JP6314472B2 - Fluorescent wheel for projector, manufacturing method thereof, and light emitting device for projector - Google Patents

Fluorescent wheel for projector, manufacturing method thereof, and light emitting device for projector Download PDF

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Description

本発明は、プロジェクター用蛍光ホイール、その製造方法及びプロジェクター用発光デバイスに関するものである。   The present invention relates to a fluorescent wheel for a projector, a manufacturing method thereof, and a light emitting device for a projector.

近年、プロジェクターを小型化するため、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）と蛍光体とを用いた発光デバイスが提案されている。例えば、特許文献１には、紫外光を発光する光源と、光源からの紫外光を可視光に変換する蛍光体層とを備える発光デバイスを用いたプロジェクターが開示されている。特許文献１においては、リング状の回転可能な透明基板の上に、リング状の蛍光体層を設けることにより作製した蛍光ホイールが用いられている。   In recent years, in order to reduce the size of a projector, a light emitting device using an LED (Light Emitting Diode) and a phosphor has been proposed. For example, Patent Document 1 discloses a projector using a light emitting device that includes a light source that emits ultraviolet light and a phosphor layer that converts ultraviolet light from the light source into visible light. In Patent Document 1, a fluorescent wheel produced by providing a ring-shaped phosphor layer on a ring-shaped rotatable transparent substrate is used.

特開２００４−３４１１０５号公報JP 2004-341105 A

ところで、光源として高出力の光源を用いる場合、励起光の照射により蛍光体が発熱し、蛍光体層が加熱される。蛍光体層が加熱されると、蛍光強度が低下したり、蛍光体層が基板から剥離するという問題を生じる。そこで、金属反射基板上に蛍光体層を形成した反射型の蛍光ホイールとする方法が考えられる。この蛍光ホイールでは、蛍光体層に発生した熱を金属反射基板を通じて放熱することができるため、蛍光体層の剥離を抑制できるという利点がある。しかしながら、この場合は十分な蛍光強度が得られにくいといった別の問題が生じ得る。   By the way, when a high-output light source is used as the light source, the phosphor generates heat by the irradiation of excitation light, and the phosphor layer is heated. When the phosphor layer is heated, there is a problem that the fluorescence intensity is reduced or the phosphor layer is peeled off from the substrate. In view of this, it is conceivable to use a reflective fluorescent wheel in which a phosphor layer is formed on a metal reflective substrate. In this fluorescent wheel, heat generated in the phosphor layer can be dissipated through the metal reflective substrate, so that there is an advantage that peeling of the phosphor layer can be suppressed. However, in this case, another problem that a sufficient fluorescence intensity cannot be obtained may occur.

本発明の目的は、蛍光体層が加熱されるのを抑制することができ、かつ蛍光強度を高めることができるプロジェクター用蛍光ホイール、その製造方法及びそれを用いたプロジェクター用発光デバイスを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a fluorescent wheel for a projector capable of suppressing the phosphor layer from being heated and increasing the fluorescent intensity, a manufacturing method thereof, and a light emitting device for a projector using the same. It is in.

本発明のプロジェクター用蛍光ホイールは、リング状の金属反射基板と、金属反射基板上に設けられる蛍光体層と、金属反射基板と蛍光体層の間に設けられる散乱層と、金属反射基板と散乱層の間に設けられる接合材層とを備え、散乱層が、Ａｌ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｇａ、Ｍｇ、Ｓｉ及びＺｎからなる群から選ばれる少なくとも一種の酸化物または窒化物からなる無機粒子を含むことを特徴としている。   A fluorescent wheel for a projector according to the present invention includes a ring-shaped metal reflection substrate, a phosphor layer provided on the metal reflection substrate, a scattering layer provided between the metal reflection substrate and the phosphor layer, a metal reflection substrate, and a scattering And at least one oxide or nitride selected from the group consisting of Al, Nb, Ta, La, Zr, Ce, Ga, Mg, Si and Zn. It is characterized by containing the inorganic particle which consists of.

蛍光体層は、リング状であることが好ましい。   The phosphor layer is preferably ring-shaped.

蛍光体層は、第１のガラスマトリクスと、第１のガラスマトリクス中に分散した蛍光体粒子とを含有することが好ましい。   The phosphor layer preferably contains a first glass matrix and phosphor particles dispersed in the first glass matrix.

散乱層は、第２のガラスマトリクスと、第２のガラスマトリクス中に分散した無機粒子とを含有することが好ましい。   The scattering layer preferably contains a second glass matrix and inorganic particles dispersed in the second glass matrix.

第１のガラスマトリクスと第２のガラスマトリクスは、実質的に同じガラスであることが好ましい。   It is preferable that the first glass matrix and the second glass matrix are substantially the same glass.

金属反射基板としては、例えば、アルミニウム基板を用いることができる。   As the metal reflective substrate, for example, an aluminum substrate can be used.

接合材層は、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、またはポリイミド樹脂から形成することができる。   The bonding material layer can be formed from, for example, a silicone resin, an epoxy resin, or a polyimide resin.

接合材層は、無機接着剤から形成されていてもよい。   The bonding material layer may be formed from an inorganic adhesive.

散乱層の厚みは、１０μｍ〜５００μｍの範囲内であることが好ましい。   The thickness of the scattering layer is preferably in the range of 10 μm to 500 μm.

本発明の製造方法は、上記本発明のプロジェクター用蛍光ホイールを製造するための方法であって、ガラス粒子と、蛍光体粒子と、有機成分とを含む蛍光体層用のグリーンシートを作製する工程と、ガラス粒子と、無機粒子と、有機成分とを含む散乱層用のグリーンシートを作製する工程と、蛍光体層用のグリーンシート及び散乱層用のグリーンシートを重ね合わせて焼成することにより、蛍光体層及び散乱層を形成する工程とを備えることを特徴としている。   The production method of the present invention is a method for producing the above-described fluorescent wheel for a projector of the present invention, and a step of producing a green sheet for a phosphor layer containing glass particles, phosphor particles, and an organic component. A step of producing a green sheet for a scattering layer containing glass particles, inorganic particles, and an organic component, and by firing the green sheet for the phosphor layer and the green sheet for the scattering layer in an overlapping manner, And a step of forming a phosphor layer and a scattering layer.

本発明の製造方法は、蛍光体層及び散乱層を、接合材により金属反射基板と接合する工程をさらに備えることが好ましい。   The production method of the present invention preferably further includes a step of bonding the phosphor layer and the scattering layer to the metal reflective substrate with a bonding material.

本発明のプロジェクター用発光デバイスは、上記本発明のプロジェクター用蛍光ホイールと、蛍光体層の蛍光体を励起させるための励起光を照射する光源とを備えることを特徴としている。   A light-emitting device for a projector according to the present invention includes the above-described fluorescent wheel for a projector according to the present invention and a light source that emits excitation light for exciting the phosphor of the phosphor layer.

本発明によれば、プロジェクター用蛍光ホイールにおいて蛍光体層が加熱されるのを抑制することができ、かつ蛍光強度を高めることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can suppress that a fluorescent substance layer is heated in the fluorescent wheel for projectors, and can raise fluorescence intensity.

本発明の一実施形態のプロジェクター用蛍光ホイールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the fluorescent wheel for projectors of one Embodiment of this invention. 図１に示すＡ−Ａ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line shown in FIG. 本発明の一実施形態のプロジェクター用蛍光ホイールにおける蛍光体層の近傍を拡大して示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which expands and shows the vicinity of the fluorescent substance layer in the fluorescent wheel for projectors of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態のプロジェクター用発光デバイスを示す模式的側面図である。It is a typical side view showing a light emitting device for projectors of one embodiment of the present invention.

以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。   Hereinafter, preferred embodiments will be described. However, the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to the following embodiments. Moreover, in each drawing, the member which has the substantially the same function may be referred with the same code | symbol.

図１は、本発明の一実施形態のプロジェクター用蛍光ホイールを示す斜視図である。図２は、図１に示すＡ−Ａ線に沿う断面図である。図１及び図２に示すように、蛍光ホイール１０は、リング状の形状を有している。蛍光ホイール１０は、リング状の金属反射基板１２と、金属反射基板１２上に設けられるリング状の蛍光体層１１と、金属反射基板１２と蛍光体層１１の間に設けられる散乱層１３と、金属反射基板１２と散乱層１３の間に設けられる接合材層１４とを備えている。蛍光体層１１と散乱層１３とは、熱融着により接合されている。   FIG. 1 is a perspective view showing a projector fluorescent wheel according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the fluorescent wheel 10 has a ring shape. The fluorescent wheel 10 includes a ring-shaped metal reflecting substrate 12, a ring-shaped phosphor layer 11 provided on the metal reflecting substrate 12, a scattering layer 13 provided between the metal reflecting substrate 12 and the phosphor layer 11, A bonding material layer 14 provided between the metal reflective substrate 12 and the scattering layer 13 is provided. The phosphor layer 11 and the scattering layer 13 are joined by thermal fusion.

図３は、本発明の一実施形態のプロジェクター用蛍光ホイールにおける蛍光体層の近傍を拡大して示す部分断面図である。本実施形態において、蛍光体層１１は、第１のガラスマトリクス１６と、その中に分散した蛍光体粒子１５とから構成されている。本実施形態では、蛍光体粒子１５として、無機蛍光体の粒子が用いられている。   FIG. 3 is an enlarged partial sectional view showing the vicinity of the phosphor layer in the phosphor wheel for a projector according to the embodiment of the present invention. In the present embodiment, the phosphor layer 11 is composed of a first glass matrix 16 and phosphor particles 15 dispersed therein. In the present embodiment, inorganic phosphor particles are used as the phosphor particles 15.

第１のガラスマトリクス１６は、無機蛍光体等の蛍光体粒子１５の分散媒として用いることができるものであれば特に限定されない。例えば、ホウ珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラスなどを用いることができる。ガラスマトリクスの軟化点は、２５０℃〜１０００℃であることが好ましく、３００℃〜８５０℃であることがより好ましい。   The first glass matrix 16 is not particularly limited as long as it can be used as a dispersion medium for the phosphor particles 15 such as inorganic phosphors. For example, borosilicate glass or phosphate glass can be used. The softening point of the glass matrix is preferably 250 ° C to 1000 ° C, and more preferably 300 ° C to 850 ° C.

蛍光体粒子１５は、励起光の入射により蛍光を出射するものであれば、特に限定されるものではない。蛍光体の具体例としては、例えば、酸化物蛍光体、窒化物蛍光体、酸窒化物蛍光体、塩化物蛍光体、酸塩化物蛍光体、硫化物蛍光体、酸硫化物蛍光体、ハロゲン化物蛍光体、カルコゲン化物蛍光体、アルミン酸塩蛍光体、ハロリン酸塩化物蛍光体、ガーネット系化合物蛍光体から選ばれた１種以上等が挙げられる。励起光として青色光を用いる場合、例えば、緑色光または黄色光を蛍光として出射する蛍光体を用いることができる。   The phosphor particles 15 are not particularly limited as long as they emit fluorescence when incident excitation light is incident. Specific examples of the phosphor include, for example, an oxide phosphor, a nitride phosphor, an oxynitride phosphor, a chloride phosphor, an acid chloride phosphor, a sulfide phosphor, an oxysulfide phosphor, and a halide. Examples thereof include one or more selected from phosphors, chalcogenide phosphors, aluminate phosphors, halophosphate phosphors, and garnet compound phosphors. When blue light is used as the excitation light, for example, a phosphor that emits green light or yellow light as fluorescence can be used.

蛍光体粒子１５の平均粒子径は、１μｍ〜５０μｍであることが好ましく、５μｍ〜２５μｍであることがより好ましい。蛍光体粒子１５の平均粒子径が小さすぎると、発光強度が低下する場合がある。一方、蛍光体粒子１５の平均粒子径が大きすぎると、発光色が不均一になる場合がある。   The average particle diameter of the phosphor particles 15 is preferably 1 μm to 50 μm, and more preferably 5 μm to 25 μm. If the average particle diameter of the phosphor particles 15 is too small, the emission intensity may be reduced. On the other hand, if the average particle diameter of the phosphor particles 15 is too large, the emission color may be non-uniform.

蛍光体層１１中での蛍光体粒子１５の含有量は、５〜８０体積％の範囲内であることが好ましく、１０〜７５体積％の範囲内であることがより好ましく、２０〜７０体積％の範囲内であることがさらに好ましい。   The content of the phosphor particles 15 in the phosphor layer 11 is preferably in the range of 5 to 80% by volume, more preferably in the range of 10 to 75% by volume, and 20 to 70% by volume. More preferably, it is in the range.

蛍光体層１１の厚みは、励起光が確実に蛍光体に吸収されるような厚みである範囲において、薄い方が好ましい。蛍光体層１１が厚すぎると、蛍光体層１１における光の散乱や吸収が大きくなりすぎ、蛍光の出射効率が低くなってしまう場合があるためである。具体的には、蛍光体層１１の厚みは、１ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．３ｍｍ以下であることがさらに好ましい。蛍光体層１１の厚みの下限値は、通常、０．０３ｍｍ程度である。   The thickness of the phosphor layer 11 is preferably as thin as possible in such a range that the excitation light is surely absorbed by the phosphor. This is because if the phosphor layer 11 is too thick, light scattering and absorption in the phosphor layer 11 become too large, and the emission efficiency of fluorescence may be lowered. Specifically, the thickness of the phosphor layer 11 is preferably 1 mm or less, more preferably 0.5 mm or less, and further preferably 0.3 mm or less. The lower limit of the thickness of the phosphor layer 11 is usually about 0.03 mm.

本実施形態において、散乱層１３は、第２のガラスマトリクス１８と、その中に分散した無機粒子１７とから構成されている。散乱層１３は、入射した励起光及び蛍光を散乱させる層である。したがって、無機粒子１７としては、第２のガラスマトリクス１８と異なる屈折率を有するものを用いることが好ましい。本発明において、無機粒子１７は、Ａｌ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｇａ、Ｍｇ、Ｓｉ及びＺｎからなる群から選ばれる少なくとも一種の酸化物または窒化物である。無機粒子１７の好ましい具体例としては、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化ランタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化ガリウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、酸化亜鉛などが挙げられる。無機粒子１７として、特に好ましくは、酸化アルミニウムが用いられる。   In the present embodiment, the scattering layer 13 is composed of a second glass matrix 18 and inorganic particles 17 dispersed therein. The scattering layer 13 is a layer that scatters incident excitation light and fluorescence. Therefore, it is preferable to use the inorganic particles 17 having a refractive index different from that of the second glass matrix 18. In the present invention, the inorganic particles 17 are at least one oxide or nitride selected from the group consisting of Al, Nb, Ta, La, Zr, Ce, Ga, Mg, Si, and Zn. Preferable specific examples of the inorganic particles 17 include aluminum oxide, niobium oxide, tantalum oxide, lanthanum oxide, zirconium oxide, cerium oxide, gallium oxide, magnesium oxide, silicon oxide, and zinc oxide. As the inorganic particles 17, aluminum oxide is particularly preferably used.

第２のガラスマトリクス１８としては、例えば、第１のガラスマトリクス１６についての上記説明で挙げたものを用いることができる。第２のガラスマトリクス１８は、第１のガラスマトリクス１６と実質的に同じものであることが好ましい。第１のガラスマトリクス１６と第２のガラスマトリクス１８を実質的に同じガラスから形成することにより、蛍光体層１１から散乱層１３へ蛍光が効率よく入射しやすくなる。また、蛍光体層１１と散乱層１３の熱膨張係数差に起因する剥離が生じにくくなる。   As the 2nd glass matrix 18, what was mentioned by the said description about the 1st glass matrix 16 can be used, for example. The second glass matrix 18 is preferably substantially the same as the first glass matrix 16. By forming the first glass matrix 16 and the second glass matrix 18 from substantially the same glass, the fluorescence easily enters the scattering layer 13 from the phosphor layer 11 efficiently. Further, peeling due to the difference in thermal expansion coefficient between the phosphor layer 11 and the scattering layer 13 is less likely to occur.

無機粒子１７の平均粒子径は、０．３μｍ〜５０μｍの範囲内であることが好ましく、０．５μｍ〜３０μｍの範囲内であることがより好ましい。無機粒子１７の平均粒子径が小さすぎると、レイリー散乱の波長依存性により十分な散乱効果が得られにくくなる。一方、無機粒子１７の平均粒子径が大きすぎると、単位体積あたりに存在できる粒子数が少なくなり十分な散乱効果が得られにくくなる。   The average particle diameter of the inorganic particles 17 is preferably in the range of 0.3 μm to 50 μm, and more preferably in the range of 0.5 μm to 30 μm. If the average particle diameter of the inorganic particles 17 is too small, it becomes difficult to obtain a sufficient scattering effect due to the wavelength dependence of Rayleigh scattering. On the other hand, if the average particle diameter of the inorganic particles 17 is too large, the number of particles that can exist per unit volume is reduced and it becomes difficult to obtain a sufficient scattering effect.

散乱層１３中での無機粒子１７の含有量は、５〜８０体積％の範囲内であることが好ましく、１０〜７０体積％の範囲内であることがより好ましく、２０〜６０体積％の範囲内であることがさらに好ましい。無機粒子１７の含有量が多すぎると、散乱層１３中に空隙が多くなり、結果として、蛍光体層１１と接合材層１４との接合強度が低下しやすくなる。一方、無機粒子１７の含有量が少なすぎると、十分な散乱効果が得られにくくなる。   The content of the inorganic particles 17 in the scattering layer 13 is preferably in the range of 5 to 80% by volume, more preferably in the range of 10 to 70% by volume, and in the range of 20 to 60% by volume. More preferably, it is within. When there is too much content of the inorganic particle 17, there will be many space | gap in the scattering layer 13, and as a result, the joining strength of the fluorescent substance layer 11 and the joining material layer 14 will fall easily. On the other hand, if the content of the inorganic particles 17 is too small, it becomes difficult to obtain a sufficient scattering effect.

散乱層１３の厚みは、１０μｍ〜５００μｍの範囲内であることが好ましく、５０μｍ〜４００μｍの範囲内であることがより好ましく、８０μｍ〜３００μｍの範囲内であることがさらに好ましい。散乱層１３の厚みが厚すぎると、散乱層１３内部を光が伝播して、散乱層１３の端面から漏出しやすくなる。結果として、発光強度が低下しやすくなる。一方、散乱層１３の厚みが薄すぎると、十分な散乱効果が得られにくくなる。   The thickness of the scattering layer 13 is preferably in the range of 10 μm to 500 μm, more preferably in the range of 50 μm to 400 μm, and still more preferably in the range of 80 μm to 300 μm. If the thickness of the scattering layer 13 is too thick, light propagates through the scattering layer 13 and is likely to leak from the end face of the scattering layer 13. As a result, the emission intensity tends to decrease. On the other hand, if the thickness of the scattering layer 13 is too thin, it is difficult to obtain a sufficient scattering effect.

金属反射基板１２としては、蛍光体層１１に入射する励起光、及び励起光の入射により蛍光体粒子１５から出射される蛍光を反射することができるものであれば特に限定されるものではない。金属反射基板１２は、一般に、金属または合金から形成され、表面処理が施されていてもよい。金属反射基板１２としては、反射率の高いものが好ましく、例えば、アルミニウム基板が好ましく用いられる。アルミニウム基板として、表面に金属酸化物などからなる増反射膜が形成されたアルミニウム基板が特に好ましく用いられる。このようなものとしては、アラノッド（Ａｌａｎｏｄ）社製のＭｉｒｏ（登録商標）及びＭｉｒｏ−Ｓｉｌｖｅｒ（登録商標）等が挙げられる。   The metal reflecting substrate 12 is not particularly limited as long as it can reflect the excitation light incident on the phosphor layer 11 and the fluorescence emitted from the phosphor particles 15 by the incidence of the excitation light. The metal reflective substrate 12 is generally formed of a metal or an alloy and may be subjected to a surface treatment. The metal reflective substrate 12 is preferably one having a high reflectance, and for example, an aluminum substrate is preferably used. As the aluminum substrate, an aluminum substrate having a reflective film made of a metal oxide or the like on the surface is particularly preferably used. Examples of such include Miro (registered trademark) and Miro-Silver (registered trademark) manufactured by Alanod.

金属反射基板１２と散乱層１３との間には、接合材層１４が設けられている。接合材層１４によって、金属反射基板１２と散乱層１３とが接着されている。接合材層１４は、励起光及び蛍光を透過する透明材料から形成されることが好ましい。このような透明材料の具体例としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂、無機接着材が挙げられる。   A bonding material layer 14 is provided between the metal reflective substrate 12 and the scattering layer 13. The metal reflective substrate 12 and the scattering layer 13 are bonded by the bonding material layer 14. The bonding material layer 14 is preferably formed of a transparent material that transmits excitation light and fluorescence. Specific examples of such transparent materials include silicone resins, epoxy resins and polyimide resins, and inorganic adhesives.

シリコーン樹脂としては、一般的なシロキサン結合を有するシリコーン樹脂を用いることができ、特に、耐熱性の高いシルセスキオキサンを好ましく用いることができる。シルセスキオキサンは、主鎖骨格がＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合からなるシロキサン系の化合物で、３官能性シランを加水分解することで得られる（ＲＳｉＯ１．５）ｎの構造を持つネットワーク型ポリマーまたは多面体クラスターである。 As the silicone resin, a silicone resin having a general siloxane bond can be used, and in particular, silsesquioxane having high heat resistance can be preferably used. Silsesquioxane is a siloxane-based compound whose main chain skeleton is composed of Si—O—Si bonds, and is obtained by hydrolyzing trifunctional silane (RSiO 1.5 ) n network type polymer having a structure of n Or a polyhedral cluster.

ポリイミド樹脂としては、いわゆる透明ポリイミド樹脂を用いることができ、透明ポリイミド樹脂として、多くの樹脂メーカーから市販されているものを用いることができる。   As the polyimide resin, a so-called transparent polyimide resin can be used, and as the transparent polyimide resin, those commercially available from many resin manufacturers can be used.

接合材層１４の厚みは、２μｍ〜４０μｍであることが好ましく、５μｍ〜２０μｍであることがより好ましい。   The thickness of the bonding material layer 14 is preferably 2 μm to 40 μm, and more preferably 5 μm to 20 μm.

無機接着材としては、ポリシラザン等を使用することができる。ポリシラザンはアルキリシランの１種であり、活性水素基と化学反応する反応基と、珪素と、窒素とを有する。ポリシラザンは空気中の水分と反応し、シリル基が導入され、アンモニアを発生して縮合することにより、ＳｉＯ２の被膜を形成する。 As the inorganic adhesive, polysilazane or the like can be used. Polysilazane is a kind of alkylilisilane, and has a reactive group that chemically reacts with an active hydrogen group, silicon, and nitrogen. Polysilazane reacts with moisture in the air, silyl groups are introduced, and ammonia is generated and condensed to form a SiO 2 film.

また、無機接着剤としては、例えば、比較的低温（室温〜２００℃）で無機質のガラス膜を形成するコーティング剤を使用することができる。当該コーティング剤は、触媒の存在下、アルコール可溶型有機ケイ素化合物や、その他金属化合物（有機または無機）を溶媒中でイオン化することにより、比較的低温でガラスと同様のＳｉＯ２ネットワークを形成する。具体的には、有機金属化合物として金属アルコキシド、触媒としてアルコールを用いた場合、加水分解及び脱水反応が促進される結果、比較的低温でＳｉＯ２ネットワークが形成される。 Moreover, as an inorganic adhesive agent, the coating agent which forms an inorganic glass film at comparatively low temperature (room temperature-200 degreeC) can be used, for example. The coating agent forms an SiO 2 network similar to glass at a relatively low temperature by ionizing an alcohol-soluble organosilicon compound or other metal compound (organic or inorganic) in a solvent in the presence of a catalyst. . Specifically, when a metal alkoxide is used as the organometallic compound and an alcohol is used as the catalyst, the hydrolysis and dehydration reactions are promoted, resulting in the formation of a SiO 2 network at a relatively low temperature.

接合材層１４の厚みが小さすぎると、金属反射基板１２と散乱層１３の接着強度に劣る場合がある。一方、接合材層１４の厚みが大きすぎると、蛍光体層１１に発生した熱が金属反射基板１２へ放熱されにくくなる場合がある。   If the thickness of the bonding material layer 14 is too small, the adhesive strength between the metal reflective substrate 12 and the scattering layer 13 may be inferior. On the other hand, if the thickness of the bonding material layer 14 is too large, the heat generated in the phosphor layer 11 may be difficult to dissipate to the metal reflection substrate 12.

なお、接合材層１４に、熱伝導性フィラーを含有させてもよい。これにより、接合材層１４の熱伝導性を高めることができる。この場合、励起光が蛍光体層１１に入射することにより蛍光体層１１に発生した熱は、接合材層１４を通り金属反射基板１２に効率良く伝導される。金属反射基板１２に伝導した熱は、金属反射基板１２内を通り、外部に放出される。そのため、蛍光体層１１が励起光の入射により加熱されるのを抑制することができる。したがって、蛍光体層１１が加熱されることにより生じる蛍光強度の低下や、蛍光体層の基板からの剥離等の問題を抑制することができる。   The bonding material layer 14 may contain a heat conductive filler. Thereby, the thermal conductivity of the bonding material layer 14 can be increased. In this case, the heat generated in the phosphor layer 11 by the excitation light entering the phosphor layer 11 passes through the bonding material layer 14 and is efficiently conducted to the metal reflective substrate 12. The heat conducted to the metal reflective substrate 12 passes through the metal reflective substrate 12 and is released to the outside. Therefore, it can suppress that the fluorescent substance layer 11 is heated by incidence | injection of excitation light. Therefore, it is possible to suppress problems such as a decrease in fluorescence intensity caused by heating the phosphor layer 11 and peeling of the phosphor layer from the substrate.

熱伝導性フィラーの具体例としては、窒化ホウ素粉末、窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末、酸化マグネシウム粉末、酸化チタン粉末、酸化ニオビウム粉末、酸化亜鉛粉末、光輝性アルミニウム粉末、銀粉末などが挙げられる。熱伝導性フィラーの平均粒子径は、１〜５０μｍの範囲内であることが好ましく、２〜４０μｍの範囲内であることがより好ましい。熱伝導性フィラーの屈折率（ｎｄ）は１．５〜２．５の範囲内であることが好ましく、１．６〜２．４の範囲内であることがより好ましい。なお、熱伝導性フィラーは、透明または白色であることが好ましい。   Specific examples of the thermally conductive filler include boron nitride powder, aluminum nitride powder, aluminum oxide powder, magnesium oxide powder, titanium oxide powder, niobium oxide powder, zinc oxide powder, glittering aluminum powder, and silver powder. The average particle size of the thermally conductive filler is preferably in the range of 1 to 50 μm, and more preferably in the range of 2 to 40 μm. The refractive index (nd) of the thermally conductive filler is preferably in the range of 1.5 to 2.5, and more preferably in the range of 1.6 to 2.4. The thermally conductive filler is preferably transparent or white.

接合材層１４における熱伝導性フィラーの含有量は、２０〜９０体積％の範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは３０〜９０体積％の範囲内であり、特に好ましくは４０〜８０体積％の範囲内である。熱伝導性フィラーの含有量が少なすぎると、蛍光体層１１で発生した熱を金属反射基板１２へ十分に伝導させることができない場合がある。一方、熱伝導性フィラーの含有量が多すぎると、金属反射基板１２と散乱層１３との接着力が低下する場合がある。   The content of the heat conductive filler in the bonding material layer 14 is preferably in the range of 20 to 90% by volume, more preferably in the range of 30 to 90% by volume, and particularly preferably 40 to 80% by volume. Is within the range. When there is too little content of a heat conductive filler, the heat | fever which generate | occur | produced in the fluorescent substance layer 11 may not be able to fully be conducted to the metal reflective substrate 12. On the other hand, when there is too much content of a heat conductive filler, the adhesive force of the metal reflective substrate 12 and the scattering layer 13 may fall.

本実施形態では、蛍光ホイール１０に金属反射基板１２が設けられている。このため、励起光が蛍光体層１１に入射することにより蛍光体層１１に発生した熱は、散乱層１３及び接合材層１４を通り金属反射基板１２に伝達され、金属反射基板１２を通って外部に放出される。そのため、蛍光体層１１が励起光の入射により加熱されるのを抑制することができる。したがって、蛍光体層１１が加熱されることにより生じる蛍光強度の低下や、蛍光体層の基板からの剥離等を防止することができる。   In the present embodiment, a metal reflective substrate 12 is provided on the fluorescent wheel 10. For this reason, the heat generated in the phosphor layer 11 when the excitation light enters the phosphor layer 11 is transmitted to the metal reflecting substrate 12 through the scattering layer 13 and the bonding material layer 14, and passes through the metal reflecting substrate 12. Released to the outside. Therefore, it can suppress that the fluorescent substance layer 11 is heated by incidence | injection of excitation light. Accordingly, it is possible to prevent a decrease in fluorescence intensity caused by heating the phosphor layer 11 and peeling of the phosphor layer from the substrate.

また、本実施形態では、金属反射基板１２と蛍光体層１１の間に散乱層１３が設けられている。散乱層１３が設けられることにより、蛍光体層１１から出射した蛍光や蛍光体層１１を透過した励起光を散乱層１３で散乱させることができる。このため、発光効率を高めることができ、これによって蛍光強度を向上させることができる。   In the present embodiment, the scattering layer 13 is provided between the metal reflective substrate 12 and the phosphor layer 11. By providing the scattering layer 13, the fluorescence emitted from the phosphor layer 11 and the excitation light transmitted through the phosphor layer 11 can be scattered by the scattering layer 13. For this reason, the luminous efficiency can be increased, whereby the fluorescence intensity can be improved.

また、散乱層１３の内部には、空隙が形成されていることが好ましい。空隙が形成されることにより、さらに散乱層１３での散乱効果を高めることができる。空隙の空気の屈折率は１．０と小さいため、ガラスマトリクス１８との屈折率差を大きくすることができ、より大きな散乱効果を得ることができる。空隙率は２０〜６０％であることが好ましく、３０〜５０％であることがより好ましい。   Moreover, it is preferable that voids are formed inside the scattering layer 13. By forming the voids, the scattering effect in the scattering layer 13 can be further enhanced. Since the refractive index of the air in the gap is as small as 1.0, the refractive index difference from the glass matrix 18 can be increased, and a larger scattering effect can be obtained. The porosity is preferably 20 to 60%, and more preferably 30 to 50%.

以下に、蛍光ホイール１０の作製方法の一例を説明する。   Below, an example of the production method of the fluorescent wheel 10 is demonstrated.

まず、蛍光体層１１と散乱層１３を、例えば、以下の方法で作製する。   First, the phosphor layer 11 and the scattering layer 13 are produced by the following method, for example.

第１のガラスマトリクスとなるガラス粒子と、蛍光体と、バインダー樹脂や溶剤等の有機成分とを含むスラリーを、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等により塗布し、加熱乾燥することにより、蛍光体層１１用のグリーンシートを作製する。   By applying a slurry containing glass particles serving as a first glass matrix, a phosphor, and an organic component such as a binder resin or a solvent onto a resin film such as polyethylene terephthalate by a doctor blade method or the like, and drying by heating. Then, a green sheet for the phosphor layer 11 is prepared.

同様にして、第２のガラスマトリクスとなるガラス粒子と、無機粒子と、バインダー樹脂や溶剤等の有機成分とを含むスラリーを、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等により塗布し、加熱乾燥することにより、散乱層１３用のグリーンシートを作製する。   Similarly, a slurry containing glass particles serving as the second glass matrix, inorganic particles, and an organic component such as a binder resin or a solvent is applied onto a resin film such as polyethylene terephthalate by a doctor blade method or the like, and heated. By drying, a green sheet for the scattering layer 13 is produced.

得られた蛍光体層１１用のグリーンシートと散乱層１３用のグリーンシートとを重ね合わせ、重ね合わせたこれらのグリーンシートを焼成することにより、蛍光体層１１と散乱層１３の積層体を形成することができる。つまり、蛍光体層１１と散乱層１３とを、熱融着により接合し、積層体を形成する。   The obtained green sheet for the phosphor layer 11 and the green sheet for the scattering layer 13 are overlapped, and these stacked green sheets are fired to form a laminate of the phosphor layer 11 and the scattering layer 13. can do. That is, the phosphor layer 11 and the scattering layer 13 are joined by thermal fusion to form a laminate.

蛍光体層１１及び散乱層１３の積層体は、上記の作製方法に限定されるものではなく、例えば、蛍光体層１１用のグリーンシートの上に散乱層１３形成用スラリーを塗布したり、あるいは散乱層１３用のグリーンシートの上に蛍光体層１１形成用スラリーを塗布して作製してもよい。   The laminated body of the phosphor layer 11 and the scattering layer 13 is not limited to the above production method. For example, a slurry for forming the scattering layer 13 is applied on the green sheet for the phosphor layer 11, or Alternatively, the phosphor layer 11 forming slurry may be applied on the green sheet for the scattering layer 13.

上記で得られた積層体の散乱層１３と、金属反射基板１２とを対向させ、散乱層１３と金属反射基板１２とを上記の接合材によって接合する。これにより、蛍光体層１１及び散乱層１３と金属反射基板１２とを、接合材層１４で接合した蛍光ホイール１０を作製することができる。   The scattering layer 13 of the laminated body obtained above and the metal reflection substrate 12 are opposed to each other, and the scattering layer 13 and the metal reflection substrate 12 are bonded by the bonding material. Thereby, the fluorescent wheel 10 which joined the fluorescent substance layer 11, the scattering layer 13, and the metal reflective substrate 12 with the joining material layer 14 is producible.

なお、蛍光体層１１及び散乱層１３の積層体と、金属反射基板１２とを接合材層１４によって接合する際、必要に応じて、熱処理を施して接合材層１４を熱硬化させてもよい。さらに、蛍光体層１１及び散乱層１３の積層体と金属反射基板１２とをより密着させるために、加熱と同時に加圧してもよい。   In addition, when joining the laminated body of the fluorescent substance layer 11 and the scattering layer 13, and the metal reflective board | substrate 12 with the joining material layer 14, you may heat-process and the joining material layer 14 may be thermoset as needed. . Furthermore, in order to make the laminated body of the fluorescent substance layer 11 and the scattering layer 13, and the metal reflective substrate 12 adhere more, you may pressurize simultaneously with a heating.

なお、本発明の蛍光ホイール１０の作製方法は、上記の方法に限定されるものではない。   In addition, the manufacturing method of the fluorescent wheel 10 of this invention is not limited to said method.

図４は、本発明の一実施形態のプロジェクター用発光デバイスを示す模式的側面図である。本実施形態のプロジェクター用発光デバイス３０は、蛍光ホイール１０と、光源２０と、蛍光ホイール１０を回転させるためのモーター２１とを備えている。リング状の蛍光ホイール１０は、モーター２１の回転軸２２に、回転軸２２の中心軸Ｃを回転中心として周方向に回転するように取り付けられている。   FIG. 4 is a schematic side view showing a light emitting device for a projector according to an embodiment of the present invention. The projector light emitting device 30 according to the present embodiment includes a fluorescent wheel 10, a light source 20, and a motor 21 for rotating the fluorescent wheel 10. The ring-shaped fluorescent wheel 10 is attached to the rotating shaft 22 of the motor 21 so as to rotate in the circumferential direction about the central axis C of the rotating shaft 22.

光源２０から出射された励起光１は、蛍光ホイール１０の蛍光体層１１に入射する。蛍光体層１１に入射した励起光１は、蛍光体を励起し、蛍光体から蛍光２が出射される。金属反射基板１２側に出射された蛍光２は、金属反射基板１２の表面で反射され、蛍光体層１１側に出射される。上述のように、金属反射基板１２と蛍光体層１１の間に散乱層１３が設けられているので、蛍光体層１１から出射した蛍光や蛍光体層１１を透過した励起光を散乱層１３で散乱させることができる。このため、発光効率を高めることができ、これによって蛍光強度を向上させることができる。   Excitation light 1 emitted from the light source 20 enters the phosphor layer 11 of the fluorescent wheel 10. The excitation light 1 incident on the phosphor layer 11 excites the phosphor, and the fluorescence 2 is emitted from the phosphor. The fluorescence 2 emitted to the metal reflective substrate 12 side is reflected by the surface of the metal reflective substrate 12 and emitted to the phosphor layer 11 side. As described above, since the scattering layer 13 is provided between the metal reflective substrate 12 and the phosphor layer 11, the fluorescence emitted from the phosphor layer 11 and the excitation light transmitted through the phosphor layer 11 are transmitted by the scattering layer 13. Can be scattered. For this reason, the luminous efficiency can be increased, whereby the fluorescence intensity can be improved.

光源２０の具体例としては、ＬＥＤ光源やレーザー光源などが挙げられる。励起光として青色光を発光する光源を、光源２０として用いる場合、例えば、蛍光体層１１の蛍光体として、青色光で励起され、黄色光または緑色光を発する蛍光体を用いることができる。蛍光体層１１から出射された光は、必要に応じて、フィルターによって所望の波長を有する光のみを取り出すことができる。リング状のフィルターを、回転軸２２に取り付け、蛍光ホイール１０と同期させて回転させ、出射光をフィルタリングしてもよい。   Specific examples of the light source 20 include an LED light source and a laser light source. When a light source that emits blue light as excitation light is used as the light source 20, for example, a phosphor that is excited by blue light and emits yellow light or green light can be used as the phosphor of the phosphor layer 11. As for the light emitted from the phosphor layer 11, only light having a desired wavelength can be extracted by a filter as necessary. A ring-shaped filter may be attached to the rotating shaft 22 and rotated in synchronization with the fluorescent wheel 10 to filter the emitted light.

本実施形態において、蛍光ホイール１０は周方向に回転している。上記のように、蛍光体層１１から金属反射基板１２に伝導された熱は、金属反射基板１２から外部に放出される。蛍光ホイール１０が周方向に回転していることにより、金属反射基板１２から外部への熱放出がさらに促進される。   In the present embodiment, the fluorescent wheel 10 rotates in the circumferential direction. As described above, the heat conducted from the phosphor layer 11 to the metal reflective substrate 12 is released from the metal reflective substrate 12 to the outside. By rotating the fluorescent wheel 10 in the circumferential direction, heat release from the metal reflective substrate 12 to the outside is further promoted.

上記実施形態の蛍光ホイール１０では、蛍光体層１１の全面にわたって、同じ種類の蛍光体が含有されている。しかしながら、本発明は、このような態様に限定されるものではない。蛍光体層１１が、周方向に沿って複数の領域に分割され、各領域に互いに異なる種類の蛍光体が含まれていてもよい。また、蛍光体が含まれない領域があってもよい。   In the fluorescent wheel 10 of the above embodiment, the same type of phosphor is contained over the entire surface of the phosphor layer 11. However, the present invention is not limited to such an embodiment. The phosphor layer 11 may be divided into a plurality of regions along the circumferential direction, and different types of phosphors may be included in each region. Moreover, there may be a region where the phosphor is not included.

（蛍光強度に与える散乱層の影響について）
金属反射基板、蛍光体層、散乱層、及び接合材層として、以下のものを用い、蛍光ホイールを作製した。蛍光体層としては、黄色発光の蛍光体層と、緑色発光の蛍光体層を作製した。 (Influence of scattering layer on fluorescence intensity)
The following were used as a metal reflective substrate, a phosphor layer, a scattering layer, and a bonding material layer to produce a fluorescent wheel. As the phosphor layer, a yellow-emitting phosphor layer and a green-emitting phosphor layer were prepared.

金属反射基板：Ａｌａｎｏｄ社製、Ｍｉｌｏ２−Ｓｉｌｖｅｒ
黄色発光の蛍光体層：ＹＡＧ蛍光体（平均粒径２０μｍ、７０体積％）、ガラスマトリクス、ホウ珪酸ガラス、厚み１００μｍ
緑色発光の蛍光体層：ＬｕＡＧ蛍光体（平均粒径１８μｍ、７０体積％）、ガラスマトリクス、ホウ珪酸ガラス、厚み１００μｍ、
散乱層：アルミナ粉末（平均粒径 ２μｍ、７０体積％）、ガラスマトリクス、ホウ珪酸ガラス
接合材層：信越化学製シリコーン樹脂、ＬＰＳ−２４００、厚み５〜２０μｍ Metal reflective substrate: Milo2-Silver, manufactured by Alanod
Yellow phosphor layer: YAG phosphor (average particle size 20 μm, 70% by volume), glass matrix, borosilicate glass, thickness 100 μm
Green light emitting phosphor layer: LuAG phosphor (average particle size 18 μm, 70% by volume), glass matrix, borosilicate glass, thickness 100 μm,
Scattering layer: Alumina powder (average particle size 2 μm, 70 vol%), glass matrix, borosilicate glass Bonding material layer: Shin-Etsu Chemical silicone resin, LPS-2400, thickness 5-20 μm

なお、散乱層の厚みは、２０μｍ、４０μｍ、６０μｍ、８０μｍにそれぞれ変化させた蛍光ホイールを作製した。また、比較例として、散乱層を形成せずに、金属反射基板と蛍光体層を接合材層で直接接合した蛍光ホイールも作製した。   In addition, the fluorescent wheel which changed the thickness of the scattering layer into 20 micrometers, 40 micrometers, 60 micrometers, and 80 micrometers was produced, respectively. In addition, as a comparative example, a fluorescent wheel in which a metal reflective substrate and a phosphor layer were directly bonded with a bonding material layer without forming a scattering layer was also produced.

得られた蛍光ホイールのサンプルに、波長４４５ｎｍのレーザー光（スポット径１ｍｍ）を照射し、蛍光体層から出射された蛍光ピークの強度を測定した。黄色発光の蛍光体層のものについては、波長５８０ｎｍの蛍光ピークを、緑色発光の蛍光体層のものについては、波長５５０ｎｍの蛍光ピークを、蛍光体層の上に配置された直径１３ｍｍの積分球を用いて測定した。   The obtained fluorescent wheel sample was irradiated with laser light having a wavelength of 445 nm (spot diameter of 1 mm), and the intensity of the fluorescent peak emitted from the phosphor layer was measured. An integrating sphere having a diameter of 13 mm is disposed on the phosphor layer for the phosphor layer that emits yellow light, and the fluorescent peak that has a wavelength of 580 nm for the phosphor layer that emits green light. It measured using.

各サンプルの蛍光強度は、以下の通りである。なお、蛍光強度は、比較例の蛍光強度を１００とした相対値で示した。   The fluorescence intensity of each sample is as follows. The fluorescence intensity is shown as a relative value with the fluorescence intensity of the comparative example as 100.

＜黄色発光＞
散乱層なし：１００
散乱層２０μｍ：１０２．３
散乱層４０μｍ：１０４．５
散乱層６０μｍ：１０５．３
散乱層８０μｍ：１０６．０
＜緑色発光＞
散乱層なし：１００
散乱層２０μｍ：１０３．１
散乱層４０μｍ：１０４．８
散乱層６０μｍ：１０６．１
散乱層８０μｍ：１０６．９ <Yellow light emission>
No scattering layer: 100
Scattering layer 20 μm: 102.3
Scattering layer 40 μm: 104.5
Scattering layer 60 μm: 105.3
Scattering layer 80 μm: 106.0
<Green light emission>
No scattering layer: 100
Scattering layer 20 μm: 103.1
Scattering layer 40 μm: 104.8
Scattering layer 60 μm: 106.1
Scattering layer 80 μm: 106.9

以上の結果から明らかなように、散乱層を設けることにより、蛍光強度を高めることができる。   As is clear from the above results, the fluorescence intensity can be increased by providing the scattering layer.

１…励起光
２…蛍光
１０…蛍光ホイール
１１…蛍光体層
１２…金属反射基板
１３…散乱層
１４…接合材層
１５…蛍光体粒子
１６…第１のガラスマトリクス
１７…無機粒子
１８…第２のガラスマトリクス
２０…光源
２１…モーター
２２…回転軸
３０…プロジェクター用発光デバイス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Excitation light 2 ... Fluorescence 10 ... Fluorescence wheel 11 ... Phosphor layer 12 ... Metal reflecting substrate 13 ... Scattering layer 14 ... Bonding material layer 15 ... Phosphor particle 16 ... First glass matrix 17 ... Inorganic particle 18 ... Second Glass matrix 20 ... light source 21 ... motor 22 ... rotating shaft 30 ... light emitting device for projector

Claims (11)

リング状の金属反射基板と、
前記金属反射基板上に設けられる蛍光体層と、
前記金属反射基板と前記蛍光体層の間に設けられる散乱層と、
前記金属反射基板と前記散乱層の間に設けられる接合材層とを備え、
前記散乱層が、Ａｌ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｇａ、Ｍｇ、Ｓｉ及びＺｎからなる群から選ばれる少なくとも一種の酸化物または窒化物からなる無機粒子を含み、前記蛍光体層の厚みが１ｍｍ以下であり、前記接合材層が、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂から形成されている、プロジェクター用蛍光ホイール。 A ring-shaped metal reflective substrate;
A phosphor layer provided on the metal reflective substrate;
A scattering layer provided between the metal reflective substrate and the phosphor layer;
A bonding material layer provided between the metal reflective substrate and the scattering layer;
The scattering layer includes inorganic particles made of at least one oxide or nitride selected from the group consisting of Al, Nb, Ta, La, Zr, Ce, Ga, Mg, Si and Zn; thickness Ri der less 1 mm, the bonding material layer is a silicone resin, that have been formed from epoxy resin or polyimide resin, luminescent wheel projector. 前記蛍光体層が、リング状である、請求項１に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。   The phosphor wheel for a projector according to claim 1, wherein the phosphor layer has a ring shape. 前記蛍光体層は、第１のガラスマトリクスと、前記第１のガラスマトリクス中に分散した蛍光体粒子とを含有する、請求項１または２に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。   The phosphor wheel for a projector according to claim 1, wherein the phosphor layer contains a first glass matrix and phosphor particles dispersed in the first glass matrix. 前記散乱層は、第２のガラスマトリクスと、前記第２のガラスマトリクス中に分散した前記無機粒子とを含有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。   The said scattering layer is a fluorescent wheel for projectors as described in any one of Claims 1-3 containing the 2nd glass matrix and the said inorganic particle disperse | distributed in the said 2nd glass matrix. 前記第１のガラスマトリクスと前記第２のガラスマトリクスが、実質的に同じガラスである、請求項４に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。   The fluorescent wheel for a projector according to claim 4, wherein the first glass matrix and the second glass matrix are substantially the same glass. 前記金属反射基板が、アルミニウム基板である、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。   The fluorescent wheel for a projector according to claim 1, wherein the metal reflective substrate is an aluminum substrate. 前記散乱層の厚みが、１０μｍ〜５００μｍの範囲内である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。 When the thickness of the scattering layer is in the range of 10 m to 500 m, projector luminescent wheel according to any one of claims 1-6. 前記無機粒子の平均粒子径が、０．３μｍ〜５０μｍの範囲内である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイール。 The fluorescent wheel for a projector according to any one of claims 1 to 7 , wherein an average particle diameter of the inorganic particles is in a range of 0.3 µm to 50 µm. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイールを製造するための方法であって、
ガラス粒子と、蛍光体粒子と、有機成分とを含む蛍光体層用のグリーンシートを作製する工程と、
ガラス粒子と、無機粒子と、有機成分とを含む散乱層用のグリーンシートを作製する工程と、
前記蛍光体層用のグリーンシート及び前記散乱層用のグリーンシートを重ね合わせて焼成することにより、前記蛍光体層及び前記散乱層を形成する工程とを備える、プロジェクター用蛍光ホイールの製造方法。 A method for producing the fluorescent wheel for a projector according to any one of claims 1 to 8 ,
Producing a green sheet for a phosphor layer containing glass particles, phosphor particles, and an organic component;
Producing a green sheet for a scattering layer containing glass particles, inorganic particles, and organic components;
And a step of forming the phosphor layer and the scattering layer by superimposing and firing the green sheet for the phosphor layer and the green sheet for the scattering layer. 前記蛍光体層及び前記散乱層を、接合材により前記金属反射基板と接合する工程をさらに備える、請求項９に記載のプロジェクター用蛍光ホイールの製造方法。 The manufacturing method of the fluorescent wheel for projectors of Claim 9 further equipped with the process of joining the said fluorescent substance layer and the said scattering layer with the said metallic reflective board | substrate with a joining material. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のプロジェクター用蛍光ホイールと、
前記蛍光体層の蛍光体を励起させるための励起光を照射する光源とを備える、プロジェクター用発光デバイス。
A fluorescent wheel for a projector according to any one of claims 1 to 8 ,
A light emitting device for a projector, comprising: a light source that emits excitation light for exciting the phosphor of the phosphor layer.
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