 JP2014156078A JP2014156078A JP6344122B2 JP 6344122 B2 JP6344122 B2 JP 6344122B2 JP 2014156078 A JP2014156078 A JP 2014156078A JP 2014156078 A JP2014156078 A JP 2014156078A JP 6344122 B2 JP6344122 B2 JP 6344122B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
separator
plate
position correction
individual separator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014156078A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016033868A (ja
Inventor
二郎 上浦
二郎 上浦
英康 上川
英康 上川
貞雄 西田
貞雄 西田
武 山元
武 山元
浩一郎 藤分
浩一郎 藤分
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2014156078A priority Critical patent/JP6344122B2/ja
Publication of JP2016033868A publication Critical patent/JP2016033868A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6344122B2 publication Critical patent/JP6344122B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Secondary Cells (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Registering Or Overturning Sheets (AREA)

Description

本発明は、極板、セパレータ等の蓄電用材料で構成されたワークを積層ステージ上に順次積載する位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法に関する。
近年自動車用電池、太陽電池、電子機器用電池等に積層型のリチウム電池が用いられる機会が増えている。積層型電池は、正極の極板、セパレータ、負極の極板、セパレータ、・・・の順に交互に積層される。
特許文献1に、従来の位置補正/搬送ステージ装置(極板積載装置)が開示されている。従来の位置補正/搬送ステージ装置は、アライメントステージが平面方向に移動及び/又は回転することにより正極の極板、負極の極板を移動及び/又は回転させて適正な位置に調整する。第1移載アーム及び第2移載アームが、位置を調整された正極の極板、負極の極板を積載ステージへと移動するべく保持する。
第1移載アーム及び第2移載アームは、回転軸を中心として互いに90度の角度をなし直交するよう構成され、例えば第1移載アームが、正極用アライメントステージから積載ステージへと正極の極板を保持して移動すると同時に、第2移載アームが、積載ステージから負極用アライメントステージへと移動する。これにより、積載ステージに積載する極板を時間のロスを抑制しながら積層することができる。
特開2012−174388号公報
特許文献1では、積層ステージ(積載ステージ)は、ワークを搬送する搬送部と、搬送部の搬送方向の両側に設けられた光透過板を備えている。したがって、光透過板が存在しない搬送部分については、透過照明を用いて電極周囲の溶着によるセパレータの溶融状態を検査することができないという問題点があった。
また、光透過板を設けてある位置では、搬送するためのセパレータを吸引することがないので、電極周囲の溶着を検査できた場合であっても、電極端の誤認、溶着位置の認識に誤差が生じやすく、積層型電池の完成精度を高めることが困難であるという問題点もあった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、電極箔やセパレータの位置の認識、溶着位置の認識等を高い精度で行うことが可能な位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明に係る位置補正/搬送ステージ装置は、熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを吸引保持しながら、前記個装セパレータの位置の補正及び搬送を行うステージを有する位置補正/搬送ステージ装置であって、前記ステージの下部に、X軸方向及びY軸方向の移動、かつXY平面内での回転により、前記個装セパレータの位置を補正する駆動装置を有し、前記ステージの上部に、前記個装セパレータの全面を吸着する吸引溝が設けられた透明板と、前記透明板に積層されるとともに複数の吸引孔が設けられた、光を拡散する拡散板として機能する半透明の透過板と、前記透過板の下方から光を照射する照明手段と、光が照射された状態で前記ステージの上側から前記個装セパレータを撮像する撮像手段と、撮像された画像に基づいて、前記個装セパレータの位置ずれ量を算出する制御手段とを備え、前記個装セパレータの位置ずれ量に基づいて、前記駆動装置により前記個装セパレータの位置を補正することを特徴とする。
上記構成では、ステージの上部に、個装セパレータの全面を吸着する吸引溝が設けられた透明板と、透明板に積層されるとともに複数の吸引孔が設けられた、光を拡散する拡散板として機能する半透明の透過板とを備えているので、透過板が拡散板として機能し、照明の明るさの差を低減することができ、電極箔の位置、個装セパレータの位置等を誤認識する可能性を低減することができる。また、電極箔の位置に基づいて個装セパレータの積載位置のずれを補正することも可能となる。
また、本発明に係る位置補正/搬送ステージ装置は、前記透過板に複数のアライメントマークを付与することが好ましい。
上記構成では、透過板に複数のアライメントマークを付与することにより、アライメントマークを基準として電極箔の位置、個装セパレータの位置等を認識することができ、撮像手段及び/又はステージが移動中であっても、電極箔の位置、個装セパレータの位置等を正しく認識し、位置ずれを補正することが可能となる。
また、本発明に係る位置補正/搬送ステージ装置は、前記制御手段は、前記電極箔の位置及び前記熱シールの位置を認識し、電極箔の位置ずれ量、及び電極箔と熱シールとの位置関係を算出することが好ましい。
上記構成では、電極箔の電極の位置及び熱シールの位置を認識し、電極箔の位置ずれ量、及び電極箔と熱シールとの位置関係を算出することにより、熱シールが正しく行われているか否かを検査するとともに、位置ずれを補正することが可能となる。
また、本発明に係る位置補正/搬送ステージ装置は、前記制御手段は、前記熱シールの状態の品質検査をすることが好ましい。
上記構成では、電極箔と熱シールとの異常接近、シ―ルこての先端の欠損、シール温度の異常等に起因するシール形状の異常等、熱シール状態の品質検査を行うことができる。
次に、上記目的を達成するために本発明に係る位置補正/搬送ステージ装置の補正方法は、前記透過板と同一の形状であって、上面には熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを固定することが可能な粘着面を有するオフセット量算出用透過板を積層ステージ上に仮固定し、前記個装セパレータを搭載する工程と、前記オフセット量算出用透過板を、第1乃至第4発明のいずれか1つの位置補正/搬送ステージ装置の前記透過板と交換する工程と、撮像手段を用いて、前記オフセット量算出用透過板上に搭載された個装セパレータを撮像し、オフセット量を算出することを特徴とする。
上記構成では、個装セパレータを積層ステージ上に搭載する一定位置と、個装セパレータが本来搭載されるべき搭載目標位置とを一致させるためのオフセット量を算出することができ、両者を一致させることにより、高い精度で積層型電池を製造することが可能となる。
上記構成によれば、ステージの上部に、個装セパレータの全面を吸着する吸引溝が設けられた透明板と、透明板に積層されるとともに複数の吸引孔が設けられた、光を拡散する拡散板として機能する半透明の透過板とを備えているので、透過板が拡散板として機能し、照明の明るさの差を低減することができ、電極箔の位置、個装セパレータの位置等を誤認識する可能性を低減することができる。また、電極箔の位置に基づいて個装セパレータの積載位置のずれを補正することも可能となる。
本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置を含む積層型電池製造装置の構成の一部を示す上面から見た部分模式図である。 本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置を含む積層型電池製造装置の構成の一部を示す斜視図である。 本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置の主要部の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置の構成を示す部分斜視図である。 本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置の熱シールの位置を確認する方法の例示図である。 本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置の正極用アライメントステージ近傍の構成を示す模式断面図である。
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置を含む積層型電池製造装置の構成の一部を示す上面から見た部分模式図であり、図2は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置を含む積層型電池製造装置の構成の一部を示す斜視図である。
図1及び図2に示すように、本実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置を含む積層型電池製造装置の構成の一部は、ステージ間移送装置100と、ステージ間移送装置100の右側に配置された第1の搬送装置200と、ステージ間移送装置100の左側に配置された第2の搬送装置300と、ステージ間移送装置100の正面側に配置された第3の搬送装置400とを備えている。すなわち、ステージ間移送装置100の周囲において、第1の搬送装置200、第3の搬送装置400、第2の搬送装置300の順でそれぞれ90度の角度で配置されている。
第1の搬送装置200は、図1に示すように、熱シールされたセパレータSで電極箔(正極の極板)Pが包装された個装セパレータP’を連続して1枚ずつ搬送するベルトコンベアであり、正極の極板PをセパレータSとともにステージ間移送装置100に順次搬送する。
第2の搬送装置300は、図1に示すように、電極箔(負極の極板)Nを連続して1枚ずつ搬送するベルトコンベアであり、負極の極板Nをステージ間移送装置100に順次搬送する。
第3の搬送装置400は、図1に示すように、セパレータSで包装された電極箔(正極の極板)P及び電極箔(負極の極板)Nが所定枚数積載されてなる極板積層群Gを別工程に搬送するベルトコンベアであり、ステージ間移送装置100が形成した極板積層群Gを順次別工程に搬送する。
ステージ間移送装置100は、第1の搬送装置200から搬送されてきたセパレータSで包装された電極箔(正極の極板)Pと、第2の搬送装置300から搬送されてきた電極箔(負極の極板)Nとを交互に順次積載して、電極箔(正極の極板)P及び電極箔(負極の極板)NをセパレータSを介して積層状態に積載した極板積層群Gを形成し、極板積層群Gを第3の搬送装置400に順次送り出す。
なお、本実施の形態では、電極箔(正極の極板)Pとして、例えばアルミニウム箔の両面にコバルト酸リチウム等の溶液を塗布したものを用いる。これにより、電極箔(正極の極板)Pは、光を遮蔽する性質(遮光性)を有する。また、以下の説明においては、電極箔(正極の極板)PをセパレータSで包装したもの全体を「個装セパレータP’」という。
また、電極箔(負極の極板)Nとして、例えば銅箔の両面に炭素材料等の溶液を塗布したものを用いる。これにより、電極箔(負極の極板)Nも光を遮蔽する性質(遮光性)を有する。
また、セパレータSとしては、例えばPP(ポリプロピレン樹脂)、PE(ポリエチレン樹脂)等の絶縁フィルムを用いる。これにより、セパレータSは光を透過する性質(透光性)を有する。
ステージ間移送装置100は、図2に示すように、第1の搬送装置200から搬送された個装セパレータP’が載置される正極用の位置補正/搬送ステージ装置110と、第2の搬送装置300から搬送された負極の極板Nが載置される負極用の位置補正/搬送ステージ装置120と、個装セパレータP’及び電極箔(負極の極板)Nが積層される積層ステージ130と、正極用の位置補正/搬送ステージ装置110及び負極用の位置補正/搬送ステージ装置120に載置された個装セパレータP’及び電極箔(負極の極板)Nを交互に順次吸引保持し、積層ステージ130に移送して積層ステージ130上において順次積層するアーム部140とを備える。
アーム部140は、図2に示すように、装置中心に垂直に立設された回転軸141と、回転軸141の周面に設けられた第1のアーム部材142及び第2のアーム部材143とで構成されている。
回転軸141は、図示しない回転軸用駆動モータにより90度の角度で揺動回転する。回転軸141の揺動回転に追随して、第1のアーム部材142及び第2のアーム部材143を揺動回転させ、個装セパレータP’又は電極箔(負極の極板)Nを、それぞれ正極用の位置補正/搬送ステージ装置110又は負極用の位置補正/搬送ステージ装置120から積層ステージ130まで移動させる。
正極用の位置補正/搬送ステージ装置110には、第1の搬送装置200から搬送されてきた個装セパレータP’が載置される正極用アライメントステージ(ステージ)111、正極用アライメントステージ111の上方に設けられた正極用カメラ(撮像手段)112、正極用アライメントステージ111の上方に設けられた正極用上側照明装置(図示せず)、及び正極用アライメントステージ111の下方に設けられた正極用下側照明装置(照明手段)114を備えている。
図3は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置110の主要部の構成を示す模式図である。図3に示すように、正極用アライメントステージ111は、X軸方向搬送機(駆動装置)115、Y軸方向搬送機(駆動装置)116、XY平面内において回転させるθ方向搬送機(駆動装置)117に接続されており、図示しない制御装置からの指示に応じて、正極用アライメントステージ111のX軸方向の位置、Y軸方向の位置、回転角度θを調整することができる。
図4は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置110の構成を示す部分斜視図である。図4に示すように、本実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置110は、正極用アライメントステージ111の上に、吸引経路(吸引溝)118aを有する透明板118、半透明の透過板119を順次積層している。また、図示はしていない制御装置(制御手段)が、X軸方向搬送機115、Y軸方向搬送機116、θ方向搬送機117に接続されており、正極用アライメントステージ111のX軸方向の位置、Y軸方向の位置、回転角度θを調整する補正信号を、それぞれX軸方向搬送機115、Y軸方向搬送機116、θ方向搬送機117へ送信する。
具体的には、正極用アライメントステージ111は、点光源又は線光源からなる正極用下側照明装置(照明手段)114を備えている。正極用下側照明装置114により下方から光を照射された状態で、正極用アライメントステージ111の上部から個装セパレータP’を正極用カメラ(撮像手段)112で撮像する。制御装置は、正極用カメラ112で撮像された画像に基づいて、個装セパレータP’内の電極箔の位置を認識し、X軸方向、Y軸方向、θ方向の位置ずれ量を算出して、それぞれ補正する補正信号をX軸方向搬送機115、Y軸方向搬送機116、θ方向搬送機117へ送信する。
なお、制御装置は、電極箔(正極の極板)P、電極箔(負極の極板)Nの位置及び熱シールの位置を撮像された画像に基づいて認識し、電極箔の位置ずれ量、及び電極箔と熱シールとの位置関係を算出し、位置ずれを補正することが可能となる。また、撮像された画像に基づいて、電極箔と熱シールとの異常接近、シ―ルこての先端の欠損、シール温度の異常等に起因するシール形状の異常等、熱シール状態の品質検査を行うことができる。
図5は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置110の熱シールの位置を確認する方法の例示図である。図5において、中央部に記載された矩形領域内は、電極箔(正極の極板)Pの左下隅を拡大して表示している。例えば電極箔(正極の極板)Pの左下隅において、シール孔501と電極箔(正極の極板)Pとの位置関係を、撮像された画像に基づいて算出することで、熱シールの位置にずれが生じているか否か確認することができ、ずれ量も算出することができる。また、しわ502が生じているか否かも判断することができ、積層時に周辺部の厚みが大きくなる現象の発生を未然に把握することができる。
本実施の形態では、光透過板として、吸引経路(吸引溝)118aを有する透明板118の上に、半透明の透過板119を備えている。図4では、透過板119が透明状態で記載されているが、実際には半透明であるので、透明板118の吸引経路118aは上方から視認することができない。
透明板118は、透光性を有する板状部材であり、例えばガラス板、アクリル板等で構成されている。吸引経路118aが個装セパレータP’が載置される領域の全体を覆うように配置されているので、個装セパレータP’の全面を吸着することができる。
透過板119は、多孔板として形成されており、複数の小さな吸引孔119aを有している。また、透過板119は、取り外し可能な構成となっている。
図6は、本発明の実施の形態に係る位置補正/搬送ステージ装置110の正極用アライメントステージ111近傍の構成を示す模式断面図である。図6(a)及び(b)は従来の構成を、図6(c)は本実施の形態における構成を、それぞれ示している。
図6(a)に示すように、従来は、正極用アライメントステージ111に正極用下側照明装置114の光源114a、例えばLED照明等が一定間隔で配置されており、その上に吸引経路118aを有する透明板118が設置されている。透明板118には、複数の小さな吸引孔118bが設けられている。この場合、光源114aの配列に応じて光量のムラが生じる。つまり、図6(a)の一番上の光具合を示す模式図からもわかるように、光源114aが存在する部分のみ明るく見えるため、電極、セパレータ等の位置を誤認識する要因となりやすい。
次に図6(b)に示すように、正極用アライメントステージ111に正極用下側照明装置114の光源114a、例えばLED照明等が一定間隔で配置されており、その上に吸引経路119bを有する半透明板である透過板119を設置することも多い。この場合、図6(b)の一番上の光具合を示す模式図からもわかるように、光源114aの配列による光量のムラは生じないものの、吸引経路119bが存在する部分としない部分とでは光の透過量が異なるため、正極用カメラ112で撮像された画像上で表示される色も相違する。したがって、電極、セパレータ、熱シールの溶着位置等を誤認識する要因となりやすい。
そこで、本実施の形態では、図6(c)に示すように、吸引経路118aを有する透明板118の上に、複数の小さな吸引孔119aを備える半透明の透過板(半透明板)119を積層した構造となっている。この場合、透明板118に吸引経路118aを設けているので、吸引経路118aが存在する部分としない部分とで光透過量に差が生じにくく、電極、セパレータ等の位置を誤認識する可能性が低減する。また、半透明板である透過板119が光を拡散する拡散板として機能するので、図6(c)の一番上の光具合を示す模式図からもわかるように、光源114aが存在する部分としない部分とにおける明るさの差が低減され、結果として電極、セパレータ、熱シールの溶着位置等を誤認識する可能性も低くなる。
さらに、吸引経路118a及び照明範囲の両方が個装セパレータP’の全面にわたっていることから、個装セパレータP’全体を吸引して固定した状態で、全周を照明で照らしながら正極用カメラ112で撮像することができる。したがって、電極位置と溶着位置とを同時に全面認識することができる。
なお、透過板119に設けた吸引孔119aは、電極位置と溶着位置とを横断しないよう設けることが好ましい。電極位置と溶着位置とを横断するよう設けた場合、電極のエッジ、溶着位置を誤認識する要因になるとともに、個装セパレータP’の吸引効率が低下するからである。
また、透過板119に複数のアライメントマーク150を付与することが好ましい。撮像された画像中のアライメントマーク150を基準にして、電極、電極のエッジ、溶着位置等を認識するので、正極用カメラ112及び/又は正極用アライメントステージ111が移動中であっても位置を認識することができ、位置ずれを補正することが可能となる。
さらに、個装セパレータP’を積層する積層ステージ130へ、正極用アライメントステージ111から最初の1枚の透過板119を移動させ、個装セパレータP’を積載するためのオフセット量を算出しておくことが好ましい。例えば、正極用カメラ112を用いて正極用アライメントステージ111上の個装セパレータP’を認識、演算、位置ずれの補正を行うことで、個装セパレータP’を積層ステージ130上の一定位置に搭載することができる。
しかし、個装セパレータP’が本来搭載されるべき位置(以下、搭載目標位置)と必ずしも一致しているとは限らない。積層ステージ130、正極用アライメントステージ111、積層同期ハンドラ(図示せず)等の構成部品それぞれの加工及び組み立てが、公差の範囲内の誤差を含むことが原因である。
一定位置と搭載目標位置とを一致させるためには、搭載位置をオフセットさせる必要がある。オフセット量を算出するために、被搭載側(本実施の形態では積層ステージ130)に搭載した個装セパレータP’の位置を、オフラインの検査装置で搭載目標位置との位置ずれ量として測定することは多い。しかし、別個の検査装置が必要になるという問題がある。これに対して、積層ステージ130上に透過板(半透明板)119と同形状の半透明板を搭載できるようにしておくことで、以下の手順でオフセット量を算出することができる。
まず、積層ステージ130上に半透明板を設置する。半透明板上に例えば両面テープを貼り付け、位置ずれを補正した個装セパレータP’を搭載する。正極用アライメントステージ111から透過板119を取り外し、個装セパレータP’が搭載された状態の半透明板を積層ステージ130から取り外す。個装セパレータP’が搭載された半透明板を正極用アライメントステージ111に搭載し、半透明板上の個装セパレータP’を再度認識して補正量を算出する。算出された補正量は、位置ずれを補正してもなお搭載目標位置からずれている量を示しており、これがオフセット量である。
以上のように本実施の形態によれば、正極用アライメントステージ111の上部に、個装セパレータP’の全面を吸着する吸引経路118aを設けた透明板118と、小さな吸引孔119aを複数有し、取り外し可能な半透明の透過板119とを備えているので、透明板119が光の拡散板として機能し、照明の明るさの差を低減することができ、電極の位置、個装セパレータP’の位置等を誤認識する可能性を低減することができる。また、電極の位置に基づいて個装セパレータP’の積載位置のずれを補正することも可能となる。
その他、上述した実施の形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することができることは言うまでもない。
100 ステージ間移送装置
110 正極用の位置補正/搬送ステージ装置
111 正極用アライメントステージ(ステージ)
112 正極用カメラ(撮像手段)
114 正極用下側照明装置(照明手段)
114a 光源
118 透明板
118a 吸引経路(吸引溝)
119 透過板
119a 吸引孔
130 積層ステージ
140 アーム部
150 アライメントマーク
N 電極箔(負極の極板)
P 電極箔(正極の極板)
S セパレータ
P’ 個装セパレータ

Claims (5)

  1. 熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを吸引保持しながら、前記個装セパレータの位置の補正及び搬送を行うステージを有する位置補正/搬送ステージ装置であって、
    前記ステージの下部に、X軸方向及びY軸方向の移動、かつXY平面内での回転により、前記個装セパレータの位置を補正する駆動装置を有し、
    前記ステージの上部に、前記個装セパレータの全面を吸着する吸引溝が設けられた透明板と、
    前記透明板に積層されるとともに複数の吸引孔が設けられた、光を拡散する拡散板として機能する半透明の透過板と、
    前記透過板の下方から光を照射する照明手段と、
    光が照射された状態で前記ステージの上側から前記個装セパレータを撮像する撮像手段と、
    撮像された画像に基づいて、前記個装セパレータの位置ずれ量を算出する制御手段と
    を備え、
    前記個装セパレータの位置ずれ量に基づいて、前記駆動装置により前記個装セパレータの位置を補正することを特徴とする位置補正/搬送ステージ装置。
  2. 前記透過板に複数のアライメントマークを付与することを特徴とする請求項1に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
  3. 前記制御手段は、前記電極箔の位置及び前記熱シールの位置を認識し、電極箔の位置ずれ量、及び電極箔と熱シールとの位置関係を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
  4. 前記制御手段は、前記熱シールの状態の品質検査をすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の位置補正/搬送ステージ装置。
  5. 前記透過板と同一の形状であって、上面には熱シールされたセパレータで電極箔が包装された個装セパレータを固定することが可能な粘着面を有するオフセット量算出用透過板を積層ステージ上に仮固定し、前記個装セパレータを搭載する工程と、
    前記オフセット量算出用透過板を、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の位置補正/搬送ステージ装置の前記透過板と交換する工程と、
    撮像手段を用いて、前記オフセット量算出用透過板上に搭載された個装セパレータを撮像し、オフセット量を算出することを特徴とする位置補正/搬送ステージ装置の補正方法。
JP2014156078A 2014-07-31 2014-07-31 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法 Active JP6344122B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014156078A JP6344122B2 (ja) 2014-07-31 2014-07-31 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014156078A JP6344122B2 (ja) 2014-07-31 2014-07-31 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016033868A JP2016033868A (ja) 2016-03-10
JP6344122B2 true JP6344122B2 (ja) 2018-06-20

Family

ID=55452694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014156078A Active JP6344122B2 (ja) 2014-07-31 2014-07-31 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6344122B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023217521A1 (de) * 2022-05-12 2023-11-16 Mb Atech Gmbh Inspektion bei der herstellung von modulen oder vorstufen von modulen

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6813093B2 (ja) * 2017-07-18 2021-01-13 株式会社村田製作所 電極体の製造装置
KR102629119B1 (ko) * 2018-05-02 2024-01-26 에스케이온 주식회사 전극판 정렬 상태 검사 시스템 및 방법
CN108520966A (zh) * 2018-05-28 2018-09-11 重庆师范大学 热电池叠片自动提示纠错装置及其提示纠错方法
KR102257019B1 (ko) * 2019-08-01 2021-05-26 주식회사 에스에프에이 2차 전지용 오버행 검사장치 및 이를 구비하는 2차 전지 제조 시스템
CN115461287A (zh) 2020-04-30 2022-12-09 株式会社村田制作所 层叠装置
JP7497660B2 (ja) 2020-09-30 2024-06-11 トヨタ紡織株式会社 外観検査装置
WO2024004277A1 (ja) * 2022-07-01 2024-01-04 株式会社村田製作所 積層装置および積層システム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6111643A (ja) * 1984-06-27 1986-01-20 Satoru Suzuki 製品不良状態の透視検査方法及びその装置
JP2004287368A (ja) * 2003-01-27 2004-10-14 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JP2006226715A (ja) * 2005-02-15 2006-08-31 Dainippon Printing Co Ltd 外観検査装置
JP5701639B2 (ja) * 2011-02-18 2015-04-15 株式会社京都製作所 極板積載装置
JP5602659B2 (ja) * 2011-02-18 2014-10-08 株式会社京都製作所 極板積載装置
JP6022177B2 (ja) * 2011-04-07 2016-11-09 日産自動車株式会社 電極位置検出装置および電極位置検出方法
JP5953083B2 (ja) * 2011-04-07 2016-07-13 日産自動車株式会社 積層装置および積層方法
JP5940854B2 (ja) * 2011-04-07 2016-06-29 日産自動車株式会社 電極積層装置および電極積層方法
JP5814588B2 (ja) * 2011-04-07 2015-11-17 株式会社京都製作所 電極位置検出装置および電極位置検出方法
JP6142525B2 (ja) * 2012-12-25 2017-06-07 日産自動車株式会社 電極位置検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023217521A1 (de) * 2022-05-12 2023-11-16 Mb Atech Gmbh Inspektion bei der herstellung von modulen oder vorstufen von modulen

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016033868A (ja) 2016-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6344122B2 (ja) 位置補正/搬送ステージ装置及び位置補正/搬送ステージの補正方法
JP5701639B2 (ja) 極板積載装置
JP5438368B2 (ja) 積層電池の製造過程に用いられる検査装置
EP2696422B1 (en) Electrode position detection device and method
JP6142525B2 (ja) 電極位置検出装置
TW201308728A (zh) 電極層積裝置及電極層積方法
CN110915047B (zh) 电极体制造装置
JP5814588B2 (ja) 電極位置検出装置および電極位置検出方法
JP6745047B2 (ja) 蓋閉めシステム及び蓋閉め方法
WO2007020809A1 (ja) ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法
JP6597029B2 (ja) 積層装置
JP2013143213A (ja) 積層電池の製造過程に用いられる検査装置
US10991844B2 (en) Apparatus for aligning a solar cell element, system for use in the manufacture of a solar cell arrangement, and method for aligning a solar cell element
CN109287111B (zh) 加强板贴附装置
JP6149944B2 (ja) 検知方法及び検知装置
JP6631027B2 (ja) ワーク積層装置
JP7119767B2 (ja) 検査装置
CN102020114B (zh) 运送系统
JP2020067362A (ja) 試験装置
JP2006202877A (ja) 半導体装置実装装置
JP2012046218A (ja) テーピング装置
JP2013239642A (ja) 基板作業装置
JP2019133797A (ja) 蓄電モジュールの製造方法
JP2009004640A (ja) ウエハチップチャック装置およびウエハチップチャック装置におけるチャック不良判定方法
CN118843836A (zh) 搬送装置、曝光装置、搬送方法、曝光方法、对准标记

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170605

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180220

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180330

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180424

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180507

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6344122

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150