JP6319474B2 - Imprint mold - Google Patents

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Description

本発明は、インプリントモールドに関するものである。   The present invention relates to an imprint mold.

微細加工技術としてのナノインプリント技術は、基材の表面に微細凹凸パターンが形成されてなる型部材（インプリントモールド）を用い、当該微細凹凸パターンをインプリント樹脂等の被加工物に等倍転写するパターン形成技術である（特許文献１参照）。特に、半導体デバイスにおける配線パターン等のさらなる微細化の進行等に伴い、半導体デバイスの製造プロセス等においてナノインプリント技術が益々注目されている。   The nanoimprint technology as a microfabrication technology uses a mold member (imprint mold) in which a fine concavo-convex pattern is formed on the surface of a substrate, and transfers the fine concavo-convex pattern to a workpiece such as an imprint resin at the same magnification. This is a pattern formation technique (see Patent Document 1). In particular, with the progress of further miniaturization of wiring patterns and the like in semiconductor devices, nanoimprint technology is gaining more and more attention in semiconductor device manufacturing processes and the like.

このナノインプリント技術として、光インプリント技術及び熱インプリント技術が知られているが、一般に、光インプリント技術が用いられている。光インプリントは、室温で低い印加圧力により微細凹凸パターンの転写が可能であり、熱インプリントのような加熱・冷却サイクルが不要であることでマスターモールドや樹脂の熱による寸法変化が生じないため、熱インプリントに比して、解像性、アライメント精度、生産性等の点で優れていると言われている。そのため、インプリントモールドを構成する基材としては、光インプリントにおける露光光を透過可能な石英基板が主に用いられている。   As this nanoimprint technique, an optical imprint technique and a thermal imprint technique are known, and an optical imprint technique is generally used. In optical imprinting, fine uneven patterns can be transferred at low applied pressure at room temperature, and there is no need for heating / cooling cycles like thermal imprinting, so there is no dimensional change due to the heat of the master mold or resin. Compared to thermal imprinting, it is said to be superior in terms of resolution, alignment accuracy, productivity, and the like. For this reason, a quartz substrate that can transmit exposure light in optical imprinting is mainly used as a base material constituting the imprint mold.

ナノインプリント技術に用いられるインプリントモールドとして、図１０（ｃ）に示すように、第１の側１１００ａと、第１の側１１００ａに対向する第２の側１１００ｂとを有し、第１の側１１００ａに微細凹凸パターン１２００が形成され、第２の側１１００ｂに窪み部１１３０が形成されてなるインプリントモールド１１００が知られている（特許文献２参照）。このインプリントモールド１１００においては、第１の側１１００ａは、基材のほぼ中央に位置する肉薄領域１１４０と、その周囲に位置する肉厚領域１１５０とにより構成される。そして、第１の側１１００ａの微細凹凸パターン１２００が形成されているパターン領域１１２０は、平面視において窪み部１１３０に包摂されている。   As an imprint mold used in the nanoimprint technology, as shown in FIG. 10C, the first side 1100a has a first side 1100a and a second side 1100b opposite to the first side 1100a. There is known an imprint mold 1100 in which a fine uneven pattern 1200 is formed and a recess 1130 is formed on a second side 1100b (see Patent Document 2). In the imprint mold 1100, the first side 1100a is constituted by a thin region 1140 located substantially at the center of the substrate and a thick region 1150 located around the first region 1140a. And the pattern area | region 1120 in which the fine uneven | corrugated pattern 1200 of the 1st side 1100a is formed is included in the hollow part 1130 in planar view.

このインプリントモールド１１００によれば、微細凹凸パターン１２００の形成されているパターン領域１１２０が肉薄領域１１４０に位置することで、微細凹凸パターン１２００を被加工物としてのインプリント樹脂に押し当てるときに第１の側１１００ａに向かって凸状に湾曲させることができるため、インプリント樹脂が濡れ広がるときに気泡を閉じ込めてしまうことなく微細凹凸パターン１２００を転写することができる。また、微細凹凸パターン１２００が転写されたインプリント樹脂からインプリントモールド１１００を引き離す際にも同様に湾曲させることができるため、インプリント樹脂からのインプリントモールド１１００の剥離容易性を向上させることができる。そのため、インプリント樹脂に形成される転写パターンの破損等を生じさせることなく、高精度に微細凹凸パターン１２００を転写することができる。   According to the imprint mold 1100, the pattern area 1120 where the fine uneven pattern 1200 is formed is positioned in the thin area 1140, so that when the fine uneven pattern 1200 is pressed against the imprint resin as the workpiece, Since the convex shape can be curved toward the first side 1100a, the fine concavo-convex pattern 1200 can be transferred without trapping bubbles when the imprint resin spreads wet. Further, since the imprint mold 1100 can be similarly bent when the imprint mold 1100 is separated from the imprint resin to which the fine concavo-convex pattern 1200 has been transferred, the ease of peeling of the imprint mold 1100 from the imprint resin can be improved. it can. Therefore, the fine concavo-convex pattern 1200 can be transferred with high accuracy without causing damage to the transfer pattern formed on the imprint resin.

このようなインプリントモールド１１００は、以下のようにして製造され得る。
まず、第２の側１１００ｂに窪み部１１３０が形成されてなる基材１０１０を用意する。なお、第１の側１１００ａには、微細凹凸パターン１２００に対応する所定の開口部を有するエッチングマスク１１６０が設けられている。そして、当該基材１０１０の第１の側１１００ａにおけるパターン領域１１２０に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターン１２００を形成し、エッチングマスク１１６０を除去する（図１０参照）。 Such an imprint mold 1100 can be manufactured as follows.
First, a base material 1010 having a recess 1130 formed on the second side 1100b is prepared. Note that an etching mask 1160 having a predetermined opening corresponding to the fine concavo-convex pattern 1200 is provided on the first side 1100a. Then, a fine concavo-convex pattern 1200 is formed in the pattern region 1120 on the first side 1100a of the substrate 1010 by dry etching using plasma, and the etching mask 1160 is removed (see FIG. 10).

米国特許第５，７７２，９０５号US Pat. No. 5,772,905 特表２００９−５３６５９１号公報Special table 2009-536591 特開２０１１−２４５７８７号公報JP 2011-245787 A

上述したように、上記インプリントモールド１１００は、第２の側１１００ｂに窪み部１１３０が形成されてなる基材１０１０の第１の側１１００ａ（パターン領域１１２０）に、反応性プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターン１２００を形成することで製造される。   As described above, the imprint mold 1100 is formed by dry etching using reactive plasma on the first side 1100a (pattern region 1120) of the base material 1010 formed with the recess 1130 on the second side 1100b. Thus, the fine uneven pattern 1200 is formed.

ドライエッチングにより微細凹凸パターン１２００を形成する際、ドライエッチング装置内の一対の電極（アノード及びカソード）間に基材１０１０が載置される。このとき、基材１０１０の第２の側１１００ｂに窪み部１１３０が形成されていることにより、基材１０１０の肉薄領域１１４０部分は、基材１０１０の厚さ方向に見たときに、基材１０１０と気相（空気）との積層体とみなすことができる。よって、基材１０１０の肉薄領域１１４０部分における誘電率は、基材１０１０を構成する材料（誘電体）と気相（空気）との平均誘電率となる。一方、基材１０１０の肉厚領域１１５０部分の誘電率は、基材を構成する材料（誘電体）の誘電率となる。そのため、肉薄領域１１４０と肉厚領域１１５０とで誘電率が異なることになる。
これにより、基材１０１０の肉薄領域１１４０（特に、パターン領域１１２０）内におけるエッチング選択比の悪化、基材１０１０の第１の側１１００ａ（特に、パターン領域１１２０）におけるイオンやラジカルの分布や指向性の均一性の悪化、微細凹凸パターン１２００の断面形状の悪化（微細凹凸パターン１２００の側壁の立ち上がり角度（微細凹凸パターン１２００の凹部上面に対する凸部側壁の角度）の悪化）等が生じ、エッチング精度が低下するという問題がある。 When the fine concavo-convex pattern 1200 is formed by dry etching, the base material 1010 is placed between a pair of electrodes (anode and cathode) in the dry etching apparatus. At this time, the depression 1130 is formed on the second side 1100b of the base material 1010, so that the thin region 1140 portion of the base material 1010 is viewed in the thickness direction of the base material 1010. And a gas phase (air) laminate. Therefore, the dielectric constant in the thin region 1140 portion of the base material 1010 is the average dielectric constant of the material (dielectric) constituting the base material 1010 and the gas phase (air). On the other hand, the dielectric constant of the thick region 1150 portion of the substrate 1010 is the dielectric constant of the material (dielectric material) constituting the substrate. Therefore, the dielectric constants of the thin region 1140 and the thick region 1150 are different.
This deteriorates the etching selectivity in the thin region 1140 (particularly, the pattern region 1120) of the substrate 1010, and the distribution and directivity of ions and radicals on the first side 1100a (particularly, the pattern region 1120) of the substrate 1010. And the cross-sectional shape of the fine concavo-convex pattern 1200 is deteriorated (the rising angle of the side wall of the fine concavo-convex pattern 1200 (deterioration of the angle of the convex side wall with respect to the concave upper surface of the fine concavo-convex pattern 1200)). There is a problem of lowering.

このように、面内における厚さが均一ではない、誘電体により構成される基材の一の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成する場合には、基材の厚さの違いにより、基材とドライエッチング装置の下部電極間に部分的に気相が存在し、その気相に起因する誘電率差によってエッチング精度の低下が生じ得るという問題がある。   As described above, when a fine uneven pattern is formed by dry etching using plasma on one side of a substrate made of a dielectric material whose thickness is not uniform in the plane, the thickness of the substrate Due to the difference, there is a problem that a gas phase partially exists between the base material and the lower electrode of the dry etching apparatus, and the etching accuracy may be lowered due to a difference in dielectric constant caused by the gas phase.

かかる実情に鑑み、本発明は、インプリントモールドの製造において、面内における厚さが均一ではない誘電体により構成される基材の一の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成する場合でも、高精度の微細凹凸パターンを形成することが可能な構成を有するインプリントモールドを、提供することを主たる目的とする。   In view of this situation, in the manufacture of an imprint mold, the present invention provides a fine concavo-convex pattern on one side of a substrate composed of a dielectric material having a non-uniform thickness in a plane by dry etching using plasma. Even when it is formed, the main object is to provide an imprint mold having a configuration capable of forming a highly accurate fine concavo-convex pattern.

本発明者は種々研究した結果、第１の側と、第１の側に対向する第２の側とを有し、第２の側に窪み部が形成された第１の誘電体を含む基材を用いてインプリントモールドを製造する方法において、第２の側から誘電率調整部材を支持する支持構造を基材に形成しておき、第２の誘電体を含む誘電率調整部材を基材の窪み部内に配置した後に、基材の第１の側に微細凹凸パターンを形成することで、上記課題を解決できることを見出して本発明を完成したものである。   As a result of various researches, the present inventor has found a base including a first dielectric having a first side and a second side opposite to the first side and having a recess formed on the second side. In a method for manufacturing an imprint mold using a material, a support structure for supporting a dielectric constant adjusting member from the second side is formed on the base material, and the dielectric constant adjusting member including the second dielectric is formed on the base material. The present invention has been completed by finding that the above problem can be solved by forming a fine unevenness pattern on the first side of the base material after being disposed in the hollow portion.

すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成されており、プラズマを用いたドライエッチングにより前記第１の側に微細凹凸パターンを形成する際に前記窪み部に配置される誘電率調整部材を、前記第２の側から支持する支持構造を有することを特徴とするインプリントモールドである。   That is, the invention according to claim 1 of the present invention has a first side and a second side facing the first side, and a recess is formed on the second side, It has a support structure that supports a dielectric constant adjusting member disposed in the depression when the fine uneven pattern is formed on the first side by dry etching using plasma from the second side. It is an imprint mold.

また、本発明の請求項２に係る発明は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成されており、前記窪み部の側面に窪み部側面凹部を有することを特徴とするインプリントモールドである。   The invention according to claim 2 of the present invention has a first side and a second side opposite to the first side, and a recess is formed on the second side, It is an imprint mold characterized by having a dent portion side surface concave portion on a side surface of the dent portion.

また、本発明の請求項３に係る発明は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成されており、前記窪み部の側面に窪み部側面凸部を有することを特徴とするインプリントモールドである。   The invention according to claim 3 of the present invention has a first side and a second side opposite to the first side, and a recess is formed on the second side, It is an imprint mold characterized by having a dent portion side surface convex portion on a side surface of the dent portion.

また、本発明の請求項４に係る発明は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成されており、前記窪み部の側面に窪み部側面凹凸部を有することを特徴とするインプリントモールドである。   The invention according to claim 4 of the present invention has a first side and a second side opposite to the first side, and a recess is formed on the second side, It is an imprint mold characterized by having a dent portion side surface uneven portion on a side surface of the dent portion.

また、本発明の請求項５に係る発明は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成されており、前記窪み部の側面が傾斜面を有しており、断面視上、前記窪み部において対向する前記傾斜面の間の距離が、前記第１の側よりも前記第２の側が小さいことを特徴とするインプリントモールドである。   The invention according to claim 5 of the present invention has a first side and a second side facing the first side, and a recess is formed on the second side, The side surface of the hollow portion has an inclined surface, and the distance between the inclined surfaces facing each other in the hollow portion is smaller on the second side than on the first side in a sectional view. It is an imprint mold.

本発明によれば、インプリントモールドの製造において、面内における厚さが均一ではない、誘電体により構成される基材の一の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成する場合でも、製造されるインプリントモールドを、高精度の微細凹凸パターンを有するインプリントモールドとすることができる。   According to the present invention, in the manufacture of an imprint mold, a fine uneven pattern is formed by dry etching using plasma on one side of a substrate composed of a dielectric material whose thickness is not uniform in a plane. Even in this case, the imprint mold to be manufactured can be an imprint mold having a highly accurate fine uneven pattern.

本発明の第１の実施形態に係るインプリントモールドの製造方法の一例を概略的に示す工程図である。It is process drawing which shows roughly an example of the manufacturing method of the imprint mold which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the base material used in the 1st Embodiment of this invention, (a) shows a cut end view, (b) shows a bottom view. 本発明の第１の実施形態に係る窪み部側面凹部を形成する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of forming the hollow part side surface recessed part which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the dielectric constant adjustment member used in the 1st Embodiment of this invention, (a) is a cut end view, (b) shows a bottom view. 本発明の第２の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the base material used in the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a cut end view, (b) shows a bottom view. 本発明の第２の実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the dielectric constant adjustment member used in the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a cut end view, (b) shows a bottom view. 本発明の第３の実施形態において用いられる基材および誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は基材の切断端面図、（ｂ）は誘電率調整部材の切断端面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the base material used in the 3rd Embodiment of this invention, and a dielectric constant adjusting member, (a) is a cut end view of a base material, (b) is a cut end view of a dielectric constant adjusting member. Indicates. 本発明の第４の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the base material used in the 4th Embodiment of this invention, (a) is a cut end view, (b) shows a bottom view. 本発明の第４の実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。It is explanatory drawing which shows an example of the dielectric constant adjustment member used in the 4th Embodiment of this invention, (a) is a cut end view, (b) shows a bottom view. 従来のインプリントモールドの製造方法を概略的に示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the conventional imprint mold roughly.

［インプリントモールドの製造方法］
まず、本発明に係るインプリントモールドの製造方法を、図面を参照しながら説明する。
本発明に係るインプリントモールドの製造方法は、第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、前記第２の側に窪み部が形成され、第１の誘電体を含む基材を用いてインプリントモールドを製造する方法であって、第２の誘電体を含む誘電率調整部材を前記窪み部内に配置する誘電率調整部材配置工程と、前記誘電率調整部材が前記窪み部内に配置された前記基材の第１の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成するパターン形成工程と、を含み、前記誘電率調整部材配置工程において、前記基材に形成された支持構造により、前記第２の側から前記誘電率調整部材を支持することを特徴とするものである。
これによれば、高精度の微細凹凸パターンを有するインプリントモールドを製造することができ、また、基材に形成された支持構造により、基材の搬送時等に誘電率調整部材が窪み部から脱落してしまうことを防止することができる。 [Imprint Mold Manufacturing Method]
First, the manufacturing method of the imprint mold concerning this invention is demonstrated, referring drawings.
The imprint mold manufacturing method according to the present invention has a first side and a second side opposite to the first side, wherein a recess is formed on the second side, A method for manufacturing an imprint mold using a base material including a dielectric, wherein a dielectric constant adjusting member including a second dielectric is disposed in the recess, and the dielectric constant adjustment Forming a fine concavo-convex pattern by dry etching using plasma on the first side of the base material in which the member is disposed in the recess, and in the dielectric constant adjustment member disposing step, The dielectric constant adjusting member is supported from the second side by a support structure formed on the base material.
According to this, it is possible to manufacture an imprint mold having a high-precision fine concavo-convex pattern, and the dielectric constant adjusting member can be removed from the depression when the substrate is transported by the support structure formed on the substrate. It can be prevented from falling off.

（第１の実施形態）
＜基材準備工程＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係るインプリントモールドの製造方法の一例を概略的に示す工程図である。
本実施形態においては、図１（ａ）に示すように、まず、第１の側１０ａと、第１の側１０ａに対向する第２の側１０ｂを有し、第２の側１０ｂに窪み部１３が形成されており、窪み部１３の側面１３ｂに窪み部側面凹部２１ａを有する基材１０を準備する。
なお、基材１０は、石英、酸化チタン、フッ化カルシウム、シリコン、樹脂等の第１の誘電体により構成されている。
また、基材１０の第１の側１０ａには、その上面がパターン領域１２である凸構造１１が形成されており、本実施形態においては、パターン領域１２に所定のパターン（インプリントモールド１が有する微細凹凸パターン２に対応するパターン）を有する、エッチングマスク１６が、基材１０の第１の側１０ａに形成されている。
エッチングマスク１６は、クロム、クロム酸化物、クロム窒化物、酸化シリコン、窒化シリコン、レジスト材料等により構成される。 (First embodiment)
<Base material preparation process>
FIG. 1 is a process chart schematically showing an example of a method for producing an imprint mold according to the first embodiment of the present invention.
In this embodiment, as shown to Fig.1 (a), it has the 1st side 10a and the 2nd side 10b facing the 1st side 10a first, and a hollow part is provided in the 2nd side 10b. 13 is formed, and a base material 10 having a recess side surface recess 21a on a side surface 13b of the recess 13 is prepared.
The base material 10 is made of a first dielectric such as quartz, titanium oxide, calcium fluoride, silicon, or resin.
Further, a convex structure 11 whose upper surface is a pattern region 12 is formed on the first side 10a of the substrate 10, and in the present embodiment, a predetermined pattern (imprint mold 1 is formed in the pattern region 12). An etching mask 16 having a pattern corresponding to the fine concavo-convex pattern 2 is formed on the first side 10 a of the substrate 10.
The etching mask 16 is made of chromium, chromium oxide, chromium nitride, silicon oxide, silicon nitride, resist material, or the like.

図２は、本発明の第１の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。
図２に示すように、基材１０の第１の側１０ａの略中央には、平面視略方形状のメサ構造と呼ばれる凸構造１１が設けられており、この凸構造１１の上面が、微細凹凸パターン２が形成される領域（パターン領域１２）に相当する。
また、第２の側１０ｂの略中央には、平面視略円形状の窪み部１３が形成されている。すなわち、基材１０の第２の側１０ｂの略中央に窪み部１３が形成されることで、基材１０の平面視における略中央が肉薄領域１４として構成され、その周囲が肉厚領域１５として構成される。 FIG. 2 is an explanatory view showing an example of a substrate used in the first embodiment of the present invention, where (a) shows a cut end view and (b) shows a bottom view.
As shown in FIG. 2, a convex structure 11 called a mesa structure having a substantially square shape in plan view is provided at the approximate center of the first side 10 a of the base material 10, and the upper surface of the convex structure 11 is fine. This corresponds to a region (pattern region 12) where the uneven pattern 2 is formed.
In addition, a substantially circular recess 13 in plan view is formed in the approximate center of the second side 10b. That is, the depression 13 is formed at the approximate center of the second side 10b of the base material 10 so that the approximate center in plan view of the base material 10 is configured as the thin region 14, and the periphery thereof is the thick region 15. Composed.

なお、肉薄領域１４の厚さは概ね１ｍｍ程度であり、肉厚領域１５の厚さ（Ｔ12）が概ね６ｍｍ程度であるのに対し、凸構造１１の厚さＴ11は、３０μｍ程度であることから、この凸構造１１の厚さが微細凹凸パターンを形成する際のドライエッチングに与える影響は無視できる。 Note that the thickness of the thin region 14 is approximately 1 mm and the thickness (T 12 ) of the thick region 15 is approximately 6 mm, whereas the thickness T 11 of the convex structure 11 is approximately 30 μm. Therefore, the influence of the thickness of the convex structure 11 on the dry etching when forming the fine concavo-convex pattern can be ignored.

図２に示すように、基材１０における凸構造１１及び窪み部１３は、窪み部１３が形成されている第２の側１０ｂを上方に位置させるようにした平面視にて、凸構造１１が窪み部１３の底面部１３ａに包摂される関係を有する。すなわち、窪み部１３は、その底面部１３ａの面積が凸構造１１の外形により規定される面積よりも大きくなるように、第２の側１０ｂに形成されている。
一例として、基材１０の外形サイズ（Ｌ11）が１５０ｍｍ程度の場合、窪み部１３の開口直径（Ｌ12）は６０ｍｍ程度とすることができる。 As shown in FIG. 2, the convex structure 11 and the depression 13 in the base material 10 are arranged in a plan view in which the second side 10 b where the depression 13 is formed is positioned upward. It has the relationship included in the bottom face part 13a of the hollow part 13. That is, the recess 13 is formed on the second side 10b so that the area of the bottom surface 13a is larger than the area defined by the outer shape of the convex structure 11.
As an example, when the outer size (L 11 ) of the base material 10 is about 150 mm, the opening diameter (L 12 ) of the recess 13 can be about 60 mm.

窪み部１３の深さＤ11は、基材１０の肉薄領域１４部分がインプリント時（転写時、剥離時等）に第１の側１０ａに向かって凸状に湾曲可能な程度の厚さを有するように設定され得る。例えば、窪み部１３の深さＤ11は、基材１０の肉厚領域１５部分の厚さＴ12の７０％〜９０％程度に設定され得る。 The depth D 11 of the depression 13 is such that the thin region 14 of the substrate 10 can be curved convexly toward the first side 10a during imprinting (transfer, peeling, etc.). Can be set to have. For example, the depth D 11 of the recess 13 can be set to about 70% to 90% of the thickness T 12 of the thick region 15 portion of the substrate 10.

また、基材１０は、窪み部１３の側面１３ｂに窪み部側面凹部２１ａを有している。
すなわち、基材１０において、この窪み部１３の側面１３ｂに形成されている窪み部側面凹部２１ａが、基材１０に形成された支持構造に相当し、本実施形態においては、後述する誘電率調整部材３０の一部を、この窪み部側面凹部２１ａに挿入することにより、第２の側１０ｂから誘電率調整部材３０を支持する。
本実施形態においては、上記のような支持構造を有するため、基材１０の搬送時等に誘電率調整部材３０が窪み部１３から脱落してしまうことを防止することができる。 Further, the base material 10 has a dent portion side surface recess 21 a on a side surface 13 b of the dent portion 13.
That is, in the base material 10, the recessed portion side surface recess 21 a formed on the side surface 13 b of the recessed portion 13 corresponds to a support structure formed on the base material 10, and in this embodiment, a dielectric constant adjustment described later is performed. The dielectric constant adjusting member 30 is supported from the second side 10b by inserting a part of the member 30 into the recess side surface recess 21a.
In the present embodiment, since the support structure as described above is provided, it is possible to prevent the dielectric constant adjusting member 30 from dropping from the recessed portion 13 when the substrate 10 is conveyed.

図３は、窪み部側面凹部２１ａを形成する方法を説明する図である。
上記の窪み部側面凹部２１ａを形成する方法としては、例えば、図３（ａ）に示すように、窪み部１３０を有する従来の基材１１０を準備し、その窪み部１３０の側面１３０ｂの所定の箇所を、回転軸４１の先端に研削ディスク４２を有する研削治具を用いて研削する方法を挙げることができる（例えば、特許文献３）。
上記のような研削治具を用いて、窪み部の側面に沿って周回するように研削することで、図３（ｂ）に示すような、窪み部１３の側面１３ｂに窪み部側面凹部２１ａを有する基材１０を得ることができる。 FIG. 3 is a diagram for explaining a method of forming the depression side recess 21a.
For example, as shown in FIG. 3A, a conventional base 110 having a recess 130 is prepared, and a predetermined side surface 130b of the recess 130 is formed as a method for forming the recess recess side surface recess 21a. A method of grinding the portion using a grinding jig having a grinding disk 42 at the tip of the rotating shaft 41 can be exemplified (for example, Patent Document 3).
By using the grinding jig as described above to grind along the side surface of the recess, the recess side surface recess 21a is formed on the side surface 13b of the recess 13 as shown in FIG. The base material 10 which has can be obtained.

一例として、図２に示す窪み部１３の開口直径（Ｌ12）が６０ｍｍ程度の場合、窪み部側面凹部２１ａの奥行（Ｌ13）は５ｍｍ程度とすることができる。また、窪み部側面凹部２１ａの高さ（Ｓ11）は、窪み部１３の深さＤ11の１０〜９０％程度に設定され得る。 As an example, when the opening diameter (L 12 ) of the depression 13 shown in FIG. 2 is about 60 mm, the depth (L 13 ) of the depression side recess 21a can be about 5 mm. Further, the height (S 11 ) of the recess side recess 21 a can be set to about 10 to 90% of the depth D 11 of the recess 13.

なお、本実施形態においては、例えば、図３（ｃ）に示すように、窪み部側面凹部２１ａの有する第１の側１０ａの側（図２に示すＺ方向の側）の面が、窪み部１３の底面部１３ａと一致する高さ位置に形成されている形態であってもよい。   In this embodiment, for example, as shown in FIG. 3C, the surface on the first side 10a side (the Z-direction side shown in FIG. 2) of the recess side surface recess 21a is the recess portion. The form formed in the height position which corresponds to the bottom face part 13a of 13 may be sufficient.

＜誘電率調整部材配置工程＞
次に、図１（ｂ）に示すように、基材１０全体の厚さ方向における誘電率差を小さくすることのできる、第２の誘電体により構成される誘電率調整部材３０を、窪み部１３内に配置する。窪み部１３内に誘電率調整部材３０が配置されることで、基材１０の肉薄領域１４部分と肉厚領域１５部分との間の誘電率差を小さくすることができ、誘電率差に起因するエッチング精度の低下を抑制することができる。 <Dielectric constant adjusting member arranging step>
Next, as shown in FIG. 1B, a dielectric constant adjusting member 30 made of a second dielectric material that can reduce the dielectric constant difference in the thickness direction of the entire base material 10 is 13 is arranged. By disposing the dielectric constant adjusting member 30 in the recess 13, the dielectric constant difference between the thin region 14 portion and the thick region 15 portion of the base material 10 can be reduced, resulting from the dielectric constant difference. It is possible to suppress a decrease in etching accuracy.

誘電率調整部材３０を構成する第２の誘電体の誘電率ε２は、基材１０に含まれる第１の誘電体の誘電率ε１と実質的に等しい。具体的には、第１の誘電体の誘電率ε１と第２の誘電体の誘電率ε２とは、下記式に示す関係を有するのが望ましい。
０．８≦ε１／ε２≦１．２ The dielectric constant ε2 of the second dielectric constituting the dielectric constant adjusting member 30 is substantially equal to the dielectric constant ε1 of the first dielectric contained in the substrate 10. Specifically, it is desirable that the dielectric constant ε1 of the first dielectric and the dielectric constant ε2 of the second dielectric have a relationship represented by the following formula.
0.8 ≦ ε1 / ε2 ≦ 1.2

なお、本実施形態において、基材１０及び誘電率調整部材３０に含まれる第１の誘電体及び第２の誘電体の誘電率ε１、ε２は、例えば、誘電体測定システム（１２６０９６型、東洋テクニカ社製）等を用いて測定される値である。   In the present embodiment, the dielectric constants ε1 and ε2 of the first dielectric material and the second dielectric material included in the base material 10 and the dielectric constant adjusting member 30 are, for example, a dielectric measurement system (126096 type, Toyo Technica). It is a value measured using a

第１の誘電体と第２の誘電体とは、同一材料であってもよいし、互いに異なる材料であってもよい。第２の誘電体としては、例えば、石英、シリコン、アルマイト、ＰＥＥＫ（ポリエチルエーテルケトン）、ポリイミド、テフロン（登録商標）、塩化ビニル等を用いることができる。中でも、プラズマを用いたドライエッチングの際に、発塵性やガス発生が少ない、プラズマ耐食性を有する材料（石英、ＰＥＥＫ、ポリイミド等）が好ましい。   The first dielectric and the second dielectric may be the same material or different materials. As the second dielectric, for example, quartz, silicon, anodized, PEEK (polyethyl ether ketone), polyimide, Teflon (registered trademark), vinyl chloride, or the like can be used. Of these, materials having plasma corrosion resistance (quartz, PEEK, polyimide, etc.) that generate less dust and generate gas during dry etching using plasma are preferable.

また、本実施形態においては、この誘電率調整部材配置工程において、誘電率調整部材３０の一部を、基材１０の窪み部側面凹部２１ａに挿入することにより、基材１０の第２の側１０ｂから誘電率調整部材３０を支持する。これにより、基材１０の搬送時等に誘電率調整部材３０が窪み部１３から脱落してしまうことを防止することができる。   Moreover, in this embodiment, in this dielectric constant adjustment member arrangement | positioning process, by inserting a part of dielectric constant adjustment member 30 in the recessed part side surface recessed part 21a of the base material 10, it is the 2nd side of the base material 10. The dielectric constant adjusting member 30 is supported from 10b. Thereby, it is possible to prevent the dielectric constant adjusting member 30 from dropping from the recessed portion 13 when the base material 10 is conveyed.

図４は、本実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。
例えば、図４に示すように、誘電率調整部材３０は、円形状の上面３０ａと底面３０ｂを有し、側面には側面凸部３１を有している。そして、この側面凸部３１を基材１０の窪み部側面凹部２１ａに挿入することにより、基材１０の第２の側１０ｂから誘電率調整部材３０を支持することができる。 FIG. 4 is an explanatory view showing an example of a dielectric constant adjusting member used in the present embodiment, where (a) shows a cut end view and (b) shows a bottom view.
For example, as shown in FIG. 4, the dielectric constant adjusting member 30 has a circular upper surface 30 a and a bottom surface 30 b, and has side convex portions 31 on the side surfaces. The dielectric constant adjusting member 30 can be supported from the second side 10b of the base material 10 by inserting the side surface convex portion 31 into the recess side surface concave portion 21a of the base material 10.

より具体的に説明すると、誘電率調整部材の配置工程においては、まず、誘電率調整部材３０の側面凸部３１が、図２（ｂ）に示す基材１０の窪み部１３の縁に設けられた切欠き部２１ｂを通過するようにして、誘電率調整部材３０全体を窪み部１３に挿入し、その後、誘電率調整部材３０の側面凸部３１が基材１０の窪み部側面凹部２１ａに沿って周回するように、誘電率調整部材３０を回転させて、側面凸部３１と切欠き部２１ｂとが互いに重ならない位置に配置する。
このような配置工程を経ることにより、基材１０の第２の側１０ｂから誘電率調整部材３０を支持することができる。 More specifically, in the arrangement step of the dielectric constant adjusting member, first, the side surface convex portion 31 of the dielectric constant adjusting member 30 is provided on the edge of the recess 13 of the base material 10 shown in FIG. The entire dielectric constant adjusting member 30 is inserted into the recessed portion 13 so as to pass through the notched portion 21b, and then the side convex portion 31 of the dielectric constant adjusting member 30 extends along the concave portion side concave portion 21a of the substrate 10. The dielectric constant adjusting member 30 is rotated so as to go around, and is arranged at a position where the side surface convex portion 31 and the notch portion 21b do not overlap each other.
Through such an arrangement step, the dielectric constant adjusting member 30 can be supported from the second side 10b of the substrate 10.

なお、誘電率調整部材３０を基材１０から取り外すには、上記の配置工程と逆の手順を行えばよい。具体的には、誘電率調整部材３０を回転させて、側面凸部３１と切欠き部２１ｂとが互いに重なる位置にした後に、側面凸部３１が切欠き部２１ｂを通過するようにして、誘電率調整部材３０全体を窪み部１３から取り出せばよい。   In addition, in order to remove the dielectric constant adjusting member 30 from the base material 10, a procedure reverse to the above arrangement step may be performed. Specifically, the dielectric constant adjusting member 30 is rotated so that the side surface convex portion 31 and the cutout portion 21b overlap each other, and then the side surface convex portion 31 passes through the cutout portion 21b so that the dielectric is adjusted. What is necessary is just to take out the whole rate adjustment member 30 from the hollow part 13. FIG.

ここで、誘電率調整部材３０の各寸法は、基材１０の窪み部１３の各寸法よりも僅かに小さくなるように構成されていることが好ましい。
誘電率調整部材３０の窪み部１３内への配置や取り外しを容易にしつつ、窪み部１３内に誘電率調整部材３０を配置したときの窪み部１３と誘電率調整部材３０との間隙の体積を低減化することで、肉薄領域１４部分と肉厚領域１５部分との誘電率差をより小さくすることができるからである。 Here, each dimension of the dielectric constant adjusting member 30 is preferably configured to be slightly smaller than each dimension of the recess 13 of the base material 10.
While facilitating the placement and removal of the dielectric constant adjusting member 30 in the hollow portion 13, the volume of the gap between the hollow portion 13 and the dielectric constant adjusting member 30 when the dielectric constant adjusting member 30 is disposed in the hollow portion 13 is determined. This is because the dielectric constant difference between the thin region 14 and the thick region 15 can be further reduced by reducing the thickness.

具体的には、図４に示す誘電率調整部材３０の上面３０ａおよび底面３０ｂの直径Ｗ31は、図２に示す窪み部１３の開口の直径Ｌ12よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図４に示す誘電率調整部材３０の高さＨ31は、図２に示す窪み部１３の深さＤ11よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図４に示す誘電率調整部材３０の側面凸部３１の高さＨ32、奥行Ｗ32、および幅Ｗ33は、それぞれ、図２に示す窪み部１３の窪み部側面凹部２１ａの高さＳ11、奥行Ｌ13、および切欠き部２１ｂの幅Ｌ14よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。 Specifically, the diameter W 31 of the top surface 30a and the bottom surface 30b of the dielectric constant adjusting member 30 shown in FIG. 4 is about 1% to 10% smaller than the diameter L 12 of the opening of the recess 13 shown in FIG. Is preferred.
Further, the height H 31 of the dielectric constant adjusting member 30 shown in FIG. 4 is preferably about 1% to 10% smaller than the depth D 11 of the recess 13 shown in FIG.
Further, the height H 32 , the depth W 32 , and the width W 33 of the side convex portion 31 of the dielectric constant adjusting member 30 shown in FIG. 4 are respectively the height of the concave portion side concave portion 21a of the concave portion 13 shown in FIG. It is preferably smaller by about 1% to 10% than S 11 , depth L 13 , and width L 14 of notch 21b.

なお、図４に示す誘電率調整部材３０においては、側面凸部３１を２個有する形態の例を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、側面凸部３１を３個以上有する形態であってもよい。
このような場合には、対応する基材１０においても、誘電率調整部材３０が有する側面凸部３１の数や形状に応じた切欠き部２１ｂを備えることになる。 In addition, in the dielectric constant adjustment member 30 shown in FIG. 4, although the example of the form which has the two side surface convex parts 31 is shown, in this embodiment, it is not limited to this form, The side surface convex part 31 is 3 The form which has more than one may be sufficient.
In such a case, the corresponding base material 10 is also provided with the notches 21b corresponding to the number and shape of the side surface convex portions 31 of the dielectric constant adjusting member 30.

また、図４に示す誘電率調整部材３０においては、側面凸部３１が固定された形態の例を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、側面凸部が側面から伸縮可能な可動性（例えば、可動ネジ機構）を有していてもよい。この場合、誘電率調整部材３０を窪み部１３内に挿入する際、側面凸部が誘電率調整部材の側面の中に収納され、一方、誘電率調整部材３０が窪み部１３内に収容された後で側面凸部を側面から突出するように調整するものであってもよい。
このような場合には、対応する基材においても、窪み部側面凹部は誘電率調整部材の側面凸部が挿脱可能な形状やサイズを備えていればよく、図２に示す基材１０の窪み部側面凹部２１ａのような円周溝である必要は無い。また、図２に示す基材１０のような切欠き部２１ｂを設ける必要もない。 Further, in the dielectric constant adjusting member 30 shown in FIG. 4, an example of a form in which the side protrusions 31 are fixed is shown. However, in the present embodiment, the shape is not limited to this, and the side protrusions are seen from the side. You may have the elasticity (for example, movable screw mechanism) which can be expanded-contracted. In this case, when the dielectric constant adjusting member 30 is inserted into the recessed portion 13, the side surface convex portion is accommodated in the side surface of the dielectric constant adjusting member, while the dielectric constant adjusting member 30 is accommodated in the recessed portion 13. You may adjust so that a side convex part may protrude from a side surface later.
In such a case, even in the corresponding base material, it is only necessary that the concave portion side surface concave portion has a shape and size that allows the side surface convex portion of the dielectric constant adjusting member to be inserted and removed. There is no need for a circumferential groove like the recess side recess 21a. Moreover, it is not necessary to provide the notch part 21b like the base material 10 shown in FIG.

以上より、誘電率調整部材３０が窪み部１３に収容されて支持されたときに、誘電率調整部材３０の平面投影図形と、窪み部１３の開口の平面投影図形とを比較して、誘電率調整部材３０の平面投影図形が窪み部１３の開口の平面投影図形から突出する部分が複数存在することにより、誘電率調整部材３０が窪み部１３から脱落してしまうことを防止することができる。   As described above, when the dielectric constant adjusting member 30 is accommodated in and supported by the depression 13, the dielectric constant is compared between the planar projection figure of the dielectric constant adjustment member 30 and the planar projection figure of the opening of the depression 13. Since there are a plurality of portions where the planar projection graphic of the adjustment member 30 protrudes from the planar projection graphic of the opening of the recess 13, it is possible to prevent the dielectric constant adjustment member 30 from falling off the recess 13.

＜パターン形成工程＞
続いて、図１（ｃ）に示すように、窪み部１３内に誘電率調整部材３０が配置された基材１０を、プラズマを用いたドライエッチング装置内に搬送し、プラズマを用いたドライエッチングによりパターン領域１２に微細凹凸パターン２を形成する。その後、エッチングマスク１６を除去するとともに、誘電率調整部材３０を窪み部１３内から取り外すことで、パターン領域１２に微細凹凸パターン２が形成されてなるインプリントモールド１を製造することができる（図１（ｄ）参照）。 <Pattern formation process>
Subsequently, as shown in FIG. 1C, the base material 10 in which the dielectric constant adjusting member 30 is disposed in the hollow portion 13 is conveyed into a dry etching apparatus using plasma, and dry etching using plasma is performed. Thus, the fine uneven pattern 2 is formed in the pattern region 12. Thereafter, the etching mask 16 is removed, and the dielectric constant adjusting member 30 is removed from the inside of the recessed portion 13, whereby the imprint mold 1 in which the fine concavo-convex pattern 2 is formed in the pattern region 12 can be manufactured (FIG. 1 (d)).

本実施形態において用いられるドライエッチング装置は、チャンバーと、チャンバー内に配置される上部電極及び下部電極とを有する。このドライエッチング装置においては、チャンバー内で発生させた反応性プラズマにより、チャンバー内に導入されたＣＦ4等のエッチングガスをイオン化させる。そして、下部電極側にイオンやラジカル等の反応種が引き寄せられ、当該反応種と下部電極上に載置された基材１０との反応により微細凹凸パターン２を形成することができる。 The dry etching apparatus used in the present embodiment includes a chamber, and an upper electrode and a lower electrode disposed in the chamber. In this dry etching apparatus, an etching gas such as CF 4 introduced into the chamber is ionized by reactive plasma generated in the chamber. Then, reactive species such as ions and radicals are attracted to the lower electrode side, and the fine concavo-convex pattern 2 can be formed by a reaction between the reactive species and the substrate 10 placed on the lower electrode.

本実施形態においては、基材１０の窪み部１３内に誘電率調整部材３０が配置されていることで、基材１０の肉薄領域１４部分と肉厚領域１５部分とにおける誘電率差が小さくなっている。そのため、ドライエッチング装置内でプラズマにより生じたイオン等の肉薄領域１４部分における指向性を向上させることができ、側壁の立ち上がり角度が良好な微細凹凸パターン２を形成することができる。
よって、本実施形態によれば、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成するときに、基材１０の肉薄領域１４（特に、パターン領域１２）内におけるエッチング選択比の悪化、基材１０の第１の側１０ａ（特に、パターン領域１２）におけるイオンやラジカルの分布や指向性の均一性の悪化、微細凹凸パターン２の断面形状の悪化（微細凹凸パターン２の側壁の立ち上がり角度の悪化）等が生じるのを防止し、エッチング精度を向上させることができる。よって、微細凹凸パターン２を有するインプリントモールド１を高い精度で製造することができる。 In the present embodiment, since the dielectric constant adjusting member 30 is arranged in the recess 13 of the base material 10, the difference in dielectric constant between the thin region 14 portion and the thick region 15 portion of the base material 10 is reduced. ing. Therefore, it is possible to improve the directivity in the thin region 14 portion of ions or the like generated by plasma in the dry etching apparatus, and it is possible to form the fine concavo-convex pattern 2 having a favorable side wall rising angle.
Therefore, according to the present embodiment, when the fine uneven pattern is formed by dry etching using plasma, the etching selectivity in the thin region 14 (particularly, the pattern region 12) of the substrate 10 is deteriorated. Deterioration of ion and radical distribution and directivity uniformity on the first side 10a (particularly, the pattern region 12), deterioration of the cross-sectional shape of the fine concavo-convex pattern 2 (deterioration of the rising angle of the side wall of the fine concavo-convex pattern 2) Etc. can be prevented and the etching accuracy can be improved. Therefore, the imprint mold 1 having the fine concavo-convex pattern 2 can be manufactured with high accuracy.

また、本実施形態によれば、誘電率調整部材配置工程において、誘電率調整部材３０の一部を基材１０の窪み部側面凹部２１ａに挿入することにより、基材１０の第２の側１０ｂから誘電率調整部材３０を支持することができる。基材１０がこのような支持構造を有することにより、基材１０の搬送時等に誘電率調整部材３０が窪み部１３から脱落してしまうことを防止することができる。   Moreover, according to this embodiment, in the dielectric constant adjusting member arrangement step, the second side 10b of the substrate 10 is inserted by inserting a part of the dielectric constant adjusting member 30 into the recess side surface recess 21a of the substrate 10. The dielectric constant adjusting member 30 can be supported. When the base material 10 has such a support structure, it is possible to prevent the dielectric constant adjusting member 30 from dropping from the recess 13 when the base material 10 is transported.

（第２の実施形態）
次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。
本実施形態においても、上述の第１の実施形態と同様に、第２の誘電体を含む誘電率調整部材を、第１の誘電体を含む基材の窪み部内に配置する誘電率調整部材配置工程と、誘電率調整部材が窪み部内に配置された基材の第１の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成するパターン形成工程と、を備えているが、基材に形成された支持構造、対応する誘電率調整部材の構造、および、誘電率調整部材を支持する方法が、上述の第１の実施形態と異なる。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment according to the present invention will be described.
Also in the present embodiment, as in the first embodiment described above, the dielectric constant adjusting member arrangement in which the dielectric constant adjusting member including the second dielectric is arranged in the hollow portion of the substrate including the first dielectric. And a pattern forming step of forming a fine concavo-convex pattern by dry etching using plasma on the first side of the base material on which the dielectric constant adjusting member is disposed in the recess. The formed support structure, the structure of the corresponding dielectric constant adjusting member, and the method for supporting the dielectric constant adjusting member are different from those in the first embodiment.

まず、本実施形態において用いられる基材の構成について説明する。
図５は、本発明の第２の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。
図５に示すように、本実施形態においても、上述の第１の実施形態における基材１０と同様に、基材５０の第１の側５０ａの略中央には、平面視略方形状の凸構造５１が設けられており、この凸構造５１の上面が、微細凹凸パターンが形成される領域（パターン領域５２）に相当する。
また、第２の側５０ｂの略中央には、平面視略円形状の窪み部５３が形成されている。すなわち、基材５０の第２の側５０ｂの略中央に窪み部５３が形成されることで、基材５０の平面視における略中央が肉薄領域５４として構成され、その周囲が肉厚領域５５として構成される。 First, the structure of the base material used in this embodiment will be described.
FIG. 5 is an explanatory view showing an example of a base material used in the second embodiment of the present invention, where (a) shows a cut end view, and (b) shows a bottom view.
As shown in FIG. 5, also in the present embodiment, as in the base material 10 in the first embodiment described above, a substantially convex shape in plan view is formed at the approximate center of the first side 50 a of the base material 50. The structure 51 is provided, and the upper surface of the convex structure 51 corresponds to a region (pattern region 52) where a fine uneven pattern is formed.
In addition, a substantially circular recess 53 in plan view is formed in the approximate center of the second side 50b. That is, by forming the recess 53 at the approximate center of the second side 50b of the base material 50, the approximate center in plan view of the base material 50 is configured as the thin region 54, and the periphery thereof is the thick region 55. Composed.

ただし、本実施形態においては、基材５０の窪み部５３の側面５３ｂに窪み部側面凸部６１が形成されており、この窪み部側面凸部６１により第２の側５０ｂから、後述する誘電率調整部材７０を支持する構成になっている。
この窪み部側面凸部６１を形成する方法としては、上述の第１の実施形態で説明した方法と同様に、図３（ａ）に示すような、回転軸４１の先端に研削ディスク４２を有する研削治具を用いて研削する方法を挙げることができる。 However, in this embodiment, the dent part side surface convex part 61 is formed in the side surface 53b of the dent part 53 of the base material 50, The dielectric constant mentioned later from the 2nd side 50b by this dent part side surface convex part 61. The adjustment member 70 is supported.
As a method for forming the depression side surface convex portion 61, as in the method described in the first embodiment, a grinding disk 42 is provided at the tip of the rotating shaft 41 as shown in FIG. The method of grinding using a grinding jig can be mentioned.

一例として、図５に示す窪み部５３の開口直径（Ｌ52）が６０ｍｍ程度の場合、窪み部側面凸部６１の突出長さ（Ｌ53）は５ｍｍ程度とすることができる。また、窪み部側面凸部６１の高さ（Ｓ51）は、窪み部５３の深さＤ51の１０〜９０％程度に設定され得る。 As an example, when the opening diameter (L 52 ) of the recessed portion 53 shown in FIG. 5 is about 60 mm, the protruding length (L 53 ) of the recessed portion side surface protruding portion 61 can be about 5 mm. In addition, the height (S 51 ) of the depression side surface protrusion 61 can be set to about 10 to 90% of the depth D 51 of the depression 53.

次に、本実施形態において用いられる誘電率調整部材の構成について説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。
本実施形態においても、上述の第１の実施形態における誘電率調整部材３０と同様に、誘電率調整部材７０は、窪み部５３の平面視における外形に実質的に相似する形状を有する。誘電率調整部材７０の平面視外形が窪み部５３の平面視外形に実質的に相似することで、窪み部５３内に誘電率調整部材７０を配置したときに、窪み部５３と誘電率調整部材７０との間隙の体積をより低減することができ、肉薄領域５４部分と肉厚領域５５部分との誘電率差をより小さくすることができるからである。 Next, the configuration of the dielectric constant adjusting member used in the present embodiment will be described.
FIG. 6 is an explanatory view showing an example of a dielectric constant adjusting member used in the second embodiment of the present invention, where (a) shows a cut end view and (b) shows a bottom view.
Also in this embodiment, like the dielectric constant adjusting member 30 in the first embodiment, the dielectric constant adjusting member 70 has a shape substantially similar to the outer shape of the hollow portion 53 in plan view. The planar view outer shape of the dielectric constant adjusting member 70 is substantially similar to the planar view outer shape of the recessed portion 53, so that when the dielectric constant adjusting member 70 is disposed in the recessed portion 53, the recessed portion 53 and the dielectric constant adjusting member are arranged. This is because the volume of the gap with respect to 70 can be further reduced, and the difference in dielectric constant between the thin region 54 and the thick region 55 can be further reduced.

ただし、上述の第１の実施形態における誘電率調整部材３０が側面凸部３１を有していたのに対し、本実施形態における誘電率調整部材７０は側面凹部７１ａおよび切欠き部７１ｂを有する点で相違する。
例えば、図６に示すように、誘電率調整部材７０は、円形状の上面７０ａと底面７０ｂを有し、その縁の一部に、上面７０ａから底面７０ｂにおよぶ切欠き部７１ｂを有している。また、側面には側面凹部７１ａを有している。
そして、この側面凹部７１ａに基材５０の窪み部側面凸部６１を挿入することにより、基材５０の第２の側５０ｂから誘電率調整部材７０を支持する。 However, while the dielectric constant adjusting member 30 in the first embodiment described above has the side convex portion 31, the dielectric constant adjusting member 70 in the present embodiment has the side concave portion 71a and the notched portion 71b. Is different.
For example, as shown in FIG. 6, the dielectric constant adjusting member 70 has a circular upper surface 70a and a bottom surface 70b, and has a notch 71b extending from the upper surface 70a to the bottom surface 70b at a part of its edge. Yes. Further, the side surface has a side recess 71a.
And the dielectric constant adjustment member 70 is supported from the 2nd side 50b of the base material 50 by inserting the hollow part side surface convex part 61 of the base material 50 in this side surface recessed part 71a.

より具体的に説明すると、誘電率調整部材の配置工程においては、まず、基材５０の窪み部側面凸部６１が、図６（ｂ）に示す誘電率調整部材７０の縁に設けられた切欠き部７１ｂを通過するようにして、誘電率調整部材７０全体を窪み部５３に挿入し、その後、基材５０の窪み部側面凸部６１が誘電率調整部材７０の側面凹部７１ａに沿って周回するように、誘電率調整部材７０を回転させて、窪み部側面凸部６１と切欠き部７１ｂとが互いに重ならない位置に配置する。
このような配置工程を経ることにより、基材５０の第２の側５０ｂから誘電率調整部材７０を支持することができる。 More specifically, in the step of arranging the dielectric constant adjusting member, first, the recess side surface convex portion 61 of the base material 50 is cut at the edge of the dielectric constant adjusting member 70 shown in FIG. The entire permittivity adjusting member 70 is inserted into the recess 53 so as to pass through the notch 71 b, and then the recess side projection 61 of the base material 50 circulates along the side recess 71 a of the permittivity adjustment member 70. As described above, the dielectric constant adjusting member 70 is rotated and disposed at a position where the recessed portion side surface convex portion 61 and the notch portion 71b do not overlap each other.
Through such an arrangement process, the dielectric constant adjusting member 70 can be supported from the second side 50b of the substrate 50.

なお、誘電率調整部材７０を基材５０から取り外すには、上記の配置工程と逆の手順を行えばよい。具体的には、誘電率調整部材７０を回転させて、窪み部側面凸部６１と切欠き部７１ｂとが互いに重なる位置にした後に、窪み部側面凸部６１が切欠き部７１ｂを通過するようにして、誘電率調整部材７０全体を窪み部５３から取り出せばよい。   In addition, in order to remove the dielectric constant adjusting member 70 from the base material 50, a procedure reverse to the above arrangement step may be performed. Specifically, the dielectric constant adjusting member 70 is rotated so that the recess side surface convex portion 61 and the notch portion 71b overlap each other, and then the recess portion side surface convex portion 61 passes through the notch portion 71b. Thus, the entire dielectric constant adjusting member 70 may be taken out from the recessed portion 53.

ここで、誘電率調整部材７０の各寸法は、基材５０の窪み部５３の各寸法よりも僅かに異なるように構成されていることが好ましい。
誘電率調整部材７０の窪み部５３内への配置や取り外しを容易にしつつ、窪み部５３内に誘電率調整部材７０を配置したときの窪み部５３と誘電率調整部材７０との間隙の体積を低減化することで、肉薄領域５４部分と肉厚領域５５部分との誘電率差をより小さくすることができるからである。 Here, it is preferable that each dimension of the dielectric constant adjusting member 70 is configured to be slightly different from each dimension of the recessed portion 53 of the base material 50.
While facilitating the placement and removal of the dielectric constant adjusting member 70 in the hollow portion 53, the volume of the gap between the hollow portion 53 and the dielectric constant adjusting member 70 when the dielectric constant adjusting member 70 is disposed in the hollow portion 53 is set. This is because the dielectric constant difference between the thin region 54 and the thick region 55 can be reduced by reducing the thickness.

具体的には、図６に示す誘電率調整部材７０の上面７０ａおよび底面７０ｂの直径Ｗ71は、図５に示す窪み部５３の開口の直径Ｌ52よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図６に示す誘電率調整部材７０の高さＨ71は、図５に示す窪み部５３の深さＤ51よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図５に示す基材５０の窪み部側面凸部６１の高さＳ51、奥行Ｌ53、および幅Ｌ54は、それぞれ、図６に示す誘電率調整部材７０の側面凹部７１ａの高さＨ72、奥行Ｗ72、および切欠き部７１ｂの幅Ｗ73よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。 Specifically, the diameter W 71 of the top surface 70a and the bottom surface 70b of the dielectric constant adjusting member 70 shown in FIG. 6 is about 1% to 10% smaller than the diameter L 52 of the opening of the recess 53 shown in FIG. Is preferred.
Further, the height H 71 of the dielectric constant adjusting member 70 shown in FIG. 6 is preferably smaller by about 1% to 10% than the depth D 51 of the recessed portion 53 shown in FIG.
Further, the height S 51 , the depth L 53 , and the width L 54 of the recess side surface convex portion 61 of the base material 50 shown in FIG. It is preferable that the width is smaller by about 1% to 10% than H 72 , depth W 72 , and width W 73 of notch 71b.

なお、図５に示す基材５０においては、窪み部側面凸部６１を２個有する形態の例を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、窪み部側面凸部６１を３個以上有する形態であってもよい。
このような場合には、対応する誘電率調整部材７０においても、基材５０が有する窪み部側面凸部６１の数や形状に応じた切欠き部７１ｂを備えることになる。 In addition, in the base material 50 shown in FIG. 5, although the example of the form which has two hollow part side surface convex parts 61 is shown, in this embodiment, it is not limited to this form, The hollow part side surface convex part 61 The form which has 3 or more may be sufficient.
In such a case, the corresponding dielectric constant adjusting member 70 is also provided with notches 71b corresponding to the number and shape of the recessed portion side surface convex portions 61 of the base material 50.

本実施形態においても、基材５０の窪み部５３内に誘電率調整部材７０を配置することで、パターン形成工程に際し、基材５０の肉薄領域５４部分と肉厚領域５５部分とにおける誘電率差を小さくすることができる。
よって、本実施形態においても、上述の第１の実施形態と同様に、パターン形成工程におけるエッチング精度を向上させることができ、微細凹凸パターンを有するインプリントモールドを高い精度で製造することができる。 Also in the present embodiment, by disposing the dielectric constant adjusting member 70 in the recess portion 53 of the base material 50, the dielectric constant difference between the thin region 54 portion and the thick region 55 portion of the base material 50 during the pattern forming process. Can be reduced.
Therefore, also in the present embodiment, as in the first embodiment described above, the etching accuracy in the pattern forming process can be improved, and an imprint mold having a fine concavo-convex pattern can be manufactured with high accuracy.

また、本実施形態においては、誘電率調整部材配置工程において、基材５０の窪み部側面凸部６１を、誘電率調整部材７０の側面凹部７１ａに挿入することにより、基材５０の第２の側５０ｂから誘電率調整部材７０を支持することができる。このような支持構造により、本実施形態においても、上述の第１の実施形態と同様に、基材５０の搬送時等に誘電率調整部材７０が窪み部５３から脱落してしまうことを防止することができる。   Further, in the present embodiment, in the dielectric constant adjusting member arranging step, the second concave portion side surface convex portion 61 of the base material 50 is inserted into the side surface concave portion 71 a of the dielectric constant adjusting member 70, so The dielectric constant adjusting member 70 can be supported from the side 50b. With such a support structure, also in the present embodiment, the dielectric constant adjusting member 70 is prevented from falling off from the recessed portion 53 when the substrate 50 is transported, as in the first embodiment. be able to.

（第３の実施形態）
次に、本発明に係る第３の実施形態について説明する。
本実施形態においても、上述の第１の実施形態や第２の実施形態と同様に、第２の誘電体を含む誘電率調整部材を、第１の誘電体を含む基材の窪み部内に配置する誘電率調整部材配置工程と、誘電率調整部材が窪み部内に配置された基材の第１の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成するパターン形成工程と、を備えているが、基材に形成された支持構造、対応する誘電率調整部材の構造、および、誘電率調整部材を支持する方法が、上述の第１の実施形態や第２の実施形態と異なる。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment according to the present invention will be described.
Also in the present embodiment, as in the first and second embodiments described above, the dielectric constant adjusting member including the second dielectric is disposed in the recess of the base material including the first dielectric. A dielectric constant adjusting member arranging step, and a pattern forming step for forming a fine uneven pattern by dry etching using plasma on the first side of the base material on which the dielectric constant adjusting member is arranged in the recess. However, the support structure formed on the base material, the structure of the corresponding dielectric constant adjusting member, and the method for supporting the dielectric constant adjusting member are different from those in the first and second embodiments described above.

図７は、本発明の第３の実施形態において用いられる基材および誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は基材の切断端面図、（ｂ）は誘電率調整部材の切断端面図を示す。
図７に示すように、本実施形態においては、基材８０の窪み部８３の側面８３ｂに窪み部側面凹凸部９１が形成されており、誘電率調整部材１００の側面に誘電率調整部材側面凹凸部１０１が形成されており、誘電率調整部材側面凹凸部１０１を窪み部側面凹凸部９１にはめ合わせることにより、第２の側８０ｂから誘電率調整部材１００を支持する。 FIG. 7 is an explanatory view showing an example of a base material and a dielectric constant adjusting member used in the third embodiment of the present invention, wherein (a) is a cut end view of the base material, and (b) is a dielectric constant adjusting member. The cut end view of is shown.
As shown in FIG. 7, in the present embodiment, the recess side surface uneven portion 91 is formed on the side surface 83 b of the recess portion 83 of the base material 80, and the dielectric constant adjusting member side surface unevenness is formed on the side surface of the dielectric constant adjusting member 100. The portion 101 is formed, and the dielectric constant adjusting member 100 is supported from the second side 80b by fitting the dielectric constant adjusting member side uneven portion 101 to the depression side surface uneven portion 91.

誘電率調整部材側面凹凸部１０１を窪み部側面凹凸部９１にはめ合わせる方法としては、例えば、誘電率調整部材側面凹凸部１０１と窪み部側面凹凸部９１を、互いの凹凸部が対応する１本のらせん状の構造となるように構成し、ボルトをナットにはめ合わせる（螺合する）ようにして、誘電率調整部材１００を基材８０の窪み部８３にはめ合わせる方法を、好適に用いることができる。   As a method for fitting the dielectric constant adjusting member side surface uneven portion 101 to the concave portion side surface concave and convex portion 91, for example, the dielectric constant adjusting member side surface concave and convex portion 101 and the concave portion side surface concave and convex portion 91 are one corresponding to each other concave and convex portion. A method of fitting the dielectric constant adjusting member 100 to the recessed portion 83 of the base material 80 by using a helical structure and fitting the bolt to the nut (screwing) is preferably used. Can do.

窪み部側面凹凸部９１を形成する方法としては、上述の第１の実施形態で説明した方法と同様に、図３（ａ）に示すような、回転軸４１の先端に研削ディスク４２を有する研削治具を用いて研削する方法を挙げることができる。一例として、窪み部側面凹凸部９１の凹凸差（Ｌ91）は５ｍｍ程度とすることができる。 As a method of forming the recess side surface uneven portion 91, as in the method described in the first embodiment, grinding having a grinding disk 42 at the tip of the rotating shaft 41 as shown in FIG. A method of grinding using a jig can be mentioned. As an example, the unevenness difference (L 91 ) of the recessed portion side surface uneven portion 91 can be about 5 mm.

なお、図７（ａ）に示す例においては、窪み部８３の側面８３ｂの全面に窪み部側面凹凸部９１が形成されている形態を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、窪み部８３の側面８３ｂの一部にのみ窪み部側面凹凸部９１が形成されている形態であってもよい。
同様に、図７（ｂ）に示す例においては、誘電率調整部材１００の側面全面に誘電率調整部材側面凹凸部１０１が形成されている形態を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、誘電率調整部材１００の側面の一部にのみ誘電率調整部材側面凹凸部１０１が形成されている形態であってもよい。 In the example shown in FIG. 7A, a configuration in which the concave portion side surface uneven portion 91 is formed on the entire side surface 83 b of the concave portion 83 is shown, but in the present embodiment, the configuration is limited to this configuration. Alternatively, the concave portion side surface uneven portion 91 may be formed only on a part of the side surface 83 b of the concave portion 83.
Similarly, in the example shown in FIG. 7B, a form in which the dielectric constant adjusting member side surface uneven portion 101 is formed on the entire side surface of the dielectric constant adjusting member 100 is shown. It is not limited to the form, and the form in which the dielectric constant adjusting member side surface uneven portion 101 is formed only on a part of the side surface of the dielectric constant adjusting member 100 may be adopted.

本実施形態においても、基材８０の窪み部８３内に誘電率調整部材１００を配置することで、パターン形成工程に際し、基材８０の肉薄領域部分と肉厚領域部分とにおける誘電率差を小さくすることができる。
よって、本実施形態においても、上述の第１の実施形態や第２の実施形態と同様に、パターン形成工程におけるエッチング精度を向上させることができ、微細凹凸パターンを有するインプリントモールドを高い精度で製造することができる。 Also in the present embodiment, by disposing the dielectric constant adjusting member 100 in the recess 83 of the base material 80, the difference in dielectric constant between the thin area portion and the thick area portion of the base material 80 is reduced during the pattern forming process. can do.
Therefore, also in the present embodiment, the etching accuracy in the pattern forming process can be improved as in the first embodiment and the second embodiment described above, and an imprint mold having a fine concavo-convex pattern can be formed with high accuracy. Can be manufactured.

また、本実施形態においては、誘電率調整部材配置工程において、誘電率調整部材１００の誘電率調整部材側面凹凸部１０１を、基材８０の窪み部側面凹凸部９１にはめ合わせることにより、基材８０の第２の側８０ｂから誘電率調整部材１００を支持することができる。このような支持構造により、本実施形態においても、上述の第１の実施形態や第２の実施形態と同様に、基材８０の搬送時等に誘電率調整部材１００が窪み部８３から脱落してしまうことを防止することができる。   Further, in the present embodiment, in the dielectric constant adjusting member arranging step, the dielectric constant adjusting member side surface uneven portion 101 of the dielectric constant adjusting member 100 is fitted to the hollow portion side surface uneven portion 91 of the base material 80 to thereby form the base material. The dielectric constant adjusting member 100 can be supported from the second side 80 b of 80. Due to such a support structure, also in the present embodiment, the dielectric constant adjusting member 100 is dropped from the recessed portion 83 when the substrate 80 is transported, as in the first and second embodiments described above. Can be prevented.

（第４の実施形態）
次に、本発明に係る第４の実施形態について説明する。
本実施形態においても、上述の第１〜第３の実施形態と同様に、第２の誘電体を含む誘電率調整部材を、第１の誘電体を含む基材の窪み部内に配置する誘電率調整部材配置工程と、誘電率調整部材が窪み部内に配置された基材の第１の側に、プラズマを用いたドライエッチングにより微細凹凸パターンを形成するパターン形成工程と、を備えているが、基材に形成された支持構造、対応する誘電率調整部材の構造、および、誘電率調整部材を支持する方法が、上述の第１〜第３の実施形態と異なる。 (Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment according to the present invention will be described.
Also in this embodiment, the dielectric constant which arrange | positions the dielectric constant adjustment member containing a 2nd dielectric material in the hollow part of the base material containing a 1st dielectric material similarly to the above-mentioned 1st-3rd embodiment. An adjustment member arranging step and a pattern forming step of forming a fine uneven pattern by dry etching using plasma on the first side of the base material on which the dielectric constant adjusting member is arranged in the recess, The support structure formed on the base material, the structure of the corresponding dielectric constant adjusting member, and the method for supporting the dielectric constant adjusting member are different from those in the first to third embodiments.

図８は、本発明の第４の実施形態において用いられる基材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。また、図９は、本発明の第４の実施形態において用いられる誘電率調整部材の一例を示す説明図であり、（ａ）は切断端面図、（ｂ）は底面図を示す。
図８に示すように、本実施形態においては、基材１１０の窪み部１１３の側面１１３ｂが傾斜面を有しており、断面視上、窪み部１１３において対向する傾斜面の間の距離が、第１の側１１０ａよりも第２の側１１０ｂが小さくなっている。
一方、図９に示す誘電率調整部材１３０においては、側面凸部１３１の側面が傾斜面を有しており、側面凸部１３１を含む断面において、誘電率調整部材１３０の上面１３０ａの寸法（Ｗ131＋Ｗ132＋Ｗ132）が、底面１３０ｂの寸法（Ｗ131）よりも大きくなっている形態を有している。 FIG. 8 is an explanatory view showing an example of a substrate used in the fourth embodiment of the present invention, where (a) shows a cut end view, and (b) shows a bottom view. FIG. 9 is an explanatory view showing an example of a dielectric constant adjusting member used in the fourth embodiment of the present invention, where (a) shows a cut end view and (b) shows a bottom view.
As shown in FIG. 8, in the present embodiment, the side surface 113b of the recess 113 of the base 110 has an inclined surface, and the distance between the inclined surfaces facing each other in the recess 113 in the cross-sectional view is as follows. The second side 110b is smaller than the first side 110a.
On the other hand, in the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9, the side surface of the side surface convex portion 131 has an inclined surface, and the dimension (W) of the upper surface 130 a of the dielectric constant adjusting member 130 in the cross section including the side surface convex portion 131. 131 + W 132 + W 132 ) is larger than the dimension (W 131 ) of the bottom surface 130b.

本実施形態においては、基材１１０が上記のような構成を有することにより、例えば、図９に示すような、側面凸部１３１を有する誘電率調整部材１３０を基材１１０の第２の側１１０ｂから支持することができる。   In the present embodiment, since the base material 110 has the above-described configuration, for example, the dielectric constant adjusting member 130 having the side protrusions 131 as illustrated in FIG. Can be supported from.

より具体的に説明すると、誘電率調整部材の配置工程においては、まず、図９に示す誘電率調整部材１３０の側面凸部１３１が、図８（ｂ）に示す基材１１０の窪み部１１３の縁に設けられた切欠き部１２１を通過するようにして、誘電率調整部材１３０全体を窪み部１１３に挿入し、その後、誘電率調整部材１３０を回転させて、側面凸部１３１と切欠き部１２１とが互いに重ならない位置に配置する。
このような配置工程を経ることにより、基材１１０の第２の側１１０ｂから誘電率調整部材１３０を支持することができる。 More specifically, in the arrangement step of the dielectric constant adjusting member, first, the side convex portion 131 of the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9 is formed on the depression 113 of the base 110 shown in FIG. The entire dielectric constant adjusting member 130 is inserted into the recess 113 so as to pass through the notched portion 121 provided at the edge, and then the dielectric constant adjusting member 130 is rotated so that the side convex portion 131 and the notched portion It arrange | positions in the position which 121 does not mutually overlap.
Through such an arrangement step, the dielectric constant adjusting member 130 can be supported from the second side 110b of the base 110.

なお、誘電率調整部材１３０を基材１１０から取り外すには、上記の配置工程と逆の手順を行えばよい。具体的には、誘電率調整部材１３０を回転させて、側面凸部１３１と切欠き部１２１とが互いに重なる位置にした後に、側面凸部１３１が切欠き部１２１を通過するようにして、誘電率調整部材１３０全体を窪み部１１３から取り出せばよい。   In addition, in order to remove the dielectric constant adjusting member 130 from the base material 110, a procedure reverse to the above arrangement step may be performed. Specifically, after the dielectric constant adjusting member 130 is rotated so that the side surface convex portion 131 and the notch portion 121 overlap each other, the side surface convex portion 131 passes through the notch portion 121, and the dielectric is adjusted. What is necessary is just to take out the whole rate adjustment member 130 from the hollow part 113. FIG.

基材１１０の窪み部１１３の側面１１３ｂに傾斜面を形成する方法としては、上述の第１の実施形態で説明した方法と同様に、図３（ａ）に示すような、回転軸４１の先端に研削ディスク４２を有する研削治具を用いて研削する方法を挙げることができる。   As a method of forming the inclined surface on the side surface 113b of the hollow portion 113 of the base 110, the tip of the rotating shaft 41 as shown in FIG. 3A is similar to the method described in the first embodiment. A method of grinding using a grinding jig having a grinding disk 42 can be mentioned.

傾斜面の角度（θ110）の範囲としては、９°＜θ110＜９０°が適用可能であるが、基材１１０のパターン領域１１２の下の位置における窪み部１１３が、誘電率調整部材１３０の肉厚部（高さＨ130）で埋められるようにすること、すなわち、基材１１０のパターン領域１１２が誘電率調整部材１３０の底面１３０ｂと重複すること、を考慮すると、２３°＜θ110＜９０°が好ましい。 As the range of the angle (θ 110 ) of the inclined surface, 9 ° <θ 110 <90 ° is applicable, but the depression 113 at a position below the pattern region 112 of the substrate 110 is the dielectric constant adjusting member 130. to ensure that are filled with the thick portion (the height H 130), i.e., the pattern area 112 of the substrate 110 overlaps the bottom surface 130b of the dielectric constant adjusting member 130, the considering, 23 ° <theta 110 <90 ° is preferred.

ここで、図９に示す誘電率調整部材１３０においては、側面凸部１３１の側面が傾斜面を有しているが、その角度（θ130）は、基材１１０の窪み部１１３の側面１１３ｂの傾斜面の角度（θ110）と一致していなくても良く、９°＜θ130＜９０°の範囲で適用可能である。
さらには、本実施形態においては、誘電率調整部材の側面凸部の側面は傾斜面を有していなくても良く、例えば、上述の図４に示したような形態の誘電率調整部材も用いることができる。 Here, in the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9, the side surface of the side surface convex portion 131 has an inclined surface, and the angle (θ 130 ) is the same as that of the side surface 113 b of the recessed portion 113 of the substrate 110. It does not have to coincide with the angle (θ 110 ) of the inclined surface, and can be applied in the range of 9 ° <θ 130 <90 °.
Furthermore, in this embodiment, the side surface of the side surface convex portion of the dielectric constant adjusting member may not have an inclined surface, and for example, a dielectric constant adjusting member having a form as shown in FIG. 4 is also used. be able to.

ただし、窪み部１１３内に誘電率調整部材を配置したときに、窪み部１１３と誘電率調整部材との間隙の体積をより低減するためには、誘電率調整部材の形態は、図９に示す誘電率調整部材１３０のような形態であって、誘電率調整部材１３０の側面凸部１３１の側面が有する傾斜面の角度（θ130）は、基材１１０の窪み部１１３の側面１１３ｂの傾斜面の角度（θ110）と一致していることが好ましい。
また、上述の第１の実施形態と同様に、誘電率調整部材１３０の各寸法は、基材１１０の窪み部１１３の各寸法よりも僅かに小さくなるように構成されていることが好ましい。 However, in order to further reduce the volume of the gap between the depression 113 and the dielectric constant adjustment member when the dielectric constant adjustment member is disposed in the depression 113, the form of the dielectric constant adjustment member is shown in FIG. The angle (θ 130 ) of the inclined surface of the side surface convex portion 131 of the dielectric constant adjusting member 130 is the same as that of the dielectric constant adjusting member 130, and the inclined surface of the side surface 113 b of the recess 113 of the substrate 110 is the same. It is preferable that the angle coincides with the angle (θ 110 ).
Further, similarly to the first embodiment described above, it is preferable that each dimension of the dielectric constant adjusting member 130 is configured to be slightly smaller than each dimension of the recessed portion 113 of the substrate 110.

具体的には、図９に示す誘電率調整部材１３０の底面１３０ｂの直径Ｗ131は、図８に示す窪み部１１３の開口の直径Ｌ112よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図９に示す誘電率調整部材１３０の高さＨ130は、図８に示す窪み部１１３の深さＤ110よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。
また、図９に示す誘電率調整部材１３０の側面凸部１３１の奥行Ｗ132、および幅Ｗ133は、それぞれ、図８に示す窪み部１１３の開口から底面部１１３ａに至る奥行Ｌ113、および切欠き部１２１の幅Ｌ114よりも、１％〜１０％程度小さいことが好ましい。 Specifically, the diameter W 131 of the bottom surface 130b of the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9 is preferably about 1% to 10% smaller than the diameter L 112 of the opening of the recess 113 shown in FIG.
The height H 130 of the dielectric constant adjustment member 130 shown in FIG. 9, than the depth D 110 of the recess 113 shown in FIG. 8, it is preferably about 1% to 10% smaller.
Further, the depth W 132 and the width W 133 of the side convex portion 131 of the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9 are respectively the depth L 113 extending from the opening of the hollow portion 113 to the bottom surface portion 113a shown in FIG. It is preferable that the width L 114 of the notch 121 is smaller by about 1% to 10%.

なお、図８に示す例においては、窪み部１１３の側面１１３ｂの全面が傾斜面になっている形態を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、窪み部１１３の側面１１３ｂの一部にのみ傾斜面が形成されている形態であってもよい。   In addition, in the example shown in FIG. 8, although the whole surface of the side surface 113b of the hollow part 113 has shown the inclined surface, in this embodiment, it is not limited to this form, The side surface of the hollow part 113 An inclined surface may be formed only on a part of 113b.

また、図９に示す誘電率調整部材１３０においては、側面凸部１３１を２個有する形態の例を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、側面凸部１３１を３個以上有する形態であってもよい。
このような場合には、対応する基材１１０においても、誘電率調整部材１３０が有する側面凸部１３１の数や形状に応じた切欠き部１２１を備えることになる。 In addition, in the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9, an example of a form having two side protrusions 131 is shown, but in the present embodiment, the shape is not limited to this, and the side protrusions 131 are three. The form which has more than one may be sufficient.
In such a case, the corresponding base material 110 is also provided with the notch portions 121 corresponding to the number and shape of the side surface convex portions 131 included in the dielectric constant adjusting member 130.

また、図９に示す誘電率調整部材１３０においては、側面凸部１３１が固定された形態の例を示しているが、本実施形態においては、この形態に限定されず、側面凸部１３１が可動性を有しており、例えば、側面凸部１３１が誘電率調整部材１３０の側面の中に収納されるようなものであってもよい。このような場合には、基材１１０には切欠き部１２１を設ける必要はない。   Further, in the dielectric constant adjusting member 130 shown in FIG. 9, an example in which the side surface convex portion 131 is fixed is shown, but in the present embodiment, the shape is not limited thereto, and the side surface convex portion 131 is movable. For example, the side convex portion 131 may be housed in the side surface of the dielectric constant adjusting member 130. In such a case, it is not necessary to provide the notch 121 in the base material 110.

本実施形態においても、基材１１０の窪み部１１３内に誘電率調整部材１３０を配置することで、パターン形成工程に際し、基材１１０の肉薄領域部分と肉厚領域部分とにおける誘電率差を小さくすることができる。
よって、本実施形態においても、上述の第１〜第３の実施形態と同様に、パターン形成工程におけるエッチング精度を向上させることができ、微細凹凸パターンを有するインプリントモールドを高い精度で製造することができる。 Also in the present embodiment, by disposing the dielectric constant adjusting member 130 in the recess 113 of the base material 110, the difference in dielectric constant between the thin area portion and the thick area portion of the base material 110 is reduced during the pattern forming process. can do.
Therefore, also in this embodiment, as in the first to third embodiments described above, the etching accuracy in the pattern forming process can be improved, and an imprint mold having a fine concavo-convex pattern can be manufactured with high accuracy. Can do.

また、本実施形態においては、基材１１０の窪み部１１３の側面１１３ｂが傾斜面を有しており、断面視上、窪み部１１３において対向する傾斜面の間の距離が、第１の側１１０ａよりも第２の側１１０ｂが小さくなっているため、誘電率調整部材配置工程において、例えば、図９に示すような、側面凸部１３１を有する誘電率調整部材１３０を基材１１０の第２の側１１０ｂから支持することができる。
このような支持構造により、本実施形態においても、上述の第１〜第３の実施形態と同様に、基材１１０の搬送時等に誘電率調整部材１３０が窪み部１１３から脱落してしまうことを防止することができる。 Further, in the present embodiment, the side surface 113b of the recess 113 of the base 110 has an inclined surface, and the distance between the inclined surfaces facing each other in the recess 113 in the sectional view is the first side 110a. Since the second side 110b is smaller than the second side 110b, the dielectric constant adjusting member 130 having the side convex portion 131 as shown in FIG. Can be supported from side 110b.
Due to such a support structure, in this embodiment as well, in the same manner as in the first to third embodiments described above, the dielectric constant adjusting member 130 drops off from the recess 113 when the substrate 110 is transported. Can be prevented.

以上、本発明に係るインプリントモールドについてそれぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と、実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。   As mentioned above, although each embodiment was described about the imprint mold concerning the present invention, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the technical idea described in the claims of the present invention has substantially the same configuration and exhibits the same function and effect regardless of the case. It is included in the technical scope of the invention.

１・・・インプリントモールド
２・・・微細凹凸パターン
１０、５０、８０、１１０・・・基材
１０ａ、５０ａ、８０ａ、１１０ａ・・・第１の側
１０ｂ、５０ｂ、８０ｂ、１１０ｂ・・・第２の側
１１、５１、８１、１１１・・・凸構造
１２、５２、８２、１１２・・・パターン領域
１３、５３、８３、１１３・・・窪み部
１３ａ、５３ａ、８３ａ、１１３ａ・・・底面部
１３ｂ、５３ｂ、８３ｂ、１１３ｂ・・・側面
１４、５４、１１４・・・肉薄領域
１５、５５、１１５・・・肉厚領域
１６・・・エッチングマスク
２１ａ・・・窪み部側面凹部
２１ｂ、１２１・・・切欠き部
３０、７０、１００、１３０・・・誘電率調整部材
３０ａ、７０ａ、１００ａ、１３０ａ・・・上面
３０ｂ、７０ｂ、１００ｂ、１３０ｂ・・・底面
３１、１３１・・・側面凸部
４１・・・回転軸
４２・・・研削ディスク
６１・・・窪み部側面凸部
７１ａ・・・側面凹部
７１ｂ・・・切欠き部
９１・・・窪み部側面凹凸部
１０１・・・誘電率調整部材側面凹凸部
１０１０・・・基材
１１００・・・インプリントモールド
１１００ａ・・・第１の側
１１００ｂ・・・第２の側
１１２０・・・パターン領域
１１３０・・・窪み部
１１４０・・・肉薄領域
１１５０・・・肉厚領域
１１６０・・・エッチングマスク
１２００・・・微細凹凸パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Imprint mold 2 ... Fine uneven | corrugated pattern 10, 50, 80, 110 ... Base material 10a, 50a, 80a, 110a ... 1st side 10b, 50b, 80b, 110b ... Second side 11, 51, 81, 111 ... convex structure 12, 52, 82, 112 ... pattern region 13, 53, 83, 113 ... depression 13a, 53a, 83a, 113a ... Bottom portion 13b, 53b, 83b, 113b ... Side surface 14, 54, 114 ... Thin region 15, 55, 115 ... Thick region 16 ... Etching mask 21a ... Depression side surface recess 21b, 121: Notch 30, 70, 100, 130 ... Dielectric constant adjusting member 30a, 70a, 100a, 130a ... Upper surface 30b, 70b, 100b, 130b ... Bottom 31, 131... Side convex part 41... Rotating shaft 42... Grinding disk 61... Depressed part side convex part 71a .. Side surface concave part 71b ... Notch part 91. Concavity and convexity 101 ... Dielectric constant adjusting member side surface concavity and convexity 1010 ... Substrate 1100 ... Imprint mold 1100a ... First side 1100b ... Second side 1120 ... Pattern region 1130 ··· depression 1140 · · · thin region 1150 · · · thick region 1160 · · · etching mask 1200 · · · fine uneven pattern

Claims (5)

第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、
前記第２の側に窪み部が形成されており、
プラズマを用いたドライエッチングにより前記第１の側に微細凹凸パターンを形成する際に前記窪み部に配置される誘電率調整部材を、前記第２の側から支持する支持構造を有することを特徴とするインプリントモールド。 Having a first side and a second side opposite the first side;
A recess is formed on the second side;
It has a support structure that supports a dielectric constant adjusting member disposed in the depression when the fine uneven pattern is formed on the first side by dry etching using plasma from the second side. Imprint mold. 第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、
前記第１の側に微細凹凸パターンが形成され、
前記第２の側に窪み部が形成されており、
前記窪み部の側面に窪み部側面凹部を有することを特徴とするインプリントモールド。 Having a first side and a second side opposite the first side;
A fine uneven pattern is formed on the first side;
A recess is formed on the second side;
An imprint mold comprising a recess-side recess on a side surface of the recess. 第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、
前記第１の側に微細凹凸パターンが形成され、
前記第２の側に窪み部が形成されており、
前記窪み部の側面に窪み部側面凸部を有することを特徴とするインプリントモールド。 Having a first side and a second side opposite the first side;
A fine uneven pattern is formed on the first side;
A recess is formed on the second side;
An imprint mold characterized by having a dent portion side surface convex portion on a side surface of the dent portion. 第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、
前記第１の側に微細凹凸パターンが形成され、
前記第２の側に窪み部が形成されており、
前記窪み部の側面に窪み部側面凹凸部を有することを特徴とするインプリントモールド。 Having a first side and a second side opposite the first side;
A fine uneven pattern is formed on the first side;
A recess is formed on the second side;
An imprint mold comprising a recess portion side surface uneven portion on a side surface of the recess portion. 第１の側と、前記第１の側に対向する第２の側とを有し、
前記第１の側に微細凹凸パターンが形成され、
前記第２の側に窪み部が形成されており、
前記窪み部の側面が傾斜面を有しており、
断面視上、前記窪み部において対向する前記傾斜面の間の距離が、窪み部の底面部側よりも窪み部の開口側が小さいことを特徴とするインプリントモールド。
Having a first side and a second side opposite the first side;
A fine uneven pattern is formed on the first side;
A recess is formed on the second side;
A side surface of the depression has an inclined surface;
An imprint mold characterized in that, on a cross-sectional view, the distance between the inclined surfaces facing each other in the dent portion is smaller on the opening side of the dent portion than on the bottom surface side of the dent portion .
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